CN110090514A - 气体净化装置、气体净化方法以及输送加热装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供气体净化装置、气体净化方法以及输送加热装置。使从混合有通过加热而气化后的物质的气体中减少物质的装置小型化。气体净化装置包括：压缩部，其将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩；以及膨胀部，其使利用压缩部压缩后的气体膨胀，从而使所述物质液化，以形成为获得减少了物质的气体。

Description

气体净化装置、气体净化方法以及输送加热装置

技术领域

本发明涉及应用于例如回流焊装置的气体净化装置、气体净化方法以及输送加热装置。

背景技术

有在使用如下这样的回流焊装置：预先对电子部件或印刷线路板供给焊料组合物，利用输送机向回流焊炉中输送基板。在回流焊装置的加热区域，对基板吹送热风，从而使焊料组合物内的焊料熔融而对基板的电极和电子部件进行锡焊。焊料组合物含有粉末焊料、溶剂以及焊剂。焊剂含有松香等作为成分，起到涂敷剂的作用，即，用于去除被锡焊的金属表面的氧化膜，并防止在锡焊时因加热而再次氧化，减小焊料的表面张力而改善湿润性。

该焊剂通过加热而液化，进而，一部分气化。因而，由大气或非活性气体与气化后的物质混合而成的气体(以下，适当地称为焊剂烟雾)充满于作为加热室的炉内。焊剂烟雾易于附着于温度低的部位，通过冷却而液化，会自所附着的部位滴下，因此有时也会附着于基板的上表面，有损基板的性能。另外，也存在因在炉内堆积于温度下降的部分等而对回流焊工序造成较大的影响的情况。因而，要减少以及去除回流焊炉内的焊剂。

在以往的焊剂减少方法中，将作为加热室的炉内的焊剂烟雾引导到炉外的焊剂回收装置，在焊剂回收装置将焊剂烟雾冷却，从而使焊剂成分液化而回收焊剂，使被回收了焊剂后的气体返回到炉内。例如，在专利文献1中记载了以下事项，即，从回流焊炉到焊剂回收装置，防止焊剂烟雾被冷却而使管被固态物堵塞的状况。即，以将焊剂烟雾保持为液化温度以上的状态向焊剂回收装置引导焊剂烟雾。

在专利文献2中记载了以下事项，即，利用由冷冻机形成的冷却装置将被输送到冷却部的焊剂烟雾冷却而使焊剂成分液化，使焊剂成分附着于霜的表面而去除。此外，在专利文献3中记载了一种利用具有双重管构造的外部气体流通路径将焊剂烟雾冷却的结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：WO2006/082959

专利文献2：日本特开2007-281394号公报

专利文献3：日本特开2008-294332号公报

发明内容

发明要解决的问题

对于专利文献1、专利文献2以及专利文献3所记载的焊剂去除装置而言，焊剂烟雾的回收能力依赖于冷却能力，因此焊剂回收装置大型化，另外为了提高冷却能力，需要冷机等设备，存在成本升高以及装置面积扩大等很多问题。

因而，本发明的目的在于，提供一种不会产生该问题的气体净化装置、气体净化方法以及输送加热装置。

用于解决问题的方案

本发明的气体净化装置包括：压缩部，其将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩；以及膨胀部，其使利用压缩部压缩后的气体膨胀，从而使所述物质液化，以形成为获得减少了物质的气体。

另外，本发明的气体净化方法将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩，使压缩后的气体膨胀，从而使物质液化，获得减少了物质的气体。

此外，本发明的输送加热装置具有用于加热被加热物的加热室，利用输送装置使被加热物在加热室通过，其中，

自加热室向气体净化装置供给由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体，

气体净化装置包括：压缩部，其将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩；以及膨胀部，其使利用压缩部压缩后的气体膨胀，从而使物质液化，以形成为获得减少了物质的气体。

发明的效果

采用至少一个技术方案，与通过冷却使物质液化的已有的装置或方法相比，能使装置小型化。另外，并不一定限定于这里记载的效果，也可以是本发明中记载的任一个效果。另外，并不利用以下的说明中的所例示的效果来限定地解释本发明的内容。

附图说明

图1是用于说明以往的气体净化装置的状态转变图。

图2是用于说明以往的气体净化装置的示意图。

图3是用于说明根据本发明的气体净化装置的状态转变图。

图4是用于说明根据本发明的气体净化装置的示意图。

图5是表示能够应用本发明的回流焊装置的概略的示意图。

图6是表示回流焊时的温度曲线的例子的图表。

图7是表示本发明的一实施方式的整体的结构的一个例子的示意图。

图8是表示本发明的一实施方式的整体的结构的另一个例子的示意图。

图9是表示回流焊装置的一个加热区域的结构的一个例子的剖视图。

图10是表示本发明的一实施方式的内部构造的主视图。

图11是用于说明本发明的第1变形例的示意图。

图12是用于说明本发明的第2变形例的示意图。

图13是用于说明本发明的第3变形例的示意图。

图14是用于说明本发明的第4变形例的示意图。

图15是用于说明本发明的第5变形例的示意图。

图16是用于说明本发明的实验装置的框图。

附图标记说明

11、搬入口；12、搬出口；15、上部炉体；19、蓄热构件；31、输送机；35、下部炉体；40、静电式集尘机；41、焊剂烟雾净化装置；42、涡轮风扇的叶片；43、路径形成部；45、底面板；46、48、50、分隔板；47、吹出口；49、51、流出口；P1、第1路径；P2、第2路径；P3、第3路径；63、焊剂回收容器。

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式。另外，以以下的顺序进行说明。

<1.焊剂烟雾净化的原理>

<2.本发明的一实施方式>

<3.变形例>

另外，以下说明的一实施方式为本发明的较佳的具体例，附加了在技术上优选的各种各样的限定，但在以下的说明中，只要没有特别限定本发明的记载，就不将本发明的范围限定于这些实施方式。

<1.焊剂烟雾净化的原理>

如图1所示，在以往的焊剂烟雾净化工序中，自回流焊装置的炉中吸入焊剂烟雾(步骤S1)，接着将焊剂烟雾冷却(步骤S2)。焊剂在常温下为液体或固体，因此如图2所示，气氛气体中含有的焊剂分子通过冷却而液化(或冷凝)。

图2示意地表示焊剂的分子和焊剂的分子所存在的空间的大小，焊剂分子彼此通过液化而结合在一起。液化后的焊剂由回收容器等回收。然后，将净化后的气体吹出到炉内(步骤S3)。反复进行上述的焊剂烟雾的吸入(步骤S1)、冷却(步骤S2)以及吹出(步骤S3)这一连串的工序。在以往的焊剂烟雾的净化工序中，不进行压缩或膨胀的操作。

参照图3和图4说明根据本发明的焊剂烟雾的净化。自回流焊炉吸入焊剂烟雾(步骤S11)，接着，通过加压使焊剂烟雾压缩(步骤S12)。在图4中，如较小的黑圆点所示，通过压缩而新产生液化后的焊剂分子。另外，通过压缩使分子间彼此碰撞的机会增多，使分子彼此结合，从而发生液化。

接着，进行膨胀的工序(步骤S13)。该膨胀优选为大致隔热膨胀。隔热的意思是指没有热的输出输入的状态。但实际上，也可以有一些热的输出输入，因此设为大致隔热膨胀。通过隔热膨胀使焊剂烟雾的温度下降而冷却，结果使焊剂液化。液化后的焊剂由回收容器等回收。然后，将净化后的气体吹出到炉内(步骤S14)。并且，循环进行从焊剂烟雾的吸入(步骤S11)到吹出(步骤S14)的动作。

这样，在本发明中，焊剂的去除或回收能力不依赖于冷却能力，因此能够防止焊剂烟雾净化装置大型化，另外，能够不需要用于提高冷却能力的设备，能够防止成本升高以及装置面积的扩大。另外，在本发明中，并不排除与冷却组合的方式。也就是说，本发明并非只通过冷却来进行气体的净化。

<2.本发明的一实施方式>

“回流焊装置的一个例子”

图5表示能够应用本发明的以往的回流焊装置的概略的结构。将在印刷线路板的两面搭载有表面安装用电子部件的被加热物放置于输送机之上，自搬入口11搬入到回流焊装置的炉内。输送机以预定速度沿箭头方向(在面向图5观察时是自左向右)输送被加热物，自搬出口12取出被加热物。输送机的输送方向设为水平方向。

沿从搬入口11到搬出口12的输送路径将回流焊炉依次分成例如9个区域Z1～Z9，这些区域Z1～Z9呈直线排列状排列。自入口侧起的7个区域Z1～Z7为加热区域，出口侧的2个区域Z8、Z9为冷却区域。与冷却区域Z8、Z9相关联地设有强制冷却单元14。

上述的多个区域Z1～Z9依照回流焊时的温度曲线控制被加热物的温度。在图6中表示温度曲线的一个例子的概略。横轴为时间，纵轴为被加热物例如安装有电子部件的印刷线路板的表面温度。最初的区间为通过加热而温度上升的升温部R1，接下来的区间为温度大致恒定的预热(preheat)部R2，接下来的区间为正式加热部R3，最后的区间为冷却部R4。

升温部R1是将基板从常温加热至预热部R2(例如150℃～170℃)的期间。预热部R2是以下这样的期间，即：进行等温加热，使焊剂活性化，去除电极和焊料粉的表面的氧化膜，另外消除印刷线路板的加热不均。正式加热部R3(例如峰值温度为220℃～240℃)是使焊料熔融并完成接合的期间。在正式加热部R3，需要升温至超过焊料的熔融温度的温度。即使经过了预热部R2，也存在温度上升的不均，因此正式加热部R3需要进行加热直到超过焊料的熔融温度的温度。最后的冷却部R4是急速地冷却印刷线路板并形成焊料组成的期间。

在图6中，曲线1表示无铅焊料的温度曲线的一个例子。利用曲线2表示Sn-Pb共晶焊料的情况下的温度曲线。无铅焊料的熔点比共晶焊料的熔点高，因此使预热部R2和正式加热部R3处的设定温度比共晶焊料高。

在回流焊装置中，主要由区域Z1、Z2负责图6的升温部R1的温度控制。主要由区域Z3、Z4、Z5负责预热部R2的温度控制。由区域Z6、Z7负责正式加热部R3的温度控制。由区域Z8和区域Z9负责冷却部R4的温度控制。

在本发明的一实施方式中，如图7所示，例如自区域Z6导出炉内的焊剂烟雾，并经过配管32向焊剂烟雾净化装置41供给所导出的焊剂烟雾。在焊剂烟雾净化装置41，如后述那样地净化焊剂烟雾。净化后的气体经过配管33被导入区域Z6。另外，既可以自区域Z6以外的区域进行焊剂烟雾的导出，也可以使净化后的气体返回到区域Z6以外的区域。此外，也可以不是自一个区域而是自多个区域导出焊剂烟雾，并使气体返回到多个区域。

此外，如图8所示，也可以将利用焊剂烟雾净化装置41净化了的净化后的气体供给到静电式集尘机40，将利用静电式集尘机40净化了的气体经过配管33a导入区域Z6，并且经过配管33b作为工厂排气而放出。静电式集尘机40具有例如带电部和集尘部，将利用带电部而带正电或带负电的污染粒子收集于集尘部的负电极板或正电极板。另外，也可以切换使气体返回到区域Z6的状态和作为工厂排气放出的状态。收集到的粒子聚集而液化。采用静电式集尘机40，能够去除1μm以下的微粒子，因此能将气体作为工厂排气而放出。

参照图9说明作为加热装置的炉体的一个例子。在图9中表示例如区域Z6的结构。在上部炉体15与下部炉体35的相对间隙内，将在印刷线路板的两面搭载有表面安装用电子部件的被加热物W放置于输送机31上而进行输送。上部炉体15内和下部炉体35内充满着作为气氛气体的例如氮气(N₂)。上部炉体15和下部炉体35对被加热物W喷出热风(加热后的气氛气体)而加热被加热物W。另外，也可以与热风一同照射红外线。

下部炉体35包括主加热源16、副加热源17、鼓风机例如轴流式鼓风机18、蓄热构件19、热风循环管道20以及开口部21等。另外，上部炉体15例如设为与上述的下部炉体35大致同样的结构，因此省略相对应的部分的说明。作为鼓风机，也可以使用涡轮风扇和西洛克风扇等离心风扇。此外，图9所示的炉体的结构为一个例子，能够采用其他的结构。

经过开口部21对被加热物W吹送热风。主加热源16和副加热源17由例如电热加热器构成。蓄热构件19由例如铝形成，形成有许多个孔，热风经由该孔通过而被吹送到被加热物W。

利用轴流式鼓风机18使热风循环。即，使热风经由(主加热源16→蓄热构件19→开口部21→被加热物W→热风循环管道20→副加热源17→热风循环管道20→轴流式鼓风机18→主加热源16)的路径循环。

在轴流式鼓风机18的附近设有配管33，该配管33用于导入来自焊剂烟雾净化装置41的将回流焊炉内的气氛气体净化后的气体。净化后的气体经由配管33流入炉体。在焊剂烟雾净化装置41，焊剂烟雾中的焊剂被去除和回收，生成减少或去除了焊剂的净化后的气体。

“焊剂烟雾净化装置”

参照图10说明焊剂烟雾净化装置41的一个例子。焊剂烟雾净化装置41包括焊剂回收容器、鼓风机例如涡轮风扇以及设于涡轮风扇的吹出部的路径形成部。在焊剂烟雾净化装置41的下部设有支承腿61、62，相对于地面64设置焊剂烟雾净化装置41。另外，存积于焊剂烟雾净化装置41的下部的焊剂由焊剂回收容器63回收。

利用电动机(未图示)使焊剂烟雾净化装置41的涡轮风扇的叶片42沿箭头方向旋转，从而自叶片42的外周侧面吹出焊剂烟雾。被吹出的焊剂烟雾流入路径形成部43。作为一个例子，在图的纸张的背面侧配置电动机，自纸张的表面侧吸入焊剂烟雾。另外，图9表示将覆盖路径形成部43的圆形的盖卸下后的状态。

路径形成部43具有与叶片42的外周侧面同心圆状或螺旋状的路径(风的流路)。路径形成部43形成如下这样的路径：将利用涡轮风扇沿离心方向吹出的焊剂烟雾净化，并使净化后的气体经过上部的配管33返回到回流焊装置的炉内例如区域Z6。另外，液化后的焊剂由下部的焊剂回收容器63回收。

路径形成部43具有在中心安装有叶片42的圆形的底面板45，并沿底面板45的外周设有外周面板44，在底面板45上形成有多条路径。此外，多条路径之上由盖(未图示)覆盖，从而形成含有多条路径的密闭空间。路径形成部43是通过对铝、不锈钢等金属进行加工而形成的。

在涡轮风扇的叶片42的供风吹出的外周侧面缠绕有大致1周的分隔板46，形成于分隔板46的一部分的间隙设为吹出口47。分隔板46是相对于底面板45大致垂直地安装的带状的金属薄板。

将该吹出口47设为流入口，利用呈同心圆状配置的分隔板46和分隔板48形成第1路径P1。分隔板46与分隔板48连续，分隔板48在吹出口47的位置远离分隔板46并呈与分隔板46同心圆状地配置。将分隔板46与分隔板48的相对间隔设为恒定，将两者的相对空间设为路径P1。自吹出口47吹出的焊剂烟雾如箭头所示地经过第1路径P1而被引导到形成于与分隔板48的端部接近的位置的流出口49。

焊剂烟雾自利用分隔板46和分隔板48在大致1周的范围内形成的第1路径P1的流出口49流入由分隔板48和分隔板50形成的第2路径P2。分隔板50与分隔板48连续，在流出口49的位置远离分隔板48并呈与分隔板48同心圆状地配置。将分隔板48与分隔板50的相对间隔设为恒定，将两者的相对空间设为路径P2。焊剂烟雾自流出口49如箭头所示地流入路径P2。然后，焊剂烟雾如箭头所示地经过第2路径P2而被引导到形成于与分隔板50的端部接近的位置的流出口51。

使分隔板48与分隔板50的相对距离比分隔板46与分隔板48的相对距离大。分隔板46、48、50的高度彼此相等(底面板45与盖的相对距离)，因此第2路径P2的截面积大于第1路径P1的截面积。结果，在第1路径P1，焊剂烟雾被压缩，在自第1路径P1向第2路径P2切换的流出口49，焊剂烟雾隔热膨胀。隔热膨胀是指上述那样的大致隔热状态下的膨胀。因而，第1路径P1作为压缩部发挥功能，第2路径P2作为膨胀部发挥功能。

将流出口51设为流入口的第3路径P3由分隔板50和外周面板44形成。分隔板50在流出口51的位置远离分隔板50，其自由端与外周面板44的内表面接合。将分隔板50与外周面板44的相对间隔设为恒定，将两者的相对空间设为第3路径P3。自第2路径P2流入的焊剂烟雾如箭头所示，经过第3路径P3而被引导到与配管33连接的吹出口52。净化后的气体经过该配管33被导入炉内。

使分隔板50与外周面板44的相对距离比分隔板48与分隔板50的相对距离大。分隔板48、50以及外周面板44的高度彼此相等(底面板45与盖的相对距离)，因此第3路径P3的截面积大于第2路径P2的截面积。结果，在第2路径P2，焊剂烟雾被压缩，在自第2路径P2向第3路径P3切换的流出口51，焊剂烟雾隔热膨胀。因而，第2路径P2作为压缩部发挥功能，第3路径P3作为膨胀部发挥功能。即，第1路径P1、第2路径P2以及第3路径P3连续地形成，第2路径P2起到压缩部和膨胀部双方的功能。

参照图3说明的本发明的焊剂烟雾净化的工序与本发明的一实施方式的焊剂烟雾净化装置41的处理的对应关系为以下这样。

步骤S11(吸入)：自吹出口47吹出的焊剂烟雾流入路径P1。

步骤S12(压缩)：由于路径P1的截面积较小，因此焊剂烟雾被压缩。在路径P1内，焊剂分子的碰撞次数增加，从而使焊剂分子的一部分液化。

步骤S13(膨胀)：自流出口49向路径P2吹出焊剂烟雾。由于路径P2的截面积比路径P1的截面积大，因此焊剂烟雾隔热膨胀。由此，路径P2内的温度下降，进一步推进焊剂分子的液化。

在焊剂烟雾净化装置41还进行以下的处理。

步骤S13’(’表示第2次的膨胀处理)：自流出口51向路径P3吹出焊剂烟雾。由于路径P3的截面积比路径P2的截面积大，因此在自路径P2向路径P3切换时，焊剂烟雾隔热膨胀。由此，路径P3内的温度下降，进一步推进焊剂分子的液化。

步骤S14(吹出)：经过了路径P3的净化后的焊剂烟雾自流出口52经过配管33返回到炉(例如区域Z6)内。

在本发明的一实施方式中，进行(压缩(路径P1)→隔热膨胀(路径P2))及(压缩(路径P2)→隔热膨胀(路径P3))的处理，因此能够增加焊剂的回收能力。

“变形例1”

在图11中表示使焊剂烟雾的压缩及隔热膨胀进行1次的结构例。设有除吹出口47以外地覆盖涡轮风扇的叶片42的外周侧面的分隔板53，并且设有与分隔板53相对的分隔板54。在吹出口55处扩大分隔板53、54的相对间隔。该路径连续地具有压缩部和膨胀部，能够进行(压缩→隔热膨胀→吹出)的工序。

“变形例2”

如图12所示，也可以使具有缩颈部58的配管57与已有的涡轮风扇56的吹出口连接。焊剂烟雾在缩颈部58被压缩，在焊剂烟雾通过缩颈部58而进入宽阔的路径时，发生隔热膨胀。图12的例子是缩颈部为1级的例子，但也能是具有供焊剂烟雾依次通过的多级缩颈部的结构。

“变形例3”

在以上的说明中，作为吸入并吹出焊剂烟雾的装置，使用了涡轮风扇，但也能是涡轮风扇以外的结构。如图13所示，活塞72在汽缸71内上下移动，从而使汽缸71内的空间73的容积变动。相对于空间73安装吸入阀74，从而控制经由配管32供给的焊剂烟雾的吸入。另外，安装有排出阀75，从而控制经由配管33排出的净化后的气体的排出。设有回收容器63，用于将存积于汽缸71的底部的焊剂回收。

在以下的表1中表示图13所示的结构的动作。

[表1]

工序	1	2	3	4
					吸入阀	开	闭	闭	闭
排出阀	闭	闭	闭	开
					活塞	上升	下降	上升	下降
动作	吸入	压缩	膨胀	排出

如表1所示，依次进行以下的工序。

工序1：使吸入阀74打开，使排出阀75关闭。活塞72上升而将焊剂烟雾吸入到空间73内。

工序2：使吸入阀74关闭，使排出阀75关闭。活塞72下降而将空间73内的焊剂烟雾压缩。因空间73的容积的减少而使焊剂分子的发生碰撞的机会增多，从而使焊剂分子的一部分液化。

工序3：使吸入阀74关闭，使排出阀75关闭。活塞72上升而使焊剂烟雾在空间73内膨胀(优选为隔热膨胀)。通过膨胀使空间73内的温度下降，从而使焊剂分子液化。液化后的焊剂分子存积于汽缸71的底部。

工序4：使吸入阀74关闭，使排出阀75打开。活塞72下降而排出空间73内的净化后的气体。

“变形例4”

在本发明中，与通过冷却使焊剂烟雾中的焊剂液化的技术进行组合是有效的。如图14所示，相对于图10所示的焊剂烟雾净化装置41附加了空冷装置。另外，为了使涡轮风扇的叶片42旋转而设有电动机66。

与焊剂烟雾净化装置41的底面板接触或靠近地配置有散热块体81a、81b。优选是，散热块体81a、81b尽量多地覆盖底面板的表面积。散热块体81a、81b由导热性佳的金属形成，并且具有许多个散热用的叶片。设有对散热块体81a、81b鼓送风的鼓风机例如螺旋桨式鼓风机82a、82b。

与焊剂烟雾净化装置41的盖接触或靠近地配置有散热块体83a、83b。优选是，散热块体83a、83b尽量多地覆盖盖的表面。散热块体83a、83b由导热性佳的金属形成，并且具有许多个散热用的叶片。设有对散热块体83a、83b鼓送风的鼓风机例如螺旋桨式鼓风机84a、84b。利用螺旋桨式鼓风机82a、82b、84a、84b冷却散热块体81a、81b、83a、83b，从而将焊剂烟雾净化装置41内部冷却，因此能够提高焊剂的去除和回收的效率。

如图15所示，能在焊剂烟雾净化装置41内配置管85，通过使制冷剂例如水在管85内循环，将焊剂烟雾净化装置41的内部冷却。例如沿上述的路径P1～P3设置管85。由此，能够提高焊剂的去除和回收的效率。另外，图15表示省略了路径形成部43的内部结构。

此外，在本发明中，以一定的循环反复进行压缩和膨胀的处理，从而能够提高焊剂的去除和回收的效率。

“焊剂回收效果的测量”

关于上述的本发明与已有的结构，测量了焊剂回收率。在图16中表示实验装置的结构。如图16所示，在加热炉91内，加热焊剂烟雾的产生源例如焊料糊剂，从而产生焊剂烟雾。将焊剂烟雾经过配管93供给到对象装置94。对象装置94的一个为利用冷却方式回收焊剂的已有的焊剂回收装置，对象装置94的另一个为应用了本发明的焊剂烟雾净化装置。

测量在对象装置94内回收到的焊剂的量，求出焊剂回收率。来自对象装置94的被回收了焊剂后的气体经过配管95返回到加热炉91。以下表示焊剂回收率的计算方法的一个例子。

焊剂回收率(％)＝利用对象装置回收到的重量(g)/焊料糊剂挥发重量(g)×100

在表2中表示根据已有的冷却方式的焊剂回收装置的回收率和根据本发明的焊剂烟雾净化装置的回收率的实验结果。实验1是使用了采用冷却方式的已有的装置的情况下的实验，实验2、实验3以及实验4是使用了采用本发明的装置并使压力不同的实验。另外，压力Pa为回收路径95内的压力。

[表2]

	实验1	实验2	实验3	实验4
					压力[Pa]	-	500	980	1200
回收率[％]	28	51	70	75

在已有的焊剂回收装置的情况下，回收率为28％，与之相对地，采用根据本发明的焊剂烟雾净化装置，回收率能够改善为51％(实验2)，回收率能够改善为70％(实验3)，回收率能够改善为75％(实验4)。此外，通过提高压力Pa，能够提高回收率。

此外，如图8所示，在设有静电式集尘机40的情况下，能够提高至在表2的(实验4)的回收率75％的基础上加上由静电式集尘机40获得的回收率(例如12％)后得到的回收率(87％)。另外，作为分离装置，不限定于使用静电式集尘机40，也可以使用其他的装置例如旋风式集尘机。

<3.变形例>

以上，具体地说明了本发明的实施方式，但本发明并不限定于上述的各实施方式，能够进行基于本发明的技术构思的各种变形。例如本发明不限定于应用于回流焊装置等锡焊装置，也能应用于利用热固化型的粘接剂将表面安装部件粘接在印刷线路板上的安装装置、以及使形成在图案形成后的覆铜层叠板上的阻焊剂固化的装置等。即，本发明能够应用于由通过进行加热处理而气化后的物质与大气或非活性气体混合而成的气体的净化。

另外，在上述的实施方式中举出的结构、方法、工序、形状、材料以及数值等只不过是例子，也可以根据需要使用与此不同的结构、方法、工序、形状、材料以及数值等。另外，上述的实施方式的结构、方法、工序、形状、材料以及数值等只要不脱离本发明的主旨，就能够相互组合。

Claims (15)

1.一种气体净化装置，其中，

所述气体净化装置包括：

压缩部，其将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩；以及

膨胀部，其使利用所述压缩部压缩后的气体膨胀，从而使所述物质液化，

以形成为获得减少了所述物质的气体。

2.根据权利要求1所述的气体净化装置，其中，

该气体净化装置设为，在使利用所述压缩部压缩后的气体膨胀时，几乎没有热的输出输入。

3.根据权利要求1或2所述的气体净化装置，其中，

反复进行所述气体的压缩和所述压缩后的气体的膨胀。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的气体净化装置，其中，

使所述压缩后的气体膨胀，并且将液化后的所述物质回收。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的气体净化装置，其中，

利用冷却部件将进行所述气体的压缩和压缩后的气体的膨胀的结构冷却。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的气体净化装置，其中，

所述气体净化装置包括：

吹出口，其利用鼓风机吹出气体；以及

路径形成部，来自所述吹出口的被吹出的气体流入该路径形成部，

所述路径形成部具有将所述气体压缩的压缩部和与所述压缩部连续的膨胀部。

7.根据权利要求6所述的气体净化装置，其中，

所述路径形成部形成为使截面积较大的所述膨胀部与所述截面积较小的所述压缩部连续的结构。

8.根据权利要求6或7所述的气体净化装置，其中，

在离心风扇的叶片的外周侧面设有所述吹出口，

所述路径形成部具有呈与所述外周侧面同心圆状或螺旋状的路径。

9.根据权利要求1～5中任一项所述的气体净化装置，其中，

利用活塞的上下运动使汽缸内的空间的容积变化，进行气体的压缩和压缩后的气体的膨胀。

10.一种气体净化方法，其中，

将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩，

使所述压缩后的气体膨胀，从而使所述物质液化，

获得减少了所述物质的气体。

11.一种输送加热装置，所述输送加热装置具有用于加热被加热物的加热室，利用输送装置使所述被加热物在所述加热室通过，其中，

自所述加热室向气体净化装置供给由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体，

所述气体净化装置包括：

压缩部，其将由大气或非活性气体与通过加热而气化后的物质混合而成的气体压缩；以及

膨胀部，其使利用所述压缩部压缩后的气体膨胀，从而使所述物质液化，

以形成为获得减少了所述物质的气体。

12.根据权利要求11所述的输送加热装置，其中，

使利用所述气体净化装置获得的气体返回到所述加热室。

13.根据权利要求12所述的输送加热装置，其中，

使利用所述气体净化装置获得的气体经由分离装置返回到所述加热室。

14.根据权利要求11或13所述的输送加热装置，其中，

使利用所述气体净化装置获得的气体经由分离装置作为工厂排气而放出。

15.根据权利要求11～14中任一项所述的输送加热装置，其中，

所述加热室是通过对所述被加热物吹送热风而进行锡焊的炉体。