JP6939043B2 - 処理液供給装置 - Google Patents
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Description
しかしながらポンプからノズルにレジストを吐出する時間は例えば2、3秒程度であり、ポンプのサイクルタイムが例えば30秒前後であることからから見れば、大部分の時間は待ち時間であって、異物の検出を行う時間は僅かである。レーザ光による透過部の異物の検出が、透過部の断面全体に亘って検出できないことも考慮すると、ポンプのサイクルタイムに対する検出時間の比率を高めることにより検出精度の向上が期待できる。
前記処理液供給路の一部における、前記バルブが含まれない流路を迂回するバイパス流路と、
前記一部の流路の両端について、前記吐出ポンプに近い側を上流端、遠い側を下流端と呼ぶとすると、前記一部の流路の上流端から当該一部の流路を介して当該一部の流路の下流端に向かい、更に前記バイパス流路を介して当該一部の流路の上流端に戻る処理液の循環流を形成するために、前記バイパス流路に設けられた液駆動部と、
前記循環流が形成される部位に設けられ、処理液中の異物または成分を検出するための検出領域を形成する検出領域形成部と、
を備え、
前記液駆動部は、上下方向に伸びると共に加熱部により加熱される、前記バイパス流路の一部である加熱用流路と、前記加熱用流路よりも前記一部の流路の上流端側に配置され、上下方向に伸びると共に前記加熱用流路の上端部にその上端部が接続された、前記バイパス流路の一部である冷却用流路と、を備えたことを特徴とする。
前記処理液供給路の一部における、前記バルブが含まれない流路を迂回するバイパス流路を用い、前記一部の流路の両端について、前記吐出ポンプに近い側を上流端、遠い側を下流端と呼ぶとすると、前記一部の流路の上流端から当該一部の流路を介して当該一部の流路の下流端に向かい、更に前記バイパス流路を介して当該一部の流路の上流端に戻る処理液の循環流を形成する工程と、
前記循環流が形成される部位に設けられた検出領域形成部を通過する処理液中の異物または成分を検出する工程と、を含み、
前記処理液の循環流を形成する工程は、上下方向に伸び、前記バイパス流路の一部をなす加熱用流路に流れる処理液を加熱部により加熱する工程と、前記加熱用流路よりも前記一部の流路の上流端側に配置され、上下方向に伸びると共に前記加熱用流路の上端部にその上端部が接続された、前記バイパス流路の一部をなす冷却用流路を流れる処理液を冷却する工程と、を含むことを特徴とする。
液駆動部4について詳述すると、先ず液駆動の原理から説明する。図2に示すように同じ高さの2本の容器A1、A2を垂直に配置し、これら容器A1、A2内を同じ液体で見たし、各容器A1、A2の上端同士を、同じ液体で満たした細い配管31で接続した構成について検討する。二つの容器A1、A2内の流体の温度に違いがあった場合、流体の密度は温度によって変化するので、その下面にかかる圧力はそれぞれ下記となる。
容器A1:ρ1×hg[Pa], 容器A2:ρ2×hg[Pa]
そしてこれら容器A1、A2の下端同士を、同じ液体で満たした細い配管32で接続すると、液体が下面の圧力差(ρ2−ρ1) ×hg[Pa]を受けて循環し始める。この循環は容器A1内の液体と容器A2内の液体が混ざり、同じ重さになるまで続くため、それぞれの容器A1、A2を保温すると、駆動力を維持し循環させ続けることができ、全体として駆動力(ρ2−ρ1) ×hg[Pa]のターボポンプとして機能する。この例では、容器A1、A2は、夫々加熱用流路及び冷却用流路に相当する。
この実施形態では図5に示すようにペルチェ素子400を用い、ペルチェ素子400の一端側の発熱部43及び他端側の吸熱部44を夫々加熱用流路41を加熱する加熱部及び冷却用流路42を冷却する冷却部として構成している。更にこの例では、廃熱により暖められた市水などの廃熱水の流路45aの一部の流路を形成する流路部材45を加熱部の一部として利用している。具体的の構造例としては、ペルチェ素子400の発熱部43及び吸熱部44に沿って配管を巻回して配管コイル40を構成すると共に加熱用流路41の並びに沿って一面が形成されるように扁平な流路部材45を制作する例が挙げられる。例えば加熱用流路41と発熱部43及び流路部材45とは接触し、また冷却用流路42と吸熱部44とは接触しているが、図5では、便宜上これら部材を少し離して描いている。
この例の液駆動部4は、加熱用流路41と冷却用流路42との組を10組備えていることになり、各組ごとに、加熱用流路41内の温度(加熱用流路41内を流れるレジスト液の最高温度)と冷却用流路42内の温度(冷却用流路42内を流れるレジスト液の最低温度)との差(温度差)は、例えば30℃以内に設定される。
制御部63はコンピュータにより構成され、処理液供給装置全体の動作を制御するためのプログラムを格納したプログラム格納部を備えている。このプログラムは、コンパクトディスク、メモリカード、マグネットオプティカルディスクなどの記憶媒体を介してプログラム格納部にインストールされる。
容器A1、A2からなるポンプの内部の流体がある速度で流れた場合、配管壁による摩擦により下記の圧力損失を生じる。
(64/Re)・(L/d)・(ρv2/2)=(64/π) ・μ・(2Nh/d4) ・F
ただし、Reはレイノルズ数、Lは配管長、dは配管内径、vは流速、μは粘度、Fは流量である。
N・H・(ρ2−ρ1)・g= N・H・(64/π) ・μ・(2/ d4) ・F+P
F=(π・g/128) ・{(ρ2−ρ1)/ μ}・d4−(π/128) ・(1/μ)・(P ・d4/ N・H)
ただしHは加熱用流路及び冷却用流路の高さである。
図7は、上記の式及び下記の物性値を用いて配管内径と流量との関係を求めたグラフである。
π 3.1415927
g 9.80665 m/s2
温度差 30 K
μ 0.001 Pa s
体積膨張率 0.0006
ρ1 982.31827 kg/m3
ρ2 1000 kg/m3
P 80 Pa
N 10
H 0.2 m
図7のグラフから分かるように、ポンプ外部に80Pa程度の圧力損失があっても、温度差30K、配管高さ20cm、巻き数10回程度とすれば、内径3mmの配管で0.2ml以上の流量を得ることができることがわかる。
この例の異物検出部は、レジスト液中の異物にレーザ光が照射されたときの散乱光を受光素子55により検出することで異物の数を測定することができる。
そして異物検出部において、例えば単位時間当たりの異物の数が閾値を越えると、アラームが発生し、あるいは更にレジスト液供給装置及びスピンチャック101が停止する。ここで吐出ポンプ14が動作して0.3ml/sのレジスト液が前記一部の流路22aに既述の循環流に加えて流れるが、これにより例えば5cmの長さの前記一部の流路22a生じる圧力損失は例えば7Pa程度である。
更にダイアフラムポンプなどの容量ポンプは、液の吐出時には吸い込みが行われず、また液の吸い込み時には吐出が行われないことから、循環ポンプとして使用すると吐出ポンプ14からレジスト液を吐出したときに流量が設定値から外れてしまうので、液処理が不安定になる不利益がある。この観点からも上述実施形態で使用している液駆動部3は、循環ポンプとして極めて適切であると言える。
また加熱用流路の加熱部及び冷却用流路の冷却部は、ペルチェ素子を用いた構成に限らない。加熱部としては例えば加熱用流路を囲むようにヒータを設ける構成であってもよいし、赤外線ランプにより加熱用流路を加熱するようにしてもよい。冷却部としては、例えば冷凍機を用いて冷媒の温度を調整できる冷媒流路であってもよいし、あるいは強制的に冷却するものに限らず自然冷却できる構成であってもよい。
12 フィルタ
14 吐出ポンプ
16 ノズル
V1〜V7 バルブ
22 レジスト液供給路
22a 一部の流路
P1 一部の流路の上流端
P2 一部の流路の下流端
3 バイパス流路
4 液駆動部
A1、A2 容器
40 配管コイル
41 加熱用流路
42 冷却用流路
400 ペルチェ素子
43 発熱部
44 吸熱部
51 異物検出部の光透過部
63 制御部
Claims (8)
- 吐出ポンプから吐出した、液処理を行うための処理液を、バルブの開動作により処理液供給路及びノズルを介して被処理体に供給する処理液供給装置において、
前記処理液供給路の一部における、前記バルブが含まれない流路を迂回するバイパス流路と、
前記一部の流路の両端について、前記吐出ポンプに近い側を上流端、遠い側を下流端と呼ぶとすると、前記一部の流路の上流端から当該一部の流路を介して当該一部の流路の下流端に向かい、更に前記バイパス流路を介して当該一部の流路の上流端に戻る処理液の循環流を形成するために、前記バイパス流路に設けられた液駆動部と、
前記循環流が形成される部位に設けられ、処理液中の異物または成分を検出するための検出領域を形成する検出領域形成部と、
を備え、
前記液駆動部は、上下方向に伸びると共に加熱部により加熱される、前記バイパス流路の一部である加熱用流路と、前記加熱用流路よりも前記一部の流路の上流端側に配置され、上下方向に伸びると共に前記加熱用流路の上端部にその上端部が接続された、前記バイパス流路の一部である冷却用流路と、を備えたことを特徴とする処理液供給装置。 - 前記液駆動部は、前記加熱用流路及び冷却用流路の組の複数が直列に接続され、互に隣接する一の組及び他の組のうち、前記一部の流路の下流端側に位置する一の組の冷却用流路の下端部は、他の組の加熱用流路の下端部に接続されていることを特徴とする請求項1記載の処理液供給装置。
- 前記加熱用流路及び冷却用流路の組における前記加熱用流路の温度と冷却用流路の温度との温度差は、30℃以内に設定されることを特徴とする請求項2記載の処理液供給装置。
- 前記加熱用流路及び冷却用流路の組の複数は、互に前後方向に配置されると共に、加熱用流路の各々は左右のうちの一方に配置され、冷却用流路の各々は左右のうちの他方に配置されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
- 前記加熱部及び前記冷却用流路を冷却するための冷却部は、ペルチェ素子により構成されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の処
理液供給装置。 - 前記循環流が流れる部位に設けられた流量計と、前記流量計の流量検出値と目標流量値に対応する値とに基づいて前記ペルチェ素子の供給電流を制御する電流制御部と、を備えたことを特徴とする請求項5記載の処理液供給装置。
- 前記冷却用流路は、処理液が自然冷却されるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
- 吐出ポンプから吐出した、液処理を行うための処理液を、バルブの開動作により処理液供給路及びノズルを介して被処理体に供給する工程と、
前記処理液供給路の一部における、前記バルブが含まれない流路を迂回するバイパス流路を用い、前記一部の流路の両端について、前記吐出ポンプに近い側を上流端、遠い側を下流端と呼ぶとすると、前記一部の流路の上流端から当該一部の流路を介して当該一部の流路の下流端に向かい、更に前記バイパス流路を介して当該一部の流路の上流端に戻る処理液の循環流を形成する工程と、
前記循環流が形成される部位に設けられた検出領域形成部を通過する処理液中の異物または成分を検出する工程と、を含み、
前記処理液の循環流を形成する工程は、上下方向に伸び、前記バイパス流路の一部をなす加熱用流路に流れる処理液を加熱部により加熱する工程と、前記加熱用流路よりも前記一部の流路の上流端側に配置され、上下方向に伸びると共に前記加熱用流路の上端部にその上端部が接続された、前記バイパス流路の一部をなす冷却用流路を流れる処理液を冷却する工程と、を含むことを特徴とする処理液供給装置の運転方法。
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