CN108361401A - 真空阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空阀，防止密封体出其不意地移动到不期望的位置(例如，呈倾斜姿势的位置)。真空阀包括：框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；阀体，在流路上进行插拔而对流路的开口面积进行控制；密封体，当利用阀体对流路进行封闭时推动阀体；密封体驱动部，对密封体沿气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及机械挡块，包括将密封体的朝向气体下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部。机械挡块选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将密封体的朝向气体下游侧的移动禁止在限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从限制位置向气体下游侧即非限制位置移动的位置。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀。

背景技术

当在真空处理装置的真空腔室内安装涡轮分子泵等真空泵时，通常介插有真空阀。在专利文献1中揭示了这种真空阀。

专利文献1中所述的真空阀包括：阀框体，在相向的面上形成有一对开口部，中央部设置有气体流路；以及阀体，在一对开口部之间摆动而相对于开口部进行插拔。并且，真空阀在阀框体内具备包围所述一对开口部的环状的密封体。密封体抵接在被驱动至全闭的位置的阀体的周缘而将阀体按压至阀框体，由此，利用阀体将气体流路加以阻断。

专利文献1中所述的密封体是使用压缩弹簧作为将阀体按压至阀框体侧的驱动力，并使用压缩空气(压气(compressed air))作为与压缩弹簧的驱动力相向的驱动力。压气例如，因为通过由外部电源的电力驱动的压缩机(compressor)来供给等的缘故，所以停电时有时无法获得与压缩弹簧相对向的驱动力。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]美国专利第5577707号说明书。

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1中所述的真空阀中，如果正在通过压缩空气的驱动力将密封体控制在适当位置时发生停电，在阀体不处于全闭位置的情况下，密封体会被驱动到不期望的位置，例如，有可能变为相对于开口部倾斜的姿势。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选形态的真空阀包括：框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；阀体，在流路上进行插拔而对流路的开口面积进行控制；密封体，当利用阀体对流路进行封闭时推动阀体；密封体驱动部，对密封体沿气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及机械挡块(mechanicalstopper)，包括将密封体的朝向气体下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部。机械挡块是选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将密封体的朝向气体下游侧的移动禁止在限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从限制位置向气体下游侧即非限制位置移动的位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述密封体包括抵接于所述阀体的密封环、以及安装所述密封环的主体，所述密封体的所述非限制位置是能够从所述主体拆下所述密封环的位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述框体还包括：框体基部，形成有所述一对开口部；阀盖，可拆装地设置在所述框体基部；以及挡块操作机构，与所述阀盖的拆装联动，使所述机械挡块在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述挡块操作机构在所述阀盖被安装到所述框体上时利用所述阀盖进行推按而使所述机械挡块移动到所述第一位置，当从所述框体拆下所述阀盖时利用压缩空气的压力使所述机械挡块移动到所述第二位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述密封体驱动部还包括：压缩弹簧，对所述密封体朝向所述气体的下游方向进行施力；以及受压部，利用所述压缩空气的压力抵抗所述压缩弹簧的施加力而朝向所述气体的上游方向推回所述密封体；并且设置有通道，所述通道将使所述压缩空气作用于所述挡块操作机构的压气导入空间、与使所述压缩空气作用于所述受压部的压气导入空间连通。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述密封体及所述机械挡块是围绕着所述流路的环体，所述密封体包括围绕着所述流路的圆筒部以及在所述圆筒部的一端侧沿外周方向延伸的环状的凸缘部，所述凸缘部构成所述受压部，所述机械挡块的所述限制突部设置在所述挡块操作机构的相反侧，并且与所述受压部相抵接而将所述密封体限制在所述限制位置。

本发明所述的真空阀，其特征在于：所述机械挡块设置成在与所述流路正交的面内进行移动。

[发明的效果]

根据本发明，可以防止在正在进行真空腔室的压力控制过程中的阀体不处于全闭位置时或阀体为全开时密封体移动到不期望的位置。例如，可以防止变为相对于开口部而倾斜的姿势。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的真空阀的立体图。

图2是真空阀的俯视图。

图3(a)是说明密封体7处于“流路开放位置”的真空阀的内部构造的图，是图2的A-A线剖视图，图3(b)是主要部位详细图。

图4是说明密封体7处于“流路全闭位置”的真空阀的内部构造的图，是图2的A-A线剖视图。

图5是机械挡块的立体图。

图6(a)及图6(b)是表示常规使用时的机械挡块的位置的图。

图7是说明密封体7处于“紧急位置”的真空阀的内部构造的图，是图2的A-A线剖视图。

图8(a)及图8(b)是表示密封环更换时(维护时)的机械挡块的位置的图。

图9是说明密封体7处于“维护位置”的真空阀的内部构造的图，是图2的A-A线剖视图。

图10是比较例的真空阀的与图3(a)及图3(b)相对应的剖视图，密封体7处于“流路开放位置”。

图11是比较例的真空阀的与图7相对应的剖视图，密封体7处于“紧急位置”。

图12(a)及图12(b)是表示设置机械挡块的限制突部的位置的相关变形例的图。

图13(a)及图13(b)是表示机械挡块的驱动方法的相关变形例的图。

【主要元件符号说明】

1、100：真空阀 2：框体

3：上法兰 3a：法兰部

3b：筒部 3c：弹簧收容部

4：框体基部 5：密封体收容部/收容部

6：下法兰 7：密封体

7a：阀体收容部 8、8a、8b、8c：阀体

9：联结器 10：驱动部

11：阀盖 11S、C1S：端面

25、31、42：开口部 41：带阶差的开口

41b：上法兰载置面 41F：第一段部

41Fa：底面 41Fb：内周面

41S：第二段部 41Sa：座面

50：压缩弹簧/弹簧/驱动部 55C、55S：压气导入空间/空间

55D：空间/压气导入空间/通道 56R：环状突起

56Ra：外周面 56Rb：上端面

60：压缩弹簧

70X：密封体驱动部/压气驱动部/驱动部

71a：受压部 71b：突部

72a、C1D、DE1、DE5：凹部 710：主体/活塞部

710a：筒部/圆筒部/活塞基部 710b：凸缘部

710s：面 720、SR、SR5：密封环

721、722、723：密封材料 B1：限制突部

C1：操作部 C1A：小径部

C1B：大径部 C1P：受压面

GP：流路/气体流路 M1：机械挡块

MD：操作机构 R1：驱动构件

YA1：箭头 θ：阀体的θ开度

具体实施方式

-实施方式-

参照图1～图9对本发明的一个实施方式的真空阀进行说明。图1是表示真空阀的外观的立体图，图2是真空阀的俯视图，是说明阀体的摆动的图，图3(a)及图3(b)以及图4是图2的A-A线剖视图，图5是机械挡块的立体图。

＜真空阀1的概要＞

真空阀1是介于未图示的真空腔室与真空泵之间而设置。在真空阀1内形成气体流路GP，穿过所述气体流路GP的气体的流量是通过利用驱动部10将阀体8从全闭角度位置控制到全开角度位置的任意的角度位置来调节。

驱动部10包括对阀体8沿后述θ方向进行摆动驱动的马达(未图示)、以及对马达进行驱动控制的控制部(未图示)。

阀体8通过驱动部10的马达而受到摆动驱动使得θ开度发生变化。根据阀体8的θ开度，对从真空腔室向真空泵流动的气体的流量进行调节。

＜阀体8的角度位置＞

图2是从箭头YA1观察的图1所示的真空阀1的向视图。图2所示的θ表示阀体8的θ开度。

以虚线表示的阀体8a呈现处于使气体流路GP全开的角度位置(θ＝θmax)的状态。用虚线表示的阀体8b呈现处于使气体流路GP全闭的角度位置(θ＝0)的状态。如利用图4所后述，处于全闭角度位置的阀体8b通过经弹簧50施力的密封体7而被向后述座面41Sa按压。如利用图9所后述，当阀体8a处于全开角度位置时，通过压缩空气来解除弹簧50对密封体7的施加力。

图2所示的阀体8c呈现处于全闭时与全开时之间的θ开度的状态。在阀体8c的一部分露出于气体流路GP的状态下密封体7(参照图3(a)及图3(b))按压阀体8c时，密封体7会产生倾斜，从而有可能其后无法顺畅地进行驱动(参照图11)。所述实施方式的真空阀1包括后述机械挡块M1，以使密封体7不过度按压。

＜真空阀1＞

图3(a)及图3(b)是图2的A-A剖视图，是真空阀1的流路方向上的剖视图。阀体8表示全闭(θ＝0)时的阀体。

真空阀1包括框体2、在框体2内受到滑动驱动的滑板(slide plate)即阀体8、以及阀体8的驱动部10。框体2包括框体基部4、利用螺栓安装在框体基部4上的上法兰(flange)3、以及利用螺栓安装在框体基部4上的阀盖(bonnet)11。框体基部4整体上形成为图1所示的外形形状，在一端可拆装地设置有阀盖11。在框体基部4的下表面，形成有下法兰6(参照图3(a)及图3(b))，在框体基部4的周面上安装有联结器(coupler)9(参照图1)。

真空阀1通过上法兰3，与未图示的真空处理装置的真空腔室连接。在下法兰6上固定有未图示的真空泵。这样一来，真空阀1介于真空腔室与真空泵之间。

还参照图3(b)进行说明。在框体基部4的中央部设置有带阶差的开口41。带阶差的开口41包括形成于真空腔室侧的第一段部41F、以及与第一段部41F连设而形成的第二段部41S。与所述第二段部41S相连，在带阶差的开口41的真空泵连接侧形成有开口部42。在框体基部4的真空腔室侧的上表面，即在第一段部41F的外周形成有上法兰载置面41b。在框体基部4的真空泵侧下表面，在开口部42的外周形成有下法兰6。

在框体基部4的上法兰载置面41b上载置有上法兰3，上法兰3与框体基部4形成为一体。上法兰3包括法兰部3a、以及与法兰部3a连设的筒部3b。筒部3b的内侧成为构成气体流路GP的开口部31。在法兰部3a，凹设有弹簧收容部3c，在弹簧收容部3c，设置有对后述密封体7进行驱动的压缩弹簧50。

在第一段部41F的底面41Fa，沿其内缘立设有环状突起56R。上法兰3的筒部3b越过底面41Fa而沿真空泵方向，即沿气体下游方向延伸设置。

形成于上法兰3的内周的开口部31、形成于框体基部4的内周的开口部42均是俯视时为同轴的圆形形状，这些开口部31与开口部42形成将真空腔室与真空泵加以连接的气体流路GP。因此，真空腔室的气体经过开口部31进入到真空阀1内，并经过开口部42向真空阀的外部，即，向真空泵排出。

在第二段部41S的底面上形成有阀体座面41Sa。在所述座面41Sa与上法兰3的筒部3b的下端之间，设置有在轴方向上具有规定长度的阀体收容部7a。在所述阀体收容部7a上可转动地配设有阀体8。气体流路GP通过阀体8而开关，并且，气体流路GP的开口面积根据阀体8的开度来调节，并通过开口面积来控制真空腔室内的压力。

在上法兰3的筒部3b的外周面与框体基部4的带阶差的开口41的内周面41Fb之间，划分出形成为带阶差的环状的密封体收容部5(图3(b))，在所述收容部5收容有环状的密封体7。

阀体8是通过阀盖11内的驱动部10，而在使气体流路GP全开的全开角度位置与使气体流路GP全闭的全闭角度位置之间摆动。处于全闭角度位置的阀体8通过经弹簧50朝向气体下游方向施力的密封体7而被向座面41Sa按压，从而使气体流路GP封闭。将阀体8向座面41Sa按压的高度位置称为封闭位置。将所述状态示于图4。

如图3(a)所示，当利用压缩空气解除弹簧50的施加力时阀体8从座面41Sa向气流上游方向移动。将此状态示于图3(a)及图3(b)。即，当使气体流路GP全开时，以及阀体8对流路面积进行调整时，阀体8处于比封闭位置更上方的位置。在对密封体7进行维护时，阀体8被退避到使流路全开的全开角度位置，密封体7由弹簧50按压至最下方的位置为止。密封体7的详情将在后文描述。

阀盖11可以通过拆下与框体基部4紧固的螺栓，而从框体2拆下。通过将阀盖11如上所述设为可拆装而使框体2可分割，从而可以在将真空阀1已安装到真空腔室及真空泵上的状态下，更换阀体8或后述密封环等。

＜密封体7＞

环状的密封体7收容在所述密封体收容部5内。即，密封体7相对于阀体8，配置在真空排气上游侧(图示上侧)。

密封体7包括活塞部710及密封环720。活塞部710及密封环720通过突部71b与凹部72a而可相互拆装地卡合着，所以两者可以作为密封体7而一体地移动。在活塞部710的外周及密封环720的外周分别设置有对活塞部710的外周与框体基部4的内面之间以及密封环720的外周与框体基部4的内面之间进行密封的O形环。

活塞部710包括筒状的活塞基部710a、以及形成于活塞基部710a的真空腔室侧的凸缘部710b。在凸缘部710b的外周面上，设置有对凸缘部710b的外周面与框体基部4的内面之间进行密封的O形环。

活塞部710的凸缘部710b的气体下游侧的面作为受压部71a而发挥作用。即，活塞基部710a的外周面及凸缘部710b的下表面均与第一段部41F相向，从而形成由这些部分围成的封闭空间55S。对密封体7与框体基部4之间的空间55S(以下，称为“压气导入空间55S”)，经过联结器9送入压缩空气(压气)。未图示的压气控制阀对压气的供给及阻断进行控制。在所述实施方式中，压气控制阀构成为停电时阻断压气的供给。

活塞部710通过受压部71a来接收经过联结器9而送入的压气，由此受到图示向上的力。并且，活塞部710通过压缩弹簧50，而受到图示向下的力。通过这些力，密封体7可以沿图示上下方向，即沿气体的下游方向及上游方向移动。在本实施方式中，停电时压气控制阀会阻断压气的供给，所以当发生停电时，借由压缩弹簧50的图示向下的力，密封体7会朝图示下方移动。

如上所述，实施方式的真空阀1的密封体7是通过压缩弹簧50朝向气体下游方向被驱动。上游方向上的力是通过压气驱动部70X来实现，所述压气驱动部70X是通过导入到压气导入空间55S的压气作用于受压部71a的力而沿气体上游方向对密封体7进行驱动。

在压气导入空间55S内，配设有机械挡块M1。图5是机械挡块M1的立体图。机械挡块M1包括环形的驱动构件R1。在驱动构件R1上，突设有禁止密封体7朝向维护位置移动的限制突部B1。在驱动构件R1上，在限制突部B1的相反侧连接着杆状的操作部C1。操作部C1包括固定在驱动构件R1上的小径部C1A、以及设置在小径部C1A的前端的大径部C1B。机械挡块M1载置在第一段部41F的底面41Fa上，可以在第一段部41F的内周面41Fb与从底面41Fa立设的环状突起56R的外周面56Ra之间移动。

在凸缘部710b的受压部71a，形成有凹部DE1。其是如后所述，用于维护时使密封体7不会被机械挡块M1限制位置的构件。

在这里，对密封体7可采取的位置进行说明。密封体7可以处于“流路开放位置”、“流路阻断位置”、“维护位置”、“限制位置”。“流路开放位置”是密封体7与阀体8不发生干扰的位置，即阀体8可以摆动的位置，示于图3(a)及图3(b)。“流路阻断位置”是密封体7与阀体8相抵接的位置，示于图4。“维护位置”是用于对密封环720进行拆装的位置，示于图9。“限制位置”是因为突然停电等而失去驱动力的密封体7被机械挡块M1限制的位置，示于图7。

再者，将密封体7处于“流路开放位置”或“流路阻断位置”而使用真空阀1的时候称为“常规使用时”，将密封体7处于维护位置真空阀1接受维护的时候称为“维护时”，将密封体7处于紧急位置的时候称为“紧急时”。

图3(a)及图3(b)表示处于“流路开放位置”的密封体7。还参照图2进行说明，在“流路开放位置”，阀体8被调节至全闭(θ＝0)与全开(θ＝max)之间的任意位置8c(θ＝θ)。图3(a)及图3(b)的“流路开放位置”是通过将导入到压气导入空间55S的压气调节成规定压力，并通过所述空气压力而获得抵抗压缩弹簧50的压缩力的力来实现。

图4表示处于“流路阻断位置”的密封体7。并且，阀体8设为全闭(θ＝0)。这时，阀体8通过密封体7而被向第二段部41S的座面41Sa按压。由此，变为闭阀状态，使在真空阀1内通过的气体的流动阻断。与图3(a)及图3(b)的主要不同点在于密封体7的位置不同。

再者，图4的密封体7位于比图3(a)及图3(b)的密封体7更靠图示下方的位置，密封体7的活塞部710的受压部71a与机械挡块M1不接触，而相隔规定的距离，例如0.5mm～1.0mm。

图6(a)是说明常规使用时及紧急时的机械挡块M1的动作的图。图6(b)是图6(a)的操作部C1周边的放大图。使用图6(a)及图6(b)，说明常规使用时及紧急时的机械挡块M1的动作及功能。

如上所述，如图6(b)所示，操作部C1包括固定在驱动构件R1上的小径部C1A、以及设置在小径部C1A的前端的大径部C1B。在框体基部4，形成有收容操作部C1的大径部C1B的空间55C、以及将空间55C与压气导入空间55S相连通的空间55D。空间55C的内周面与大径部C1B之间由O形环密封。

当密封体7被控制成处于图3(a)所示的“流路开放位置”时，向压气导入空间55S导入被调节成规定压力的压气。所述压气还被从空间55D导入到空间55C，从而压气作用于大径部C1B的受压面C1P。因此，操作部C1通过压气而受到图示右侧的力。但是，常规使用时在框体基部4安装有阀盖11，所以操作部C1无法向图示右侧移动。

即，常规使用时，如图6(a)所示，阀盖11固定在框体基部4。阀盖11通过框体基部4的螺栓等紧固构件而牢固地固定，所以大径部C1B的受压面C1P从压气受到的向右方向的力由阀盖11的端面11S保持，因此，如图6(a)所示，设置有限制突部B1之侧(图示左侧)的驱动构件R1的外周面与第一段部41F的内周面41Fb相抵接，设置有操作部C1之侧(图示右侧)的驱动构件R1的内周面与环状突起56R相抵接。即，机械挡块M1被控制成处于按入到压气导入空间55S的图示左端的限制位置，即第一位置。

图7表示因为突然停电等而阻断压缩空气的供给使得密封体7借由弹簧50而向图示下方移动，从而处于限制位置时(紧急时)的样子。在图7中，阀体8的一部分区域突出于气体流路GP。所述阀体8的位置是用图2的符号8c表示的位置。

在图7中，阀体8是处于图2的符号8c的位置，所以阀体8在图示右方的部分(以下称为右方部)，在密封环720处，夹于密封环720与座面41Sa之间。另一方面，在密封环720的图示左方的部分(以下称为左方部)的下方不存在阀体8。因此，密封环720的左方部将要移动到比右方部更靠图示下侧的位置。在图7中，密封体7的受压部71a通过面710s而抵接于机械挡块M1的限制突部B1。因此，所述密封环720的左方部的移动受到限制。由此，可以防止因为密封体7倾斜而引起的运行不良。

实施方式的真空阀1包括与阀盖11的拆装联动而使机械挡块M1在第一位置与第二位置之间移动的操作机构MD。操作机构MD包括包含形成有受压面C1P的大径部C1B的操作部C1、以及通过压缩空气而使空气压力作用于操作部C1的压气导入空间55C、压气导入空间55D等。

利用图8(a)及图8(b)、图9，对维护时的各构成的位置进行说明。

图8(a)是说明维护时的机械挡块M1的动作的图。图8(b)是图8(a)的操作部C1周边的放大图。利用图8(a)及图8(b)，对维护时的机械挡块M1的配设部位进行说明。

如图8(a)所示，在维护时，为了更换阀体8或密封环720等，拆下阀盖11。由此，操作部C1的端面C1S不再从阀盖11的端面11S接受力。如上所述，操作部C1借由作用于大径部C1B的受压面C1P的压气而受到朝图示右方向的力。因此，当拆下阀盖11时，机械挡块M1朝向图示右方向移动。所述移动方向是与真空阀1的流路正交的方向。操作部C1侧(图示右侧)的驱动构件R1的外周面抵接于第一段部41F的内周面41Fb。限制突部B1侧(图示左侧)的驱动构件R1的内周面与环状突起56R的外周面56Ra相抵接。由此，机械挡块M1的朝图示右方向的移动停止。通过所述移动，将机械挡块M1配设在压气导入空间55S的图示右端。通过移动到所述位置，机械挡块M1的限制突部B1与密封体7的活塞部710的凹部DE1相向。凹部DE1设计成可以收纳限制突部B1。

图9是维护时的图2的A-A剖视图。阀体8由于已被拆下，所以没有图示。此外，与图3(a)及图3(b)的主要不同点在于，密封体7与机械挡块M1的位置不同。

如图9所示，维护时的机械挡块M1从图3(a)及图3(b)所示的位置朝向图示右方向移动，从而位于压气导入空间55S的图示右端。由此，机械挡块M1的限制突部B1与密封体7的活塞部710的凹部DE1相向。

当因为停电而使压缩空气阻断时，密封体7借由压缩弹簧50的施加力而向气体下游方向移动。如图7所示，当机械挡块M1处于第一位置时，受压部71a抵接于限制突部B1，密封体7被禁止朝向比“限制位置”更靠气体下游方向移动。维护时，机械挡块M1处于图9所示的第二位置。在第二位置上，限制突部B1与凹部DE1相向。当朝向压气导入空间55S的压气的供给被阻断时，借由压缩弹簧50的下方施加力，限制突部B1进入到凹部DE1，从而密封体7移动到图9的维护位置。

凹部DE1用于维护时使密封体7不与机械挡块M1产生干扰。

由于以上所述，当机械挡块M1处于压气导入空间55S的图示右端时，密封体7可以朝向图示下方向移动到“维护位置”为止。

再者，设计成当密封体7抵达至“维护位置”时，密封体7的活塞部710的受压部71a与框体基部4的环状突起56R的上端面56Rb相抵接。即，在所述实施方式中，密封体7的“维护位置”如图9所示，由环状突起56R的高度来规定。

再者，也可以使密封体7的凹部DE1的底面与机械挡块M1的限制突部B1相接触来定义“维护位置”。

使机械挡块M1从压气导入空间55S的图示右端(图8(a)及图8(b))，移动到压气导入空间55S的图示左端(图6(a)及图6(b))的顺序如下。将密封体7控制在常规使用时的位置。即，将压缩空气导入到空间55S，抵抗压缩弹簧50的施加力而将密封体7控制在常规使用位置。当将阀盖11安装到框体基部4上时，阀盖11的端面11S推按操作部C1的端面C1S，抵抗压气的力而使机械挡块M1移动到图6(a)及图6(b)的位置为止。

如上所述，可以与阀盖11的拆装联动而使机械挡块M1移动到限制位置即第一位置及非限制位置即第二位置。在维护时以外，由于安装有阀盖11，所以在维护时以外，可以预先使机械挡块M1确实地处于限制位置，密封体7在“限制位置”对其高度位置受到限制。

当密封体7移动到“维护位置”为止时，密封环720的密封材料721、密封材料722、密封材料723不再与收容部5的壁面相接触。由此，可以进行密封环720的拆装。密封环720的更换是经由框体2的开口部25来进行。在密封环720的外周面上设置有一个未图示的手柄部，用户可以从开口部25对所述手柄部进行操作而拆下密封环720。具体进行说明。通过握持密封环720的手柄部，以环状的密封体7的轴为中心进行转动，来解除密封环720的凹部72a与活塞部710的突部71b的卡合。由此可以从密封体7拆下密封环720并加以更换。

以上所述的实施方式的真空阀1包括：框体2，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；阀体8，在流路GP上进行插拔而对流路的开口面积进行控制；密封体7，当利用阀体8对流路GP进行封闭时推动阀体8；驱动部(50、70X)，对密封体7沿气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及机械挡块M1，包括将密封体7的朝向气体下游方向的移动禁止在“限制位置”的限制突部B1。机械挡块M1是在图6(a)所示的第一位置与图8(a)所示的第二位置之间被操作，所述第一位置是将密封体7的朝向气体下游侧的移动禁止在“限制位置”的位置，第二位置是允许密封体7从“限制位置”移动到作为气体下游侧的非限制位置，即“维护位置”的位置。

如上所述的实施方式的真空阀1获得如下所述的作用效果。

(1)本实施方式的真空阀1包括包含对密封体7的移动进行限制的限制突部B1的机械挡块M1。如图7所示，限制突部B1在常规使用时对密封体7的移动进行限制，从而禁止密封环720向“维护位置”移动。即，通过限制突部B1，将密封体7的朝向气体下游方向的移动限制在“限制位置”。

因此，即使因为突然停电等，而使得密封体7对未处于全闭位置的阀体8进行按压，也可以防止密封体7倾斜。其结果为，可以防止密封体7的卡挂，因而可以防止密封体7的运行不良。并且，可以防止密封体7与框体2之间的密封材料的密封性变差。

(2)实施方式的真空阀1的密封体7包含抵接于阀体8的密封环720、以及安装密封环720的主体710。图9所示的密封体7的“维护位置”，即非限制位置是从主体710拆下密封环720的位置。机械挡块M1在常规使用时，处于使限制突部B1靠近压气导入空间55S的内周面41Fb的位置(图6(a)及图6(b))，在维护时，处于使限制突部B1靠近压气导入空间55S内的环状突起56R的外周面56Ra的位置(图8(a)及图8(b))。

如上所述，在实施方式的真空泵1中，机械挡块M1可以在常规使用时及维护时操作至第一位置及第二位置。其结果为，即使采用将密封体7如图7所示限制在“限制位置”的构造，在维护时密封体7也可以移动到比“限制位置”进而更靠气体下游的“维护位置”即非限制位置。“维护位置”的密封体7可以从主体710拆下并且安装密封环720。

(3)实施方式的真空阀1的框体2还包括：框体基部4，形成有一对开口部；阀盖11，可拆装地设置在框体基部4；以及操作机构MD，与阀盖11的拆装联动，使机械挡块M1在第一位置与第二位置之间移动。如上所述，在实施方式的真空阀1中，机械挡块M1在第一位置与第二位置之间的移动是与对阀盖11相对于框体基部4进行拆装的操作联动。

由此，可以防止忘记将机械挡块M1配置在所述常规使用时的位置。

(4)实施方式的真空阀的操作机构MD在将阀盖11安装到框体2上时，通过阀盖11来推动，将机械挡块M1移动到常规使用时的第一位置(图6(a)及图6(b))，在从框体2拆下阀盖11时通过压缩空气的压力来使机械挡块M1移动到第二位置(图8(a)及图8(b))。即，操作机构MD通过阀盖11的拆装而机械地推动机械挡块M1，所以与电气控制式或手动运行式相比构造更简单。

(5)实施方式的密封体7的驱动部70X包括借由压缩空气的压力抵抗压缩弹簧50的施加力而朝向气体的上游方向推回密封体7的受压部71a。而且，设置有通道55D，所述通道55D是将使压缩空气作用于操作机构MD的大径部C1B的压气导入空间55S与使压缩空气作用于受压部71a的压气导入空间55C加以连通。

即，密封体7通过压气而受到驱动，机械挡块M1配置在压气导入空间55S内经由操作部C1通过压气而受到驱动，从常规使用时的位置向维护时的位置移动。

由此，可以利用压气，容易地使机械挡块M1向维护时的位置移动。

(6)在实施方式的真空阀中，密封体7及机械挡块M1是围绕着流路GP的环体。密封体7包括围绕着流路GP的圆筒部710a以及在圆筒部710a的一端侧沿外周方向延伸的环状的凸缘部710b，凸缘部710b构成受压部71a。机械挡块M1的限制突部B1设置在操作机构的相反侧，并且与受压部71a相抵接而将密封体7限制在“限制位置”。即，限制突部B1及操作部C1相对于驱动构件R1，设置在彼此相向的位置。

当在密封体7的周方向上，与阀体8不同样地抵接时，密封体7会产生倾斜，但借由所述倾斜，会在密封体7的周方向上形成容易沉陷的位置。

通过所述构成，在所述密封体7的容易沉陷的位置上设置有限制突部B1，因此可以防止密封体7的倾斜。

(7)机械挡块M1包括设置有操作部C1的驱动构件R1。

由此，可以从限制突部B1从与开口部31、开口部42相向的位置进行远程操作。

限制突部B1本来只要从限制突部B1的附近的图6(a)或图8(a)的图示左侧(以下，称作“限制突部附近部位”)进行操作即可，然而如果存在配设有其它装置等之类的情况，则有时难以从限制突部附近部位进行操作。但是，在本实施方式的真空阀1中，可以从阀盖11侧进行远程操作，所以即使是所述情况等，也容易对机械挡块M1的位置进行操作。

(8)实施方式的机械挡块M1是设为在与流路GP正交的面内进行移动。机械挡块M1的操作部C1的形状为杆状的形状，机械挡块M1是与操作部C1的轴向平行地移动。利用设置在操作部C1的大径部C1B的周面上的O形环对操作部C1的大径部C1B的周面与框体基部4之间进行密闭。

由此，即使机械挡块M1发生移动，也可以使设置在操作部C1的大径部C1B的周面上的O形环的密封性不会变差。

利用图10、图11，说明比较例的真空阀100，并与本实施方式的真空阀1进行对比。关于与本实施方式的真空阀1相同的构成省略说明。

图10是比较例的真空阀100的剖视图，表示阀体8为全闭的时候。比较例的真空阀100与本实施方式的真空阀1不同，不含机械挡块。

图11表示在比较例的真空阀100中，当阀体8处于图2所示的阀体8c的位置时，因为突然停电等而使密封体7的图示向上方向的驱动力消失时(紧急时)的图。如图11所示，密封体7的右方部支撑于阀体8上，而密封体7的左方部没有支撑于阀体8上。比较例的真空阀100不含机械挡块，所以不具备可以支撑没有支撑于阀体8上的密封体7的左方部的构成。因此，密封体7以密封体7的左方部向图示下侧沉陷的方式倾斜。由此，密封体7与收容部5的壁面产生卡挂，有可能造成运行不良。并且，密封环720的左方部移动到维护位置为止，密封材料721、密封材料722不与收容部5的壁面相抵接，从而密封材料721、密封材料722的密封性变差。

另一方面，本实施方式的真空阀1包括机械挡块M1。因此，机械挡块M1的限制突部B1对没有支撑于阀体8上的密封体7的左方部进行支撑，并对密封体7的左方部的朝图示下侧的移动进行限制(参照图7)。

由此，可以防止密封体7的倾斜。其结果为，可以使由密封体7的倾斜所引起的所述各种问题也不会产生。

如下的变形也属于本发明的范围内。

-变形例1A-

图12(a)是表示变形例1A的图。变形例1A是限制突部B1的数量及位置的变形例。在变形例1A中，设置有两个限制突部B1。设置限制突部B1的位置是与操作部C1大致相向的位置。配合所述限制突部B1的数量及位置的变更，在维护时收容限制突部B1的凹部DE1的数量及位置也发生变更。以如本变形例的方式设置，也获得与以上的实施方式同样的效果。

-变形例1B-

图12(b)是表示变形例1B的图。变形例1B与变形例1A同样地，是限制突部B1的数量及位置的变形例。在变形例1B中，设置有八个限制突部B1。此外，将所述限制突部B1沿周方向等间隔地配置。配合限制突部B1的数量及位置的变更，在维护时收容限制突部B1的凹部DE1的数量及位置也发生变更。以如变形例1B的方式设置，由于限制突部B1存在与操作部C1大致相向者，所以也获得与以上的实施方式同样的效果。

-变形例2A-

图13(a)表示变形例2A的图。变形例2A是关于操作部C1的驱动的变形例。在变形例2A中，在空间55C内以包围小径部C1A的方式设置有压缩弹簧60。通过在所述实施方式中追加压缩弹簧60，与利用压缩空气来驱动机械挡块M1的情况相比，操作部C1，即机械挡块M1的朝向图示右侧的驱动力增加。其结果为，可以使机械挡块M1从常规使用时的位置向维护时的位置移动的速度加快。

-变形例2B-

设为利用密封体驱动用的压缩空气来驱动机械挡块M1，但是也可以设为只利用压缩弹簧60的弹簧力来驱动机械挡块M1。图13(b)是表示变形例2B的图。去除操作部C1的大径部C1B的凹部C1D及密封环SR，取而代之在空间55D的壁面上设置凹部DE5而在凹部DE5上配置密封环SR5。虽然变为只利用压缩弹簧60进行驱动，但是由于固定有密封环SR5，因而可以提高操作部C1上的密封性。

-变形例3-

在以上的实施方式中，是设为利用压气进行密封体7的向上方向的驱动，利用压缩弹簧50进行密封体7的向下方向的驱动(参照图3(a)及图3(b))。但是，本发明并不限定于此。

例如，如以下所示的真空阀A～真空阀E，

设为如下方式，也可能产生所述比较例的真空阀100所具有的问题：

A.利用电磁铁进行密封体的向上方向的驱动，利用压缩弹簧进行密封体的向下方向的驱动；

B.利用电磁铁进行密封体的向上方向的驱动，利用永久磁铁进行密封体的向下方向的驱动；

C.利用压气(停电时阻断压气的类型)进行密封体的向上方向的驱动，利用压气(停电时也供给压气的类型)进行密封体的向下方向的驱动；

D.利用压气(停电时阻断压气的类型)进行密封体的向上方向的驱动，利用永久磁铁进行密封体的向下方向的驱动；

E.利用压气(停电时阻断压气或排出压气的类型，中心关闭(centerclose))进行密封体的向上方向的驱动，利用压气(停电时也供给压气的类型)进行密封体的向下方向的驱动。

在所述真空阀A～真空阀E等之中通过应用本发明，也可以解决所述问题。

以上，已对各种实施方式及变形例进行了说明，但是本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术思想的范围内所想到的其它实施形态也包含在本发明的范围内。

Claims (7)

1.一种真空阀，其特征在于包括：

框体，形成有穿过相向的一对开口部的气体的流路；

阀体，在所述流路上进行插拔而对所述流路的开口面积进行控制；

密封体，当利用所述阀体对所述流路进行封闭时推动所述阀体；

密封体驱动部，对所述密封体沿所述气体的上游方向及下游方向进行驱动；以及

机械挡块，包括将所述密封体的朝向所述气体的下游方向的移动禁止在限制位置的限制突部；并且

所述机械挡块选择性地可移动地配置在第一位置与第二位置中的一者上，所述第一位置是将所述密封体的朝向所述气体的下游方向的移动禁止在所述限制位置的位置，所述第二位置是允许密封体从所述限制位置向所述气体的下游方向即非限制位置移动。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体包括抵接于所述阀体的密封环、以及安装所述密封环的主体，

所述密封体的所述非限制位置是能够从所述主体拆下所述密封环的位置。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于：

所述框体还包括：框体基部，形成有所述一对开口部；阀盖，可拆装地设置在所述框体基部；以及

挡块操作机构，与所述阀盖的拆装联动，使所述机械挡块在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于：

所述挡块操作机构在所述阀盖被安装到所述框体上时利用所述阀盖进行推按而使所述机械挡块移动到所述第一位置，当从所述框体拆下所述阀盖时利用压缩空气的压力使所述机械挡块移动到所述第二位置。

5.根据权利要求4所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体驱动部还包括：压缩弹簧，对所述密封体朝向所述气体的下游方向进行施力；以及受压部，利用所述压缩空气的压力抵抗所述压缩弹簧的施加力而朝向所述气体的上游方向推回所述密封体；并且

设置有通道，所述通道将使所述压缩空气作用于所述挡块操作机构的压气导入空间、与使所述压缩空气作用于所述受压部的压气导入空间连通。

6.根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于：

所述密封体及所述机械挡块是围绕着所述流路的环体，

所述密封体包括围绕着所述流路的圆筒部以及在所述圆筒部的一端侧沿外周方向延伸的环状的凸缘部，所述凸缘部构成所述受压部，

所述机械挡块的所述限制突部设置在所述挡块操作机构的相反侧，并且与所述受压部相抵接而将所述密封体限制在所述限制位置。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的真空阀，其特征在于：

所述机械挡块设置成在与所述流路正交的面内进行移动。