JPS6014615A - スラスト軸受およびその製造方法 - Google Patents

スラスト軸受およびその製造方法

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JPS6014615A
JPS6014615A JP58121567A JP12156783A JPS6014615A JP S6014615 A JPS6014615 A JP S6014615A JP 58121567 A JP58121567 A JP 58121567A JP 12156783 A JP12156783 A JP 12156783A JP S6014615 A JPS6014615 A JP S6014615A
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ceramic
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spiral
thrust bearing
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溝「淵」　庄太郎
Katsumi Sasaki
勝美 佐々木
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Ebara Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、水中ポンプや水中モータ等に好適なスラス
ト軸受およびその製造方法に関するものである。
例えば、水中ポンプや水中モータに使用されるスラスト
軸受は、ポンプの運転に伴ってスラスト荷重が増大し、
小型ポンプでも１０００に９ｆ　以上になるだめ、ポン
プの製造上、もつとも留意しなければならない部分であ
る。
従来この種の軸受には、精密加工された分割型のテイル
テイングパッド軸受が使用されていたが、大きな潤滑効
果を発揮させるためには、粘性の大きい潤滑液が必要で
あり、このため、軸受内に主に油類を封入する必要があ
った。
従って、従来のスラスト軸受は、潤滑液のシールや冷却
方法、潤滑液の劣化などに問題が１、耐荷重が小さく信
頼性に欠ける上、例えば２００℃位の温泉、地熱水など
の高温液体には使用不能であった。
この発明は、上述のような観点から、潤滑液として水の
ような粘性の小さい液を使用することができ、従って、
潤滑液のシールや冷却方法に問題がなく、その劣化が生
ぜずに、耐荷重が犬で信頼性に富み、高温液体の使用も
可能な、特に水中ポンプや水中モータ等に適したスラス
ト軸受およびその製造方法を提供するもので、回転側お
よび固定側の少なくとも一方の軸受がセラミックス製で
あって、前記セラミックス製軸受の回転側または固定側
の表面に３〜５０μｍの範囲内の深さのスパイラル状の
溝が形成されているスラスト軸受であることと、前記ス
ラスト軸受は、セラミックス製の被加工材の表面を、ス
パイラル状の樹脂マスクで遮蔽した上、前記樹脂マスク
で遮蔽された前記被加工材の表面に微粉の研削材を噴射
し、ショツトブラスト加工を施して、前記被加工材の表
面に３〜５０μｍの範囲内の深さのスパイラル状の溝を
形成させて製−造することに特徴を有するものである。
この発明においては、回転側および固定側の少なくとも
一方の軸受がセラミックス製であって、他方の軸受には
、セラミックスまたはセラミックス製軸受に摩耗をほど
んど生じさせない材質、例えば１０チのカーボンを含有
する青銅焼結合金材を使用するものである。
この発明のセラミックス製スラスト軸受のスパイラル状
溝の深さは、３μｍから５０μｍの範囲内とすることが
必要である。
即ち、スパイラル状溝の深さが３μｍ未満では、動圧効
果はあっても、使用中に摩耗粉によってスパイラル状溝
に目づまシが生ずるため、その性能が劣化し、またセラ
ミックス材の研削加工上経済的ではないなどの問題が生
ずる。一方、スパイラル状溝の深さが５０μｍを超える
と、十分な動圧効果を発揮させることができない。
第１図はこの発明のスラスト軸受の正面図で、１はセラ
ミックス製の軸受本体、２はその表面に形成された３〜
５０μｍの範囲内の深さのスパイラル状の溝である。
上述した構造の本発明のスラスト軸受と従来のスラスト
軸受における、回転数に対する焼付荷重の関係を、第２
図に示す試験装置を使用して調べた。第２図において、
１は供試軸受でＩＡは回転側、ＩＢは固定側である。３
は回転側軸受−ＩＡがその一端に固着された回転軸、４
は可変速モータ（回転数：１０〜５０００　ｒ、ｐ、ｍ
　）、５はプーリ、６はトルクメータである。７は固定
側軸受ＩＢがその一端に固着された軸、８は油圧シリン
ダ（最大荷重：　、５００　ｏＫｎ）、９は油圧ポンプ
、１０はロードセルである。
第３図はその試験結果を示すグラフで、○印は本発明の
スラスト軸受を使用した場合で６１１）、Ｘ印は従来の
スラスト軸受を使用した場合である。
○印で示す本発明の軸受け、回転側軸受ＩＡとして、そ
の表面に深さ１５μｍのスパイラル状の溝が形成された
セラミックス材（反応炭化珪素質）を使用し、固定側軸
受ＩＢとして、刀−ボンを１０チ含有する表面が平滑な
青銅合金材を使用した。
また潤滑液には水を使用した。
一方、Ｘ印で示す従来の軸受け、テイルテイングバツド
スラスト軸受でおって、回転側軸受ＩＡとして１３％Ｃ
ｒステンレス焼入鋼を使用し、固定側軸受ＩＢとしてカ
ーボン材を使用した。捷だ潤滑液はタービン油を使用し
た。
第３図かられかるように、回転数が３００　Ｏｒ、ｐ、
ｍのときの焼付荷重は、従来軸受が約１５００に９ｆ　
であるのに対し、本発明軸受は約３８００Ｋｒｆであり
２倍以上の耐荷重性を示した。この耐荷重性は回転数が
増すとともに大きくなるから、水中ポンプのように、始
動時にはスラスト荷重が小で、回転数が増すとともにス
ラスト荷重が大きくなるポンプには、極めて効果的であ
る。
第１表は、上述した構造の本発明軸受の溝深さおよび試
験環境を変えた場合の焼付荷重および摩擦係数、第２表
は、上述した構造の従来軸受の試験環境を変えた場合の
焼付荷重および摩擦係数である。
第　１　表 第　２　表 上記第１表および第２表かられかるように、従来軸受は
、常温の水潤滑や３００℃の温度のシリコーン油潤滑で
は２００Ｋｔｆのような小さな荷重でも焼付きが生じて
使用不能になったが、本発明軸受の場合は、３００℃の
シリコーン油潤滑の場合でも、十分な軸受性能が得られ
た。まだ、本発明軸受は、従来軸受と比べて摩擦係数が
半分以下であるから、小容量のモータでポンプ駆動が可
能となった。
次に、本発明軸受の製造方法について説明する。
上述したように、この発明の軸受け、回転側および固定
側の少なくとも一方の軸受をセラミックス製とし、前記
セラミックス製軸受の回転側または固定側の表面に３〜
５０μｍの極めて浅いスパイラル状の溝を設けたもので
あるが、セラミックス桐は、耐食性に優れている反面、
加工性が悪いた戦前記溝の形成に当シ切削加工は勿論、
例えば硝酸や王水のような腐食液を使用してエツチング
加工することも困難である。
また、例えばシリコンカーバイドのような電気伝導性を
有するセラミックスの場合は、放電加工によってスパイ
ラル溝を形成する方法もあるが、この方法は電極の製作
やアーク放電による電極消耗などの問題があシ、コスト
的にかなり高価となる上、高精度の加工は困難である。
本発明者等は、上述した問題を解決し、セラミックス材
に対して簡単にスパイラル溝を形成し得る方法について
研究を行なった結果、樹脂マスクを使用したショツトブ
ラスト加工を施すことによって、スパイラル溝を適確に
形成し得ることに成功した。
即ち、この発明においては、所定形状のセラミックス製
の被加工材の表面を、スパイラル状の樹脂マスクで遮蔽
した上、微粉のアルミナ質研削材を前記樹脂マスク上に
噴射するショツトブラスト加工によシ、極めて短時間に
スパイラル溝を形成するものである。
スパイラル状の樹脂マスクは、例えば２層のベースフィ
ルムと、粘着性を有する渦模様の形成されたレジンと、
保護用紙との４層からなシ、写真製版技術を利用して精
密なスパイラル形状に仕上げることができる。
次に、この発明の方法を実施例によシ説明する。
セラミックス材に常圧焼結したＳｉＣ（密度３．１０　
）の表面に樹脂製マスクを張シ付けて、下記の条件によ
り１０秒間ショツトブラスト処理を施した。
ａ、ショット材：アルミナ粉 す、空気圧：　４　ＫｐｆＡ Ｃ１被加工品とプラストノズルとの距離：１５０ｍｍそ
の結果、第４図に示すように約５μｍの深さの均一な溝
を形成することができた。
また、上記条件により、ショツトブラスト処理を３０秒
間行なったところ、第５図に示すように約３０μｍの深
さの均一な溝を形成することができた。
第６図は、各種セラミックス材におけるショツトブラス
ト時間と溝深さとの関係を示すグラフである。図面に示
すように、ｋｏｓ　＋　ＳｔＣ＋　ＺｒＯ２＋Ｓ　ｉ　
３Ｎ、の各種のセラミックス材に対しても、ショツトブ
ラスト時間を変えることによって、所定深さの溝を形成
することができた。
第３表は、この発明方法によシ製造したスラスト軸受の
性能と従来のスラスト軸受の性能を、外径８６ｍｍの軸
受を使用し、回転数：１５００ｒ、ｐ、ｍ、試験環境：
常温水道水によって試験した結果である。
第　３　表 第３表に示すように、この発明方法によって製造したス
ラスト軸受は、従来軸受に比べてその最大許容荷重を数
倍に高めることができた。
なお本発明軸受の材料は、上記第３表に示した例のほか
、例えばＳｉＣと５ｉＣＮの組合せ、または、Ｓｉ　Ｃ
Ｎ４とＡＪｌｔ　Ｏｓ　の組合わぜのような各種の材料
を使用することができる。
以上述べたように、この発明によれば、下記の優れた効
果が得られる。
（１）耐スラスト荷重が増大するから、スラスト軸受は
小型でよく、従ってポンプおよびモータの小型化が可能
になる。
（２）摩擦損失が従来の軸受の半分以下になるから、小
容量のモータでポンプ駆動が可能になる。
（３）例えば水のようなポンプ取扱い液その他各種の液
体を潤滑液として使用するととができ、また、潤滑液は
少量で済む。
（４）材質がセラミックスであるから剛食および耐摩耗
性に優れ、例えば温泉や地熱水のような高温液体用のポ
ンプにも利用できる。
（５）製造に当って、スパイラル溝を短時間に精度高く
容易に加工することができる。
（６）　各種のセラミックス材に対して加工を行なうこ
とができ、ショツトブラスト条件を変化させることによ
って、任意の深さのスパイラル溝を形成することができ
る。
（７）安価に製造することができ、量産化が可能である
。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明のスラスト軸受の正面図、第２図は本
発明軸受の性能を調べるだめの試験装置の説明図、第３
図は本発明軸受上従来軸受の焼付荷重の比較を示すグラ
フ、第４図および第５図は本発明方法によって加工した
溝の深さを示す図、第６図は各種セラミックス材におけ
るショツトブラスト時間と溝深さとの関係を示すグラフ
である。 図面において、 １・・・軸受本体、　２・・・スパイラル状の溝、３・
・・回転軸、　４・・・可変速モータ、５・・・プーリ
、　６・・・トルクメータ、７・・・軸、　８・・・油
圧シリンダ、９・・・油圧ポンプ、１０・・・ロードセ
ル、出願人　株式会社荏原製作所 代理人　潮　谷　奈津夫（他２名） 第１図 第２図 旧１Ａ 手続補正書（自発） 昭和５８年１１月２９日 特許庁長官　若　杉　和　夫　殿 １、事件の表示 特願昭５８−　１２１５６’ｉ’　号 ２、発明の名称 スラスト軸受およびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 四　東京都大田区羽田旭町１１番１号 正示載も　株式会社荏原製作所 代表者　畠　山　清　二 ４、代理人 自　発 ６、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明０の欄 ７、補正の内容　別紙の通り （１）　明細書、第１１頁、発明の詳細な説明の項、下
から第２行目、 ｒ　５ｉＣＮ　Ｊとあるを、 ［Ｓｉ３Ｎ４　Ｊ　と訂正する。 （２）　明細書、第１１頁、発明の詳細な説明の項、最
下行、 「５ＩＣＮ４」とあるを、 「８１３Ｎ４」　と訂正する。 以上 手続補正書（自発） 昭和５９年　６　月２９日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示 特願昭５８−　１２１５６７号 ２、発明の名称 スラスト軸受およびその製造方法 ３　補正をする者 １担ｑとの関係　特許出願人 ＮＭ　東京都太田区羽田旭町１１番１号＆Ａ＜Ａｉｒ）
（０２３）株式会社荏原製作所代表者　畠　山　清　二 ４、代理人 自　発 ６、補正の対象 （１）　明細書、第３、発明の詳細な説明の項、最下行
、 「他方の軸受には、セラミックスまたは」とあるを、 「他方の受材には、」と訂正する。 （２）明細書、第４頁、発明の詳細な説明の項、第１行
目、 「青銅焼結合金材」とあるを、 「青銅焼結合金材や超硬合金材」と訂正する。 （３）　明細書、第５頁、発明の詳細な説明の項、第７
行目、 ［荷重：５０００ｋｇｆＪとあるを、 ［荷重：　１００００に９ｆ　Ｊと訂正する。 （４）明細書、第５頁、発明の詳細な説明の項、第９行
目、 「○印は」とあるを、 「○および・印は」と訂正する。 （５）明細書、第５頁、発明の詳細な説明の項、下から
第４行目、 「また潤滑液には水を使用した。」 の次に下記を加入する。 「また、・印は、セラミック材を、β型の炭化珪素（常
圧焼結晶）に変更し、上記と同一条件下で試験を行なっ
た結果である。」 （６）明細書、第６頁、発明の詳細な説明の項、第５行
目、 「約３８００　ｋ、ｆ　Ｊとあるを、 「１００００に７ｆ以上」と訂正する。 （７）明細書、第６頁、発明の詳細な説明の項、第６行
目、 「２倍以上」とあるを、 「６倍以上」と訂正する。 （８）明細書、第８頁、発明の詳細な説明の項、下から
第４〜３行、 「また、例えば・・・・・・・・・の場合は、」とある
を、「また、電気伝導性を付与したセラミックス例えば
ＴｉＮを添加した８ｉ３Ｎ４　、　Ｓｉを残したＳｉＣ
の場合は、」と訂正する。 （９）明細書、第９頁、発明の詳細な説明の項、第２行
目、 「困難である。」 の次に、下記を加入する。 「また、レーザー等を使用した加工方法も同様である。 」 （１０）　明細書、第９頁、発明の詳細な説明の項、第
１５〜１９行、 「スパイラル状の樹脂マスクは、・・・・−・・・・こ
とができる。」とあるを、下記のように訂正する。 ［スパイラル状の樹脂マスクは、ポリエステル系の液体
感光性樹脂を露光し硬化させたもので、その製作方法の
一例を次に述べる。即ち、捷ずスパイラル状溝のネガフ
ィルムを作成し、このネガフィルムをガラス板上に置き
、その上に透明のカバーフィルムを重ね、感光性のある
液体樹脂を注加する。また、この樹脂の上に、更にベー
スフィルムをロールでラミネートする。次に、紫外線ラ
ングで数秒間露光させることによシ、ネガフィルムを通
して露光した部分の樹脂は硬化し、フィルムと同一形状
のスパイラル溝形状をした樹脂マスクができる。 液として使用することができる０」 ０！５）図面において、第３図を別紙のように訂正する
。 ８　添付書類の目録 （１）訂正図面　１通 以上 茶　３　図 回転数　昨ρｍ）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１１回転側および固定側の少なくとも一方の軸受が上
    ２ミックス製であって、前記セラミックス製軸受の回転
    側または固定側の表面に３〜５０μｍの範囲内の深さの
    スパイラル状の溝が形成されていることを特徴とするス
    ラスト軸受。 （２）　セラミック製の被加工材の表面を、スパイラル
    状の樹脂マスクで遮蔽した上、前記樹脂マスクで遮蔽さ
    れた前記被加工材の表面に微粉の研削拐を噴射してショ
    ツトブラスト加工を施すことにより、前記被加工材の表
    面に３〜５０μＦの範囲内の深さのスパイラル状の溝を
    形成することを特徴とするスラスト軸受の製造方法。
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US07/414,578 USH974H (en) 1983-07-06 1989-09-28 Thrust bearing and method of manufacturing thereof
US07/540,442 US5076716A (en) 1983-07-06 1990-06-18 Thrust bearing with spiral grooved face

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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6252215A (ja) * 1985-08-30 1987-03-06 Ebara Corp スパイラルグル−プ軸受の中間板
JPS62194021A (ja) * 1986-02-17 1987-08-26 Ebara Res Co Ltd スパイラルグル−ブ軸受
JPS62261713A (ja) * 1986-05-07 1987-11-13 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受の製造方法
JPS62278313A (ja) * 1986-05-26 1987-12-03 Ibiden Co Ltd 動圧グル−プ軸受の製造方法
JPS6357914A (ja) * 1986-08-26 1988-03-12 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受及びその製造方法
US4754181A (en) * 1985-08-16 1988-06-28 Ebara Corporation Magnet coupling through isolating plate
JPS63163016A (ja) * 1986-12-25 1988-07-06 Kyocera Corp セラミツク製回転軸
JPS63163026A (ja) * 1986-12-25 1988-07-06 Ibiden Co Ltd 軸受
JPS63235721A (ja) * 1987-03-23 1988-09-30 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受の製造方法
JPH01275913A (ja) * 1988-04-27 1989-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体軸受装置
EP0515687A1 (en) * 1990-10-25 1992-12-02 Ebara Corporation Gas dynamic bearing
JPH0842561A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Kyocera Corp セラミック製動圧軸受及びその製造方法
KR20190013440A (ko) * 2017-07-28 2019-02-11 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 경질 취성 재료 표면에 미세 딤플을 형성하는 방법

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH048909A (ja) * 1990-04-27 1992-01-13 Canon Inc 動圧流体軸受回転装置
US5264748A (en) * 1990-05-24 1993-11-23 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Axial-flow fan motor
US5441763A (en) * 1994-04-05 1995-08-15 A.O. Smith Corporation Method of corrosion protecting steel structural components
US5740871A (en) * 1996-05-01 1998-04-21 Dresser Industries, Inc. Flow diverter ring for a rotary drill bit and method
US5776408A (en) * 1996-08-23 1998-07-07 Eastman Kodak Company Method of engraving green ceramic articles
US5730928A (en) * 1996-08-23 1998-03-24 Eastman Kodak Company Method of making air lubricated hydrodynamic ceramic bearings
US5738446A (en) * 1996-08-23 1998-04-14 Eastman Kodak Company Air lubricated hydrodynamic ceramic bearings
US5765950A (en) * 1996-11-29 1998-06-16 Goulds Pumps, Incorporated Thrust bearing assembly
US5951169A (en) * 1997-03-27 1999-09-14 Pump Engineering, Inc. Thrust bearing
US6036435A (en) * 1997-03-27 2000-03-14 Pump Engineering, Inc. Thrust bearing
GB9915925D0 (en) * 1999-07-08 1999-09-08 Univ Loughborough Flow field plates
US6702466B2 (en) * 1999-10-15 2004-03-09 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Ceramic dynamic-pressure bearing, motor having bearing, hard disk drive, polygon scanner, and method for manufacturing ceramic dynamic-pressure bearing
US6932207B2 (en) * 2000-09-01 2005-08-23 Nsk-Warner K.K. Wet multiplate clutch
DE602005019219D1 (de) * 2004-03-24 2010-03-25 Terumo Corp Zentrifugalblutpumpe mit hydrodynamischer Lagerung
JP4573349B2 (ja) * 2004-10-21 2010-11-04 日立粉末冶金株式会社 動圧軸受の製造方法
DE102005030485A1 (de) * 2005-06-28 2007-01-04 Framatome Anp Gmbh Pumpenvorrichtung für kerntechnische Anlagen
US20070081910A1 (en) * 2005-10-07 2007-04-12 American Standard International Inc. Compressor valve plate with spiral groove
CN103518049B (zh) * 2011-05-10 2017-05-17 博格华纳公司 排气涡轮增压器及其轴承壳体
CA2935949C (en) * 2012-08-29 2018-08-14 Benno Lebkuchner Motor pump bearing
AU2014408694B2 (en) * 2014-10-14 2018-03-08 Halliburton Energy Services, Inc. Abrasion-resistant thrust ring for use with a downhole electrical submersible pump
US10113582B2 (en) 2017-01-27 2018-10-30 Regal Beloit Australia Pty., Ltd. Hydrodynamic bearing assembly and method of assembling the same
DE102019129494A1 (de) * 2019-10-31 2021-05-06 Nidec Gpm Gmbh Kühlmittelpumpe mit verbesserter Spaltdichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5715121A (en) * 1980-07-03 1982-01-26 Nippon Seiko Kk Dynamic pressure type fluid bearing

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1234573B (de) 1961-11-25 1967-02-16 Germania Veb Vorrichtung zur Aufnahme von Axialdrucklagern oder -ringen zwecks Einschleifens ringstueckfoermiger und axial ansteigender Keilnuten
US3295263A (en) 1963-03-18 1967-01-03 Monument Proc Co Mask for sandblasting indicia in stone and method for making same
SE336935B (ja) 1966-06-21 1971-07-19 Skf Svenska Kullagerfab Ab
NL6704587A (ja) 1967-03-31 1968-10-01
NL6805443A (ja) 1968-04-18 1969-10-21
US3579926A (en) 1968-08-02 1971-05-25 Pall Canada Ltd Sandblasting stencil and method of making same
NL134857C (ja) 1969-02-24 1900-01-01
SE340015B (ja) 1969-05-27 1971-11-01 Skf Svenska Kullagerfab Ab
US3883314A (en) 1970-06-29 1975-05-13 Omega Brandt & Freres Sa Louis Self-lubrication bearing member
NL7701855A (nl) 1977-02-22 1978-08-24 Philips Nv Lagering van een of meer drijfstangen op een pen van een krukas.
FR2409406A1 (fr) 1977-11-22 1979-06-15 Air Liquide Procede de realisation des etancheites interne et de sortie d'arbre d'une pompe et pompe mettant en oeuvre ce procede
US4315359A (en) 1978-12-29 1982-02-16 Mechanical Technology Incorporated Hydrodynamic compliant thrust bearing and method of making
DE3066021D1 (en) 1979-11-22 1984-02-02 Smiths Industries Plc Gas-lubricated bearings and method of manufacture
DE3014645C2 (de) 1980-04-16 1982-12-02 MTU Motoren- und Turbinen-Union München GmbH, 8000 München Metall-Keramik-Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung
JPS6026814A (ja) 1983-07-25 1985-02-09 Ebara Corp スラスト軸受
US4699525A (en) 1985-07-18 1987-10-13 Ebara Corporation Thrust bearing
US4808014A (en) * 1987-10-21 1989-02-28 Koyo Seiko Co., Ltd. Attaching structure for ceramics bearing

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5715121A (en) * 1980-07-03 1982-01-26 Nippon Seiko Kk Dynamic pressure type fluid bearing

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4754181A (en) * 1985-08-16 1988-06-28 Ebara Corporation Magnet coupling through isolating plate
JPS6252215A (ja) * 1985-08-30 1987-03-06 Ebara Corp スパイラルグル−プ軸受の中間板
JPS62194021A (ja) * 1986-02-17 1987-08-26 Ebara Res Co Ltd スパイラルグル−ブ軸受
JPS62261713A (ja) * 1986-05-07 1987-11-13 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受の製造方法
JPS62278313A (ja) * 1986-05-26 1987-12-03 Ibiden Co Ltd 動圧グル−プ軸受の製造方法
JPS6357914A (ja) * 1986-08-26 1988-03-12 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受及びその製造方法
JPS63163016A (ja) * 1986-12-25 1988-07-06 Kyocera Corp セラミツク製回転軸
JPS63163026A (ja) * 1986-12-25 1988-07-06 Ibiden Co Ltd 軸受
JPS63235721A (ja) * 1987-03-23 1988-09-30 Ibiden Co Ltd 動圧グル−ブ軸受の製造方法
JPH01275913A (ja) * 1988-04-27 1989-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd 流体軸受装置
EP0515687A1 (en) * 1990-10-25 1992-12-02 Ebara Corporation Gas dynamic bearing
JPH0842561A (ja) * 1994-07-29 1996-02-13 Kyocera Corp セラミック製動圧軸受及びその製造方法
KR20190013440A (ko) * 2017-07-28 2019-02-11 후지 세이사쿠쇼 가부시키가이샤 경질 취성 재료 표면에 미세 딤플을 형성하는 방법
JP2019025584A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 株式会社不二製作所 硬脆性材料表面に対する微小ディンプルの形成方法
US10987778B2 (en) 2017-07-28 2021-04-27 Fuji Manufacturing Co., Ltd. Method of forming fine dimples in a hard-brittle material surface

Also Published As

Publication number Publication date
US5076716A (en) 1991-12-31
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