CN108059600B - 一种四（二甲氨基）钛的精制方法 - Google Patents

一种四（二甲氨基）钛的精制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108059600B
CN108059600B CN201810125177.2A CN201810125177A CN108059600B CN 108059600 B CN108059600 B CN 108059600B CN 201810125177 A CN201810125177 A CN 201810125177A CN 108059600 B CN108059600 B CN 108059600B
Authority
CN
China
Prior art keywords
titanium
dimethylamino
tetra
portions
membrane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810125177.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108059600A (zh
Inventor
李军
陈刚
贺辉龙
陈立峰
花永紧
张雪刚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Britech Co ltd
Original Assignee
Zhejiang Britech Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Britech Co ltd filed Critical Zhejiang Britech Co ltd
Priority to CN201810125177.2A priority Critical patent/CN108059600B/zh
Publication of CN108059600A publication Critical patent/CN108059600A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108059600B publication Critical patent/CN108059600B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C209/00—Preparation of compounds containing amino groups bound to a carbon skeleton
    • C07C209/82—Purification; Separation; Stabilisation; Use of additives
    • C07C209/84—Purification
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
    • B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
    • B01D61/145—Ultrafiltration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0088—Physical treatment with compounds, e.g. swelling, coating or impregnation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/009—After-treatment of organic or inorganic membranes with wave-energy, particle-radiation or plasma
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
    • B01D67/0081—After-treatment of organic or inorganic membranes
    • B01D67/0095—Drying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/06—Organic material
    • B01D71/66—Polymers having sulfur in the main chain, with or without nitrogen, oxygen or carbon only
    • B01D71/68—Polysulfones; Polyethersulfones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/38—Graft polymerization
    • B01D2323/385—Graft polymerization involving radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2323/00—Details relating to membrane preparation
    • B01D2323/46—Impregnation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

本发明涉及一种四（二甲氨基）钛的精制方法，工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10‑30℃，流速1‑5BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。

Description

一种四（二甲氨基）钛的精制方法
技术领域
本发明涉及一种胺基钛的纯化方法，特别是一种四（二甲氨基）钛的精制方法。
背景技术
半导体制造业的不断发展，使得必须寻找适合ALD和CVD使用的高k和金 属栅材料前驱物。对于32nm技术节点来讲，材料的挥发性，输运方式以及纯度 等问题变得至关重要。随着信息存储和获取量的大幅提升，对于更高K值材料 的需求也不断升温，这些材料遍布从氧化铝到稀有金属中任何可用的元素。选 择恰当的高K材料，可满足介电常数、热力学稳定性、栅极电极兼容和界面层 稳定性等生产上的要求。
四（二甲胺基）钛,分子式 C8H24N4Ti,常温下是液体，是对空气和水汽非常敏感的化合物，能溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，是现今ALD研究领域的热点。
CN103193818A. 公开了一种四（二甲胺基）钛的合成方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入四氯化钛；反应结束后进行蒸馏，得到所述四（二甲胺基）钛。本发明合成方法不需要分步使用多种不同的溶剂，只以简单的单一烃类作为唯一的反应溶剂，降低了成本和反应的毒性，具有更好的操作可行性，更有助于规模化的生产。而且反应不需要经过过滤从体系中除去生成的氯化锂盐的过程，而是直接蒸馏得到目标化合物，从而简化操作。反应过程中的副产物相对较少，产率较高。
CN106268903A公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100-500-oC；钛源：四氯化钛、四二甲氨基钛或异丙醇钛；氮源：氨气或者氨气等离子体；载气：钛源使用高纯氮气或者氩气作为载气，流量为50-200-sccm；氮源使用高纯氩气作为载气，流量为50-200-sccm；脉冲和清洗时间：钛源脉冲为0.1-10-s；每次无机源脉冲之后都紧接着用高纯氮气清洗2-60-s；氮源脉冲为5-60s，紧接着用高纯氮气清洗2-60-s，冲掉反应副产物和残留的反应源。该方法简单易行，产品的可见光催化性能显著增强。
现有专利及文献技术所使用生产四（二甲氨基）钛经精馏处理后，四（二甲氨基）钛纯度难以超过99.99%。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种四（二甲氨基）钛的精制方法。
为了解决以上技术问题，本发明采用了如下的技术方案：一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：
(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000-2000份去离子水，3-10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10-30小时，取出晾干，再浸埋在1000-2000份正己烷，10-30份均苯三甲酰氯，浸泡10-30小时，取出，50-80℃烘干，然后浸埋在1000-2000份正己烷，0.001-0.01份2,4-癸二烯醛，0.001-0.01份双环戊二烯二氯化钛，0.01-0.1份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为10-50kGy左右，辐照时间10-30分钟，将接枝膜取出，用1000-2000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。
(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10-27℃，流速 1-4BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛；
进一步的，膜反应器压力0.3-1MPa。
所述的反应物均为市售产品，优选工业级产品。
所述的精馏，包括多级精馏和单级精馏。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
经本专利四（二甲氨基）钛提纯渗透膜通过接枝2,4-癸二烯醛，双环戊二烯二氯化钛以及3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇，以及其形成的金属配合物，可以吸附四（二甲氨基）钛中的杂质，工业级四（二甲氨基）钛经膜处理后，再经精馏即可以得到体积分数99.999%的高纯度四（二甲氨基）钛。
具体实施方式
以下结合具体实施例，进一步阐明本发明，但这些实施例仅用于解释本发明，而不是用于限制本发明的范围。
实施例中工业级四（二甲氨基）钛为市售产品，纯度97％。
实施例1
一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：
(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1500份去离子水，8份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡17小时，取出晾干，再浸埋在1800份正己烷，19份均苯三甲酰氯，浸泡15小时，取出，60℃烘干，然后浸埋在1500份正己烷，0.005份2,4-癸二烯醛，0.004份双环戊二烯二氯化钛，0.08份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为30kGy左右，辐照时间19分钟，将接枝膜取出，用1500份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。
(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度22℃，流速 2BV/h，压力0.4MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。
实施例2
一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：
(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000份去离子水，3份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10小时，取出晾干，再浸埋在1000份正己烷，10份均苯三甲酰氯，浸泡10小时，取出，50℃烘干，然后浸埋在1000份正己烷，0.001份2,4-癸二烯醛，0.001份双环戊二烯二氯化钛，0.01份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为10kGy左右，辐照时间30分钟，将接枝膜取出，用1000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。
(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10℃，流速 1BV/h，压力0.3MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。
实施例3
一种四（二甲氨基）钛的精制方法，包括以下步骤：
(1)按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在2000份去离子水，10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡30小时，取出晾干，再浸埋在2000份正己烷，30份均苯三甲酰氯，浸泡30小时，取出，80℃烘干，然后浸埋在2000份正己烷，0.01份2,4-癸二烯醛，0.01份双环戊二烯二氯化钛，0.1份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为50kGy左右，辐照时间10分钟，将接枝膜取出，用2000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。
(2)工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度27℃，流速 4BV/h，压力1MPa，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛。四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例1
3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇 不加入，其它同实施例1，四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例2
2-羟基-4-三氟甲基苯胺不加入，其它同实施例1，四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例3
双环戊二烯二氯化钛不加入，其它同实施例1，四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例4
均苯三甲酰氯不加入，其它同实施例1，四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例5
不经四（二甲氨基）钛提纯渗透膜吸附，只进行精馏。四（二甲氨基）钛纯度见表1。
对比例6
不经精馏，其它同实施例1，四（二甲氨基）钛纯度见表1。
表1：不同工艺做出的试验样品吸附后四（二甲氨基）钛纯度%的比较。
Figure 393933DEST_PATH_IMAGE002

Claims (3)

1.一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于包括以下步骤：
工业级四（二甲氨基）钛进入装有四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的膜反应器中，温度10-27℃，流速 1-4BV/h，得到初步精制的四（二甲氨基）钛，再经精馏得到高纯度的四（二甲氨基）钛；
四（二甲氨基）钛提纯渗透膜的制备方法包括：按重量份计，将100份聚砜中空纤维超滤膜，浸埋在1000-2000份去离子水，3-10份2-羟基-4-三氟甲基苯胺混合溶液中，浸泡10-30小时，取出晾干，再浸埋在1000-2000份正己烷，10-30份均苯三甲酰氯，浸泡10-30小时，取出，50-80℃烘干，然后浸埋在1000-2000份正己烷，0.001-0.01份2,4-癸二烯醛，0.001-0.01份双环戊二烯二氯化钛，0.01-0.1份3,3-二烯丙基四氢呋喃-2-醇的混合溶液中，N2保护，用60Coγ射线照射剂量为10-50kGy左右，辐照时间10-30分钟，将接枝膜取出，用1000-2000份甲醇清洗膜的表面，干燥，得到四（二甲氨基）钛提纯渗透膜。
2.权利要求1所述的一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于膜反应器压力0.3-1MPa。
3.权利要求1所述的一种四（二甲氨基）钛的精制方法，其特征在于所述的精馏，包括多级精馏和单级精馏。
CN201810125177.2A 2018-02-08 2018-02-08 一种四（二甲氨基）钛的精制方法 Active CN108059600B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810125177.2A CN108059600B (zh) 2018-02-08 2018-02-08 一种四（二甲氨基）钛的精制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810125177.2A CN108059600B (zh) 2018-02-08 2018-02-08 一种四（二甲氨基）钛的精制方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108059600A CN108059600A (zh) 2018-05-22
CN108059600B true CN108059600B (zh) 2020-04-10

Family

ID=62134655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810125177.2A Active CN108059600B (zh) 2018-02-08 2018-02-08 一种四（二甲氨基）钛的精制方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108059600B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112778349A (zh) * 2020-12-29 2021-05-11 浙江博瑞电子科技有限公司 一种四（二甲氨基）铪的精制方法
CN113818026A (zh) * 2021-09-15 2021-12-21 苏州源展材料科技有限公司 一种ald源钢瓶的清洗方法
CN113912029B (zh) * 2021-10-18 2023-02-21 浙江博瑞电子科技有限公司 一种超低温制备三甲硅烷基胺的方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1425077A (zh) * 2000-04-19 2003-06-18 工程吸气公司 用氢化的吸气剂合金纯化有机金属化合物或杂原子有机化合物的方法
CN103193818A (zh) * 2013-04-16 2013-07-10 上海宏锐新材料科技有限公司 四（二甲胺基）钛的合成方法
CN106268903A (zh) * 2016-07-22 2017-01-04 南京大学 一种基于ald技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1425077A (zh) * 2000-04-19 2003-06-18 工程吸气公司 用氢化的吸气剂合金纯化有机金属化合物或杂原子有机化合物的方法
CN103193818A (zh) * 2013-04-16 2013-07-10 上海宏锐新材料科技有限公司 四（二甲胺基）钛的合成方法
CN106268903A (zh) * 2016-07-22 2017-01-04 南京大学 一种基于ald技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN108059600A (zh) 2018-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108059600B (zh) 一种四（二甲氨基）钛的精制方法
TW201638374A (zh) 產生薄無機膜之方法
US6743934B2 (en) Raw material compounds for use in CVD, and chemical vapor deposition of ruthenium compound thin films
EP3384065B1 (en) Process for the generation of metallic films
KR20190070968A (ko) 규소-함유 박막의 생성 방법
JP2008094728A (ja) 化学蒸着用の有機ルテニウム化合物及び該有機ルテニウム化合物を用いた化学蒸着方法
JP2017505858A (ja) 無機薄膜の生成方法
KR102469291B1 (ko) 수소 리사이클 시스템 및 수소 리사이클 방법
US10570514B2 (en) Process for the generation of metallic films
KR101657428B1 (ko) 루테늄 착체로 이루어지는 화학 증착 원료 및 그 제조 방법 및 화학 증착 방법
US6663706B2 (en) Raw material compounds for use in CVD, and chemical vapor deposition for producing iridium or iridium compound thin films
KR20110105864A (ko) 시클로옥타테트라엔트리카르보닐루테늄 착물, 이의 제조 방법, 및 상기 착물을 원료로 사용하는 막의 제조 방법
KR101770438B1 (ko) 루테늄 착체 혼합물, 그 제조방법, 성막용 조성물, 루테늄 함유 막 및 그 제조방법
KR101748403B1 (ko) 루테늄 화합물, 그 제조방법, 그것을 이용한 루테늄―함유 박막제조방법 및 루테늄―함유 박막
JP5489155B2 (ja) トリアルキルアルミニウムの精製方法
JP4856825B2 (ja) Ｃｖｄ用原料化合物及びその製造方法並びにイリジウム又はイリジウム化合物薄膜の化学気相蒸着方法
KR20040067804A (ko) Ｃｖｄ용 원료화합물 및 그 제조방법 및 이리듐 또는이리듐화합물박막의 화학기상증착방법
JP2009007270A (ja) ルテニウム化合物の製造方法および薄膜の製造方法
JP5825169B2 (ja) コバルト含有薄膜の製造方法
JP5213408B2 (ja) 水素化ホウ素アルカリの取扱方法及びボラジン化合物の製造法
CN108250230B (zh) 一种二异丙胺硅烷的精制方法
TW201533261A (zh) 產生薄無機膜之方法
EP2818475B1 (en) Method for refining trimethylsilane
JPS6163515A (ja) モノシランの製造方法
CN117718003A (zh) 用于去除有机胺基锡中金属杂质的吸附剂及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant