JP2009284813A - 微生物検出方法、微生物検出装置、およびこれを用いたスラリー供給装置 - Google Patents
微生物検出方法、微生物検出装置、およびこれを用いたスラリー供給装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の微生物検出装置は、管体内を流動する被測定液に、第1の波長の光を照射する発光部204と、第1の波長の光の微生物による透過量と微生物以外の固形物による透過量を検出する受光部205と、被測定液に、第2の波長の光を照射する発光部(204)と、第2の波長の光の微生物以外の固形物の透過量を検出する受光部(205)と、第1の波長の光の照射による微生物と微生物以外の固形物の透過量と、第2の波長の光の照射による微生物以外の固形物の透過量との差を演算する演算手段206を備え、演算手段206で演算した前記透過量の差によって微生物の存在を検出することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の微生物検出方法、微生物検出装置とこれを用いた実施例1のスラリー供給装置を図1〜図10を参照しながら説明する。図1は本発明のスラリー供給装置の基本構成図、図2は図1中の微生物検出装置の基本構成図、図3は微生物検出装置の受光部からの出力信号(光透過量)の例を示すグラフ、図4は純水供給による砥粒分散液を排出する洗浄時の第1ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図、図5はTMAH液を供給する洗浄時の第2ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図、図6は窒素ガス供給によるTMAH液を排出する洗浄時の第3ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図、図7は過酸化水素水を供給する洗浄時の第4ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図、図8は純水供給による過酸化水素水を排出する洗浄時の第5ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図、図9は窒素ガス供給による純水を排出する洗浄時の第6ステップの状態を示すスラリー供給装置の構成図である。図10は本発明の他のスラリー供給装置の基本構成図である。
微生物検出装置による微生物の検出に基づき、前記殺菌手段を駆動する。
このため付着、繁殖した微生物を取り除く必要が生じる。
砥粒分散液供給ライン7に付着、繁殖した微生物の除去、洗浄を、複数の研磨原液の混合比率が研磨装置における研磨性能に悪影響を与えない許容範囲内の所定期間ごとに行ってもよい。
以下、本発明の実施例2のスラリー供給装置を図11〜図18を参照しながら説明する。
2 砥粒分散液
3 窒素ガス供給ライン
4 開閉弁
5 着脱部材
6 砥粒分散液供給管
7 砥粒分散液供給ライン
7a 検出ライン
8 開閉弁
9 屈曲部
10 三方切換弁
11 スラリー混合貯留容器
12 スラリー(混合研磨液)
13 過酸化水素水容器
14 過酸化水素水
15 窒素ガス供給ライン
16 開閉弁
17 着脱部材
18 供給管
19 過酸化水素水供給ライン
20 開閉弁
21 純水供給ライン
22 純水分岐ライン
23 開閉弁
24 循環ライン
24a 検出ライン
25 ポンプ
26 スラリー供給ライン
27 開閉弁
28 スラリー混合貯留容器
29 スラリー
30 循環ライン
30a 検出ライン
31 ポンプ
32 スラリー供給ライン
33 ポンプ
34 研磨装置
35 スラリー供給ライン
36 ポンプ
37 研磨装置
38 TMAH液容器
39 TMAH液
40 TMAH液供給ライン
41 三方切換弁
42 開閉弁
43 三方切換弁
44 洗浄液供給ライン
45 窒素ガス供給ライン
46 開閉弁
47 分岐ライン
48 開閉弁
49 過酸化水素水容器
50 過酸化水素水
51 過酸化水素水供給ライン
52 窒素ガス供給ライン
53 開閉弁
54 分岐ライン
55 開閉弁
56 分岐ライン
57 開閉弁
58 受け容器
59 受け容器
60 受け容器
61 砥粒分散液容器
62 砥粒分散液
63 窒素ガス供給ライン
64 開閉弁
65 着脱部材
66 供給管(砥粒分散液供給ライン)
67 砥粒分散液供給ライン
68 流量計
69 開閉弁
70 混合器
71 過酸化水素水容器
72 過酸化水素水
73 窒素ガス供給ライン
74 開閉弁
75 着脱部材
76 供給管
77 過酸化水素水供給ライン
78 流量計
79 開閉弁
80 スラリー供給ライン
81 三方切換弁
82 スラリー吐出ライン
83 研磨装置
84 TMAH液容器
85 TMAH液
86 窒素ガス供給ライン
87 開閉弁
88 分岐ライン
89 開閉弁
90 供給管
91 三方切換弁
92 三方切換弁
93 洗浄液供給ライン
94 過酸化水素水容器
95 過酸化水素水
96 過酸化水素水供給ライン
97 窒素ガス供給ライン
98 開閉弁
99 分岐ライン
100 開閉弁
101 純水供給ライン
102 開閉弁
103 受け容器
104 受け容器
105 受け容器
200 微生物検出装置
201 管体
201a 管路
202 接続部材
203 検出ライン
204 発光部
205 受光部
206 演算手段
207 制御器
208 報知手段
300 殺菌手段
400 切換弁
Claims (14)
- 流動する被測定液体中に第1および第2の異なる波長の光を照射し、前記第1の波長における光の透過量と、前記第2の波長における光の透過量との差によって、微生物の存在を検出することを特徴とする微生物検出方法。
- 管体内を流動する被測定液に、第1の波長の光を照射する発光部と、前記第1の波長の光の微生物による透過量と微生物以外の固形物による透過量を検出する受光部と、前記被測定液に、第2の波長の光を照射する発光部と、前記第2の波長の光の微生物以外の固形物の透過量を検出する受光部と、前記第1の波長の光の照射による微生物と微生物以外の固形物の透過量と、前記第2の波長の光の照射による微生物以外の固形物の透過量との差を演算する演算手段を備え、前記演算手段で演算した前記透過量の差によって微生物の存在を検出することを特徴とする微生物検出装置。
- 透過量は、流動する所定量の被測定液における積算値であることを特徴とする請求項2に記載の微生物検出装置。
- スペクトルアナライザーで第1の波長の光および第2の波長の光の透過量を測定することを特徴とする請求項2または3に記載の微生物検出装置。
- 第1の波長の光を紫外線とし、第2の波長の光を赤外線とした請求項2〜4のいずれか1項に記載の微生物検出装置。
- 微生物の存在を報知する報知手段を備えたことを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の微生物検出装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至るいずれかの部位の微生物を検出する請求項2〜6のいずれか1項に記載の微生物検出装置を備えたことを特徴とするスラリー供給装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至る複数の部位に、微生物検出装置を備えたことを特徴とする請求項7に記載のスラリー供給装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至る複数の部位から、前記研磨原液またはスラリーを微生物検出装置に導出させることを特徴とする請求項7に記載のスラリー供給装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至る少なくとも一部の部位に、微生物を殺菌する殺菌手段を備え、微生物検出装置による微生物数の検出に基づき、前記殺菌手段を駆動することを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載のスラリー供給装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至る少なくとも一部の部位を洗浄する洗浄手段を備え、微生物検出装置による微生物数の検出値に基づき、前記研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置への供給ラインに至る少なくとも一部の部位を洗浄することを特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載のスラリー供給装置。
- 研磨原液の供給ラインから前記複数の研磨原液の混合研磨原液であるスラリーの研磨装置に至る供給ラインの少なくとも一部に、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド(TMAH)液を供給して排出後、過酸化水素水を供給して排出することを特徴とする請求項11に記載のスラリー供給装置。
- テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液を供給し、所定時間供給ラインに滞留させることを特徴とする請求項12に記載のスラリー供給装置。
- 過酸化水素水を供給し、所定時間供給ラインに滞留させることを特徴とする請求項12または13に記載のスラリー供給装置。
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