JP2018153852A - フラックス回収装置 - Google Patents

Abstract

【課題】雰囲気ガスを冷却させてフラックスを回収する場合の効率の低下を防止する。【解決手段】外周に設けられた隙間に冷媒を通すことによって冷却を行う管状の冷却ユニットと、冷却ユニットの内に溜まる液化したフラックスを回収する回収容器と、冷却ユニットに挿入／離脱自在に配され、はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが通過する通過経路を形成する管内フィンと、冷却ユニットを通過した雰囲気ガスをはんだ付け装置に戻す循環手段と、管内フィンの複数の板状フィンが取り付けられ、冷却ユニットの内壁面に向かって不活性ガスを吹き付ける孔が周面に形成された軸部とを備えてなるフラックス回収装置である。【選択図】図４

Description

本発明は、例えばリフロー装置に使用されるフラックス回収装置に関する。

電子部品又はプリント配線基板に対して、予めはんだ組成物を供給しておき、リフロー炉の中に基板を搬送コンベヤで搬送するリフロー装置が使用されている。リフロー装置の加熱ゾーンでは、熱風が基板に対して吹きつけられることによって、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極と電子部品とがはんだ付けされる。はんだ組成物は、粉末はんだ、溶剤、フラックスを含む。フラックスは、成分としてロジンなどを含み、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、はんだ付けの際に加熱で再酸化するのを防止し、はんだの表面張力を小さくして濡れを良くする塗布剤の働きをするものである。このフラックスは、加熱により、気化し、ヒュームとしてリフロー炉内に充満する。ヒューム（気化したフラックス）は、温度の低い部位に付着し易く、冷やされることで液化し、付着している部位から滴下してしまうことから、基板の上面に付着することもあり、基板の性能を損うこととなる。また、炉体内において温度が低下する部分に堆積する等によりリフロー工程に大きな影響を与える場合もある。したがって、リフロー炉内のフラックスを除去又は回収するようになされる。

近年の鉛フリーのはんだのリフローでは、一般にＳｎ−Ｐｂ用クリームはんだに比して濡れ性が劣るために、リフロー温度も高めに推移するので、フラックスなどに耐熱性を持たせて濡れ性の低下を抑えるようになされる。すなわち、ソルダーペースト中に含まれるロジン成分が増量され、熱分解しにくい成分が使用される。このことは、炉体内に放出されるヒュームが増加する結果をもたらす。

例えば、下記の特許文献１には、外周面が冷却された管内に挿入／離脱自在に配され、雰囲気ガスが管内を通過する場合の長さを実質的により長くする管内フィン例えばらせん状のフィンを使用して効率的にフラックスを回収するフラックス回収装置が記載されている。

特許第５３６６３９５号公報

特許文献１に記載のフラックス回収装置は、使用中に徐々に管の内面等にフラックスが付着し、炉体から取り出された雰囲気ガスの通り道が狭くなり、フラックス回収の性能が低下する恐れがあり、メインテナンス周期を更に長くすることが望まれていた。

したがって、本発明の目的は、管の内面に付着したフラックスを除去することによって、フラックス回収の性能低下を防止することができるフラックス回収装置を提供することにある。

本発明は、外周に設けられた隙間に冷媒を通すことによって冷却を行う管状の冷却ユニットと、
冷却ユニットの内に溜まる液化したフラックスを回収する回収容器と、
冷却ユニットに挿入／離脱自在に配され、はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが通過する通過経路を形成する管内フィンと、
冷却ユニットを通過した雰囲気ガスをはんだ付け装置に戻す循環手段と、
管内フィンの複数の板状フィンが取り付けられ、冷却ユニットの内壁面に向かって不活性ガスを吹き付ける孔が周面に形成された軸部と
を備えてなるフラックス回収装置である。

少なくとも一つの実施形態によれば、不活性ガスによって内壁に付着したフラックスを吹き飛ばすことができ、フラックス回収性能の低下を防止することができる。また、メインテナンス作業を自動的に行うことができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本明細書中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、以下の説明における例示された効果により本発明の内容が限定して解釈されるものではない。

図１は本発明を適用できる従来のリフロー装置の概略を示す略線図である。 図２はリフロー時の温度プロファイルの例を示すグラフである。 図３はリフロー装置の一つの加熱ゾーンの構成の一例を示す断面図である。 図４は本発明の第１の実施の形態の断面図である。 図５は本発明の第１の実施の形態における管内フィンの一例の斜視図である。 図６は管内フィンの一部の略線図である。 図７は本発明の第１の実施の形態の変形例を示す断面図である。 本発明の第２の実施の形態の説明に用いる断面図である。

以下、本発明を実施の形態について説明する。なお、説明は、以下の順序で行う。
＜１．リフロー装置の一例＞
＜２．第１の実施の形態＞
＜３．第２の実施の形態＞
＜４．変形例＞
なお、以下に説明する一実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの実施の形態に限定されないものとする。

＜１．リフロー装置の一例＞
図１は、本発明を適用できる従来のリフロー装置１０１の概略的構成を示す。図１では、説明の便宜上リフロー炉外に配置されるフラックス回収装置の図示が省略されている。プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物が搬送コンベヤの上に置かれ、搬入口１１からリフロー装置の炉体内に搬入される。搬送コンベヤが所定速度で矢印方向（図１に向かって左から右方向）へ被加熱物を搬送し、被加熱物が搬出口１２から取り出される。搬送コンベアの搬送方向が水平方向とされている。

搬入口１１から搬出口１２に至る搬送経路に沿って、リフロー炉が例えば９個のゾーンＺ１からＺ９に順次分割され、これらのゾーンＺ１〜Ｚ９がインライン状に配列されている。入口側から７個のゾーンＺ１〜Ｚ７が加熱ゾーンであり、出口側の２個のゾーンＺ８及びＺ９が冷却ゾーンである。冷却ゾーンＺ８及びＺ９に関連して強制冷却ユニット１４が設けられている。

上述した複数のゾーンＺ１〜Ｚ９がリフロー時の温度プロファイルにしたがって被加熱物の温度を制御する。図２に温度プロファイルの一例の概略を示す。横軸が時間であり、縦軸が被加熱物例えば電子部品が実装されたプリント回路基板の表面温度である。最初の区間が加熱によって温度が上昇する昇温部Ｒ１であり、次の区間が温度がほぼ一定のプリヒート（予熱）部Ｒ２であり、次の区間が本加熱部Ｒ３であり、最後の区間が冷却部Ｒ４である。

昇温部Ｒ１は、常温からプリヒート部Ｒ２（例えば１５０°Ｃ〜１７０°Ｃ）まで基板を加熱する期間である。プリヒート部Ｒ２は、等温加熱を行い、フラックスを活性化し、電極、はんだ粉の表面の酸化膜を除去し、また、プリント回路基板の加熱ムラをなくすための期間である。本加熱部Ｒ３（例えばピーク温度で２２０°Ｃ〜２４０°Ｃ）は、はんだが溶融し、接合が完成する期間である。本加熱部Ｒ３では、はんだの溶融温度を超える温度まで昇温が必要とされる。本加熱部Ｒ３は、プリヒート部Ｒ２を経過していても、温度上昇のムラが存在するので、はんだの溶融温度を超える温度までの加熱が必要とされる。最後の冷却部Ｒ４は、急速にプリント回路基板を冷却し、はんだ組成を形成する期間である。

図２において、曲線１は、鉛フリーはんだの温度プロファイルを示す。Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだの場合の温度プロファイルは、曲線２で示すものとなる。鉛フリーはんだの融点は、Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだの融点より高いので、プリヒート部Ｒ２における設定温度がＳｎ−Ｐｂ共晶はんだに比して高いものとされている。

リフロー装置では、図２における昇温部Ｒ１の温度制御を、主としてゾーンＺ１及びＺ２が受け持つ。プリヒート部Ｒ２の温度制御は、主としてゾーンＺ３、Ｚ４及びＺ５が受け持つ。本加熱部Ｒ３の温度制御は、ゾーンＺ６及びＺ７が受け持つ。冷却部Ｒ４の温度制御は、ゾーンＺ８及びゾーンＺ９が受け持つ。

加熱ゾーンＺ１〜Ｚ７のそれぞれは、それぞれ送風機を含む上部炉体１５及び下部炉体３５を有する。例えばゾーンＺ１の上部炉体１５及び下部炉体３５から搬送される被加熱物に対して熱風が吹きつけられる。

図３を参照して加熱装置の一例について説明する。例えばゾーンＺ６を搬送方向に対して直交する面で切断した場合の断面が図３に示されている。上部炉体１５と下部炉体３５との対向間隙内で、プリント回路基板の両面に表面実装用電子部品が搭載された被加熱物（以下、ワークという）Ｗが搬送コンベヤ３１上に置かれて搬送される。上部炉体１５内及び下部炉体３５内は、雰囲気ガスである例えば窒素（Ｎ２）ガスが充満している。上部炉体１５及び下部炉体３５は、ワークＷに対して熱風（熱せられた雰囲気ガス）を噴出してワークＷを加熱する。なお、熱風と共に赤外線を照射しても良い。

上部炉体１５は、例えばターボファンの構成の送風機１６と、送風機１６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板１７ａ，１７ｂと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ１８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）１９とを有し、加熱パネル１９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して上側から吹きつけられる。加熱パネル１９は、例えばアルミニウムの金属板に多数の小孔が形成されたものである。

下部炉体３５も上述した上部炉体１５と同様の構成を有する。すなわち、例えばターボファンの構成の送風機２６と、送風機２６からの風を分散させて炉体内の温度分布の均一化を図るために対向して配置された導風板２７ａ，２７ｂと、ヒータ線を複数回折り返して構成したヒータ２８と、熱風が通過する多数の小孔を有する加熱パネル（蓄熱部材）２９とを有する。加熱パネル２９の小孔を通過した熱風がワークＷに対して下側から吹きつけられる。

上部炉体１５に対して、フラックス回収装置４１が設けられる。フラックス回収装置４１は、例えば外板で囲まれた空間内で上部炉体１５の背面側に設置される。下部炉体３５に対して、フラックス回収装置６１が設けられる。フラックス回収装置６１は、例えば外板で囲まれた空間内で下部炉体３５の背面側に設置される。フラックス回収装置４１は、上部炉体１５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部４２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器４３とからなる。同様に、フラックス回収装置６１は、下部炉体３５から導出された雰囲気ガスを冷却させる冷却部６２と、冷却によって液化されたフラックスを回収する回収容器６３とからなる。

送風機１６によって熱風が循環する経路中に雰囲気ガスをフラックス回収装置４１に導出するための導出口としての穴５２が設けられる。穴５２は、炉内において圧力が高い箇所に設けられる。圧力が低い箇所には、フラックス回収装置４１からのガスを上部炉体１５内に導入するための導入口としての穴５３が設けられる。これらの穴５２及び５３は、実際には、接続用管５４及び５５のそれぞれの一端側の開口に対応している。接続用管５４及び５５のそれぞれとフラックス回収装置４１の接続用管とが図示を省略したホースによって接続されている。下部炉体３５においても、炉内において圧力が高い箇所に設けられた穴から雰囲気ガスがフラックス回収装置６１に導出され、フラックス回収装置６１からのフラックス成分が減少したガスが炉内において圧力が低い箇所に設けられた穴から導入される。このようにフラックス回収装置４１及び６１を含む循環手段が設けられる。

なお、フラックス回収装置４１及び６１は、リフロー装置の各ゾーンの中で雰囲気ガスの汚れが大きいゾーンに設けられる。但し、リフロー装置の全ゾーンにフラックス回収装置４１及び６１を配置しても良い。

冷却ゾーンＺ８、Ｚ９は、加熱ゾーンと異なり、ヒータ１８及び２８を有しない構成とされ、上下に設けられている送風機によって冷却用気体（Ｎ２ガス等の不活性ガス又はエアー）が冷却パネルを介してワークＷに吹きつけられる構成とされている。冷却パネルは、アルミニウム等の金属板に多数の小孔が形成されたものである。

＜２．第１の実施の形態＞
本発明は、上述したリフロー装置のフラックス回収装置４１又は６１に対して適用されるものである。以下の説明では、フラックス回収装置４１に本発明を適用した実施の形態について説明するが、フラックス回収装置６１に対しても同様に本発明を適用できる。

フラックス回収装置４１の冷却部４２は、ほぼ等しい径の円筒状の上部ユニット７１、冷却ユニット７２及び下部ユニット７３が分離可能に連結されたものである。上部ユニット７１に接続管７４が設けられ、下部ユニット７３に接続管７５が設けられている。接続管７５に対して図示しないが、ガス循環装置が設けられ、ガス循環装置によってフラックス成分が除去されたガスがリフロー装置の上部炉体１５に戻される。

接続管７４からヒュームを含む雰囲気ガスが上部ユニット７１を通って冷却ユニット７２に導入され、雰囲気ガス中のフラックス成分が液化して下部ユニット７３の底に溜まる。下部ユニット７３の底板には、電磁弁などの制御可能な弁を介してドレイン７６が設けられている。さらに、ドレイン７６には、図示しないが回収容器４３が配置され、弁が開かれた時に排出口７６を通じてフラックス成分が容器に回収される。

冷却ユニット７２は、例えば水冷方式で雰囲気ガスを冷却する。冷却部４２が同心円状に設けられた内側パイプと外側パイプからなる２層パイプの構成とされ、注入口７７から冷媒としての冷却水がパイプ間の隙間に注入され、排出口７８から排出される。排出口７８に対して図示しないが、冷却水循環用モータが設けられている。なお、空冷方式で雰囲気ガスを冷却してもよい。

冷却ユニット７２の管内に挿入／離脱自在に配され、雰囲気ガスが管内を通過する場合の長さを実質的により長くする管内フィン８１が使用される。管内フィン８１は、図５に示すように、冷却ユニット７２の延長方向に延びる軸部としての中心パイプ８２に対して所定の間隔でもって板状フィン８３が取り付けられた構成である。板状フィン８３は、直径方向に形成されたスリットと、スリットの閉塞側に中心パイプ８２が挿入される孔を有する円板からなり、スリットを挟んで二つの半円部を反対方向にねじった形状を有する。

板状フィン８３が螺旋状の雰囲気ガスの通過経路を形成するので、この通過経路の長さを、冷却ユニット７２の長手方向の長さに比してより長くできる。その結果、雰囲気ガス中のヒュームなどの汚れの除去の効果を高めることができる。但し、フラックス回収の時間経過とともに、冷却ユニット７２の内側の管面や、板状フィン８３の一部に液化したフラックスが付着し、フラックス回収効果が低下する。

そこで、本発明の第１の実施の形態では、メインテナンス作業を自動化するために、定期的に中心パイプ８２から不活性ガス例えば窒素ガスを吹き出して付着した汚れを吹き飛ばすようにする。窒素ガスは、一例として中心パイプ８２の下端と、下部ユニット７３の底板のガス導入口を連結する接続用パイプ８４を通じて窒素ガス供給源（図示しない）から供給される。なお、フラックス回収動作中に、窒素ガスの吹き出し動作を平行して行うようにしてもよい。

中心パイプ８２の周面には多数のガス噴出孔８５が形成されている。ガス噴出孔８５から噴出された窒素ガスが冷却ユニット７１の内壁面及び板状フィン８３に対して吹き付けられ、これらの箇所に付着している汚れを吹き飛ばして下方に落下させる。ガス噴出孔８５は、周面の全体に形成してもよいし、フラックスが付着しやすい箇所に重点的に窒素ガスを吹き付けるように形成してもよい。例えば図５及び図６に示すように、板状フィン８３の半円部の連結部８６に向かって不活性ガスを吹き付けるように、ガス噴出孔８５が形成されている。このように、本発明の第１の実施の形態では、不活性ガスによって、冷却ユニット７２の内壁や、管内フィン８１に付着しているフラックスを吹き飛ばすことができるので、冷却ユニット７２の雰囲気ガスの通過経路が狭くなったり、通過経路が閉塞したりすることを防止でき、フラックス回収の効率の低下を防止でき、また、管内フィン８１の清掃作業の負担を軽くすることができる。

本発明の第１の実施の形態によるフラックス回収装置を図７に示すように、直列に接続するようにしてもよい。第１段めのフラックス回収装置の冷却部に対して参照符号４２Ａを付し、第２段めのフラックス回収装置の冷却部に対して参照符号４２Ｂを付す。各フラックス回収装置の各部分に対しては、図４と同一の参照符号を付す。各冷却部のドレイン７６から取り出されるフラックス成分を回収するために、回収容器が設けられる。

第１段めのフラックス回収装置の冷却部４２Ａの接続管７５と第２段めのフラックス回収装置の冷却部４２Ｂの接続管７５を接続する。すなわち、冷却部４２Ａを下に向かって通ることによってヒュームがある程度除去された雰囲気ガスが冷却部４２Ｂの下側から取り込まれ、上に向かって流れるようになされる。

冷却部４２Ｂにおいて、さらにヒュームが除去されたガスが接続管７４からガス循環モータ９１のガス導入口９２に送られる。ガス循環モータ９１がガス導出口９３から送り出したガスが図示しない配管を通じてはんだ付け装置の上部炉体に戻される。

図７の構成を有するフラックス回収装置の複数の測定ポイントにおける雰囲気ガスの温度を測定した結果を表１及び表２にそれぞれ示す。表１及び表２において、Ｍ１〜Ｍ６は図７に示すように、測定ポイントを表す。測定ポイントＭ１は、冷却部４２Ａの上部ユニット７１内の測定ポイントを表す。測定ポイントＭ２は、冷却部４２Ａの冷却ユニット７２内の測定ポイントを表す。測定ポイントＭ３は、冷却部４２Ａの接続管７５内の測定ポイントを表す。測定ポイントＭ４は、冷却部４２Ｂの冷却ユニット７２内の測定ポイントを表す。測定ポイントＭ５は、冷却部４２Ｂの接続管７４内の測定ポイントを表す。測定ポイントＭ６は、ガス循環モータ９１のガス導出口９３内の測定ポイントを表す。

測定結果を示す表１は、ガス循環モータ９１が周波数５０Ｈｚで、循環風量が６１２リットル／分の場合の測定結果を示し、表２は、ガス循環モータ９１が周波数３５Ｈｚで、循環風量が４２０リットル／分の場合の測定結果を示す。測定ポイントＭ１の雰囲気ガスの温度が最終的な測定ポイントＭ６において、どの程度低下したかが冷却能力を示している。

表１の測定結果は、２１１．２℃の雰囲気ガスを最終的には５６．７℃まで冷却できることを示している。表２の測定結果は、２０３．７℃の雰囲気ガスを最終的には４６．９℃まで冷却できることを示している。中心パイプ８２からガスの吹き出しを行わない構成の場合では、２１３℃を７５℃までしか低下させることができなかったので、冷却の性能が向上し、フラックス回収能力が向上していることがわかる。さらに、この中心パイプ８２からガスの吹き出しを行うことで、冷却性能の向上のみならず、冷却ユニット７２の雰囲気ガスの通過経路が狭くなったり、通過経路が閉塞したりすることを防止でき、フラックス回収の効率の低下を防止できる。

＜３．第２の実施の形態＞
図８を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態と対応する部分には同一の参照符号を付すことにする。また、第１の実施の形態と同様に、第２の実施の形態は、フラックス回収装置６１に対しても同様に本発明を適用できる。

第２の実施の形態によるフラックス回収装置の冷却部４２’は、ほぼ等しい径の円筒状の上部ユニット７１、冷却ユニット７２及び下部ユニット７３が分離可能に連結されたものである。上部ユニット７１に接続管７４が設けられ、下部ユニット７３に接続管７５が設けられている。接続管７５に対して図示しないが、ガス循環装置が設けられ、ガス循環装置によってフラックス成分が除去されたガスがリフロー装置の上部炉体１５に戻される。

接続管７４からヒュームを含む雰囲気ガスが上部ユニット７１を通って冷却ユニット７２に導入され、雰囲気ガス中のフラックス成分が液化して下部ユニット７３の仕切り板８７上に溜まる。仕切り板８７と下部ユニット７１の底板に取り付けられたドレイン７６の間が接続管８８で接続されている。さらに、ドレイン７６には、図示しないが回収容器４３が配置され、弁が開かれた時に排出口７６を通じてフラックス成分が容器に回収される。

冷却ユニット７２は、第１の実施の形態と同様に水冷方式で雰囲気ガスを冷却する。冷却部４２が同心円状に設けられた内側パイプと外側パイプからなる２層パイプの構成とされ、注入口７７から冷媒としての冷却水がパイプ間の隙間に注入され、排出口７８から排出される。

冷却ユニット７２の管内に挿入／離脱自在に配され、雰囲気ガスが管内を通過する場合の長さを実質的により長くする管内フィン８１が使用される。管内フィン８１は、上述した第１の実施の形態におけるものと同様のものである（図５参照）。但し、第２の実施の形態では、板状フィン８３が取り付けられる軸が回転軸９４となされている。

回転軸９４は、下部ユニット７３の仕切り板８７の下側に設けられている駆動部としてのモータ９５によって回転される。モータ９５の回転軸と回転軸９４の間に必要に応じて歯車機構などの減速機構を設けてもよい。

本発明の第２の実施の形態では、メインテナンス作業を自動化するために、定期的にモータ９５を回転させることによって管内フィン８１を回転させ、冷却ユニット７２の内壁に付着した汚れを削ぎ取るようになされる。なお、フラックス回収動作中に、管内フィン８１の回転動作を平行して行うようにしてもよい。このように、本発明の第２の実施の形態では、冷却ユニット７２の内壁に付着しているフラックスを削ぎ取ることができるので、冷却ユニット７２の雰囲気ガスの通過経路が狭くなったり、通過経路が閉塞したりすることを防止でき、フラックス回収の効率の低下を防止できる。

＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について具体的に説明したが、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。例えば上述した第１の実施の形態及び第２の実施の形態を組み合わせた構成としてもよい。また、上述の実施の形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、上述の実施の形態の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本発明の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。

１１・・・搬入口、１２・・・搬出口、１５・・・上部炉体、３１・・・搬送コンベヤ、３５・・・下部炉体、４１，６１・・・フラックス回収装置、４２，６２・・・冷却部、４３，６３・・・フラックス回収容器、７１・・・上部ユニット、
７２・・・冷却ユニット、７３・・・下部ユニット、８１・・・管内フィン、
８２・・・中心パイプ、８３・・・板状フィン、８５・・・ガス噴出孔、
８９・・・モータ、９１・・・ガス循環モータ、９４・・・回転軸、９５・・・モータ

Claims (5)

1. 外周に設けられた隙間に冷媒を通すことによって冷却を行う管状の冷却ユニットと、
   前記冷却ユニットの内に溜まる液化したフラックスを回収する回収容器と、
   前記冷却ユニットに挿入／離脱自在に配され、はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが通過する通過経路を形成する管内フィンと、
   前記冷却ユニットを通過した雰囲気ガスを前記はんだ付け装置に戻す循環手段と、
   前記管内フィンの複数の板状フィンが取り付けられ、前記冷却ユニットの内壁面に向かって不活性ガスを吹き付ける孔が周面に形成された軸部と
   を備えてなるフラックス回収装置。
2. 外周に設けられた隙間に冷媒を通すことによって冷却を行う管状の冷却ユニットと、
   前記冷却ユニットの内に溜まる液化したフラックスを回収する回収容器と、
   前記冷却ユニットに挿入／離脱自在に配され、はんだ付け装置から導出された雰囲気ガスが通過する通過経路を形成する管内フィンと、
   前記冷却ユニットを通過した雰囲気ガスを前記はんだ付け装置に戻す循環手段と、
   前記管内フィンの有する複数の板状フィンが取り付けられた軸部を回転させる駆動部と
   を備えてなるフラックス回収装置。
3. 前記冷却ユニットがほぼ垂直に配されると共に、前記冷却ユニットの一方の開口と通じる上部ユニット内に前記雰囲気ガスが導入され、前記冷却ユニットの下部ユニット内から液化したフラックスが前記回収容器に取り出される請求項１又は２に記載のフラックス回収装置。
4. 前記板状フィンは、直径方向に形成されたスリットと、前記スリットの閉塞側に前記軸部が挿入される孔を有する円板からなり、前記スリットを挟んで二つの半円部を反対方向にねじった形状を有する請求項１から３までのいずれかに記載のフラックス回収装置。
5. 前記軸部の周面に形成された孔は、前記板状フィンの前記半円部の連結部に向かって不活性ガスを吹き付けるものである請求項４に記載のフラックス回収装置。

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