CN109071788A - 脂肪族聚碳酸酯树脂、隔壁材料、基板及其制造方法、布线基板的制造方法以及布线形成方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供拒水性优良的脂肪族聚碳酸酯树脂。此外，提供隔壁材料、基板及其制造方法、布线基板的制造方法以及布线形成方法。本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂含有下述通式(1)：(式中，R1、R2以及R3各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，X表示具有氟原子的取代基，R1、R2以及R3可以相同或不同)所表示的组成单元，并且，对水的接触角为90°以上。
Description
技术领域
本发明涉及脂肪族聚碳酸酯树脂、隔壁材料、基板及其制造方法、布线基板的制造方法以及布线形成方法。
背景技术
从二氧化碳的资源化的观点出发，近年来对于由含有二氧化碳和环氧化合物的原料合成的脂肪族聚碳酸酯树脂积极地进行了研究，发现了各种各样的用途。脂肪族聚碳酸酯树脂具有热分解温度低这样的特征，因此，利用该性质，对在陶瓷粘结剂、金属油墨中的应用进行了研究(例如，专利文献1、2)。另外，利用加热、短波长的光(例如，真空紫外线、软X射线的照射)，容易除去脂肪族聚碳酸酯树脂，因此，也研究了将脂肪族聚碳酸酯树脂用作隔壁材料正型抗蚀剂树脂(例如，专利文献3、专利文献4)。如此，通过将脂肪族聚碳酸酯树脂用作隔壁材料正型抗蚀剂树脂，能够制作组装于电子部件等中的布线基板。例如，使用脂肪族聚碳酸酯树脂在基材上形成隔壁图案，通过光刻等形成槽后，在槽中设置例如含有金属油墨等的布线材料。接着，进行烧结，由此除去脂肪族聚碳酸酯树脂，并且进行油墨的硬化以及烧结。由此，形成布线基板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平06-334282号公报
专利文献2：日本特开2014-055232号公报
专利文献3：日本特开2010-106286号公报
专利文献4：日本特开2015-197519号公报
发明内容
发明所要解决的问题
如上所述，在使用具有由脂肪族聚碳酸酯树脂形成的隔壁图案的基板制造布线基板的情况下，作为成为布线材料的油墨，经常使用水系油墨。这是因为：脂肪族聚碳酸酯树脂有可能因有机溶剂而溶解、溶胀，因此需要避免隔壁的崩塌等。
但是，现有的脂肪族聚碳酸酯树脂(例如，聚碳酸亚丙酯树脂)的拒水性低，因此，通过油墨浸渍等使基材载有油墨时，油墨也容易载于作为隔壁材料的脂肪族聚碳酸酯树脂上。因此，制作布线基板时，难以使油墨只留在槽中，难以精度良好地形成期望的布线图案。从这样的观点出发，一直以来要求开发拒水性更优良的脂肪族聚碳酸酯树脂。
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供拒水性优良的脂肪族聚碳酸酯树脂。此外，本发明的目的在于提供隔壁材料、基板及其制造方法、布线基板的制造方法以及布线形成方法。
用于解决问题的方法
本发明人为了实现上述目的反复进行了深入研究，结果发现，通过使脂肪族聚碳酸酯树脂中所含的重复组成单元为特定的结构，由此能够实现上述目的，从而完成了本发明。
即，本发明包含例如以下项中所记载的主题。
项1.一种脂肪族聚碳酸酯树脂，其含有下述通式(1)所表示的组成单元，并且，对水的接触角为90°以上。
(式中，R1、R2以及R3各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，X表示具有氟原子的取代基，R1、R2以及R3可以相同或不同)
项2.如上述项1所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，X为含有三氟甲基的基团。
项3.如上述项1或2所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，式(1)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为0.05～5摩尔％。
项4.如上述项1～3中任一项所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，进一步含有下述通式(2)所表示的组成单元。
(式中，R4、R5、R6以及R7各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，R4、R5、R6以及R7可以相同或不同)
项5.如上述项1～4中任一项所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其是隔壁形成用脂肪族聚碳酸酯树脂。
项6.一种隔壁材料，其含有上述项5所述的脂肪族聚碳酸酯树脂。
项7.一种基板，其具有由上述项5所述的脂肪族聚碳酸酯树脂形成的隔壁。
项8.一种基板的制造方法，其是上述项7所述的基板的制造方法，其中，
具备设置含有上述脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜而形成隔壁的工序。
项9.一种布线基板的制造方法，其是使用上述项7所述的基板形成的布线基板的制造方法，其中，
具备在上述基板上设置布线材料而形成布线的工序。
项10.如项9所述的布线基板的制造方法，其中，具备：
在上述基板上形成槽的工序、和
在上述槽中设置布线材料而形成布线的工序。
项11.一种布线形成方法，其中，使用上述项6所述的隔壁材料形成布线。
发明效果
本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂的拒水性能比以往已知的公知的脂肪族聚碳酸酯树脂优良。因此，例如，在将本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂用作隔壁材料而形成隔壁的情况下，能够使水系油墨高准确度地只留在期望的部分。
本发明的隔壁材料含有上述聚碳酸酯树脂，因此，能够形成能够使水系油墨高准确度地只留在期望的部分的隔壁。
具体实施方式
以下，对本发明的实施方式详细地进行说明。需要说明的是，在本说明书中，对于“含有”以及“包含”这样的表述，包括“含有”、“包含”、“实质上包含”以及“只包含”这样的概念。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂含有下述通式(1)所表示的组成单元，
(式中，R1、R2以及R3各自独立地为氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，X为具有氟原子的取代基，R1、R2以及R3可以相同或不同)，
并且，对水的接触角为90°以上。
上述脂肪族聚碳酸酯树脂通过含有特定结构的组成单元，由此，拒水性能比现有的脂肪族聚碳酸酯树脂优良。因此，根据上述脂肪族聚碳酸酯树脂，例如，在用作隔壁材料而形成隔壁的情况下，能够使水系油墨高准确度地只留在期望的部分。
式(1)中，作为R1、R2以及R3的碳原子数为1～10的烷基的种类可以为直链以及支链状中的任一者，另外，烷基可以具有一个以上取代基。作为碳原子数为1～10的烷基的具体例，可以列举例如：甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基等。
上述烷基更优选碳原子数为1～4。
式(1)中，作为R1、R2以及R3的碳原子数为6～20的芳基可以具有取代基。作为芳基的具体例，可以列举：苯基、甲苯基、茚基、萘基、四氢萘基等。
上述芳基更优选碳原子数为6～14。
作为具有氟原子的取代基的X可以为氟原子，也可以为含有氟原子的基团。作为含有氟原子的基团的X，可以列举：碳原子数为1～10的氟烷基、碳原子数为1～10的全氟烷基、碳原子数为1～10的氟烷氧基、碳原子数为1～10的全氟烷氧基、碳原子数为6～20的氟芳基或碳原子数为6～20的全氟芳基等。
构成碳原子数为1～10的氟烷基的氟原子的数目可以只为一个，也可以为两个以上。作为碳原子数为1～10的氟烷基，可以列举例如：在之前例示的碳原子数为1～10的烷基中氢原子的一部分被氟原子取代后的基团。
构成碳原子数为1～10的氟烷氧基的氟原子的数目可以只为一个，也可以为两个以上。作为碳原子数为1～10的氟烷氧基，可以列举例如：在甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基等中氢原子的一部分被氟原子取代后的基团。
构成碳原子数为6～20的氟芳基的氟原子的数目可以只为一个，也可以为两个以上。作为碳原子数为6～20的氟芳基，可以列举例如：在之前例示的碳原子数为6～20的芳基中氢原子的一部分被氟原子取代后的基团。
在作为具有氟原子的取代基的X中，可以含有醚基、酯基、碳酸酯基、氨基、酰胺基、羰基等。
作为具有氟原子的取代基的X优选为含有三氟甲基(CF3-)的基团。推测：含有三氟甲基时，表面自由能小的三氟甲基容易偏析在最外表面。由此，能够进一步提高脂肪族聚碳酸酯树脂的拒水性。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂可以只由上述式(1)所表示的组成单元形成，或者，可以含有上述式(1)所表示的组成单元以外的其它组成单元而形成。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂优选上述式(1)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为5摩尔％以下，另外，优选为0.05摩尔％以上。这种情况下，具有如下倾向：制造脂肪族聚碳酸酯树脂时的聚合反应性以及脂肪族聚碳酸酯树脂在溶剂中的溶解性容易变得良好，而且容易得到期望的拒水性。本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂更优选上述式(1)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为2摩尔％以下。另外，本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂更优选上述式(1)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为0.1摩尔％以上。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂可以进一步含有下述通式(2)所表示的组成单元。
(式中，R4、R5、R6以及R7各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，R4、R5、R6以及R7可以相同或不同)
式(2)中，作为R4、R5、R6以及R7的碳原子数为1～10的烷基以及碳原子数为6～20的芳基分别与式(1)的作为R1、R2以及R3的碳原子数为1～10的烷基以及碳原子数为6～20的芳基意思相同。作为R4、R5、R6以及R7的烷基的碳原子数更优选为1～4。作为R4、R5、R6以及R7的芳基的碳原子数更优选为6～14。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂中，优选上述式(2)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为95摩尔％以上、更优选为98摩尔％以上。这种情况下，使得脂肪族聚碳酸酯树脂具有优良的拒水性。
从用作隔壁材料时的矩形的保持力的观点出发，本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量优选为50000以上、更优选为100000以上。另外，从避免因脂肪族聚碳酸酯树脂在溶剂中的溶解性的降低而引起操作性的降低的观点出发，脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量优选为1000000以下、更优选为500000以下。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂对水的接触角为90°以上。这种情况下，脂肪族聚碳酸酯树脂显示出期望的拒水性。脂肪族聚碳酸酯树脂对水的接触角优选为95°以上。上述接触角通常小于180°(例如，小于150°)。
本说明书中所述的接触角以通过下述步骤测定的值来定义。首先，使本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂以浓度为2.5质量％的方式溶解在丙酮中，将玻璃基板浸渍在所得到的溶液中，然后，将从溶液中提起的玻璃基板(表面附着有溶液的玻璃基板)在25℃进行24小时干燥，由此制备接触角测定用的样品。在所得到的测定样品上，以使液滴直径为2mm的方式利用微型注射器滴下一滴蒸馏水，测定接触角。该测定在温度25℃、湿度50％RH的环境下进行。这样的接触角的测定可以使用市售的接触角计来进行测定。
需要说明的是，只要是不阻碍本发明效果的范围，在本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂中也可以含有其它种类的聚碳酸酯树脂、其它树脂成分。
本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂例如可以溶解于能够溶解脂肪族聚碳酸酯树脂的溶剂中来使用。
作为能够溶解脂肪族聚碳酸酯树脂的溶剂，可以列举例如：甲苯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、异丙醇、甲基异丁基酮、丙酮、甲乙酮、N-甲基-2-吡咯烷酮、乙二醇乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单异丁醚、三甲基戊二醇单异丁酸酯、乙基卡必醇、丁基卡必醇、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、萜品醇、萜品醇乙酸酯、二氢萜品醇、二氢萜品醇乙酸酯、Texanol、异佛尔酮、乳酸丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、己二酸二辛酯、苄醇、苯基丙二醇、甲酚、N,N-二甲基甲酰胺、碳酸亚丙酯等。其中，从沸点适度高、烧结时容易均匀挥发的观点出发，优选N-甲基-2-吡咯烷酮、萜品醇、萜品醇乙酸酯、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、Texanol以及碳酸亚丙酯。需要说明的是，这些有机溶剂可以单独使用，也可以组合使用两种以上。
从所得到的溶液(本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂的溶液)的操作容易的观点出发，上述溶剂的使用量(配合量)相对于脂肪族聚碳酸酯树脂100质量份优选为100～2000质量份、更优选为200～1500质量份、进一步优选为300～1000质量份。
作为本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂的制造方法，可以列举使环氧化物和二氧化碳在金属催化剂的存在下进行聚合反应的方法等。
通过选择上述环氧化物的种类，可以得到具有式(1)所表示的组成单元并进一步根据需要具有式(2)所表示的组成单元的脂肪族聚碳酸酯树脂。
作为用于形成式(1)所表示的组成单元而使用的环氧化物，可以列举例如下述通式(3)所表示的环氧化物，
(式中，R8是氟原子或含有氟原子的一价有机基团，Q是单键或不含氟原子的二价连接基团)
需要说明的是，该环氧化物可以单独使用，也可以组合使用两种以上。
式(3)中，Q-R8部位相当于式(1)中的X。
在R8为含有氟原子的一价有机基团的情况下，作为R8，例示出单氟甲基、二氟甲基、2,2,2-三氟乙基、1,1,1-3,3,3-六氟异丙基等氟烷基；三氟甲基、五氟乙基、全氟丙基、全氟丁基等全氟烷基；4-氟苯基、2,6-二氟苯基、2,4,6-三氟苯基等氟芳基；五氟苯基、全氟萘基等全氟芳基等。
式(3)中，在Q为不含氟原子的二价连接基团的情况下，优选亚烷基、含有醚性氧原子、酯基、碳酸酯基、氨基、酰胺基、羰基的亚烷基，更优选亚烷基或含有醚性氧原子的亚烷基。作为亚烷基，优选亚甲基(-CH2-)、亚乙基(-CH2CH2-)、亚丙基(-CH2CH2CH2-)等碳原子数为1以上的直链亚烷基，特别优选碳原子数为1～5的直链亚烷基。作为含有醚性氧原子的亚烷基，优选在上述亚烷基的碳-碳间插入有氧原子的基团、在上述亚烷基的末端部(R8侧的末端部)插入有氧原子的基团，更优选在碳原子数为1～4的直链亚烷基的末端部(R8侧的末端部)键合有氧原子的基团、或者在碳原子数为2～4的直链亚烷基的碳-碳间的1～2个部位插入有氧原子的基团(例如，-CH2O-、-CH2OCH2-、-CH2OCH2CH2-)。
需要说明的是，式(3)中，在Q为单键的情况下，R8与环氧基的碳原子直接键合。
作为用于形成式(2)所表示的组成单元而使用的环氧化物，可以列举例如：环氧乙烷、环氧丙烷、2,3-环氧丁烷、环氧异丁烷。其中，从具有高反应性的观点出发，优选环氧乙烷以及环氧丙烷。需要说明的是，该环氧化物可以单独使用，也可以组合使用两种以上。
作为金属催化剂，可以列举例如：锌系催化剂、铝系催化剂、铬系催化剂、钴系催化剂等。其中，从在环氧化物与二氧化碳的聚合反应中具有高的聚合活性以及宽的基质通用性的方面考虑，优选锌系催化剂。
作为锌系催化剂，可以列举例如：乙酸锌、二乙基锌、二丁基锌等有机锌催化剂；通过使伯胺、二元酚(苯二酚)、芳香族二羧酸、芳香族羟基酸、脂肪族二羧酸、脂肪族单羧酸等化合物与锌化合物反应而得到的有机锌催化剂等。这些有机锌催化剂中，从具有更高的聚合活性的方面考虑，优选使锌化合物与脂肪族二羧酸和脂肪族单羧酸反应而得到的有机锌催化剂，更优选使氧化锌与戊二酸和乙酸反应而得到的有机锌催化剂。
上述聚合反应中，可以根据需要使用反应溶剂。作为反应溶剂，可以使用各种有机溶剂。作为有机溶剂，可以列举例如：戊烷、己烷、辛烷、癸烷、环己烷等脂肪族烃类溶剂；苯、甲苯、二甲苯等芳香族烃类溶剂；二氯甲烷、氯仿、四氯化碳、1,1-二氯乙烷、1,2-二氯乙烷、氯乙烷、三氯乙烷、1-氯丙烷、2-氯丙烷、1-氯丁烷、2-氯丁烷、1-氯-2-甲基丙烷、氯苯、溴苯等卤代烃类溶剂；二甲氧基乙烷、四氢呋喃、2-甲基四氢呋喃、1,4-二氧六环、1,3-二氧戊环等醚类溶剂；乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯等酯类溶剂；N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等酰胺类溶剂；碳酸二甲酯(dimethyl carbonate)、碳酸甲乙酯、碳酸二乙酯、碳酸亚丙酯等碳酸酯类溶剂等。需要说明的是，这些有机溶剂可以单独使用，也可以组合使用两种以上。
从使反应顺利地进行的观点出发，反应溶剂的使用量相对于环氧化物100质量份优选为100～10000质量份。
作为使环氧化物和二氧化碳在金属催化剂的存在下进行聚合反应的方法，没有特别限定。例如可以列举如下方法：在高压釜中添加环氧化物、金属催化剂、以及根据需要的助催化剂、反应溶剂等，将它们混合后，压入二氧化碳使其反应。
上述聚合反应中所使用的二氧化碳的使用量相对于环氧化物1摩尔优选为1～10摩尔、更优选为1～5摩尔、进一步优选为1～3摩尔。
从使反应顺利地进行的观点出发，上述聚合反应中所使用的二氧化碳的使用压力优选为0.1MPa以上、更优选为0.2MPa以上、进一步优选为0.5MPa以上，从得到与使用压力相符的效果的观点出发，优选为20MPa以下、更优选为10MPa以下、进一步优选为5MPa以下。
关于上述聚合反应中的聚合反应温度，从缩短反应时间的观点出发，优选为0℃以上、更优选为10℃以上、进一步优选为20℃以上，从抑制副反应、提高产率的观点出发，优选为100℃以下、更优选为90℃以下、进一步优选为80℃以下。
聚合反应时间根据聚合反应条件而不同，因此不能一概而定，通常为约1小时～约40小时。
上述脂肪族聚碳酸酯树脂可以用于多种用途。
例如，本实施方式的脂肪族聚碳酸酯树脂可作为用于形成隔壁的脂肪族聚碳酸酯树脂(隔壁形成用脂肪族聚碳酸酯树脂)、即作为隔壁材料的构成成分来使用。
隔壁材料含有上述脂肪族聚碳酸酯树脂，也可以含有其它成分。作为其它成分，可以列举例如：隔壁材料中以往所使用的溶剂、粘结剂、光稳定剂、感光剂、光敏剂等。溶剂的种类例如可以与作为隔壁材料以往所使用的溶剂同样。
在本实施方式的隔壁材料中除了上述脂肪族聚碳酸酯树脂以外还含有溶剂的情况下，相对于溶剂每100质量份，可以将脂肪族聚碳酸酯树脂的含量设定为5～30质量份。
使用上述隔壁材料在基材上形成期望形状的隔壁图案，由此，可以得到具有由本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂形成的隔壁的基板。这样的隔壁例如可以利用含有本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜形成。
使用上述隔壁材料时，含有上述脂肪族聚碳酸酯树脂，因此能够形成能够使水系油墨高准确度地只留在期望的部分的隔壁。因此，根据上述隔壁材料，例如能够形成具有以高精度控制的布线图案的布线基板。即，由上述隔壁材料形成的隔壁的拒水性高，因此，在形成有这样的隔壁的基材上载置水系油墨时在隔壁上不易载置水系油墨，由此，能够精度良好地形成期望的布线图案。
如上所述，上述隔壁材料适合作为用于形成以高精度控制的微细布线的材料。
制造具有由含有本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料形成的隔壁的基板的方法例如可以通过具备设置含有上述脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜而形成隔壁的工序的制造方法来制造上述基板。
具体而言，首先，准备用于形成隔壁图案的基材，对该基材表面的规定部位进行涂布液态的隔壁材料等的处理。接着，根据需要进行加热处理、紫外线等的照射处理而形成含有本发明的聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜，由此形成隔壁图案。由此，可形成具有隔壁的基材。
形成含有本发明的聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜的部位例如可以设定为预定在其基材表面形成布线图案的部分及其周边部。
基材的种类例如可以使用以往用于形成电子基板等布线基板而使用的基材。
使用上述基板时，能够制造可组装于各种电子部件等的布线基板。
关于制造布线基板的方法，例如可以通过具备在上述基板上设置布线材料而形成布线的工序的制造方法来制造布线基板。更具体而言，可以通过具备在上述基板上形成槽的工序和在上述槽中设置布线材料而形成布线的工序的制造方法来制造布线基板。
上述槽例如可以通过光刻等方法来形成。除此以外，槽的形成方法可以采用以往所进行的方法。上述槽以形成与目标布线图案的形状同样的形状的方式形成即可。
作为在如上所形成的槽中设置布线材料的方法，例如可以列举使布线材料流入槽中的方法。使布线材料流入槽中的方法可以列举例如：将形成有槽的基板浸渍于液态的布线材料中的方法、在形成有槽的基板上涂布液态的布线材料的方法、或者在形成有槽的基板上喷墨印刷布线材料的方法等。
另一方面，通过具备在基板不形成槽而利用喷墨印刷等在上述基板上涂布布线材料从而形成布线的工序的方法，也能够制造布线基板。
上述布线材料的种类没有特别限定，例如可以使用以往用于形成布线而使用的金属油墨等水系油墨。
在上述基板中，形成有由上述脂肪族聚碳酸酯树脂形成的隔壁，该隔壁的拒水性优良，因此，能够使布线材料高准确度地只留在期望的槽中。
如上所述在基板上设置布线材料后，将该基板在布线材料发生烧结的温度下进行加热，由此，将布线材料烧成而形成布线。烧结温度可以根据所使用的布线材料的种类适当设定。通过上述烧结的处理，形成了隔壁图案的脂肪族聚碳酸酯树脂被烧掉。
通过经过上述烧结处理，制造布线基板。如此形成的布线基板由于布线图案被高精度地控制，因此，能够大幅提高电子部件等的性能。
如上所述，根据使用含有上述脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料的布线的形成方法，能够以简易的方法精度良好地形成微细布线，作为用于构建各种电子部件的方法是有用的。
实施例
以下，通过实施例对本发明更具体地进行说明。
在本实施例以及比较例中，各物性通过以下所示的方法进行评价。
[脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量(Mw)]
制备脂肪族聚碳酸酯树脂的浓度为0.5质量％的N,N-二甲基甲酰胺溶液，使用高效液相色谱进行测定。测定后，通过与在同一条件下测定的质均分子量已知的聚苯乙烯进行比较，算出脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量。测定条件如下设定：
柱：GPC柱(昭和电工株式会社的商品名、Shodex OHPac SB-800系列)
柱温：40℃
洗脱液：0.03mol/L溴化锂-N,N-二甲基甲酰胺溶液
流速：0.65mL/分钟。
[脂肪族聚碳酸酯树脂的接触角]
将脂肪族聚碳酸酯树脂以使树脂浓度为2.5质量％的方式溶解于丙酮中，将玻璃基板浸渍在所得到的溶液中。然后，将该玻璃基板从溶液中取出后，在25℃进行24小时干燥，由此制作出涂覆有脂肪族聚碳酸酯树脂的玻璃基板。在该玻璃基板上，以使液滴直径为2mm的方式，利用微型注射器滴下一滴蒸馏水，使用协和界面科学公司制造的接触角计“CA-S 150型”，通过目视测定接触角。该测定在温度25℃、湿度50％RH的环境下进行。
[脂肪族聚碳酸酯树脂的热分解开始温度]
使用日立高新技术公司制造的“TG/DTA7220”，在氮气气氛下以10℃/分钟的升温速度从室温升温至500℃，测定热分解开始温度。热分解开始温度设定为与通过试验加热开始前的质量的横轴平行的线与以使分解曲线中的拐点间的斜率达到最大的方式引出的切线的交点。
(制造例1；有机锌催化剂的制造)
在具备搅拌机、氮气导入管、温度计、迪安-斯达克管以及回流冷却管的0.3L容积的四口烧瓶中投入氧化锌7.73g(95毫摩尔)、戊二酸12.3g(100毫摩尔)、乙酸0.114g(2毫摩尔)以及甲苯76.0g。接着，一边以50mL/分钟的流量向反应体系内流通氮气，一边升温至55℃，在该温度下搅拌4小时，使其反应。然后，升温至110℃，进一步在该温度下搅拌2小时，使其共沸脱水而除去水分后，冷却至室温，得到含有有机锌催化剂的浆液。
(实施例1)
将具备搅拌机、气体导入管以及温度计的1L容量的高压釜的体系内预先置换为氮气气氛后，投入含有通过制造例1得到的有机锌催化剂的浆液39.1g(含有45毫摩尔的有机锌催化剂)、碳酸二甲酯192.4g、环氧丙烷26.1g(450毫摩尔)以及(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-十七氟壬基)环氧乙烷12.8g(26.9毫摩尔)。接着，在搅拌下升温至60℃，然后，添加二氧化碳，填充二氧化碳直至反应体系内达到1.0MPa为止。一边补充被反应消耗的二氧化碳，一边进行10小时聚合反应。反应结束后，将高压釜冷却而脱压，过滤后，进行减压干燥，从而得到脂肪族聚碳酸酯树脂38.6g。所得到的脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量为354000(Mw/Mn＝7.44)，脂肪族聚碳酸酯树脂中的式(1)所表示的组成单元的含量为1.0摩尔％。
(实施例2)
将(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-十七氟壬基)环氧乙烷12.8g变为3-(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟辛基氧基)-1,2-环氧丙烷2.9g(6.9毫摩尔)，除此以外，与实施例1同样地进行聚合，得到脂肪族聚碳酸酯树脂41.0g。所得到的脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量为473000(Mw/Mn＝8.13)，脂肪族聚碳酸酯树脂中的式(1)所表示的组成单元的含量为0.2摩尔％。
(实施例3)
将3-(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-十三氟辛基氧基)-1,2-环氧丙烷的使用量变为4.5g(10.8毫摩尔)，除此以外，与实施例2同样地进行聚合，得到脂肪族聚碳酸酯树脂34.6g。所得到的脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量为330000(Mw/Mn＝10.73)，脂肪族聚碳酸酯树脂中的式(1)所表示的组成单元的含量为1.2摩尔％。
(比较例1)
不使用(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,9-十七氟壬基)环氧乙烷12.8g，除此以外，与实施例1同样地进行聚合，得到脂肪族聚碳酸酯树脂40.0g。所得到的脂肪族聚碳酸酯树脂的质均分子量为301000(Mw/Mn＝8.31)。
将各实施例以及比较例中得到的脂肪族聚碳酸酯树脂的对水的接触角以及热分解开始温度示于表1中。需要说明的是，表1中，“含量(摩尔％)”表示相对于脂肪族聚碳酸酯树脂中的全部组成单元的总摩尔数的、式(1)所表示的组成单元的含量。另外，表1中，“含氟的环氧化物”表示用于形成式(1)所表示的组成单元而使用的环氧化物。
[表1]
根据实施例1～3与比较例1的对比可知，通过在脂肪族聚碳酸酯树脂的侧链导入具有氟原子的结构(式(1)中的X)，对水的接触角大幅提高，拒水性提高。
另外可知，即使导入这些结构，也几乎没有发现热分解温度的升高，因此，能够通过与通常的脂肪族聚碳酸酯树脂同样的热处理来烧掉。
如上所述，实际验证了实施例1～3的脂肪族聚碳酸酯树脂的拒水性优良。表明这样的脂肪族聚碳酸酯树脂适合作为例如用于形成隔壁的材料。
产业上的可利用性
本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂的拒水性能比现有的脂肪族聚碳酸酯树脂优良。例如，在将上述脂肪族聚碳酸酯树脂用作隔壁材料而形成隔壁的情况下，能够使水系油墨高准确度地只留在期望的部分。因此，使用本发明的脂肪族聚碳酸酯树脂时，能够容易地形成具有被高度控制的微细布线的布线基板等，所得到的布线基板能够组装于各种电子部件等中。
Claims (11)
1.一种脂肪族聚碳酸酯树脂，其含有下述通式(1)所表示的组成单元，并且，对水的接触角为90°以上，
式中，R1、R2以及R3各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，X表示具有氟原子的取代基，R1、R2以及R3相同或不同。
2.如权利要求1所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，X为含有三氟甲基的基团。
3.如权利要求1或2所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，式(1)所表示的组成单元的含量相对于全部组成单元的总摩尔数为0.05～5摩尔％。
4.如权利要求1～3中任一项所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其中，进一步含有下述通式(2)所表示的组成单元，
式中，R4、R5、R6以及R7各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基或碳原子数为6～20的芳基，R4、R5、R6以及R7相同或不同。
5.如权利要求1～4中任一项所述的脂肪族聚碳酸酯树脂，其是用于形成隔壁的脂肪族聚碳酸酯树脂。
6.一种隔壁材料，其含有权利要求5所述的脂肪族聚碳酸酯树脂。
7.一种基板，其具有由权利要求5所述的脂肪族聚碳酸酯树脂形成的隔壁。
8.一种基板的制造方法，其是权利要求7所述的基板的制造方法，其中，
具备设置含有所述脂肪族聚碳酸酯树脂的隔壁材料的涂膜而形成隔壁的工序。
9.一种布线基板的制造方法，其是使用权利要求7所述的基板形成的布线基板的制造方法，其中，
具备在所述基板上设置布线材料而形成布线的工序。
10.如权利要求9所述的布线基板的制造方法，其中，具备：
在所述基板上形成槽的工序、以及
在所述槽中设置布线材料而形成布线的工序。
11.一种布线形成方法，其中，使用权利要求6所述的隔壁材料形成布线。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54148097A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-19 | Daikin Ind Ltd | Fluorine-containing aliphatic polycarbonate and its preparation |
| JP2015197519A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-09 | 住友精化株式会社 | ポジ型フォトレジスト |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3220978A (en) * | 1963-05-29 | 1965-11-30 | Gen Electric | Fluorine containing organic carbonates |
| US3510458A (en) * | 1967-07-26 | 1970-05-05 | Du Pont | Polycarbonates of perfluoroalkyl-terminated alkyl-1,3-propanediols |
| JPH06334282A (ja) | 1993-05-24 | 1994-12-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック多層基板用グリーンシート |
| JP3246362B2 (ja) | 1996-11-27 | 2002-01-15 | 富士電機株式会社 | 電子写真用感光体 |
| WO2004042797A2 (en) | 2002-11-01 | 2004-05-21 | Georgia Tech Research Corporation | Sacrificial compositions, methods of use thereof, and methods of decomposition thereof |
| JP4997461B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2012-08-08 | 学校法人東京理科大学 | ポリカーボネートの製造方法及びポリカーボネート |
| US8143369B2 (en) * | 2009-06-02 | 2012-03-27 | International Business Machines Corporation | Polymers bearing pendant pentafluorophenyl ester groups, and methods of synthesis and functionalization thereof |
| JP2011190367A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Toudai Tlo Ltd | 脂肪族ポリカルボナートおよびその製造方法 |
| JP5996196B2 (ja) * | 2012-01-26 | 2016-09-21 | 住友精化株式会社 | 高分子固体電解質および高分子固体電解質フィルム |
| JP6000771B2 (ja) | 2012-09-12 | 2016-10-05 | 住友精化株式会社 | 金属ペースト組成物 |
| JP2014074864A (ja) * | 2012-10-05 | 2014-04-24 | Sony Corp | 光学素子、光学素子アレイ、表示装置および電子機器 |
| JP2014185260A (ja) * | 2013-03-25 | 2014-10-02 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 結晶性を有する二酸化炭素／エポキシド共重合体及びその製造方法 |
| CN103881078B (zh) * | 2014-04-17 | 2016-02-03 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 氯化聚丙撑碳酸酯及其制备方法 |
-
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