JPH09174840A - インクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニット、その製造方法、及び接続用のフレキシブルケーブル - Google Patents

インクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニット、その製造方法、及び接続用のフレキシブルケーブル

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JPH09174840A
JPH09174840A JP7351653A JP35165395A JPH09174840A JP H09174840 A JPH09174840 A JP H09174840A JP 7351653 A JP7351653 A JP 7351653A JP 35165395 A JP35165395 A JP 35165395A JP H09174840 A JPH09174840 A JP H09174840A
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    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491—Electrical connection

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Accessory Devices And Overall Control Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度配列された圧電振動子とフレキシブル
ケーブルとの接続状態の検査を簡素化すること。 【解決手段】 セグメント電極のそれぞれに独立して接
続する直線状のセグメント電極接続領域２１ａと、複数
の隣接する圧電振動子２が跨ぎ、かつ共通電極の接続部
に接続される斜線領域２１ｃと、斜線領域２１ｃを介し
て接続する共通電極接続用導電パターン２２とを有し、
セグメント電極接続領域２１ａと斜線領域２１ｃとの間
が窓２３により分離されたフレキシブルケーブル１０に
より外部駆動回路に接続する。斜線領域２１ｃの先端側
の自由端となるプローブ接続領域を接続しておくことに
より、ここにプローブを接続して半田付けに起因するセ
グメント電極間の短絡の有無を検査する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、圧力発生室の一
方の面を振動板で封止し、この振動板を縦振動モードの
圧電振動子により圧力発生室を膨張、収縮させてノズル
開口からインク滴を発生させるインクジェット式記録ヘ
ッドに適した圧電振動子ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、特開平5-104715号公報に示され
たような縦振動モードの圧電振動子をインクジェット式
記録ヘッドの駆動に使用すると、圧電振動子と振動板と
の当接面積を極めて小さくできるため、９０ＤＰＩ程度
までの解像度を実現できる。
【０００３】縦振動モードの圧電振動子は、圧電材料、
一方の極となるセグメント電極及び他方の極となる共通
電極とを交互に積層するとともに、セグメント電極を伸
長方向の後端から、また共通電極を後端から露出させ、
少なくともこれら露出部において同一の極を並列接続す
る外部電極を形成して構成されており、これら複数の圧
電振動子を固定基板に一定ピッチで取付けて振動子ユニ
ットに纏めた上で記録ヘッドに組み込まれている。
【０００４】このようにして構成された振動子ユニット
は、特開平5-104715号公報に見られるように、共通電極
の外部電極を後端側に位置するセグメント電極の外部電
極の近傍まで延長し、これら外部電極の内共通電極の外
部電極をフレキシブルケーブルの先端側で幅方向に延び
る共通電極接続導電パターンに、また後端側のセグメン
ト電極の外部電極を共通電極接続導電パターンよりも内
側に形成されたセグメント電極導電パターンにそれぞれ
独立に接続され、このフレキシブルケーブルの他端に接
続された外部駆動回路から個々の圧電振動子に個別的に
駆動信号を供給するように構成されている。
【０００５】圧電振動子の外部電極とフレキシブルケー
ブルの各接続用導電パターンとの接続には、通常、クリ
ーム半田による半田付けの手法が用いられいて、特に小
さなピッチで配列された圧電振動子のセグメント電極接
続用導電パターンの間に半田が流れ込んで短絡を起こす
という問題がある。このため、半田付け作業終了後に、
セグメント電極接続用導電パターンの圧電振動子が固定
されている側とは反対側にプローブを接続して、圧電振
動子の各セグメント電極導電パターン間での短絡の有無
をチェックすることが行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、１つの
固定基板に１２８個以上の圧電振動子を７０乃至１５０
μｍ程度（１８０〜３６０ｄｐｉ）のピッチで固定した
高密度印刷に用いる記録ヘッドの圧電振動子ユニットに
あっては、限り有るフレキシブルケーブルの幅内に多数
の導電パターンを形成しようとすると、フレキシブルケ
ーブルに形成されている導電パターンの幅が、２０〜５
０μｍ程度といきおい細くなって電気抵抗が極めて増大
するという問題がある。
【０００７】このような問題を解消するため、圧電振動
子の近傍のフレキシブルケーブル上に印刷信号を各圧電
振動子を駆動するための個々の駆動信号に変換する半導
体集積回路を実装し、駆動信号の伝送距離を可及的に短
くして電気抵抗の増大に対処することが検討されてい
る。
【０００８】このような構成を採ると、フレキシブルケ
ーブルでの駆動信号の減衰を可及的に低く抑えることが
できる反面、フレキシブルケーブルの圧電振動子の他端
側、つまり外部駆動回路接続側が半導体集積回路に直結
されているため、フレキシブルケーブルの他端側から圧
電振動子間のセグメント電極間の導電性をチェックする
ことができなくなり、圧電振動子と半導体集積回路との
間の、半導体集積回路から圧電振動子に駆動信号を伝送
する狭い領域の導電パターンにプローブを接続する作業
が必要となって、検査が困難になるという問題がある。
【０００９】本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであってその目的とするところは、高密度配列がな
された圧電振動子とフレキシブルケーブルとの接続の良
否を簡単に検査することができる圧電振動子ユニットを
提供することである。
【００１０】また、本発明の他の目的は、上記圧電振動
子ユニットの製造方法を提案することである。
【００１１】さらに本発明の他の目的は、上記圧電振動
子ユニットを構成するのに適したフレキシブルケーブル
を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、一方の極となるセグメント
電極と、他方の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで
交互に積層するとともに、前記セグメント電極を後端側
から、また前記共通電極を前端側から露出させて外部電
極により後端側の一方の面に延長して前記セグメント電
極の接続部、及び共通電極の接続部が形成された複数の
圧電振動子を固定板に一定のピッチで固定するととも
に、前記セグメント電極のそれぞれに独立して接続する
直線状のセグメント電極接続領域と、複数の隣接する圧
電振動子が跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に接続され
る斜線領域と、前記斜線領域を介して接続する共通電極
接続用導電パターンとを有し、前記セグメント電極接続
領域と前記斜線領域との間が窓により分離されたフレキ
シブルケーブルにより外部駆動回路に接続されるように
した。
【００１３】
【作用】セグメント電極接続領域を接続した段階では、
斜線領域側が自由端でかつ斜線領域がセグメント電極接
続領域と個別的に導電関係を維持しているので、斜線領
域の先端側にプローブ接続領域を形成しておいて、半田
付けに起因するセグメント電極間の短絡の有無を検査に
供する。検査後にセグメント電極接続領域と斜線領域と
の間に形成された窓により斜線領域がセグメント電極接
続領域から独立して共通電極接続用導電パターンに接続
される。
【００１４】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例の基づいて説明する。図１（イ）、（ロ）
は、それぞれ本発明の振動子ユニットの一実施例を、フ
レキシブルケーブル接続前の状態、及びフレキシブルケ
ーブル接続後の状態で示すものであって、図中符号１
は、フレキシブルケーブル１０が接続される前の圧電振
動子ユニット本体で、複数の圧電振動子２、２、２‥‥
及び側端側にダミー振動子３を固定基板４に一定ピッチ
で固定して構成されている。
【００１５】これら圧電振動子２は、図１（ロ）に示し
たようにセグメント電極５と共通電極６との間に圧電材
料７に介装させて積層し、セグメント電極５の後端５ａ
（固定基板４側）を圧電材料７の後端側から露出させ、
また共通電極６の先端６ａを圧電材料７の先端側から露
出させ、セグメント電極５が露出している後端面、上
面、及び下面に外部電極８を、また共通電極６が露出し
ている先端面、上面、及び下面に外部電極９を設けて１
つの圧電振動子２の複数のセグメント電極５、及び複数
の共通電極６がそれぞれ外部電極８、９により並列に接
続されて構成されている。
【００１６】その上で、各圧電振動子２のセグメント電
極５の外部電極８、及び共通電極６の外部電極９をそれ
ぞれ少なくとも固定基板４が取付けられている面とは反
対側の面に沿って固定基板４近傍まで延長して後述する
フレキシブルケーブル１０と半田付けするための接続部
１１、１２が形成されている。
【００１７】図２（イ）、（ロ）は、それぞれ圧電振動
子１とフレキシブルケーブル１０との接続状態を固定基
板４を外して示すものであって、セグメント電極５の接
続部１１は、フレキシブルケーブル１０に実装されてい
る駆動信号発生用の半導体集積回路２０から延びる駆動
信号供給用導電パターン２１、２１‥‥に、また共通電
極６の接続部１２は、駆動信号供給用導電パターン２
１、２１‥‥の先端に形成されている後述する斜線部２
１ｃにそれぞれ半田付けにより導電関係を維持するよう
に固定され、フレキシブルケーブル１０の側部に形成さ
れた共通電極導電パターン２２に接続されている。
【００１８】一方、フレキシブルケーブル１０の半導体
集積回路２０から他端側（図中、左側）には、図示しな
い外部駆動回路に接続して半導体集積回路２０に印刷信
号を供給するための導電パターン２４、２４‥‥が設け
られている。このように外部駆動回路からフレキシブル
ケーブルを介して印刷信号を半導体集積回路２０に供給
し、半導体集積回路で個々の圧電振動子２を駆動するた
めの駆動信号を生成する手法を採ると、圧電振動子の数
に関わりなく印刷信号伝送用導電パターンの本数を少な
くできるため、フレキシブルケーブルの拡幅を招くこと
無く、広い幅の印刷信号伝送用導電パターンを形成する
ことができる。
【００１９】図３は、フレキシブルケーブル１０の一実
施例を、半導体集積回路２０と圧電振動子の接続領域と
の間を拡大して示すものであって、駆動信号供給用導電
パターン２１、２１‥‥の先端には圧電振動子２、２‥
‥のセグメント電極５の接続部と個別的に接続する直線
状の接続領域２１ａ，２１ａ‥‥と、最終的には共通電
極５に接続されるそれぞれ隣接するものと一定の間隔を
持つ斜線領域２１ｃと、一時的にこれらの領域２１ａ、
２１ｃを接続する接続領域２１ｂと、斜線領域の先端側
に連続するプローブ接続領域２１ｄ、２１ｄとが形成さ
れている。
【００２０】この斜線領域２１ｃは、圧電振動子２の少
なくとも２本以上、この実施例では４本分の幅に相当す
る高さＨを有し、「Ｖ」字状に形成されていて、圧電振
動子側（図では下方）にはセグメント電極接続領域２１
ａ、２１ａ‥‥と同一線上に位置するように直線状のプ
ローブ接続領域２１ｄ、２１ｄ‥‥が、隣接するもの同
士が重ならないように一定の間隙を空けて設けられてい
る。このプローブ接続領域２１ｄ、２１ｄ‥‥は、検査
用のプローブが装着しやすい箇所に引き出せるようにそ
の長さが選択されている。
【００２１】一方、共通電極接続用導電パターン２２
は、最外端の駆動信号供給用導電パターン２１の斜線領
域２１ｃの外形に沿うように形成されている。
【００２２】次にこのように構成されたフレキシブルケ
ーブル１０と圧電振動子ユニット１との接続について説
明する。先ず、プローブ接続領域２１ｄ、２１ｄ‥‥に
導通検査装置のプローブを接続してフレキシブルケーブ
ル１０単独状態の導電パターン２１の良否を検査する。
【００２３】次いで、検査が終了したフレキシブルケー
ブル１０の各駆動信号供給用導電パターン２１、２１‥
‥の先端のセグメント電極接続領域２１ａ，２１ａ‥‥
と圧電振動子２、２‥‥のセグメント電極５の接続部１
１とが一致するように位置合わせして、セグメント電極
５の接続部１１だけを最初に半田付けする。
【００２４】半田付け後にもフリーな状態に置かれてい
るプローブ接続領域２１ｄ、２１ｄ‥‥に導通検査装置
のプローブを接続し、隣接する導電パターン２１の間へ
の半田の流れ込みによる短絡が存在するか否かを検査す
る。
【００２５】セグメント電極５とフレキシブルケーブル
１０との接続の検査が終了した段階で、プローブを接続
領域２１ｄ、２１ｄ‥‥から外して、中間領域２１ｂを
すべて除去するべく図４に示したように打ち抜き等によ
り窓２３を形成し、またプローブ接続領域２１ｄを切断
する。ついで斜線領域２１ｃを圧電振動子ユニット１の
各圧電振動子２、及びダミー振動子３の共通電極６の接
続部１２、１３に半田付けする。
【００２６】これにより図５に示したように１つの斜線
領域２１ｃに複数の圧電振動子２、２が跨ぎ、これらの
接続部１２が半田により固定されるため、各斜線領域２
１ｃが跨いでいる複数の圧電振動子の接続部１２を介し
て全体が並列に接続される、そして端部においてダミー
振動子３の接続部１３を介して共通電極接続用導電パタ
ーン２２に接続され、結果として各圧電振動子２、２‥
‥の共通電極６が共通電極接続用導電パターン２２と導
電関係を持つことになる。
【００２７】なお、隣接する斜線領域２１ｃはもともと
並列接続するためのものであるから、たとえ各斜線領域
２１ｃの間に半田が流れ込んで短絡を生じても機能上、
何等の問題も生じないから、短絡の有無をチェックする
必要性はない。
【００２８】これにより、各圧電振動子２、２‥‥のセ
グメント電極５は、それぞれ駆動信号供給用導電パター
ン２１、２１‥と独立に接続され、また共通電極６は斜
線領域２１ｃを介して共通電極接続用導電パターン２２
に接続される。
【００２９】この実施例においては、共通電極６と接続
する斜線領域２１ｃが略Ｖ字状となっているため、後述
する単なる斜線として形成したものに比較して接続部１
２との実効接触面積を大きく取ることができて、大きな
電流を局部的な発熱を招くこと無く安全に流すことが可
能となる。
【００３０】なお、上述の実施例においては斜線領域２
１ｃを「Ｖ」字状に構成してプローブ接続部２１ｄの位
置を個々の圧電振動子２との対応付けが明確になるよう
に構成されているが、図６に示したように単に斜めに引
き出した直線状のパターン２１ｅとして構成し、これの
先端に圧電振動子の軸方向に延びるプローブ接続領域２
１ｆを形成しても、セグメント電極間の短絡の検査を行
うことが可能である。
【００３１】また上述の実施例においてはフレキシブル
ケーブル１０に駆動信号発生用の半導体集積回路２０を
設け、これからの駆動信号により圧電振動子を駆動する
場合について説明したが、外部駆動回路からの駆動信号
をフレキシブルケーブルを介して圧電振動子に供給する
ものに適用しても同様の作用を奏することは明らかであ
る。
【００３２】さらに上述の実施例においては、隣接する
導電パターン２１の間への半田の流れ込みによる短絡の
有無を検査するため、２回に分けて半田付けするように
しているが、半田量等が十分に管理できて、隣接するパ
ターンへの半田の流れ込みが生じる虞がない場合には、
フレキシブルケーブル単独での導電パターンの検査が終
了した段階で図４に示したように打ち抜き等により窓２
３を形成するとともに、プローブ接続領域２１ｄを切断
する。
【００３３】そして各駆動信号供給用導電パターン２
１、２１‥‥の先端のセグメント電極接続領域２１ａ，
２１ａ‥‥と圧電振動子２、２‥‥のセグメント電極５
の接続部１１との位置合わせ、及びフレキシブルケーブ
ル１０の斜線領域２１ｃと圧電振動子ユニット１の各圧
電振動子２、及びダミー振動子３の共通電極６とを位置
合わせを行ってから、これらセグメント電極接続領域２
１ａと斜線領域２１ｃとの２つの領域を同時に半田付け
するようにしてもよい。
【００３４】
【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、一方の極となるセグメント電極と、他方の極となる
共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層するととも
に、セグメント電極を後端側から、また共通電極を前端
側から露出させて外部電極により後端側の一方の面に延
長してセグメント電極の接続部、及び共通電極の接続部
が形成された複数の圧電振動子を固定板に一定のピッチ
で固定するとともに、セグメント電極のそれぞれに独立
して接続する直線状のセグメント電極接続領域と、複数
の隣接する圧電振動子が跨ぎ、かつ共通電極の接続部に
接続された斜線領域と、斜線領域を介して接続する共通
電極接続用導電パターンとを有し、セグメント電極接続
領域と斜線領域との間が窓により分離されたフレキシブ
ルケーブルにより外部駆動回路に接続するようにしたの
で、セグメント電極接続領域を接続した段階では、斜線
領域側が自由端でかつ斜線領域がセグメント電極接続領
域と個別的に導電関係を維持できて、斜線領域の先端側
に自由端となるプローブ接続領域を形成しておけば、こ
こにプローブを接続して半田付けに起因するセグメント
電極間の短絡の有無を検査して圧電振動子が高密度配列
された振動子ユニットを高い信頼性でもって製造するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図（イ）（ロ）は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの一実施例を、フレキシブルケーブル接続以
前の状態と、フレキシブルケーブルを接続した状態での
圧電振動子の構造を拡大して示す図である。
【図２】図（イ）（ロ）は、それぞれ本発明の圧電振動
子ユニットの一実施例を固定基板を外して示した断面図
と、上面図である。
【図３】圧電振動子が接続される以前のフレキシブルケ
ーブルの一実施例を示す図。
【図４】圧電振動子のセグメント電極が接続されて不要
部分がカットされた状態でのフレキシブルケーブルを示
す図である。
【図５】圧電振動子にフレキシブルケーブルが接続され
て状態での斜線領域と圧電振動子との位置関係を示す図
である。
【図６】接続用フレキシブルケーブルの他の実施例を示
す図である。
【符号の説明】
１ 振動子ユニット ２ 圧電振動子 ３ ダミー振動子 ４ 固定基板 ５ セグメント電極 ６ 共通電極 ７ 圧電材料 ８、９ 外部電極 １０ フレキシブルケーブル １１、１２ 接続部 ２０ 半導体集積回路 ２１ 駆動信号供給用導電パターン ２１ａ セグメント電極の接続領域 ２１ｃ 共通電極接続用の斜線領域 ２１ｄ プローブ接続領域 ２２ 共通電極接続用導電パターン ２３ 窓

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 一方の極となるセグメント電極と、他方
    の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
    るとともに、前記セグメント電極を後端側から、また前
    記共通電極を前端側から露出させて外部電極により後端
    側の一方の面に延長して前記セグメント電極の接続部、
    及び共通電極の接続部が形成された複数の圧電振動子を
    固定板に一定のピッチで固定するとともに、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して接続する直線
    状のセグメント電極接続領域と、複数の隣接する圧電振
    動子が跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に接続される斜
    線領域と、前記斜線領域を介して接続する共通電極接続
    用導電パターンとを有し、前記セグメント電極接続領域
    と前記斜線領域との間が窓により分離されたフレキシブ
    ルケーブルにより外部駆動回路に接続されるインクジェ
    ット記録ヘッド用圧電振動子ユニット。
  2. 【請求項２】 前記斜線領域が略「Ｖ」字状に形成され
    ている請求項１のインクジェット記録ヘッド用圧電振動
    子ユニット。
  3. 【請求項３】 前記フレキシブルケーブルに、前記セグ
    メント電極接続領域から延長する導電パターンに外部駆
    動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続され
    て実装されている請求項１のインクジェット記録ヘッド
    用圧電振動子ユニット。
  4. 【請求項４】 一方の極となるセグメント電極と、他方
    の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
    るとともに、前記セグメント電極を後端側から、また前
    記共通電極を前端側から露出させて外部電極により後端
    側の一方の面に延長して前記セグメント電極の接続部、
    及び共通電極の接続部が形成された複数の圧電振動子を
    固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振動子本体
    に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
    状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
    領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子が
    跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に対向する斜線領域
    と、前記斜線領域の先端で連続するプローブ接続領域
    と、前記斜線領域から分離され、かつ前記圧電振動子を
    介して接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有す
    るフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極接続領
    域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半田付け
    する工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
    定する工程と、 前記セグメント電極接続領域と斜線領域との間に窓を形
    成して両者を電気的に分離する工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
    トの製造方法。
  5. 【請求項５】 一方の極となるセグメント電極と、他方
    の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
    るとともに、前記セグメント電極を後端側から、また前
    記共通電極を前端側から露出させて外部電極により後端
    側の一方の面に延長して前記セグメント電極の接続部、
    及び共通電極の接続部が形成された複数の圧電振動子を
    固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振動子本体
    に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
    状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
    領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子が
    跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に対向する斜線領域
    と、前記斜線領域の先端で連続するプローブ接続領域
    と、前記斜線領域から分離され、かつ前記圧電振動子と
    の接続により接続可能な共通電極接続用導電パターンと
    を有するフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極
    接続領域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半
    田付けする工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
    定する工程と、 前記セグメント電極接続領域と斜線領域との間に窓を形
    成するとともに、前記プローブ接続領域を切断する工程
    と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
    トの製造方法。
  6. 【請求項６】 前記フレキシブルケーブルに、前記セグ
    メント電極接続領域から延長する導電パターンに外部駆
    動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続され
    て実装されている請求項５のインクジェット記録ヘッド
    用圧電振動子ユニットの製造方法。
  7. 【請求項７】 一方の極となるセグメント電極と、他方
    の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層す
    るとともに、前記セグメント電極を後端側から、また前
    記共通電極を前端側から露出させて外部電極により後端
    側の一方の面に延長して前記セグメント電極の接続部、
    及び共通電極の接続部が形成された複数の圧電振動子を
    固定板に一定のピッチで固定してなる圧電振動子本体
    に、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
    状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
    領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子が
    跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に対向する斜線領域
    と、前記斜線領域の先端で連続するプローブ接続領域
    と、前記斜線領域から分離され、かつ前記圧電振動子と
    の接続により接続可能な共通電極接続用導電パターンと
    を有するフレキシブルケーブルの、前記セグメント電極
    接続領域を前記圧電振動子のセグメント電極接続部に半
    田付けする工程と、 前記プローブ接続領域を介して前記半田付けの良否を判
    定する工程と、 前記セグメント電極接続領域と斜線領域との間に窓を形
    成するとともに、前記プローブ接続領域を切断する工程
    と、 前記圧電振動子の共通電極と前記フレキシブルケーブル
    の斜線領域を接続する工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
    トの製造方法。
  8. 【請求項８】 前記フレキシブルケーブルには、前記セ
    グメント電極接続領域から延長する導電パターンに外部
    駆動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続さ
    れて実装されている請求項７のインクジェット記録ヘッ
    ド用圧電振動子ユニットの製造方法。
  9. 【請求項９】 セグメント電極のそれぞれに独立して対
    向する直線状のセグメント電極接続領域と、該セグメン
    ト電極接続領域と連続するとともに、複数の隣接する圧
    電振動子が跨ぎ、かつ共通電極の接続部に対向する斜線
    領域と、前記斜線領域の先端で連続するプローブ接続領
    域と、前記斜線領域から分離され、かつ前記圧電振動子
    を介して接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有
    するフレキシブルケーブルの前記プローブ接続領域を介
    して前記セグメント電極接続領域に連続する導電パター
    ンを検査する工程と、 前記セグメント電極接続領域と斜線領域との間に窓を形
    成するとともに、前記プローブ接続領域を切断する工程
    と、 一方の極となるセグメント電極と、他方の極となる共通
    電極とを圧電材料を挟んで交互に積層するとともに、前
    記セグメント電極を後端側から、また前記共通電極を前
    端側から露出させて外部電極により後端側の一方の面に
    延長して前記セグメント電極の接続部、及び共通電極の
    接続部が形成された複数の圧電振動子を固定板に一定の
    ピッチで固定してなる圧電振動子本体に、前記セグメン
    ト電極接続領域及び前記斜線領域を前記圧電振動子のセ
    グメント電極接続部及び共通電極接続部に半田付けする
    工程と、 を備えたインクジェット記録ヘッド用圧電振動子ユニッ
    トの製造方法。
  10. 【請求項１０】 前記フレキシブルケーブルに、前記セ
    グメント電極接続領域から延長する導電パターンに外部
    駆動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続さ
    れて実装されている請求項９のインクジェット記録ヘッ
    ド用圧電振動子ユニットの製造方法。
  11. 【請求項１１】 一方の極となるセグメント電極と、他
    方の極となる共通電極とを圧電材料を挟んで交互に積層
    するとともに、前記セグメント電極を後端側から、また
    前記共通電極を前端側から露出させて外部電極により後
    端側の一方の面に延長して前記セグメント電極の接続
    部、及び共通電極の接続部が形成された複数の圧電振動
    子を固定板に一定のピッチで固定した圧電振動子ユニッ
    トと外部駆動回路とを接続するフレキシブルケーブルに
    おいて、 前記セグメント電極のそれぞれに独立して対向する直線
    状のセグメント電極接続領域と、該セグメント電極接続
    領域と連続するとともに、複数の隣接する圧電振動子が
    跨ぎ、かつ前記共通電極の接続部に対向する斜線領域
    と、前記斜線領域の先端で連続するプローブ接続領域
    と、前記斜線領域から分離され、かつ前記圧電振動子を
    介して接続可能な共通電極接続用導電パターンとを有す
    るフレキシブルケーブル。
  12. 【請求項１２】 前記斜線領域が略「Ｖ」字状に形成さ
    れている請求項１１のフレキシブルケーブル。
  13. 【請求項１３】 前記フレキシブルケーブルに、前記セ
    グメント電極接続領域から延長する導電パターンに外部
    駆動回路から印刷信号を受ける半導体集積回路が接続さ
    れて実装されている請求項１１のインクジェット記録ヘ
    ッド用圧電振動子ユニットの製造方法。
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