CN108430916B - 氮气发生装置的电源控制装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种氮气发生装置的电源控制装置，其能够将到要进行压缩机的维护为止的时间延长。本发明的氮气发生装置的电源控制装置具备：配管，其具有氮气入口和氮气出口，该氮气入口从氮气发生装置接收氮气的输入，所述氮气发生装置利用压缩机对空气进行压缩而从该空气中分离出氮气，该氮气出口将由上述氮气入口接收了输入的氮气输出到外部；压力计，其对上述配管内部的压力进行测量；流量计，其对流经上述配管内部的氮气的流量进行测量；以及控制部，其根据上述压力计和上述流量计中的至少一者的测量结果来控制向上述压缩机的电源供给和电源供给的切断。

Description

氮气发生装置的电源控制装置
技术领域
本发明涉及氮气发生装置的电源控制装置。
背景技术
专利文献1中公开了一种氮气发生装置。该氮气发生装置利用压缩机对空气进行压缩而从该空气中分离出氮气。对于压缩机，为了满足本来的规格，需要进行定期维护。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2001-219024号公报
发明内容
发明所要解决的课题
压缩机的维护是基于压缩机的累积运转时间而进行的。因此，若在不使用氮气时使氮气发生装置保持运转，则到要进行压缩机的维护为止的时间缩短。
本发明是为了解决上述课题而完成的。本发明的目的在于提供一种氮气发生装置的电源控制装置，其能够将到要进行压缩机的维护为止的时间延长。
用于解决课题的手段
本发明的氮气发生装置的电源控制装置具备：配管，其具有氮气入口和氮气出口，该氮气入口从氮气发生装置接收氮气的输入，所述氮气发生装置利用压缩机对空气进行压缩而从该空气中分离出氮气，该氮气出口将由上述氮气入口接收了输入的氮气输出到外部；压力计，其对上述配管内部的压力进行测量；流量计，其对流经上述配管内部的氮气的流量进行测量；以及控制部，其根据上述压力计和上述流量计中的至少一者的测量结果来控制向上述压缩机的电源供给和电源供给的切断。
发明效果
根据本发明，根据压力计和流量计中的至少一者的测量结果来控制向压缩机的电源供给和电源供给的切断。因此，能够将到要进行压缩机的维护为止的时间延长。
附图说明
图1是应用了本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的系统构成图。
图2是应用了本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的氮气发生装置的构成图。
图3是本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的构成图。
图4是用于说明本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的工作概况的流程图。
图5是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统构成图。
图6是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统的氮气稳定供给监视器的构成图。
图7是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统的氮气稳定供给监视器的变形例的构成图。
具体实施方式
根据附图对用于实施本发明的方式进行说明。需要说明的是，在各图中，对于相同或相当的部分附以相同的符号。适当地简化或省略该部分的重复说明。
实施方式1.
图1是应用了本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的系统构成图。
在图1中，质谱仪1将物质离子化。质谱仪1分离出离子。质谱仪1利用检测器由分离出的离子检测出质荷比(m/z)中的离子个数(强度)。质谱仪1基于检测器的检测结果进行定性和定量分析。
质谱仪1与用于进行物质分离的色谱法组合使用。例如，质谱仪1为使用液体的LC-MS。例如，质谱仪1为使用气体的GC-MS。
作为在LC-MS中将物质(溶液)离子化的方式，使用被统称为大气压离子化法(API：atmospheric pressure ionization)的方法。例如使用电喷射离子化法(ESI：electrospray ionization)。例如使用大气压化学离子化法(APCI：atmospheric pressurechemical ionization)。
氮气发生装置2生成在质谱仪1将物质离子化时所使用的氮气。氮气为惰性的。因此，氮气可避免离子化中不必要的反应。作为氮气所要求的条件，可以举出高纯度、干燥、稳定的一定压力、稳定的一定流量。
在氮气的纯度低、或者氮气中含有湿气时，不会进行正常的离子化、分析结果出现异常。氮气的压力或流量不稳定时分析结果也同样出现异常。
电源控制装置3根据质谱仪1对氮气的使用状况来控制向氮气发生装置2的电源供给和电源供给的切断。
接下来，使用图2对氮气发生装置2进行说明。
图2是应用了本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的氮气发生装置的构成图。
如图2所示，氮气发生装置2具备压缩空气生成器4和氮气分离器5。
例如，压缩空气生成器4具备配管4a、大气入口4b、压缩机4c、储气罐4d、气体冷却器4e、以及压缩空气出口4f。
配管4a形成为筒状。大气入口4b形成在配管4a的送入侧。压缩机4c设置于比大气入口4b更靠近下游侧的配管4a的流路上。储气罐4d设置于比压缩机4c更靠近下游侧的配管4a的流路上。气体冷却器4e设置于比储气罐4d更靠近下游侧的配管4a的流路上。压缩空气出口4f形成在配管4a的送出侧。压缩空气出口4f设置于比气体冷却器4e更靠近下游侧的配管4a的送出侧。
大气入口4b接收大气的输入。压缩机4c由从大气入口4b输入的大气生成高温高压的压缩空气。储气罐4d积存由压缩机4c生成的压缩空气。气体冷却器4e将压缩空气冷却。此时，以水滴的形式生成冷凝水。压缩空气出口4f将压缩空气输出。
例如，压缩空气生成器4具备第1空气过滤器4g、第2空气过滤器4h、活性炭过滤器4i、以及微粉过滤器4j。
第1空气过滤器4g设置于储气罐4d与气体冷却器4e之间的配管4a的流路上。第2空气过滤器4h设置于气体冷却器4e和压缩空气出口4f之间的配管4a的流路上。活性炭过滤器4i设置于第2空气过滤器4h与压缩空气出口4f之间的配管4a的流路上。微粉过滤器4j设置于活性炭过滤器4i与压缩空气出口4f之间的配管4a的流路上。
第1空气过滤器4g、第2空气过滤器4h、活性炭过滤器4i和微粉过滤器4j去除压缩空气所含的水、油和异物等。
例如，压缩空气生成器4具备压力传感器4k和电源电路4l。
压力传感器4k设置于储气罐4d中。电源电路4l的输入侧与电源控制装置3(在图2中未图示)的电源的输出侧连接。电源电路4l的输出侧与压缩机4c的输入侧连接。
压力传感器4k对储气罐4d内部的压力进行检测。电源电路4l接收来自电源控制装置3(在图2中未图示)的电源的输入并生成压缩机4c的驱动电源。
也可以设置安全阀，在压缩机4c的吐出口侧的压力变得异常高时工作，放出压缩气体。也可以是，在储气罐4d的内部压力达到预先设定的上限值的情况下，压缩机4c自动停止运转。
例如，氮气分离器5具备配管5a、压缩空气入口5b、氮分离膜5c、氮气调节器5d、以及氮气出口5e。
配管5a形成为筒状。压缩空气入口5b设置于配管5a的送入侧。压缩空气入口5b设置于压缩空气生成器4的压缩空气出口4f的下游侧。氮分离膜5c设置于比压缩空气入口5b更靠近下游侧的配管5a的流路上。氮气调节器5d设置于比氮分离膜5c更靠近下游侧的配管5a的流路上。氮气出口5e设置于氮气调节器5d的下游侧的配管5a的送出侧。
压缩空气入口5b从压缩空气生成器4的压缩空气出口4f接收压缩空气的输入。氮分离膜5c从压缩空气中分离出氮气。氮气调节器5d稳定氮气的压力。氮气出口5e输出氮气。
例如，氮气分离器5具备压力计5f和流量计5g。
压力计5f设置于氮气调节器5d中。流量计5g设置于氮气调节器5d的下游侧的配管5a的流路上。
压力计5f对氮气的压力值进行测量显示。流量计5g对流经配管5a的内部的氮气的流量进行测量。
接下来，使用图3对电源控制装置3进行说明。
图3是本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的构成图。
例如，电源控制装置3具备配管6a、氮气入口6b、氮气罐6c、以及氮气出口6d。
配管6a形成为筒状。氮气入口6b设置于配管6a的送入侧。氮气入口6b设置于氮气分离器5的氮气出口5e的下游侧。氮气罐6c设置于比氮气入口6b更靠近下游侧的配管6a的流路上。氮气出口6d设置于比氮气罐6c更靠近下游侧的配管6a的送出侧。氮气出口6d与质谱仪1的送入侧连接。
氮气入口6b从氮气分离器5的氮气出口5e接收氮气的输入。氮气罐6c使配管6a内部的压力的降低延迟。氮气出口6d向质谱仪1输出氮气。
例如，电源控制装置3具备控制阀7a、减压阀7b、以及逆止阀7c。
控制阀7a设置于氮气罐6c与氮气出口6d之间的配管6a的流路上。减压阀7b设置于氮气入口6b与氮气罐6c之间的配管6a的流路上。逆止阀7c设置于减压阀7b与氮气罐6c之间的配管6a的流路上。
控制阀7a控制氮气从氮气出口6d的输出。减压阀7b在对从氮气发生装置2到氮气入口6b的流路的内部的氮气进行强制排气时使用。逆止阀7c在利用减压阀7b对从氮气发生装置2到氮气入口6b的氮气流路的内部的氮气进行强制排气时抑制从氮气罐6c到氮气出口6d之间的压力的降低。
例如，电源控制装置3具备压力计8a和流量计8b。
压力计8a连接于氮气罐6c与控制阀7a之间的配管6a。流量计8b设置于氮气罐6c与控制阀7a之间的配管6a的流路上。
压力计8a对配管6a的内部的压力进行测量。流量计8b对流经配管6a的内部的氮气的流量进行测量。
例如，电源控制装置3具备电源输入部9a、电源输出部9b、以及电源开闭器9c。
电源输入部9a接收从外部电源向电源控制装置3的电源供给。电源输出部9b可将由电源输入部9a得到的电源供给至压缩空气生成器4的电源电路4l中。电源开闭器9c在打开的情况下维持从电源输出部9b向压缩空气生成器4的电源电路4l的电源供给。电源开闭器9c在关闭的情况下切断从电源输出部9b向压缩空气生成器4的电源电路4l的电源供给。
例如，电源控制装置3具备模式开关10a、日期计时器10b、显示器10c、蜂鸣器10d、记录用存储器10e、以及CPU 10f。
模式开关10a接收来自外部的操作。日期计时器10b可掌握日期。显示器10c进行示出电源控制装置3的运转状态的显示。例如，显示器10c进行示出电源控制装置3的电源接通状态的显示。例如，显示器10c进行示出电源开闭器9c的状态的显示。蜂鸣器10d与显示器10c联动，以声音示出电源控制装置3的运转状态。记录用存储器10e为非易失性的存储器。记录用存储器10e记录电源控制装置3的运转状况的信息。CPU 10f对电源控制装置3整体进行控制。
例如，电源控制装置3具备外部信号输入部11a、外部信号输出部11b、以及外部通信部11c。
外部信号输入部11a从外部装置接收信号的输入。外部信号输出部11b向外部装置输出信号。例如，外部信号输出部11b输出与电源控制装置3的工作状况相应的信号。外部通信部11c在与外部装置通信时使用。例如，外部通信部11c在传送记录于记录用存储器10e的信息时使用。例如，外部通信部11c在由外部装置控制电源控制装置3时使用。
在质谱仪1不使用氮气的情况下，质谱仪1的流路关闭。若在压力计8a的值低于预先设定的值时接通电源，则CPU 10f使电源开闭器9c打开。在电源开闭器9c打开，则开始向压缩空气生成器4的电源电路4l供给电源。其结果，压缩机4c运转。
其后，在压缩机4c运转时，氮气积存在氮气罐6c中。其结果，压力计8a的值达到预先设定的值以上。此时，CPU 10f使电源开闭器9c关闭。在电源开闭器9c关闭时，切断向压缩空气生成器4的电源电路4l的电源供给。其结果，压缩机4c停止。
其后，CPU 10f基于压力计8a的值对电源开闭器9c进行控制。压缩机4c基于电源开闭器9c的状态而成为运转状态或停止状态。其结果，配管6a内部的压力值落在规定的范围内。
在该状态下，在质谱仪1要使用氮气时，流量计8b检测到氮气的流动。等待至氮气的压力的值上升到预先设定的值之后，向质谱仪1供给氮气，这种情况下，在流量计8b刚检测到氮气的流动之后，CPU 10f立即关闭控制阀7a。其后，在压力计8a的值达到预先设定的值时，CPU 10f打开控制阀7a。
在流量计8b检测到氮气的流动的期间，CPU 10f将电源开闭器9c维持在打开的状态。在电源开闭器9c维持在打开的状态时，向压缩空气生成器4的电源电路4l的电源供给得以维持。其结果，压缩机4c维持运转状态。
其后，在质谱仪1变化为不使用氮气时，流量计8b变化为检测不到流量。此时，在压力计8a的值为预先设定的值以上的情况下，CPU 10f使电源开闭器9c关闭。在电源开闭器9c关闭时，向压缩空气生成器4的电源电路4l的电源供给被切断。其结果，压缩机4c停止。
在压缩机4c停止时，CPU 10f通过控制减压阀7b而对从氮气发生装置2到氮气入口的配管内部的氮气进行强制排气。其结果，从氮气发生装置2到氮气入口的配管的内部压力降低。
CPU 10f将电源控制装置3的电源接通、模式开关10a的操作、电源开闭器9c的状态、压力计的检测状况、以及流量计的检测状况的信息记录在记录用存储器10e中。此时，CPU 10f将基于日期计时器10b的日期时间信息与各信息相对应地进行记录。
接下来，使用图4对电源控制装置3的工作概况进行说明。
图4是用于说明本发明的实施方式1中的氮气发生装置的电源控制装置的工作概况的流程图。
在步骤S1中，CPU 10f对压力计8a的值是否小于预先设定的值进行判定。在步骤S1中压力计8a的值为预先设定的值以上的情况下，重复步骤S1。在步骤S1中压力计8a的值小于预先设定的值的情况下，进入到步骤S2。
在步骤S2中，CPU 10f使电源开闭器9c打开。其后进入到步骤S3。在步骤S3中，CPU10f基于压力计8a的值控制电源开闭器9c。其后进入到步骤S4。在步骤S4中，CPU 10f对流量计8b是否检测到氮气的流动进行判定。
在步骤S4中流量计8b未检测到氮气的流动的情况下，返回到步骤S3。在步骤S4中流量计8b检测到氮气的流动的情况下，进入到步骤S5。在步骤S5中，CPU 10f关闭控制阀7a。其后进入到步骤S6。在步骤S6中，CPU 10f对压力计8a的值是否小于预先设定的值进行判定。
在步骤S6中压力计8a的值小于预先设定的值的情况下，重复步骤S6。在步骤S6中压力计8a的值为预先设定的值以上的情况下，进入到步骤S7。在步骤S7中，CPU 10f打开控制阀7a。其后进入到步骤S8。
在步骤S8中，CPU 10f对流量计8b是否检测到氮气的流动进行判定。在步骤S8中流量计8b检测到氮气的流动的情况下，重复步骤S8。在步骤S8中流量计8b未检测到氮气的流动的情况下，返回到步骤S3。
根据以上说明的实施方式1，根据压力计8a和流量计8b中的至少一者的测量结果来控制向压缩机4c的电源供给和电源供给的切断。具体地说，根据压力计8a和流量计8b中的至少一者的测量结果来控制向氮气发生装置2的电源供给和电源供给的切断。因此，能够节约压缩机4c的运转时间。能够将到要进行压缩机4c的维护为止的时间延长。
例如，在基于通过流量计8b测量的流量未检测到氮气的流动时，在通过压力计8a测量的压力值小于预先设定的值的情况下，维持向压缩机4c的电源供给即可。例如，在基于通过流量计8b测量的流量未检测到氮气的流动时，在通过压力计8a测量的压力值为预先设定的值以上的情况下，切断向压缩机4c的电源供给即可。这种情况下，配管6a内部的压力值可以落在规定的范围内。
例如，在基于通过流量计8b测量的流量检测到氮气的流动的情况下，维持向压缩机4c的电源供给即可。例如，在变化为基于通过流量计8b测量的流量未检测到氮气的流动的情况下，切断向压缩机4c的电源供给即可。这种情况下，能够在不使用氮气时抑制压缩机4c进行无效运转。
例如，在基于通过流量计8b测量的流量未检测到氮气的流动的情况下，打开控制阀7a即可。在从基于通过流量计8b测量的流量未检测到氮气的流动的状态变化为检测到氮气的流动的状态时，关闭控制阀7a即可。在控制阀7a关闭的状态下通过压力计8a测量的压力值达到预先设定的值时，打开控制阀7a即可。这种情况下，可以等待至氮气的压力值上升到预先设定的值之后向质谱仪1中供给氮气。
另外，在进行切断向压缩机4c的电源供给的控制之后，通过使减压阀7b工作而降低从氮气发生装置2到氮气入口6b的氮气流路的内部的压力即可。这种情况下，能够容易地重新开始压缩机4c的运转。
另外，通过逆止阀7c可抑制从氮气罐6c到氮气出口6d的压力的降低。因此，能够迅速地向质谱仪1供给氮气。
另外，记录用存储器10e记录电源控制装置3的运转状况的信息。因此，能够推断出压缩机4c的运转状况。
实施方式2.
图5是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统构成图。需要说明的是，对于与实施方式1相同或相当的部分附以相同的符号。省略该部分的说明。
实施方式2的氮气发生装置2是在实施方式1的氮气发生装置2中附加了MS用氮气稳定供给监视器12的氮气发生装置2。MS用氮气稳定供给监视器12接收外部电源的供给。
在实施方式2中，电源控制装置3基于来自MS用氮气稳定供给监视器12的停止信号切断向氮气发生装置2的电源供给。
接下来，使用图6对MS用氮气稳定供给监视器12进行说明。
图6是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统的氮气稳定供给监视器的构成图。
如图6所示，MS用氮气稳定供给监视器12具备气体稳定供给部13和控制部14。
气体稳定供给部13具备配管13a、水过滤器13b、切断阀13c、冷凝水盖13d、以及水传感器13e。
配管13a连接压缩空气生成器4的压缩空气出口4f与氮气分离器5的压缩空气入口5b。水过滤器13b设置于配管13a的流路上。切断阀13c设置于比水过滤器13b更靠近下游侧的配管13a的流路上。冷凝水盖13d与水过滤器13b连接。水传感器13e设置于水过滤器13b中。
水过滤器13b对水进行过滤。切断阀13c对配管13a内部的压缩空气的流动进行控制。冷凝水盖13d对通过水过滤器13b过滤出的水的排出进行控制。水传感器13e对通过水过滤器13b过滤出的水进行检测。
在水传感器13e的结构和检测方式中设想了各种各样的变化。在本实施方式中，将光检测器用作水传感器13e。例如，光检测器包含由光电二极管等构成的发光部15和光检测部(光电检测器)16。光检测部16接收从发光部15透过水过滤器13b的光。光学方式的水传感器13e利用与水分量相应的光的吸收程度的差异并基于光检测部16的受光强度等对水分的有无和水分量进行检测。
例如，电方式的水传感器通过测定与水分量相应的电阻值的变化或电容量的变化来检测水分的有无和水分量。在能够搭载大型传感器的情况下，也可以利用微波水分计等作为水传感器13e。在任一方式的水传感器13e中，只要能够检测水过滤器13b内部的水量是否达到预先设定的量即可。
对切断阀13c的安装位置也设想了各种变化。例如，可以在氮气流路的中途的任意位置设置切断阀13c。例如，可以在比氮气出口5e更靠近下游侧的位置设置切断阀13c。
在水过滤器13b内部的水量达到预先设定的量的情况下，控制部14关闭切断阀13c。其结果，氮气的流动被切断。此时，控制部14向电源控制装置3的信号输入部输出停止信号。
根据以上说明的实施方式2，基于来自外部的停止信号切断向压缩机4c的电源供给。具体地说，基于来自MS用氮气稳定供给监视器12的停止信号切断向压缩机4c的电源供给。因此，能够根据需要切断向压缩机4c的电源供给。
接下来，使用图7对氮气稳定供给监视器的变形例进行说明。
图7是应用了本发明的实施方式2中的氮气发生装置的电源控制装置的系统的氮气稳定供给监视器的变形例的构成图。
如图7所示，可以在比氮气分离器5更靠近下游侧的位置设置气体稳定供给部13。这种情况下，也能够根据需要切断向压缩机4c的电源供给。
工业实用性
如上所述，本发明的氮气发生装置的电源控制装置能够在切断向压缩机的电源供给的系统中加以利用。
符号说明
1 质谱仪、2 氮气发生装置、3 电源控制装置、4 压缩空气生成器、4a 配管、4b 大气入口、4c 压缩机、4d 储气罐、4e 气体冷却器、4f 压缩空气出口、4g 第1空气过滤器、4h第2空气过滤器、4i 活性炭过滤器、4j 微粉过滤器、4k 压力传感器、4l 电源电路、5 氮气分离器、5a 配管、5b 压缩空气入口、5c 氮分离膜、5d 氮气调节器、5e 氮气出口、5f 压力计、5g 流量计、6a 配管、6b 氮气入口、6c 氮气罐、6d 氮气出口、7a 控制阀、7b 减压阀、7c逆止阀、8a 压力计、8b 流量计、9a 电源输入部、9b 电源输出部、9c 电源开闭器、10a 模式开关、10b 日期计时器、10c 显示器、10d 蜂鸣器、10e 记录用存储器、10f CPU、11a 外部信号输入部、11b 外部信号输出部、11c 外部通信部、12 MS用氮气稳定供给监视器、13 气体稳定供给部、13a 配管、13b 水过滤器、13c 切断阀、13d 冷凝水盖、13e 水传感器、14 控制部、15 发光部、16 光检测部。

Claims (10)

1.一种氮气发生装置的电源控制装置，该电源控制装置具备：
配管，其具有氮气入口和氮气出口，该氮气入口从氮气发生装置接收氮气的输入，所述氮气发生装置利用压缩机对空气进行压缩而从该空气中分离出氮气，该氮气出口将由所述氮气入口接收了输入的氮气输出到外部；
控制阀，其设置在所述氮气入口与所述氮气出口之间的所述配管的流路上，
压力计，其对所述氮气入口与所述控制阀之间的所述配管内部的压力进行测量；
流量计，其对流经所述氮气入口与所述控制阀之间的所述配管内部的氮气的流量进行测量；以及
控制部，其根据所述压力计和所述流量计中的至少一者的测量结果来控制向所述压缩机的电源供给和电源供给的切断，在基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动的情况下，所述控制部打开所述控制阀。
2.如权利要求1所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，所述控制部根据所述压力计和所述流量计中的至少一者的测量结果来控制向所述氮气发生装置的电源供给和电源供给的切断，从而控制向所述压缩机的电源供给和电源供给的切断。
3.如权利要求1所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，在基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动时，在通过所述压力计测量的压力的值小于预先设定的值的情况下，所述控制部进行维持向所述压缩机的电源供给的控制；在基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动时，在通过所述压力计测量的压力的值为预先设定的值以上的情况下，所述控制部进行切断向所述压缩机的电源供给的控制。
4.如权利要求1～3中任一项所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，在基于通过所述流量计测量的流量检测到氮气的流动的情况下，所述控制部进行维持向所述压缩机的电源供给的控制；在变化为基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动的情况下，所述控制部进行切断向所述压缩机的电源供给的控制。
5.如权利要求1～3中任一项所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，
在基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动的情况下，所述控制部打开所述控制阀；在从基于通过所述流量计测量的流量未检测到氮气的流动的状态变化为检测到氮气的流动的状态时，所述控制部关闭所述控制阀；在关闭所述控制阀的状态下通过所述压力计测量的压力的值达到预先设定的值时，所述控制部打开所述控制阀。
6.如权利要求5所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，
该电源控制装置具备减压阀，其设置在比所述控制阀更靠近所述氮气入口侧的所述配管的流路上，
所述压力计对所述减压阀与所述控制阀之间的所述配管的内部的压力进行测量，
所述流量计对流经所述减压阀与所述控制阀之间的所述配管的氮气的流量进行测量，
所述控制部在进行了切断向所述压缩机的电源供给的控制后，通过使所述减压阀工作而使从所述氮气发生装置到氮气入口的氮气流路的内部的压力降低。
7.如权利要求6所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，该电源控制装置具备：
氮气罐，其设置在所述减压阀与所述控制阀之间的所述配管的流路上；以及
逆止阀，其设置在所述减压阀与所述氮气罐之间的所述配管的流路上，抑制从所述氮气罐到所述氮气出口的压力的降低。
8.如权利要求1～3中任一项所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，所述控制部基于来自外部的停止信号进行切断向所述压缩机的电源供给的控制。
9.如权利要求8所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，所述控制部基于停止信号使所述氮气发生装置停止，该停止信号来自在氮气稳定供给监视器在切断氮气的流动时所输出的停止信号。
10.如权利要求1或2所述的氮气发生装置的电源控制装置，其中，该电源控制装置具备记录该电源控制装置的运转状况的信息的记录用存储器。
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