CN107867073A - 致动器装置及制造方法、导线构件连接结构、液体喷射器 - Google Patents

致动器装置及制造方法、导线构件连接结构、液体喷射器 Download PDF

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Abstract

本发明提供致动器装置及制造方法、导线构件连接结构、液体喷射器。致动器装置包括：致动器，包括至少一个驱动元件和从其引出的至少一个第一元件触点；导线构件，包括分别连接到第一元件触点的至少一个第一触点和分别与第一触点传导的至少一个第一导线。每个导线包括在导线构件的边缘部处的远端部。在远端部形成第一宽部。第一宽部的导线宽度大于每个导线的除了其远端部之外的部分的导线宽度。在致动器和导线构件彼此接合的状态下，每个导线的第一宽部在导线方向上超出对应一个第一元件触点。每个第一触点在对应一个导线的基端部处。基端部定位得离导线构件的边缘部比第一宽部离边缘部远。每个第一触点连接到对应一个第一元件触点。

Description

致动器装置及制造方法、导线构件连接结构、液体喷射器
技术领域
以下公开涉及致动器装置、导线构件的连接结构、液体喷射器和制造致动器装置的方法。
背景技术
专利文献1(日本专利申请公布特开2014-156065)公开了液体喷射器，该液体喷射器包括：通道限定器，该通道限定器具有分别与喷嘴连通的压力腔室；和压电致动器，该压电致动器被构造成对压力腔室中的墨施加喷射能量。
压电致动器包括分别与压力腔室对应的压电元件。触点被分别从相应压电元件的单独电极引出。柔性导线构件(其上安装驱动电路的COD)被接合到压电致动器的布置压电元件的触点的部分。压电致动器的触点和导线构件的触点在该接头部处彼此电连接。
一般柔性导线构件被构造成使得多个导线被在由例如聚酰亚胺形成的绝缘基板(例如基膜)上图案化。导线构件的一些制造包括在导线被形在基板上之后切割基板以便分离每一个导线的步骤。在这种情况下，在基板被切割的区域处，导线可能被压扁(crushed)，使得导线可能在通过切割形成的基板的边缘部处分别具有宽部，这些宽部具有较大导线宽度。
在导线的宽部被形成在基板的边缘部处的情况下，较大的导线宽度减少导线和另一相邻导线或传导性图案之间的距离。当基板的边缘部被接合到致动器时，该减少的距离增加在具有宽部的导线和另一相邻导线之间出现短路的可能性。
发明内容
因此，本公开的方面涉及用于防止在(i)在导线构件的边缘部处具有宽部的导线和(ii)与具有宽部的导线相邻定位的另一导线等之间出现短路的技术。
在本公开的一个方面中，一种致动器装置包括：致动器，所述致动器包括至少一个驱动元件和分别从所述至少一个驱动元件引出的至少一个第一元件触点；和导线构件，所述导线构件包括(a)分别被连接到所述至少一个第一元件触点的至少一个第一触点和(b)被构造成分别与所述至少一个第一触点传导的至少一个第一导线。所述至少一个第一导线中的每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部。在所述远端部处形成第一宽部。所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度。在所述致动器和所述导线构件彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个。所述至少一个第一触点中的每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处。所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远。所述至少一个第一触点中的每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
本公开的另一方面涉及一种导线构件的连接结构，该连接结构被构造成使至少一个第一元件触点和至少一个第一触点彼此连接。所述至少一个第一触点被构造成分别与所述导线构件的至少一个第一导线传导。所述至少一个第一导线中的每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部。在所述远端部处形成第一宽部。所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度。在所述至少一个第一元件触点和所述至少一个第一触点分别彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个。所述至少一个第一触点中的每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处。所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远。所述至少一个第一触点中的每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
在本公开的另一个方面中，一种液体喷射器包括：通道限定器，所述通道限定器中限定至少一个压力腔室；致动器，所述致动器包括：(i)至少一个压电元件，所述至少一个压电元件被设置在所述通道限定器上，以便与所述至少一个压力腔室重叠；和(ii)从所述至少一个压电元件引出的至少一个第一元件触点；和导线构件，所述导线构件包括(a)分别被连接到所述至少一个第一元件触点的至少一个第一触点和(b)被构造成分别与所述至少一个第一触点传导的至少一个第一导线。所述至少一个第一导线中的每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部。在所述远端部处形成第一宽部。所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度。在所述致动器和所述导线构件彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个。所述至少一个第一触点中的每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处。所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远。所述至少一个第一触点中的每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
在本公开的另一方面中，一种制造致动器装置的方法包括：导线形成步骤，在导线构件的基底上形成至少一个第一导线和至少一个测试触点，所述至少一个测试触点分别被连接到所述至少一个第一导线；测试步骤，使用所述至少一个测试触点执行所述至少一个第一导线的传导测试；切割步骤，在所述测试步骤之后沿所述至少一个第一导线和所述至少一个测试触点之间的区域切割所述基底；和接合步骤，在所述至少一个第一导线中的每一个的离所述基底的切割边缘比在所述切割步骤中形成的第一宽部离所述基底的切割边缘远的部分与所述致动器的所述至少一个第一元件触点重叠的状态下，将所述导线构件接合到所述致动器。
在所述致动器装置中，在所述第一元件触点和所述第一宽部的远端之间的距离大于或等于所述第一导线的宽度的两倍。
在所述致动器装置中，在所述第一元件触点和所述第一宽部的远端之间的距离小于或等于所述第一导线的宽度的二十倍。
在所述致动器装置中，所述至少一个驱动元件是多个驱动元件，每一个驱动元件包括第一电极和第二电极。所述多个驱动元件的多个第二电极彼此分离，并且所述多个驱动元件的多个第一电极彼此连接。分别从所述多个驱动元件引出的作为所述至少一个第一元件触点的多个第一元件触点分别被连接到所述多个第二电极。
在所述致动器装置中，所述致动器包括被构造成与所述多个驱动元件的所述多个第一电极传导的至少一个第二元件触点。所述导线构件包括：分别被连接到所述至少一个第二元件触点的至少一个第二触点；和沿所述至少一个第一导线延伸且分别被连接到所述至少一个第二触点的至少一个第二导线。所述至少一个第二导线中的每一个包括被设置在所述导线构件的所述边缘部处的远端部。在所述至少一个第二导线中的所述每一个的所述远端部处形成第二宽部。所述第二宽部的导线宽度大于所述至少一个第二导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度。所述至少一个第二触点中的每一个包括所述第二宽部。所述至少一个第二元件触点被设置成离所述导线构件的所述边缘部比所述多个第一元件触点离所述导线构件的所述边缘部近，并且所述至少一个第二元件触点被连接到每一个包括所述第二宽部的所述至少一个第二触点。
在所述致动器装置中，所述导线构件包括第三导线，所述第三导线位于所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线之间，并且所述第三导线沿所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线朝向所述边缘部延伸，并且所述第三导线不被连接到所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线中的任一个。
在所述致动器装置中，所述第三导线包括被设置在所述导线构件的所述边缘部处的远端部。在所述第三导线的所述远端部处形成第三宽部。所述第三宽部的导线宽度大于所述第三导线的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度。所述第三宽部被设置成在所述导线方向上超出所述至少一个第一元件触点。
在所述致动器装置中，所述导线构件的所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线之间在沿着所述导线构件的基底的边缘的方向上的距离大于或等于20μm。
在所述致动器装置中，所述致动器包括作为所述至少一个第二元件触点的多个第二元件触点。所述至少一个第二触点中的一个被设置成跨过所述多个第二元件触点。
在所述致动器装置中，所述导线构件包括作为所述至少一个第二触点的多个第二触点。所述至少一个第二元件触点中的一个被设置成跨过所述多个第二触点。
在所述致动器装置中，所述致动器包括作为所述至少一个第二元件触点的多个第二元件触点。所述导线构件包括作为所述至少一个第二触点的多个第二触点。所述多个第二触点分别被连接到所述多个第二元件触点。
在所述致动器装置中，所述多个第二触点包括每一个作为所述第二宽部的多个第二宽部。所述多个第二元件触点包括分别与所述多个第二宽部重叠的部分，并且所述多个第二元件触点的所述部分彼此接合。
在所述致动器装置中，所述多个第二元件触点中的每一个在沿着所述导线构件的边缘的方向上的宽度大于所述多个第二触点中的每一个在沿着所述导线构件的边缘的方向上的宽度。
在所述致动器装置中，所述致动器包括：在第一方向上布置的作为所述至少一个驱动元件的多个驱动元件；和分别从所述多个驱动元件在第二方向上引出的作为所述至少一个第一元件触点的多个第一元件触点，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且所述第二方向与所述致动器的设置所述多个驱动元件的表面平行。在所述第一方向上布置所述多个第一元件触点。
在所述致动器装置中，用包括传导性粒子的传导性粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器。
在所述致动器装置中，用所述传导性粘合剂覆盖所述第一宽部。
在所述致动器装置中，所述传导性粒子的密度在所述传导性粘合剂的覆盖所述第一宽部的部分处比在所述传导性粘合剂的将所述至少一个第一元件触点和所述至少一个第一触点彼此连接的部分处小。
在所述致动器装置中，用非传导性粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器。
在所述致动器装置中，用所述非传导性粘合剂覆盖所述第一宽部。
在所述致动器装置中，用粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器。用与所述粘合剂不同的绝缘材料覆盖所述第一宽部。
在所述致动器装置中，所述导线构件包括基底，在所述基底上形成所述至少一个第一导线和所述至少一个第一触点。所述基底由聚酰亚胺形成。
在所述致动器装置中，所述导线构件包括驱动电路，所述驱动电路被构造成驱动所述致动器装置。所述至少一个第一导线被构造成使所述驱动电路和所述至少一个第一触点彼此连接。
附图说明
当与附图结合考虑时，通过阅读实施例的以下详细描述将更好地理解本公开的目的、特征、优点以及技术及工业意义，在附图中：
图1是根据本实施例的打印机的示意平面视图；
图2是喷墨头的平面视图；
图3是图2中的喷墨头的后端部的放大视图；
图4是图3中的区域A的放大视图；
图5是沿图4中的线V-V截取的横截面视图；
图6是沿图4中的线VI-VI截取的横截面视图；
图7是图4中区域B的放大视图；
图8A和图8B是膜上芯片(COF)的放大视图，其中图8A示出COF的位于COF的与其上布置导线的表面的相反侧的表面，并且图8B示出COF的其上布置导线的表面；
图9A是沿图7中的线A-A截取的横截面视图；图9B是沿图7中的线B-B截取的横截面视图；图9C是沿图7中的线C-C截取的横截面视图；
图10A和10B是示出生产COF的过程的视图；
图11是示出COF的其上布置导线的表面的粘合剂区域的视图；
图12是示出COF的接合步骤的视图；
图13A-13C是每一个示出对应变型中的压电致动器的地触点和COF的地触点之间的位置关系的视图；
图14是在又一变型中的压电致动器的与图7对应的视图的放大平面视图；
图15是在又一变型中的压电致动器的与图7对应的视图的放大平面视图；
图16是在又一变型中的触点彼此接合的区域的横截面视图；
图17是在又一变型中的触点彼此接合的区域的横截面视图；并且
图18A是又一变型中的压电致动器的与图7对应的视图的放大平面视图，并且图18B是沿图18A中的线B-B截取的横截面视图。
具体实施方式
下文中，将通过参考附图描述实施例。首先，接下来将参考图1说明喷墨打印机1的总体构造。在图1中记录片材100被输送的方向被定义为打印机1的前后方向。记录片材100的宽度方向被定义为打印机1的左右方向。与前后方向及左右方向正交且与图1的纸表面垂直的方向被定义为打印机1的上下方向。
打印机的总体构造
如在图1中所示，喷墨打印机1包括滑架3、喷墨头4、输送机构5和控制器6。
滑架3被安装在左右方向(下文中也可被称为“扫描方向”)上延伸的导轨10、11上。滑架3被经由无端皮带14接合到滑架驱动马达15。滑架3被马达15驱动且在压板2上输送的记录片材100上方在扫描方向上往复移动。
喷墨头4被安装在滑架3上。四个颜色也就是黑色、黄色、青色和品红色的墨被分别经由未示出的管从由保持器7保持的四个墨盒17供应到喷墨头4。在与滑架3在扫描方向上移动的同时，喷墨头4从多个喷嘴24(见图2-6)将墨喷射到在压板2上输送的记录片材100上。
输送机构5包括两个输送辊18、19，所述两个输送辊18、19被构造成在前方向上(下文中也可以被称为“输送方向”)输送压板2上的记录片材100。
控制器6控制包括喷墨头4和滑架驱动马达15的装置以基于从外部装置例如个人计算机(PC)接收的打印指示在记录片材100上打印图像。
喷墨头的详细构造
接下来将参考图2-6说明喷墨头4的构造。应该注意，图3和图4省略图2中示出的保护器23的图示。
在本实施例中，喷墨头4喷射四个颜色(黑色、黄色、青色和品红色)的墨。如在图2-6中所示，喷墨头4包括喷嘴板20、通道限定器21和致动器装置25，致动器装置25包括压电致动器22。在本实施例中，致动器装置25不是仅指示压电致动器22，而是不仅包括压电致动器22而且包括设置在压电致动器22上的保护器23和膜上芯片(COF)50。每一个COF50是导线构件的一个示例。
喷嘴板
喷嘴板20由例如硅形成。喷嘴板20具有喷嘴24，喷嘴24在输送方向上布置。
更具体地，如在图2和图3中所示，喷嘴板20具有四个喷嘴组27，所述四个喷嘴组27在扫描方向上布置。四个喷嘴组27分别用于不同墨的喷射。每一个喷嘴组27由右和左喷嘴列28构成。在每一个喷嘴列28中，喷嘴24被以间隔P布置。在两个喷嘴列28之间喷嘴24的位置在输送方向上移位P/2。即，在每一个喷嘴组27中喷嘴24被以交错构造布置成两列。
在以下说明中，后缀k、y、c和m中的一个可被选择性地添加到喷墨头4的部件的附图标记以表示它们与黑色、黄色、青色和品红色墨中的一个的相应对应。例如，词语“喷嘴组27k”表示用于黑色墨的喷嘴组27。
通道限定器
通道限定器21是由单晶硅形成的基板。如在图3-6中所示，通道限定器21具有压力腔室26，压力腔室26与相应喷嘴24连通。每一个压力腔室26具有在平面视图中在扫描方向上伸长的矩形形状。压力腔室26被在输送方向上布置以便与喷嘴24的布置对应。压力腔室26被布置成八个压力腔室列，其中每两个对应于四种墨颜色中的一种。通道限定器21的下表面覆盖有喷嘴板20。每一个压力腔室26在扫描方向上的外端部与对应一个喷嘴24重叠。
将在下面描述的压电致动器22的振动层30被设置在通道限定器21的上表面上，以便覆盖压力腔室26。振动层30不被特别限制，只要振动层30是覆盖压力腔室26的绝缘层。在本实施例中，振动层30由硅形成的基板的表面的氧化或氮化形成。振动层30在每一个覆盖压力腔室26中的对应一个在扫描方向上的端部(所述端部位于压力腔室26的与喷嘴24的相反侧上)的区域具有墨供应孔30a。
对于每一种墨颜色，墨被从形成在将在下面描述的保护器23中的四个储存器23b中的对应一个通过相应墨供应孔30a供应到压力腔室26。当喷射能量通过将在后面描述的压电致动器22的压电元件31中的对应一个被施加到每一个压力腔室26中的墨时，墨滴被从与压力腔室26连通的喷嘴24喷射。
致动器装置
致动器装置25被设置在通道限定器21的上表面上。致动器装置25包括：压电致动器22，压电致动器包括压电元件31；保护器23；和两个COF50。
压电致动器22被设置在通道限定器21的整个上表面上。如在图3和图4中所示，压电致动器22包括压电元件31，压电元件31布置成与相应压力腔室26重叠。压电元件31被在输送方向上布置以便与压力腔室26的布置对应且构成八个压电元件列38。多个驱动触点46和两个地触点47被从压电元件列38的左四个向左引出，并且如在图2和图3中所示，触点46、47被设置在通道限定器21的左端部上。多个驱动触点46和两个地触点47被从压电元件列38的右四个向右引出，并且触点46、47被设置在通道限定器21的右端部上。将在下面详细描述压电致动器22的结构。
保护器23被设置在压电致动器22的上表面上以便覆盖压电元件31。具体地，保护器23包括八个凹入保护部23a，所述八个凹入保护部23a分别覆盖八个压电元件列38。如在图2中所示，保护器23不覆盖压电致动器22的右端部和左端部，使得驱动触点46和地触点47从保护器23露出。保护器23具有储存器23b，储存器23b连接到由保持器7保持的相应墨盒17。在每一个储存器23b中的墨通过相应墨供应通道23c和形成在振动层30中的相应墨供应孔30a供应到压力腔室26。
在图2-5中示出的每一个COF50是柔性导线(引线)构件，该柔性导线(引线)构件包括由例如聚酰亚胺膜的绝缘材料形成的基底56。驱动器IC51被安装在基底56上。相应两个COF50的一个端部被连接到打印机1的控制器6(见图1)。相应两个COF50的其它端部分别接合到压电致动器22的右端部和左端部。如在图4中所示，每一个COF50包括地导线53和多个单独导线52，所述多个单独导线52连接到相应驱动器IC51。每一个单独导线52在单独触点54中的对应一个处被连接到压电致动器22的驱动触点46中的对应一个。同样，每一个地导线53在地触点55中的对应一个处连接到压电致动器22的地触点47中的对应一个。每一个驱动器IC51经由单独触点54中的对应一个和驱动触点46中的对应一个对压电致动器22的压电元件31中的对应一个输出驱动信号。虽然在本实施例中为每一个COF50提供两个地触点47，为了简单，将对于一个地触点47给出以下说明，除非另有需要。
压电致动器的详细结构
压电致动器22包括：振动层30，振动层30形成在通道限定器21的上表面上；和压电元件31，压电元件31设置在振动层30的上表面上。为了简单，图3和图4省略图5和图6中示出的保护层40、绝缘层41和导线保护层43的图示。
如在图3-6中所示，压电元件31被布置在振动层30的上表面上以便与相应压力腔室26重叠。即，压电元件31在输送方向上被布置以便与压力腔室26的布置对应。作为结果，根据喷嘴24和压力腔室26的布置，压电元件31构成八个压电元件列38，其中每两个对应于四种墨颜色中的一种。应该注意，与四种墨颜色中的每一个对应的两个压电元件列38的压电元件31的组将被称为“压电元件组39”。如在图3中所示，与四种墨颜色相应对应的四个压电元件组39k、39y、39c、39m在扫描方向上被布置。
每一个压电元件31包括在振动层30上以该次序从下侧设置的第一电极32、压电层33和第二电极34。
如在图5和6中所示，第一电极32被形成在与形成在振动层30中的压力腔室26相对的区域处。如在图6中所示，相应压电元件31的第一电极32中的每相邻两个通过设置在压电元件31之间的电传导性部35彼此连接。换言之，第一电极32和使第一电极32彼此连接的电传导性部35构成基本覆盖振动层30的整个上表面的公共电极36。公共电极36由例如铂(Pt)形成。公共电极36的厚度是例如0.1μm。应该注意，在本说明书中，词语“传导”和“传导性”主要意味着“电传导”和“电传导性”。
压电层33由例如压电材料例如锆钛酸铅(PZT)形成。压电层33可由不包含铅的无铅压电材料形成。压电层33的厚度范围在例如1.0μm和2.0μm之间。
如在图3、图4和图6中所示，在本实施例中，相应压电元件31的压电层33在输送方向上被彼此连接以形成在输送方向上伸长的矩形压电构件37。即，由相应与八个压力腔室列对应的压电层33构成的八个压电构件37被设置在覆盖振动层30的公共电极36上。
第二电极34被设置在相应压电层33的上表面上。每一个第二电极34具有比每一个压力腔室26小的一个尺寸的在平面视图中的矩形形状。第二电极34分别与相应压力腔室26的中央部重叠。与第一电极32不同，相应压电元件31的第二电极34彼此分离且间隔开。即，第二电极34是单独为相应压电元件31设置的单独电极。第二电极34由例如铱(Ir)或铂(Pt)形成。每一个第二电极34的厚度是例如0.1μm。
如在图5和图6中所示，压电致动器22包括保护层40、绝缘层41、驱动导线42和导线保护层43。
如在图5中所示，保护层40被设置成覆盖除了相应第二电极34的中央部之外的压电构件37的表面。保护层40的主要目的之一是防止来自空气的水进入压电层33。保护层40由例如具有低渗透性的材料例如氧化物和氮化物形成。氧化物的示例包括氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiOx)和氧化钽(TaOx)。氮化物的示例包括氮化硅(SiN)。
绝缘层41被形成在保护层40的上侧上。绝缘层41的材料不被特别限定。例如，绝缘层41由二氧化硅(SiO2)形成。该绝缘层41被设置用于增加公共电极36和连接到相应第二电极34的驱动导线42之间的绝缘性。
驱动导线42被形成在绝缘层41上。驱动导线42从压电元件31的相应第二电极34引出。每一个驱动导线42由例如铝(Al)形成。如在图5中所示，每一个驱动导线42的一个端部被设置成与第二电极34的设置在压电层33中的对应一个上的端部重叠。每一个驱动导线42通过延伸贯穿保护层40和绝缘层41的贯穿电传导性部48与对应第二电极34传导。
与相应压电元件31对应的每一个驱动导线42向右或向左延伸。具体地，如在图3中所示，驱动导线42从构成四个压电元件组39的右两个压电元件组39k、39y的相应压电元件31向右延伸，并且驱动导线42从构成四个压电元件组39的左两个压电元件组39c、39m的相应压电元件31向左延伸。
每一个驱动触点46被设置在驱动导线42中的对应一个的端部上，该端部位于驱动导线42的与其上设置第二电极34的部分的相反侧上。该驱动触点46被在压电致动器22的右端部和左端部中的每一个处在输送方向上布置成列。在本实施例中，形成每种颜色的喷嘴组27的喷嘴24被以600dpi(＝42μm)间隔布置。而且，每一个驱动导线42从与相应两种颜色相关的喷嘴组27对应的压电元件31向右或向左延伸。因此，在压电致动器22的右端部和左端部中的每一个处，驱动触点46被以每一个喷嘴组27的喷嘴24的间隔的一半的很短间隔布置，即驱动触点46被以约21μm的间隔布置。
两个地触点47分别设置在在前后方向上布置成列的驱动触点46的前方和后方。每一个地触点47具有比每一个驱动触点46大的接触面积。每一个地触点47经由延伸贯穿位于地触点47正下方的保护层40和绝缘层41的传导性部65(见图7和9B)中的对应一个连接到公共电极36。
设置在压电致动器22的右端部和左端部上的驱动触点46和地触点47从保护器23露出。两个COF50分别接合到压电致动器22的右端部和左端部。每一个驱动触点46经由COF50的单独导线52中的对应一个连接到驱动器IC51中的对应一个。驱动信号被从驱动器IC51供应到驱动触点46。每一个地触点47连接到COF50的地导线53中的对应一个。地电位被从地导线53供应到地触点47。压电致动器22和COF50的接合部将在后面详细说明。
如在图5中所示，导线保护层43被设置成覆盖驱动导线42。导线保护层43增加驱动导线42之间的绝缘性。而且，导线保护层43禁止驱动导线42的材料例如Al的氧化。导线保护层43由例如氮化硅(SiNx)形成。
如在图5和图6中所示，在本实施例中，每一个第二电极34除了其周边部之外从保护层40、绝缘层41和导线保护层43露出。即，压电层33的变形不被保护层40、绝缘层41和导线保护层43阻碍。
压电致动器和COF的接合部
接下来将参考图5和图7-9C说明压电致动器22和每一个COF50的接合部的详细构造。
如上所述，驱动触点46和两个地触点47设置在压电致动器22的右端部和左端部中的每一个处。驱动触点46从相应压电元件31的第二电极34引出且在前后方向上被布置。两个地触点47分别设置在驱动触点46在前后方向上的相反侧上。每一个COF50通过传导性粘合剂60接合到压电致动器22的相应端部。
传导性粘合剂60通过将传导性粒子混合到热固性树脂例如环氧树脂中而形成。传导性粘合剂60通常以膜或浆料(paste)的形式使用。膜的一个示例是各向异性传导性膜(ACF)，并且浆料的一个示例是各向异性传导性浆料(ACP)。压电致动器22的驱动触点46和地触点47通过传导性粘合剂60的传导性粒子分别连接到设置在COF50上的单独触点54和地触点55。
首先，将描述压电致动器22的触点的构造。如在图7和图9A中所示，每一个驱动触点46被形成在设置在绝缘层41上的对应驱动导线42的远端部上。每一个驱动触点46由例如金(Au)形成。
基层64在位于驱动触点46的外侧的位置处设置在绝缘层41上。每一个基层64由与驱动导线42相同的材料形成。例如，每一个基层64由铝(Al)形成。每一个基层64经由延伸贯穿位于基层64正下方的绝缘层41和保护层40的传导性部65中的对应一个连接到公共电极36。地触点47被形成在相应基层64上。每一个地触点47由与驱动触点46相同的材料形成。例如，每一个地触点47由金(Au)形成。更具体地，每一个地触点47包括：三个小触点68，所述三个小触点68在前后方向上彼此间隔开；和连接部69，连接部69使三个小触点68的左端部(图7)彼此连接。地触点47的面积大于驱动触点46。
如在图7中所示，基层64和设置在其上的地触点47被设置在驱动触点46在左右方向上的内侧上，换言之，基层64和地触点47被设置成比驱动触点46在左右方向上更靠近COF50的边缘E。
接下来将描述设置在COF50上的导线的构造。如在图7-8B中所示，在左右方向上延伸的单独导线52和地导线53被形成在每一个COF50的基底56的端部的致动器侧表面上。对于每一个COF50，单独导线52被连接到驱动器IC51(见图5)。从驱动器IC51输出的驱动信号被从驱动器IC51供应到相应压电元件31的第二电极34。与压电致动器22的驱动触点46相同，单独导线52以很短间距(pitch)例如约21μm布置。地导线53连接到打印机1的未示出的地导线以对相应压电元件31的第一电极32施加地电位。地导线53的导线宽度大于每一个单独导线52的导线宽度。导线宽度是导线在与导线的纵向方向一致的左右方向正交的前后方向上的宽度。
在压电致动器22的右端部和左端部中的每一个处，每一个沿导线52、53延伸的两个虚设导线58被设置在地导线53和单独导线52之间。虚设导线58是不连接到单独导线52和地导线53中的任何的独立导线。虚设导线58防止连接到第一电极32的地导线53和连接到相应第二电极34的单独导线52之间的短路。每一个虚设导线58的导线宽度与每一个单独导线52的导线宽度相同。
如在图8A和8B中所示，单独导线52、地导线53和虚设导线58在图8A和8B中的左右方向上延伸。COF50包括边缘部70，边缘部70具有左边缘E，并且导线52、53、58的远端部位于COF50的边缘部70处。导线52、53、58中的每一个在其远端部处比在其位于比远端部更靠近导线的基端的部分(其位于远端部的右方的部分)处具有更大的宽度。即，每一个单独导线52的远端部具有作为部分宽部的宽部61。同样，地导线53的远端部具有宽部62，并且每一个虚设导线58的远端部具有宽部63。注意宽部61、62、63在左右方向上在大致相同区域上延伸。即，宽部61、62、63的在左右方向上位于其与COF50的边缘E的相反侧上的端部位置(即由图9中的双点划线B表示的位置)大致彼此相同。如将在后面说明的，宽部61、62、63通过在COF50的制造过程中在导线52、53、58被形成在基底56上之后切割基底56形成。
如在图8B中示出，除了单独导线52、地导线53和虚设导线58中的每一个的远端部之外，单独导线52、地导线53和虚设导线58中的每一个覆盖有呈阻焊剂形式的绝缘层57。
如在图7和图9A-9C中所示，在COF50接合到压电致动器22的状态下，COF50的左边缘E与地触点47重叠。压电致动器22的驱动触点46位于比地触点47进一步朝向右侧且在左右方向上与边缘E分开。因而，如在图9A中所示，每一个单独导线52的宽部61在作为导线方向和导线纵向方向的一个示例的左右方向上比驱动触点46进一步朝向左侧设置。换言之，宽部61被设置成在左右方向上比驱动触点46更靠近边缘E。即，COF50的连接到驱动触点46的单独触点54在从COF50的边缘E朝向相应单独导线52的基端指向的方向上在与相应宽部61间隔开的相应位置处被设置在相应单独导线52上。换言之，单独触点54在位于比相应宽部61进一步朝向右侧的相应位置处设置在相应单独导线52上。
如在图7中所示，压电致动器22的地触点47在左右方向上位于比驱动触点46更靠近COF50的边缘E。如在图9B中所示，当从上方看时，地导线53的宽部62与地触点47重叠。即，COF50的连接到地触点47的地触点55包括地导线53的宽部62。
COF50的每一个地触点55在前后方向上的宽度特别是宽部62的宽度大于压电致动器22的地触点47的每一个小触点68的宽度。地触点55的宽部62被设置成跨过地触点47的三个小触点68。
如在图9C中所示，与相应单独导线52的宽部61相同，相应虚设导线58的宽部63被设置成比驱动触点46进一步朝向左侧。与单独导线52和地导线53不同，虚设导线58不连接到压电致动器22的导线。
压电致动器22的触点46、47和COF50的触点54、55经由包含在传导性粘合剂60中的传导性粒子彼此电连接。作为传导性粘合剂60的主要成分的热固性树脂流出到这些触点周围的区域。热固性树脂的硬化将压电致动器22和COF50的基底56彼此机械地接合。
触点周围的传导性粘合剂60的传导性粒子的密度相当大地低于触点46和触点54之间以及触点47和触点55之间的传导性粘合剂60的传导性粒子的密度。换言之，当传导性粘合剂60在压电致动器22的触点46、47中的每一个和COF50的触点54、55中的对应一个之间被压缩时，作为传导性粘合剂60的主要成分的热固性树脂在传导性粒子前面流出到触点周围的区域，导致触点之间传导性粒子的密度的增加。在图9A和图9B中，粗阴影线表示触点之间的具有高密度的传导性粒子的传导性粘合剂60的部分。由于传导性粒子的密度随着距触点距离的增加而下降，所以在图9A和图9B中，表示粘合剂60的阴影线的密度随着距触点距离的增加而减少。因此，压电致动器22的触点46、47和COF50的触点54、55通过以高密度设置的传导性粒子彼此电连接。相反，触点周围传导性粒子的密度低，导致较少发生通过传导性粒子的传导。
在如上所述的本实施例中，宽部61、62、63分别形成在位于COF50的边缘部70处的相应导线52、53、58的远端部处。在该构造中，通过短距离布置的每一个单独导线52在宽部61处具有长导线宽度。因此，单独导线52之间的距离在边缘E处短。因而，如果单独导线52在宽部61处被连接到压电致动器22的驱动触点46，则在彼此靠近的单独导线52之间或在单独导线52和连接到另一单独导线52的驱动触点46之间更高可能性地出现短路。
例如，当COF50被接合到压电致动器22时，即使COF50相对于压电致动器22的位置的轻微不对准可能引起在单独导线52和位于邻接单独导线52且不打算与之连接的驱动触点46之间的短路。而且，在如本实施例中COF50用传导性粘合剂60接合到驱动触点46并且传导性粘合剂60的传导性粒子已流出到驱动触点46周围的区域的情况下，随着彼此靠近的单独导线52之间的距离的减少，发生短路的可能性增加。
然而，在本实施例中，COF50的每一个单独导线52的宽部61被设置成超出对应驱动触点46以便从驱动触点46在单独导线52的纵向方向上突出。换言之，宽部61位于比驱动触点46在左右方向上更靠近COF50的边缘E，该边缘E被连接到压电致动器22。将被连接到相应驱动触点46的单独触点54位于比相应宽部61更靠近相应单独导线52的基端。即，单独导线52的连接到驱动触点46的部分的宽度小于宽部61的宽部。因此，(i)每一个单独导线52和(ii)设置成邻接所述每一个单独导线52的另一单独导线52或驱动触点46之间的距离不大，从而防止短路。
从更可靠地防止短路的观点，驱动触点46和宽部61的远端之间的距离L、即单独导线52从驱动触点46的突起的量(突出量)优选大于或等于单独导线52的宽度W的两倍。然而，如果突出量(距离L)太大，对于压电致动器22的接合到COF50的部分需要大面积，导致压电致动器22的尺寸的增加。从该观点，距离L优选小于或等于单独导线52的宽度W的二十倍。
如在图9A和9B中所示，传导性粘合剂60覆盖触点46、47的接合部和触点54、55的接合部周围的区域。特别地，传导性粘合剂60的部分60a覆盖不连接到压电致动器22的驱动触点46的单独导线52的宽部61。传导性粒子的密度在覆盖宽部61的部分60a处比在传导性粘合剂60的使驱动触点46和单独触点54彼此连接的部分处低。该构造更可靠地防止单独导线52之间以及单独导线52和驱动触点46之间的短路。应该注意，任何绝缘材料可被用作覆盖宽部61的材料。然而，在接合时用传导性粘合剂60覆盖宽部61消除此后用另一材料覆盖宽部61的步骤的需要。
地触点47和地触点55被连接到公共电极36。由于当很多压电元件31同时被驱动时大量电流流入公共电极36，所以连接到公共电极36的路径的电阻需要是小的以便防止电压的下降。从该观点，地触点47和地触点55之间的在其之间的接合部处电阻优选是小的。
在这点上，本实施例中，COF50的地触点55包括地导线53的宽部62。压电致动器22的地触点47被设置成比驱动触点46更靠近COF50的边缘E。通过该构造，地触点47被连接到包括宽部62的地触点55。该连接减少了在地触点47和地触点55的接合部处的电阻。
如在图7中所示，压电致动器22的地触点47包括三个小触点68。COF50的地触点55被设置成跨过地触点47的三个小触点68。通过该构造，粘合剂60进入每一个介于三个小触点68中的对应相邻两个之间的区域，导致压电致动器22和COF50之间的接合的增加的强度。
在本实施例中，如在图7中所示，虚设导线58被设置在COF50的单独导线52和地导线53之间以防止其间短路。与单独触点54的宽部61相同，形成在每一个虚设导线58的远端部处的宽部63被设置成在导线方向上超出驱动触点46，即宽部63位于比驱动触点46在导线方向上更靠近COF50的边缘E。在该构造中，虚设导线58的宽部63也被设置成与驱动触点46间隔开。该布置防止驱动触点46和虚设导线58之间的传导，虚设导线58是将与地导线53和单独导线52两者都分离的独立图案。
如在图9C中所示，与单独导线52的宽部61相同，虚设导线58的宽部63覆盖有传导性粘合剂60。该构造可靠地防止在单独导线52和驱动触点46中的每一个与虚设导线58之间的传导。
接下来将说明喷墨头4的制造，主要集中于生产致动器装置25的COF50的步骤和将COF50接合到压电致动器22的步骤。
导线形成步骤
将参考图10A和图10B说明生产COF50的步骤。如在图10A中所示，包括单独导线52、地导线53和虚设导线58的导线图案被形成在呈由树脂例如聚酰亚胺形成的膜的形式的基底56的两个相反表面之一上。通过导线图案的这种形成，测试触点71、72、73也被形成以便分别连接到单独导线52、地导线53和虚设导线58的远端部。测试触点71、72、73中的每一个具有比导线52、53、58中的对应一个大的宽度且具有大于或等于预定面积的面积。
覆盖步骤
在导线图案被形成在基底56上之后，呈阻焊剂形式的绝缘层57被形成在基底56的除了设置导线52、53、58的远端部和测试触点71、72、73的区域之外的基本整个表面上。而且，驱动器IC51被安装在基底56上。
测试步骤
使未示出的探针与测试触点71、72、73形成接触以对于相应导线52、53、58执行传导测试。应该注意，虚设导线58是不连接到驱动器IC51或地的独立导线，但是，与单独导线52和地导线53相同，对于相应虚设导线58执行传导测试用于检查虚设导线58不与设置成邻接虚设导线58的单独导线52或地导线53传导。
切割步骤
在传导测试完成之后，测试触点71、72、73不再需要。因而，如在图10B中所示，基底56被沿每一个位于导线52、53、58中的每一个和测试触点71、72、73中的对应一个之间的位置切割。切割基底56的方法不被特别限制。例如，基底56可通过使用两个金属模具的剪切切割。在本实施例中，由于基底56由聚酰亚胺膜构成，所以容易利用模具切割基底56。然而，在基底56被切割的位置处，导线在某些程度上被压扁，使得在基底56的包括切割边缘E的边缘部70处，宽部61、62、63被形成在相应导线52、53、58上。在具有比聚酰亚胺膜更抗切割的材料被用作基底56的情况下，导线被更大量地压扁，导致宽部61、62、63的较大尺寸。例如，在导线52的宽度是10μm的情况下，宽部61在切割边缘E处的最大宽度是约15μm。
接合步骤
以上述步骤中制造的COF50然后被接合到压电致动器22。在该接合步骤中，传导性粘合剂60(ACF或ACP)被首先施加到在COF50的边缘部70处从绝缘层57露出的单独导线52和地导线53。
在使用传导性粘合剂60的接合中，如上所述，在包含在粘合剂60中的传导性粒子和热固性树脂一起流出到触点周围的区域情况下，可能在与需要传导的位置不同的位置处引起不需要的传导(短路)。在本实施例中，为了解决该问题，传导性粘合剂60不被施加到基底56的从绝缘层57露出的整个区域而是主要施加到需要传导的区域。例如，如在图11中所示，在基底56的从绝缘层57露出的区域上，传导性粘合剂60不被施加到包括边缘E的边缘部70。结果，在还未被接合的基底56上，单独导线52的宽部61和虚设导线58的宽部63不覆盖有传导性粘合剂60。应该注意，在图11中，地导线53的宽部62不覆盖有的传导性粘合剂60，但是传导性粘合剂60可被施加到宽部62，因为宽部62不与地触点47传导。
如在图12中所示，COF50然后被放置到压电致动器22上的布置触点46、47的区域处。在该放置中，COF50被放置成使得单独导线52的位于比宽部61更远离基底56的边缘E的单独触点54与压电致动器22的驱动触点46重叠。加热器板67然后被压靠COF50的上表面。
加热器板67的该挤压加热且压缩压电致动器22和COF50之间的传导性粘合剂60。在该操作期间，在每一个驱动触点46和对应单独触点54之间和每一个地触点47和对应地触点55之间的区域处，包含在粘合剂60中的热固性树脂流出到触点周围的区域，从而触点通过传导性粒子彼此传导。而且，已流出到触点周围的区域的热固性树脂硬化，使得压电致动器22和COF50彼此机械地接合。
应该注意，如在图11中所示，在接合之前传导性粘合剂60不被施加到单独导线52的宽部61和虚设导线58的宽部63，但是在接合时加热器板67的温度和挤压力的适当控制得宽部61、63能够被已经从宽部61、63周围的区域流动的传导性粘合剂60覆盖。加热器板67的温度和挤压力也被控制以便不引起传导性粒子从压电致动器22的触点46、47中的每一个和COF50的触点54、55中的对应一个之间的区域流出。通过这些控制，使得覆盖宽部61、63的传导性粒子的密度低于触点彼此连接的区域处的传导性粒子的密度。
在上述实施例中，喷墨头4是液体喷射器的一个示例。压电致动器22是致动器的一个示例。前后方向(输送方向)是第一方向的一个示例。左右方向(扫描方向)是第二方向的一个示例。左右方向(扫描方向)与COF50上的导线52、53、58中的每一个延伸的方向一致，并且左右方向(扫描方向)是导线方向的一个示例。
每一个COF50是导线构件的一个示例。每一个驱动器IC51是驱动电路的一个示例。COF50的每一个单独触点54是第一触点的一个示例。每一个单独导线52是第一导线的一个示例。每一个宽部61是第一宽部的一个示例。COF50的每一个地触点55是第二触点的一个示例。每一个地导线53是第二导线的一个示例。每一个宽部62是第二宽部的一个示例。每一个虚设导线58是第三导线的一个示例。每一个宽部63是第三宽部的一个示例。压电致动器22的每一个驱动触点46是第一元件触点的一个示例。地触点47的三个小触点68中的每一个是第二元件触点的一个示例。
接下来将说明该实施例的变型。应该注意，与上述实施例中使用的相同的附图标记被用于指示变型的对应元件，并且省略其说明。
在上述实施例中，压电致动器22的每一个地触点47包括多个小触点68(见图7)。在变型中，如在图13A中所示，COF50A的地触点55A可包括多个小触点74。在图13A中，地触点55A包括三个小触点74。宽部62A被形成在每一个小触点74的位于靠近COF50A的边缘EA的远端部处。压电致动器22A的地触点47A是被称为实体图案(solid pattern)且在地触点55A的三个小触点74上跨过设置的地触点。而且在该构造中，在COF50A的接合时，粘合剂进入每一个介于三个小触点74中的对应相邻两个之间的区域，导致压电致动器22和COF50A之间的增加的接合强度。
如在图13B中所示，该喷墨头4可被构造成使得压电致动器22B的地触点47B包括三个小触点68B，并且COF50B的地触点55B包括三个小触点74B。宽部62B被形成在三个小触点74B中的每一个的位于靠近边缘EB的远端部处。三个小触点68B和三个小触点74B在小触点68B和相应小触点74B彼此重叠的状态下彼此接合。而且在该构造中，粘合剂进入每一个介于三个小触点68B中的对应相邻两个之间的区域和介于三个小触点74B中的对应相邻两个之间的区域，导致压电致动器22和COF50B之间的增加的接合强度。而且，当与图7和图13A中示出的构造相比，地触点47和地触点55之间的空间具有复杂化形状，导致压电致动器22和COF50B之间的接合强度的较大增加。
在图13B中，地触点47B的每一个小触点68B沿边缘EB的宽度W1大于地触点55B的相应小触点74B的宽部62B中的每一个的宽度W2。在该构造中，地触点47B的小触点68B与相应小触点74B的整个宽部62B完全重叠，导致触点47B和触点55B之间更小的电阻。
图13C中的构造类似于图13B中的构造，但是与图13B中的构造不同在于压电致动器22C的地触点47C的三个小触点68C在与COF50C的地触点55C的相应三个小触点74C的宽部62C重叠的区域处彼此连续，以便形成实体图案75。而且，在该构造中，地触点47C的小触点68C与地触点55C的相应小触点74C的整个宽部62C完全重叠，导致触点47C和触点55C之间更小的电阻。
在上述实施例中，如在图7中所示，压电致动器22的地触点47仅被设置在位于比驱动触点46在左右方向上更靠近COF50的边缘E的位置处。在另一变型中，如在图14中所示，地触点47D可延伸到在左右方向上与驱动触点46相同的位置。即，地触点47D仅至少需要具有位于比驱动触点46在左右方向上更靠近边缘E的部分。
在另一变型中，如在图15中所示，在COF50E的单独导线52和地导线53之间可没有设置虚设导线。从防止地导线53和单独导线52之间的短路的观点，这些导线52、53优选彼此间隔开大于或等于预定距离L1。具体地，优选形成足够大到其中设置至少一个单独导线52的空间。例如，在每一个单独导线52的宽度是10μm的情况下，距离L1被设定成大于或等于20μm。
在上述实施例中，压电致动器22和COF50通过传导性粘合剂60(ACF或ACP)彼此接合。在另一变型中，如在图16中所示，压电致动器22和COF50可通过非传导性粘合剂80(NCF或NCP)彼此接合。具体地，在压电致动器22的驱动触点46等和COF50的单独触点54等分别彼此接触的状态下，压电致动器22和COF50通过触点周围的粘合剂80的硬化机械地彼此接合。非传导性粘合剂80与传导性粘合剂60不同包含非传导性粒子。因而，即使在接合时粘合剂已经流到触点周围的区域的情况下，在与触点不同的区域处不发生传导(短路)。应该注意，在图16中的构造中，COF50的单独导线52的宽部61优选也被覆盖有非传导性粘合剂80。
在另一变型中，COF的导线的宽部可不覆盖有用于COF的接合的粘合剂。例如，如在图17中所示，相应单独导线52的宽部61可覆盖有与粘合剂80不同的绝缘材料81。
如在图18A和图18B中所示，导线保护层43F可被形成为覆盖每一个驱动导线42的设置驱动触点46中的对应一个的端部。驱动触点46和驱动导线42的端部通过延伸贯穿导线保护层43F的传导性部90彼此传导。在该构造中，导线保护层43F覆盖除了驱动导线42的与相应驱动触点46传导的部分之外的整个驱动导线42。因而，即使在COF50的制造中，在基底56的切割时(见图10B)，传导性毛刺或翼片被形成边缘EF上的情况下，导线保护层43F防止COF50的相应单独导线52(相应宽部61)之间由于毛刺或翼片传导。
应该注意，如在图18A中所示，导线保护层43F可覆盖设置地触点47的基层64。然而，在地触点47的情况下，由于毛刺或翼片的传导几乎不引起问题。因而，导线保护层43F可不覆盖设置地触点47的基层64。在基层64覆盖有导线保护层43F的情况下，基层64和地触点47通过延伸贯穿导线保护层43F的传导性部91彼此传导。
驱动触点和地触点在一个喷墨头中的布置不限于上述实施例中的布置(见图2-4)。例如，喷墨头可被构造成使得压电元件的所有导线被在一个方向上引出，并且在压电致动器的一个端部处所有驱动触点被布置成列。喷墨头可被构造成使得压电元件的所有导线朝向压电致动器的中央部引出，并且在压电致动器的中央部处所有驱动触点被布置成列。地触点的数目不限于两个，并且可以是一个或三个或以上。
在上述实施例中的喷墨头4是被构造成在记录片材100的宽度方向上移动的同时喷射墨的串行头。然而，本公开可被应用于具有在片材的宽度方向上布置的喷嘴的行式头。
虽然在上述实施例中，本公开被应用于被构造成喷射墨到记录片材上以记录图像的喷墨头，但是本公开可被应用到用于除了液体喷射之外的目的的致动器装置。而且，致动器不限于包括多个压电元件的压电致动器。例如，致动器可以是包括作为驱动元件的加热器的致动器，该驱动元件通过利用当电流通过加热器时产生的热引起驱动。

Claims (25)

1.一种致动器装置，包括：
致动器，所述致动器包括至少一个驱动元件和分别从所述至少一个驱动元件引出的至少一个第一元件触点；和
导线构件，所述导线构件包括(a)分别被连接到所述至少一个第一元件触点的至少一个第一触点和(b)被构造成分别与所述至少一个第一触点传导的至少一个第一导线，
所述至少一个第一导线每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部，在所述远端部处形成第一宽部，所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度，
在所述致动器和所述导线构件彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个，
所述至少一个第一触点每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处，所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远，所述至少一个第一触点每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
2.根据权利要求1所述的致动器装置，其中在所述第一元件触点和所述第一宽部的远端之间的距离大于或等于所述第一导线的宽度的两倍。
3.根据权利要求2所述的致动器装置，其中在所述第一元件触点和所述第一宽部的远端之间的距离小于或等于所述第一导线的宽度的二十倍。
4.根据权利要求3至5中的任一项所述的致动器装置，
其中所述至少一个驱动元件是多个驱动元件，每一个驱动元件包括第一电极和第二电极，
其中所述多个驱动元件的多个第二电极彼此分离，并且所述多个驱动元件的多个第一电极彼此连接，并且
其中分别从所述多个驱动元件引出的作为所述至少一个第一元件触点的多个第一元件触点分别被连接到所述多个第二电极。
5.根据权利要求4所述的致动器装置，
其中所述致动器包括被构造成与所述多个驱动元件的所述多个第一电极传导的至少一个第二元件触点，
其中所述导线构件包括：分别被连接到所述至少一个第二元件触点的至少一个第二触点；和沿所述至少一个第一导线延伸且分别被连接到所述至少一个第二触点的至少一个第二导线，
其中所述至少一个第二导线中的每一个包括被设置在所述导线构件的所述边缘部处的远端部，在所述至少一个第二导线中的所述每一个的所述远端部处形成第二宽部，所述第二宽部的导线宽度大于所述至少一个第二导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度，
其中所述至少一个第二触点中的每一个包括所述第二宽部，
其中所述至少一个第二元件触点被设置成离所述导线构件的所述边缘部比所述多个第一元件触点离所述导线构件的所述边缘部近，并且所述至少一个第二元件触点被连接到每一个包括所述第二宽部的所述至少一个第二触点。
6.根据权利要求5所述的致动器装置，其中所述导线构件包括第三导线，所述第三导线位于所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线之间，并且所述第三导线沿所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线朝向所述边缘部延伸，并且所述第三导线不被连接到所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线中的任一个。
7.根据权利要求6所述的致动器装置，
其中所述第三导线包括被设置在所述导线构件的所述边缘部处的远端部，在所述第三导线的所述远端部处形成第三宽部，所述第三宽部的导线宽度大于所述第三导线的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度，并且
其中所述第三宽部被设置成在所述导线方向上超出所述至少一个第一元件触点。
8.根据权利要求5所述的致动器装置，其中所述导线构件的所述至少一个第一导线和所述至少一个第二导线之间在沿着所述导线构件的基底的边缘的方向上的距离大于或等于20μm。
9.根据权利要求5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述致动器包括作为所述至少一个第二元件触点的多个第二元件触点，并且
其中所述至少一个第二触点中的一个被设置成跨过所述多个第二元件触点。
10.根据权利要求5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述导线构件包括作为所述至少一个第二触点的多个第二触点，并且
其中所述至少一个第二元件触点中的一个被设置成跨过所述多个第二触点。
11.根据权利要求5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述致动器包括作为所述至少一个第二元件触点的多个第二元件触点，
其中所述导线构件包括作为所述至少一个第二触点的多个第二触点，并且
其中所述多个第二触点分别被连接到所述多个第二元件触点。
12.根据权利要求11所述的致动器装置，
其中所述多个第二触点包括每一个作为所述第二宽部的多个第二宽部，并且
其中所述多个第二元件触点包括分别与所述多个第二宽部重叠的部分，并且所述多个第二元件触点的所述部分彼此接合。
13.根据权利要求11所述的致动器装置，其中所述多个第二元件触点中的每一个在沿着所述导线构件的边缘的方向上的宽度大于所述多个第二触点中的每一个在沿着所述导线构件的边缘的方向上的宽度。
14.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述致动器包括：在第一方向上布置的作为所述至少一个驱动元件的多个驱动元件；和分别从所述多个驱动元件在第二方向上引出的作为所述至少一个第一元件触点的多个第一元件触点，所述第二方向与所述第一方向交叉，并且所述第二方向与所述致动器的设置所述多个驱动元件的表面平行，并且
其中在所述第一方向上布置所述多个第一元件触点。
15.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，其中用包括传导性粒子的传导性粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器。
16.根据权利要求15所述的致动器装置，其中用所述传导性粘合剂覆盖所述第一宽部。
17.根据权利要求16所述的致动器装置，其中所述传导性粒子的密度在所述传导性粘合剂的覆盖所述第一宽部的部分处比在所述传导性粘合剂的将所述至少一个第一元件触点和所述至少一个第一触点彼此连接的部分处小。
18.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，其中用非传导性粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器。
19.根据权利要求18所述的致动器装置，其中用所述非传导性粘合剂覆盖所述第一宽部。
20.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中用粘合剂将所述导线构件接合到所述致动器，并且
其中用与所述粘合剂不同的绝缘材料覆盖所述第一宽部。
21.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述导线构件包括基底，在所述基底上形成所述至少一个第一导线和所述至少一个第一触点，并且
其中所述基底由聚酰亚胺形成。
22.根据权利要求1至3和5至8中的任一项所述的致动器装置，
其中所述导线构件包括驱动电路，所述驱动电路被构造成驱动所述致动器装置，并且
其中所述至少一个第一导线被构造成使所述驱动电路和所述至少一个第一触点彼此连接。
23.一种导线构件的连接结构，被构造成使至少一个第一元件触点和至少一个第一触点彼此连接，所述至少一个第一触点被构造成分别与所述导线构件的至少一个第一导线传导，
所述至少一个第一导线每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部，在所述远端部处形成第一宽部，所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度，
在所述至少一个第一元件触点和所述至少一个第一触点分别彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个，
所述至少一个第一触点每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处，所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远，所述至少一个第一触点每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
24.一种液体喷射器，包括：
通道限定器，所述通道限定器中限定至少一个压力腔室；
致动器，所述致动器包括：(i)至少一个压电元件，所述至少一个压电元件被设置在所述通道限定器上，以便与所述至少一个压力腔室重叠；和(ii)从所述至少一个压电元件引出的至少一个第一元件触点；和
导线构件，所述导线构件包括(a)分别被连接到所述至少一个第一元件触点的至少一个第一触点和(b)被构造成分别与所述至少一个第一触点传导的至少一个第一导线，
所述至少一个第一导线每一个包括被设置在所述导线构件的边缘部处的远端部，在所述远端部处形成第一宽部，所述第一宽部的导线宽度大于所述至少一个第一导线中的所述每一个的除了其所述远端部之外的部分的导线宽度，
在所述致动器和所述导线构件彼此接合的状态下，所述至少一个第一导线中的每一个的所述第一宽部被设置成在所述至少一个第一导线中的所述每一个延伸的导线方向上超出所述至少一个第一元件触点中的对应一个，
所述至少一个第一触点每一个被设置在所述至少一个第一导线中的对应一个的基端部处，所述基端部被定位得离所述导线构件的所述边缘部比所述第一宽部离所述导线构件的所述边缘部远，所述至少一个第一触点每一个被连接到所述至少一个第一元件触点中的对应一个。
25.一种制造致动器装置的方法，包括：
导线形成步骤，在导线构件的基底上形成至少一个第一导线和至少一个测试触点，所述至少一个测试触点分别被连接到所述至少一个第一导线；
测试步骤，使用所述至少一个测试触点执行所述至少一个第一导线的传导测试；
切割步骤，在所述测试步骤之后沿所述至少一个第一导线和所述至少一个测试触点之间的区域切割所述基底；和
接合步骤，在所述至少一个第一导线中的每一个的离所述基底的切割边缘比在所述切割步骤中形成的第一宽部离所述基底的切割边缘远的部分与所述致动器的所述至少一个第一元件触点重叠的状态下，将所述导线构件接合到所述致动器。
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