CN109791908B - 机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法 - Google Patents

机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法 Download PDF

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Abstract

一种机器人的控制装置，具备：影像数据获取部，其获取由相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，其在影像数据中生成虚拟配置在基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，其基于影像数据计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息；动作控制部，其基于从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，以使虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器臂的动作；及存储部，其将一致时的手的位置作为教示数据存储。

Description

机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法
技术领域
本发明涉及一种机器人、机器人的控制装置及机器人的位置教示方法。
背景技术
在半导体装置及液晶装置领域中，因装置的复杂化及搬运物的巨大化，而使机器人的教示变得越发困难。向机器人教示准确的位置对于机器人的可靠性而言极为重要。在这样的状况下，由操作员的技能不足引起的教示错误是一个严重的问题。因此，需要一种用于不依赖操作员的技能而向机器人教示准确的位置的技术。
在专利文献1中公开了使设置于机器人的手腕的末端效应器接触目标，并撷取末端效应器与目标接触状态下的位置从而检测出目标的位置的技术。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-152898号公报。
发明内容
发明要解决的问题：
然而，专利文献1的方法中在向机器人教示位置时，必须使末端效应器接触目标，故而可能产生误差等问题。因此，在教示精度的改善方面尚存进一步改进的余地。
因此，本发明是为了解决上述问题而作出的，目的在于不依赖操作员的技能而向机器人精度良好地教示正确的位置。
解决问题的手段：
为解决所述课题，本发明的某一形态的机器人是将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人，具备：机器臂；安装于所述机器臂的梢端的手；相机，所述相机以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于基板载置部以外的部分；影像数据获取部，所述影像数据获取部获取由所述相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，所述虚拟基板信息生成部在所述相机的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，所述距离信息算出部基于所述相机的影像数据计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息；动作控制部，所述动作控制部基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器臂的动作；及存储部，所述存储部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储。
根据上述结构，仅通过对包含配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板、及手的基板载置部的空间进行拍摄，就能基于相机影像计算出从基板载置部至教示用基板为止的距离信息，并基于该距离信息以使手的基板载置部上虚拟配置的虚拟基板与教示用基板一致的形式控制机器人的动作。通过将此时的手的位置存储为教示数据，能向机器人教示与基板的目标位置对应的手的位置。藉此，能不依赖操作员的技能而向机器人精度良好地教示正确的位置。此处作为教示数据进行存储是指例如在机器人控制器中将手的位置作为动作程序等可再生的信息进行存储（登录）。另外，教示用基板也可以是具有模仿实际的基板的形状的模拟基板。相机也可以是固定安装于手的基端部。
也可以是所述距离信息算出部通过对所述虚拟基板的影像与所述教示用基板的影像进行模式匹配（Pattern matching），由此计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息。
本发明的另一形态的机器人的控制装置，是具备机器臂、安装于所述机器臂的梢端的手和以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于基板载置部以外的部分的相机，且将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人的控制装置；具备：影像数据获取部，所述影像数据获取部获取由所述相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据；虚拟基板信息生成部，所述虚拟基板信息生成部在所述相机的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息；距离信息算出部，所述距离信息算出部基于所述相机的影像数据计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息；机器人动作控制部，所述机器人动作控制部基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器臂的动作；及存储部，所述存储部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储。
本发明的另一形态的机器人的位置教示方法，是教示如下内容的机器人的位置教示方法：将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人的手的位置；包含：将教示用基板配置于成为教示对象的基板的目标位置的步骤；以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式将相机固定安装于基板载置部以外的部分的步骤；使所述机器人移动至能通过所述相机对包含所述教示用基板及所述手的基板载置部的空间进行拍摄的指定的位置的步骤；获取通过所述相机拍摄到的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据的步骤；在所述相机的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息的步骤；基于所述相机的影像数据计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息的步骤；基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器人的动作的步骤；以及将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储于存储部的步骤。
发明效果：
根据本发明，能不依赖操作员的技能而向机器人精度良好地教示正确的位置。
附图说明
图1是具备本发明的实施形态的机器人的半导体处理设备的结构的示意立体图；
图2是机器人及FOUP的结构的示意俯视图；
图3是机器人的内部机构的结构的示意图；
图4是示出机器人的控制装置的结构的框图；
图5是示出机器人的动作的一例的流程图；
图6是在初始位置由相机拍摄到的影像的第一例；
图7是在初始位置由相机拍摄到的影像的第二例；
图8是机器人动作时由相机拍摄到的影像的第三例。
具体实施方式
参照附图说明本发明的实施形态。以下，在全部附图中对相同或相应的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。
（实施形态）
[半导体处理设备]
图1是具备本发明的实施形态的机器人的半导体处理设备的示意立体图。半导体处理设备100是用于对半导体晶圆进行处理的设备。作为半导体晶圆，可例示硅晶圆、蓝宝石（单晶氧化铝）晶圆、其他各种晶圆等。又，作为玻璃晶圆，可例示例如FPD（Flat PanelDisplay，平板显示器）用玻璃基板、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）用玻璃基板等。半导体处理设备100根据例如SEMI（Semiconductor Equipment andMaterials International，半导体设备材料协会）标准预先规定。此时，后述FOUP101遵循SEMI标准的使用。半导体处理设备100的结构亦可为非SEMI标准的结构。
处理前及处理后的半导体晶圆（以下亦简称为基板）W容纳于被称为FrontOpening Unified Pod（FOUP，前开式晶圆盒）101的容器中。FOUP101涉及极度洁净化技术，是洁净环境下的微环境用基板容器。三个FOUP101中容纳有多个基板W。容纳于FOUP101的各基板W以水平的状态在上下方向Z上等间距地隔开配置。FOUP101在基台102上形成为大致箱状，且向一方开放。半导体处理设备100包含对基板W进行处理的基板处理装置110。作为对基板W的处理，可例示热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光刻（Lithography）处理、洗净处理及平坦化处理等制程处理。基板W由机器人1在FOUP101与基板处理装置110之间进行搬运。
[机器人]
图2是本发明的实施形态的机器人及收纳基板的FOUP的结构的示意俯视图。FOUP101以XY剖视图示出。如图2所示，FOUP101具备：相互相向的一对侧壁101a；及设置于侧壁101a上的多对基板支持部101d。基板支持部101d以使多个基板W以水平姿势且在上下方向上隔开间距地排列的形式支持多个基板W的端部。而且，FOUP101的前表面构成开放的前表面开口101e。
机器人1通过该前表面开口101e将基板W从FOUP101搬出，又，将基板W搬入至FOUP101。即，机器人1是将基板W搬运至应载置基板W的基板的目标位置T的机器人，且具备机器臂4及安装于机器臂4的梢端的手2。机器人1藉由手2进行基板W自FOUP101的取出及基板W向FOUP101的收纳。如图2所示，例如，从自铅直方向观察时成为被基板支持部101d支持的教示对象的基板W的中心构成了基板的目标位置T，但不限于此。该目标位置T是指能通过使机器人1的后述控制部将教示用的基板W与后述虚拟基板一致时的手的位置存储为教示数据，由此利用机器人1进行基板W自FOUP101的搬出或基板W向FOUP101的搬入的位置。在机器人1的手2的基端侧的手腕2a（基端部）上固定安装有相机3。本实施形态中，相机3以能拍摄叶片2b的形式固定安装于手腕2a，但亦可固定安装于手2的除叶片2b以外的部分。相机3可由CCD（Charge Coupled Device，电荷耦合器件）相机、CMOS（Complementary MetalOxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体）相机等构成。叶片2b相当于手2的“基板载置部”，是供基板W载置的部分。
以下，将机器人1的后述转动轴线L1的延伸方向称为Z方向或上下方向。将正交于Z方向的方向称为X方向或左右方向。将正交于Z方向及X方向的方向称为Y方向或前后方向。本实施形态中，Y方向设定为从机器人1朝向FOUP101的方向及与之相反的方向。
图3是机器人1的内部机构的结构的示意图。如图3所示，机器人1具备基台10、机器臂4、手2、安装于手2的相机3、及控制机器人1的动作的控制装置7。机器臂4由下臂20及上臂30所构成。
基台10是例如中空的圆筒状构件。在基台10的内部配设有包含伺服马达的下臂驱动部15及控制装置7。下臂驱动部15具备下臂转动用主动齿轮16。
又，机器人1具备升降机构（未图示）。升降机构例如具备众所周知的滚珠螺杆机构（未图标）及驱动其的带编码器的伺服马达（未图标），且通过该滚珠螺杆机构使设置有下臂转动轴21及下臂驱动部15的可动体（未图示）在Z方向上升降，由此使下臂20、上臂30及手2一体地在Z方向上升降。藉此，能使手2在上升位置与下降位置之间升降。下降位置的高度位置设定于比FOUP101的基台102的高度位置靠下方。又，上升位置的高度位置设定于较最上层的基板支持部101d的高度位置靠上方。
下臂20是例如中空的板状构件，且在俯视下形成为大致短条状。如图3所示，下臂20以从其基端部的底面向下方突出的形式形成有下臂转动轴21。而且，下臂转动轴21以沿Z方向延伸的转动轴线L1为中心可转动地安装于基台10。因此，下臂20形成为在XY平面内转动的结构。另外，本实施形态中，转动轴线L1构成XY平面上的基准点O。
在下臂转动轴21的下端部上固定有下臂转动用从动齿轮22。该下臂转动用从动齿轮22以位于与基台10的下臂转动用主动齿轮16相同的高度位置的形式进行设置，且与该下臂转动用主动齿轮16啮合。下臂20在其内部配设有包含伺服马达的上臂驱动部25。上臂驱动部25具备上臂转动用主动齿轮26。
而且，下臂20相对基台10绕转动轴线L1的相对角度位置由下臂驱动部15的伺服马达的编码器进行检测。
上臂30是例如中空的板状构件，且在俯视下形成为大致短条状。如图3所示，上臂30以从其基端部的底面向下方突出的形式设置有上臂转动轴31。而且，上臂转动轴31以与转动轴线L1平行地延伸的转动轴线L2为中心可转动地安装于下臂20。因此，上臂30形成为在XY平面上转动的结构。
在上臂转动轴31的下端部上固定有上臂转动用从动齿轮32。该上臂转动用从动齿轮32以位于与下臂20的上臂转动用主动齿轮26相同的高度位置的形式进行设置，且与该上臂转动用主动齿轮26啮合。上臂30在其内部配设有包含伺服马达的手驱动部35。手驱动部35具备手转动用主动齿轮36。
而且，上臂30相对下臂20绕转动轴线L2的相对角度位置由上臂驱动部25的伺服马达的编码器进行检测。
手2包含：形成于手2的基端侧的手腕2a；及形成于手2的梢端侧的叶片2b。手腕2a与叶片2b连续形成。
手腕2a具有以从其基端部的底面向下方突出的形式形成的手转动轴41。而且，手转动轴41以与转动轴线L1、转动轴线L2平行地延伸的转动轴线L3为中心可转动地安装于手2。因此，手2形成为在XY平面内转动的结构。
在手转动轴41的下端部上固定有手转动用从动齿轮42。该手转动用从动齿轮42以位于与手转动用主动齿轮36相同的高度位置的形式进行设置，且与该手转动用主动齿轮36啮合。
而且，手2相对上臂30绕转动轴线L3的相对角度位置由手驱动部35的伺服马达的编码器进行检测。
而且，上述下臂驱动部15及上臂驱动部25构成臂驱动部。臂驱动部通过其驱动来驱动下臂20及上臂30，从而使手2在XY平面内移动。
手腕2a具有安装于其基端部的上表面的相机3。相机3安装在能对载置基板W的叶片2b进行拍摄的方向上。叶片2b形成为例如薄板状。该叶片2b的上表面相当于手2的“基板载置部”，基板W被叶片2b保持。相机3安装于手2的叶片2b的转动轴线L3上。
[控制装置]
图4是示出机器人1的控制装置7的结构的框图。控制装置7例如具备：具有CPU等运算器的控制部70；伺服控制部71；具有ROM及RAM等存储器的存储部72；及接口部（未图标）。控制装置7可由进行集中控制的单独的控制装置构成，亦可由相互协作地进行分布控制的多个控制装置构成。另外，控制装置7也可以是具备具有教示操作盘（未图示）且通过输入部向控制装置7输入各种指令的结构、或通过显示部除了显示各种指令值和运算结果以外还显示相机3的影像等的结构。
控制部70包含相机控制器73、距离信息算出部74、虚拟基板信息生成部75、控制指令生成部76、及教示数据记录部77。这些功能部（73～77）是藉由控制部70执行储存于存储部72的指定的控制程序而实现的功能区块。
相机控制器73通过接口部（未图标）控制相机3。即，向相机3输出拍摄指令。也可以是调整拍摄时机、或变更相机3的位置及姿势。本实施形态中，相机3以可对手2的叶片2b进行固定拍摄的位置及姿势安装。相机控制器73将相机3拍摄到的相机影像存储于存储部72。
距离信息算出部74基于相机3拍摄到的相机影像计算出从手2的叶片2b（基板载置部）至成为教示对象的基板W为止的距离信息。即，距离信息算出部74基于存储部72中所存储的相机影像计算出距离信息。
虚拟基板信息生成部75在影像数据中生成虚拟配置在手2的叶片2b上的虚拟基板VW的信息。用于生成虚拟基板VW的信息被预先存储于存储部72。
控制指令生成部76基于机器人的动作程序，生成各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值。本实施形态中，控制指令生成部76基于从手2的叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，生成使虚拟基板VW与教示用基板W一致的各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值。控制指令生成部76基于所生成的位置指令值与编码器的检测值（实际值）的偏差生成速度指令值。然后，基于所生成的速度指令值与速度当前值的偏差生成转矩指令值（电流指令值），并基于所生成的电流指令值与电流传感器的检测值（实际值）的偏差生成控制指令，且输出至伺服控制部71。
伺服控制部71基于被付与的控制指令生成电流，并使生成的电流流至各驱动部15、25、35、19的伺服马达，从而使机器人1动作。伺服控制部71控制下臂驱动部15使下臂20于XY平面内转动，且控制上臂驱动部25使上臂30于XY平面内转动。又，控制手驱动部35使手2于XY平面内转动。伺服控制部71控制升降机构驱动部19使下臂20、上臂30及手2一体地在Z方向上升降。
教示数据记录部77将成为教示对象的教示用基板W的表面的坐标与虚拟基板VW的表面的坐标一致时手2的位置作为教示数据存储于存储部72。本实施形态中，教示数据记录部77将各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值设为教示数据而存储于存储部72。
存储部72中存储有指定的动作程序，控制部70读取并执行这些动作程序，藉此控制机器人1的动作。指定的动作程序是指使机器人1的手2移动至指定的位置的命令。而且，存储部72中如上所述，作为用于生成虚拟基板VW的信息存储有基板W的形状、直径、材料、重量等各种信息。
[动作例]
接着，说明向机器人1教示成为教示对象的基板W的目标位置T时机器人1的动作例。图5是示出机器人1的动作的一例的流程图。图6～图8示出了由相机3拍摄到的影像。
本实施形态的教示对象是从机器人1观察时与位于右端的FOUP101的自上而下数第十三层所载置的基板W对应的手2的位置。该基板W的中心与目标位置T一致。以下，将成为教示对象的基板称为教示用基板W。
首先，控制部70使机器人1移动至初始位置（图5的步骤S1）。图6是通过初始位置上的相机3拍摄到的影像的第一例。如图6所示，初始位置是指能通过相机3对包含教示用基板W及手2的叶片2b的空间S进行拍摄的位置。另外，至初始位置为止的路径被预先存储于存储部72。具体而言，控制指令生成部76按照机器人的动作程序生成各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值，并输出控制指令。伺服控制部71基于被付与的控制指令控制各驱动部15、25、35、19，从而使机器人1动作至初始位置。
接着，通过相机3拍摄包含基板W及手2的叶片2b的空间S（图5的步骤S2）。相机控制器73将相机3拍摄到的相机影像存储于存储部72。
接着，虚拟基板信息生成部75基于预先存储于存储部72的基板W的形状等信息，在影像数据中生成虚拟配置在手2的叶片2b上的虚拟基板VW的信息（图5的步骤S3）。图7是通过初始位置上的相机3拍摄到的影像的第二例。如图7所示，于初始位置在叶片2b上虚拟配置有虚拟基板VW。此时，距离信息算出部74基于相机3拍摄到的相机影像算出从手2的叶片2b（基板载置部）至教示用基板W为止的距离信息。本实施形态中，距离信息算出部74通过对虚拟基板VW的影像与教示用基板W的影像进行模式匹配，由此算出自叶片2b至教示用基板W为止的距离信息。
接着，控制部70基于从叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，以使虚拟基板VW与教示用基板W一致的形式控制机器臂4的动作（图5的步骤S4）。另外，在存储部72中，作为动作程序预先存储有至FOUP101的第十三层为止的大致的路径。控制指令生成部76按照动作程序生成各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值。即，控制部70能在机器人坐标系中识别从叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，因此以使这些基板表面的坐标相一致的形式对各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值进行修正。图8是通过相机3拍摄到的影像的第三例。伺服控制部71基于被付与的控制指令控制各驱动部15、25、35、19从而使机器臂4动作，由此能如图8所示使教示用基板W13与虚拟基板VW一致。
最后，教示数据记录部77将教示用基板W的表面的坐标与虚拟基板VW的表面的坐标一致时的手2的位置作为教示数据存储于存储部72（图5的步骤S5）。此处作为教示数据存储是指在控制装置7中将手2的位置作为动作程序等可再生的信息进行存储（登录）。本实施形态中，教示数据记录部77将各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值设为教示数据而存储于存储部72。
因此，根据本实施形态，仅通过由相机3对包含配置于目标位置T的教示用基板W、及手2的叶片2b的空间S进行拍摄，就能基于相机影像计算出从叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，并基于该距离信息以使叶片2b上虚拟配置的虚拟基板VW与教示用基板W一致的形式控制机器人1的动作。通过将此时手2的位置存储为教示数据，能向机器人1教示与基板W的目标位置T对应的手2的位置。藉此，能不依赖操作员的技能而对机器人1精度良好地教示正确的位置。
又，距离信息算出部74通过对虚拟基板VW的影像与教示用基板W的影像进行模式匹配，由此计算出从手2的叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，但不限于此。也可以是通过其他公知的方法计算出至对象物（教示用基板W）为止的距离信息。例如也可以是通过在相机3的镜头上安装滤色器从而在拍摄影像中对根据至物体为止的距离产生的模糊及色偏进行影像分析，由此获取至物体为止的距离信息。
（其他实施形态）
另外，本实施形态中，在存储部72中作为动作程序预先存储有至供位于目标位置T的教示用基板W13载置的FOUP101的第十三层为止的大致的路径，且控制指令生成部76对各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值进行修正，但也可以是如下结构：基于从手2的叶片2b至教示用基板W为止的距离信息，生成使虚拟基板VW与教示用基板W一致般的各驱动部15、25、35、19的伺服马达的位置指令值。
另外，本实施形态中，教示用基板W使用实际的半导体晶圆，但也可以是使用具有模仿实际基板的形状的模拟基板。
另外，本实施形态中，相机3固定安装于手2的手腕2a，但也可以是装卸自如地构成。此时，也可以是仅在教示时安装相机3，而在使机器人1以重复模式动作时卸除。
另外，本实施形态的相机3也可以配置多个，还可以是三维相机。三维相机从不同的方向同时拍摄对象物从而生成视差，由此获取至对象物为止的距离信息。能生成指定的坐标系中的对象物的表面的坐标数据。三维相机是立体相机的一种。三维相机具有仅隔开指定距离地配置的一对相机，且一对相机各自具有摄像元件。也可以是三维相机不仅获取距离信息，还获取对象物的颜色信息（RGB等）。又，也可以是三维相机发射激光并根据反射位置及反射时间来获取反射点的距离信息。
根据上述说明，本发明的多种改进以及其他实施形态等对本领域技术人员而言得以明确。因此，上述说明应仅理解为示例，是以向本领域技术人员教示执行本发明的最佳的形态为目的而提供。只要不偏离本发明的主旨，可对其构造和/或功能的具体内容进行实质性的变更。
工业应用性：
本发明在教示搬运基板的机器人的手的位置时有效。
符号说明：
1 机器人；
2 手；
2a 手腕；
2b 叶片（基板载置部）；
3 相机；
4 机器臂；
7 控制装置（机器人控制器）；
10 基台；
20 下臂；
30 上臂；
70 控制部；
71 伺服控制部；
72 存储部；
73 相机控制器（影像数据获取部）；
74 距离信息算出部；
75 虚拟基板信息生成部；
76 控制指令生成部；
77 教示数据记录部；
100 半导体处理设备；
101 FOUP；
102 基台（FOUP）；
110 基板处理装置；
S 拍摄空间；
VW 虚拟基板；
W 基板（教示用基板）。

Claims (5)

1.一种机器人，其特征在于，是将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人，
具备：机器臂；
安装于所述机器臂的梢端的手；
相机，所述相机以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于基板载置部以外的部分；
影像数据获取部，所述影像数据获取部获取由所述相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据；
虚拟基板信息生成部，所述虚拟基板信息生成部在由所述相机拍摄的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息；
距离信息算出部，所述距离信息算出部利用所述虚拟基板的信息处理所述相机的影像数据，从而计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息；
动作控制部，所述动作控制部基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器臂的动作；及
存储部，所述存储部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储。
2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于，所述相机固定安装于所述手的基端部。
3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于，所述距离信息算出部通过对所述虚拟基板的影像与所述教示用基板的影像进行模式匹配，由此计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息。
4.一种机器人的控制装置，其特征在于，是具备机器臂、安装于所述机器臂的梢端的手和以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于基板载置部以外的部分的相机，且将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人的控制装置；
具备：影像数据获取部，所述影像数据获取部获取由所述相机拍摄到的、配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据；
虚拟基板信息生成部，所述虚拟基板信息生成部在由所述相机拍摄的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息；
距离信息算出部，所述距离信息算出部利用虚拟基板的信息处理所述相机的影像数据，从而计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息；
机器人动作控制部，所述机器人动作控制部基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器臂的动作；及
存储部，所述存储部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储。
5.一种机器人的位置教示方法，其特征在于，是教示如下内容的机器人的位置教示方法：
将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人的手的位置；
包含：将教示用基板配置于成为教示对象的基板的目标位置的步骤；
以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式将相机固定安装于基板载置部以外的部分的步骤；
使所述机器人移动至能通过所述相机对包含所述教示用基板及所述手的基板载置部的空间进行拍摄的指定的位置的步骤；
获取通过所述相机拍摄到的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据的步骤；
在由所述相机拍摄的影像数据中生成虚拟配置在所述手的基板载置部上的虚拟基板的信息的步骤；
利用所述虚拟基板的信息处理所述相机的影像数据，从而计算出从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息的步骤；
基于从所述基板载置部至所述教示用基板为止的距离信息，以使所述虚拟基板与所述教示用基板一致的形式控制所述机器人的动作的步骤；以及
将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据存储于存储部的步骤。
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