JP3206214B2 - インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JP3206214B2 JP3206214B2 JP12170293A JP12170293A JP3206214B2 JP 3206214 B2 JP3206214 B2 JP 3206214B2 JP 12170293 A JP12170293 A JP 12170293A JP 12170293 A JP12170293 A JP 12170293A JP 3206214 B2 JP3206214 B2 JP 3206214B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット式記録
ヘッドおよびその製造方法に関する。
ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェット式記録ヘッドの製
造方法としては、特開平３−７３３４７号公報に開示さ
れている方法がある。図１６は、この従来のインクジェ
ット式記録ヘッドの製造方法の斜視図を示したものであ
る。従来の製造方法は、図１６に示すように、電極２０
９ａ，２０９ｂ，２０９ｃの形成された固定台２０７
に、圧電素子２０１を接合するものであった。その時の
圧電素子２０１の外部電極構成を図１７に示す。図に示
したように、圧電素子２０１の少なくとも３面には外部
電極２０２ａ，２０２ｂを形成し、外部電極２０２ａに
は図１６に示した電極２０９ａが、外部電極２０２ｂに
は図１６に示した電極２０９ｃが電気的に接続されるも
のであった。つまり、圧電素子２０１と固定台２０７の
接合面には電極２０９ａ，２０９ｃおよび外部電極２０
２ａ，２０２ｂが形成されているものであった。また、
固定台２０７に圧電素子２０１を接合し、スリット加工
を行うことで電極を分離独立するものであった。
造方法としては、特開平３−７３３４７号公報に開示さ
れている方法がある。図１６は、この従来のインクジェ
ット式記録ヘッドの製造方法の斜視図を示したものであ
る。従来の製造方法は、図１６に示すように、電極２０
９ａ，２０９ｂ，２０９ｃの形成された固定台２０７
に、圧電素子２０１を接合するものであった。その時の
圧電素子２０１の外部電極構成を図１７に示す。図に示
したように、圧電素子２０１の少なくとも３面には外部
電極２０２ａ，２０２ｂを形成し、外部電極２０２ａに
は図１６に示した電極２０９ａが、外部電極２０２ｂに
は図１６に示した電極２０９ｃが電気的に接続されるも
のであった。つまり、圧電素子２０１と固定台２０７の
接合面には電極２０９ａ，２０９ｃおよび外部電極２０
２ａ，２０２ｂが形成されているものであった。また、
固定台２０７に圧電素子２０１を接合し、スリット加工
を行うことで電極を分離独立するものであった。
【０００３】また、圧電素子と固定台の接合面に電極が
ない構造の従来のインクジェット式記録ヘッドが、特開
平４−１４１４３０号公報に開示されている。図１８
に、従来のインクジェット式記録ヘッドにおける、圧電
素子と固定台の構造を示す断面図を示す。図において、
固定台２０７に圧電素子２０１を接着剤等により接合
し、外部電極２０２ａと電極２０９ｄを、外部電極２０
２ｂと電極２０９ｅをワイヤー２１０をボンディングす
るものであった。または、図１９に示すように、導電材
料２１１を接合するものであった。
ない構造の従来のインクジェット式記録ヘッドが、特開
平４−１４１４３０号公報に開示されている。図１８
に、従来のインクジェット式記録ヘッドにおける、圧電
素子と固定台の構造を示す断面図を示す。図において、
固定台２０７に圧電素子２０１を接着剤等により接合
し、外部電極２０２ａと電極２０９ｄを、外部電極２０
２ｂと電極２０９ｅをワイヤー２１０をボンディングす
るものであった。または、図１９に示すように、導電材
料２１１を接合するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
３−７３３４７号公報の従来技術では、圧電素子２０１
と固定台２０７の接合面に電極が形成されているため、
圧電素子２０１を駆動する毎に、圧電素子２０１の固定
台との接合面も変形しようとし、前記接合面に荷重が直
接かかる、という課題を有する。従って、前記接合面お
よびその電極に高い機械的強度が要求され、信頼性の低
下を招く、という課題を有する。
３−７３３４７号公報の従来技術では、圧電素子２０１
と固定台２０７の接合面に電極が形成されているため、
圧電素子２０１を駆動する毎に、圧電素子２０１の固定
台との接合面も変形しようとし、前記接合面に荷重が直
接かかる、という課題を有する。従って、前記接合面お
よびその電極に高い機械的強度が要求され、信頼性の低
下を招く、という課題を有する。
【０００５】また、圧電素子２０１に予め外部電極２０
２ａ，２０２ｂを形成する必要があり、圧電素子２０１
の少なくとも３面に電極を形成する必要がある。また、
固定台１０７にも電極２０９ａ，２０９ｂを形成する必
要がある。従って、複数の電極形成工程が必要となり、
組立コストがかさむ、という課題を有する。
２ａ，２０２ｂを形成する必要があり、圧電素子２０１
の少なくとも３面に電極を形成する必要がある。また、
固定台１０７にも電極２０９ａ，２０９ｂを形成する必
要がある。従って、複数の電極形成工程が必要となり、
組立コストがかさむ、という課題を有する。
【０００６】さらには、電極の形成された圧電素子の少
なくとも２面間での電気的導通を確保する必要がある。
従って、電極の連通した２面の交差部においても、電気
的導通を確保する必要があり、電気的導通の信頼性を低
下させる、という課題を有する。
なくとも２面間での電気的導通を確保する必要がある。
従って、電極の連通した２面の交差部においても、電気
的導通を確保する必要があり、電気的導通の信頼性を低
下させる、という課題を有する。
【０００７】また、特開平４−１４１４３０号公報の従
来技術においては、圧電素子２０１における外部電極２
０２ａ，２０２ｂの面と固定台２０７における電極２０
９ｄ，２０９ｅの面が不連続なため、外部電極２０２
ａ，２０２ｂと電極２０９ｄ，２０９ｅの電気的導通を
確保するために、ボンディングワイヤー等の導電材料が
必要になる、と同時に、導電材料を空間的に狭い領域に
配設しなくてはならず、作業性が悪い、という課題を有
する。従って、導電材料の材料コストおよびその組立コ
ストがかさむ、と同時に、組立信頼性の低下を招くとい
う、課題を有する。
来技術においては、圧電素子２０１における外部電極２
０２ａ，２０２ｂの面と固定台２０７における電極２０
９ｄ，２０９ｅの面が不連続なため、外部電極２０２
ａ，２０２ｂと電極２０９ｄ，２０９ｅの電気的導通を
確保するために、ボンディングワイヤー等の導電材料が
必要になる、と同時に、導電材料を空間的に狭い領域に
配設しなくてはならず、作業性が悪い、という課題を有
する。従って、導電材料の材料コストおよびその組立コ
ストがかさむ、と同時に、組立信頼性の低下を招くとい
う、課題を有する。
【０００８】本発明はこのような従来技術の課題を解決
するもので、その目的とするところは、組立コストが安
価で、組立信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドの
製造方法を提供するところにある。
するもので、その目的とするところは、組立コストが安
価で、組立信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドの
製造方法を提供するところにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
式記録ヘッドは、 1)固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々
の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を
接合し、前記連続面に電極が形成されている構造 2)固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と固定台に同時
に電極パターンが形成されている構造 3)バルク状圧電素子と固定台を接合後、バルク状圧電素
子と固定台を同時に切断加工されている構造 を特徴とする。
式記録ヘッドは、 1)固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々
の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を
接合し、前記連続面に電極が形成されている構造 2)固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と固定台に同時
に電極パターンが形成されている構造 3)バルク状圧電素子と固定台を接合後、バルク状圧電素
子と固定台を同時に切断加工されている構造 を特徴とする。
【００１０】また、本発明のインクジェット式記録ヘッ
ドの製造方法は、 4)固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々
の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を
接合し、前記連続面に電極を形成すること 5)固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と固定台に同時
に電極パターンを形成すること 6)バルク状圧電素子と固定台を接合後、バルク状圧電素
子と固定台を同時に切断加工すること を特徴とする。
ドの製造方法は、 4)固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々
の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を
接合し、前記連続面に電極を形成すること 5)固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と固定台に同時
に電極パターンを形成すること 6)バルク状圧電素子と固定台を接合後、バルク状圧電素
子と固定台を同時に切断加工すること を特徴とする。
【００１１】
【実施例】図１は本発明に於けるインクジェット式記録
ヘッドの平面図で、図２は、図１におけるＡＡ断面図、
図３は、図２に於けるＣ部拡大図、図４は、図１に於け
るＢＢ断面図である。
ヘッドの平面図で、図２は、図１におけるＡＡ断面図、
図３は、図２に於けるＣ部拡大図、図４は、図１に於け
るＢＢ断面図である。
【００１２】図１〜図４に於いて、インクはインク流路
板１０６に形成されたインク供給孔１１３よりインク流
路１１０を通って隔壁板１０４とノズルプレート１０５
と振動板１０３により構成された各インク室３０２に供
給される。
板１０６に形成されたインク供給孔１１３よりインク流
路１１０を通って隔壁板１０４とノズルプレート１０５
と振動板１０３により構成された各インク室３０２に供
給される。
【００１３】各インク室３０２に対応して圧電素子１０
１と、インク開口部１０２が配置されており、圧電素子
１０１は固定台１０７上に配置され、ＦＰＣ１０８を介
したプリンタ本体からの電気信号により伸縮運動を繰り
返しノズル開口部１０２よりインクを吐出する。
１と、インク開口部１０２が配置されており、圧電素子
１０１は固定台１０７上に配置され、ＦＰＣ１０８を介
したプリンタ本体からの電気信号により伸縮運動を繰り
返しノズル開口部１０２よりインクを吐出する。
【００１４】上記のようなインクジェット式記録ヘッド
の製造方法を、製造順番に従って説明する。
の製造方法を、製造順番に従って説明する。
【００１５】図５は、本発明のインクジェット式記録ヘ
ッドの製造方法における、バルク状圧電素子１１０１と
固定台１０７の接合工程を示す斜視図である。図６は、
図５におけるＡ部拡大図で、バルク状圧電素子１１０１
の内部電極の構成例を示す図である。図６において、バ
ルク状圧電素子１１０１は、チタン酸ジルコン酸鉛系複
合ペロブスカイトセラミック等の圧電材料５０２と、
銀，パラジウム等を調整した材料の内部電極６０１ａ，
６０１ｂを積層して製造される。このようにして製造さ
れたバルク状圧電素子１１０１を、図５に示すように、
固定台１０７上に配設し接着剤等で接合する。ここで、
固定台１０７の材質は、圧電素子１０１の振動特性を劣
化させない材質、即ち、材料のヤング率Ｅと材料の密度
ρとの積の１／２乗で表される固有音響インピーダンス √（ρ×Ｅ） が圧電素子１０１の固有音響インピーダンスより大きい
事が望ましい。次に、ハッチングで示した、接合された
バルク状圧電素子１１０１と固定台１０７の加工領域３
０３を、ダイシングソーで切断した。ここでは切断手段
としてダイシングソーを用いたが、ワイヤーソーやスラ
イサーを用いても良い。また、加工領域３０３の位置
は、図に示すように、切断後にバルク状圧電素子１１０
１の内部電極６０１ａ，６０２ｂが露出する位置であ
る。
ッドの製造方法における、バルク状圧電素子１１０１と
固定台１０７の接合工程を示す斜視図である。図６は、
図５におけるＡ部拡大図で、バルク状圧電素子１１０１
の内部電極の構成例を示す図である。図６において、バ
ルク状圧電素子１１０１は、チタン酸ジルコン酸鉛系複
合ペロブスカイトセラミック等の圧電材料５０２と、
銀，パラジウム等を調整した材料の内部電極６０１ａ，
６０１ｂを積層して製造される。このようにして製造さ
れたバルク状圧電素子１１０１を、図５に示すように、
固定台１０７上に配設し接着剤等で接合する。ここで、
固定台１０７の材質は、圧電素子１０１の振動特性を劣
化させない材質、即ち、材料のヤング率Ｅと材料の密度
ρとの積の１／２乗で表される固有音響インピーダンス √（ρ×Ｅ） が圧電素子１０１の固有音響インピーダンスより大きい
事が望ましい。次に、ハッチングで示した、接合された
バルク状圧電素子１１０１と固定台１０７の加工領域３
０３を、ダイシングソーで切断した。ここでは切断手段
としてダイシングソーを用いたが、ワイヤーソーやスラ
イサーを用いても良い。また、加工領域３０３の位置
は、図に示すように、切断後にバルク状圧電素子１１０
１の内部電極６０１ａ，６０２ｂが露出する位置であ
る。
【００１６】図７にバルク状圧電素子１１０１を切断加
工後の状態の斜視図を示した。図に示すように、切断加
工されることで複数の圧電素子２１０１と固定台１０７
の結合体（以下、Ｂセットと書く）が得られ、内部電極
６０１ａが一方の切断面に露出し、内部電極６０１ｂが
他方の切断面に露出することになる。
工後の状態の斜視図を示した。図に示すように、切断加
工されることで複数の圧電素子２１０１と固定台１０７
の結合体（以下、Ｂセットと書く）が得られ、内部電極
６０１ａが一方の切断面に露出し、内部電極６０１ｂが
他方の切断面に露出することになる。
【００１７】Ｂセット作成方法としては、圧電素子２１
０１の切断加工と固定台１０７の切断加工を予め行い、
圧電素子２１０１と固定台１０７を接合しても良いが、
このように、バルク状圧電素子１１０１と固定台１０７
を接合後に、ダイシングソー等で分割してＢセットを作
成したため、圧電素子２１０１と固定台１０７の切断加
工を一度に行うことができ、組立工数の削減を図ること
ができた。さらには、圧電素子２０１と固定台１０７の
間に断差がなく、電極形成の信頼性向上を図ることがで
きた。
０１の切断加工と固定台１０７の切断加工を予め行い、
圧電素子２１０１と固定台１０７を接合しても良いが、
このように、バルク状圧電素子１１０１と固定台１０７
を接合後に、ダイシングソー等で分割してＢセットを作
成したため、圧電素子２１０１と固定台１０７の切断加
工を一度に行うことができ、組立工数の削減を図ること
ができた。さらには、圧電素子２０１と固定台１０７の
間に断差がなく、電極形成の信頼性向上を図ることがで
きた。
【００１８】このようにして得られたＢセットの一方の
切断面に、スパッタを行い選択的にエッチングすること
により、電極１０９ａを図８のように選択的に形成し
た。このように、圧電素子２１０１と固定台１０７の連
続した面に電極１０９ａを形成することで、圧電素子２
１０１の内部電極６０１ａまたは６０１ｂと電極１０９
ａが電気的に導通する。つまり、導電材料を狭い空間に
配設する必要もないため作業性がよく、圧電素子２１０
１の外部電極と固定台１０７の電極が一度に形成するこ
とが可能になった。
切断面に、スパッタを行い選択的にエッチングすること
により、電極１０９ａを図８のように選択的に形成し
た。このように、圧電素子２１０１と固定台１０７の連
続した面に電極１０９ａを形成することで、圧電素子２
１０１の内部電極６０１ａまたは６０１ｂと電極１０９
ａが電気的に導通する。つまり、導電材料を狭い空間に
配設する必要もないため作業性がよく、圧電素子２１０
１の外部電極と固定台１０７の電極が一度に形成するこ
とが可能になった。
【００１９】Ｂセットの他方の切断面の電極形状を図９
に示した。図８と同様に、圧電素子２１０１と固定台１
０７の連続した面に、スパッタにより電極１０９ｂを形
成することで、内部電極６０１ｂまたは６０１ａと電極
１０９ｂが導通する。つまり、導電材料を狭い空間に配
設する必要もないため作業性がよく、圧電素子２１０１
の外部電極と固定台の１０７の電極が一度に形成するこ
とが可能となった。
に示した。図８と同様に、圧電素子２１０１と固定台１
０７の連続した面に、スパッタにより電極１０９ｂを形
成することで、内部電極６０１ｂまたは６０１ａと電極
１０９ｂが導通する。つまり、導電材料を狭い空間に配
設する必要もないため作業性がよく、圧電素子２１０１
の外部電極と固定台の１０７の電極が一度に形成するこ
とが可能となった。
【００２０】ここで、電極１０９ａおよび１０９ｂの形
成方法としては、スパッタに限定されず、厚膜印刷でも
同じ効果が得られた。
成方法としては、スパッタに限定されず、厚膜印刷でも
同じ効果が得られた。
【００２１】ここで、図１０に示すように、圧電素子２
１０１と固定台１０７の境界に、導電ペースト等の塗布
や銅箔等の導電材料２０３の接合を行えば、電気的信頼
性がさらに向上する。
１０１と固定台１０７の境界に、導電ペースト等の塗布
や銅箔等の導電材料２０３の接合を行えば、電気的信頼
性がさらに向上する。
【００２２】図１１に、圧電素子１０１およびダミー圧
電素子１１４を形成したＢセットの斜視図を示す。電極
１０９ａおよび１０９ｂが形成されたＢセットを、ダイ
シングソー等を用い、加工領域３０３を切断すること
で、圧電素子１０１およびダミー圧電素子１１４を形成
した。ここで、加工領域３０３の位置は、図に示すよう
に、圧電素子１０１には電極１０９ａが導通するような
位置である。この工程で、Ｂセットが完成する。
電素子１１４を形成したＢセットの斜視図を示す。電極
１０９ａおよび１０９ｂが形成されたＢセットを、ダイ
シングソー等を用い、加工領域３０３を切断すること
で、圧電素子１０１およびダミー圧電素子１１４を形成
した。ここで、加工領域３０３の位置は、図に示すよう
に、圧電素子１０１には電極１０９ａが導通するような
位置である。この工程で、Ｂセットが完成する。
【００２３】ここで、Ｂセット作成手段の他の実施例
を、前述の実施例との相違を中心に述べる。前述の実施
例の図８の工程においては、スパッタを行い選択的にエ
ッチングすることで電極１０９ａを形成した。Ｂセット
作成手段の他の実施例を図１２に示す。まず、前述の実
施例の図９の工程と同様に、圧電素子２１０１と固定台
１０７の連続した面に、スパッタ等により電極１０９ａ
を形成後、ダイシングソー等の切断手段にて、圧電素子
１０１およびダミー圧電素子１１４を形成する。その
後、図に示すように、ダイシングソー等の切断手段に
て、一面に形成された電極１０９ａを分離独立し、Ｂセ
ットを作成する。
を、前述の実施例との相違を中心に述べる。前述の実施
例の図８の工程においては、スパッタを行い選択的にエ
ッチングすることで電極１０９ａを形成した。Ｂセット
作成手段の他の実施例を図１２に示す。まず、前述の実
施例の図９の工程と同様に、圧電素子２１０１と固定台
１０７の連続した面に、スパッタ等により電極１０９ａ
を形成後、ダイシングソー等の切断手段にて、圧電素子
１０１およびダミー圧電素子１１４を形成する。その
後、図に示すように、ダイシングソー等の切断手段に
て、一面に形成された電極１０９ａを分離独立し、Ｂセ
ットを作成する。
【００２４】以上述べたようにＢセットを作成すれば、
固定台１０７と圧電素子１０１の間に電極がないため、
圧電素子１０１に電圧を印可しても、圧電素子１０１
の、固定台１０７側の最外層が変形せず、圧電素子１０
１と固定台１０７の接合面に荷重が直接かかることがな
くなった。
固定台１０７と圧電素子１０１の間に電極がないため、
圧電素子１０１に電圧を印可しても、圧電素子１０１
の、固定台１０７側の最外層が変形せず、圧電素子１０
１と固定台１０７の接合面に荷重が直接かかることがな
くなった。
【００２５】図１３にＢセット固定工程を示す断面図を
示した。まず、振動板１０３をインク流路１１０を形成
したインク流路板１０６に接着剤等で接合し、Ｂセット
をインク流路板１０６へ矢印Ａ方向へ挿入する。その
後、図１４に示すように、Ｂセットの固定台１０７とイ
ンク流路板１０６を接着剤１１１で接合した。
示した。まず、振動板１０３をインク流路１１０を形成
したインク流路板１０６に接着剤等で接合し、Ｂセット
をインク流路板１０６へ矢印Ａ方向へ挿入する。その
後、図１４に示すように、Ｂセットの固定台１０７とイ
ンク流路板１０６を接着剤１１１で接合した。
【００２６】その後、図４に示すように、振動板１０３
の面に、隔壁板１０４およびノズルプレート１０５を接
着剤等で接合し、固定台１０７にＦＰＣ１０８を実装す
ることで、図１〜図４のインクジェット式記録ヘッドを
得る。
の面に、隔壁板１０４およびノズルプレート１０５を接
着剤等で接合し、固定台１０７にＦＰＣ１０８を実装す
ることで、図１〜図４のインクジェット式記録ヘッドを
得る。
【００２７】本発明は、積層タイプの圧電素子を使用し
た場合には限定されない。図１５に、単層タイプの圧電
素子を用いたＢセット構成例を示した。内部電極のない
圧電材料５０２を固定台１０７に接合後、電極１０９ａ
および電極１０９ｂ（図示せず）を形成、図に示すよう
な形状にダイシングソー等で切断し、Ｂセットを構成す
ることもできる。
た場合には限定されない。図１５に、単層タイプの圧電
素子を用いたＢセット構成例を示した。内部電極のない
圧電材料５０２を固定台１０７に接合後、電極１０９ａ
および電極１０９ｂ（図示せず）を形成、図に示すよう
な形状にダイシングソー等で切断し、Ｂセットを構成す
ることもできる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々の
一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を接
合し、前記連続面に電極が形成されている構造およびそ
の製造方法により、導電材料を狭い空間に配設する必要
もないため、作業性が良くなる、という効果を有する。
と同時に、圧電素子と固定台の接合面に電極が不要とな
るため、前記接合面に直接荷重がかかることがなくな
り、信頼性が向上する、という効果を有する。
固定台と圧電素子の接合面と直交する少なくとも各々の
一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧電素子を接
合し、前記連続面に電極が形成されている構造およびそ
の製造方法により、導電材料を狭い空間に配設する必要
もないため、作業性が良くなる、という効果を有する。
と同時に、圧電素子と固定台の接合面に電極が不要とな
るため、前記接合面に直接荷重がかかることがなくな
り、信頼性が向上する、という効果を有する。
【００２９】また、本発明によれば、固定台と圧電素子
を接合後、圧電素子と固定台に同時に電極パターンを形
成することにより、圧電素子１０１に、予め電極膜を形
成する必要がなく、形成電極面が２面で済み、さらに
は、圧電素子１０１と固定台への電極形成が一度に行え
るため、工程の簡素化を図ることができる、という効果
を有する。従って、組立コストの削減および組立の信頼
性向上を図ることができる、という効果を有する。
を接合後、圧電素子と固定台に同時に電極パターンを形
成することにより、圧電素子１０１に、予め電極膜を形
成する必要がなく、形成電極面が２面で済み、さらに
は、圧電素子１０１と固定台への電極形成が一度に行え
るため、工程の簡素化を図ることができる、という効果
を有する。従って、組立コストの削減および組立の信頼
性向上を図ることができる、という効果を有する。
【００３０】さらに、バルク状圧電素子と固定台を接合
後、バルク状圧電素子と固定台を同時に切断加工するこ
とにより、組立工数の削減と、圧電素子と固定台の間で
の断差がないために、電極形成の信頼性向上を図ること
ができる、という効果を有する。
後、バルク状圧電素子と固定台を同時に切断加工するこ
とにより、組立工数の削減と、圧電素子と固定台の間で
の断差がないために、電極形成の信頼性向上を図ること
ができる、という効果を有する。
【図１】本発明による、インクジェット式記録ヘッドの
構造を示す平面図。
構造を示す平面図。
【図２】本発明による、インクジェット式記録ヘッドの
構造を示す図１のＡ−Ａ断面図。
構造を示す図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】本発明による、インクジェット式記録ヘッドの
構造を示す図２のＣ部詳細断面図。
構造を示す図２のＣ部詳細断面図。
【図４】本発明による、インクジェット式記録ヘッドの
構造を示す図１のＢ−Ｂ断面図。
構造を示す図１のＢ−Ｂ断面図。
【図５】本発明による、バルク状圧電素子と固定台の接
合工程を示す斜視図。
合工程を示す斜視図。
【図６】本発明による、図５のＡ部詳細図。
【図７】本発明による、バルク状圧電素子を切断加工後
の状態を示す斜視図。
の状態を示す斜視図。
【図８】本発明による、Ｂセットに形成された電極形状
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図９】本発明による、Ｂセットに形成された電極形状
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図１０】本発明による、Ｂセットに形成された電極形
状を示す斜視図。
状を示す斜視図。
【図１１】本発明における、圧電素子およびダミー圧電
素子を形成したＢセットの斜視図。
素子を形成したＢセットの斜視図。
【図１２】本発明における、圧電素子およびダミー圧電
素子を形成したＢセットの斜視図。
素子を形成したＢセットの斜視図。
【図１３】本発明における、Ｂセット固定工程を示す断
面図。
面図。
【図１４】本発明における、Ｂセットを固定後の状態を
示す断面図。
示す断面図。
【図１５】本発明における、圧電素子が単層タイプの場
合の、圧電素子およびダミー圧電素子を形成したＢセッ
トの斜視図。
合の、圧電素子およびダミー圧電素子を形成したＢセッ
トの斜視図。
【図１６】従来の製造法における、圧電素子と固定台の
接合方法を示す斜視図。
接合方法を示す斜視図。
【図１７】従来の製造方法における、圧電素子の外部電
極の構成を示す図。
極の構成を示す図。
【図１８】従来のインクジェット式記録ヘッドにおけ
る、圧電素子と固定台の構造を示す断面図。
る、圧電素子と固定台の構造を示す断面図。
【図１９】従来のインクジェット式記録ヘッドにおけ
る、圧電素子と固定台の構造を示す断面図。
る、圧電素子と固定台の構造を示す断面図。
１０１，２１０１ 圧電素子 １０２ ノズル開口部 １０３ 振動板 １０４ 隔壁板 １０５ ノズルプレート １０６ インク流路板 １０７ 固定台 １０８ ＦＰＣ １０９ａ，１０９ｂ 電極 １１０ インク流路 １１４ ダミー圧電素子 ２０１ 圧電素子 ２０２ａ，２０２ｂ 外部電極 ２０７ 固定台 ２０９ａ〜２０９ｅ 電極 ２１０ ワイヤー ２１１ 導電材料 ３０１ バルク状圧電素子の境目 ３０２ インク室 ３０３ 加工領域 ５０２ 圧電材料 ６０１ａ，６０１ｂ 内部電極 １１０１ バルク状圧電素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/16 B41J 2/01 B41J 2/295 H04L 41/083
Claims (6)
- 【請求項１】 一端面が固定台に接合された圧電素子の
前記接合面の対辺の変位によりインク室を加圧しインク
滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドであり、前
記固定台と前記圧電素子の前記接合面と直交する少なく
とも各々の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧
電素子を接合し、前記連続面に電極が形成されている構
造を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と
固定台に同時に電極パターンが形成されている構造を特
徴とする請求項１記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 バルク状圧電素子と固定台を接合後、バ
ルク状圧電素子と固定台を同時に切断加工されている構
造を特徴とする請求項２記載のインクジェット式記録ヘ
ッド。 - 【請求項４】 一端面が固定台に接合された圧電素子の
前記接合面の対辺の変位によりインク室を加圧しインク
滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドであり、前
記固定台と前記圧電素子の前記接合面と直交する少なく
とも各々の一面が連続するごとく、前記固定台と前記圧
電素子を接合し、前記連続面に電極を形成することを特
徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項５】 固定台と圧電素子を接合後、圧電素子と
固定台に同時に電極パターンを形成することを特徴とす
る請求項４記載のインクジェット式記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項６】 バルク状圧電素子と固定台を接合後、バ
ルク状圧電素子と固定台を同時に切断加工することを特
徴とする請求項５記載のインクジェット式記録ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12170293A JP3206214B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12170293A JP3206214B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06328679A JPH06328679A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3206214B2 true JP3206214B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=14817768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12170293A Expired - Fee Related JP3206214B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3206214B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4513120B2 (ja) * | 2004-02-24 | 2010-07-28 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
| JP5168934B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2013-03-27 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置、圧電アクチュエータ |
| CN108136777B (zh) * | 2015-11-02 | 2019-12-20 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 流体喷射模和塑料基基底 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP12170293A patent/JP3206214B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06328679A (ja) | 1994-11-29 |
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