CN108472700B

CN108472700B - 钛板

Info

Publication number: CN108472700B
Application number: CN201680079332.0A
Authority: CN
Inventors: 满田浩史; 高桥一浩; 伊藤穰慧; 瀬户英人; 岳边秀德
Original assignee: Nippon Steel and Sumitomo Metal Corp
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 2016-01-18
Filing date: 2016-01-18
Publication date: 2020-02-21
Anticipated expiration: 2036-01-18
Also published as: JP6172408B1; US20190032182A1; DK3406361T3; EP3406361B1; CN108472700A; KR102186232B1; WO2017126017A1; JPWO2017126017A1; KR20180103995A; EP3406361A4; EP3406361A1; US10718043B2

Abstract

本发明涉及一种钛板，其表面的载荷0.245N下的维氏硬度Hv_0.025为150以下，并且由JIS B0601:2013规定的轮廓曲线单元的平均宽度RSm为80μm以下且最大高度Rz小于1.5μm。该钛板具有良好的表面变形能力。

Description

钛板

技术领域

本发明涉及钛板。

背景技术

钛板的耐腐蚀性优异，因此用作化学设备、电气设备、食品制造设备等各种设备中的热交换器的原材料。其中，板式热交换器为通过压制成形对钛薄板赋予凹凸而使表面积增加从而提高热交换效率的设备，要求优异的成形性。

专利文献1中，通过在氧化气氛或者氮化气氛下进行加热，从而形成氧化膜以及氮化膜之后，施加弯曲或者拉伸，在这些覆膜中导入微细的裂纹而使金属钛暴露，之后在可溶的酸的水溶液中溶削，从而形成密度高、深度深的凹凸。根据专利文献1记载了由于润滑油的承载性高、润滑性良好、使氧化膜以及氮化膜残存或者形成于表面，从而润滑性更良好。

在专利文献2中记载了在大气退火后进行酸洗、表皮光轧，将表面粗糙度Ra、最大高度Rz、偏斜度(Rsk)设为特定的数值范围，从而可以发挥保油性并且防止由于切口效应导致的诱发裂纹，提高成形性。此外，表面的在测定负载0.098N下的维氏硬度比在测定负载4.9N下的维氏硬度高，并且，将其差设为45以下，从而防止成形时发生表面裂纹。

专利文献3中记载了如下的钛板，其中，与轧制方向平行的方向的表面算术平均粗糙度为0.25μm以上且2.5μm以下、表面的基于试验负载0.098N的维氏硬度比基于试验负载4.9N的维氏硬度高20以上并且基于试验负载4.9N的维氏硬度为180以下。在该文献中记载了使钛板的表面的粗糙度粗糙至一定程度，从而使压制成形时的向钛板与成形模具之间引入润滑剂的引入量增大，提高成形性。

专利文献4中记载了通过化学性地或者机械性地去除距表面0.2μm的部位从而排除在冷加工时热粘在表面的残留油分，以及通过在之后进行真空退火从而使载荷200gf(1.96N)下的表面硬度为170以下并且使氧化覆膜的厚度为

以上。在该文献中记载了，由此维持成形时与模具以及工具的润滑性而不损害原材料的成形性，提高成形性。

现有专利文献

专利文献

专利文献1:日本特开2005-298930号公报

专利文献2:日本特开2010-255085号公报

专利文献3:日本特开2002-003968号公报

专利文献4:日本特开2002-194591号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1中对于成形性没有记载。并且，该技术那样，为了得到特定的表面形状而在酸洗前形成氧化膜或者氮化膜时，润滑性提高，但在鼓凸成形等中成为裂纹的起点，反而存在成为使成形性降低的因素的可能性。

专利文献2中记载了，通过酸洗和表皮光轧调整表面形状，提高成形性。然而，在该技术中，为利用表皮光轧平整通过退火后的酸洗而形成的凹凸的凸部的方法，因此难以控制凹部的形状，特别是存在大的凹部时，存在成为应力集中的起点、诱发裂纹的可能性。此外，具有大气退火的工序，为了将表面与母材的硬度之差设为45以下，需要将表面单面去除约10μm以上，成品率变差。

专利文献3的技术中，仅管理表面粗糙度Ra，不能定义凹凸的大小的绝对值，由于局部存在较大的凹凸的情况的切口效应，存在导致成形性降低的可能性。

专利文献1～3均为用于提高润滑剂的保油性的技术，对于材料自身的成形性完全没有考虑。另一方面，专利文献4对于提高材料自身的成形性仅大致提及。

即，专利文献4中记载了能够通过冷加工后的表面处理可以降低表面硬度(Hv_0.2)，由此提高原材料的成形性，对于其的表面形状完全没有考虑，对于表面形状对成形性的影响也完全没有记载。此外，表面硬度测定为负载200gf(1.96N)这样比较大的负载，因此存在不能得到钛板的最表层部的信息的可能性。

本发明是为了解决这样以往技术的问题而成的，其目的在于提供如下的钛板，通过改善作为切口效应的原因的表面形状以及抑制表层脆的硬化层，从而具有良好的表面变形能力。

用于解决问题的方案

纯钛板的情况下，在其熔炼过程中混入的C以及N形成硬质化合物(TiC或者TiN)，在钛板的表层存在的上述硬质化合物在加工时成为裂纹的起点。为了防止这样的裂纹，以往对于化学组成、金相组织(粒径)等冶金要素进行研究，或者研究了润滑剂的条件、保油性等，但完全没有对于钛板自身的表面变形能力进行研究的例子。因此，本发明人等使用化学组成以及金相组织(粒径)为相同程度的供试材料，突出研究表面形状以及表面硬度对成形性的影响。

首先，作为板材的成形性的评价方法，通常使用比较简便的杯突试验。杯突试验通常将固体或者液体的润滑油作为润滑剂来进行，存在大量基于这些润滑条件来进行评价的例子。然而，以使用润滑剂为前提的试验中，由于润滑剂的性能以及保油性等的影响而使测定值大幅变化，因此不适于原材料自身的表面变形能力的评价。此外，冷轧时的润滑剂中含有碳成分，热粘而残存在钛板表面时，在表面产生硬质的TiC。

因此，本发明人等为了评价原材料自身的表面变形能力，利用将表面变形能力突显的PTFE(聚四氟乙烯)片作为润滑剂的极高润滑条件的杯突试验(以下，称为“高润滑杯突试验”)评价钛板。在此，用于高润滑杯突试验的PTFE片的摩擦系数μ约为0.04，与使用润滑油时的钛与试验工具的摩擦系数约0.4～0.5相比极小，可以无视原材料与试验机的润滑的影响。因此，可以评价原材料自身的表面变形能力。

另一方面，为了准确地得到钛板的最表层部的硬度的信息，本发明人等尝试在极低负载、具体为负载25gf(0.245N)下测定表面的维氏硬度(以下，称为“Hv_0.025”)。若为这样的低负载，则维氏压头的压入深度浅，因此可以评价钛板的最表层部的硬度。需要说明的是，利用表面硬度的结果而逆运算得到的在25gf(0.245N)下的压头深度大致为2～3μm。

图1中示出Hv_0.025与高润滑杯突试验值的关系。如图1所示，通过将Hv_0.025设为150以下，从而可以将高润滑杯突值设为14.0mm以上的良好的范围，另一方面，Hv_0.025超过150时，高润滑杯突值变低，超过200时，劣化至小于14.0mm。因此，可知大致的倾向是表面硬度越低、成形性越提高，具体地认识到将Hv_0.025设为150以下是重要的。然而，即便是在表面硬度Hv_0.025在150以下的范围内为相同程度的硬度，在高润滑杯突值上也可以看到差异，明确了除表面硬度以外的要因也产生影响。

本发明人等对于上述的其它要因反复进行深入研究，结果弄清轮廓曲线单元的平均宽度RSm(参照JIS B0601:2013。以下，也称为“凹凸平均间隔”)和轮廓曲线的最大高度Rz对原材料自身的表面变形能力产生较大影响。图2中示出凹凸平均间隔RSm以及轮廓曲线的最大高度Rz与高润滑杯突试验值的关系。发现如图2所示，表面硬度方式中无法说明的高润滑杯突试验值的变化可以通过凹凸平均间隔RSm以及轮廓曲线的最大高度Rz良好地处理，认识到将凹凸平均间隔RSm设为80μm以下，将Rz设为1.5μm以下是特别重要的。

本发明人等进一步对于用于得到上述的表面硬度以及凹凸的状态的制造方法进行深入研究。通常，钛板具备熔炼工序、热轧工序、冷轧工序以及退火工序。此外，在冷轧工序与退火工序之间通常具备脱脂工序(碱清洗工序)。并且，退火工序具备间歇式的BAF(箱式退火炉，Box Annealing Furnace)方式以及连续式的连续退火酸洗设备AP(退火及酸洗，Annealing & Pickling)以及连续光亮退火设备BA(光亮退火，Bright Annealing)方式。BAF方式在真空或者无氧化气氛中进行，BA方式在无氧化气氛中进行。由此，具备退火后的表皮可以保持与退火前(轧制表皮)同等的表面状态并且不需要脱氧化皮的特征。此外，AP方式为用在燃烧气体气氛中进行退火之后进行酸洗脱氧化皮的设备进行退火的方法，用于中间退火以及板厚较厚的制品的最终退火。与之相对，BAF方式、AP方式的退火用于极薄板的中间退火以及最终退火。进而，BA设备活用作晶体粒径控制、消除应力热处理、表面氮化处理等提高功能性的手段。

在上述的脱脂工序中，可以去除冷轧工序中的润滑剂，可以抑制退火时氧化皮的生成，但不能完全去除钛板表层的TiC等硬化层。另一方面，若在退火后进行酸洗，则不仅可以去除退火时的氧化皮，而且也可以去除富集在表层的TiC、TiN等硬化层。

本发明是基于这样的见解而得出的，以下述的钛板为主旨。

(1)一种钛板，其表面的载荷0.245N下的维氏硬度Hv_0.025为150以下，并且由JISB0601:2013规定的轮廓曲线单元的平均宽度RSm为80μm以下、最大高度Rz小于1.5μm。

(2)根据上述(1)的钛板，将距表面的深度为5μm的碳浓度设为Cs，将距表面的深度为20μm的碳浓度设为Cb时，Cs/Cb为小于2.0的范围。

发明的效果

根据本发明，可以改善作为切口效应的原因的表面形状并且抑制表层脆的硬化层，因此可以提供具有良好的表面变形能力的钛板。该钛板的成形性优异，因此，例如作为化学设备、电气设备、食品制造设备等的热交换器的原材料是特别有用的。

附图说明

图1为示出Hv_0.025与高润滑杯突试验值的关系的图。

图2为示出Hv_0.025为150以下时的凹凸平均间隔RSm与凹凸最大高度Rz的关系的图。

图3为试验No.1、3、15以及22的SEM图像。(a)示出试验No.1的SEM图像，(b)示出试验No.3的SEM图像，(c)示出试验No.15的SEM图像，(d)示出试验No.22的SEM图像。

图4为示出试验No.1以及4的元素分析结果的图。

具体实施方式

以下，对于本发明的实施方式进行说明。

1.钛板

维氏硬度Hv_0.025：150以下

如前所述，在热轧工序、退火工序等中，在钛板的表层C、N等富集，生成TiC、TiN等化合物，这些化合物为硬质，因此在加工时成为裂纹的起点。因此，为了评价钛板的成形性，重要的是知晓最表层的硬度。在以往技术(例如，专利文献4等)中，测定载荷200gf(1.96N)的较大负载下的维氏硬度(Hv_0.2)，由于还受到钛板整体的硬度影响，因此不能正确地知晓对钛板的成形性影响大的表层的硬度。因此，本发明人等关注载荷25gf(0.245N)下的维氏硬度(Hv0.025)。这是由于，若为这样的低负载，则维氏压头的压入深度浅(2～3μm左右)，可以评价仅钛板表层的硬度。

并且，该载荷25gf(0.245N)下的维氏硬度(Hv_0.025)超过150时，高润滑杯突试验值劣化。因此，维氏硬度(Hv_0.025)设为150以下。维氏硬度(Hv0.025)优选设为145以下，更优选设为140以下。其中，有时即便维氏硬度(Hv_0.025)低，高润滑杯突试验值也仅是稍稍变低。这是后述的基于表面的影响。

轮廓曲线单元的平均宽度RSm：80μm以下

维氏硬度(Hv_0.025)若设为150以下，则可以将高润滑杯突试验值设为14.0以上，但即便在相同硬度下，在高润滑杯突试验值上也存在差异。因此，为了提高钛板的成形性、即原材料自身的表面变形能力，钛板表面的形状是重要的。在以往技术中，管理Ra或者Rz，但这是由保油性的观点定的，与基于高润滑杯突试验那样不受保油性的影响的试验方法的评价没关系。另一方面，轮廓曲线单元的平均宽度RSm(参照JIS B0601:2013)意味着钛板表面的凹凸平均间隔，若该RSm值设为80μm以下，则可以将高润滑杯突试验值稳定地设为高值。RSm值优选设为75μm以下，更优选设为70μm以下。

减小RSm使凹凸的数目增加。因此，应力集中的起点增加。然而，只要各凹凸的应力集中系数不变得过大，则在应力集中部产生加工硬化，因此即便龟裂产生，也不会加剧，不至于破坏。不至于破坏的情况下，认为应力集中部多时，抑制局部的变形，加工性提高。通常而言，变形在晶粒单元中产生，但由于大量形成表面的凹凸，从而可以使应力集中起点分散，在与凹凸间隔对应的RSm为80μm以下的情况下提高加工性。其中，认为没有凹凸的情况下受到晶粒取向的影响，产生应力集中的晶粒，容易转移为局部的变形而带来破坏，因此RSm期望设为10μm以上。

轮廓曲线的最大高度Rz：小于1.5μm

通过减小RSm，从而增加应力集中起点的情况下，需要该起点的应力集中系数低。即，认为Rz大的情况下，应力集中系数变高，减小RSm的效果降低。因此，本发明的钛板的表层通过在RSm值的基础上管理为使轮廓曲线的最大高度Rz小于1.5μm，从而可以充分地发挥钛材的成形性。Rz的优选范围为1.3μm以下。其中，Rz不能小于Ra，因此从至今的制造实际成绩出发，若为0.1μm以上，则可以抑制成本上升地制造。

在此，将距表面的深度为5μm的碳浓度设为Cs(表层碳浓度)，将距表面的深度为20μm的碳浓度设为Cb(整体碳浓度)时，优选将Cs/Cb设为小于2.0的范围。这是因为如前所述在钛板的表层C富集，生成硬质的TiC时，在加工时成为裂纹的起点。

作为构成本发明的钛板的材料，可以使用纯钛。其中，即便没有硬化层的情况下，有时也需要将维氏硬度设为150以下的化学组成。最重要的元素为氧，可以以质量％计将其含量设为0.12％以下。氮以及碳过量的情况下，不能达成维氏硬度150以下，因此它们的含量均以质量％计设为0.06％以下即可。铁在其含量过量的情况下，过度地微细化，因此以质量％计设为0.15％以下即可。此外，它们为不可避免的杂质，通常均以质量％计含有0.0001％以上。

2.钛板的制造方法

如前所述，在钛板表面所形成的TiC等的硬质层的去除通过在冷轧工序后进行酸洗，或在退火后进行酸洗从而达成。然而，仅通过酸洗难以将钛板表面的凹凸状态调整到期望的范围。因此，可以在冷轧的最终道次或者最终2道次中实施利用控制为期望的表面粗糙度的工作辊的轧制。既，在前述冷轧工序中，在最终道次或者最终2道次中利用控制了表面的工作辊进行轧制，进行硝酸-氢氟酸酸洗之后，进行前述非氧化气氛退火，从而可以将钛板表面的轮廓曲线单元的平均宽度RSm设为80μm以下，将Rz设为小于1.5μm。此外，作为另外的制造方法，退火后进行酸洗，利用控制为期望的表面粗糙度的平整轧辊实施轧制，从而可以将钛板表面的轮廓曲线单元的平均宽度RSm设为80μm以下，将Rz设为小于1.5μm。在采用退火后酸洗工序去除钛板表面的TiC等硬质层的情况下，BAF退火方式时表面的C、N等向钛板的内部扩散，因此需要增多酸洗量。然而，连续式退火方式时，退火时间为短时间，因此C、N等的扩散层与BAF方式相比浅，因此用轻度的酸洗就可以去除硬质层。

在硝酸-氢氟酸酸洗工序中，为了完全去除在表面存在的TiC等，例如，可以将单面的酸洗溶削量设为2～4μm。此外，对于酸洗，例如，可以使用混合有硝酸：40～50g/l、氢氟酸：20～30g/l的硝酸-氢氟酸液，在50～60℃的酸液中使其浸渍10秒以上。

为了在钛板的表面设为期望的凹凸，在冷轧的最终道次或者最终2道次中进行利用制成与钛板表面希望设置的凹凸接近的表面状态的工作辊的冷轧是重要的。由此，可以将钛板表面的轮廓曲线单元的平均宽度RSm设为80μm以下，将Rz设为小于1.5μm。钛通常的轧制设备为可逆式的轧机。该轧机的情况下，利用同一工作辊进行多道次的冷轧，与之相伴，由于钛的凝固附着等使工作辊的表面成为凹凸大的状态。并且，保持这样继续冷轧时，转印到钛板表面，形成大的凹凸，因此难以稳定地得到期望的表面性状。因此，在冷轧工序的最终道次或者最终的2道次中，需要使用控制了表面的工作辊。作为该工作辊，制成使冷轧后钛板表面成为由JIS B0601:2013规定的轮廓曲线单元的平均宽度RSm为80μm以下且最大高度Rz小于1.5μm那样的辊表面是重要的。前述辊表面的表面形状会随着之后的酸洗工序中的酸组成、酸洗液的温度、时间等而变化，因此需要预先谋求适应酸洗条件的表面辊形状。该工作辊的表面可以简单的研磨而形成，也可以利用激光加工、切削加工、喷丸等而形成。

若在冷轧以及之后的酸洗工序中已将钛板表面的形状调整为本申请规定的范围内，则也可以不实施平整轧制工序。在冷轧时未调整钛板表面的形状的情况下，需要实施，平整轧辊的表面需要进行调整以便对通过冷轧工序、硝酸-氢氟酸酸洗工序以及退火工序而制造的钛板进行平整轧制时钛板表面成为由JIS B0601:2013规定的轮廓曲线单元的平均宽度RSm为80μm以下且最大高度Rz小于1.5μm。需要说明的是，使用控制了表面的工作辊进行平整轧制时，不需要进行最终道次或者最终2道次的工作辊表面的控制。这是因为通过平整轧制可以赋予期望的表面性状。该工作辊的表面与冷轧工序的工作辊同样地可以进行简单的研磨而形成，也可以通过激光加工、切削加工、喷丸等而形成。

此外，在冷轧工序后可以设置脱脂工序。特别是使用润滑剂进行冷轧时，为了去除该润滑剂。

在冷轧工序中，除前述的工作辊的条件以外的条件没有特别限制，可以用通常的条件来进行。例如，使用在热轧后进行脱氧化皮的厚度4.5mm的工业用纯钛板，用森吉米尔式轧机进行基于80～90％的冷加工的压下即可。

退火工序在大气中进行时，产生在退火后设置脱氧化皮工序的需求，存在使成品率恶化的可能性，因此在板厚薄的情况下在非氧化气氛下进行是较有利的。例如，优选在氩气气氛下的退火或者真空退火。需要说明的是，可以为氮气气氛，但进行长时间的热处理时，存在钛板表面容易氮化或者形成固溶有氮的硬化层的问题。作为退火条件，例如，在真空气氛下将其的真空度设为1.33×10^-3Pa(1.0×10^-5Torr)以下，板的温度达到650～700℃后保持240分钟，之后以保持真空气氛的状态进行炉冷即可。这是为了将钛板的粒径调整为鼓凸成形性优异的粒径50～100μm(粒度编号：4～6左右)的范围。此外，为了防止板的过度加热、不均匀加热，以升温速度3.0℃/分钟以下进行加热即可。以连续式进行退火的情况下，优选以退火温度为700～820℃、保持时间为10～600秒进行。

实施例

作为供试材料，使用纯钛JIS-1种，以表1所示的条件制作试验用钛板。

需要说明的是，在冷轧工序中，用砂纸#120研磨工作辊，将脱氧化皮后的厚度4.5mm的纯钛板压下至厚度0.5mm为止(压下率：约89％)。此时，“精轧辊控制”为“-”的例子中，至最终道次为止用同一工作辊进行冷轧，“有”的例子中，用RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊冷轧最终1道次。

“碱清洗”为在以氢氧化钠为主要成分的水溶液中进行清洗的工序。此外，“硝酸-氢氟酸酸洗”是如下的酸洗工序：使其浸渍于硝酸-氢氟酸(硝酸：50g/l、氢氟酸：20g/l、酸液温度：约55～60℃)，进行单面1～21μm溶削而大量形成微细的凹凸，并且去除冷轧时热粘的油分。

“退火工序”中，在“真空”的情况下，在2.5～2.7℃/分钟(升温时间，约180分钟)的范围内调整升温速度，之后，保持真空气氛的状态进行炉冷。“Ar”或者“大气”的情况，通过红外线加热而以升温速度20℃/s进行加热，保持后在Ar气气氛或者大气中冷却。

在“平整轧制工序”中，在试验No.5、6、8～13的例子中，使用RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊来实施。

对于所得到的试验用钛板，测定载荷25gf(0.245N)下的维氏硬度、基于JISB0601:2013的轮廓曲线单元的平均宽度RSm以及轮廓曲线的最大高度Rz。表面硬度用显微维氏硬度试验机载荷25gf(0.245N)下测定。表面粗糙度使用触针式表面粗糙度测定机在与轧制方向平行的方向上测定测定长度4mm。进而，将厚度：50μm、摩擦系数μ：0.04的PTFE片夹在试验体与试验机之间，在试验体与试验机不直接接触的条件下进行杯突试验，测定高润滑杯突试验值。此外，根据酸洗前后的重量变化，使用钛的密度4.5g/cm³求出基于硝酸-氢氟酸酸洗的溶削量(单面溶削量)。将这些结果与制造条件一起在表1中示出。此外，图3中示出试验No.1、3、15以及22的SEM图像。

[表1]

如图3的(a)以及(b)所示，作为本发明材的No.1以及No.3无论溶削量的大小，均形成微细的凹凸，但如图3的(c)所示，虽然使用RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊进行冷轧，但不进行酸洗的No.15中，大量存在在冷轧时产生的微小龟裂。此外，如图3的(d)所示，虽然在真空退火后进行酸洗，但在平整轧制工序中未使用RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊的No.22中，形成晶粒单元的大的凹凸。

如表1所示，作为本发明例的No.1～13均控制为表面硬度Hv为150以下，此外，表面粗糙度Rz小于1.5μm，RSm为80μm以下。对此而言，在冷轧工序和/或平整轧制工序中，使用“RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊”进行适当的轧制，确保了适当的表面粗糙度。此外，在No.1～6、11～13中，在进行真空退火(间歇式)之前进行适当的硝酸-氢氟酸酸洗，去除了源自残存油分的碳以及TiC，因此不形成硬化层。此外，No.8～10中，在退火后进行适当的硝酸-氢氟酸酸洗，因此充分去除了硬化层。需要说明的是，如No.9所示，若为退火时间短的退火(连续退火)，则在表面所形成的硬化层薄，因此即便基于硝酸-氢氟酸酸洗的溶削量少，也充分去除了硬化层。

另一方面，认为No.14～16中，不进行硝酸-氢氟酸酸洗，源自冷轧时的轧制油的碳成分在表面残存，或由于轧制时的高负载而使轧制油热粘、TiC在表面形成，在真空退火时这些碳发生内向扩散，形成硬化层。其结果，高润滑杯突值止于低的值。

在No.17～21、24、25中，在退火前或者退火后进行适当的硝酸-氢氟酸酸洗，因此充分去除了硬化层，但在冷轧工序以及平整轧制工序的任意者中，未进行使用“RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊”的轧制，因此表面粗糙度偏离本发明所规定的范围，高润滑杯突值止于低的值。

No.22、23进行了在适当的条件下的冷轧工序以及酸洗工序，但在平整轧制工序中未进行使用“RSm为80μm以下且Rz小于1.5μm的工作辊”的轧制，因此表面粗糙度偏离本发明所规定的范围。特别是，No.23虽然在真空退火(间歇式)后进行了酸洗工序，但溶削量不充分，表面硬度为高的值。其结果，在这些例子中，高润滑杯突值止于低的值。

需要说明的是，认为表面硬度高于本发明所规定的范围的例子中，表面变形能力差，在成形时在表面容易产生微小龟裂，成形性变差，因此高润滑杯突值止于低的值。此外，认为表面粗糙度偏离本发明所规定的范围的例子中，在表面存在晶粒单元的大的凹凸，容易产生裂纹。

对于试验No.1(本发明例)以及试验No.15(比较例)，使用GDS(辉光放电发光表面分析)，进行自钛板表面起的深度方向上的元素分析。在图4中示出此时的发光强度。如图4所示，可知在本发明例中，C基本不会在表层富集。并且，根据发光强度换算距表面的深度为5μm的碳浓度Cs以及距表面的深度为20μm的碳浓度Cb，求出Cs/Cb，结果试验No.1的Cs/Cb为1.4，试验No.15的Cs/Cb为4.9。如此，可知在退火前进行酸洗，从而可以防止表层的C的富集。

产业上的可利用性

根据本发明，可以改善作为切口效应的原因的表面形状以及抑制表层脆的硬化层，因此可以提供具有良好的表面变形能力的钛板。该钛板的成形性优异，因此，例如作为化学设备、电气设备、食品制造设备等的热交换器的原材料是特别有用的。

Claims

1.一种钛板，其表面的载荷0.245N下的维氏硬度Hv_0.025为150以下，并且由JIS B0601:2013规定的轮廓曲线单元的平均宽度RSm为80μm以下、Rz小于1.5μm。

2.根据权利要求1所述的钛板，其中，将距表面的深度为5μm的碳浓度设为Cs，将距表面的深度为20μm的碳浓度设为Cb时，Cs/Cb为小于2.0的范围。