CN110001201B - 喷射孔板、液体喷射头以及喷射孔板的制造方法 - Google Patents

喷射孔板、液体喷射头以及喷射孔板的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供能够实现长寿命化的喷射孔板、液体喷射头、液体喷射记录装置以及喷射孔板的制造方法。本公开的一种实施方式所涉及的喷射孔板是用于液体喷射头的喷射孔板。该喷射孔板具备设有多个喷射孔的金属基板。金属基板具有设有各喷射孔的喷出口的主面。在该主面，各喷射孔的喷出口端缘区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域的周围的周围区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小。

Description

喷射孔板、液体喷射头以及喷射孔板的制造方法
技术领域
本公开涉及喷射孔板、液体喷射头、液体喷射记录装置以及喷射孔板的制造方法。
背景技术
具备液体喷射头的液体喷射记录装置用于各种领域。液体喷射头具备包含形成多个喷射孔的喷射孔板的多个板的层叠体，并以从各喷射孔对被记录介质喷出为液体的油墨的方式构成。此种喷射孔板例如通过对金属基板进行冲压加工而形成(例如，参照专利文献1、2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-226070号公报；
专利文献2：日本特开2004-255696号公报。
发明内容
发明要解决的问题
在此种喷射孔板中，一般要求长寿命化。期望提供能够实现长寿命化的喷射孔板、液体喷射头、液体喷射记录装置以及喷射孔板的制造方法。
用于解决问题的方案
本公开的一种实施方式所涉及的喷射孔板是用于液体喷射头的喷射孔板。该喷射孔板具备设有多个喷射孔的金属基板。金属基板具有设有各喷射孔的喷出口的主面。在该主面，各喷射孔的喷出口端缘区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域的周围的周围区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小。
本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头具备上述喷射孔板。
本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置具备上述液体喷射头、容纳对上述液体喷射头供应的液体的容纳部。
本公开的一种实施方式所涉及的喷射孔板的制造方法包含以下各工序：
(A)通过用一个或多个冲头按压金属基板的第一主面，在第一主面形成多个凹部，并且在金属基板的第二主面之中与各凹部对置的位置形成凸部的冲孔加工工序；
(B)通过机械研磨切削各凸部，使各凹部贯通，从而形成多个喷射孔，并且通过机械研磨使得在各喷射孔的喷出口端缘区域形成的研磨面的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于研磨面的周围的周围区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小的研磨工序。
发明效果
根据本公开的一种实施方式所涉及的喷射孔板、液体喷射头、液体喷射记录装置以及喷射孔板的制造方法，能够实现长寿命化。
附图说明
图1是表示本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的概要结构例的示意立体图；
图2是表示图1中所示的循环机构等的详细结构例的示意图；
图3是表示图2中所示的液体喷射头的详细结构例的分解立体图；
图4是表示图3中所示的将喷嘴板卸下的状态下的液体喷射头的结构例的示意仰视图；
图5是表示沿着图4中所示的V-V线的截面的一部分的结构例的示意图；
图6是将图3中所示的喷嘴板的一部分放大而表示的示意仰视图；
图7是表示沿着图6中所示的VII-VII线的截面结构例的示意图；
图8是将图6中所示的拒水膜去除的状态下的喷嘴板的一部分放大而表示的示意仰视图；
图9是表示实施方式所涉及的喷嘴板的制造步骤的一例的流程图；
图10A是表示实施方式所涉及的喷嘴板的制造工序的一例的截面图；
图10B是表示接在图10A之后的制造工序的一例的截面图；
图10C是表示接在图10B之后的制造工序的一例的截面图；
图10D是表示接在图10C之后的制造工序的一例的截面图；
图11是将变形例所涉及的喷嘴板的一部分放大而表示的示意仰视图；
图12是将图11中所示的拒水膜去除的状态下的喷嘴板的一部分放大而表示的示意仰视图；
图13是表示图11中所示的喷嘴板的制造工序的一例的截面图；
图14是表示变形例所涉及的喷嘴板的截面结构例的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本公开的实施方式进行详细的说明。此外，说明按照以下顺序进行。
1. 实施方式(喷嘴板、喷墨头、
打印机、喷嘴板的制造方法)
2. 变形例。
<1.实施方式>
[打印机1的整体结构]
图1是将作为本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的打印机1的概要结构例示意性地利用立体图表示的图。打印机1是利用后述的油墨9对作为被记录介质的记录纸P进行图像、字符等的记录(打印)的喷墨打印机。该打印机1之后另外详细说明，是使油墨9循环至既定的流路以利用的，油墨循环式的喷墨打印机。
如图1所示，打印机1具备一对运送机构2a、2b、油墨储罐3、喷墨头4、循环机构5和扫描机构6。这些各部件容纳在具有规定形状的框体10内。此外，在本说明书的说明中使用的各附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更了各部件的比例尺。打印机1与本公开中的“液体喷射记录装置”的一个具体例对应。喷墨头4(后述的喷墨头4Y、4M、4C、4B)与本公开中的“液体喷射头”的一个具体例对应。
(运送机构2a、2b)
如图1所示，运送机构2a、2b是各自将记录纸P沿着运送方向d(X轴方向)运送的机构。这些运送机构2a、2b各自具有栅格辊21、夹送辊22以及驱动机构(未图示)。栅格辊21以及夹送辊22各自沿着Y轴方向(记录纸P的宽度方向)延伸设置。驱动机构是使栅格辊21围绕轴旋转(在Z-X面内旋转)的机构，例如使用马达等构成。
(油墨储罐3)
油墨储罐3是容纳对喷墨头4供应的油墨9(液体)的储罐。油墨储罐3是将油墨9容纳于内部的储罐。作为该油墨储罐3，在本例中如图1所示，设有单独地容纳黄(Y)、洋红(M)、青(C)、黑(B)这四色油墨9的4种储罐。即，设有容纳黄色油墨9的油墨储罐3Y、容纳洋红色油墨9的油墨储罐3M、容纳青色油墨9的油墨储罐3C、容纳黑色油墨9的油墨储罐3B。这些油墨储罐3Y、3M、3C、3B在框体10内沿着X轴方向排列配置。此外，油墨储罐3Y、3M、3C、3B各自除了所容纳的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为油墨储罐3进行说明。
(喷墨头4)
喷墨头4是从后述的多个喷嘴孔(喷嘴孔H1、H2)对记录纸P喷射(喷出)液滴状的油墨9来进行图像、字符等的记录的头。作为该喷墨头4，在本例中也如图1所示，设有单独地喷射分别容纳于上述的油墨储罐3Y、3M、3C、3B中的四色油墨9的4种头。即，设有喷射黄色油墨9的喷墨头4Y、喷射洋红色油墨9的喷墨头4M、喷射青色油墨9的喷墨头4C、喷射黑色油墨9的喷墨头4B。这些喷墨头4Y、4M、4C、4B在框体10内沿着Y轴方向排列配置。
此外，由于喷墨头4Y、4M、4C、4B各自除了所利用的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为喷墨头4进行说明。另外，关于该喷墨头4的详细结构，在后文描述(图3～图5)。
(循环机构5)
循环机构5是用于使油墨9在油墨储罐3内和喷墨头4内之间循环的机构。图2将循环机构5的结构例与前述的油墨储罐3以及喷墨头4一同示意地示出的图。此外，图2中示出的实线的箭头示出油墨9的循环方向。循环机构5如图2所示，具备用于使油墨9循环的既定流路(循环流路50)、以及一对送液泵52a、52b。
循环机构50是在喷墨头4内和喷墨头4的外部(油墨储罐3内)之间循环的流路，油墨9在该循环流路50中循环地流动。循环流路50具有为从油墨储罐3到喷墨头4的部分的流路50a、以及为从喷墨头4到油墨储罐3的部分的流路50b。换言之，流路50a是从油墨储罐3朝向喷墨头4并供油墨9流动的流路。另外，流路50b是从喷墨头4朝向油墨储罐3并供油墨9流动的流路。
送液泵52a在流路50a上配置在油墨储罐3和喷墨头4之间。送液泵52a是用于将容纳在油墨储罐3内的油墨9经由流路50a输送到喷墨头4内的泵。送液泵52b在流路50b上配置在喷墨头4和油墨储罐3之间。送液泵52b是用于将容纳在喷墨头4内的油墨9经由流路50b输送到油墨储罐3内的泵。
(扫描机构6)
扫描机构6是沿着记录纸P的宽度方向(Y轴方向)使喷墨头4扫描的机构。如图1所示，该扫描机构6具有沿着Y轴方向延伸设置的一对导轨61a、61b、被这些导轨61a、61b以能够移动的方式支承的滑架62、使该滑架62沿着Y轴方向移动的驱动机构63。另外，驱动机构63具有配置在导轨61a、61b之间的一对滑轮631a、631b、卷绕在这些滑轮631a、631b之间的无接头带632、以及使滑轮631a旋转驱动的驱动马达633。
滑轮631a、631b分别沿着Y轴方向配置在与各导轨61a、61b的两端附近对应的区域。滑架62与无接头带632连结。在该滑架62上，沿Y轴方向并列配置有前述的四种喷墨头4Y、4M、4C、4B。此外，通过这样的扫描机构6和前述的运送机构2a、2b，构成使喷墨头4和记录纸P相对移动的移动机构。
[喷墨头4的详细结构]
接下来，参照图1以及图2还有图3～图5，对喷墨头4的详细结构例进行说明。图3是将喷墨头4的详细结构例利用分解立体图表示的图。图4是示意性地利用仰视图(X-Y仰视图)表示将图3中所示的喷嘴板41(之后出现)卸下的状态下的喷墨头4的结构例的图。图5是示意性地表示喷墨头4的与图4所示的V-V线对应的部位处的截面(Z-X截面)的一部分的图。
本实施方式的喷墨头4例如是从后述的多个通道(通道C1、C2)的延伸方向(Y轴方向)的中央部喷出油墨9的、所谓侧射类型的喷墨头。另外，该喷墨头4是通过使用前述的循环机构5(循环流路50)从而使油墨9在油墨储罐3和喷墨头4之间循环并利用的循环式的喷墨头。
如图3所示，喷墨头4主要具备喷嘴板41(喷射孔板)、促动器板42以及盖板43。这些喷嘴板41、促动器板42以及盖板43例如使用粘接剂等相互贴合，并沿着Z轴方向按该顺序层叠。此外，在以下，沿着Z轴方向将盖板43侧称为上方，并且将喷嘴板41侧称为下方进行说明。喷嘴板41与本公开中的“喷射孔板”的一个具体例对应。
(喷嘴板41)
喷嘴板41是用于喷墨头4的板。喷嘴板41例如有具有50μｍ左右的厚度的金属基板，如图3所示，粘接在促动器板42的下表面。作为用作喷嘴板41的金属基板410，可列举以SUS316L、SUS304为首的不锈钢。另外，如图3以及图4所示，在该喷嘴板41(金属基板410)上，设有沿X轴方向各自延伸的两列喷嘴列(喷嘴列411、412)。这些喷嘴列411、412彼此沿着Y轴方向隔开规定的间隔而配置。这样，本实施方式的喷墨头4为两列型的喷墨头。之后详细说明本公开的一种实施方式所涉及的作为喷射孔板的喷嘴板41的制造方法。
喷嘴列411具有沿着X轴方向隔开规定的间隔地在一条直线上排列地形成的、多个喷嘴孔(喷射孔)H1。这些喷嘴孔H1各自将喷嘴板41沿着其厚度方向(Z轴方向)贯通，例如如图5所示，与后述的促动器板42中的喷出通道C1e内连通。具体如图4所示，各喷嘴孔H1形成为列状，并且，以位于在喷出通道C1e上沿着Y轴方向的中央部的方式形成。另外，喷嘴孔H1的沿着X轴方向的形成间距与喷出通道C1e的沿着X轴方向的形成间距相同(相同间距)。详细在后文描述，从喷出通道C1e内被供应的油墨9从这样的喷嘴列411内的喷嘴孔H1被喷出(喷射)。
喷嘴列412也同样地具有沿着X轴方向隔开规定的间隔地在一条直线上排列地形成的、多个喷嘴孔(喷射孔)H2。这些喷嘴孔H2也各自将喷嘴板41沿着其厚度方向贯通，与后述的促动器板42的喷出通道C2e内连通。具体如图4所示，各喷嘴孔H2形成为列状，并且，以位于在喷出通道C2e上沿着Y轴方向的中央部的方式形成。另外，喷嘴孔H2的沿着X轴方向的形成间距与喷出通道C2e的沿着X轴方向的形成间距相同。详细在后文描述，从喷出通道C2e内被供应的油墨9也从这样的喷嘴列412内的喷嘴孔H2被喷出。
图6是将喷嘴板41的一部分的底面结构例(X-Y平面结构例)放大而表示的图。图7是示意性地表示沿着图6中所示的VII-VII线的截面结构例(Y-Z截面结构例)的图。图8是将图6所示的拒液膜413(之后说明)去除的状态下的喷嘴板41的一部分的底面结构例(X-Y平面结构例)放大而表示的图。
喷嘴板41具有设有多个喷嘴孔H1以及多个喷嘴孔H2的金属基板410。金属基板410具有设有各喷嘴孔H1、H2的喷出口Ha的喷出侧主面410B、以及设有比喷出口Ha大的各喷嘴孔H1、H2的流入口Hb的流入侧主面410A。这些喷嘴孔H1、H2各自为随着去往下方而逐渐缩小直径的锥状的贯通孔。在喷出侧主面410B，各喷嘴孔H1、H2的喷出口端缘区域Ea的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域Ea周围的周围区域Eb的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小(公式(1))。表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)基于ISO4287-1997，例如，通过激光显微镜、白色干涉计等非接触式的测量仪器，或者触针式表面粗糙度计等接触式的测量仪器来测量。
Ra1＜Ra2 (1)
Ra1：喷出口端缘区域Ea的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)
Ra2：周围区域Eb的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)。
在此，喷出口端缘区域Ea至少包含金属基板410之中在金属基板410的厚度方向上与流入口Hb对置的区域。周围区域Eb是在喷出侧主面410B处除了喷出口端缘区域Ea之外的区域。喷出口端缘区域Ea例如为圆环形状。此外，喷出口端缘区域Ea的形状不限于圆环形状。喷出口端缘区域Ea例如还可以是椭圆环形状、或者方形环形状。在喷出口端缘区域Ea为圆环形状的情况下，喷出口端缘区域Ea的外径D1比喷嘴孔H1、H2的排列间距D2小。因此，各喷出口端缘区域Ea在喷出侧主面410B处相互分离地设置。
喷出口端缘区域Ea是通过机械研磨而形成的研磨面。喷出口端缘区域Ea例如是通过带研磨而被研磨的区域。在金属基板410由SUS316L等不锈钢构成的情况下，喷出口端缘区域Ea的表面粗糙度Ra1例如为0.001μm以上0.1μm以下。周围区域Eb是完全未被研磨，或者进行了比喷出口端缘区域Ea粗糙的研磨的区域。在金属基板410由SUS316L等不锈钢构成的情况下，周围区域Eb的表面粗糙度Ra2例如为0.2μm以上1.0μm以下。
喷嘴板41还具有与喷出侧主面410B直接接触的拒液膜413。拒液膜413在喷出侧主面410B处避开喷出口端缘区域Ea而形成，以覆盖周围区域Eb整体或一部分的方式形成。拒液膜413例如与周围区域Eb整体或者一部分接触地形成。拒液膜413在与喷出口端缘区域Ea以及喷出口Ha对置的部位具有开口413H，在喷出侧主面410B处，包围各喷出口端缘区域Ea的周围。拒液膜413有助于在喷出侧主面410B因清洁而被擦拭时，从喷出侧主面410B有效地去除油墨9。作为拒液膜413，能够使用氟树脂，例如，PTFE(聚四氟乙烯)、PFEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)、PFA(四氟乙烯-全氟烷氧基醚共聚物)、FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)等。另外，作为拒液膜413，除了氟树脂以外，例如，还能够使用氟化硅烷偶联剂、含氟丙烯树脂等。
(促动器板42)
促动器板42是由例如PZT(钛酸锆酸铅)等压电材料构成的板。该促动器板42是将极化方向在Z方向上不同的两个压电基板层叠而形成的，所谓的人字纹(chevron)类型的促动器。此外，促动器板42也可以是由极化方向沿着厚度方向(Z轴方向)单向地设定的一个压电基板形成的，所谓的悬臂类型的促动器。另外，如图3以及图4所示，在促动器板42上，设有沿着X轴方向各自延伸的两列通道列(通道列421、422)。这些通道列421、422彼此沿着Y轴方向隔开规定的间隔而配置。
如图4所示，在这样的促动器板42中，在沿着X轴方向的中央部(通道列421、422的形成区域)，设有油墨9的喷出区域(喷射区域)A1。另一方面，在促动器板42中，在沿着X轴方向的两端部(通道列421、422的非形成区域)，设有油墨9的非喷出区域(非喷射区域)A2。该非喷出区域A2相对于喷出区域A1位于沿着X轴方向的外侧。此外，促动器板42的沿着Y轴方向的两端部各自构成尾部420。
如图3以及图4所示，上述的通道列421具有沿着Y轴方向延伸的多个通道C1。这些通道C1以沿着X轴方向隔开规定的间隔相互平行的方式排列配置。各通道C1通过由压电体(促动器板42)构成的驱动壁Wd各自划界而成，在剖视时为凹状的槽部(参照图3)。
通道列422也同样，具有沿着Y轴方向延伸的多个通道C2。这些通道C2以沿着X轴方向隔开规定的间隔相互平行的方式排列配置。各通道C2也通过上述的驱动壁Wd各自划界而成，在剖视时为凹状的槽部。
此处，如图3以及图4所示，在通道C1中，存在用于使油墨9喷出的喷出通道C1e和不使油墨9喷出的虚拟通道C1d。在通道列421中，这些喷出通道C1e和虚拟通道C1d沿着X轴方向交替地配置。各喷出通道C1e与喷嘴板41的喷嘴孔H1连通，另一方面，各虚拟通道C1d与喷嘴孔H1不连通，被喷嘴板41的上表面从下方覆盖。
同样地，在通道C2中，存在用于使油墨9喷出的喷出通道C2e和不使油墨9喷出的虚拟通道C2d。在通道列422中，这些喷出通道C2e和虚拟通道C2d沿着X轴方向交替地配置。各喷出通道C2e与喷嘴板41的喷嘴孔H2连通，另一方面，各虚拟通道C2d与喷嘴孔H2不连通，被喷嘴板41的上表面从下方覆盖。
另外，如图4所示，通道C1的喷出通道C1e以及虚拟通道C1d相对于通道C2的喷出通道C2e以及虚拟通道C2d以相互交错的方式配置。因此，在本实施方式的喷墨头4中，通道C1的喷出通道C1e和通道C2的喷出通道C2e配置为交错状。如图3所示，在促动器板42中，在与虚拟通道C1d、C2d对应的部分，形成有与虚拟通道C1d、C2d的沿着Y轴方向的外侧端部连通的浅槽部Dd。
此处，如图3以及图5所示，在上述的驱动壁Wd的对置的内侧面，各自设有沿着Y轴方向延伸的驱动电极Ed。在该驱动电极Ed中存在设于面向喷出通道C1e、C2e的内侧面的公共电极Edc和设于面向虚拟通道C1d、C2d的内侧面的有源电极Eda。这样的驱动电极Ed(公共电极Edc以及有源电极Eda)如图5所示，在驱动壁Wd的内侧面上，形成到与驱动壁Wd相同的深度(在Z轴方向上相同的深度)。另外，在促动器板42中在喷嘴板41侧的面，形成有防止驱动电极Ed和喷嘴板41相互电气短路的绝缘膜42A。此外在促动器板42为上述的悬臂类型的情况下，驱动电极Ed(公共电极Edc以及有源电极Eda)在驱动壁Wd的内侧面上，只形成到深度方向(Z轴方向)的中间位置。
在相同的喷出通道C1e(或喷出通道C2e)内对置的一对公共电极Edc彼此在公共端子(未图示)处相互电连接。另外，在相同的虚拟通道C1d(或虚拟通道C2d)内对置的一对有源电极Eda彼此相互电分离。另一方面，经由喷出通道C1e(或喷出通道C2e)对置的一对有源电极Eda彼此在有源端子(未图示)处相互电连接。
此处，如图3所示，在前述的尾部420中，安装有将驱动电极Ed和控制部(喷墨头4的后述的控制部40)之间电连接的柔性印刷基板44。在该柔性印刷基板44上形成的布线图案(未图示)相对于上述的公用端子以及有源端子电连接。由此，经由柔性印刷基板44从后述的控制电路40对各驱动电极Ed施加驱动电压。
(盖板43)
如图3所示，盖板43以闭塞促动器板42的各通道C1、C2(各通道列421、422)的方式配置。具体地，该盖板43粘接在促动器板42的上表面，为板状构造。
如图3所示，在盖板43上，分别形成有一对入口侧共通油墨室431a、432a和一对出口侧共通油墨室431b、432b。具体地，入口侧共通油墨室431a以及出口侧共通油墨室431b分别形成在与促动器板42的通道列421(多个通道C1)对应的区域。另外，入口侧共通油墨室432a以及出口侧共通油墨室432b分别形成在与促动器板42的通道列422(多个通道C2)对应的区域。
入口侧共通油墨室431a形成在各通道C1的沿着Y轴方向的内侧的端部附近，为凹状的槽部。在该入口侧共通油墨室431a中，在与各喷出通道C1e对应的区域，形成有将盖板43沿着其厚度方向(Z轴方向)贯通的供应狭缝Sa。同样地，入口侧共通油墨室432a形成在各通道C2的沿着Y轴方向的内侧的端部附近，为凹状的槽部。在该入口侧共通油墨室432a中，在与各喷出通道C2e对应的区域，也形成有上述的供应狭缝Sa。此外，这些入口侧共通油墨室431a、432a各自是构成喷墨头4的入口部Tin的部分。
如图3所示，出口侧共通油墨室431b形成在各通道C1的沿着Y轴方向的外侧的端部附近，为凹状的槽部。在该出口侧共通油墨室431b中，在与各喷出通道C1e对应的区域，形成有将盖板43沿着其厚度方向贯通的排出狭缝Sb。同样地，出口侧共通油墨室432b形成在各通道C2的沿着Y轴方向的外侧的端部附近，为凹状的槽部。在该出口侧共通油墨室432b中，在与各喷出通道C2e对应的区域，也形成有上述的排出狭缝Sb。此外，这些出口侧共通油墨室431b、432b各自是构成喷墨头4的出口部Tout的部分。
这样，入口侧共通油墨室431a以及出口侧共通油墨室431b分别经由供应狭缝Sa以及排出狭缝Sb与各喷出通道C1e连通，另一方面，与各虚拟通道C1d不连通。即，各虚拟通道C1d被这些入口侧共通油墨室431a以及出口侧共通油墨室431b的底部闭塞。
同样地，入口侧共通油墨室432a以及出口侧共通油墨室432b分别经由供应狭缝Sa以及排出狭缝Sb与各喷出通道C2e连通，另一方面，与各虚拟通道C2d不连通。即，各虚拟通道C2d被这些入口侧共通油墨室432a以及出口侧共通油墨室432b的底部闭塞。
(控制部40)
在此，本实施方式的喷墨头4还如图2所示，设有进行打印机1的各种动作的控制的控制部40。该控制部40例如除了控制打印机1的图像、字符等的记录动作(喷墨头4的油墨9的喷射动作)之外，还控制前述的送液泵52a、52b等的各动作。此种控制部40例如由具有运算处理部和由各种存储器形成的存储部的微计算机构成。
[打印机1的基本动作]
在该打印机1中，如以下这样，进行对记录纸P的图像、字符等的记录动作(打印动作)。此外，作为初始状态，在图1所示的四种油墨储罐3(3Y、3M、3C、3B)中各自充分地封入有对应的颜色(四色)的油墨9。另外，油墨储罐3内的油墨9为经由循环机构5填充到喷墨头4内的状态。
当在这样的初始状态下使打印机1工作时，通过使运送机构2a、2b的栅格辊21各自旋转，从而在栅格辊21和夹送辊22之间沿着运送方向d(X轴方向)运送记录纸P。另外，与这样的运送动作同时，驱动机构63的驱动马达633通过使滑轮631a、631b各自旋转，从而使无接头带632动作。由此，滑架62一边被导轨61a、61b引导，一边沿着记录纸P的宽度方向(Y轴方向)往复移动。然后此时，通过各喷墨头4(4Y、4M、4C、4B)使四色油墨9适当喷出到记录纸P，从而进行对该记录纸P的图像、字符等的记录动作。
[喷墨头4的详细动作]
接下来，参照图1～图5，对喷墨头4的详细动作(油墨9的喷射动作)进行说明。即，在本实施方式的喷墨头4(侧射类型、循环式的喷墨头)中，如以下这样，进行使用剪切(共用)模式的油墨9的喷射动作。
首先，当上述的滑架62(参照图1)的往复移动开始时，控制部40经由柔性印刷基板44对喷墨头4内的驱动电极Ed(公共电极Edc以及有源电极Eda)施加驱动电压。具体地，控制部40对各驱动电极Ed施加驱动电压，该各驱动电极Ed配置于将喷出通道C1e、C2e划界而成的一对驱动壁Wd。由此，这些一对驱动壁Wd各自以向与该喷出通道C1e、C2e邻接的虚拟通道C1d、C2d侧突出的方式变形(参照图5)。
这样，通过基于一对驱动壁Wd的弯曲变形，使喷出通道C1e、C2e的容积增大。而且，通过使喷出通道C1e、C2e的容积增大，在入口侧共通油墨室431a、432a内储存的油墨9向喷出通道C1e、C2e内被诱导(参照图3)。
接下来，这样向喷出通道C1e、C2e内被诱导的油墨9成为压力波并向喷出通道C1e、C2e的内部传播。而且，在该压力波到达喷嘴板41的喷嘴孔H1、H2的时点下，施加于驱动电极Ed的驱动电压为0(零)V。由此，驱动壁Wd从上述的弯曲变形的状态复原，其结果，临时增大的喷出通道C1e、C2e的容积再次回到原样(参照图5)。
这样，当喷出通道C1e、C2e的容积回到原样时，喷出通道C1e、C2e内部的压力增加，喷出通道C1e、C2e内的油墨9被加压。其结果，液滴状的油墨9通过喷嘴孔H1、H2向外部(朝向记录纸P)喷出(参照图5)。这样，进行喷墨头4中的油墨9的喷射动作(喷出动作)，其结果，进行对记录纸P的图像、字符等的记录动作。特别是，如前所述，本实施方式的喷嘴孔H1、H2各自为随着朝向下方而逐渐缩小直径的锥状(参照图5)，因此能够以高速将油墨9笔直地(前进性良好地)喷出。由此，能够进行高画质的记录。
(喷嘴板41的制造方法)
接着，说明喷嘴板41的制造方法。图9是表示喷嘴板41的制造步骤的一例的流程图。图10A～图10D是表示喷嘴板41的制造工序的一例的截面图。
首先，准备金属基板100(图10A)。金属基板100由以SUS316L、SUS304为首的不锈钢形成。金属基板100的一个面为第一主面100A，金属基板100的另一个面为第二主面100B。此外，通过对金属基板100进行加工而成为上述的金属基板410。另外，金属基板100的第一主面100A是成为金属基板410的流入侧主面410A的面，金属基板100的第二主面100B是成为金属基板410的喷出侧主面410B的面。
接着，进行冲孔加工(步骤S101)。首先，在具有与喷嘴板41的喷嘴孔H1、H2的沿着X轴方向的形成间距为相同间距的多个贯通孔300H的硬模300上，将第一主面100A朝上，固定金属基板100。各贯通孔300H的直径比后述的冲头200的圆柱部220的直径大。接着，用一个或多个冲头200按压金属基板100的第一主面100A。具体而言，用一个或多个冲头200按压金属基板100的第一主面100A之中与各贯通孔300H对置的部位。由此，在第一主面100A形成多个凹部100C，并且在第二主面100B之中，与各凹部100C对置的位置形成凸部100D(图10B)。此时，对金属基板100，列状地形成多个凹部100C，并且列状地形成多个凸部100D。
在此，冲头200具有圆锥梯形状的锥部210、以及与锥部210的前端相接而形成的圆柱部220。因此，通过冲头200的按压而形成的凹部100C为使冲头200的形状反转的形状，具体而言，具有圆锥梯形状的锥孔部、以及与锥孔部连通的圆柱孔部。此时，凹部100C比金属基板100的厚度(第一主面100A和第二主面100B的距离)深。
接着，进行研磨(步骤S102)。具体而言，通过利用机械研磨切削各凸部100D，使得将各凹部100C贯通，以形成多个喷嘴孔H1、H2(图10C)。此时，使得通过机械研磨在各喷嘴孔H1、H2的喷出口端缘区域Ea形成的研磨面的表面粗糙度Ra1(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域Ea(研磨面)周围的周围区域Eb的表面粗糙度Ra2(算术平均粗糙度Ra)小。在此，作为机械研磨，例如，能够列举基于带500的研磨(带研磨)等。带500例如是在厚度75μm左右的尺寸较长的聚酯膜的一个面，多个磨粒通过粘接剂几乎遍布整个面固定的带。
此外，在喷嘴孔H1、H2的流入口Hb(喷嘴孔H1、H2的促动器板42侧的端部)附近，存在随着冲头200的按压而产生波纹情况。在该情况下，除了通过机械研磨，切削各凸部100D之外，还可以使第一主面100A更加平坦。其结果，第一主面100A变得大致平坦。
接着，形成拒液膜413(步骤S103)。具体而言，形成对第二主面100B直接接触的拒液膜413(图10D)。例如，将在与周围区域Eb对置的部位具有开口的掩模(未图示)配置在第二主面100B上，在该状态下，将包含拒液膜413的原料的材料(例如，氟类硅烷偶联剂)例如通过浸渍法、喷涂法、刷毛涂法、利用布的涂布、旋涂法、辊涂布法、刮刀涂布机涂布法、或者膜涂布机涂布法固定在包含掩模的表面整体。之后，通过使利用上述各种方法形成的膜干燥来形成拒液膜413。如此，制造喷嘴板41。
[作用·效果]
接着，说明本公开的一种实施方式所涉及的作为喷射孔板的喷嘴板41的作用和效果。
具备喷墨头的打印机用于各种领域。喷墨头具备包含形成了多个喷嘴孔的喷嘴板的多个板的层叠体，并以从各喷嘴孔对被记录介质喷出为液体的油墨的方式构成。在此种喷嘴板中，一般要求长寿命化。但是，在以往的喷嘴板中，存在设有各喷嘴孔的喷出口的面因清洁而定期被擦拭的情况。在该情况下，在因擦拭所伴随的摩擦，设于喷出面的拒液膜剥离时，存在喷嘴板无法使用，喷嘴板的寿命变短的风险。
另一方面，在本实施方式所涉及的喷嘴板41中，在构成喷嘴板41的金属基板410的喷出侧主面410B处，各喷嘴孔H1、H2的喷出口端缘区域Ea的表面粗糙度Ra1(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域Ea周围的周围区域Eb的表面粗糙度Ra2(算术平均粗糙度Ra)小。由此，喷出口端缘区域Ea比周围区域Eb平滑，因而油墨的喷出难以因喷出口端缘处的表面粗糙度而受到衰减、偏向等的影响。其结果，确保了喷出品质。另一方面，由于周围区域Eb具有粗糙度，故拒液膜413对喷出侧主面410B的紧贴性好。其结果，设于喷出侧主面410B的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，能够在不损害喷出品质的情况下，延长喷嘴板41的寿命。
另外，在本实施方式所涉及的喷嘴板41中，喷出口端缘区域Ea为通过机械研磨形成的研磨面。由此，由于喷出口端缘区域Ea为比周围区域Eb平滑的研磨面，故确保了喷出品质。另一方面，通过使用机械研磨，与化学研磨相比较，容易选择性地仅研磨喷出口端缘区域Ea，确保周围区域Eb的粗糙度，因而拒液膜413相对于喷出侧主面410B的紧贴性好。其结果，设于喷出侧主面410B的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，能够在不损害喷出品质的情况下，延长喷嘴板41的寿命。
另外，在本实施方式所涉及的喷嘴板41中，设有与喷出侧主面410B直接接触的拒液膜413。如此，在本实施方式中，由于拒液膜413与含有粗糙的周围区域Eb的喷出侧主面410B直接接触，故拒液膜413对喷出侧主面410B的紧贴性好。其结果，设于喷出侧主面410B的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，通过拒液膜413来保护第二主面100B(喷出侧主面410B)，因而能够延长喷嘴板41的寿命。
另外，在本实施方式所涉及的喷嘴板41的制造方法中，在通过机械研磨，形成多个喷嘴孔H1、H2时，使得通过机械研磨在各喷嘴孔H1、H2的喷出口端缘区域Ea形成的研磨面的表面粗糙度Ra1(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域Ea(研磨面)周围的周围区域Eb的表面粗糙度Ra2(算术平均粗糙度Ra)小。由此，由于喷出口端缘区域Ea比周围区域Eb平滑，故确保了喷出品质。另一方面，由于周围区域Eb具有粗糙度，故拒液膜413对喷出侧主面410B的紧贴性好。其结果，设于喷出侧主面410B的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，能够在不损害喷出品质的情况下，延长喷嘴板41的寿命。
另外，在本实施方式所涉及的喷嘴板41的制造方法中，形成与第二主面100B直接接触的拒液膜413。如此，在本实施方式中，由于拒液膜413与含有粗糙的周围区域Eb的第二主面100B(喷出侧主面410B)直接接触，故拒液膜413对第二主面100B(喷出侧主面410B)的紧贴性好。其结果，设于第二主面100B(喷出侧主面410B)的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，通过拒液膜413来保护第二主面100B(喷出侧主面410B)，因而能够延长喷嘴板41的寿命。
<2.变形例>
以上，列举实施方式对本公开进行了说明，但本公开不限定于该实施方式，能够进行各种变形。
[变形例A]
例如，在上述实施方式中，各喷出口端缘区域Ea在喷出侧主面410B处相互分离地设置。但是，例如，还可以如图11、图12所示，在形成为列状的多个喷出口端缘区域Ea中，相互邻接的两个喷出口端缘区域Ea相互接触。此外，图11是将变形例A所涉及的喷嘴板41的一部分的底面结构例(X-Y平面结构例)放大而表示的图。图12是将图11所示的拒液膜413去除的状态下的喷嘴板41的一部分的底面结构例(X-Y平面结构例)放大而表示的图。在变形例A中，在喷出口端缘区域Ea为圆环形状的情况下，喷出口端缘区域Ea的外径比喷嘴孔H1、H2的排列间距大。
接下来，说明本变形例所涉及的喷嘴板41的制造方法。图13是表示本变形例所涉及的喷嘴板41的制造工序的一例的截面图。在本变形例所涉及的喷嘴板41的制造方法中，在上述实施方式所涉及的喷嘴板41的制造方法中，步骤S101以及直到图10A、10B的工序是共通的。因此，以下，从在上述实施方式所涉及的喷嘴板41的制造方法中与步骤S102对应的工序开始说明。
在进行了冲孔加工之后，进行研磨(步骤S102)。具体而言，通过利用机械研磨切削各凸部100D，使得将各凹部100C贯通，以形成多个喷嘴孔H1、H2(图13)。此时，使得通过机械研磨在各喷嘴孔H1、H2的喷出口端缘区域Ea形成的研磨面的表面粗糙度Ra1(算术平均粗糙度Ra)比处于喷出口端缘区域Ea(研磨面)周围的周围区域Eb的表面粗糙度Ra2(算术平均粗糙度Ra)小。在此，作为机械研磨，例如，能够列举基于带500的研磨(带研磨)等。而且，此时，列状地形成多个喷嘴孔H1、H2，并且以在多个喷出口端缘区域Ea(研磨面)中，相互邻接的两个喷出口端缘区域Ea(研磨面)相互接触的方式，研磨各凸部100D。接着，形成拒液膜413(步骤S103)。具体而言，形成对第二主面100B(周围区域Eb)直接接触的拒液膜413(图10D)。如此，制造本变形例所涉及的喷嘴板41。
在本变形例所涉及的喷嘴板41中，在形成为列状的多个喷出口端缘区域Ea中，相互邻接的两个喷出口端缘区域Ea相互接触。在此，在喷嘴孔H1彼此的距离(或喷嘴孔H2彼此的距离)短的情况下，有时出于作业精度，不容易以不将研磨面相互相连的方式进行研磨。在该情况下，在将研磨面彼此相连并无问题时，能够通过将研磨面彼此相连来降低作业精度，进而提高研磨的作业效率。由此，能够以较低的制造成本来确保喷出品质。
另外，在本变形例所涉及的喷嘴板41的制造方法中，列状地形成多个喷嘴孔H1、H2，并且以在多个喷出口端缘区域Ea(研磨面)中，相互邻接的两个喷出口端缘区域Ea(研磨面)相互接触的方式，研磨各凸部100D。在此，在喷嘴孔H1彼此的距离(或喷嘴孔H2彼此的距离)短的情况下，有时出于作业精度，不容易以不将研磨面相互相连的方式进行研磨。在该情况下，在将研磨面彼此相连并无问题时，能够通过将研磨面彼此相连来降低作业精度，进而提高研磨的作业效率。由此，能够以较低的制造成本来确保喷出品质。
[变形例B]
另外，例如，在上述实施方式及其变形例中，拒液膜413与喷出侧主面410B直接接触，但例如还可以如图14所示，隔着紧贴层414，与喷出侧主面410B接触。紧贴层414是用于提高喷出侧主面410B(周围区域Eb)和拒液膜413的紧贴性的层。作为紧贴层414的材料，例如，能够使用类金刚石碳(DLC)、硅烷偶联剂等。在制造本变形例所涉及的喷嘴板41时，在将紧贴层414形成于喷出侧主面410B(周围区域Eb)之后，形成隔着紧贴层414与喷出侧主面410B接触的拒液膜413。
在本变形例所涉及的喷嘴板41中，设有隔着紧贴层414与喷出侧主面410B接触的拒液膜413。如此，在本变形例中，由于拒液膜413隔着紧贴层414接触含有粗糙的周围区域Eb的喷出侧主面410B，故拒液膜413对喷出侧主面410B的紧贴性好。其结果，设于喷出侧主面410B的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，通过拒液膜413来保护第二主面100B(喷出侧主面410B)，因而能够延长喷嘴板41的寿命。
另外，在本变形例所涉及的喷嘴板41的制造方法中，形成隔着紧贴层414与第二主面100B接触的拒液膜413。如此，在本变形例中，由于拒液膜413隔着紧贴层414与含有粗糙的周围区域Eb的第二主面100B(喷出侧主面410B)接触，故拒液膜413对第二主面100B(喷出侧主面410B)的紧贴性好。其结果，设于第二主面100B(喷出侧主面410B)的拒液膜413难以因擦拭所伴随的摩擦而剥离。因而，通过拒液膜413来保护第二主面100B(喷出侧主面410B)，因而能够延长喷嘴板41的寿命。
[其他变形例]
另外，例如，在上述实施方式及其变形例中，具体地举了打印机1、以及喷墨头4的各部件的结构例(形状、配置、个数等)进行了说明，但在上述实施方式及其变形例中说明的并不限定于此，也可以是其他形状和配置、个数等。另外，关于在上述实施方式及其变形例中说明的各种参数的值和范围、大小关系等，也不限定于上述实施方式及其变形例中说明的，也可以是其他值和范围、大小关系等。
具体而言，例如，虽然在上述实施方式及其变形例中，将两列类型(具有两列喷嘴列411、412)的喷墨头4举例进行了说明，但不限于本例。即，例如还可以是一列类型(具有一列喷嘴列)的喷墨头、三列以上的多列类型(具有三列以上喷嘴列)的喷墨头。
另外，例如，在上述实施方式及其变形例中，对喷嘴列411、412各自沿X轴方向直线状地延伸的情况进行了说明，但不限于本例，例如，还可以使得喷嘴列411、412各自沿斜向方向延伸。而且，关于喷嘴孔H1、H2的形状，不限于在上述实施方式及其变形例中说明的这样的圆形状，例如，也可以为三角形状等多角形状、椭圆形状、星形形状等。
另外，例如，虽然在上述实施方式及其变形例中，对喷墨头4为侧射类型的情况进行了说明，但不限于本例，例如，喷墨头4还可以是其他类型。另外，例如，虽然在上述实施方式及其变形例中，对喷墨头4为循环式的情况进行了说明，但不限于本例，例如，喷墨头4还可以是不循环的其他方式。
另外，例如，在上述实施方式及其变形例中，在利用一个冲头200进行冲孔加工的情况下，也可以使用设有单个贯通孔300H的硬模300。此时一个冲头200以及单个贯通孔300H成为一对，通过二者相对于金属基板410相对移动，能够在金属基板410列状地形成多个凸部100D。
此外，在上述实施方式及其变形例中说明的一系列处理可以利用硬件(电路)进行，也可以利用软件(程序)进行。在利用软件进行的情况下，该软件由用于通过电脑使各功能运行的程序组构成。各程序例如可以事先编入上述电脑而使用，也可以从网络或记录介质安装到上述电脑而使用。
另外，在上述实施方式及其变形例中，作为本公开的“液体喷射记录装置”的一个具体例，举了打印机1(喷墨打印机)进行了说明，但不限定于该例子，也可以将本公开适用于喷墨打印机以外的其他装置。换言之，也可以将本公开的“液体喷射头”(喷墨头4)、“喷射孔板”(喷嘴板41)适用于喷墨打印机以外的其他装置。具体地，例如也可以将本公开的“液体喷射头”、“喷射孔板”适用于传真机和按需打印机等装置。
另外，虽然在上述实施方式及其变形例中打印机1的记录对象物体是记录纸P，但本公开的“液体喷射记录装置”的记录对象物体不限于此。例如，通过对盘纸、布、塑料、金属等各种材料喷射油墨来形成字符、图案。另外，记录对象物体也不需要是平面形状，还可以进行食品、瓷砖等建材、家具、汽车等各种立体物体的涂装、装饰。而且，通过本公开的“液体喷射记录装置”，能够对纤维进行印染，或者还能够通过在喷射后使油墨固化来进行立体造型(所谓的3D打印)。
而且，也可以将目前为止说明的各种例子任意组合而使用。
此外，本说明书中记载的效果仅为示例，并非用于限定，也可以具有其他效果。
另外，本公开也能够采用以下这样的结构。
(1)
一种喷射孔板，为用于液体喷射头的喷射孔板，
具备设有多个喷射孔的金属基板，
前述金属基板具有设有各前述喷射孔的喷出口的主面，
在前述主面，各前述喷射孔的喷出口端缘区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于前述喷出口端缘区域的周围的周围区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小。
(2)
根据(1)记载的喷射孔板，前述喷出口端缘区域是通过机械研磨而形成的研磨面。
(3)
根据(1)或(2)记载的喷射孔板，各前述喷射孔在前述主面上形成为列状，
在多个前述喷出口端缘区域中，相互邻接的两个前述喷出口端缘区域相互接触。
(4)
根据(1)至(3)中的任一项记载的喷射孔板，还具备直接或者隔着紧贴层与前述主面接触的拒液膜。
(5)
一种液体喷射头，具备(1)至(4)中的任一项所记载的喷射孔板。
(6)
一种液体喷射记录装置，具备(5)所记载的液体喷射头、以及容纳对前述液体喷射头供应的液体的容纳部。
(7)
一种喷射孔板的制造方法，包含：
通过用一个或多个冲头按压金属基板的第一主面，在前述第一主面形成多个凹部，并且在前述金属基板的第二主面之中与各前述凹部对置的位置形成凸部的冲孔加工工序；以及
通过机械研磨切削各前述凸部，使各前述凹部贯通，从而形成多个喷射孔，并且通过前述机械研磨使得在各前述喷射孔的喷出口端缘区域形成的研磨面的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)比处于前述研磨面的周围的周围区域的表面粗糙度(算术平均粗糙度Ra)小的研磨工序。
(8)
根据(7)记载的喷射孔板的制造方法，在前述冲孔加工工序中，列状地形成多个前述凹部，
在前述研磨工序中，列状地形成多个前述喷射孔，并且在多个前述研磨面中，以相互相邻的两个前述研磨面相互接触的方式，研磨各前述凸部。
(9)
根据(7)或(8)记载的喷射孔板的制造方法，还包含形成直接或者隔着紧贴层与前述第二主面接触的拒液膜的膜形成工序。
符号说明
1 打印机
10 框体
2a、2b 运送机构
21 栅格辊
22 夹送辊
3(3Y、3M、3C、3B) 油墨储罐
4(4Y、4M、4C、4B) 喷墨头
40 控制部
41 喷嘴板
411、412 喷嘴列
42 促动器板
42A 绝缘膜
413 拒液膜
413H 开口
414 紧贴层
420 尾部
421、422 通道列
43 盖板
431a、432a 入口侧共通油墨室
431b、432b 出口侧共通油墨室
44 柔性印刷基板
5 循环机构
50 循环流路
50a、50b 流路
52a、52b 送液泵
6 扫描机构
61a、61b 导轨
62 滑架
63 驱动机构
631a、631b 滑轮
632 无接头带
633 驱动马达
9 油墨
100 金属基板
100A 第一主面
100B 第二主面
100C 凹部
100D 凸部
200 冲头
210 锥部
220 圆柱部
300 硬模
300H 贯通孔
410 金属基板
410A 流入侧主面
410B 喷出侧主面
500 带
P 记录纸
d 运送方向
Tin 入口部
Tout 出口部
H1、H2 喷嘴孔
A1 喷出区域(喷射区域)
A2 非喷出区域(非喷射区域)
C1、C2 通道
C1e、C2e 喷出通道
C1d、C2d 虚拟通道
Wd 驱动壁
Ed 驱动电极
Edc 公共电极
Eda 有源电极
Dd 浅槽部
Sa 供应狭缝
Sb 排出狭缝
D1、D2 平均尺寸
Ea 喷出口端缘区域
Eb 周围区域
Ha 喷出口
Hb 流入口。

Claims (9)

1.一种喷射孔板，为用于液体喷射头的喷射孔板，
具备设有多个喷射孔的金属基板，
所述金属基板具有设有各所述喷射孔的喷出口的主面，
在所述主面，各所述喷射孔的喷出口端缘区域的表面粗糙度比处于所述喷出口端缘区域的周围的周围区域的表面粗糙度小，
各所述喷射孔在所述主面上形成为列状，
所述喷出口端缘区域为圆环形状且所述喷出口端缘区域的外径比所述喷射孔的排列间距大，从而相互邻接的两个所述喷出口端缘区域相互接触。
2.根据权利要求1所述的喷射孔板，其特征在于，所述喷出口端缘区域是通过机械研磨而形成的研磨面。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的喷射孔板，其特征在于，所述表面粗糙度是算术平均粗糙度Ra。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的喷射孔板，其特征在于，还具备直接或者隔着紧贴层与所述主面接触的拒液膜。
5.一种液体喷射头，具备权利要求1或权利要求2所记载的喷射孔板。
6.一种液体喷射记录装置，具备权利要求5所记载的液体喷射头、以及容纳对所述液体喷射头供应的液体的容纳部。
7.一种喷射孔板的制造方法，包含：
通过用一个或多个冲头按压金属基板的第一主面，在所述第一主面形成多个凹部，并且在所述金属基板的第二主面之中与各所述凹部对置的位置形成凸部的冲孔加工工序；以及
通过机械研磨切削各所述凸部，使各所述凹部贯通，从而形成多个喷射孔，并且通过所述机械研磨使得在各所述喷射孔的喷出口端缘区域形成的研磨面的表面粗糙度比处于所述研磨面的周围的周围区域的表面粗糙度小的研磨工序，
在所述冲孔加工工序中，列状地形成多个所述凹部，
在所述研磨工序中，列状地形成多个所述喷射孔，并且以将所述喷出口端缘区域形成为圆环形状的方式、且所述喷出口端缘区域的外径比所述喷射孔的排列间距大而相互相邻的两个所述研磨面相互接触的方式，研磨各所述凸部。
8.根据权利要求7所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，还包含形成直接或者隔着紧贴层与所述第二主面接触的拒液膜的膜形成工序。
9.根据权利要求7所述的喷射孔板的制造方法，其特征在于，所述表面粗糙度是算术平均粗糙度Ra。
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