CN109304675A

CN109304675A - 在硬脆性材料表面中形成微小凹坑的方法

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Publication number: CN109304675A
Application number: CN201810239260.2A
Authority: CN
Inventors: 间瀬恵二; 石桥正三; 近藤祐介
Original assignee: Fuji Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-07-28
Filing date: 2018-03-22
Publication date: 2019-02-05
Also published as: KR102140369B1; US20190030682A1; JP6840637B2; KR20190013440A; JP2019025584A; US10987778B2

Abstract

本发明旨在提供一种通过后处理在诸如陶瓷等硬脆性材料的表面上相对简单地形成凹坑的方法。在所述方法中，在0.01MPa～0.7MPa的喷射压力下，将具有1μm～20μm的中值直径d50的基本上球形的喷射粒子与压缩气体一起喷射到作为在由硬脆性材料制成的制品的表面或具有涂覆有硬脆性材料的涂层的表面的制品表面等上将要形成所述凹坑的区域的凹坑形成区域，以便通过塑性变形在所述硬脆性材料的表面上形成所述凹坑，而不会出现断裂或裂纹。

Description

在硬脆性材料表面中形成微小凹坑的方法

技术领域

本发明涉及一种在诸如陶瓷等硬脆性材料的表面中形成具有微米级开口直径的微小凹陷(凹坑)的方法。

需要指出的是，本发明中的硬脆性材料的表面不仅包括由硬脆性材料形成的一般表面和由硬脆性材料制成的制品的表面，而且包括在各种物质的制品表面上形成的硬脆性材料的涂层，例如，陶瓷涂层表面。

背景技术

陶瓷是用作各种制品的材料、用作涂层剂等的硬脆性材料的例子。由于具有高硬度和优异的耐热性、耐磨性等，所以陶瓷用在与其他构件接触的制品中，例如作为滑动部件和模具表面的构成材料和涂层剂。

为了减小滑动部分的摩擦阻力并实现改善的可脱模性，在这种滑动部件和模具表面上形成有微小凹陷(凹坑)，以将润滑剂、脱模剂等保持在凹坑中。

当待形成有凹坑的制品由金属制成时，则可以通过引起制品表面的塑性变形来形成这种凹坑。提出了这样的方法，其中通过在高速轰击下喷射基本上球形的喷射粒子而产生的凹痕用作用于保持润滑油的储器(专利文献1)。

然而，当滑动部件由陶瓷形成或涂覆有陶瓷时，凹坑不能像金属中那样通过塑性变形来形成。由于陶瓷是具有高硬度、但另一方面又难以变形的硬脆性材料，所以当被施加达到强度极限的大力时，其会突然断裂而不会出现类似金属的塑性变形。

因此，为了在陶瓷中形成凹坑，无论该陶瓷是通过在烧结之前形成凹坑来制备，还是当通过后处理形成凹坑时来制备，凹坑都是通过塑性变形以外的方法来形成，如通过利用脆性断裂来形成。

通过预烧结制备形成凹坑的方法包括如下方法：其中通过如下方式来形成凹坑，使添加到陶瓷原料中的树脂、发泡剂、晶须等的混合物成型，然后对其进行烧结，通过在烧结过程中燃烧掉所添加的树脂或发泡剂来形成凹坑(参见专利文献2的第[0030]段)。还存在如下方法：在烧结之前通过采用形成有与凹坑相对应的突起的模具来使陶瓷原料成型，然后对其进行烧结(参见专利文献2的第[0031]段)。

在烧结之后通过后处理在陶瓷中形成凹坑的方法包括如下方案：通过将具有比皮秒激光的脉冲宽度短的脉冲宽度的单脉冲激光发射到轴承或等速万向节的陶瓷滚动体的表面上来形成微小凹坑(专利文献3)。

[现有技术列表]

[专利文献]

专利文献1：JP H07-188738A

专利文献2：JP H08-128448A

专利文献3：JP 2016-156428A

在用于形成凹坑的上述方法中的其中通过使添加到陶瓷原料中的树脂、发泡剂、晶须等的混合物成型、然后进行烧结以燃烧掉所添加的树脂、发泡剂等来形成凹坑的方法中，难以进行工艺控制以形成均匀的、分离的和未连接的凹坑。工艺控制的欠缺使得难以制造具有稳定质量的制品。

此外，从要添加到待制造的制品的材料中的树脂、发泡剂等的类型和数量需要针对陶瓷的每种类型以及针对待制造的制品的每种类型进行调整的观点出发，这种方法中的制造控制是很复杂的。

与此相反，在烧结之前通过采用形成有与凹坑相对应的突起的模具使陶瓷原料成型并随后进行烧结的方法使得利用这种模具模制的制品能够制造成具有在不同制品之间不会出现差异的质量，因为所有的制品都具有形成在相同位置并形成有相同形状的凹坑。

然而，用这种方法形成凹坑仅适用于用该特定模具模制的制品。为了在其他制品上形成凹坑，需要制备形成有将变为凹坑的突起的模具，其中针对待制造的各个制品，突起形成在适宜的位置中。这提高了制造成本。

特别地，在专利文献2中存在以下方案：除了半球形凹坑之外，还形成具有诸如矩形、星形、圆形链节形状(circular chain-link shape)等角形形状的凹坑。然而，在这种角形形状中，在滑动过程中力会集中在角部，从而可能导致出现断裂。此外，当发生碎裂等时，由于碎裂而产生的任意碎片会刮擦并磨损滑动面，由此导致磨损。

此外，所有上述方法都需要在烧结之前进行准备以形成凹坑，并且不能在烧结之后通过对陶瓷表面进行后处理来形成凹坑。

此外，上述用于在陶瓷制品上形成凹坑的方法都不能在陶瓷涂层上形成凹坑。

与此相反，专利文献3中描述的用于通过将单脉冲激光发射到由陶瓷制成的滚动体的表面上来形成微小凹坑的方法能够通过在烧结之后对陶瓷制品进行后处理以形成凹坑。该方法也能够通过在各滚动体上形成具有相同尺寸并且具有相同间距的凹坑来制造具有均匀质量的制品。

然而，为了通过使用这种方法来形成凹坑而形成具有相同尺寸和相同间距的凹坑，需要以固定的间距将单脉冲激光发射到表面上的操作，同时使每个滚动体在预定的方向上滚动。因此，需要大量的初始投资，原因是需要复杂且昂贵的处理设备以使得能够进行这种复杂的工作。

此外，在每个滚动体上形成具有相同尺寸和相同间距的凹坑的操作需要很长时间才能完成。这导致形成凹坑的成本更高，并且导致具有由该方法形成的凹坑的滚动体的价格增加。

此外，当通过脉冲激光发射形成凹坑时，在处理中从材料表面溅射的物质形成粘附到表面上并污染表面的微小粒子，即，碎屑。因此，在凹坑形成之后需要去除这种碎屑的操作，原因是这种碎屑会导致磨损的发生，因为这种碎屑夹在摩擦表面之间并刮擦滑动部分的表面。

需要指出的是，尽管上面描述了形成凹坑以将诸如润滑油等润滑剂保持在滑动部件的滑动面上的例子，但是不限于应用于滑动构件的滑动面。有时，这种凹坑形成是为了将脱模剂或空气保持在模具表面以改善可脱模性等。因此，需要一种能够在各种陶瓷制品和陶瓷涂层的表面上形成凹坑并且能够简单且低成本地在陶瓷表面上形成凹坑的方法。

本发明致力于这样的需求，并且本发明的目的是提供一种形成凹坑的方法，其能够通过采用现有的处理设备以相对适中的价格被引进，并且还能够通过在以陶瓷为代表的硬脆性材料中进行后处理使用相对简单的方法低成本地形成凹坑，而无论待处理的制品的形状或质量如何。

发明内容

为了实现上述目的，一种在硬脆性材料的表面上形成微小凹坑的方法的特征在于，其包括：在0.01MPa～0.7MPa的喷射压力下，将具有1μm～20μm的中值直径d50的基本上球形的喷射粒子与压缩气体一起喷射到作为在待处理的制品或具有涂覆有硬脆性材料的涂层的表面的制品等的由诸如陶瓷等硬脆性材料制成的表面上将要形成所述凹坑的区域的凹坑形成区域，以便通过塑性变形在所述硬脆性材料的表面上形成所述凹坑。

“中值直径d50”是指在累计质量为50百分位时的直径，即，当用作将一组粒子分成两份的粒径时，使得直径较大的一组粒子中粒子的总质量与直径较小的一组粒子中粒子的总质量相同的直径。这与JIS R 6001(1987)中的“累计50％点处的粒径”的定义相同。

作为一个实施例，每个所述凹坑具有1μm～20μm的开口直径以及0.01μm～1μm的深度。

优选地，所述凹坑形成为使得所述凹坑的开口的总表面积是所述凹坑形成区域的表面积的50％以上。

优选地，所述硬脆性材料是陶瓷或玻璃。由陶瓷制成的滑动部件可以被用作待处理的制品，并且所述滑动部件的滑动面可以被用作所述凹坑形成区域。

[有益效果]

在上述本发明的构成中，通过本发明的方法可以获得以下显著的有益效果。

可以使用非常简单的方法在诸如陶瓷等硬脆性材料的表面中形成凹坑，在所述方法中，在0.01MPa～0.7MPa的喷射压力下，将具有1μm～20μm的中值直径d50的基本上球形的喷射粒子以及压缩气体一起喷射。

在脆性材料中，即使形成这种凹坑也没有看到断裂或裂纹的发生，并且当形成凹坑时没有看到加工粉尘的产生。另外，在用本发明的方法处理之后，在陶瓷制品(例如，以WC为主要成分的硬质合金)的表面上获得了大大增加的压缩残余应力(详细地，压缩残余应力从处理之前的1000MPa变为处理之后的2200MPa)，如在陶瓷制品表面的X射线衍射分析的结果中所看到的。因此认为，通过使硬脆性材料的表面发生塑性变形而不是使其脆性断裂来形成凹坑实现了通过本发明的方法的凹坑形成。

此外，上述方法的凹坑形成可以通过使用具有相对适中成本的已知喷气装置(airblasting apparatus)进行相对较短时间的处理来进行。这使得能够将形成凹坑的成本抑制为低成本。

附图说明

从以下结合附图的具体实施方式将会理解本发明的目的和优点，在附图中，相同的附图标记表示相同的要素，其中：

图1A是实施例1的模具的表面显微照片，图1B是其表面横截面轮廓；

图2A是比较例(未处理)的模具的表面显微照片，图2B是其表面横截面轮廓；

图3是使用FEM的冯米斯应力(Von Mises stress)分析图像(喷射粒子的粒径：10μm)；

图4是使用FEM的冯米斯应力分析图像(喷射粒子的粒径：50μm)；和

图5示出了试样(钠玻璃)的表面横截面轮廓；图5A是试样的未处理表面，图5B是根据本发明的在处理之后的试样的表面。

具体实施方式

下面，参照附图就本发明的实施方案进行说明。

(待处理的物体)

使用本发明的方法在其上形成凹坑的制品(待处理的制品)可以是诸如由硬脆性材料制成的制品或者具有涂覆有硬脆性材料的涂层的表面的制品等具有由硬脆性材料构成的最外表面的各种制品中的任一种。

硬脆性材料包括单晶硅以及陶瓷。这样的陶瓷包括一般主要由诸如氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、硅化物、氟化物、硫化物、碳等非金属制成的无机固体材料。本发明的陶瓷的例子包括氧化铝(Al₂O₃)、氧化锆(ZrO₂)、二氧化硅(SiO₂)、钛酸钡(BaO₃Ti)、氧化钇(Y₂O₃)、碳化硅(SiC)、碳化钨(WC)、碳化钛(TiC)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化钛(TiN)、氮化钛铝(TiAlN)、硼化钛(TiB₂)、硼化锆(ZrB₂)、硅化钼(MoSi₂)、硅化钨(WSi₂)、氟化钙(CaF₂)、类金刚石碳(DLC)以及其主要成分是上述列出的二氧化硅(SiO₂)的玻璃(诸如钠玻璃、铅玻璃、硼硅玻璃等)。

此外，本发明的方法可适用于各种制品，无论该制品用于何种用途，只要该制品如上所述是由硬脆性材料制成的或者是涂覆有硬脆性材料的制品即可。此外，可以在制品表面的一部分上形成凹坑，并且当应用于用于接触另一个构件(诸如轴承、轴、齿轮等)的滑动构件时，则该处理可以仅施加在滑动构件的沿另一个构件滑动的部分上。

(用于形成凹坑的方法)

通过将基本上球形的喷射粒子与压缩气体一起喷射以轰击凹坑形成区域来处理凹坑形成区域，该凹坑形成区域是待处理制品的的表面上待形成凹坑的区域。

下面给出当进行上述处理时采用的喷射粒子、喷射装置和喷射条件的实施例。

(1)喷射粒子

对于本发明的表面处理方法中所采用的基本上球形的喷射粒子，“基本上球形”是指它们不必为严格的“球形”，并且可以为此采用普通的“发射”。诸如椭圆形和桶形等任意非角形形状的粒子都包含在本发明所采用的“基本上球形的喷射粒子”内。

可以用于喷射粒子的材料包括金属基材料和陶瓷基材料。用于金属基喷射粒子的材料的例子包括钢、高速工具钢(HSS)、不锈钢、铬硼钢(FeCrB)等。用于陶瓷基喷射粒子的材料的例子包括氧化铝(Al₂O₃)、氧化锆(ZrO₂)、锆石(ZrSiO₄)、碳化硅(SiC)、硬质玻璃等。

关于所采用的喷射粒子的粒径，可以采用具有1μm～20μm范围的中值直径(d50)的粒子。

(2)喷射装置

用于将磨料与压缩气体(空气、氩气、氮气等)一起发射的已知的发射装置可以用作喷射装置，以将上述喷射粒子喷射到待处理的制品的表面上。

这种发射装置是市场上可买到的，例如使用通过喷射压缩气体产生的负压来喷射磨料的吸力式发射装置、使从磨料箱落下的磨料被压缩气体输送和喷射的重力式发射装置、其中压缩气体被引入填充有磨料的储箱中并且通过将来自磨料箱的磨料流与来自单独设置的压缩气体供应源的压缩气流合并来喷射磨料的直压式发射装置以及利用鼓风机单元产生的气流输送和喷射来自直压式发射装置的压缩气流的鼓风式发射装置。可以采用上面的任意一种来喷射上述喷射粒子。

(3)处理条件

在0.01MPa～0.7MPa的喷射压力下，将使用上述材料中的一种等形成的具有1μm～20μm的中值直径d50的基本上球形的喷射粒子与压缩气体一起喷射到如上所述的待处理的制品上。

这使得在硬脆性材料的表面上能够形成各自具有1μm～20μm的开口直径、0.01μm～1μm的深度的凹坑。

进行喷射粒子的喷射，使得所形成的凹坑的开口的总表面积不小于凹坑形成区域的表面积的50％。

(凹坑形成试验1)

(1)试验目的

为了证实当喷射粒子的喷射条件发生变化时硬脆性材料表面状态发生变化，以及为了证实通过形成凹坑而改善了滑动性。

(2)试验方法

在下表1中列出的条件下，将喷射粒子喷射到待处理的制品上，在这种情况下，该制品是用于使铝合金挤压成型的由氧化锆(ZrO₂)制成的模具(已被研磨抛光成得到算术平均粗糙度(Ra)为0.1μm以下的表面)。

表1

喷射粒子的喷射条件

使用轮廓分析激光显微镜(由Keyence Corporation制造的“VK-X250”)观察未经过处理的模具的表面粗糙度轮廓和在上面列出的条件下进行处理之后的模具的表面粗糙度轮廓。

此外，采用未经过处理的模具和在上面列出的实施例1～3的条件下经过处理的模具来使铝合金挤压成型，并用肉眼观察铝与模具表面的粘附状态。

(3)测量结果

图1是在上面列出的实施例1的条件下形成凹坑之后由轮廓分析激光显微镜得到的模具表面的的观察结果。图1A是对模具表面拍摄的显微照片，图1B是由分析结果得出的凹坑形成区域的表面的横截面轮廓。

需要指出的是，由于对于在实施例2和实施例3的条件下经过处理的模具的表面轮廓来说看到了基本相同的结果，所以图1仅示出了在实施例1的条件下经过处理的模具的表面轮廓作为其典型示例，在图示中省略了在实施例2和实施例3的条件下经过处理的模具表面的由轮廓分析激光显微镜得到的观察结果。

为了比较的目的，在图2中示出了未经过处理的模具的表面的由轮廓分析激光显微镜得到的观察结果。图2A是对模具表面拍摄的显微照片，图2B是由分析结果得出的表面的横截面轮廓。

在表2中列出了利用实施例1～3的模具以及未经过处理的模具(比较例)进行挤压成型后铝与模具表面的粘附状态的观察的结果。

表2

铝粘附状态的观察结果

通过比较图1和图2可以明显看出，相对于具有相对平滑状态的未经过处理的模具的表面(参照图2)，在实施例1的条件下进行处理之后的模具表面中形成了凹坑(半球形凹陷)(参照图1)。

此外，在用类似的轮廓分析激光显微镜进行的观察中证实了，在实施例2和实施例3的条件下经过处理的模具中形成了类似的凹坑。

需要指出的是，在通过实施例1～3的任一条件下的处理进行处理之后，在模具表面上看不到断裂或裂纹的发生。在处理过程中也看不到加工粉尘的产生，另外，在用本发明的方法处理后的表面上看到了大大增加的压缩残余应力。因此，如上所述，凹坑的形成被推测是通过塑性变形而不是通过脆性断裂发生的。

如表2所示，通过本发明的方法形成有凹坑的模具被证实为不易被铝粘附，从而证实了通过本发明的方法形成的凹坑有助于改善成型材料和模具表面之间的可滑动性。

(4)说明

可以使用本发明的方法在作为硬脆性材料的氧化锆中形成凹坑，而不会出现断裂或裂纹。虽然凹坑被认为是由于塑性变形而形成，但是尚未完全了解其基础理论。认为，由于使用具有1μm～20μm的中值直径(d50)的微小喷射粒子而可以实现通过这种塑性变形而进行的凹坑形成。

即，认为，当施加力以在诸如陶瓷等硬脆性材料中产生塑性变形时，每单位体积的永久变形能量必须很高。在本发明的情况下，当喷射粒子被轰击时，需要将大力(冲击力)施加到微小区域。

图3和图4示出了通过对被由钢制成的两种类型的喷射粒子(密度为7.85)轰击的工件进行使用有限元法(FEM)的冯米斯应力分析(以下简称为FEM分析)而进行的模拟的结果。在图3中示出了使用粒径为10μm的喷射粒子的模拟结果。在图4中示出了使用粒径为50μm的喷射粒子的模拟结果。

FEM分析是在难以通过诸如复杂几何模型等分析方法求解的情况下使用的数值分析方法。在FEM分析中，将区域划分为有限元，建立元素级的简单公式，并且通过使用元素之间的插值函数来获得整个区域的解，以对其进行逼近。“Femap with NX Nastran”(由NSTCo.，Ltd.制作)用作分析软件。

“冯米斯应力”是基于剪应变能量理论的等效应力。冯米斯应力表示为没有方向性的标量值，并且是在复杂荷载在多个方向上起作用的应力场中的单轴向张力或压缩应力的值。

冯米斯应力被引用为用于确定材料是否屈服的指标。这意味着当与屈服应力进行比较时不需要考虑其他方向的应力，并且使用单一冯米斯应力来确定屈服。这被用来模拟利用喷射粒子进行轰击所产生的应力。

通过察看模拟结果可以明显看出，在喷射粒子的粒径与应力的输入深度之间的关系中，随着喷射粒子的粒径变小，高应力被输入到表面上的极浅层。随着粒径变大，应力被输入到更深层，但是这种应力较小。

在图3和图4的轮廓图中，可以看到月牙形的部分的中央代表具有最强的应力输入的部分。

当喷射粒径为10μm的喷射粒子时，最大应力为8.752kgf/mm²。另一方面，当喷射粒径为50μm的喷射粒子时，最大应力为6.084kgf/mm²。也就是说，当采用粒径为10μm的喷射粒子时，所产生的最大应力是在采用粒径为50μm的喷射粒子的情况下产生的最大应力的1.4倍。

此外，在采用粒径为50μm的喷射粒子的情况下，在距离工件的最上表面2.33μm的深度处产生最大应力。另一方面，在采用粒径为10μm的喷射粒子的情况下，在距离工件的最上表面0.40μm的深度处产生最大应力。也就是说，当采用粒径为10μm的喷射粒子时，与采用粒径为50μm的喷射粒子的情况相比，产生最大应力的深度变为约1/6。因此，随着喷射粒子的粒径变小，每单位体积的冲击力显著增大。

因此，在本发明的方法中，可以将超过屈服点的冲击力施加到硬脆性材料制品的表面上，其中采用具有中值直径(d50)为1μm～20μm的微小粒径的喷射粒子。结果，认为凹坑可以通过塑性变形来形成。

(凹坑形成试验2)

(1)试验目的

为了证实即使使氧化锆之外的硬脆性材料经受上述“凹坑形成试验1”中的处理，也可以通过本发明的方法形成凹坑。

(2)试验方法

使用轮廓分析激光显微镜(由Keyence Corporation制造的“VK-X250”)，观察由钠玻璃制造的未经过处理的试样(10mm长×10mm宽×2mm厚)和通过使用本发明的方法喷射喷射粒子而形成凹坑之后的钠玻璃试样的各个表面轮廓。

在下表3中列出的喷射条件下，将喷射粒子喷射到试样的整个表面上。

表3

将喷射粒子喷射到试样(钠玻璃)上的条件

(3)测量结果

图5A示出了未经过处理的试样的表面轮廓(横截面)，图5B示出了在用本发明的方法处理之后的试样的表面轮廓(横截面)。

未经过处理的试样(图5A)的表面是平坦的，没有任何明显的凹痕或突起。另一方面，证实了在根据本发明的方法处理之后的状态下在试样表面上形成了凹坑(图5B)。

此外，在钠玻璃的试验中，在处理之后的试样上看不到断裂或裂纹的发生。在喷射粒子的轰击过程中，也没有看到从钠玻璃产生的加工粉尘，而且还产生了压缩残余应力。因此，凹坑被推测是通过塑性变形而获得的凹坑。

(4)说明

上述结果证实了，本发明的方法不限于氧化锆，并且还可以通过塑性变形在钠玻璃的表面上形成凹坑。

根据上述发现，从逻辑上推测本发明的方法不限于实施例中处理的物体，即，氧化锆和钠玻璃，而是也适用于在其他硬脆性材料上形成凹坑。

上述本发明的方法适用于需要在硬脆性材料的表面上形成凹坑的任何应用。

其例子包括陶瓷制品和涂覆有陶瓷的制品的应用，并且还包括通过在滑动构件的滑动面上形成凹坑并且通过将液体或固体润滑剂保持在凹坑中或者通过使得空气被捕获在作为储器的凹坑中而减小接触表面积来实现摩擦阻力的减小的应用。

通过在模具表面中形成凹坑，伴随由于将脱模剂保持在凹坑中或由于将空气捕获在作为储器的凹坑中而使接触表面积减小，还可以实现可脱模性的改善。

另外，由于能够通过在陶瓷的表面上形成凹坑而将陶瓷的表面制成具有保持各种液体(药物、香料、脂肪、油等)的优良能力的表面，所以本发明的方法也适用于以下情况：用于印刷等的由陶瓷制成的润版辊(dampening rollers)；作为用于涂覆液体和脂肪的由陶瓷制成的辊的表面处理；为了如上所述改善可滑动性等而进行的处理；以及需要改善液体的可保持性的各种陶瓷产品。

因此，所附最宽范围的权利要求书并不指示以特定方式构造的机器。相反，所述最宽范围的权利要求书旨在保护这一突破性发明的核心或本质。本发明显然是新颖且有用的。此外，基于作为整体考虑的现有技术，本发明对于在创造本发明时的本领域的普通技术人员而言是非显而易见的。

此外，鉴于本发明的革命性质，这显然是一项开创性发明。因此，在法律上，所附权利要求书享有非常宽范围的解释以保护本发明的核心。

因此可以看出，上面提出的目的以及从前述说明中显而易见的目的得到有效实现，并且由于在不脱离本发明的范围的情况下可以对上述构造作出某些改变，所以包含在前述说明中或附图中所示的所有事项旨在解释为说明性的而非限制性的。

还应理解的是，所附权利要求书旨在涵盖本文说明的本发明的所有一般和具体特征以及在语言上可能被认为落在其间的本发明的范围的所有陈述。

综上，对本发明进行了说明。

Claims

1.一种在硬脆性材料的表面上形成微小凹坑的方法，包括：

在0.01MPa～0.7MPa的喷射压力下，将具有1μm～20μm的中值直径d50的基本上球形的喷射粒子与压缩气体一起喷射到作为在待处理的制品的所述硬脆性材料的表面上的将要形成所述凹坑的区域的凹坑形成区域，以便通过塑性变形在所述硬脆性材料的表面上形成所述凹坑。

2.根据权利要求1所述的方法，其中每个所述凹坑都具有1μm～20μm的开口直径以及0.01μm～1μm的深度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述凹坑形成为使得所述凹坑的开口的总表面积是所述凹坑形成区域的表面积的50％以上。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中所述硬脆性材料是陶瓷。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中所述硬脆性材料是玻璃。

6.根据权利要求4所述的方法，其中：

滑动部件被用作所述待处理的制品；并且

所述滑动部件的滑动面被用作所述凹坑形成区域。