JPH1170646A

JPH1170646A - インクジェット式記録ヘッド

Info

Publication number: JPH1170646A
Application number: JP8963898A
Authority: JP
Inventors: Nobuaki Okazawa; 宣昭岡沢
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-06-27
Filing date: 1998-04-02
Publication date: 1999-03-16

Abstract

(57)【要約】【課題】フレキシブルケーブルの光透過性に関りな
く、振動子ユニットに正確に位置決めすること。【解決手段】フレキシブルケーブル１３が、振動子ユ
ニット８とフレキシブルケーブル１３との非接続領域
に、圧電振動子とフレキシブルケーブル１３の接続部と
の位置を規定する導電パターン４０を露出させた窓４５
を備え、振動子ユニット８と導電パターン４０との相対
関係をフレキシブルケーブル１３の窓４５から視認しな
がら、位置決めを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は、縦振動モードの
圧電振動子の伸縮によりノズル開口からインク滴を吐出
させて画像や文字を記録用紙に記録するインクジェット
式記録ヘッド、より詳細には複数の圧電振動子を固定基
板の一定のピッチで固定して構成された振動子ユニット
と、これに駆動信号を供給するフレキシブルケーブルと
の接続構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット式記録ヘッドの中でも、
高速駆動が可能である縦振動モードの圧電振動子を使用
した記録ヘッドは、ノズル開口、及びリザーバに連通す
る圧力発生室の一部を弾性板によりインク吐出部を形成
し、軸長方向に伸縮する圧電振動子を、その一端を一定
ピッチで固定基板に固定した振動子ユニットにより駆動
するように構成されている。

【０００３】このような振動子ユニットは、圧電振動子
の後端を、フレキシブルケーブルの接続パターンと半田
付けにより接続されて、外部からの駆動信号の供給を受
けるように構成されている。

【０００４】このような圧電振動子は、長さがせいぜい
数ミリ、幅が０．５ｍｍ程度と極めてサイズが小さいた
め、フレキシブルケーブルと振動子ユニットとの接続の
ための位置合わせには困難を来す。このような問題を緩
和するため、圧電振動子の後端部との位置を規定するマ
ークをフレキシブルケーブルの表面に形成しておき、フ
レキシブルケーブルを透かして圧電振動子の後端部が、
このマークに一致するように位置合わせして、加熱手段
により加熱して半田付けを行なうという手法で接続が行
われている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように位置合わせ
にはフレキシブルケーブルを通して振動子ユニットを構
成している圧電振動子の後端等の基準位置が視認できる
ことが不可欠となるが、フレキシブルケーブルによって
はベース部材に不透明材料が使用されていて振動子ユニ
ットをケーブルを透かして視認することが不可能となる
場合がある。このような問題を解消するため、実開平2-
142569号公報に見られるようにフレキシブルケーブルの
接合領域の両側にダミーのリードを、絶縁材を介するこ
と無く露出させて形成し、このダミーのリードを利用し
て被接合対象との位置決めを行うことも提案されてい
る。しかしながら、位置決めに使用するダミーのリード
が片持梁状に露出しているため、外力の作用により簡単
に折れ曲がるため、位置決め精度に低下を来すという問
題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされたも
のであって、その目的とするとことはフレキシブルケー
ブルの光透過性の如何に関りなく、しかも外力による折
れ曲がり等を可及的に防止できるフレキシブルケーブル
の接続構造を備えたインクジェット式記録ヘッドを提供
することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、ノズル開口が穿設されたノ
ズルプレート、圧力発生室及びリザーバを形成する流路
形成板、及び弾性板を積層して形成された流路ユニット
と、縦振動モードで作動する圧電振動子を、複数個、所
定のピッチで固定基板に一端を固定して構成された振動
子ユニットと、前記圧電振動子に駆動信号を供給するフ
レキシブルケーブルとからなるインクジェット式記録ヘ
ッドにおいて、前記フレキシブルケーブルが、前記振動
子ユニットとの非接続領域に、前記フレキシブルケーブ
ルに形成されている導電パターンを残し、かつ前記フレ
キシブルケーブルを構成している絶縁材を除去して前記
圧電振動子との接続位置確認用の窓を設けるようにし
た。

【０００７】

【作用】振動子ユニットの規定の位置がフレキシブルケ
ーブルの窓から露出し、かつ導電パターンに対して所定
位置となるようにフレキシブルケーブルと振動子ユニッ
トとの相対位置を調整する。

【０００８】

【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、図２は本発明の
インクジェット式記録ヘッドの一実施例を示すものであ
って、流路ユニット１は、ノズル開口２を一定ピッチで
穿設したノズルプレート３と、ノズル開口２に連通する
圧力発生室４、これにインク供給口５を介してインクを
供給するリザーバ６を備えた流路形成基板７と、振動子
ユニット８の各圧電振動子９の先端に当接されて圧力発
生室４の容積を膨張、縮小させる弾性板１０とを一体に
積層して構成されている。

【０００９】流路ユニット１は、高分子材料の射出成形
等により構成されたホルダー１１の開口面１２に、また
振動子ユニット８は外部からの駆動信号を伝達するフレ
キシブルケーブル１３に接続されたうえで収容室１４に
収容され、それぞれのホルダー１１との当接面を接着剤
により固定され、ノズルプレート側にシールド材を兼ね
る枠体１５を挿入して記録ヘッドに纏められている。

【００１０】図３は、同上振動子ユニット８の一実施例
を示すものであって、一方の極となる電極と、他方の極
となる電極とを圧電材料を介してサンドイッチ状に積層
して構成された圧電材料板を、一端が自由端となるよう
に他端を固定基板２０に固定したうえで、両端に若干幅
広となるダミーの振動子２１、２２を残すように等間隔
にワイヤソウ等により一定の間隔で切分けて圧電振動子
９、９、９を形成して構成されている。

【００１１】圧電振動子９の自由端側に各圧電振動子９
の一方の電極と接続する共通電極２４が、また固定基板
側には各圧電振動子９の他方の電極と接続するととも
に、フレキシブルケーブル１３と接続するセグメント電
極２５が形成されている。各共通電極２４は、導電性材
料からなる接続部材２６により共通に接続されてダミー
の圧電振動子２１、２２に形成された導電層２７、２８
に接続されている。

【００１２】振動子ユニットに駆動信号を供給するフレ
キシブルケーブル１３は、周知のようにポリイミド等の
耐熱性電気絶縁フィルムをベース材とし、これの表面に
銅箔等を張り付けて導電層を形成し、図４に示したよう
に導電層を、圧電振動子９、９、９‥‥に信号を供給す
るのに適した導電パターン４０、４０、４０と共通電極
に接続するパターン４１、４２をエッチングして構成さ
れている。

【００１３】そして導電パターン４０、４０、４０‥‥
の先端側には、圧電振動子９、９、９‥‥のセグメント
電極２５、２５、２５‥‥に一致するピッチで、望まし
くはセグメント電極２５、２５、２５‥‥の幅よりも若
干狭い幅、例えばセグメント電極２５、２５、２５‥‥
の幅が６０乃至８０μｍの場合には、５０μｍ程度の幅
を持つ半田メッキ層を備えた接続部４４、４４、４４‥
‥が形成され、接続部以外をカバーコートで被覆されて
いる。

【００１４】４５、４５は、位置決め確認用の窓で、図
５に示したように圧電振動子９の基準位置、この実施例
では圧電振動子９、またはダミーの圧電振動子２１、２
２、２３の後端が位置する領域にベース材に通孔を形成
して構成されている。

【００１５】そして、積層されている銅箔等の導電材料
を圧電振動子９に接続する導電パターン４０、４０、４
０‥‥となるようにエッチングされている。

【００１６】このように構成されたフレキシブルケーブ
ル１３は、振動子ユニット８を、そのセグメント電極２
５、２５、２５‥‥を上面とするようにして治具に固定
し、またフレキシブルケーブル１３の接続部４４、４
４、４４‥‥を下方にして振動子ユニット８に当接させ
る。そしてフレキシブルケーブル１３に形成された窓４
５、４５から振動子ユニット８の位置決めマーク、たと
えばダミーの圧電振動子２１、２２、２３の後端が、両
端の窓４５、４５の所定位置Ｌ−Ｌに並んで露出するよ
うにフレキシブルケーブル１３を圧電振動子９の軸方向
に移動させて、軸方向に対する位置決めを行なう。この
ように窓４５、４５を通してフレキシブルケーブル１３
と振動子ユニット８との相対位置を確認するため、フレ
キシブルケーブル１３の光透過性に関りなく、正確に位
置決めを行なうことができる。

【００１７】そして、窓４５から露出する導電パターン
４０が、その両端をフレキシブルケーブル１３の絶縁層
に支持されているため、外力を受けた場合にも曲がりを
生じることがない。

【００１８】ついで、フレキシブルケーブル１３の接続
部４４、４４、４４‥‥が圧電振動子９のセグメント電
極２５と対向するように圧電振動子９の並び方向に移動
させる。位置決め作業が完了した段階で、フレキシブル
ケーブル１３の接続部４４、４４、４４‥‥を加熱手段
により押圧しながら加熱すると、フレキシブルケーブル
１３と振動子ユニット８とが半田メッキ層を介して接続
される。

【００１９】なお、半田メッキ層が予め形成されている
導電パターンを位置決め用マークとして使用する場合に
は、窓４５から露出する圧電振動子９の電極のほぼ全周
に半田層が形成されているので、加熱手段が窓４５に圧
電振動子９の半田層に当接してこの半田層が溶け過ぎな
いように注意して、隣接する圧電振動子９の電極が短絡
されるのを防止する。

【００２０】また、フレキシブルケーブルと圧電振動子
９との接合には、他の導電接合法、例えば半田ペース
ト、導電性接着剤、異方性導電膜を用いることができ
る。特に異方性導電接合フィルムは、接合領域を覆うサ
イズのものを接合対象の間に介挿して加圧接合すると、
加圧方向の電気抵抗が極端に低下する一方、加圧を受け
ない領域が極めて高い電気抵抗を維持したまま残るた
め、半田などの流状態を経由する接合手段に比較して、
導電パターン間での短絡を確実に防止することができ
る。

【００２１】なお、上述の実施例においては、振動子ユ
ニット８のダミー振動子２１、２２の後端を振動子ユニ
ット８の位置決めマークとし、これが窓４５の規定から
露出するように位置合わせするようにしているが、圧電
振動子９の後端９ａや、また振動子ユニット８に銅箔等
を貼着し、この銅箔を位置決め用のマークとするように
エッチング等で加工してもよい。

【００２２】さらに、上述の実施例では振動子ユニット
８の規定位置を、フレキシブルケーブル１３の窓４５の
所定領域に位置させることにより位置決めしているが、
フレキシブルケーブル１３の導電層を銅箔等の金属箔に
より形成して、図６（イ）に示したように導電層に位置
決め用の基準となる箇所にマークとなる切欠き部４５ａ
を形成したり、また図６（ロ）に示したように圧電振動
子９に接続する導電パターンに着色等によりマーク４５
ｂを形成してもよい。

【００２３】なお、これらのマーク４５ａ、４５ｂを圧
電振動子９の後端の位置決め位置Ｌ−Ｌそのものに一致
して形成する必要はなく、例えばマーク４５ｂを例に採
ると、図６（ハ）に示したように規定量ΔＧだけオフセ
ットした位置に形成しても位置決めの精度を得ることが
できる。

【００２４】図７（イ）は、本発明の他の実施例を示す
ものであって、この実施例においては窓４６は、フレキ
シブルケーブル１３の接続部４４、４４、４４の両側
（図７においては左側だけのものを示す）に形成されて
おり、図８に示したように少なくとも隣接する導電パタ
ーン４４の側が円弧状となるように形成されている。

【００２５】そして、この窓４６からは、位置決め用に
形成されたダミーのパターン４７で、少なくとも窓４６
から露出する領域４７ａの幅Ｗ１は、ダミーのパターン
４７の本体部やパターン４０、４４の幅Ｗ２よりも細
く、好ましくは圧電振動子９の幅よりも小さく形成され
ている。このように位置決めに使用する領域を細く形成
することにより、圧電振動子９との相対位置決め精度を
高めることができる。

【００２６】なお、図７（ロ）に示したようにダミーの
パターン４７’の全体を細く形成しても同様の作用を奏
する。

【００２７】このように窓４６を位置決め用のダミーの
パターン４７、４７’側に可及的に偏して形成すること
により、導電パターン４４の形成精度等に起因して導電
パターン４４と窓４６との相対位置精度がずれて窓４６
から導電パターン４４が露出した場合にも、露出量を最
小限に抑えることができる。これにより導電パターン４
４とダミーの導電パターン４７とを半田で短絡してしま
うといった不都合を防止することができる。

【００２８】このように位置決め領域、つまり窓から露
出する領域の導電パターン４０’を細くすることによ
り、圧電振動子９との位置決め精度を高めることができ
る。

【００２９】なお、上述の実施例においてはダミーのパ
ターン４７を位置決め用のパターンとして使用している
が、図９（イ）、（ロ）に示したように導電パターン４
４の形成領域に、位置決め用にも兼用できる導電パター
ン４４’として形成しても同様の作用を奏することは明
らかである。そして圧電振動子９との接合には上述の異
方性導電接合フィルムを使用するのが望ましい。

【００３０】ところで、圧電振動子９、９、９‥‥の配
列間隔よりも接続部４４、４４、４４‥‥の幅が狭く設
定されている場合には、図１０に示したように接続部４
４、４４、４４‥‥が圧電振動子９、９、９‥‥の間に
落ち込み、この状態でフレキシブルケーブル１３を移動
させて位置合わせを行なうと、圧電振動子９、９、９‥
‥のエッジがフレキシブルケーブル１３の接続部４４、
４４、４４‥‥に引っ掛けられて大きな力を受け、これ
に起因して欠けが生じるとい問題がある。

【００３１】このような問題を解消するため、フレキシ
ブルケーブル１３の圧電振動子９、９、９‥‥の並び方
向の両端には、図１１に示したように圧電振動子９、
９、９の間に落ち込まない程度の高さを確保する凸部５
０、５０を、フレキシブルケーブル１３の圧電振動子９
との接続領域の線上で、かつ側部に形成し、この凸部５
０、５０により図１２に示したようにフレキシブルケー
ブル１３を圧電振動子９、９、９‥‥から若干浮かせる
ように構成されている。

【００３２】図１３はこのようなフレキシブルケーブル
１３に対処するための実施例を示すものであって、図１
３（イ）は凸部５０よりも後端側に位置するようにオフ
セットさせて窓４８が形成されている。図１３（ロ）は
外側領域４９ａを凸部５０、５０とは逆の方向に回転さ
せた状態で窓４９が形成されている。

【００３３】これらの実施例によれば、フレキシブルケ
ーブル１３の凸部５０の機械的強度を損なうことなく、
位置決め用の窓４８、４９を形成することができる。

【００３４】なお、上述の実施例においては、外部装置
により駆動信号を発生させて、これを圧電振動子に伝達
するフレキシブルケーブルに例を採って説明したが、圧
電振動子の数が極めて多くて、外部装置から駆動信号を
供給することとが困難な振動子ユニットの場合にはフレ
キシブルケーブル等の可撓性を有する信号伝送帯材５３
に印刷信号に基づいて駆動信号を生成する半導体集積回
路５４した場合に適用しても同様の作用を奏する。

【００３５】なお、上述の実施例においては、圧電振動
子９に接続する領域をフレキシブルケーブル１３のベー
ス材に形成したものに例を採って説明したが、図１４に
示したように固定基板側（図中右方）に一方の極の電極
と接続する共通電極６０が、また自由端側（図中、左
方）に他方の電極と接続するセグメント電極６１が形成
された圧電振動子９に対して、フレキシブルケーブル６
２の導電層６４の表面に形成された絶縁性カバーコート
６３を形成するとともに、導電層６４の共通電極６０よ
りも先端側をカバーコート６３から露出させて接続領域
６４ａとしてセグメント電極６１に接続し、セグメント
電極６１に信号を供給する導電層６４と共通電極６０と
の短絡を防止して接続する場合もある。なお、図中符号
６５は、導電層６４の裏面に形成された絶縁性材料から
なるベース材を示す。

【００３６】このような接続形態を採る場合には、図１
５（イ）に示したようにフレキシブルケーブル６２の両
側部に形成される共通電極６０との接続パターン６６の
近傍に、セグメント電極６１との接続領域６４ａを形成
するパターンを圧電振動子９の軸方向に平行で、かつ後
方となる位置に並び方向規制用のパターン６７、６７、
６７を形成する。このパターンは導電層６４と同様の手
法により形成するのが望ましい。なお図中符号７０は、
位置決め時におけるフレキシブルケーブル６２を固定基
板２０に対して一定の高さを確保するための凸部を示
す。

【００３７】また、共通電極６０との接続パターン６６
には前述と同様に、位置確認用のダミー導電パターン６
７の透視が可能な窓６８を形成するとともに、導電パタ
ーン６６に凹部等による位置決めマーク６９を形成す
る。

【００３８】これによれば、圧電振動子９の軸線Ｃを並
び方向規制用パターン６７に合わせることにより、また
圧電振動子９の軸方向の位置を位置決めマーク６９によ
り確認することができる。

【００３９】なお、上述の実施例においては圧電振動子
９の軸方向の位置決めマーク６９を共通電極６０に接続
する接続パターン６６に形成しているが、図１５（ロ）
に示したように並び方向規制用のパターン６７、６７自
体にこれと直交する方向のパターン６７ａを形成し、こ
れを圧電振動子９の後端位置を決めるマークとしてもよ
い。

【００４０】この実施例によればダミー導電パターン６
７を、導電パターン６４が形成されていない領域に形成
することが可能で、位置決めマークとなるパターン６７
ａをここに形成できるから、フレキシブルケーブルの幅
を圧電振動子の幅に近づけてヘッドケースのデッドスペ
ースを小さくできて、ノズル開口をヘッドケースの端部
にまで接近させて形成することができる。

【００４１】図１６は、本発明の他の実施例を示すもの
であって、窓８０を、全ての圧電振動子９について各圧
電振動子９の一部領域を露出させる長さＬと幅Ｗ３を持
つように形成したもので、露出領域が広いため導電パタ
ーン４４に均一に半田メッキを施すことが可能となる。

【００４２】そして、図１７示したように導電パターン
４０の窓８０から露出する領域４４ａを、前後の領域よ
りも信号の伝達に支障を来さない程度に細く、望ましく
は圧電振動子９の幅よりも狭く形成するのが好ましい。

【００４３】この実施例によれば、窓８０と電極パター
ン４４との少々の位置精度の狂いによっても、全ての電
極パターン４４を窓８０から露出させることができるか
ら、全ての電極パターン４４に均一に半田メッキを施す
ことができ、また隣接する電極パターン４４を半田で短
絡してしまうという事故を防止することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上、説明したように本発明において
は、ノズル開口が穿設されたノズルプレート、圧力発生
室及びリザーバを形成する流路形成板、及び弾性板を積
層して形成された流路ユニットと、縦振動モードで作動
する圧電振動子を、複数個、所定のピッチで固定基板に
一端を固定して構成された振動子ユニットと、圧電振動
子に駆動信号を供給するフレキシブルケーブルとからな
るインクジェット式記録ヘッドにおいて、フレキシブル
ケーブルが、振動子ユニットとの非接続領域に、フレキ
シブルケーブルに形成されている導電パターンを残し、
かつフレキシブルケーブルを構成している絶縁材を剥離
して圧電振動子との接続位置確認用の窓を設けたので、
振動子ユニットの規定の位置がフレキシブルケーブルの
窓から露出し、かつ導電パターンに対して所定位置とな
るようにフレキシブルケーブルと振動子ユニットとの相
対位置を調整すれば、フレキシブルケーブルの光透過性
に関りなく、フレキシブルケーブルを振動子ユニットに
対して正確に位置決めすることができる。また、位置決
め用に窓から露出する導電パターンが、その両端をフレ
キシブルケーブルの絶縁層に支持されているため、外力
を受けた場合にも曲がりを生じることがなく、高い精度
で位置決めすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を示す組み立て斜視図である。

【図２】同上記録ヘッドの断面構造を示す図である。

【図３】同上記録ヘッドに使用するユニットの一実施例
を示す斜視図である。

【図４】振動子ユニットにフレキシブルケーブルを接続
した状態を示す平面図である。

【図５】同上フレキシブルケーブルの位置決め用の窓の
近傍を拡大して示す図である。

【図６】図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ他の実施例を
フレキシブルケーブルの位置決め用の窓の近傍を拡大し
て示す図である。

【図７】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の実
施例を示す図である。

【図８】同上実施例の窓の近傍を拡大して示す図であ
る。

【図９】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の他の実
施例を示す図である。

【図１０】同上フレキシブルケーブルと振動子ユニット
との位置合わせ状態を示す図である。

【図１１】圧電振動子間への接続部の落ち込みを防止で
きるフレキシブルケーブルの実施例を示す斜視図であ
る。

【図１２】同上フレキシブルケーブルの接続部と圧電振
動子の接続部との位置合わせ時の状態を示す図である。

【図１３】図（イ）、（ロ）は、それぞれ同上フレキシ
ブルケーブルに形成する位置決め用の窓の他の実施例を
示す図である。

【図１４】圧電振動子とフレキシブルケーブルとの接続
構造を示す断面図である。

【図１５】図（イ）、（ロ）はそれぞれ本発明の他の実
施例を示す図である。

【図１６】本発明に適したフレキシブルケーブルの他の
実施例を示す図である。

【図１７】同上フレキシブルケーブルの窓の近傍を拡大
して示す図である。

【符号の説明】

８振動子ユニット９圧電振動子１３フレキシブルケーブル２４共通電極２５セグメント電極２８ダミーの振動子４０導電パターン４４接続部４５位置決め用の窓

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル開口が穿設されたノズルプレー
ト、圧力発生室及びリザーバを形成する流路形成板、及
び弾性板を積層して形成された流路ユニットと、縦振動
モードで作動する圧電振動子を、複数個、所定のピッチ
で固定基板に一端を固定して構成された振動子ユニット
と、前記圧電振動子に駆動信号を供給するフレキシブル
ケーブルとからなるインクジェット式記録ヘッドにおい
て、前記フレキシブルケーブルが、前記振動子ユニットとの
非接続領域に、前記フレキシブルケーブルに形成されて
いる導電パターンを残し、かつ前記フレキシブルケーブ
ルを構成している絶縁材を除去して前記圧電振動子との
接続位置確認用の窓を有するインクジェット式記録ヘッ
ド。
【請求項２】前記窓に形成される導電パターンが、前
記圧電振動子と接続用のものである請求項１に記載のイ
ンクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】前記窓に形成される導電パターンが、ダ
ミーの導電パターンである請求項１に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。
【請求項４】前記窓から露出する前記導電パターンの
少なくとも前記窓から露出する領域が、前後の幅よりも
細く形成されている請求項１に記載のインクジェット式
記録ヘッド。
【請求項５】前記窓から露出する前記導電パターン
が、他の導電パターンよりも細く形成されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】前記窓が、少なくとも隣接する導電パタ
ーンに位置する側に円弧状部を有する請求項１に記載の
インクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】前記窓の近傍に、前記圧電振動子の位置
決め基準を示す位置決めマークが形成されている請求項
１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】前記圧電振動子の後端が位置決め基準で
ある請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項９】前記振動子ユニットの、前記フレキシブ
ルケーブルの窓に対向する面に位置決め用のマークが形
成されている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。
【請求項１０】前記位置決め用のマークが前記フレキ
シブルケーブルに形成する導電パターンと同様の手法で
形成されている請求項９に記載のインクジェット式記録
ヘッド。
【請求項１１】前記圧電振動子の正規の並びにほぼ相
当する並び方向規制用マークが、前記フレキシブルケー
ブルのセグメントパターンの後方に形成されている請求
項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１２】前記並び方向規制用マークに、前記圧
電振動子の後端位置を規制するマークも形成されている
請求項１１に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１３】前記並び方向規制用マークが、前記フ
レキシブルケーブルに形成する導電パターンと同様の手
法で形成されている請求項１１または請求項１２に記載
のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１４】前記フレキシブルケーブルと前記圧電
振動子とが、半田層、半田ペースト、または異方性導電
フィルムにより接合されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。
【請求項１５】前記窓は、前記圧電振動子に接続され
る前記導電パターンの全てを露出させる程度の幅を有す
る請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。