CN108535918A

CN108535918A - 光照射装置

Info

Publication number: CN108535918A
Application number: CN201810163701.5A
Authority: CN
Inventors: 木村淳治
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2017-03-06
Filing date: 2018-02-27
Publication date: 2018-09-14
Also published as: JP6870391B2; JP2018146797A

Abstract

提供配置为多列的灯的更换较为容易的光照射装置。光照射装置具备：光源部，具有光源单元，在所述光源单元中，多个灯沿着光照射面排列而成的灯列沿该光照射面排列为多列，且向该光照射面的前方发出光，所述光源部将该光源单元的光对向横切所述多列的扫描方向移动的对象物进行照射；支承引导件，在包含对所述对象物照射光的照射位置、以及在所述扫描方向上离开该照射位置的待机位置的移动路径上，移动自如地支承所述光源部，伴随着该光源部从该照射位置至该待机位置的移动，使所述光照射面朝向移动方向的前方侧；以及移动机构，使被支承在所述待机位置的所述光源部的至少所述光源单元，保持由所述支承引导件支承的朝向地向横切所述多列的方向移动。

Description

光照射装置

技术领域

本发明涉及对对象物照射光的光照射装置，特别是涉及能够容易地更换多个光源的光照射装置。

背景技术

以往，作为光照射装置，例如已知有利用光照射来对用于对液晶进行取向的取向膜赋予取向性的光取向装置等。在这样的光取向装置中，通常使用长弧型放电灯作为光源。然而，伴随着液晶基板的尺寸扩大，光取向装置所要求的照射面积也扩大，因此凭借1根长弧放电灯的延长无法提供大面积。

因此，如专利文献1所记载的光取向用偏振照射装置(光取向装置)那样，提出有多个长弧型放电灯并列配置的形式。各放电灯的纵长方向与对象物的输送方向(扫描方向)一致。通过采用该方式，在理论上不受1根放电灯的长度限制而能够扩大宽度方向(与输送方向正交的方向)的尺寸。另外，在灯具设置驱动机构，使灯具从照射位置移动到作业员容易更换灯的维护位置，从而使作业员进行的灯更换变得容易。

但是，作为这样的并列配置的代价，宽度方向上的照度的均匀性降低，因此若灯的列为1列，则作为光照射装置的光源而要求的能力不足。为此，在并列配置的光照射装置中，这样的灯的列需要为多列。于是，灯的根数变得庞大、对于更换也需要庞大的时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－197189号公报

发明内容

发明所要解决的课题

另外，总是有提高每1张基板的光取向处理的效率、即所谓的缩短节拍(tact up)的要求，在采用纵长的1根长弧放电灯的方式中，通过增加输入电力，能够提高照度，实现应对缩短节拍。

另一方面，在小型的多个灯并列配置的形式中，由于1根灯的物理上的大小的限制，能够对灯输入的电力存在限制，并非仅增加输入电力便能够保证使照度提高。因此，为了缩短节拍，结果灯的列数在输送方向上增加，在维护位置处的上下宽度增大，因此灯更换变得越来越不容易。

因此，本发明的课题在于提供容易更换配置为多列的灯的光照射装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的光照射装置的一方式具备：光源部，具有光源单元，在上述光源单元中，多个灯沿着光照射面排列而成的灯列沿该光照射面排列为多列，且向该光照射面的前方发出光，上述光源部将该光源单元的光对向横切上述多列的扫描方向移动的对象物进行照射；支承引导件，在包含对上述对象物照射光的照射位置、以及在所述扫描方向上离开该照射位置的待机位置的移动路径上，移动自如地支承上述光源部，伴随着该光源部从该照射位置至该待机位置的移动，使上述光照射面朝向移动方向的前方侧；以及移动机构，使被支承在上述待机位置的上述光源部的至少上述光源单元，保持由上述支承引导件支承的朝向地向横切上述多列的方向移动。

根据这样的光照射装置，即使灯列为多列，更换对象的灯列也能够通过由移动机构进行的光源单元的移动而移动至作业员的手能够够到的上下范围内，因此灯的更换较容易。

另外，在上述光照射装置中，上述光源单元也可以是至少在两个灯列彼此中，使灯的位置在灯列延伸的方向上相互偏移。像这样，通过灯的位置偏移，使照射光的光量分布均匀，从而实现近似均等地照射。

另外，在上述光照射装置中，也可以具备光学部件，上述光学部件配备于上述光照射面的前方，并作用于对上述对象物照射的照射光。通过具备例如过滤器或偏振片等的光学部件，光照射装置能够照射特定波长的光或特定偏振光等。特别是，上述对象物是在表面形成有取向膜的基板、上述光学部件是使上述照射光偏振的偏振光元件的话，上述光照射装置例如作为光取向装置而应用。

发明效果

根据本发明的光照射装置，配置为多列的灯能够容易更换。

附图说明

图1为表示相当于本发明的光照射装置的一实施方式的光取向装置的构造的侧视图。

图2为表示相当于本发明的光照射装置的一实施方式的光取向装置的构造的仰视图。

图3为表示照射器的构造的图。

图4为表示照射光源部的移动的图。

图5为表示照射单元的下方移动的图。

图6为表示照射单元的上方移动的图。

附图标记说明

1…光取向装置，10…照射光源部，20…支承引导件，W…工件，30…输送部，40…光学部件，11…照射器，15…照射单元，14…驱动单元，16…灯，17…反射镜，18…灯罩，21…斜行导轨，22…水平导轨，31…移动工作台，32…基座。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。

图1以及图2为表示相当于本发明的光照射装置的一实施方式的光取向装置的构造的图。图1为从工件的输送路径的侧方观察的侧视图，图2为从光的照射方向观察的仰视图。

光取向装置1具备发出向工件W照射的光的照射光源部10、支承照射光源部10的支承引导件20、将工件W保持并输送的输送部30、以及作用于从照射光源部10发出并向工件W照射的光的例如偏振片或波长选择过滤器等光学部件40。在工件W的表面形成有取向膜，偏振后的照射光被照射到工件W的表面，从而对取向膜赋予取向性。

如图2所示，照射光源部10具备照射器11跨多列(这里作为一例为5列)排列的照射单元15，该照射单元15由驱动单元14保持。另外，为了在取向膜的取向处理中缩短节拍而需要基于5列以上的照射器11的光量的确保的情况也较多。该照射光源部10相当于本发明所说的光源部的一例，照射单元15相当于本发明所说的光源单元的一例，驱动单元14相当于本发明所说的移动机构的一例。

支承引导件20具备斜行导轨21与水平导轨22，对于各导轨21、22，在照射光源部10侧设置有沿着各导轨21、22而延伸的引导槽。

第1辊12与第2辊13从照射光源部10的驱动单元14朝向斜行导轨21与水平导轨22而突出，各辊12、13被插入各导轨21、22的引导槽。

照射光源部10经由第1辊12与第2辊13而被支承引导件20支承，并且在维护时一边由支承引导件20引导一边从图1所示的照射位置向后述的维护位置移动。该支承引导件20相当于本发明所说的支承引导件的一例。后述照射光源部10的移动的详细内容。

光学部件40通过省略了图示的保持框与照射光源部10独立地被保持，即使在照射光源部10移动了的情况下，也停留在图1所示的配置位置。

输送部30具备移动工作台31与基座32。移动工作台31例如通过吸附来保持工件W，在基座32组装有引导移动工作台31的导轨或驱动移动工作台31的线性马达等。移动工作台31保持工件W并向图1的左右方向(以下，将该方向称作“扫描方向”。)移动，从而以照射光源部10的照射光扫描工件W。工件W移动的扫描方向成为横切照射单元15所具备的照射器11的列的方向(图2的上下方向)。

如图3所示，各照射器11具备作为线状的光源的灯16、以及反射灯16的光的反射镜17。另外，照射器11具备收容灯16以及反射镜17的灯罩18。灯16是所谓的长弧放电灯，每1根的发光长度为20cm～50cm左右。另外，灯16例如是高压水银灯、向水银中加入了其他的金属与卤素的金属卤素灯、封入了水银以外的金属与卤素的金属卤素灯等的放电灯，根据封入的发光种类而放射波长200nm～400nm的紫外光。

作为向工件W形成的取向膜的材料，已知有通过波长254nm的光进行取向的材料、通过波长313nm的光进行取向的材料、以及通过波长365nm的光进行取向的材料等，光源的种类根据所需要的波长而适当地选择。

各照射器11的反射镜17将灯16的光向图2的跟前侧反射，例如是其剖面为椭圆形或者抛物线状的槽状聚光镜。反射镜12以其长边方向与灯11的长边方向一致的方式配置。反射镜12将光向图2的跟前侧反射，因此照射光源部10的照射单元15中的光照射面的朝向成为与图2的纸面垂直的朝向(图1的朝下)。

如图2所示，在照射光源部10的照射单元15中排列的各照射器11的灯16延伸的方向(长边方向)与图2的上下方向一致，该图2的上下方向成为沿着上述的扫描方向的方向。

照射器11的各列在与扫描方向交叉的宽度方向上延伸，各灯16延伸的方向与列延伸的方向不同。因此，以灯16的1列来观察的话，在宽度方向上照射光的光量产生不均匀。

在本实施方式中，在采用照射器11的列彼此中、照射器11的位置相互在宽度方向上偏移(移位)的配置，以使照射器11的各列中的上述这样的光量的不均匀作为照射光源部10的整体而被缓和。此外，并非必须在灯16的全列中使灯16的位置相互偏移，只要在某些多个列中灯16的位置相互偏移，则产生不均匀被缓和的方向的作用。

接下来，对照射光源部10的移动进行说明。

图4为表示照射光源部10的移动的图。

照射光源部10在维护时，从图4中虚线所示的照射位置移动至实线所示的维护位置。该移动是向上述的扫描方向的移动。由于照射光源部10是重物，因此该移动利用内置在照射光源部10的驱动单元14中的驱动马达等、通过第1辊12以及第2辊13旋转驱动从而被执行。

照射光源部10向维护位置移动，而另一方面光学部件40停留在照射位置。由此，覆盖照射光源部10的照射面侧的光学部件40分离，能够从照射面侧进行灯更换。

照射光源部10的第1辊12由支承引导件20的斜行导轨21引导，第2辊13由水平导轨22引导。其结果，伴随着照射光源部10的移动，第1辊12的高度上升，照射光源部10以移动方向的前方侧被抬起的方式倾斜着行进。其结果，照射光源部10的照射面侧转向移动方向的前方侧。但是，照射面无需完全转向移动方向的前方。

在移动至维护位置的照射光源部10的照射面前方设置有作业台50，作业员站在该作业台50上进行灯16的更换。然而，如图2中例示的那样，在灯16跨5列以上地排列的情况下，灯16排列的上下范围会超过作业员的手能够够到的范围。

因此，在本实施方式中，在驱动单元14组装有使照射单元15上下移动的机构，通过照射单元15上下移动，从而照射单元15的各灯16移动至作业员的手能够够到的范围。

图5以及图6为表示照射单元15的上下移动的图。

在照射光源部10的驱动单元14利用在内部组装的马达等使照射单元15在沿着光照射面的方向上上下移动。该上下移动是与在照射单元15中排列的灯16的列交叉的方向(图2的上下方向)上的移动。由驱动单元14驱动的照射单元15的移动量为灯16的1列以上，优选的是多列以上。

在图5中示出了照射单元15从图4所示的位置起向下方向移动的情形，对于以往由于过高而作业台50上的作业员的手无法够到的列的灯16，手也能够够到，灯16的更换较容易。在位于上方的列的灯16被更换后，如图6所示那样，照射单元15向上方向移动。由此，位于照射单元15下方的列的灯16的更换变得容易，并且照射光源部10能够返回照射位置。

此外，在上述说明中，作为本发明的光照射装置的一实施方式示出了光取向装置，但本发明的光照射装置也可以是光取向装置以外的光照射装置。特别是，对于针对大面积需要较大的光量的光照射装置，适合使用本发明的光照射装置。

Claims

1.一种光照射装置，其特征在于，具备：

光源部，具有光源单元，在所述光源单元中，多个灯沿着光照射面排列而成的灯列沿该光照射面排列为多列，且向该光照射面的前方发出光，所述光源部将该光源单元的光对向横切所述多列的扫描方向移动的对象物进行照射；

支承引导件，在包含对所述对象物照射光的照射位置、以及在所述扫描方向上离开该照射位置的待机位置的移动路径上，移动自如地支承所述光源部，伴随着该光源部从该照射位置至该待机位置的移动，使所述光照射面朝向移动方向的前方侧；以及

移动机构，使被支承在所述待机位置的所述光源部的至少所述光源单元，保持由所述支承引导件支承的朝向地向与所述多列交叉的方向移动。

2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

所述光源单元至少在两个灯列彼此中使灯的位置在灯列延伸的方向上相互偏移。

3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其特征在于，

所述光照射装置具备光学部件，所述光学部件配备于所述光照射面的前方，并作用于对所述对象物照射的照射光。

4.如权利要求3所述的光照射装置，其特征在于，

所述对象物是在表面形成光取向膜的基板，

所述光学部件是使所述照射光偏振的偏振元件。