JP2019089231A - 噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および噴射孔プレートの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】長寿命化が可能な噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および噴射孔プレートの製造方法を提供する。【解決手段】本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートは、液体噴射ヘッドに用いられる噴射孔プレートである。この噴射孔プレートは、複数の噴射孔が設けられた金属基板を備えている。金属基板は、各噴射孔の噴出口が設けられた主面を有している。その主面において、各噴射孔の噴出口端縁領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）が、噴出口端縁領域の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている。【選択図】図８

Description

本開示は、噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および噴射孔プレートの製造方法に関する。

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が、様々な分野に利用されている。液体噴射ヘッドは、多数の噴射孔が形成された噴射孔プレートを含む複数のプレートの積層体を備えており、各噴射孔から被記録媒体に対して液体であるインクを吐出するように構成されている。このような噴射孔プレートは、例えば、金属基板に対してプレス加工を行うことにより形成される（例えば、特許文献１，２参照）。

特開平１０−２２６０７０号公報 特開２００４−２５５６９６号公報

このような噴射孔プレートでは、一般に、長寿命化が求められている。長寿命化が可能な噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および噴射孔プレートの製造方法を提供することが望ましい。

本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートは、液体噴射ヘッドに用いられる噴射孔プレートである。この噴射孔プレートは、複数の噴射孔が設けられた金属基板を備えている。金属基板は、各噴射孔の噴出口が設けられた主面を有している。その主面において、各噴射孔の噴出口端縁領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）が、噴出口端縁領域の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、上記噴射孔プレートを備えている。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記液体噴射ヘッドと、上記液体噴射ヘッドに供給する液体を収容する収容部とを備えている。

本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートの製造方法は、以下の各工程を含んでいる。
（Ａ）金属基板の第１主面を１または複数のパンチで押圧することにより、第１主面に複数の凹部を形成するとともに、金属基板の第２主面のうち、各凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程
（Ｂ）各凸部を機械研磨によって削り、各凹部を貫通させることにより、複数の噴射孔を形成するとともに、機械研磨によって各噴射孔の噴出口端縁領域に形成される研磨面の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）を、研磨面の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする研磨工程

本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレート、液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置、および噴射孔プレートの製造方法によれば、長寿命化が可能となる。

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。 図１に示した循環機構等の詳細構成例を表す模式図である。 図２に示した液体噴射ヘッドの詳細構成例を表す分解斜視図である。 図３に示したノズルプレートを取り外した状態における液体噴射ヘッドの構成例を表す模式底面図である。 図４に示したＶ−Ｖ線に沿った断面の一部の構成例を表す模式図である。 図３に示したノズルプレートの一部を拡大して表す模式底面図である。 図６に示したＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。 図６に示した撥水膜を取り除いた状態におけるノズルプレートの一部を拡大して表す模式底面図である。 実施の形態に係るノズルプレートの製造手順の一例を表す流れ図である。 実施の形態に係るノズルプレートの製造工程の一例を表す断面図である。 図１０Ａに続く製造工程の一例を表す断面図である。 図１０Ｂに続く製造工程の一例を表す断面図である。 図１０Ｃに続く製造工程の一例を表す断面図である。 変形例に係るノズルプレートの一部を拡大して表す模式底面図である。 図１１に示した撥水膜を取り除いた状態におけるノズルプレートの一部を拡大して表す模式底面図である。 図１１に示したノズルプレートの製造工程の一例を表す断面図である。 変形例に係るノズルプレートの断面構成例を表す模式図である。

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（ノズルプレート、インクジェットヘッド、
プリンタ、ノズルプレートの製造方法）
２．変形例

＜１．実施の形態＞
［プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。このプリンタ１はまた、詳細は後述するが、インク９を所定の流路に循環させて利用する、インク循環式のインクジェットプリンタである。

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環機構５と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応している。インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

（搬送機構２ａ，２ｂ）
搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。グリッドローラ２１およびピンチローラ２２はそれぞれ、Ｙ軸方向（記録紙Ｐの幅方向）に沿って延設されている。駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ−Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等を用いて構成されている。

（インクタンク３）
インクタンク３は、インクジェットヘッド４に供給するインク９（液体）を収容するタンクである。インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｂ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｂとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル孔（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｂとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成については、後述する（図３〜図５）。

（循環機構５）
循環機構５は、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間でインク９を循環させるための機構である。図２は、循環機構５の構成例を、前述したインクタンク３およびインクジェットヘッド４と共に、模式的に表したものである。なお、図２中に示した実線の矢印は、インク９の循環方向を示している。循環機構５は、図２に示したように、インク９を循環させるための所定の流路（循環流路５０）と、一対の送液ポンプ５２ａ，５２ｂとを備えている。

循環流路５０は、インクジェットヘッド４内とインクジェットヘッド４の外部（インクタンク３内）との間を循環する流路であり、インク９がこの循環流路５０を循環して流れるようになっている。循環流路５０は、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと至る部分である流路５０ａと、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと至る部分である流路５０ｂとを有している。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。

送液ポンプ５２ａは、流路５０ａ上において、インクタンク３とインクジェットヘッド４との間に配置されている。送液ポンプ５２ａは、インクタンク３内に収容されているインク９を、流路５０ａを介してインクジェットヘッド４内へと送液するためのポンプである。送液ポンプ５２ｂは、流路５０ｂ上において、インクジェットヘッド４とインクタンク３との間に配置されている。送液ポンプ５２ｂは、インクジェットヘッド４内に収容されているインク９を、流路５０ｂを介してインクタンク３内へと送液するためのポンプである。

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３とを有している。また、駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３とを有している。

プーリ６３１ａ，６３１ｂはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って、各ガイドレール６１ａ，６１ｂにおける両端付近に対応する領域に配置されている。無端ベルト６３２には、キャリッジ６２が連結されている。このキャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。なお、このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成される。

［インクジェットヘッド４の詳細構成］
次に、図１および図２に加えて図３〜図５を参照して、インクジェットヘッド４の詳細構成例について説明する。図３は、インクジェットヘッド４の詳細構成例を、分解斜視図で表したものである。図４は、図３に示したノズルプレート４１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の構成例を、模式的に底面図（Ｘ−Ｙ底面図）で表したものである。図５は、インクジェットヘッド４の、図４に示したＶ−Ｖ線に対応する箇所での断面（Ｚ−Ｘ断面）の一部を、模式的に表したものである。

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述する複数のチャネル（チャネルＣ１，Ｃ２）における延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環機構５（循環流路５０）を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

図３に示したように、インクジェットヘッド４は、ノズルプレート４１（噴射孔プレート）、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３を主に備えている。これらのノズルプレート４１、アクチュエータプレート４２およびカバープレート４３は、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿ってカバープレート４３側を上方と称すると共に、ノズルプレート４１側を下方と称して説明する。ノズルプレート４１は、本開示における「噴射孔プレート」の一具体例に対応している。

（ノズルプレート４１）
ノズルプレート４１は、インクジェットヘッド４に用いられるプレートである。ノズルプレート４１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する金属基板４１０を有し、図３に示したように、アクチュエータプレート４２の下面に接着されている。ノズルプレート４１として用いられる金属基板４１０としては、ＳＵＳ３１６ＬやＳＵＳ３０４をはじめとするステンレス鋼が挙げられる。また、図３および図４に示したように、このノズルプレート４１（金属基板４１０）には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列４１１，４１２）が設けられている。これらのノズル列４１１，４１２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４は、２列タイプのインクジェットヘッドとなっている。本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートとしてのノズルプレート４１の製造方法については、後に詳述する。

ノズル列４１１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔（噴射孔）Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図５に示したように、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ１ｅ内に連通している。具体的には図４に示したように、各ノズル孔Ｈ１は、列状に形成されており、かつ、吐出チャネルＣ１ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列４１１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）される。

ノズル列４１２も同様に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて一直線上に並んで形成された、複数のノズル孔（噴射孔）Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４２における吐出チャネルＣ２ｅ内に連通している。具体的には図４に示したように、各ノズル孔Ｈ２は、列状に形成されており、かつ、吐出チャネルＣ２ｅ上においてＹ軸方向に沿った中央部に位置するように形成されている。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列４１２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出される。

図６は、ノズルプレート４１の一部の底面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を拡大して表したものである。図７は、図６に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面構成例（Ｙ−Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。図８は、図６に示した撥液膜４１３（後述）を取り除いた状態におけるノズルプレート４１の一部の底面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を拡大して表したものである。

ノズルプレート４１は、複数のノズル孔Ｈ１および複数のノズル孔Ｈ２が設けられた金属基板４１０を有している。金属基板４１０は、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口Ｈａが設けられた噴出側主面４１０Ｂと、噴出口Ｈａよりも大きな、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の流入口Ｈｂが設けられた流入側主面４１０Ａとを有している。これらのノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状の貫通孔となっている。噴出側主面４１０Ｂにおいて、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口端縁領域Ｅａの表面粗さ（算術平均粗さＲａ）は、噴出口端縁領域Ｅａの周囲にある周囲領域Ｅｂの表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている（式（１））。表面粗さ（算術平均粗さＲａ）は、ＩＳＯ４２８７−１９９７規格に基づいており、例えば、レーザ顕微鏡や白色干渉計などの非接触式の計測器、または、触針式表面粗さ計などの接触式の計測器などによって計測される。
Ｒａ１＜Ｒａ２…（１）
Ｒａ１：噴出口端縁領域Ｅａの表面粗さ（算術平均粗さＲａ）
Ｒａ２：周囲領域Ｅｂの表面粗さ（算術平均粗さＲａ）

ここで、噴出口端縁領域Ｅａは、少なくとも、金属基板１００のうち、金属基板１００の厚さ方向において流入口Ｈｂと対向する領域を含んでいる。周囲領域Ｅｂは、噴出側主面４１０Ｂにおいて、噴出口端縁領域Ｅａを除いた領域である。噴出口端縁領域Ｅａは、例えば、円環形状となっている。なお、噴出口端縁領域Ｅａの形状は、円環形状に限られない。噴出口端縁領域Ｅａは、例えば、楕円環形状、または方形環形状となっていてもよい。噴出口端縁領域Ｅａが円環形状となっている場合に、噴出口端縁領域Ｅａの外径Ｄ１は、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の配列ピッチＤ２よりも小さくなっている。そのため、各噴出口端縁領域Ｅａは、噴出側主面４１０Ｂにおいて、互いに分離して設けられている。

噴出口端縁領域Ｅａは、機械研磨によって形成された研磨面となっている。噴出口端縁領域Ｅａは、例えば、テープ研磨によって研磨された領域である。金属基板４１０が、ＳＵＳ３１６Ｌなどのステンレス鋼で構成されている場合、噴出口端縁領域Ｅａの表面粗さＲａ１は、例えば、０．００１μｍ以上０．１μｍ以下となっている。周囲領域Ｅｂは、全く研磨されていないか、または、噴出口端縁領域Ｅａよりも粗い研磨がなされている領域である。金属基板４１０が、ＳＵＳ３１６Ｌなどのステンレス鋼で構成されている場合、周囲領域Ｅｂの表面粗さＲａ２は、例えば、０．２μｍ以上１．０μｍ以下となっている。

ノズルプレート４１は、噴出側主面４１０Ｂに直接、接する撥液膜４１３を更に有している。撥液膜４１３は、噴出側主面４１０Ｂにおいて、噴出口端縁領域Ｅａを避けて形成されており、周囲領域Ｅｂの全体または一部を覆うように形成されている。撥液膜４１３は、例えば、周囲領域Ｅｂの全体または一部に接して形成されている。撥液膜４１３は、噴出口端縁領域Ｅａおよび噴出口Ｈａと対向する箇所に開口４１３Ｈを有しており、噴出側主面４１０Ｂにおいて、各噴出口端縁領域Ｅａの周囲を囲んでいる。撥液膜４１３は、噴出側主面４１０Ｂがクリーニングのためにワイピングされる際、噴出側主面４１０Ｂからインク９を効果的に除去するのに役立つ。撥液膜４１３として、フッ素樹脂を使用することができ、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＥＰ（テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロピルピレン共重合体）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテツ共重合体）、ＦＥＰ（四フッ化エチレン六フッ化プロピレン共重合体）等を使用することができる。また、撥液膜４１３として、フッ素樹脂以外に、例えば、フッ素化シランカップリング剤、フッ素含有アクリル樹脂等を使用することができる。

（アクチュエータプレート４２）
アクチュエータプレート４２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４２は、分極方向がＺ方向で異なる２つの圧電基板を積層して形成された、いわゆるシェブロンタイプのアクチュエータである。なお、アクチュエータプレート４２は、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つの圧電基板から形成された、いわゆるカンチレバータイプのアクチュエータであってもよい。また、図３および図４に示したように、アクチュエータプレート４２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

このようなアクチュエータプレート４２では、図４に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）Ａ１が設けられている。一方、アクチュエータプレート４２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）Ａ２が設けられている。この非吐出領域Ａ２は、吐出領域Ａ１に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、尾部４２０を構成している。

上記したチャネル列４２１は、図３および図４に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている（図３参照）。

チャネル列４２２も同様に、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、断面視にて凹状の溝部となっている。

ここで、図３および図４に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅと、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄとが存在している。チャネル列４２１において、これらの吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われている。

同様に、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅと、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄとが存在している。チャネル列４２２において、これらの吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとは、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１の上面によって下方から覆われている。

また、図４に示したように、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄは、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄに対し、互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、チャネルＣ１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネルＣ２における吐出チャネルＣ２ｅとが、千鳥状に配置されている。図３に示したように、アクチュエータプレート４２において、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに対応する部分には、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおけるＹ軸方向に沿った外側端部に連通する、浅溝部Ｄｄが形成されている。

ここで、図３および図５に示したように、上記した駆動壁Ｗｄにおける対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられたコモン電極Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられたアクティブ電極Ｅｄａとが存在している。このような駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、図５に示したように、駆動壁Ｗｄの内側面上において、駆動壁Ｗｄと同じ深さ（Ｚ軸方向において同じ深さ）まで形成されている。また、アクチュエータプレート４２において、ノズルプレート４１側の面には、駆動電極Ｅｄとノズルプレート４１とが互いに電気的に短絡するのを防止する絶縁膜４２Ａが形成されている。なお、アクチュエータプレート４２が上述のカンチレバータイプとなっている場合には、駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）は、駆動壁Ｗｄの内側面内において、深さ方向（Ｚ軸方向）の中間位置までしか形成されていない。

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対のコモン電極Ｅｄｃ同士は、コモン端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対のアクティブ電極Ｅｄａ同士は、アクティブ端子（不図示）において互いに電気的に接続されている。

ここで、前述した尾部４２０においては、図３に示したように、駆動電極Ｅｄと制御部（インクジェットヘッド４における後述する制御部４０）との間を電気的に接続する、フレキシブルプリント基板４４が実装されている。このフレキシブルプリント基板４４に形成された配線パターン（不図示）は、上記したコモン端子およびアクティブ端子に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板４４を介して、後述する制御部４０から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

（カバープレート４３）
カバープレート４３は、図３に示したように、アクチュエータプレート４２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４３は、アクチュエータプレート４２の上面に接着されており、板状構造となっている。

カバープレート４３には、図３に示したように、一対の入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａと、一対の出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂとが、それぞれ形成されている。具体的には、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂはそれぞれ、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に形成されている。また、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂはそれぞれ、アクチュエータプレート４２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に形成されている。

入口側共通インク室４３１ａは、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この入口側共通インク室４３１ａにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、供給スリットＳａが形成されている。同様に、入口側共通インク室４３２ａは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この入口側共通インク室４３２ａにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した供給スリットＳａが形成されている。なお、これらの入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａはそれぞれ、インクジェットヘッド４における前述した入口部Ｔｉｎを構成する部分である。

出口側共通インク室４３１ｂは、図３に示したように、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この出口側共通インク室４３１ｂにおいて、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４３をその厚み方向に沿って貫通する、排出スリットＳｂが形成されている。同様に、出口側共通インク室４３２ｂは、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている。この出口側共通インク室４３２ｂにおいて、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、上記した排出スリットＳｂが形成されている。なお、これらの出口側共通インク室４３１ｂ，４３２ｂはそれぞれ、インクジェットヘッド４における前述した出口部Ｔｏｕｔを構成する部分である。

このようにして、入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ１ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これら入口側共通インク室４３１ａおよび出口側共通インク室４３１ｂにおける底部によって、閉塞されている。

同様に、入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂはそれぞれ、供給スリットＳａおよび排出スリットＳｂを介して各吐出チャネルＣ２ｅに連通する一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには連通していない。すなわち、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これら入口側共通インク室４３２ａおよび出口側共通インク室４３２ｂにおける底部によって、閉塞されている。

（制御部４０）
ここで、本実施の形態のインクジェットヘッド４にはまた、図２に示したように、プリンタ１における各種動作の制御を行う、制御部４０が設けられている。この制御部４０は、例えば、プリンタ１における画像や文字等の記録動作（インクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作）の他、前述した送液ポンプ５２ａ，５２ｂ等における各動作を制御するようになっている。このような制御部４０は、例えば、演算処理部と各種メモリからなる記憶部とを有する、マイクロコンピュータにより構成されている。

［プリンタ１の基本動作］
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環機構５を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２と間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

［インクジェットヘッド４における詳細動作］
続いて、図１〜図５を参照して、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、本実施の形態のインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ，循環式のインクジェットヘッド）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、制御部４０は、フレキシブルプリント基板４４を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（コモン電極Ｅｄｃおよびアクティブ電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、制御部４０は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する（図５参照）。

このように、一対の駆動壁Ｗｄによる屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通インク室４３１ａ，４３２ａ内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる（図３参照）。

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミングで、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる（図５参照）。

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻ると、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図５参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われることになる。特に、本実施の形態のノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、前述したように、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパー状となっているため（図５参照）、インク９を高速度で真っ直ぐに（直進性良く）吐出することができる。よって、高画質な記録を行うことが可能となる。

［ノズルプレート４１の製造方法］
次に、ノズルプレート４１の製造方法について説明する。図９は、ノズルプレート４１の製造手順の一例を表す流れ図である。図１０Ａ〜図１０Ｄは、ノズルプレート４１の製造工程の一例を表す断面図である。

まず、金属基板１００を用意する（図１０Ａ）。金属基板１００は、ＳＵＳ３１６ＬやＳＵＳ３０４をはじめとするステンレス鋼によって形成されている。金属基板１００の一方の面が第１主面１００Ａとなっており、金属基板の１００の他方の面が第２主面１００Ｂとなっている。なお、金属基板１００を加工することにより上述の金属基板４１０となる。また、金属基板１００の第１主面１００Ａが金属基板４１０の流入側主面４１０Ａとなる面であり、金属基板１００の第２主面１００Ｂが金属基板４１０の噴出側主面４１０Ｂとなる面である。

次に、パンチ加工を行う（ステップＳ１０１）。まず、ノズルプレート４１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一ピッチの複数の貫通孔３００Ｈを有するダイ３００上に、第１主面１００Ａを上にして、金属基板１００を固定する。各貫通孔３００Ｈの径は、後述のパンチ２００の円柱部２２０の径よりも大きくなっている。続いて、金属基板１００の第１主面１００Ａを１または複数のパンチ２００で押圧する。具体的には、金属基板１００の第１主面１００Ａのうち、各貫通孔３００Ｈと対向する箇所を１または複数のパンチ２００で押圧する。これにより、第１主面１００Ａに複数の凹部１００Ｃを形成するとともに、第２主面１００Ｂのうち、各凹部１００Ｃと対向する位置に凸部１００Ｄを形成する（図１０Ｂ）。このとき、金属基板１００に対して、複数の凹部１００Ｃを列状に形成するとともに、複数の凸部１００Ｄを列状に形成する。

ここで、パンチ２００は、円錐台形状のテーパー部２１０と、テーパー部２１０の先端に接して形成された円柱部２２０とを有している。そのため、パンチ２００の押圧により形成された凹部１００Ｃは、パンチ２００の形状を反転させた形状となっており、具体的には、円錐台形状のテーパー孔部と、テーパー孔部と連通する円柱孔部とを有している。このとき、凹部１００Ｃは、金属基板１００の厚さ（第１主面１００Ａと第２主面１００Ｂとの距離）よりも深くなっている。

次に、研磨を行う（ステップＳ１０２）。具体的には、各凸部１００Ｄを機械研磨によって削り、各凹部１００Ｃを貫通させることにより、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を形成する（図１０Ｃ）。このとき、機械研磨によって各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口端縁領域Ｅａに形成される研磨面の表面粗さＲａ１（算術平均粗さＲａ）を、噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）の周囲にある周囲領域Ｅｂの表面粗さＲａ２（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする。ここで、機械研磨としては、例えば、テープ５００による研磨（テープ研磨）などが挙げられる。テープ５００は、例えば、厚さ７５μｍ程度の長尺なポリエステルフィルムの一方の面に、複数の砥粒が接着剤によりほぼ全面に亘って固定されたものである。

なお、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の流入口Ｈｂ（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２のアクチュエータプレート４２側の端部）近傍に、パンチ２００の押圧に伴ってうねりが生じることがある。その場合には、機械研磨により、各凸部１００Ｄを削ることに加えて、第１主面１００Ａをより平坦にしてもよい。その結果、第１主面１００Ａは概ね平坦となる。

次に、撥液膜４１３を形成する（ステップＳ１０３）。具体的には、第２主面１００Ｂに直接、接する撥液膜４１３を形成する（図１０Ｄ）。例えば、周囲領域Ｅｂと対向する箇所に開口を有するマスク（図示せず）を第２主面１００Ｂ上に配置し、その状態で、撥液膜４１３の原料を含む材料（例えば、フッ素系シランカップリング剤）を、例えば、浸漬法、スプレー法、刷毛塗り法、布による塗布、スピンコート法、ローラ塗布法、ナイフコータ塗布法、または、フィルムコータ塗布法によって、マスクを含む表面全体に固定する。その後、上記各種方法によって形成された膜を乾燥させることにより、撥液膜４１３を形成する。このようにして、ノズルプレート４１が製造される。

[作用・効果］
次に、本開示の一実施の形態に係る噴射孔プレートとしてのノズルプレート４１の作用・効果について説明する。

インクジェットヘッドを備えたプリンタが、様々な分野に利用されている。インクジェットヘッドは、多数のノズル孔が形成されたノズルプレートを含む複数のプレートの積層体を備えており、各ノズル孔から被記録媒体に対して液体であるインクを吐出するように構成されている。このようなノズルプレートでは、一般に、長寿命化が求められている。しかし、従来のノズルプレートでは、各ノズル孔の噴出口が設けられた面がクリーニングのために定期的にワイピングされる場合がある。その場合に、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出面に設けられた撥液膜が剥がれたときには、ノズルプレートが使用できなくなり、ノズルプレートの寿命が短くなるおそれがある。

一方、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、ノズルプレート４１を構成する金属基板４１０の噴出側主面４１０Ｂにおいて、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口端縁領域Ｅａの表面粗さＲａ１（算術平均粗さＲａ）が、噴出口端縁領域Ｅａの周囲にある周囲領域Ｅｂの表面粗さＲａ２（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている。これにより、噴出口端縁領域Ｅａが周囲領域Ｅｂよりも平滑であるので、インクの吐出が、噴出口端縁での表面粗さによって減衰や偏向等の影響を受けにくくなる。その結果、吐出品質が確保される。その一方で、周囲領域Ｅｂが粗さを持っているので、噴出側主面４１０Ｂに対する、撥液膜４１３の密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出側主面４１０Ｂに設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、吐出品質を損なうことなく、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

また、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、噴出口端縁領域Ｅａが機械研磨によって形成された研磨面となっている。これにより、噴出口端縁領域Ｅａが周囲領域Ｅｂよりも平滑な研磨面であるので、吐出品質が確保される。その一方で、機械研磨を用いることで、化学研磨と比較して、噴出口端縁領域Ｅａのみを選択的に研磨することが容易であり、周囲領域Ｅｂの粗さが確保されるので、噴出側主面４１０Ｂに対する、撥液膜４１３の密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出側主面４１０Ｂに設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、吐出品質を損なうことなく、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

また、本実施の形態に係るノズルプレート４１では、噴出側主面４１０Ｂに直接、接する撥液膜４１３が設けられている。このように、本実施の形態では、撥液膜４１３が粗い周囲領域Ｅｂを含む噴出側主面４１０Ｂに直接、接しているので、撥液膜４１３の、噴出側主面４１０Ｂに対する密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出側主面４１０Ｂに設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、撥液膜４１３によって第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）が保護されるので、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

また、本実施の形態に係るノズルプレート４１の製造方法では、機械研磨により、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を形成する際に、機械研磨によって各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口端縁領域Ｅａに形成される研磨面の表面粗さＲａ１（算術平均粗さＲａ）を、噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）の周囲にある周囲領域Ｅｂの表面粗さＲａ２（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする。これにより、噴出口端縁領域Ｅａが周囲領域Ｅｂよりも平滑であるので、吐出品質が確保される。その一方で、周囲領域Ｅｂが粗さを持っているので、噴出側主面４１０Ｂに対する、撥液膜４１３の密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出側主面４１０Ｂに設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、吐出品質を損なうことなく、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

また、本実施の形態に係るノズルプレート４１の製造方法では、第２主面１００Ｂに直接、接する撥液膜４１３を形成する。このように、本実施の形態では、撥液膜４１３が粗い周囲領域Ｅｂを含む第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に直接、接しているので、撥液膜４１３の、第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に対する密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、撥液膜４１３によって第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）が保護されるので、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

＜２．変形例＞
以上、実施の形態を挙げて本開示を説明したが、本開示はこの実施の形態に限定されず、種々の変形が可能である。

[変形例Ａ]
例えば、上記実施の形態では、各噴出口端縁領域Ｅａは、噴出側主面４１０Ｂにおいて、互いに分離して設けられていた。しかし、例えば、図１１、図１２に示したように、列状に形成された複数の噴出口端縁領域Ｅａにおいて、互いに隣接する２つの噴出口端縁領域Ｅａが、互いに接していてもよい。なお、図１１は、変形例Ａに係るノズルプレート４１の一部の底面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を拡大して表したものである。図１２は、図１１に示した撥液膜４１３を取り除いた状態におけるノズルプレート４１の一部の底面構成例（Ｘ−Ｙ平面構成例）を拡大して表したものである。変形例Ａにおいて、噴出口端縁領域Ｅａが円環形状となっている場合には、噴出口端縁領域Ｅａの外径は、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の配列ピッチよりも大きくなっている。

次に、本変形例に係るノズルプレート４１の製造方法について説明する。図１３は、本変形例に係るノズルプレート４１の製造工程の一例を表す断面図である。本変形例に係るノズルプレート４１の製造方法では、上記実施の形態に係るノズルプレート４１の製造方法において、ステップＳ１０１および図１０Ａ，図１０Ｂまでの工程は、共通である。そこで、以下では、上記実施の形態に係るノズルプレート４１の製造方法においてステップＳ１０２に対応する工程から説明する。

パンチ加工を行った後、研磨を行う（ステップＳ１０２）。具体的には、各凸部１００Ｄを機械研磨によって削り、各凹部１００Ｃを貫通させることにより、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を形成する（図１３）。このとき、機械研磨によって各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の噴出口端縁領域Ｅａに形成される研磨面の表面粗さＲａ１（算術平均粗さＲａ）を、噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）の周囲にある周囲領域Ｅｂの表面粗さＲａ２（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする。ここで、機械研磨としては、例えば、テープ５００による研磨（テープ研磨）などが挙げられる。さらに、このとき、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を列状に形成するとともに、複数の噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）において、互いに隣接する２つの噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）が互いに接するように、各凸部１００Ｄを研磨する。次に、撥液膜４１３を形成する（ステップＳ１０３）。具体的には、第２主面１００Ｂ（周囲領域Ｅｂ）に直接、接する撥液膜４１３を形成する（図１０Ｄ）。このようにして、本変形例に係るノズルプレート４１が製造される。

本変形例に係るノズルプレート４１では、列状に形成された複数の噴出口端縁領域Ｅａにおいて、互いに隣接する２つの噴出口端縁領域Ｅａが、互いに接している。ここで、ノズル孔Ｈ１同士の距離（またはノズル孔Ｈ２同士の距離）が短い場合、互いに研磨面をつなげないように研磨することが作業精度上容易ではないことがある。その場合に、研磨面同士をつなげることが問題無いときには、研磨面同士をつなげることで作業精度を下げることができ、ひいては研磨の作業性が向上する。従って、低い製造コストで、吐出品質を確保することができる。

また、本変形例に係るノズルプレート４１の製造方法では、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２を列状に形成するとともに、複数の噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）において、互いに隣接する２つの噴出口端縁領域Ｅａ（研磨面）が互いに接するように、各凸部１００Ｄを研磨する。ここで、ノズル孔Ｈ１同士の距離（またはノズル孔Ｈ２同士の距離）が短い場合、互いに研磨面をつなげないように研磨することが作業精度上容易ではないことがある。その場合に、研磨面同士をつなげることが問題無いときには、研磨面同士をつなげることで作業精度を下げることができ、ひいては研磨の作業性が向上する。従って、低い製造コストで、吐出品質を確保することができる。

[変形例Ｂ]
また、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、撥液膜４１３は、噴出側主面４１０Ｂに直接、接していたが、例えば、図１４に示したように、密着層４１４を介して、噴出側主面４１０Ｂに接していてもよい。密着層４１４は、噴出側主面４１０Ｂ（周囲領域Ｅｂ）と撥液膜４１３との密着性を向上させるための層である。密着層４１４の材料として、例えば、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、シランカップリング剤等を使用することができる。本変形例に係るノズルプレート４１を製造する際には、噴出側主面４１０Ｂ（周囲領域Ｅｂ）に密着層４１４を形成した後、密着層４１４を介して噴出側主面４１０Ｂに接する撥液膜４１３を形成する。

本変形例に係るノズルプレート４１では、噴出側主面４１０Ｂに、密着層４１４を介して接する撥液膜４１３が設けられている。このように、本変形例では、撥液膜４１３が粗い周囲領域Ｅｂを含む噴出側主面４１０Ｂに、密着層４１４を介して接しているので、撥液膜４１３の、噴出側主面４１０Ｂに対する密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、噴出側主面４１０Ｂに設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、撥液膜４１３によって第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）が保護されるので、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

また、本変形例に係るノズルプレート４１の製造方法では、第２主面１００Ｂに、密着層４１４を介して接する撥液膜４１３を形成する。このように、本変形例では、撥液膜４１３が粗い周囲領域Ｅｂを含む第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に、密着層４１４を介して接しているので、撥液膜４１３の、第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に対する密着性が良い。その結果、ワイピングに伴う摩擦によって、第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）に設けられた撥液膜４１３が剥がれ難い。従って、撥液膜４１３によって第２主面１００Ｂ（噴出側主面４１０Ｂ）が保護されるので、ノズルプレート４１の寿命を延ばすことが可能となる。

[その他の変形例]
また、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、プリンタ１およびインクジェットヘッド４における各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態およびその変形例で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態およびその変形例で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態およびその変形例で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

具体的には、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、２列タイプの（２列のノズル列４１１，４１２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、ノズル列４１１，４１２がそれぞれＸ軸方向に沿って直線状に延在している場合について説明したが、この例には限らず、例えば、ノズル列４１１，４１２がそれぞれ、斜め方向に延在するようにしてもよい。更に、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の形状についても、上記実施の形態およびその変形例で説明したような円形状には限られず、例えば、三角形状等の多角形状や、楕円形状や星型形状などであってもよい。

また、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、インクジェットヘッド４がサイドシュートタイプとなっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が他のタイプとなっていてもよい。また、例えば、上記実施の形態およびその変形例では、インクジェットヘッド４が循環式となっている場合について説明したが、この例には限らず、例えば、インクジェットヘッド４が循環しない他の方式となっていてもよい。

また、例えば、上記実施の形態およびその変形例において、１つのパンチ２００を用いてパンチ加工を行う場合には、単一の貫通孔３００Ｈが設けられたダイ３００を用いてもよい。このとき、１つのパンチ２００および単一の貫通孔３００Ｈは、一対になっており、両者が金属基板４１０に対して相対的に移動することにより、金属基板４１０に複数の凸部１００Ｄを列状に形成することができる。

加えて、上記実施の形態およびその変形例で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

また、上記実施の形態およびその変形例では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド４）や「噴射孔プレート」（ノズルプレート４１）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」や「噴射孔プレート」を適用するようにしてもよい。

また、上記実施の形態およびその変形例では、プリンタ１の記録対象物は記録紙Ｐであったが、本開示の「液体噴射記録装置」の記録対象物はこれに限られない。例えば、ボール紙、布、プラスチック、金属など、様々な材料にインクを噴射することによって、文字や模様を形成することができる。また、記録対象物は平面形状である必要もなく、食品、タイル等の建材、家具、自動車など様々な立体物の塗装や装飾を行うこともできる。さらに、本開示の「液体噴射記録装置」によって、繊維を捺染することができ、あるいは噴射後にインクを固化させることによって立体造形を行うこともできる（いわゆる３Ｄプリンタ）。

更に、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体噴射ヘッドに用いられる噴射孔プレートであって、
複数の噴射孔が設けられた金属基板を備え、
前記金属基板は、各前記噴射孔の噴出口が設けられた主面を有し、
前記主面において、各前記噴射孔の噴出口端縁領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）は、前記噴出口端縁領域の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている
噴射孔プレート。
（２）
前記噴出口端縁領域は、機械研磨によって形成された研磨面となっている
（１）に記載の噴射孔プレート。
（３）
各前記噴射孔は、前記主面において列状に形成され、
複数の前記噴出口端縁領域において、互いに隣接する２つの前記噴出口端縁領域は、互いに接している
（１）または（２）に記載の噴射孔プレート。
（４）
前記主面に直接、または密着層を介して接する撥液膜を更に備えた
（１）ないし（３）のいずれか１つに記載の噴射孔プレート。
（５）
（１）ないし（４）のいずれか１つに記載の噴射孔プレートを備えた
液体噴射ヘッド。
（６）
（５）に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドに供給する液体を収容する収容部と
を備えた液体噴射記録装置。
（７）
金属基板の第１主面を１または複数のパンチで押圧することにより、前記第１主面に複数の凹部を形成するとともに、前記金属基板の第２主面のうち、各前記凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程と、
各前記凸部を機械研磨によって削り、各前記凹部を貫通させることにより、複数の噴射孔を形成するとともに、前記機械研磨によって各前記噴射孔の噴出口端縁領域に形成される研磨面の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）を、前記研磨面の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする研磨工程と
を含む噴射孔プレートの製造方法。
（８）
前記パンチ加工工程において、複数の前記凹部を列状に形成し、
前記研磨工程において、複数の前記噴射孔を列状に形成するとともに、複数の前記研磨面において、互いに隣接する２つの前記研磨面が互いに接するように、各前記凸部を研磨する
（７）に記載の噴射孔プレートの製造方法。
（９）
前記第２主面に直接、または密着層を介して接する撥液膜を形成する膜形成工程を更に含む
（７）または（８）に記載の噴射孔プレートの製造方法。

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｂ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ）…インクジェットヘッド、４０…制御部、４１…ノズルプレート、４１１，４１２…ノズル列、４２…アクチュエータプレート、４２Ａ…絶縁膜、４１３…撥液膜、４１３Ｈ…開口、４１４…密着層、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、４３…カバープレート、４３１ａ，４３２ａ…入口側共通インク室、４３１ｂ，４３２ｂ…出口側共通インク室、４４…フレキシブルプリント基板、５…循環機構、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路、５２ａ，５２ｂ…送液ポンプ、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、１００…金属基板、１００Ａ…第１主面、１００Ｂ…第２主面、１００Ｃ…凹部、１００Ｄ…凸部、２００…パンチ、２１０…テーパー部、２２０…円柱部、３００…ダイ、３００Ｈ…貫通孔、４１０…金属基板、４１０Ａ…流入側主面、４１０Ｂ…噴出側主面、５００…テープ、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｔｉｎ…入口部、Ｔｏｕｔ…出口部、Ｈ１，Ｈ２…ノズル孔、Ａ１…吐出領域（噴射領域）、Ａ２…非吐出領域（非噴射領域）、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ，Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄｃ…コモン電極、Ｅｄａ…アクティブ電極、Ｄｄ…浅溝部、Ｓａ…供給スリット、Ｓｂ…排出スリット、Ｄ１，Ｄ２…平均サイズ、Ｅａ…噴出口端縁領域、Ｅｂ…周囲領域、Ｈａ…噴出口、Ｈｂ…流入口。

Claims (9)

1. 液体噴射ヘッドに用いられる噴射孔プレートであって、
   複数の噴射孔が設けられた金属基板を備え、
   前記金属基板は、各前記噴射孔の噴出口が設けられた主面を有し、
   前記主面において、各前記噴射孔の噴出口端縁領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）は、前記噴出口端縁領域の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくなっている
   噴射孔プレート。
2. 前記噴出口端縁領域は、機械研磨によって形成された研磨面となっている
   請求項１に記載の噴射孔プレート。
3. 各前記噴射孔は、前記主面において列状に形成され、
   複数の前記噴出口端縁領域において、互いに隣接する２つの前記噴出口端縁領域は、互いに接している
   請求項１または請求項２に記載の噴射孔プレート。
4. 前記主面に直接、または密着層を介して接する撥液膜を更に備えた
   請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の噴射孔プレート。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の噴射孔プレートを備えた
   液体噴射ヘッド。
6. 請求項５に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記液体噴射ヘッドに供給する液体を収容する収容部と
   を備えた液体噴射記録装置。
7. 金属基板の第１主面を１または複数のパンチで押圧することにより、前記第１主面に複数の凹部を形成するとともに、前記金属基板の第２主面のうち、各前記凹部と対向する位置に凸部を形成するパンチ加工工程と、
   各前記凸部を機械研磨によって削り、各前記凹部を貫通させることにより、複数の噴射孔を形成するとともに、前記機械研磨によって各前記噴射孔の噴出口端縁領域に形成される研磨面の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）を、前記研磨面の周囲にある周囲領域の表面粗さ（算術平均粗さＲａ）よりも小さくする研磨工程と
   を含む噴射孔プレートの製造方法。
8. 前記パンチ加工工程において、複数の前記凹部を列状に形成し、
   前記研磨工程において、複数の前記噴射孔を列状に形成するとともに、複数の前記研磨面において、互いに隣接する２つの前記研磨面が互いに接するように、各前記凸部を研磨する
   請求項７に記載の噴射孔プレートの製造方法。
9. 前記第２主面に直接、または密着層を介して接する撥液膜を形成する膜形成工程を更に含む
   請求項７または請求項８に記載の噴射孔プレートの製造方法。

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