CN107872168B - 驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人 - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 238000010248 power generation Methods 0.000 abstract description 94
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Bi] Chemical compound [Sr].[Bi] VNSWULZVUKFJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N sodium tungstate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][W]([O-])(=O)=O XMVONEAAOPAGAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/003—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with bending modes
- H02N2/004—Rectangular vibrators
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/12—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements electric
- B25J9/126—Rotary actuators
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/002—Driving devices, e.g. vibrators using only longitudinal or radial modes
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/0075—Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0095—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing combined linear and rotary motion, e.g. multi-direction positioners
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/101—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using intermittent driving, e.g. step motors
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- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
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- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/108—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors around multiple axes of rotation, e.g. spherical rotor motors
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Abstract
本发明提供驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人，即便多个动力产生装置、振动体中的一部分发生了故障，它们也能够使驱动装置进行动作。一种驱动装置，其特征在于，具备接收电力的供给并产生动力的多个动力产生装置，所述多个动力产生装置构成两个以上的所述动力产生装置电并联连接的多个动力产生装置组，所述多个动力产生装置组电串联连接。一种驱动装置，其特征在于，具备多个振动体，所述多个振动体接收电力的供给并振动，对被驱动体提供用于驱动所述被驱动体的驱动力，所述多个振动体构成两个以上的所述振动体电并联连接的多个振动体组，所述多个振动体组电串联连接。
Description
技术领域
本发明涉及驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人。
背景技术
已知一种具备多个压电元件(振动体)的驱动装置(例如参照专利文献1)。专利文献1所述的驱动装置具有多个压电元件，该多个压电元件串联连接。该驱动装置即便在任意的压电元件中发生了电流路径短路的短路异常也能够向其它压电元件供给电力，因而能够使它们进行动作，由此，具有能够继续进行驱动装置的动作的优点。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-278712号公报
但是，在专利文献1所述的驱动装置中，如果在任意的压电元件中发生了电流路径断开的开路异常，则无法向所有的压电元件供给电力，导致驱动装置停止。
发明内容
本发明的目的在于，提供即便多个动力产生装置、振动体中的一部分发生故障也能够使驱动装置进行动作的驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人。
本发明是为了解决上述技术问题中的至少一部分而做出的，可作为以下的方式或应用例实现。
本发明的驱动装置其特征在于，具备接收电力的供给并产生动力的多个的动力产生装置，所述多个的动力产生装置构成多个的动力产生装置组，在所述动力产生装置组中，两个以上的所述动力产生装置电(电气)并联连接，所述多个的动力产生装置组电(电气)串联连接。
由此，不管是在哪个动力产生装置组的哪个动力产生装置中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它动力产生装置组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行驱动装置的动作。
另外，不管是在哪个动力产生装置组的哪个动力产生装置中发生了电流路径断开的开路异常，也能够向该动力产生装置组中未发生开路异常的动力产生装置、以及其它动力产生装置组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行驱动装置的动作。
本发明的驱动装置其特征在于，具备接收电力的供给并振动而向被驱动体提供用于驱动所述被驱动体的驱动力的多个的振动体，所述多个的振动体构成多个的振动体组，在所述振动体组中，两个以上的所述振动体电(电气)并联连接，所述多个的振动体组电(电气)串联连接。
由此，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行驱动装置的动作。
另外，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径断开的开路异常，也能够向该振动体组中未发生开路异常的振动体、以及其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行驱动装置的动作。
在本发明的驱动装置中，优选地，还具备驱动所述多个的振动体的驱动电路。
由此，通过驱动电路，能够使驱动装置进行动作。
在本发明的驱动装置中，优选地，还具备向所述被驱动体传递所述振动体的驱动力的传递部。
由此，能够高效地对被驱动体提供振动体的驱动力。
在本发明的驱动装置中，优选地，构成所述振动体组的所述两个以上的所述振动体彼此层叠。
由此，相比于振动体未层叠的情况，可以实现小型化、轻量化及高输出化。
在本发明的驱动装置中，优选地，所述振动体具备压电元件。
由此，相比于使用电磁电动机的情况，可以实现小型化、轻量化及高输出化。
本发明的压电电动机其特征在于，具备：被驱动体；以及对所述被驱动体进行驱动的本发明的驱动装置。
由此，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行驱动装置的动作。
另外，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径断开的开路异常，也能够向该振动体组中未发生开路异常的振动体、以及其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行压电电动机的动作。
本发明的电子元器件输送装置其特征在于，具备本发明的驱动装置。
由此，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行电子元器件输送装置的动作。
另外，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径断开的开路异常，也能够向该振动体组中未发生开路异常的振动体、以及其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行电子元器件输送装置的动作。
本发明的机器人其特征在于，具备本发明的驱动装置。
由此，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行机器人的动作。
另外，不管是在哪个振动体组的哪个振动体中发生了电流路径断开的开路异常，也能够向该振动体组中未发生开路异常的振动体、以及其它振动体组供给电力，因而能够使它们工作，从而能够继续进行机器人的动作。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式涉及的驱动装置的平面图及电路图。
图2是示出本发明的第二实施方式涉及的驱动装置及压电电动机的平面图。
图3是示出图2所示的驱动装置的压电元件及布线的图。
图4是示出图2所示的驱动装置的布线的图。
图5是示出本发明的第三实施方式涉及的驱动装置及压电电动机的平面图。
图6是示出图5所示的驱动装置的压电元件组的立体图。
图7是示出本发明的第四实施方式涉及的驱动装置的框图。
图8是本发明的第五实施方式涉及的机器人的立体图。
图9是本发明的第六实施方式涉及的电子元器件输送装置的立体图。
图10是图9所示的电子元器件输送装置具有的电子元器件保持部的立体图。
附图标记说明
1，1x，1y，1θ…驱动装置，100…压电电动机，10…振动体，10m…振动体组，10A1…振动体，10A2…振动体，10B1…振动体，10B2…振动体，10C1…振动体，10C2…振动体，10Am…振动体组，10Bm…振动体组，10Cm…振动体组，10A1m…振动体组，10B1m…振动体组，10C1m…振动体组，10D1m…振动体组，10E1m…振动体组，10F1m…振动体组，20…传递部，50…被驱动体，51…输出轴，31…电源，32…开关，41…第一电极，42…第二电极，43…压电体，61…电压显示部，110a…压电元件，110b…压电元件，110c…压电元件，110d…压电元件，110e…压电元件，210…振动板，220…支承部，300…驱动电路，310…端子对，320…端子对，330…端子对，410…布线基板，CA1…线圈，CA2…线圈，CB1…线圈，CB2…线圈，CC1…线圈，CC2…线圈，MA1…动力产生装置，MA2…动力产生装置，MB1…动力产生装置，MB2…动力产生装置，MC1…动力产生装置，MC2…动力产生装置，OA1…输出部，OA2…输出部，OB1…输出部，OB2…输出部，OC1…输出部，OC2…输出部，PMA…动力产生装置组，PMB…动力产生装置组，PMC…动力产生装置组，RA1…转子，RA2…转子，RB1…转子，RB2…转子，RC1…转子，RC2…转子，1000…机器人，1010…基座，1020、1030、1040、1050、1060、1070…臂，1080…控制部，1090…末端执行器，2000…电子元器件输送装置，2100…基台，2110…上游侧工作台，2120…下游侧工作台，2130…检查台，2200…支承台，2210…Y工作台，2220…X工作台，2230…电子元器件保持部，2231…微调板，2232…转动部，2233…保持部，Q…电子元器件
具体实施方式
以下，根据附图所示的优选实施方式，对本发明的驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人进行详细说明。
＜第一实施方式＞
图1是示出本发明的第一实施方式涉及的驱动装置的平面图及电路图。
如图1所示，驱动装置1具备：作为接收电力的供给并产生动力(力)的多个动力产生装置的一个例子的六个动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1和MC2；电源31；开关32；被驱动体50(被驱动部)；以及设置于被驱动体50的中心的输出轴51。作为动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1和MC2，可以分别使用各种电磁电动机。
动力产生装置MA1具备线圈CA1、转子RA1以及设于转子RA1的中心的输出部OA1。另外，转子RA1例如是具有永磁体的旋转体，一旦电流流入线圈CA1，则转子RA1因电磁力而旋转。
被驱动体50在本实施方式中呈圆板状。另外，输出部OA1及被驱动体50分别例如在外周部具有齿轮，这些齿轮相互啮合。在动力产生装置MA1中，从电源31被供给电力，当电流流入线圈CA1时，转子RA1旋转，经由输出部OA1使被驱动体50驱动、即旋转。
动力产生装置MA2也同样具备线圈CA2、转子RA2以及设于转子RA2的中心的输出部OA2。另外，动力产生装置MB1也同样具备线圈CB1、转子RB1以及设于转子RB1的中心的输出部OB1。另外，动力产生装置MB2也同样具备线圈CB2、转子RB2以及设于转子RB2的中心的输出部OB2。另外，动力产生装置MC1也同样具备线圈CC1、转子RC1以及设于转子RC1的中心的输出部OC1。另外，动力产生装置MC2也同样具备线圈CC2、转子RC2以及设于转子RC2的中心的输出部OC2。于是，所述动力产生装置MA2、MB1、MB2、MC1及MC2也同样地在分别从电源31被供给电力时，对被驱动体50进行驱动。
需要注意的是，作为被驱动体50的结构，不仅限于图1的结构。在本实施方式中，使用旋转移动的部件作为被驱动体，但例如也可以使用直线移动的部件作为被驱动体。
在该驱动装置1中，多个动力产生装置构成了其中两个以上的动力产生装置电并联(以下简称为“并联”)连接的多个动力产生装置组，在本实施方式中，构成了三个动力产生装置组PMA、PMB及PMC。
具体而言，首先，线圈CA1与线圈CA2并联连接。由此，动力产生装置MA1与动力产生装置MA2并联连接，通过它们构成了动力产生装置组PMA。
另外，同样地，线圈CB1与线圈CB2并联连接，由此，动力产生装置MB1与动力产生装置MB2并联连接，通过它们构成了动力产生装置组PMB。
另外，同样地，线圈CC1与线圈CC2并联连接，由此，动力产生装置MC1与动力产生装置MC2并联连接，通过它们构成了动力产生装置组PMC。
另外，多个动力产生装置组、在本实施方式中为三个动力产生装置组PMA、PMB及PMC电串联(以下简称为“串联”)连接。即，线圈CA1及CA2、线圈CB1及CB2和线圈CC1及CC2串联连接。
另外，动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2的配置虽然没有特别限定，但在本实施方式中，动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2按照动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2的顺序，沿着图1中的逆时针方向，以相等的角度间隔进行配置。即，动力产生装置组PMA的动力产生装置MA1与动力产生装置MA2配置成相邻。另外，同样地，动力产生装置组PMB的动力产生装置MB1与动力产生装置MB2配置成相邻。另外，同样地，动力产生装置组PMC的动力产生装置MC1与动力产生装置MC2配置成相邻。于是，动力产生装置MA1与动力产生装置MB2配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，动力产生装置MA2与动力产生装置MC1配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，动力产生装置MB1与动力产生装置MC2配置成隔着被驱动体50而相对。
电源31具有向驱动装置1、即动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2供给电力的功能。该电源31经由开关32而连接到动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2。当开关32接通时，从电源31向动力产生装置MA1、MA2、MB1、MB2、MC1及MC2供给电力，另外，当开关32断开时，停止供给所述电力。
需要注意的是，虽未图示，但也可以构成为能够改变流入线圈CA1、CA2、CB1、CB2、CC1及CC2的电流的方向。
如上所述，根据驱动装置1，例如，即便在动力产生装置组PMA的动力产生装置MA1的线圈CA1中发生了电流路径短路的短路异常，也能够向其它动力产生装置组PMB及PMC供给电力。由此，能够使动力产生装置组PMB及PMC工作，能够进行驱动而不会使被驱动体50停止，能够继续进行驱动装置1的动作。在其它线圈发生了短路异常的情况下，也同样能够继续进行驱动装置1的动作。
另外，例如，即便在动力产生装置组PMA的动力产生装置MA1的线圈CA1中发生了电流路径断开(開放)的开路异常(開放異常)，也能够向属于同一动力产生装置组PMA的其它动力产生装置MA2以及其它动力产生装置组PMB和PMC供给电力。由此，能够使动力产生装置MA2以及动力产生装置组PMB和PMC工作，能够进行驱动而不会使被驱动体50停止，能够继续进行驱动装置1的动作。在其它线圈发生了开路异常的情况下，也同样地能够继续进行驱动装置1的动作。
(变形例1)
在第一实施方式中，构成一个动力产生装置组的两个动力产生装置配置成相邻，但也可以采用其它配置。作为其它配置例，例如可列举：构成一个动力产生装置组的两个动力产生装置配置成隔着被驱动体50而相对。
(变形例2)
在第一实施方式中，两个动力产生装置并联连接，通过它们构成一个动力产生装置组，但不限定于此，也可以是三个以上的动力产生装置并联连接而通过它们构成一个动力产生装置组。
(变形例3)
在第一实施方式中，两个动力产生装置组串联连接，但不限定于此，也可以是三个以上的动力产生装置组串联连接。
需要说明的是，上述变形例1～3分别可以适用于后述的各实施方式。
＜第二实施方式＞
图2是示出本发明的第二实施方式涉及的驱动装置及压电电动机的平面图。图3是示出图2所示的驱动装置的压电元件及布线的图。图4是示出图2所示的驱动装置的布线的图。
以下，对第二实施方式进行说明，围绕与上述实施方式的不同点进行说明，而省略相同事项的说明。
如图2及图3所示，第二实施方式的驱动装置1具备：作为接收电力的供给并振动而向被驱动体提供用以驱动所述被驱动体的驱动力的多个振动体的一个例子的六个振动体(压电致动器)10A1、10A2、10B1、10B2、10C1和10C2；以及驱动振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的驱动电路300。
另外，压电电动机100具备：被驱动体50；设置于被驱动体50的中心部的输出轴51；以及驱动被驱动体50的驱动装置1。需要注意的是，在本实施方式中，在被驱动体50的外周部没有设置齿轮。
接着，对振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2进行说明，由于它们的结构相同，因而代表性地对振动体10A1进行说明。
振动体10A1具备：振动板210；传递部20(接触部)，配置在振动板210的端部，向被驱动体50传递振动体10A1的驱动力；以及配置于振动板210的五个压电元件110a、110b、110c、110d和110e。通过设置传递部20，能够高效地对被驱动体50提供振动体10A1的驱动力。
在从振动板210的厚度方向观察的俯视观察(以下也简称为“俯视观察”)中，振动板210呈大致长方形形状。在该振动板210的一面配置有压电元件110a、110b、110c、110d及110e。另外，在振动板210的长边方向的前端部(被驱动体50侧的端部)的在宽度方向(短边方向)上的中央部以从振动板210突出的方式设有传递部20。
另外，作为振动板210，例如可以使用硅基板。另外，在振动板210的表面设有绝缘层，此处省略图示。例如，在使用硅基板作为振动板210的情况下，绝缘层可以由对硅基板的表面进行热氧化而形成的氧化硅构成。
另外，压电元件110e在振动板210的宽度方向的中央部，沿着振动板210的长边方向配置。压电元件110a、110c沿着振动板210的长边方向配置于该压电元件110e的在振动板210的宽度方向上的一侧，压电元件110b、110d沿着振动板210的长边方向配置于该压电元件110e的在振动板210的宽度方向上的另一侧。另外，压电元件110c、110d位于前端侧、即传递部20侧。
如此配置的压电元件110a、110b、110c、110d及110e分别具备：设于振动板210上的第二电极42；设于第二电极42上的压电体43；以及设于压电体43上的第一电极41。需要注意的是，压电元件110a、110b、110c、110d及110e的压电体43既可以分别单独地设置，也可以设置为一体。
另外，作为第一电极41及第二电极42的构成材料，均没有特别限定，例如使用铝(Al)、镍(Ni)、金(Au)、铂(Pt)、铱(Ir)、铜(Cu)等金属材料。另外，第一电极41及第二电极42分别可以通过例如蒸镀、溅射等而形成。
另外，压电体43通过被施加方向沿着振动板210的厚度方向的电场，由此在沿着振动板210的长边方向的方向上伸缩。作为这样的压电体43的构成材料，例如可以使用锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、钛酸铅、铌酸钾、铌酸锂、钽酸锂、钨酸钠、氧化锌、钛酸锶钡(BST)、钽酸锶铋(SBT)、偏铌酸铅、钪铌酸铅等压电陶瓷。由压电陶瓷构成的压电体43例如既可以由块体(bulk)材料形成，也可以使用溶胶-凝胶法形成。此外，作为压电体43的构成材料，除了上述的压电陶瓷以外，例如还可以使用聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride)、水晶等。
另外，传递部20的形状没有特别限定，在本实施方式中，在从振动板210的厚度方向观察的俯视观察中，呈四边形。
另外，作为传递部20的构成材料，没有特别限定，但优选耐磨损性优异的材料。作为这样的耐磨损性优异的材料，例如可列举氧化铝、氧化锆等各种陶瓷、蓝宝石、水晶等。
需要说明的是，传递部20例如既可以通过粘合剂接合到振动板210上，也可以与振动板210一体地形成。
驱动电路300具有三个端子对310、320及330。端子对310是向振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的压电元件110a、110d供给电力的端子。另外，端子对320是向振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的压电元件110e供给电力的端子。另外，端子对330是向振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的压电元件110b、110c供给电力的端子。通过该驱动电路300，可以使驱动装置1进行动作。
振动体10A1从该驱动电路300接收电力的供给并振动，基于该振动的驱动力通过传递部20传递到被驱动体50，被驱动体50驱动、即旋转。以下，对振动体10A1的驱动方法的一个例子进行说明。不过，振动体10A1的驱动方法并不限定于以下的方法。
通过驱动电路300，对压电元件110a、110b、110c、110d及110e施加规定频率的驱动信号、即交流电压，使得压电元件110a、110d与压电元件110b、110c的相位差为180°、压电元件110a、110d与压电元件110e的相位差为30°。由此，振动板210弯曲变形为S字形状，传递部20的前端进行椭圆运动。其结果，被驱动体50绕其中心轴旋转。另外，如果施加交流电压，使得压电元件110a、110d与压电元件11e的相位差为210°，则能够使被驱动体50向与上述相反的方向旋转。
另外，振动体10A1由于倾斜规定角度，因而作为其它驱动方法，也可以通过驱动电路300，对压电元件110a、110b、110c、110d及110e施加规定频率的交流电压，使得压电元件110a、110b、110c、110d及110e的相位均为同相。由此，振动板210沿着其长边方向伸缩，传递部20的前端沿着振动板210的长边方向往复运动。其结果，被驱动体50绕其中心轴旋转。
需要注意的是，对于振动体10A2、10B1、10B2、10C1及10C2，省略其说明。
在该驱动装置1中，多个振动体构成了其中两个以上的振动体并联连接的多个振动体组，在本实施方式中，构成了三个振动体组(压电致动器组)10Am、10Bm及10Cm。
具体而言，关于振动体组10Am，如图3所示，振动体10A1的压电元件110a、振动体10A1的压电元件110d、振动体10A2的压电元件110a和振动体10A2的压电元件110d并联连接。另外，振动体10A1的压电元件110b、振动体10A1的压电元件110c、振动体10A2的压电元件110b和振动体10A2的压电元件110c并联连接。另外，振动体10A1的压电元件110e与振动体10A2的压电元件110e并联连接。
由此，振动体10A1和振动体10A2并联连接，通过它们构成了振动体组10Am。
更详细地进行说明，首先，振动体10A1的压电元件110a的第一电极41、振动体10A1的压电元件110d的第一电极41、振动体10A2的压电元件110a的第一电极41和振动体10A2的压电元件110d的第一电极41相连接。另外，振动体10A1的压电元件110a的第二电极42、振动体10A1的压电元件110d的第二电极42、振动体10A2的压电元件110a的第二电极42和振动体10A2的压电元件110d的第二电极42相连接。
另外，振动体10A1的压电元件110b的第一电极41、振动体10A1的压电元件110c的第一电极41、振动体10A2的压电元件110b的第一电极41和振动体10A2的压电元件110c的第一电极41相连接。另外，振动体10A1的压电元件110b的第二电极42、振动体10A1的压电元件110c的第二电极42、振动体10A2的压电元件110b的第二电极42和振动体10A2的压电元件110c的第二电极42相连接。
另外，振动体10A1的压电元件110e的第一电极41与振动体10A2的压电元件110e的第一电极41相连接。另外，振动体10A1的压电元件110e的第二电极42与振动体10A2的压电元件110e的第二电极42相连接。
另外，关于振动体组10Bm，如图4所示，同样地，振动体10B1的压电元件110a、振动体10B1的压电元件110d、振动体10B2的压电元件110a和振动体10B2的压电元件110d并联连接。另外，振动体10B1的压电元件110b、振动体10B1的压电元件110c、振动体10B2的压电元件110b和振动体10B2的压电元件110c并联连接。另外，振动体10B1的压电元件110e与振动体10B2的压电元件110e并联连接。
由此，振动体10B1和振动体10B2并联连接，通过它们构成了振动体组10Bm。需要注意的是，关于该振动体组10Bm，省略如前述振动体组10Am那样的详细的说明。
另外，关于振动体组10Cm，如图4所示，同样地，振动体10C1的压电元件110a、振动体10C1的压电元件110d、振动体10C2的压电元件110a和振动体10C2的压电元件110d并联连接。另外，振动体10C1的压电元件110b、振动体10C1的压电元件110c、振动体10C2的压电元件110b和振动体10C2的压电元件110c并联连接。另外，振动体10C1的压电元件110e与振动体10C2的压电元件110e并联连接。
由此，振动体10C1和振动体10C2并联连接，通过它们构成了振动体组10Cm。需要注意的是，关于该振动体组10Cm，省略如前述振动体组10Am那样的详细的说明。
另外，多个振动体组、在本实施方式中为三个振动体组10Am、10Bm及10Cm串联连接。即，振动体10A1及10A2、振动体10B1及10B2和振动体10C1及10C2串联连接。
另外，振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的配置没有特别限定，在本实施方式中，振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2按照振动体10A1、10A2、10B1、10B2、10C1及10C2的顺序，沿着图2中的逆时针方向，以相等的角度间隔进行配置。即，振动体组10Am的振动体10A1与振动体10A2配置成相邻。另外，同样地，振动体组10Bm的振动体10B1与振动体10B2配置成相邻。另外，同样地，振动体组10Cm的振动体10C1与振动体10C2配置成相邻。于是，振动体10A1与振动体10B2配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，振动体10A2与振动体10C1配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，振动体10B1与振动体10C2配置成隔着被驱动体50而相对。
根据如上所述的第二实施方式，也能够发挥与前述实施方式同样的效果，也就是说，能够发挥以下效果：即便电流路径的一部分发生了短路异常、开路异常也能够进行驱动而不会使被驱动体50停止，能够继续进行驱动装置1的动作。
另外，相比于使用电磁电动机的情况，可以实现小型化、轻量化及高输出化。
＜第三实施方式＞
图5是示出本发明的第三实施方式涉及的驱动装置及压电电动机的平面图。图6是示出图5所示的驱动装置的压电元件组的立体图。
以下，对第三实施方式进行说明，围绕与上述实施方式的不同点进行说明，而省略相同事项的说明。
如图5所示，在第三实施方式的驱动装置1中，具备：六个振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m和10F1m；以及前述的驱动电路300(参照图3、图4)。如后所述，振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m分别具备多个振动体。
接着，对振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m进行说明，由于它们的结构相同，因而代表性地对振动体组10A1m进行说明。
如图6所示，振动体组10A1m具备多个、本实施方式中为五个振动体10A1。于是，构成振动体组10A1m的两个以上的振动体10A1、在本实施方式中为五个振动体10A1彼此层叠。另外，五个振动体10A1并联连接。
由此，相比于振动体10A1未层叠的情况，可以实现小型化、轻量化及高输出化。
振动体10A1具备：振动板210；传递部20，其配置于振动板210的端部，将振动体10A1的驱动力传递到被驱动体50；支承振动板210的支承部220；以及配置于振动板210的五个压电元件110a、110b、110c、110d及110e(参照图3)。
另外，在各振动体10A1的支承部220上连接有布线基板410。另外，在布线基板410的端部连接有上述驱动电路300。
在该驱动装置1中，振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m串联连接。
另外，振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m的配置没有特别限定，在本实施方式中，振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m按照振动体组10A1m、10B1m、10C1m、10D1m、10E1m及10F1m的顺序，沿着图5中的逆时针方向，以相等的角度间隔进行配置。即，振动体组10A1m与振动体组10D1m配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，振动体组10B1m与振动体组10E1m配置成隔着被驱动体50而相对。另外，同样地，振动体组10C1m与振动体组10F1m配置成隔着被驱动体50而相对。
根据如上所述的第三实施方式，也能够发挥与前述实施方式同样的效果。
(变形例1)
在第三实施方式中虽然层叠了五个振动体，但不限定于此，也可以层叠两个、三个、四个或六个以上的振动体。
＜第四实施方式＞
图7是示出本发明的第四实施方式涉及的驱动装置的框图。需要注意的是，在图7中，各振动体中的布线原本分别与图4所示的布线同样，但此处进行了简化加以图示。
以下，对第四实施方式进行说明，围绕与上述实施方式的不同点进行说明，而省略相同事项的说明。
如图7所示，在第四实施方式的驱动装置1中，五个振动体10并联连接，通过它们构成了一个振动体组10m。并且，五个振动体组10m串联连接。需要注意的是，并联连接的振动体10的数量及串联连接的振动体组10m的数量分别不限定于五个，两个以上即可。
另外，在各振动体组10m(振动体10)中分别设有作为对物理量进行检测的检测部(探测部)的一个例子以及作为进行通知的通知部(显示部)的一个例子的电压显示部61。各电压显示部61分别具备：检测部(未图示)，与对应的振动体组10m(振动体10)并联连接，对电压进行检测；以及显示部(未图示)，显示由该检测部检测出的电压。
在该驱动装置1中，任意振动体10发生了短路异常时，通过与发生了该短路异常的振动体10所属的振动体组10m连接的电压显示部61检测出的电压为0V。由此，能够掌握发生了短路异常的振动体10所属的振动体组10m。
另外，任意振动体10发生了开路异常时，通过与发生了该开路异常的振动体10所属的振动体组10m连接的电压显示部61检测出的电压增大。由此，能够掌握发生了开路异常的振动体10所属的振动体组10m。
需要说明的是，作为通知部，不仅限于显示电压的设备，例如，也可以是将电压转换为其它信息来进行通知的设备。作为具体例，例如也可以设置根据电压大小其亮度发生变化的氖管、LED、有机EL等发光部、或者根据电压大小其颜色发生变化的液晶元件等，以取代电压显示部61。
另外，通过检测部检测出的物理量不仅限于电压，除此之外，例如可列举电流、温度等。
根据如上所述的第四实施方式，也能够发挥与前述实施方式同样的效果。
另外，在第四实施方式中，振动体10发生了短路异常、开路异常等异常时，能够确定发生了该异常的振动体10所属的振动体组10m，由此，能够迅速且适当地进行应对。
＜第五实施方式＞
接着，对本发明的第五实施方式涉及的机器人进行说明。
图8是本发明的第五实施方式涉及的机器人的立体图。
图8所示的机器人1000能够执行精密仪器、构成其的零部件(对象物)的供料、移除、输送及组装等作业。机器人1000为六轴机器人，具有：固定于地板、天花板的基座1010；转动自如地连结于基座1010的臂1020；转动自如地连结于臂1020的臂1030；转动自如地连结于臂1030的臂1040；转动自如地连结于臂1040的臂1050；转动自如地连结于臂1050的臂1060；转动自如地连结于臂1060的臂1070；以及对这些臂1020、1030、1040、1050、1060、1070的驱动进行控制的控制部1080。另外，在臂1070上设有手爪连接部，在手爪连接部上安装与使机器人1000执行的作业相应的末端执行器1090。另外，在各关节部上搭载有驱动装置1(压电电动机100)，通过该驱动装置的驱动，各臂1020、1030、1040、1050、1060、1070进行转动。需要说明的是，各驱动装置1的驱动通过控制部1080进行控制。
这样的机器人1000由于具备驱动装置1(压电电动机100)，因而能够享有上述驱动装置1的效果，并且能够发挥优良的可靠性。
＜第六实施方式＞
接着，对本发明的第六实施方式涉及的电子元器件输送装置进行说明。
图9是本发明的第六实施方式涉及的电子元器件输送装置的立体图。图10是图9所示的电子元器件输送装置所具有的电子元器件保持部的立体图。需要注意的是，以下，为方便说明，将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴。
图9所示的电子元器件输送装置2000适用于电子元器件检查装置，具有基台2100以及配置于基台2100的侧方的支承台2200。另外，在基台2100上设有：上游侧工作台2110，供检查对象的电子元器件Q载置并沿着Y轴方向对其进行输送；下游侧工作台2120，供检查完毕的电子元器件Q载置并沿着Y轴方向对其进行输送；以及检查台2130，位于上游侧工作台2110与下游侧工作台2120之间，对电子元器件Q的电气特性进行检查。需要说明的是，作为电子元器件Q的例子，例如可列举：半导体、半导体晶片、CLD或OLED等显示器件、水晶元件、各种传感器、喷墨头、各种MEMS器件等。
另外，在支承台2200上设有相对于支承台2200可沿着Y轴方向移动的Y工作台2210，在Y工作台2210上设有相对于Y工作台2210可沿着X轴方向移动的X工作台2220，在X工作台2220上设有相对于X工作台2220可沿着Z轴方向移动的电子元器件保持部2230。另外，如图10所示，电子元器件保持部2230具有：可沿着X轴方向和Y轴方向移动的微调板2231；相对于微调板2231可绕Z轴转动的转动部2232；以及设于转动部2232并保持电子元器件Q的保持部2233。另外，在电子元器件保持部2230中内置有：驱动装置1(1x)(压电电动机100)，用于使微调板2231沿着X轴方向移动；驱动装置1(1y)(压电电动机100)，用于使微调板2231沿着Y轴方向移动；以及驱动装置1(1θ)(压电电动机100)，用于使转动部2232绕Z轴转动。
这样的电子元器件输送装置2000由于具备驱动装置1(压电电动机100)，因而能够享有前述驱动装置1的效果，并且能够发挥优良的可靠性。
以上，根据图示的实施方式对本发明的驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人进行了说明，但本发明并不限定于此，各部的构成可以置换为具有同样功能的任意的构成。另外，也可以追加其它任意的构成物。
另外，本发明也可以组合前述各实施方式中的任意2个以上的构成(特征)。
Claims (7)
1.一种驱动装置，其特征在于，
具备接收电力的供给并振动而向被驱动体提供用于驱动所述被驱动体的驱动力的多个的振动体，
所述多个的振动体构成多个的振动体组，在所述振动体组中，包括第一振动体和第二振动体的两个以上的所述振动体电并联连接，
所述多个的振动体组电串联连接，
所述第一振动体和所述第二振动体分别包括第一压电元件、第二压电元件、第三压电元件、第四压电元件和第五压电元件，
所述第一振动体的所述第一压电元件、所述第一振动体的所述第四压电元件、所述第二振动体的所述第一压电元件和所述第二振动体的所述第四压电元件并联连接，所述第一振动体的所述第二压电元件、所述第一振动体的所述第三压电元件、所述第二振动体的所述第二压电元件和所述第二振动体的所述第三压电元件并联连接，所述第一振动体的所述第五压电元件和所述第二振动体的所述第五压电元件并联连接。
2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置还具备驱动所述多个的振动体的驱动电路。
3.根据权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于，所述驱动装置还具备向所述被驱动体传递所述振动体的驱动力的传递部。
4.根据权利要求1或2所述的驱动装置，其特征在于，构成所述振动体组的所述两个以上的所述振动体彼此层叠。
5.一种压电电动机，其特征在于，具备：
被驱动体；以及
根据权利要求1至4中任一项所述的驱动装置，所述驱动装置驱动所述被驱动体。
6.一种电子元器件输送装置，其特征在于，
具备权利要求1至4中任一项所述的驱动装置。
7.一种机器人，其特征在于，
具备权利要求1至4中任一项所述的驱动装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016186598A JP6836129B2 (ja) | 2016-09-26 | 2016-09-26 | 駆動装置、圧電モーター、電子部品搬送装置およびロボット |
| JP2016-186598 | 2016-09-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107872168A CN107872168A (zh) | 2018-04-03 |
| CN107872168B true CN107872168B (zh) | 2021-06-08 |
Family
ID=61686673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710799679.9A Active CN107872168B (zh) | 2016-09-26 | 2017-09-06 | 驱动装置、压电电动机、电子元器件输送装置及机器人 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10559740B2 (zh) |
| JP (1) | JP6836129B2 (zh) |
| CN (1) | CN107872168B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10601397B2 (en) * | 2017-03-24 | 2020-03-24 | Zhuhai Crystal Resonance Technologies Co., Ltd. | RF resonator electrode and membrane combinations and method of fabrication |
| JP2019213255A (ja) * | 2018-05-31 | 2019-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 回転直動変換装置 |
| CN109361327B (zh) * | 2018-11-08 | 2023-10-03 | 中国人民解放军陆军工程大学 | 离合器式超磁致旋转驱动装置 |
| JP7297489B2 (ja) * | 2019-03-26 | 2023-06-26 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび振動型アクチュエータの駆動装置 |
| JP2020182329A (ja) * | 2019-04-25 | 2020-11-05 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび振動型アクチュエータの駆動装置 |
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Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3966025B2 (ja) | 2002-03-05 | 2007-08-29 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
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| CN101652921A (zh) * | 2007-02-06 | 2010-02-17 | 夏普株式会社 | 驱动装置、具备该驱动装置的摄像装置、摄像设备 |
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| JP2011181245A (ja) | 2010-02-26 | 2011-09-15 | Rb Controls Co | Ｌｅｄ照明装置 |
| JP5930595B2 (ja) * | 2010-04-06 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータ、振動子及び振動子の製造方法 |
| JP5569626B1 (ja) | 2013-06-17 | 2014-08-13 | 日本精工株式会社 | モータ制御装置、これを使用した電動パワーステアリング装置及び車両 |
| JP2015023995A (ja) | 2013-07-26 | 2015-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波測定装置、超音波ヘッドユニット、超音波プローブ及び超音波画像装置 |
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| JP6439466B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2018-12-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット及びロボットの駆動方法 |
| JP6543951B2 (ja) * | 2015-02-18 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置、ロボット、及び、それらの駆動方法 |
| JP6651937B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2020-02-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電アクチュエーター、圧電モーター、ロボット、ハンドおよびポンプ |
-
2016
- 2016-09-26 JP JP2016186598A patent/JP6836129B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-06 CN CN201710799679.9A patent/CN107872168B/zh active Active
- 2017-09-20 US US15/709,864 patent/US10559740B2/en active Active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6836129B2 (ja) | 2021-02-24 |
| CN107872168A (zh) | 2018-04-03 |
| JP2018057057A (ja) | 2018-04-05 |
| US20180090668A1 (en) | 2018-03-29 |
| US10559740B2 (en) | 2020-02-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |