KR20140032403A

KR20140032403A - 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법

Info

Publication number: KR20140032403A
Application number: KR1020137030369A
Authority: KR
Inventors: 히로토 도코시마; 준이치 이다
Original assignee: 쿠리타 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-07-08
Filing date: 2012-07-05
Publication date: 2014-03-14
Also published as: WO2013008721A1; JP5874223B2; CN103687820B; TW201318963A; CN103687820A; JP2013017932A; KR101974667B1; TWI538877B

Abstract

오존 농도를 저하시키지 않고 오존수를 유스 포인트에 공급하는 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법을 제공한다.
오존수를 생성하는 오존수 생성 수단 (1) 과, 오존수 생성 수단 (1) 으로부터의 오존수를 분류하는 분기점 (12, 13, 14) 이 형성된 본관 (11) 과, 분기점과 유스 포인트를 연락하는 지관 (15, 16, 17) 과, 본관 및 지관을 흐르는 오존수의 유속 저하를 방지하는 유속 유지 수단을 구비하는 오존수 공급 장치 (10). 본관 (11) 의 유로 단면적은, 분기점 (12, 13, 14) 의 상류측보다 하류측이 감소한다. 본관 (11) 의 유로 단면적의 감소분이, 분기점에서 지관으로 분류되는 오존수의 유량에 대응한다.

Description

오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법{DEVICE FOR SUPPLYING OZONE WATER AND METHOD FOR SUPPLYING OZONE WATER}

본 발명은, 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 전자 재료 등에 대해 웨트 처리를 실시하는 오존수의 오존 농도를 저하시키지 않고, 오존수 생성 장소로부터 유스 포인트 (오존수 사용 지점) 에 오존수를 공급하는 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법에 관한 것이다.

종래, 반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판 또는 포토마스크용 석영 기판 등의 기판이나 그 밖의 전자 부품의 세정은, 미국의 RCA 사 (Radio of Corporation of America Corp.) 에 의해 개발된 RCA 세정으로 대표되는 바와 같이, 고농도의 약액이나 세제 및 그것을 씻기 위한 매우 많은 양의 순수 또는 초순수를 사용하여 실시되고 있었다. 세정 공정 비용을 삭감할 목적이나 대량의 세정수의 사용을 억제하여 환경을 보전할 목적 등을 위해, 세정 기술에 대한 여러 가지 간략화의 대처가 실시되었고, 그 성과를 올려 왔다. 그 대표적인 세정 기술로서 오존이나 수소 등의 특정 가스를 용해시킨 세정수에 의한 세정 기술이 있다.

예를 들어, 순수에 오존을 용해시킨 오존수는, 용존 오존 농도가 수 ㎎/ℓ 와 같은 저농도임에도 불구하고 강한 산화력을 갖는다. 그 때문에, 오존수는 기판의 표면에 부착된 유기물이나 금속 등의 불순물을 제거하는 공정이나, 실리콘 기판의 표면에 산화 피막층을 형성하는 공정에 사용되고 있다. 이와 같은 공정에서는, 사용되는 오존의 농도가 기판 표면의 세정력이나 형성되는 막 두께에 큰 영향을 주기 때문에, 오존 농도의 관리가 매우 중요시되고 있다.

오존은 자기 분해되기 쉬워, 오존수 생성 장소와 유스 포인트의 거리가 긴 경우, 생성된 오존수를 유스 포인트까지 이송하는 도중에 오존수 중의 오존 농도가 저하되어 버린다.

유스 포인트가 복수 존재하는 경우, 오존수 생성 장소에서 생성한 오존수를 배관으로 이송하여, 유스 포인트에 순차적으로 분류 (分流) 하여 공급하는 수법이면, 오존수를 분류할 때마다 배관 내를 흐르는 오존수의 유속이 저하된다. 이 때문에, 하류측에 위치하는 유스 포인트에서는, 오존수가 도달하기까지 시간이 걸려, 유스 포인트에 오존수가 도달하였을 때에는 오존이 자기 분해되어 버려, 오존수 중의 오존 농도가 저하되어 버린다.

오존수 중의 오존 농도 저하를 방지하는 기술이 특허문헌 1, 2 에 기재되어 있다.

특허문헌 1 에서는, 순수에 오존을 용해시켜 생성한 오존수를 이송할 때에, 오존수 생성 장치에서 순수 또는 오존수에 탄산 가스 또는 유기 화합물을 용해시킴으로써 오존의 자기 분해를 억제한다. 특허문헌 2 에서는, 오존수 공급 장치의 오존수의 급수관부터 배출관까지의 임의의 위치에 약제 공급 장치를 형성하여, 아질산, 아질산염, 탄산, 탄산염, 중탄산염, 아황산, 아황산염, 중아황산염 및 히드라진으로 이루어지는 군에서 선택되는 1 또는 2 이상의 오존 분해 억제제를 첨가한다.

오존수 중의 오존 농도를 조정하여 원하는 오존 농도의 오존수를 용이하게 공급하는 기술이 특허문헌 3 ∼ 5 에 기재되어 있다.

특허문헌 3 에서는, 과잉으로 오존을 용해시킨 오존수의 농도 조정 방법에 있어서, 통수 (通水) 경로의 길이, 가온, 초음파, 자외선 또는 난류화에 의해 오존의 분해를 촉진시켜 오존 농도를 조정한다. 특허문헌 4 에서는, 오존 함유수를 유리와 접촉시켜, 오존수의 오존 농도를 조정한다.

원하는 농도의 오존수를 안정 공급하는 기술이 특허문헌 5 에 기재되어 있다. 특허문헌 5 에서는, 오존 분해 억제 물질을 존재시킨 오존수를 유스 포인트에 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서 농도 조정 수단에 의해 소정의 오존 농도로 저하시킨다.

일본 공개특허공보 2000-37695호 일본 공개특허공보 2002-18454호 일본 공개특허공보 2000-180433호 일본 공개특허공보 2000-334468호 일본 공개특허공보 2005-294377호

본 발명의 목적은, 오존수 생성 수단과 유스 포인트의 거리가 긴 경우, 및/또는 복수의 유스 포인트를 구비한 경우에, 오존수 중의 오존 농도를 저하시키지 않고 오존수를 공급할 수 있는 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법을 제공하는 것에 있다.

제 1 양태에 관련된 오존수 공급 장치는, 유스 포인트에 공급하기 위한 오존수를 생성하는 오존수 생성 수단과, 상기 오존수 생성 수단에 접속됨과 함께, 내부를 흐르는 오존수를 분류하여, 상기 유스 포인트의 수에 대응하는 분기점이 형성된 본관 (本管) 과, 상기 분기점과 상기 유스 포인트를 연락하는 지관 (枝管) 과, 상기 본관 및 상기 지관을 흐르는 오존수의 유속 저하를 방지하는 유속 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

제 1 양태에 의하면, 오존수의 유속 저하를 방지하여, 원하는 유속으로 오존수를 이송할 수 있어, 오존수 중의 오존 농도가 저하되기 전에 오존수를 유스 포인트에 공급할 수 있다. 따라서, 제 1 양태는 오존수 생성 수단과 유스 포인트의 거리가 긴 경우에 바람직하게 적용할 수 있다.

제 2 양태에서는, 상기 유속 유지 수단을, 상기 본관의 유로 단면적이 상기 분기점의 상류측보다 하류측이 감소하도록 형성하며, 또한, 상기 본관의 유로 단면적의 감소분이, 상기 분기점에서 상기 지관으로 분류되는 오존수의 유량에 대응하도록 구성한다.

제 2 양태에 의하면, 본관으로부터 오존수를 분류한 후에도 오존수의 유속 저하를 방지할 수 있다. 이 오존수 공급 장치는, 복수의 유스 포인트에 오존수의 공급용 배관인 본관으로부터 순차적으로 분류시켜 오존수를 공급시키는 경우에 바람직하게 적용할 수 있다.

제 3 양태에서는, 상기 유스 포인트에 대한 오존수의 흐름을 우회시키는 우회용 배관을, 상기 유스 포인트의 수에 대응하여 형성하고, 상기 유스 포인트 또는 상기 우회용 배관에 오존수를 흘리는 전환 수단을 형성한다.

제 3 양태에 의하면, 유스 포인트 중 어느 것에 오존수를 공급하지 않는 경우라 하더라도, 이 우회용 배관에 오존수를 흘릴 수 있다. 이 때문에, 오존수를 공급하지 않는 유스 포인트에 대응하는 본관의 분기점의 하류측에 있어서는, 본관의 유로 단면적에 적응한 유량의 오존수를 흘릴 수 있어, 오존수의 유속을 적절히 유지할 수 있다.

제 4 양태에 관련된 오존수 공급 장치에서는, 상기 유스 포인트 직전에 있어서의 상기 지관 내를 흐르는 오존수의 유속을, 적어도 30 m/분이 되도록 제어한다.

제 4 양태에 의하면, 오존수 중의 오존이 자기 분해되어 용존 오존 농도가 저하되어 버리기 전에 오존수를 유스 포인트에 공급할 수 있다.

제 5 양태에 관련된 오존수 공급 장치는, 상기 유스 포인트에 공급되는 오존수의 pH 값을 6 이하로 억제하는 pH 값 억제 수단을 구비한다.

제 5 양태에 의하면, 오존수의 pH 값을 산성으로 조정하여, 오존의 자기 분해를 억제하여, 오존수 중의 용존 오존 농도 저하를 효과적으로 방지할 수 있다.

제 6 양태에 관련된 오존수 공급 방법은, 오존수 생성 수단에 의해 생성된 오존수를, 배관에 의해 오존수가 사용되는 유스 포인트에 공급하는 오존수 공급 방법으로서, 상기 배관을 흐르는 오존수의 유속을 일정 이상으로 유지하여 상기 유스 포인트에 오존수를 공급하는 것을 특징으로 한다.

제 6 양태에 의하면, 오존수의 유속 저하를 방지하여, 원하는 유속으로 오존수를 이송할 수 있다. 오존수의 유속 저하를 방지하므로, 오존수 중의 오존 농도가 저하되기 전에 오존수를 유스 포인트에 공급할 수 있다. 제 6 양태는, 오존수 생성 수단과 유스 포인트의 거리가 긴 경우에 바람직하게 적용할 수 있다.

제 7 양태에서는, 상기 배관은, 상기 오존수 생성 수단에 접속됨과 함께, 내부를 흐르는 오존수를 분류하고, 상기 유스 포인트의 수에 대응하는 분기점이 형성된 본관과, 상기 분기점과 상기 유스 포인트를 연락하는 지관으로 구성되고, 상기 본관의 유로 단면적을 상기 분기점의 상류측보다 하류측이 감소하도록 형성하며, 또한, 상기 본관의 유로 단면적의 감소분을, 상기 분기점에서 상기 지관으로 분류되는 오존수의 유량에 대응시켜, 본관을 흐르는 오존수의 유속 저하를 방지하여 오존수를 공급한다.

제 7 양태에 의하면, 본관으로부터 오존수를 분류한 후에도 본관을 흐르는 오존수의 유속 저하를 방지할 수 있다. 제 7 양태는, 복수의 유스 포인트에, 오존수의 공급용 배관인 본관으로부터 순차적으로 분류시켜 오존수를 공급시키는 경우에 바람직하게 적용할 수 있다.

제 8 양태에서는, 상기 유스 포인트에 대한 오존수의 흐름을 우회시키는 우회용 배관을 상기 유스 포인트의 수에 대응하여 형성함과 함께, 상기 유스 포인트 또는 상기 우회용 배관에 오존수를 흘리는 전환 수단을 형성하고, 선택된 상기 유스 포인트에 대응하는 상기 전환 수단에 의해 상기 우회용 배관에 오존수를 흘려, 선택된 상기 유스 포인트에 대응하는 분기점보다 하류측의 본관을 흐르는 오존수의 유속 저하를 방지하여 오존수를 공급한다.

제 8 양태에서는, 유스 포인트 중 어느 것에 오존수를 공급하지 않는 경우라 하더라도, 우회용 배관에 오존수를 흘릴 수 있다. 이 때문에, 오존수를 공급하지 않는 유스 포인트에 대응하는 본관의 분기점의 하류측에 있어서는, 본관의 유로 단면적에 적응한 유량의 오존수를 흘릴 수 있어, 오존수의 유속을 적절히 유지할 수 있다.

제 9 양태에 관련된 오존수 공급 방법에 있어서는, 상기 유스 포인트 직전에 있어서의 상기 지관 내를 흐르는 오존수의 유속을, 적어도 30 m/분이 되도록 제어하여 오존수를 공급한다.

제 9 양태에 의하면, 오존수 중의 오존이 자기 분해되어 용존 오존 농도가 저하되어 버리기 전에 오존수를 유스 포인트에 공급할 수 있다.

제 10 양태에 관련된 오존수 공급 방법에 있어서는, 오존수의 pH 값을 6 이하로 하여 오존수를 공급한다.

제 10 양태에 의하면, 오존수의 pH 값을 산성으로 조정하여, 자기 분해를 억제하여 오존의 용존 농도 저하를 효과적으로 방지할 수 있다.

본 발명에 관련된 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법에 의하면, 오존수 생성 수단과 유스 포인트의 거리가 긴 경우에도, 오존수를 원하는 유속으로 이송할 수 있어, 용존 오존 농도가 저하되는 것보다 전에 오존수를 공급할 수 있다.

본 발명에 관련된 오존수 공급 장치 및 오존수 공급 방법에 의하면, 복수의 유스 포인트에, 오존수를 이송하는 본관으로부터 순차적으로 분류하여 오존수를 공급하는 경우에도, 분류 후에 본관을 흐르는 오존수의 유속을 저하시키지 않고 이송할 수 있다. 그 결과, 하류측에 위치하는 유스 포인트에도 원하는 유속으로 오존수를 공급할 수 있어, 용존 오존 농도 저하를 방지한 오존수를 공급할 수 있다.

도 1 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 오존수 공급 장치의 공정 계통도이다.
도 2 는, 오존수 공급 장치를 구성하는 본관 및 지관을 나타내는 일부 절결 평면도이다.
도 3 은, 오존수의 유로를 전환하는 솔레노이드 밸브의 심볼을 나타내는 설명도이다.
도 4 는, 스톱 밸브를 사용한 오존수의 유로를 전환하는 전환 수단을 나타내는 설명도이다.
도 5 는, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 오존수 공급 장치의 일부를 나타내는 공정 계통도이다.
도 6 은, 오존수의 유로를 전환하는 솔레노이드 밸브의 심볼을 나타내는 설명도이다.
도 7 은, 스톱 밸브를 사용한 오존수의 유로를 전환하는 전환 수단을 나타내는 설명도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 발명의 기술적 범위는, 이하의 기재나 도면에만 한정되는 것은 아니다.

[제 1 실시형태]

오존수 공급 장치 (10) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 오존수를 흘리기 위한 배관을 구비하고 있다. 배관은, 오존수 생성 수단 (1) 에 접속되는 본관 (11) 과, 본관 (11) 으로부터 분기되는 복수의 지관 (15, 16, 17) 으로 구성된다. 본관 (11) 에는, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 대응하는 분기점 (12, 13, 14) 이, 본관 (11) 의 상류측으로부터 하류측에 걸쳐, 상이한 위치에 형성되어 있다. 지관 (15, 16, 17) 은, 이들 분기점 (12, 13, 14) 과 유스 포인트 (21, 22, 23) 를 각각 연락하도록 형성되어 있다.

각 지관 (15, 16, 17) 으로부터 분기되는 우회용 배관 (31, 32, 33) 이 각각 형성되어 있다. 이들 우회용 배관 (31, 32, 33) 은, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 공급하지 않는 경우에 오존수를 회수 라인 (37) 에 송수한다.

＜오존수 생성 수단＞

오존수 생성 수단 (1) 은, 오존 가스 공급원인 오존 발생기 (4) 와, 물 (예를 들어 순수) 에 오존 가스를 용해시키는 오존 용해 장치 (5) 를 구비하고 있다.

오존 발생기 (4) 에는, 산소 가스 탱크 (2) 와 탄산 가스 탱크 (3) 가 접속되어, 산소 가스와 탄산 가스의 혼합 가스가 공급된다. 이 오존 발생기 (4) 는, 여러 가지 오존 발생 방식에 의해 오존을 발생시킨다. 예를 들어, 무성 방전 방식, 전기 분해 방식 또는 자외선 방식의 오조나이저를 사용하여 오존을 발생시킨다.

오존 용해 장치 (5) 는, 물 (예를 들어 순수. 초순수여도 된다.) 과, 오존 발생기 (4) 에 의해 발생된 오존 함유 가스가 공급되어, 오존수를 생성시킨다. 오존 용해 장치 (5) 에 대해서도 특별히 제한은 없고, 예를 들어, 가스 투과막을 사용하여 오존 가스를 용해시키는 방식의 장치나, 이젝터를 사용하여 고압의 순수에 오존 가스를 용해시키는 방식의 장치 등을 사용할 수 있다.

이 오존수 생성 수단 (1) 에서는, 물에 탄산 가스를 용해시켜 오존수의 pH 를 산성으로 하여, 오존수 중에서의 오존의 자기 분해를 억제하고 있다. 탄산 가스의 용해량을 제어함으로써, 오존수의 pH 가 조정된다.

이 실시형태에서는, 탄산 가스를 산소 가스와 혼합하고 있지만, 오존 가스 발생기 (4) 에서 발생된 오존 가스에 탄산 가스를 혼합해도 되고, 오존 용해 장치 (5) 로부터의 오존수에 탄산 가스를 첨가하여 용해시켜도 된다. 단, 탄산 가스는 오존의 자기 분해를 억제하기 위한 것이므로, 오존 가스를 용해시킬 때, 또는 그 이전에 물에 용해시키는 것이 바람직하다. 오존수의 pH 를 산성으로 조정하기 위해, 오존수 생성 수단 (1) 의 내부 또는 그 전후에 다른 약품 (pH 조정액) 을 사용해도 된다.

pH 를 조정한 후의 오존수는, pH 가 7 이하 특히 6 이하인 것이 바람직하고, 2 ∼ 6 인 것이 보다 바람직하다.

＜유스 포인트＞

유스 포인트 (21, 22, 23) 에서는, 공급된 오존수를 이용하여, 반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판 또는 포토마스크용 석영 기판 등의 기판이나 그 밖의 전자 부품이 세정된다. 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서는, 오존수가 공급된 처리조에 기판 등을 침지하여 처리하거나, 기판 등에 오존수의 샤워를 분무하여 처리하는 것이 실시된다. 도 1 에 나타낸 오존수 공급 장치 (10) 에서는, 3 개 지점의 유스 포인트 (21, 22, 23) 를 형성하고 있지만, 이 유스 포인트는 1 개 지점, 2 개 지점 또는 4 개 지점 이상 형성되어 있어도 된다.

＜본관 및 지관＞

본관 (11) 은, 오존수 생성 수단 (1) 으로부터의 오존수를 이송한다. 본관 (11) 에 송수용 펌프가 형성되는 것이 바람직하다. 펌프는 오존 용해 장치 (5) 의 상류측에 설치되어도 된다.

본관 (11) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 유스 포인트 (21, 22, 23) 의 수와 동일 수의 분기점 (12, 13, 14) 을 갖고, 오존수를 분류한다. 본관 (11) 은, 각 분기점 (12, 13, 14) 부근에서, 하류측을 향하여 서서히 유로 단면적이 감소하는 테이퍼 형상으로 되어 있다.

지관 (15, 16, 17) 은, 본관 (11) 의 분기점 (12, 13, 14) 과, 유스 포인트 (21, 22, 23) 를 각각 연락하고 있어, 각 분기점 (12, 13, 14) 에서 본관 (11) 으로부터 분류된 오존수를 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 송수한다.

유속 유지 수단은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 본관 (11) 을, 본관 (11) 의 유로 단면적이 분기점 (12, 13, 14) 의 상류측보다 하류측이 감소하도록 형성하며, 또한, 본관 (11) 의 유로 단면적의 감소분을, 분기점 (12, 13, 14) 에서 지관 (15, 16, 17) 으로 분류되는 오존수의 유량에 대응하도록 구성하여 실현하고 있다.

분기점 (12) 보다 상류측의 본관 (11a) 을 흘러 온 오존수의 일부가 분기점 (12) 으로부터 지관 (15) 으로 분류되어도, 분기점 (12) 하류측의 본관 (11b) 의 관 직경이 상류측의 본관 (11a) 보다 작게 되어 있으므로, 본관 (11b) 을 흐르는 오존수의 유속은 소정 범위 내가 된다.

마찬가지로 분기점 (13, 14) 으로부터 지관 (16, 17) 으로 오존수가 분류되어도, 분기점 (12, 13) 보다 하류측의 본관 (11c, 11d) 의 관 직경이 각각 더욱 작게 되어 있으므로, 본관 (11c, 11d) 에 있어서의 오존수의 유속은 소정 범위 내가 된다.

이와 같이 본관 (11) 및 지관 (15, 16, 17) 을 구성함으로써, 오존수가 본관 (11) 으로부터 지관 (15, 16, 17) 으로 분류된 후에도, 본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속 저하가 방지된다. 이 본관 (11) 의 배관 직경은, 얻고자 하는 오존수의 유속에 따라 설계된다.

본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속은, 오존수 생성 수단 (1) 과 유스 포인트 (21, 22, 23) 의 거리에 따라 제어된다. 오존수 중의 용존 오존 농도가 저하되기 전에 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서 오존수를 사용할 수 있도록, 오존수의 유속을 30 m/분 ∼ 180 m/분으로 하는 것이 바람직하고, 30 m/분 ∼ 120 m/분, 특히 40 m/분 ∼ 90 m/분으로 하는 것이 보다 바람직하다.

본관 (11) 및 지관 (15, 16, 17) 에 사용되는 배관의 재질은 한정되지 않지만, 내오존성을 갖는 배관을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 퍼플루오로알콕시불소 수지에 의해 형성된 PFA 배관 등을 사용하면 된다.

＜우회용 배관＞

우회용 배관 (31, 32, 33) 은, 오존수를, 유스 포인트 (21, 22, 23) 를 우회하여 회수 라인 (37) 에 흘리는 것이 가능하다. 우회용 배관 (31, 32, 33) 은, 각 지관 (15, 16, 17) 에 접속되어 있고, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 오존수를 공급하지 않는 경우에, 지관 (15, 16, 17) 을 흘러 온 오존수를 회수 라인 (37) 에 우회시킨다.

지관 (15 ∼ 17) 및 우회용 배관 (31 ∼ 33) 에는, 오존수를 유스 포인트 (21 ∼ 23) 에 공급하는 유로 선택과 우회용 배관 (31 ∼ 33) 에 흘리는 유로 선택을 전환하기 위한 전환 수단 (밸브) 이 형성되어 있다.

예를 들어, 3 개 지점의 유스 포인트 (21, 22, 23) 중 제 1 번째에 위치하는 유스 포인트 (21) 가 사용되지 않는 경우, 지관 (15) 을 흘러 온 오존수 전량을, 우회용 배관 (31) 으로부터 회수 라인 (37) 에 흘린다. 이와 같이, 사용하지 않는 유스 포인트 (21) 가 있는 경우에도, 우회용 배관 (31) 에 의해 오존수를 우회시켜, 본관 (11) 의 분기점 (12) 보다 하류측의 본관 (11b) 을 흐르는 오존수의 유속을 소정 범위 내로 유지한다.

마찬가지로, 다른 유스 포인트 (22 또는 23) 를 사용하지 않는 경우에도, 각각의 유스 포인트 (22, 23) 로의 지관 (16, 17) 을 흐르는 오존수 전량을, 우회용 배관 (32, 33) 으로부터 회수 라인 (37) 에 흘린다. 이로써, 본관 (11) 의 분기점 (13, 14) 보다 하류측의 본관 (11c, 11d) 에 있어서의 오존수의 유속이 일정하게 유지된다.

우회용 배관 (31, 32, 33) 의 관 직경은 지관 (15, 16, 17) 의 관 직경과 동일한 것이 바람직하다. 우회용 배관 (31, 32, 33) 의 재질은 특별히 제한되지 않지만, 내오존성을 갖는 배관을 사용하는 것이 바람직하고, 예를 들어, 퍼플루오로알콕시불소 수지에 의해 형성된 PFA 배관 등을 사용하는 것이 바람직하다.

지관 (14, 15, 16) 에 유입된 오존수 전량을 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 흘리는 유로 선택과 우회용 배관 (31, 32, 33) 에 흘리는 유로 선택을 실시하기 위한 전환 수단은, 예를 들어, 도 3 에 나타내는 솔레노이드 밸브 (40) 나 도 4 에 나타내는 스톱 밸브 (41, 42) 를 사용하여 구성된다.

도 3 에 나타내는 솔레노이드 밸브 (40) 는, 밸브 내의 스풀의 이동에 의해, 지관 (15, 16, 17) 을 흐르는 오존수 전량을 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 흘리는 상태와 우회용 배관 (31, 32, 33) 에 흘리는 상태 중 어느 것으로 전환한다. 스풀의 이동은, 솔레노이드 밸브 (40) 가 구비하는 솔레노이드에 대한 전류의 온·오프에 의해 실시된다.

도 4 에 나타내는 스톱 밸브 (41) 는, 지관 (15, 16, 17) 과 우회용 배관 (31, 32, 33) 의 분기점보다 하류측의 지관 (15, 16, 17) 에 형성되고, 스톱 밸브 (42) 는 우회용 배관 (31, 32, 33) 에 형성되어 있다. 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 대한 오존수의 공급을 정지하여, 우회용 배관 (31, 32, 33) 에 오존수를 흘리는 경우에는, 지관 (15, 16, 17) 의 스톱 밸브 (41) 를 닫음과 함께, 우회용 배관 (31, 32, 33) 의 스톱 밸브 (42) 를 연다. 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 오존수를 흘릴 때에는, 스톱 밸브 (41) 를 열림으로 하고, 스톱 밸브 (42) 를 닫힘으로 한다.

또한, 유로의 전환은, 도 3 에 나타내는 솔레노이드 밸브 (40) 나 도 4 에 나타내는 스톱 밸브 (41, 42) 를 사용한 전환 수단에는 한정되지 않고, 다른 구성의 전환 수단을 사용해도 된다.

＜오존수 공급 장치의 동작＞

이상의 오존수 공급 장치 (10) 는 이하와 같이 동작한다.

오존수 생성 수단 (1) 에 의해 생성된 오존수는 본관 (11) 에 흐른다. 이미 서술한 바와 같이, 본관 (11) 에 오존수를 흘릴 때에는, 오존수를 적어도 30 m/분의 유속으로, 바람직하게는 30 m/분 ∼ 180 m/분의 유속으로, 보다 바람직하게는 30 m/분 ∼ 120 m/분, 특히 40 m/분 ∼ 90 m/분의 유속으로 송출한다. 이 때, 오존수의 pH 값은, 7 이하 특히 6 이하로 하는 것이 바람직하고, 2 ∼ 6 으로 하는 것이 보다 바람직하다.

본관 (11) 에 송출된 오존수는, 본관 (11) 의 구간 (11a) 을 흘러, 최초의 분기점 (12) 에 도달한다. 분기점 (12) 에 도달한 오존수는, 그 일부가 지관 (15) 으로 분류되고, 잔부는 본관 (11) 의 구간 (11b) 을 흐른다.

본관 (11) 으로부터 지관 (15) 으로 분류된 오존수는 유스 포인트 (21) 에 공급된다. 공급된 오존수는, 유스 포인트 (21) 에서, 반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판 또는 포토마스크용 석영 기판 등의 기판이나 그 밖의 전자 부품의 세정에 사용된다.

지관 (15) 으로 분류되지 않은 오존수는, 분기점 (12) 을 통과하여, 구간 (11b) 에 유입된다. 분기점 (12) 부근이 완만한 테이퍼상이기 때문에, 분기점 (12) 부근에 있어서, 내부를 흐르는 오존수에 난류가 발생하는 경우가 없어, 에너지 손실로 인해 오존수의 유속이 저하되는 경우가 없다. 본관 (11) 은, 구간 (11a) 의 유로 단면적에 대해 구간 (11b) 의 유로 단면적이 작아지도록 형성되어 있으므로, 구간 (11b) 의 오존수의 유속은 소정 값 이상, 바람직하게는 30 ∼ 180 m/분, 더욱 바람직하게는 30 ∼ 120 m/분, 특히 바람직하게는 40 ∼ 90 m/분이 된다.

구간 (11b) 을 흐른 오존수는, 그 후에 분기점 (13, 14) 에 도달할 때마다, 그 일부가 지관 (16, 17) 으로 분류되고, 잔부가 본관 (11) 에 있어서의 분기점 (14) 보다 하류측의 구간 (11d) 에 흐른다.

지관 (15, 16, 17) 에는, 소정 값 이상의 유속으로 본관 (11) 을 흘러 온 오존수가, 그 유속을 유지한 채로 유입된다. 지관 (15, 16, 17) 으로 분류된 오존수는, 지관 (15, 16, 17) 을 흘러 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 공급되고, 각각의 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서 전자 부품 등의 세정에 사용된다. 분기점 (12 ∼ 14) 에서 지관 (15 ∼ 16) 으로 분류되지 않은 오존수는, 소정 값 이상의 유속으로 본관 (11) 을 흐른다.

이와 같이, 본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속 저하가 방지되기 때문에, 오존수를 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 까지 신속히 도달시킬 수 있다. 이 때문에, 오존수 중의 오존이 자기 분해를 일으키지 않고, 용존 오존 농도가 저하되기 전에 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 오존수가 공급된다.

본관 (11) 의 구간 (14d) 을 흐른 오존수는, 그 후, 회수 라인 (37) 에 합류하여 회수된다.

유스 포인트 (21, 22, 23) 중 어느 것에 오존수를 공급하지 않는 경우, 대응하는 우회용 배관 (31, 32, 33) 에 오존수를 흘려 회수 라인 (37) 에 우회시킨다.

따라서, 1 또는 2 이상의 유스 포인트에 오존수를 공급하지 않는 경우에도, 당해 유스 포인트에 대한 분기점보다 하류측의 본관 (11) 내에 있어서의 오존수의 유속을 과대로 하지 않고, 소정 범위 내로 유지할 수 있다.

이 오존수 공급 장치 (10) 를 사용하여 오존수를 공급하면, 오존수 생성 수단 (1) 과 유스 포인트 (21, 22, 23) 의 거리가 긴 경우에도, 오존수를 원하는 유속으로 이송할 수 있어, 용존 오존 농도가 저하되는 것보다 전에 오존수를 공급할 수 있다.

복수의 유스 포인트 (21, 22, 23) 에, 오존수를 이송하는 본관 (11) 으로부터 순차적으로 분류시켜 오존수를 공급하는 경우, 분류 후에 본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속을 저하시키지 않고 이송할 수 있어, 하류측에 위치하는 유스 포인트 (22, 23) 에도 원하는 유속으로 오존수를 공급할 수 있다. 오존수 공급 장치 (10) 로 오존수를 공급하는 경우, 소정의 유스 포인트 (예를 들어, 가장 상류측에 위치하는 유스 포인트 (21)) 에 오존수를 공급하지 않는 경우도 있다. 그 경우에도, 그 유스 포인트 (21) 보다 하류측에 위치하는 유스 포인트 (22, 23) 에 대해, 오존수를 원하는 유속으로 유지하여 공급할 수 있다.

[제 2 실시형태]

상기 실시형태에서는, 우회용 배관 (31 ∼ 33) 은 지관 (15 ∼ 17) 도중부터 분기되어 있지만, 본관과 지관의 분기점 또는 그 근방부터 분기되어도 된다.

이러한 실시형태의 분기점 부근의 구성의 일례를 도 5 에 나타낸다.

도 5 는, 오존수 생성 수단에 이어지는 본관 (51) 의 각 분기점 (52, 53, 54) 에, 지관 (55, 56, 57) 과 우회용 배관 (61, 62, 63) 을 접속시킨 오존수 공급 장치 (10A) 의 공정 계통도를 나타내고 있다. 이 제 2 실시형태에 사용되는 오존수 생성 수단의 구성은, 제 1 실시형태의 것과 동일하므로, 여기서는 그 설명을 생략한다.

본관 (51) 에 형성된 3 개의 분기점 (52, 53, 54) 에는, 지관 (55, 56, 57) 과, 이 지관 (55, 56, 57) 과는 별도로 형성된 우회용 배관 (61, 62, 63) 이 각각 접속되어 있다. 이들 지관 (55, 56, 57) 과 우회용 배관 (61, 62, 63) 은 그 관 직경이 서로 동일 치수로 형성된 것이 사용되어, 그 유로 단면적이 동일 값으로 설계되어 있다. 또, 이들 지관 (55, 56, 57) 및 우회용 배관 (61, 62, 63) 의 유로 단면적은, 본관 (51) 의 분기점 (52, 53, 54) 상류측의 유로 단면적에 대한 하류측의 유로 단면적의 감소분에 대응하고 있다.

분기점 (51) 보다 하류측의 본관 (51b) 의 관 직경은 분기점 (51) 보다 상류측의 본관 (51a) 의 관 직경보다 작고, 분기점 (52) 보다 하류측의 본관 (51c) 의 관 직경은 분기점 (52) 보다 상류측의 본관 (51b) 의 관 직경보다 작고, 분기점 (53) 보다 하류측의 본관 (51c) 의 관 직경은 분기점 (53) 보다 상류측의 본관 (51b) 의 관 직경보다 작다.

각 분기점 (52, 53, 54) 에는, 본관 (51) 을 흘러 온 오존수의 일부를 지관 (55, 56, 57) 또는 우회용 배관 (61, 62, 63) 중 어느 일방으로 분류시킴과 함께, 잔부를 본관 (51) 의 분기점 (52, 53, 54) 보다 하류측으로 흘리기 위한 전환 수단이 형성되어 있다.

도 6 은, 전환 수단의 일례인 솔레노이드 밸브 (70) 를 나타내고 있다. 이 솔레노이드 밸브 (70) 는, 전류를 온·오프함으로써, 솔레노이드 밸브 (70) 가 구비하는 스풀의 위치를 이동시켜, 흘러 온 오존수를 지관 (55, 56, 57) 및 본관 (51) 의 하류측에 흘리는 상태와, 우회용 배관 (61, 62, 63) 및 본관 (51) 의 하류측에 흘리는 상태의 전환이 실시된다.

도 7 은, 전환 수단인 스톱 밸브 (71, 72) 를 사용한 예를 나타내고 있다. 스톱 밸브 (71) 는, 분기점 (52, 53, 54) 에 접속된 지관 (55, 56, 57) 에 형성되고, 스톱 밸브 (72) 는 우회용 배관 (61, 62, 63) 에 형성되어 있다. 도 7 에 나타내는 전환 수단에서는, 오존수의 일부를 지관 (55, 56, 57) 으로 분류시킴과 함께 잔부를 본관 (51) 의 하류측에 흘리는 경우에는, 스톱 밸브 (71) 를 열림으로 하고, 스톱 밸브 (72) 를 닫힘으로 한다. 반대로, 오존수의 일부를 우회용 배관 (61, 62, 63) 으로 분류시킴과 함께 잔부를 본관 (51) 의 하류측에 흘리는 경우에는, 스톱 밸브 (71) 를 닫힘으로 하고, 스톱 밸브 (72) 를 열림으로 한다.

도 7 의 경우, 우회용 배관 (61, 62, 63) 의 본관 (51) 으로부터의 분기 지점은, 지관 (55, 56, 57) 의 본관 (51) 으로부터의 분기 지점 근방이면 되고, 관 축 방향으로 약간 어긋나도 된다.

우회용 배관 (61, 62, 63) 은, 회수 라인 (67) 에 접속되어 있어, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서 오존수를 사용하지 않는 경우에, 우회용 배관 (61, 62, 63) 은 오존수를 회수 라인 (67) 에 우회시킨다.

이 제 2 실시형태에 관련된 오존수 공급 장치 (10A) 에 있어서도, 본관 (51) 은, 각 분기점 (52, 53, 54) 상류측의 유로 단면적에 대해, 하류측의 유로 단면적이 작아지도록 형성되고, 그 유로 단면적의 감소분은, 지관 (55, 56, 57) 으로 분류된 오존수의 유량에 대응하여 형성되어 있다. 그 때문에, 각 분기점 (52, 53, 54) 보다 하류측의 본관 (51) 을 흐르는 오존수의 유속을 소정 범위 내로 할 수 있다. 오존수를 유스 포인트에 공급하지 않는 경우에도, 오존수를 우회용 배관 (61, 62, 63) 으로 분류하므로, 본관 (51) 에 있어서의, 오존수를 공급하지 않는 유스 포인트에 대응하는 분기점 (52, 53, 54) 의 하류측에서, 본관 (51) 을 흐르는 오존수의 유속을 과대로 하지 않고, 소정 범위 내로 할 수 있다.

실시예

이하에 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명하지만, 본 발명은, 이하의 실시예에 전혀 한정되는 것은 아니다.

또한, 이하에 설명하는 실시예 및 비교예에 있어서는, 도 1 에 나타낸 오존 발생기 (4) (스미토모 정밀 공업 (주), 무성 방전식 오존 발생기 GR-RD) 와, 오존 용해 장치 (5) (재팬 고어텍스 (주), 오존 용해막 GNK-01K) 를 사용하여 오존수를 생성하였다. 또, 용존 오존 농도는, 용존 오존계 (에바라 실업 (주), 용존 오존계 EL-700A) 를 사용하여 각각 측정하였다.

[실시예]

이 실시예에서는, 도 1 에 나타낸 본관 (11) 및 지관 (15, 16, 17) 을 구비하는 오존수 공급 장치 (10) 를 사용하였다. 유스 포인트 (21, 22, 23) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이 3 개 지점으로 하고, 유스 포인트 (21) 까지의 송수 거리를 30 m, 유스 포인트 (22) 까지의 송수 거리를 60 m, 유스 포인트 (23) 까지의 송수 거리를 90 m 로 설정하였다. 1 번째의 유스 포인트 (21) 에 대응하는 분기점 (12) 까지의 구간 (11a) 에 있어서의 본관 (11) 의 내경이 32 ㎜, 1 번째의 유스 포인트 (21) 에 대응하는 분기점 (12) 부터 2 번째의 유스 포인트 (22) 에 대응하는 분기점 (13) 까지의 구간 (11b) 의 본관 (11) 의 내경이 25 ㎜, 2 번째의 유스 포인트 (22) 에 대응하는 분기점 (13) 부터 3 번째의 유스 포인트 (23) 에 대응하는 분기점 (14) 까지의 구간 (11c) 의 본관 (11) 의 내경이 20 ㎜ 로 각각 형성된 배관을 사용하였다.

오존 발생기 (4) 에 산소 가스와 탄산 가스의 혼합 가스를 공급하여 오존 가스를 발생시키고, 발생시킨 오존 가스를 오존 용해 장치 (5) 인 오존 용해막에 도입하여, 순수에 오존을 용해시켜 오존수를 생성하였다. 오존 용해 장치 (5) 의 출구에 있어서의 용존 오존 농도는 25 ㎎/ℓ 였다. 생성된 오존수의 pH 값은 5였다.

각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서는, 적어도 용존 오존 농도가 20 ㎎/ℓ 인 것이 필요하기 때문에, 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 도달하였을 때의 용존 오존 농도의 목표치는 20 ㎎/ℓ 이다.

생성한 오존수는 송수량 35 ℓ/분으로 본관 (11) 에 송출하고, 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 있어서의 오존수의 사용량을 1 개 지점당 10 ℓ/분으로 하였다.

본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속은 다음의 식 (1) 로 산출한다.

배관 유속 (LV) (m/분) ＝ 송수량 (㎥/분)/배관 단면적 (㎡) … (1)

이 식 (1) 에, 송수량＝0.035 (㎥/분), 배관 단면적＝16²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11a) 에 있어서의 배관 유속을 구하면, 약 43.5 m/분이 된다.

마찬가지로, 식 (1) 에, 송수량＝0.035－0.010＝0.025 (㎥/분), 배관 단면적＝12.5²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11b) 에서의 배관 유속을 구하면, 약 51.0 m/분이 된다. 또, 식 (1) 에, 송수량＝0.025－0.010＝0.015 (㎥/분), 배관 단면적＝10²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11c) 에서의 배관 유속을 구하면, 약 47.8 m/분이 된다.

각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 있어서의 오존수의 용존 오존 농도 측정 결과는, 1 번째의 유스 포인트 (21) 에서는 24 ㎎/ℓ, 2 번째의 유스 포인트 (22) 에서는 24 ㎎/ℓ, 3 번째의 유스 포인트 (23) 에서는 23 ㎎/ℓ 였다.

이와 같이, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 있어서의 용존 이온 농도를 측정한 결과, 공급된 오존수의 용존 오존 농도 저하가 억제되어, 용존 오존 농도가 목표치 이상인 것을 확인할 수 있었다.

[비교예]

이 비교예에서는, 본관 (11) 의 내경을 모든 구간에서 32 ㎜ 로 형성한 것 이외에는, 도 1 에 나타낸 오존수 공급 장치 (10) 와 동일한 오존수 공급 장치 (10) 를 사용하여, 동일한 수법에 의해 측정을 실시하였다. 실시예와 동일하게, 유스 포인트 (21, 22, 23) 는 3 개 지점으로 하고, 유스 포인트 (21) 까지의 송수 거리를 30 m, 유스 포인트 (22) 까지의 송수 거리를 60 m, 유스 포인트 (23) 까지의 송수 거리를 90 m 로 설정하였다. 오존수의 생성 및 생성된 오존수의 용존 오존 농도 (25 ㎎/ℓ) 도 실시예와 동일하게 하였다.

생성한 오존수는 송수량 35 ℓ/분으로 본관 (11) 에 송출하고, 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서의 오존수의 사용량을 1 개 지점당 10 ℓ/분으로 하였다.

식 (1) 에, 송수량＝0.035 (㎥/분), 배관 단면적＝16²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11a) 에서의 배관 유속을 구하면, 약 43.5 m/분이 된다. 이 점은, 상기 서술한 실시예와 동일하다.

이에 대해, 식 (1) 에, 송수량＝0.035－0.010＝0.025 (㎥/분), 배관 단면적＝16²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11b) 에서의 배관 유속을 구하면, 약 31.1 m/분이 된다. 또, 식 (1) 에, 송수량＝0.025－0.010＝0.015 (㎥/분), 배관 단면적＝16²×3.14×10^-6 (㎡) 을 대입하여, 구간 (11c) 에서의 배관 유속을 구하면, 약 18.7 m/분이 된다.

이와 같은 조건하에서 각 오존수 사용 영역에 있어서의 용존 오존 농도를 측정한 결과, 1 번째의 유스 포인트 (21) 에서는 24 ㎎/ℓ, 2 번째의 유스 포인트 (22) 에서는 22 ㎎/ℓ, 3 번째의 유스 포인트 (23) 에서는 18 ㎎/ℓ 였다.

이와 같이, 비교예에서는, 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서의 용존 이온 농도를 측정한 결과, 하류측의 유스 포인트에서의 용존 오존 농도가 순차적으로 저하되어 버리는 것을 알 수 있다. 3 번째의 유스 포인트에서는, 용존 오존 농도가 18 ㎎/ℓ 용존 오존 농도까지 저하되어 버려, 목표치인 20 ㎎/ℓ 이상으로 할 수 없었다.

실시예 및 비교예의 배관 유속을 표 1 에 나타내고, 용존 오존 농도를 표 2 에 나타낸다.

표 1 로부터 분명한 바와 같이, 본관 (11) 의 배관 직경이 분기점을 통과할 때마다 순차적으로 작아지도록 형성된 배관을 사용한 실시예에서는, 배관 직경을 작게 하지 않고 그대로의 크기로 형성된 배관을 사용한 비교예에 비해, 본관 (11) 을 흐르는 오존수의 유속 저하가 방지되어 있다. 그리고, 표 2 에 나타내는 바와 같이, 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에서의 오존수의 용존 오존 농도는, 실시예에 있어서는, 모든 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 있어서, 목표치인 용존 오존 농도 20 ㎎/ℓ 이상으로 할 수 있었다. 이에 반해, 비교예에 있어서는, 각 유스 포인트 (21, 22, 23) 에 있어서의 용존 오존 농도가, 오존수의 이송 거리가 길어짐에 따라 저하되어 버려, 3 번째의 유스 포인트 (23) 에서는, 용존 오존 농도가 18 ㎎/ℓ 까지 저하되어 있어, 목표치인 용존 오존 농도 20 ㎎/ℓ 를 하회하였다.

이 점에서, 실시예에 관련된 오존수 공급 장치를 적용함으로써, 오존수의 유속을 저하시키지 않고 일정치 이상의 유속으로 오존수를 공급할 수 있고, 오존수의 용존 오존 농도 저하를 효과적으로 방지할 수 있는 것을 알 수 있었다.

본 발명을 특정 양태를 사용하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 의도와 범위를 벗어나지 않고 여러 가지 변경이 가능한 것은 당업자에게 분명하다.

또한, 본 출원은, 2011년 7월 8일자로 출원된 일본 특허 출원 (일본 특허출원 2011-151832) 에 기초하고 있고, 그 전체가 인용에 의해 원용된다.

Claims

오존수를 유스 포인트에 공급하는 오존수 공급 장치로서, 오존수를 생성시키는 오존수 생성 수단과,
그 오존수 생성 수단으로부터의 오존수가 흐르는 본관 (本管) 과,
그 본관 도중의 복수 지점에 형성된, 그 본관 내의 오존수를 분류 (分流) 시키는 분기점과,
그 분기점과 유스 포인트를 연락하는 지관 (枝管) 을 갖는 오존수 공급 장치에 있어서,
가장 하류측의 그 분기점보다 상류측의 본관 내의 전역에 있어서 오존수의 유속이 소정 값 이상이도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항에 있어서,
가장 하류측의 상기 분기점보다 상류측의 본관 내의 전역에 있어서 오존수의 유속을 소정 범위 내로 하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
그 분기점보다 하류측의 본관의 유로 단면적이 상류측의 유로 단면적보다 작은 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 3 항에 있어서,
본관의 상기 분기점 부근에, 본관의 관 직경이 상류측으로부터 하류측을 향해 서서히 작아지는 테이퍼부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 지관은 상기 테이퍼부 또는 그 근방에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지관으로부터, 오존수를, 상기 유스 포인트를 우회하여 회수 라인에 흘리기 위한 우회용 배관이 분기되어 있고,
그 본관으로부터 그 지관 내에 유입되어 온 오존수 전량을 유스 포인트에 흘리는 유로 선택과 우회용 배관에 흘리는 유로 선택을 전환하는 유로 선택 수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분기점 부근으로부터, 오존수를, 상기 유스 포인트를 우회하여 회수 라인에 흘리기 위한 우회용 배관이 분기되어 있고,
그 본관으로부터 그 분기점에 흘러 온 오존수의 일부를 상기 지관에만 흘리는 유로 선택과 우회용 배관에만 흘리는 유로 선택을 전환하는 유로 선택 수단이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
가장 하류측의 분기점보다 상류측의 상기 본관 내의 오존수의 유속이 30 ∼ 180 m/분인 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 오존수의 pH 를 6 이하로 하는 pH 조정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 오존수 공급 장치.
오존수 생성 수단에 의해 생성된 오존수를 배관에 의해 유스 포인트에 공급하는 오존수 공급 방법에 있어서,
상기 배관을 흐르는 오존수의 유속을 소정 값 이상으로 하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 방법.
제 10 항에 있어서,
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 오존수 공급 장치에 의해 오존수를 공급하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급 방법.