CN110180416A - 气体溶解液制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种气体溶解液制造装置，能够提高气体溶解效率，并且能够提高气体溶解液的浓度的稳定性。气体溶解液制造装置(臭氧水制造装置(1))具备：供给臭氧气体的臭氧气体供给部(2)；供给纯水的纯水供给部(3)；以及臭氧水生成部(4)，该臭氧水生成部使臭氧气体溶解于供给的纯水并生成臭氧水。臭氧水生成部(4)具备：第一喷嘴(10)，该第一喷嘴具有第一最佳流量；第二喷嘴(11)，该第二喷嘴具有与第一最佳流量不同的第二最佳流量；流量检测部(15)，该流量检测部对供给的纯水的流量进行检测；以及控制部(16)，该控制部基于在流量检测部检测的纯水的流量，对将供给的气体向第一喷嘴和第二喷嘴的哪一个供给进行控制。

Description

气体溶解液制造装置
技术领域
本发明涉及使气体溶解于液体来制造气体溶解液的气体溶解液制造装置。
背景技术
近年，伴随制造过程的复杂化、电路图案的微细化，半导体器件工厂、液晶等电子部件制造工厂中的产品的清洗越来越高度集成化。例如，使用特殊的液体(称为清洗液)除去附着于硅晶片的微粒、金属、有机物等，其中，将高纯度的气体或者高纯度气体和药品溶解于功能水(超纯水等)而形成该液体。
作为功能水，使用将臭氧气体溶解于纯水的臭氧水。一般地在臭氧水制造装置制造臭氧水，但是制造的臭氧水的流量(所需的臭氧水的流量)根据在使用点的使用状况而变动。
在以往的臭氧水制造装置中，使用将臭氧气体溶解于纯水用的喷嘴(例如参照专利文献1)。喷嘴通过在喷嘴流通的纯水的流量而使臭氧气体的溶解效率产生变化。并且，在喷嘴中存在因臭氧水浓度(溶解于臭氧水的臭氧的浓度)和流量而导致臭氧水浓度的稳定性变差的区域(参照图6)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-75838号公报
发明要解决的问题
然而，在以往的臭氧水制造装置中，存在以下那样的问题。首先，在喷嘴中存在使臭氧溶解效率(使臭氧溶解于水的效率)最佳的流量(最佳流量)，当供给到喷嘴的纯水的流量偏离最佳流量时，臭氧溶解效率变低，为了生成期望的浓度的臭氧水需要更多的臭氧气体，即，存在臭氧气体的使用量增加的问题。并且，存在如下问题：当供给到喷嘴的纯水的流量与最佳流量相比过低时，在喷嘴生成的臭氧水的浓度的稳定性变低。
发明内容
本发明鉴于上述的问题而作出，目的在于提供一种气体溶解液制造装置，能够提高气体溶解效率，并且提高气体溶解液的浓度的稳定性。
用于解决问题的手段
本发明的气体溶解液制造装置具备：气体供给部，该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体；液体供给部，该液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的液体；以及气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，所述气体溶解液生成部具备：第一气体溶解部，该第一气体溶解部具有第一最佳流量；第二气体溶解部，该第二气体溶解部具有与所述第一最佳流量不同的第二最佳流量；流量检测部，该流量检测部对从所述液体供给部供给的液体的流量进行检测；以及控制部，该控制部基于由所述流量检测部检测出的所述液体的流量，对将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部的哪一个供给进行控制。
根据该结构，在气体溶解液生成部，使从气体供给部供给的气体溶解于从液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液。气体溶解液生成部具备最佳流量不同的两个气体溶解部(第一气体溶解部和第二气体溶解部)，并基于从液体供给部供给的液体的流量，对将从气体供给部供给的气体向两个气体溶解部(第一气体溶解部和第二气体溶解部)的哪一个供给进行控制。由此，能够在与液体的流量相应的适当的气体溶解部进行气体的溶解，因此能够提高气体溶解效率，并减少气体的使用量。并且，能够在与液体的流量相应的适当的气体溶解部进行气体的溶解，因此提高在气体溶解液生成部生成的气体溶解液的浓度的稳定性。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，也可以是，所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部串联地连接，所述控制部进行如下控制：当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第一气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部供给；当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第二气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第二气体溶解部供给。
根据该结构，第一气体溶解部和第二气体溶解部串联地连接，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第一气体溶解部的最佳流量(第一最佳流量)时，气体被供给到第一气体溶解部，在第一气体溶解部进行气体的溶解。另一方面，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第二气体溶解部的最佳流量(第二最佳流量)时，气体被供给到第二气体溶解部，在第二气体溶解部进行气体的溶解。这样一来，能够在与液体的流量相应的适当的气体溶解部进行气体的溶解。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，也可以是，串联地连接的所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地设有两列，所述第一最佳流量比所述第二最佳流量小，所述第一气体溶解部与所述第二气体溶解部相比配置于更接近所述液体供给部的上游侧的位置。
根据该结构，串联地连接的两个气体溶解部(第一气体溶解部和第二气体溶解部)中的最佳流量较小的第一气体溶解部配置于上游侧，最佳流量较大的第二气体溶解部配置于下游侧，因此能够减少在气体溶解水生成部生成气体溶解水时的压力损失。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，也可以是，所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，所述控制部进行如下控制：当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二最佳流量相比更接近所述第一最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第一气体溶解部供给；当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量相比更接近所述第二最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第二气体溶解部供给。
根据该结构，第一气体溶解部和第二气体溶解部并联地连接，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第一气体溶解部的最佳流量(第一最佳流量)时，气体和液体被供给到第一气体溶解部，在第一气体溶解部进行气体的溶解。另一方面，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第二气体溶解部的最佳流量(第二最佳流量)时，气体和液体被供给到第二气体溶解部，在第二气体溶解部进行气体的溶解。这样一来，能够在与液体的流量相应的适当的气体溶解部进行气体的溶解。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，也可以是，所述气体溶解液生成部具备第三气体溶解部，该第三气体溶解部与所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，并具有与所述第一最佳流量和所述第二最佳流量中的任一个均不同的第三最佳流量，所述控制部进行如下控制：当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第三最佳流量相比更接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部供给；当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量相比更接近所述第三最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第三气体溶解部供给。
根据该结构，三个气体溶解部(第一气体溶解部、第二气体溶解部、第三气体溶解部)并联地连接，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第一气体溶解部的最佳流量和第二气体溶解部的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)时，气体被供给到第一气体溶解部和第二气体溶解部，在第一气体溶解部和第二气体溶解部进行气体的溶解。另一方面，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第三气体溶解部的最佳流量(第三最佳流量)时，气体被供给到第三气体溶解部，在第三气体溶解部进行气体的溶解。这样一来，在与液体的流量相应的适当的气体溶解部进行气体的溶解。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，也可以是，所述控制部进行如下的控制，当由所述流量检测部检测出的流量接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量与所述第三最佳流量的中间值时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部供给。
根据该结构，三个气体溶解部(第一气体溶解部、第二气体溶解部、第三气体溶解部)并联地连接，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第一气体溶解部的最佳流量和第二气体溶解部的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)与第三气体溶解部的最佳流量(第三最佳流量)的中间值时，气体被供给到第一气体溶解部和第二气体溶解部，在第一气体溶解部和第二气体溶解部进行气体的溶解。这样一来，能够在最佳流量较小的气体溶解部(第一气体溶解部和第二气体溶解部)生成气体溶解水，因此能够提高生成气体溶解水时的气体溶解效率。
并且，在本发明的气体溶解液制造装置中，所述控制部进行如下控制，当由所述流量检测部检测出的流量接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量与所述第三最佳流量的中间值时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第三气体溶解部供给。
根据该结构，三个气体溶解部(第一气体溶解部、第二气体溶解部、第三气体溶解部)并联地连接，当供给到气体溶解液生成部的液体的流量接近第一气体溶解部的最佳流量和第二气体溶解部的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)与第三气体溶解部的最佳流量(第三最佳流量)中间值时，气体被供给到第三气体溶解部，在第三气体溶解部进行气体的溶解。这样一来，能够在最佳流量较大的气体溶解部(第三气体溶解部)生成气体溶解水，因此能够减少生成气体溶解水时的压力损失。
发明的效果
根据本发明，能够提高气体溶解效率，并且能够提高气体溶解液的浓度的稳定性。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式中的臭氧水制造装置的框图。
图2是本发明的第一实施方式中的臭氧水生成部的说明图。
图3是本发明的第一实施方式中的臭氧水生成部的变形例的说明图。
图4是本发明的第一实施方式中的臭氧水生成部的其他的变形例的说明图。
图5是本发明的第二实施方式中的臭氧水生成部的说明图。
图6是表示本发明的实施方式中的臭氧水生成部的浓度稳定性的图。
图7是表示本发明的第二实施方式中的使用喷嘴的图。
图8是本发明的第二实施方式中的臭氧水生成部的变形例的说明图。
符号说明
1 臭氧水制造装置(气体溶解液制造装置)
2 臭氧气体供给部(气体供给部)
3 纯水供给部(液体供给部)
4 臭氧水生成部(气体溶解液生成部)
5 流量计
6 升压泵
7 气液分离箱
8 臭氧水供给处理部
9 排气处理部
10 第一喷嘴(第一气体溶解部)
11 第二喷嘴(第二气体溶解部)
12 输出阀
13 第一气体阀
14 第二气体阀
15 流量检测部
16 控制部
17 第三喷嘴(第三气体溶解部)
18 第三气体阀
19 第四喷嘴
20 第五喷嘴
21 第六喷嘴
22 第四气体阀
23 第五气体阀
24 第六气体阀
U 使用点
具体实施方式
以下，用附图对本发明的实施方式的气体溶解液制造装置进行说明。在本实施方式中，作为一例，示例了使臭氧气体溶解于纯水而制造臭氧水的臭氧水制造装置的情况。
(第一实施方式)
参照附图对第一实施方式的臭氧水制造装置的结构进行说明。图1是表示本实施方式的臭氧水制造装置的概略结构的框图。如图1所示，臭氧水制造装置1具备：臭氧气体供给部2，该臭氧气体供给部2供给作为臭氧水的原料的臭氧气体；纯水供给部3，该纯水供给部3供给作为臭氧水的原料的纯水；以及臭氧水生成部4，该臭氧水生成部4使臭氧气体溶解于被供给的纯水而生成臭氧水。另外，在作为原料的臭氧气体、纯水的供给中能够利用公知的技术。
在纯水供给部3和臭氧水生成部4之间设有流量计5和升压泵6。流量计5具备以下作用：对从纯水供给部3供给的纯水(向臭氧水生成部4供给的纯水)的流量进行测定，并将测定出的流量的数据(流量数据)向臭氧水生成部4输出。并且，升压泵6具备以下作用：对从纯水供给部3向臭氧水生成部4供给的纯水的流量进行调整。
在臭氧水生成部4生成的臭氧水被储存于气液分离箱7。在气液分离箱7中，在臭氧水生成部4生成的臭氧水被分离为向使用点供给的臭氧水和从排气口等进行排气处理的剩余气体。臭氧水的向使用点的供给由臭氧水供给处理部8进行。并且，剩余气体的排气处理由排气处理部9进行。另外，在臭氧水的供给处理、剩余气体的排气处理中能够利用公知的技术。
图2是本实施方式的臭氧水生成部4的说明图。如图2所示，臭氧水生成部4具备串联连接的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)。喷嘴具备使气体溶解于被供给的液体的作用。第一喷嘴10的最佳流量是例如5L，第二喷嘴11的最佳流量是例如10L。并且，第一喷嘴10配置于第二喷嘴11的上游侧(靠近纯水供给部3的一侧)。即，供给到臭氧水生成部4的纯水在供给到第一喷嘴10后，向第二喷嘴11供给。在第二喷嘴11的下游设有输出阀12。
并且，如图2所示，臭氧水生成部4设有与两个喷嘴对应的两个气体阀(第一气体阀13和第二气体阀14)。臭氧水生成部4构成为，通过开闭第一气体阀13和第二气体阀14而能够向第一喷嘴10和第二喷嘴11的任意一方供给臭氧气体。另外，在本实施方式中，不存在第一气体阀13和第二气体阀14这两者同时被打开的情况。即，不存在同时向第一喷嘴10和第二喷嘴11这两者供给气体的情况。
此外，如图2所示，臭氧水生成部4还具备：流量检测部15，该流量检测部15基于从流量计5输出的流量数据，对向臭氧水生成部4供给的纯水的流量进行检测；以及控制部16，该控制部16基于由流量检测部15检测出的纯水的流量，控制两个气体阀(第一气体阀13和第二气体阀14)的开闭。控制部16通过控制第一气体阀13和第二气体阀14的开闭，能够对将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体向第一喷嘴10和第二喷嘴11的哪一个供给进行控制。
例如，控制部16进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与接近第二喷嘴11的最佳流量(10L)相比更接近第一喷嘴10的最佳流量(5L)时(例如，检测出的流量是6L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体向第一喷嘴10供给。另一方面，进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与接近第一喷嘴10的最佳流量(5L)相比更接近第二喷嘴11的最佳流量(10L)时(例如，检测出的流量是9L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体向第二喷嘴11供给。
根据这样的第一实施方式的臭氧水制造装置1，臭氧水生成部4具备最佳流量不同的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)，基于从纯水供给部3供给的纯水的流量，对将从气体供给部供给的臭氧气体向两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)中的哪一个供给进行控制。由此，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解，因此能够提高气体溶解效率，能够减少用于获得规定的臭氧水浓度的臭氧气体的使用量。并且，由于能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解，因此提高了在臭氧水生成部4生成的臭氧水的浓度的稳定性。
并且，在本实施的方式中，第一喷嘴10和第二喷嘴11串联地连接，当供给到臭氧水生成部4的纯水的流量接近第一喷嘴10的最佳流量(第一最佳流量)时，臭氧气体被供给到第一喷嘴10，并在第一喷嘴10进行臭氧气体的溶解。另一方面，当供给到臭氧水生成部4的纯水的流量接近第二喷嘴11的最佳流量(第二最佳流量)时，臭氧气体被供给到第二喷嘴11，并在第二喷嘴11进行臭氧气体的溶解。这样一来，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解。
(第一实施方式的变形例)
在图3示出了第一实施方式的臭氧水生成部4的变形例。如图3所示，在该变形例中，串联地连接的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)并联地设置有两列。即，臭氧水生成部4具有第一列的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)和第二列的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)。并且，控制部16通过对设于第一列和第二列的喷嘴上游的切换阀(未图示)进行切换，能够将从纯水供给部3供给的纯水控制为向第一列和第二列的任一方或者双方供给。
在这种情况下，控制部16进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量比第二喷嘴11的最佳流量(10L)大，并接近第一喷嘴10的最佳流量和第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(15L＝5L+10L)时(例如，检测出的流量是14L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第一列的第一喷嘴10和第二列的第二喷嘴11供给。
并且，控制部16进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与第一喷嘴10的最佳流量和第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(15L＝5L+10L)相比更接近两个第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(20L＝10L+10L)时(例如，检测出的流量是19L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第一列的第二喷嘴11和第二列的第二喷嘴11供给。
由此，也能够应对比第二喷嘴11的最佳流量(10L)大的流量，从而能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解。
并且，在本实施方式中，串联地连接的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)中，最佳流量较小的第一喷嘴10配置于上游侧，最佳流量较大的第二喷嘴11配置于下游侧，从而能够减少在气体溶解水生成部生成气体溶解水时的压力损失。
另外，如图4所示，当串联地连接的两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)并联地设置两列时，也可以仅使用两个喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)中的一方的喷嘴(例如第一喷嘴10)。
(第二实施方式)
接着，对本发明的第二实施方式的臭氧水制造装置1进行说明。此处，着重于第二实施方式的臭氧水制造装置1与第一实施方式不同的方面。本实施方式的结构和工作只要在这里未提及，就与第一实施方式相同。
图5是本实施方式的臭氧水生成部4的说明图。如图5所示，臭氧水生成部4具备并联地连接的三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17)。第一喷嘴10的最佳流量是例如5L，第二喷嘴11的最佳流量是例如10L，第三喷嘴17的最佳流量是例如20L。并且，在三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17)的下游分别设有输出阀12。
并且，如图5所示，臭氧水生成部4设有与三个喷嘴对应的三个气体阀(第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18)。臭氧水生成部4构成为，通过开闭第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18，能够将臭氧气体分别供给到第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17。
另外，在本实施方式中，既能够同时打开第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18中的任意两个，也能够同时打开全部三个。即，既能够同时将臭氧气体供给到第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17中的任意两个，也能够同时将臭氧气体供给到全部三个。当然，也能够打开第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18中的任意一个，将臭氧气体供给到第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17中的任意一个。
控制部16基于由流量检测部15检测出的纯水的流量，通过控制三个气体阀(第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18)的开闭，对将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体向第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17的哪一个供给进行控制。并且，控制部16通过对设于三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴12)的上游的切换阀(未图示)进行切换，能够对将从纯水供给部3供给的纯水向第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴12的哪一个供给进行控制。
例如，控制部16进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与接近第二最佳流量(10L)相比更接近第一最佳流量(5L)时(例如，检测出的流量是6L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第一喷嘴10供给。并且，进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与接近第一最佳流量(5L)相比更接近第二最佳流量(10L)的情况(例如，检测出的流量是9L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第二喷嘴11供给。并且，进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量与接近第二最佳流量(10L)相比更接近第三最佳流量(20L)时(例如，检测出的流量是19L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第三喷嘴17供给。
并且，控制部16进行以下控制L：当由流量检测部15检测出的流量与接近第三最佳流量(20L)相比更接近第一最佳流量和第二最佳流量的合计流量(15L＝5L+10L)时(例如，检测出的流量是16L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第一喷嘴10和第二喷嘴11这两者供给。并且，进行以下控制：当在流量检测部15检测的流量与第一最佳流量和第二最佳流量的合计流量(15L＝5L+10L)相比更接近第三最佳流量(20L)时(例如，检测出的流量是19L的情况)，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第三喷嘴17供给。
此外，控制部16进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量接近第一最佳流量和第二最佳流量的合计流量与第三最佳流量的中间值(17.5L)时，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第一喷嘴10和第二喷嘴11供给。或者，控制部16也可以进行以下控制：当由流量检测部15检测出的流量接近第一最佳流量和第二最佳流量的合计流量与第三最佳流量的中间值(17.5L)时，将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向第三喷嘴17供给。
根据这样的第二实施方式的臭氧水制造装置1，也会获得与第一实施方式相同的作用效果。即，臭氧水生成部4具备最佳流量不同的三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17)，基于从纯水供给部3供给的纯水的流量，对将从臭氧气体供给部2供给的臭氧气体和从纯水供给部3供给的纯水向三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17)的哪一个供给进行控制。由此，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解，因此能够提高气体溶解效率，能够减少用于获得规定的臭氧水浓度的臭氧气体的使用量。并且，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解，因此提高了在臭氧水生成部4生成的臭氧水的浓度的稳定性。
而且，在本实施方式中，第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17并联地连接，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第一喷嘴10的最佳流量(第一最佳流量)时，臭氧气体被供给到第一喷嘴10，在第一喷嘴10进行臭氧气体的溶解。并且，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第二喷嘴11的最佳流量(第二最佳流量)时，臭氧气体被供给到第二喷嘴11，在第二喷嘴11进行臭氧气体的溶解。并且，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第三喷嘴17的最佳流量(第三最佳流量)时，臭氧气体被供给到第三喷嘴17，在第三喷嘴17进行臭氧气体的溶解。这样一来，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解。
在这种情况下，能够从并联地连接的三个喷嘴中选择与供给到臭氧水生成部4的纯水的流量相应的适当的喷嘴来进行臭氧气体的溶解，因此当纯水的流量较小时，能够使用与流量相应的最佳流量较小的喷嘴。因此，能够避免使用最佳流量较大的喷嘴，其结果，如图6所示，作为系统整体浓度稳定性较好的区域变大。另外，图6的上图是表示只能够使用最佳流量较大的喷嘴的系统的浓度稳定性的图，图6的下图是表示本实施方式的系统整体的浓度稳定性的图。
并且，根据图7所示的表，也可以从并联地连接的三个喷嘴中确定使用哪个喷嘴。图7的表的第一行(最上侧的横行)表示喷嘴的最佳流量，图7的表的第一列(最左侧的纵列)表示与喷嘴的最佳流量相乘的比率值。并且，从图7的表的第二行第二列到第四行第四列的各单元表示将比率值与最佳流量相乘的结果的数值(流量)。
另外，在图7的表中，喷嘴的最佳流量被设定成构成等比数列(5，10，20，…)，比率值被设定成构成等差数列(0.8，1.0，1.2，1.4，…)。
图7的表表示，例如，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量是“4L”时，使用最佳流量是5L的喷嘴(第一喷嘴10)。同样地表示，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量是“28L”时，使用最佳流量是20L的喷嘴(第三喷嘴17)。基于这样的表，通过确定与流量相应的使用喷嘴，能够均衡良好地覆盖较宽的流量范围(4L～28L的范围)。
并且，在本实施方式中，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第一喷嘴10的最佳流量和第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)时，臭氧气体被供给到第一喷嘴10和第二喷嘴11，在第一喷嘴10和第二喷嘴11进行臭氧气体的溶解。另一方面，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第三喷嘴17的最佳流量(第三最佳流量)时，臭氧气体被供给到第三喷嘴17，在第三喷嘴17进行臭氧气体的溶解。这样一来，能够在与纯水的流量相应的适当的喷嘴进行臭氧气体的溶解。
并且，在本实施方式中，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第一喷嘴10的最佳流量和第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)与第三喷嘴17的最佳流量(第三最佳流量)的中间值时，臭氧气体被供给到第一喷嘴10和第二喷嘴11，在第一喷嘴10和第二喷嘴11进行臭氧气体的溶解。这样一来，能够在最佳流量较小的喷嘴(第一喷嘴10和第二喷嘴11)生成气体溶解水，因此能够提高生成气体溶解水时的气体溶解效率。
或者，当向臭氧水生成部4供给的纯水的流量接近第一喷嘴10的最佳流量和第二喷嘴11的最佳流量的合计流量(第一最佳流量+第二最佳流量)与第三喷嘴17的最佳流量(第三最佳流量)的中间值时，臭氧气体被供给到第三喷嘴17，在第三喷嘴17进行臭氧气体的溶解。这样一来，能够在最佳流量较大的喷嘴(第三喷嘴17)生成气体溶解水，因此能够减少生成气体溶解水时的压力损失。
(第二实施方式的变形例)
图8表示第二实施方式的臭氧水生成部4的变形例。如图8所示，在该变形例中，在并联地连接的三个喷嘴(第一喷嘴10、第二喷嘴11、第三喷嘴17)的后段分别串联地设有三个喷嘴(第四喷嘴19、第五喷嘴20、第六喷嘴21)。第一喷嘴10的最佳流量是例如5L，第二喷嘴11的最佳流量是例如10L，第三喷嘴17的最佳流量是例如20L。并且，第四喷嘴19的最佳流量是例如10L，第五喷嘴20的最佳流量是例如15L，第六喷嘴21的最佳流量是例如30L。
并且，如图8所示，臭氧水生成部4设有与六个喷嘴对应的六个气体阀(第一气体阀13、第二气体阀14、第三气体阀18、第四气体阀22、第五气体阀23、第六气体阀24)。臭氧水生成部4构成为，通过开闭六个气体阀(第一气体阀13～第六气体阀24)，将臭氧气体分别供给到六个喷嘴(第一喷嘴10～第六喷嘴21)。
由此，能够从六个喷嘴(第一喷嘴10～第六喷嘴21)中选择与供给到臭氧水生成部4的纯水的流量相应的适当的喷嘴来进行臭氧气体的溶解，因此能够进一步地均衡良好地覆盖较宽的流量范围。
以上，通过示例对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明的范围不限定于此，能够在发明所保护的范围内根据目的进行变更或变形。
例如，在以上的说明中，示例了使臭氧气体溶解于纯水来制造臭氧水的臭氧水制造装置，但是本发明的范围不限定于此。即，作为原料的气体不限定于臭氧气体，并且，作为原料的液体也不限定于纯水。例如，既可以使二氧化碳溶解于纯水来制造碳酸水，也可以使氮溶解于纯水来制造氮水。并且，也可以使氢溶解于纯水来制造氢水。除此之外，本发明能够应用于用于制造功能水的气体溶解。
产业上的可利用性
综上，本发明的气体溶解液制造装置具有能够提高气体溶解效率，并且提高气体溶解液的浓度的稳定性的效果，例如，用作使臭氧气体溶解于纯水来制造臭氧水的臭氧水制造装置等。

Claims (7)

1.一种气体溶解液制造装置，其特征在于，具备：
气体供给部，该气体供给部供给作为气体溶解液的原料的气体；
液体供给部，该液体供给部供给作为所述气体溶解液的原料的液体；以及
气体溶解液生成部，该气体溶解液生成部使从所述气体供给部供给的气体溶解于从所述液体供给部供给的液体，从而生成气体溶解液，
所述气体溶解液生成部具备：
第一气体溶解部，该第一气体溶解部具有第一最佳流量；
第二气体溶解部，该第二气体溶解部具有与所述第一最佳流量不同的第二最佳流量；
流量检测部，该流量检测部对从所述液体供给部供给的液体的流量进行检测；以及
控制部，该控制部基于由所述流量检测部检测出的所述液体的流量，对将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部的哪一个供给进行控制。
2.如权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部串联地连接，
所述控制部进行如下控制：
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第一气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部供给；
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一气体溶解部的最佳流量相比更接近所述第二气体溶解部的最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第二气体溶解部供给。
3.如权利要求2所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
串联地连接的所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地设置有两列，
所述第一最佳流量比所述第二最佳流量小，
所述第一气体溶解部与所述第二气体溶解部相比配置于更接近所述液体供给部的上游侧的位置。
4.如权利要求1所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，
所述控制部进行如下控制：
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第二最佳流量相比更接近所述第一最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第一气体溶解部供给；
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量相比更接近所述第二最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体和从所述液体供给部供给的液体向所述第二气体溶解部供给。
5.如权利要求4所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
所述气体溶解液生成部具备，
第三气体溶解部，该第三气体溶解部与所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部并联地连接，并具有与所述第一最佳流量和所述第二最佳流量中的任一个均不同的第三最佳流量，
所述控制部进行如下控制：
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第三最佳流量相比更接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部供给；
当由所述流量检测部检测出的流量与接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量相比更接近所述第三最佳流量时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第三气体溶解部供给。
6.如权利要求5所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
所述控制部进行如下的控制，
当由所述流量检测部检测出的流量接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量与所述第三最佳流量的中间值时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第一气体溶解部和所述第二气体溶解部供给。
7.如权利要求5所述的气体溶解液制造装置，其特征在于，
所述控制部进行如下控制，
当由所述流量检测部检测出的流量接近所述第一最佳流量和所述第二最佳流量的合计流量与所述第三最佳流量的中间值时，将从所述气体供给部供给的气体向所述第三气体溶解部供给。
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