CN107731708A - 判定装置 - Google Patents

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Abstract

提供判定装置，其对收纳在盒中的晶片进行判定。一种判定装置，其对被收纳在具有收纳空间的收纳构件中的收纳物是环形框架还是晶片进行判定，该判定装置具有：第一检测构件，其插入到该收纳空间中；以及第二检测构件，其比该第一检测构件浅地插入到该收纳空间中，该判定装置具有判定部，在从该第一检测构件的投光部发出的光被该收纳物遮挡而未到达第一检测构件的受光部的状态下，在从第二检测构件的投光部发出的光未到达第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为环形框架，在从第二检测构件的投光部发出的光到达第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为晶片。

Description

判定装置
技术领域
本发明涉及对收纳物进行判定的判定装置，该收纳物被收纳在对晶片等进行收纳的盒(收纳构件)中。
背景技术
在正面上形成有IC、LSI等多个器件的晶片在从背面侧进行磨削而成为规定的厚度之后，通过加工装置而分割成各个器件芯片，并搭载于移动电话或个人电脑等电子设备。
通常为了将该晶片搬送至磨削装置或切削装置等加工装置，将晶片收纳在盒(收纳构件)中。特别是在对该晶片的正面形成半导体元件的工序(所谓的前工序)中，为了防止气氛中的灰尘等附着在该正面上，使用被称为FOUP(Front Opening Unified Pod，前端开放式晶片传送盒)的盒。FOUP盒在前表面具有开闭机构(门或盖)，在对晶片进行搬送时能够将内部的收纳空间密闭。
在加工装置上设置有用于载置收纳构件的载置台(以下称为装载端口)。并且，当将FOUP盒载置于该装载端口并使FOUP盒的该开闭机构处于打开状态时(将门或盖打开时)，加工装置的搬送构件能够接近收纳在FOUP盒中的晶片。
但是，关于收纳在盒等收纳构件中的晶片，有时直接以单体的晶片的状态被收纳，但有时粘贴在张设于环形框架(环状框架)的带上并以与该环形框架一体化的状态被收纳构件收纳。并且，对于盒而言，存在能够对单体晶片以及与晶片成为一体的环形框架这双方进行收纳的盒。
但是，以往的装载端口分别针对对单体的晶片进行收纳的收纳构件以及对与晶片成为一体的环形框架进行收纳的收纳构件而专门设计。因此，为了应对双方的收纳构件，加工装置必须具有两种装载端口。
专利文献1中公开了实现两种装载端口的功能的装载端口。该装载端口对所载置的盒是对单体的晶片进行收纳的盒还是对与晶片成为一体的环形框架进行收纳的盒进行判别。
专利文献1：日本特开2014-241333号公报
但是，在能够对单体的晶片以及与晶片成为一体的环形框架这双方进行收纳的盒的情况下，虽然能判别该盒的种类，但无法判别该盒中收纳的收纳物的种类。加工装置选择并使用适合收纳物的种类的搬送构件而将该收纳物收纳于加工装置内，但若无法判别收纳物的种类，则无法使用适合该收纳物的搬送构件，这成为问题。
特别是在FOUP盒的情况下，当开闭机构为关闭状态时无法对该盒的内部进行视觉确认，因此作业者也无法目视盒而判定收纳物的种类来向加工装置输入晶片的种类。
发明内容
本发明是鉴于该问题而完成的，其目的在于提供如下的判定装置：能够可靠地对被收纳在盒中的收纳物是单体的晶片还是与晶片成为一体的环形框架进行判定。
根据本发明的一个方式，提供一种判定装置，其对被收纳在具有收纳空间的收纳构件中的收纳物是环形框架还是晶片进行判定，其特征在于，该判定装置具有：第一检测构件，其插入到该收纳空间中；以及第二检测构件，其比该第一检测构件浅地插入到该收纳空间中，在该第一检测构件和该第二检测构件中，分别在水平方向上按照规定的间隔配设有投光部和受光部，该判定装置具有判定部，在该第一检测构件和该第二检测构件插入到该收纳构件的该收纳空间中直至规定的位置、从该第一检测构件的投光部发出的光被该收纳物遮挡而未到达该第一检测构件的受光部的状态下，在从该第二检测构件的投光部发出的光未到达该第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为环形框架，在从该第二检测构件的投光部发出的光到达该第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为晶片。
另外，在本发明的一个方式的判定装置中，也可以是，该判定部还具有如下的功能：通过在该第一检测构件和该第二检测构件插入到收纳有多个收纳物的该收纳构件的该收纳空间中直至规定的位置的状态下使第一检测构件和第二检测构件在垂直方向上进行扫描，从而对该多个收纳物进行判定。
另外，也可以是，本发明的一个方式的判定装置还具有第三检测构件，该第三检测构件具有对环形框架进行检测的功能，该第三检测构件具有投光部和受光部，该第三检测构件的投光部和受光部在将该第一检测构件的投光部和受光部连结起来的方向上配设在该第一检测构件的投光部与受光部之间，该判定部还具有如下的功能：在从该第一检测构件的投光部发出的光被该收纳物遮挡而未到达该第一检测构件的受光部的状态下，在从该第三检测构件的投光部发出的光被该收纳物反射而到达该第三检测构件的受光部的情况下，将该收纳物判定为环形框架。
本发明的一个方式的判定装置接近加工装置的装载端口而设置，能够在将收纳物(晶片或环形框架)搬入至加工装置之前对被收纳在收纳构件中的收纳物的种类进行判定。特别是在FOUP盒的情况下，在收纳物搬出时盖处于打开状态，通过该判定装置能够对收纳物的种类进行判定。
若能够对盒的收纳物的种类进行判定，则在将收纳物搬入至加工装置时，能够确定应该使用适合单体的晶片的搬送构件或适合环形框架的搬送构件中的哪一个，因此加工装置能够通过最适的搬送构件接近收纳物。
该判定装置能够广泛地应用于能够在收纳空间中插入该检测构件的收纳构件，也能够应用于FOUP盒以外的盒等。在FOUP盒以外的盒的情况下，能够从外部对收纳物进行视觉确认，但当将该盒载置于加工装置的装载端口时，作业者必须将收纳物的种类输入并登记在加工装置中。
当本发明的判定装置设置在加工装置的搬入搬出口与盒之间时，能够通过该判定装置自动地对被收纳在盒的收纳空间中的收纳物的种类进行判定。因此，即使作业者未将种类输入给该加工装置，加工装置也能够通过适当的搬送构件接近收纳物。这样，该判定装置对于FOUP盒以外的盒也有用。
根据本发明，能够提供如下的判定装置：能够可靠地对被收纳在盒中的收纳物是单体的晶片还是与晶片成为一体的环形框架进行判定。
附图说明
图1的(A)是表示晶片的示意图，图1的(B)是表示与晶片成为一体的环形框架的示意图。
图2的(A)是表示对单体的晶片进行收纳的收纳构件的示意图，图2的(B)是表示对与晶片成为一体的环形框架进行收纳的收纳构件的示意图，图2的(C)是表示FOUP型收纳构件的示意图。
图3是对判定装置、装载端口和收纳构件的位置关系进行示意性说明的立体图。
图4的(A)是对判定装置对环形框架进行判定的例子进行示意性说明的俯视图，图4的(B)是对判定装置对单体的晶片进行判定的例子进行示意性说明的俯视图。
图5是对基于判定装置的判定的例子进行示意性说明的俯视图。
图6的(A)是对将收纳构件载置于装载端口时的判定装置的位置进行说明的侧视图，图6的(B)是对将收纳物搬送至加工装置时的判定装置的位置进行说明的侧视图。
标号说明
1：晶片；1a：正面；3：分割预定线；5：器件；7：带；9：环形框架；9a：侧面；11：环形框架一体化晶片(收纳物)；2，2a，2b，2c：晶片收纳构件(盒)；4，4a，4b，4c：搬入搬出部；6，6a，6b，6c：收纳空间；8，8a，8b，8c：架子；10：盖；12：侧面侧的壳体；14a，14c：上表面侧的壳体；14b：构造体；16a，16b，16c：把手；20：装载端口；22：判定装置；24：搬入搬出口；26：壳体(支承构件)；28：检测构件支承体；30a：第一突出部；30b：第二突出部；32a：第一检测构件的投光部；32b：第一检测构件的受光部；34a：第二检测构件的投光部；34b：第二检测构件的受光部；36a：第三检测构件的投光部；36b：第三检测构件的受光部。
具体实施方式
对本发明的实施方式进行说明。首先，对被收纳在收纳构件中的收纳物进行说明。该收纳物是本实施方式的判定装置的判定对象。图1的(A)中示出单体的晶片1来作为该收纳物的一例。
晶片1由硅、SiC(碳化硅)或其他的半导体等材料或蓝宝石、玻璃、石英的材料构成。本实施方式的判定装置中，作为判定对象的晶片1是大致圆盘状的晶片，但有时也可以将该判定装置等构成为将矩形形状的基板作为判定对象。以下，在本实施方式中，以大致圆盘状的晶片1为例进行说明。
如图1的(A)所示，晶片1的正面1a被呈格子状排列的分割预定线3划分成多个区域，在各区划中形成有IC、MEMS、LED等器件5。晶片1最终沿着分割预定线3进行分割而制作多个器件芯片。
在图1的(B)中示出与晶片成为一体的环形框架11来作为被收纳在收纳构件中的收纳物的另一例。如图1的(B)所示，带7张设在环形框架(环状框架)9的大致圆形状的开口部中，在该带7上粘贴上述的晶片1。在由晶片1的分割预定线3所划分的各区域中如上所述形成有器件5。
另外，该环形框架9具有平坦的侧面9a。后述的判定装置22对该侧面9a照射光并对在该平坦的侧面9a上发生了反射的该光进行检测，从而将被收纳在收纳构件中的收纳物判定为环形框架。另一方面，晶片1的侧面由曲面构成，因此即使对该侧面照射光，也不会朝向判定装置22反射光。在判定装置22无法检测到该光的情况下，将被收纳在收纳构件中的收纳物判定为晶片。详细内容在后文进行叙述。
接着，说明对晶片1等收纳物进行收纳的收纳构件。在图2的(A)中示意性示出对单体的晶片1进行收纳的收纳构件2a来作为收纳构件(盒)的一例。如图2的(A)所示，该收纳构件2a能够将多个晶片1重叠而进行收纳。
该收纳构件2a在前表面具有能够进行晶片1的放入和取出的搬入搬出部4a，晶片1从该搬入搬出部4a搬入至收纳构件2a的收纳空间6a。在对收纳空间6a进行划定的两个侧面侧的壳体12a的内侧的面上，设置有具有多个层的架子8a，搬入至收纳空间6a的晶片1被收纳在架子8a的任意一层中。在对晶片1进行收纳时，将晶片1运送到要收纳的层的高度，并插入到收纳空间6a内直至规定的位置而被收纳到规定的层。
另外，收纳构件2a具有上表面侧的壳体14a，在该上表面侧的壳体14a上设置有用于搬送收纳构件2a的把手16a。
另外，若具有作为收纳构件(盒)的基本结构，则收纳构件(盒)的结构可以适当变更。例如可以不设置上表面侧或侧面侧的壳体。壳体也可以设置在下表面侧或背面侧，把手可以设置在收纳构件2a的上表面侧以外的位置。另外，当不依赖于作业者而是通过设置在无尘室等的搬送构件对收纳构件2a进行搬送时，可以设置安装在该搬送构件上的连接机构(未图示)来代替把手16a。
接着，在图2的(B)中示意性示出对与晶片成为一体的环形框架11进行收纳的收纳构件2b来作为收纳构件的另一例。图2的(B)所示的收纳构件2b的基本的结构与图2的(A)所示的收纳构件2a是同样的。
即，收纳装置2b具有搬入搬出部4b，与晶片成为一体的环形框架11从该搬入搬出部4b搬入至收纳构件2b的收纳空间6b。在对收纳空间6b进行划定的两个侧面侧的壳体12b的内表面上，设置有多层的架子8b，插入到收纳空间6b中的与晶片成为一体的环形框架11被收纳在该架子8b的任意一层中。
图2的(B)所示的收纳构件2b在上表面没有设置壳体，取而代之具有将两个侧面侧的壳体12b连接起来的构造体14b。另外，将两个侧面侧的壳体12b连接起来的构造体也可以设置在收纳构件2b的下表面侧(未图示)。
接着，在图2的(C)中示出FOUP型的收纳构件2c来作为收纳构件的另一例。FOUP型的收纳构件2c具有设置于前表面而对搬入搬出部4c进行封闭的盖(门)10以及在搬入搬出部4c以外的部分围绕收纳空间6c的壳体，除了收纳物的搬入搬出时以外，该盖10将收纳空间6c封闭。通过该盖10能够抑制气氛中的灰尘等的侵入，因此收纳空间6c保持清洁，收纳物不容易被污染。
收纳空间6c在盖10处于关闭状态时，能够以高水准维持清洁度，因此若外部环境能够确保一定水准的清洁度，则无需为了使该环境的清洁度高达外部环境以上而花费很大的成本。
收纳构件2c具有对收纳空间6c进行划定的两个侧面侧的壳体12c、上表面侧的壳体14c以及背面侧和底面侧的壳体(未图示)，在侧面侧的壳体12c的内侧设置有多层的架子8c。该收纳构件2c例如也可以能够对与晶片成为一体的环形框架和单体的晶片中的任意一个进行收纳。
当该FOUP型的收纳构件2c载置于加工装置的装载端口并将盖10打开时，能够进行收纳物的搬入搬出。插入到收纳空间6c的晶片或环形框架被收纳在架子8c的任意一层。收纳物的搬入搬出结束后，再次使盖10关闭。
当收纳构件2c的盖10关闭时，只要收纳构件2c的壳体不透明，则无法通过目视判别收纳物的种类。另外，收纳构件2c的盖10打开的情况是在收纳构件2c载置于装载端口并使搬入搬出部4c朝向加工装置的搬入搬出口时，因此在该状态通过目视判别收纳物也不容易。因此，根据本实施方式的判定装置，对被收纳在收纳构件2c中的收纳物进行判定。于是，加工装置能够选择适当的搬送构件而接近收纳构件2c中收纳的收纳物。
接着，对本实施方式的判定装置进行说明。图3是示意性示出载置于加工装置的装载端口20的收纳构件2和判定装置22的立体图。收纳构件2在将搬入搬出部4朝向加工装置的搬入搬出口24的门的状态下载置于装载端口20上。收纳构件向加工装置的搬入搬出口24移动规定的距离，搬入搬出口24的门打开，加工装置的搬送构件或判定装置22成为能够通过搬入搬出部4而接近收纳空间的状态。
判定装置22配设在加工装置的搬入搬出口24附近，能够上下移动。在进行收纳物的判定动作时，使判定装置22向上侧移动以便能够将检测构件(后述)插入到收纳空间中。另外，在收纳物的搬入搬出时，使判定装置22例如向下侧移动以便不干涉加工装置的搬出构件的搬入搬出作业。
另外，在图3中，示出FOUP型的盒来作为收纳构件2的一例，但在本实施方式中，载置于加工装置的装载端口20的收纳构件2不限于FOUP型的盒。
在不是FOUP型那样盖能够关闭的收纳构件的情况下，能够从外部目视判别收纳物的种类，但为了加工装置利用适当的搬出构件接近该收纳物，需要作业者将收纳物的种类输入至加工装置。当使用本实施方式的判定装置22时，即使作业者不向加工装置输入该种类，也能判别收纳物的种类而自动地输入种类。以下，对判定装置22的各结构要素和基于判定装置22的判定进行详细说明。
图4的(A)和图4的(B)是对判定装置22的第一检测构件(后述)和第二检测构件(后述)插入到收纳构件的收纳空间中的状态进行说明的俯视图。图4的(A)是对被收纳在收纳构件中的收纳物是与晶片成为一体的环形框架11的情况进行说明的图。首先，使用图4的(A)对判定装置22的各结构要素进行说明。
判定装置22具有配置在加工装置的搬入搬出口24附近的平板状的壳体(支承构件)26。壳体26例如借助升降机构(未图示)被加工装置支承，在上方的检测位置与下方的退避位置之间移动。另外，该壳体26具有在定位于上方的检测位置的状态下与搬入搬出口24相对的第一面。
壳体26在相对于第一面平行且水平的第一方向D1上的长度例如大于搬入搬出部4在第一方向上的长度。另一方面，壳体26在与第一面垂直的第二方向(厚度方向)D2上的长度例如为能够对构成判定装置22的判定单元(判定部)(未图示)等进行收纳的程度。但是，对于壳体26的大小没有特别的限制。
在壳体26的上端侧，朝向搬入搬出口24突出的第一突出部30a和第二突出部30b在第一方向D1上隔开规定的间隔而配置在大致相同的高度。第一突出部30a和第二突出部30b例如是由不锈钢等形成的棒状的部件，形成为相同的长度。
另外，对于第一突出部30a和第二突出部30b的安装方式没有特别限制。第一突出部30a和第二突出部30b例如可以间接地安装在壳体26上。具体而言，也可以是，使第一突出部30a和第二突出部30b支承于沿第一方向D1延伸的棒状的支承体(检测构件支承体28)上，然后将该检测构件支承体28固定于壳体26。以下，以利用检测构件支承体28对第一突出部30a和第二突出部30b进行支承的情况为例进行说明。
能够利用包含电动机等而构成的水平移动机构(未图示)使检测构件支承体28向载置于装载端口20的收纳构件2的方向移动，能够将第一突出部30a和第二突出部30b插入到收纳构件2的收纳空间6中。另外，检测构件支承体28可以具有水平移动机构，也可以使第一突出部30a和第二突出部30b与检测构件支承体28独立地向收纳空间2的方向移动。
判定装置22所具有的壳体(支承构件)26、检测构件支承体28、第一突出部30a以及第二突出部30b分别例如由不锈钢构成。为了对作为后述的检测构件或控制部等的通信路径的电布线及各检测构件中所用的用于导出光的光纤等进行敷设，分别使各自的一部分为中空构造。但是，对于各构造物的材质和形状等没有特别的限制。
在第一突出部30a的前端附近设置有第一检测构件的投光部32a，在该第一突出部30a的基端侧设置第二检测构件的投光部34a。另外，在第二突出部30b的前端附近设置第一检测构件的受光部32b，在该第二突出部30b的基端侧设置第二检测构件的受光部34b。另外，第一检测构件和第二检测构件可以分别置换投光部和受光部而配设。
因此，该第一检测构件的投光部32a和该第一检测构件的受光部32b在检测构件支承体28的轴向上隔开规定的间隔而配设。这里，规定的间隔是在两者之间能够对收纳物的一部分进行定位的距离，并且是使两者同时落入收纳构件的收纳空间中的距离。该第二检测构件的投光部34a和该第二检测构件的受光部34b也同样地在轴向上隔开规定的间隔而配设。
也可以是，第一突出部30a和第二突出部30b被检测构件支承体28支承，并且能够沿轴向在检测构件支承体28上移动。于是，能够与收纳构件2和收纳物的大小一致地确定第一突出部30a和第二突出部30b的位置以使第一突出部30a与第二突出部30b之间的间隔成为上述的规定的间隔。
判定装置22按照将收纳物的一部分定位于第一突出部30a与第二突出部30b之间的方式将两者插入到收纳空间的规定的位置。此时，由于各投光部和各受光部的配置，第二检测构件与第一检测构件相比朝向该收纳空间较浅地插入。
第一检测构件的投光部32a具有朝向第一检测构件的受光部32b放射出光的功能。若在两者之间不存在遮挡光的物体、例如被收纳在收纳构件中的收纳物，则从第一检测构件的投光部32a发出的光到达第一检测构件的受光部32b，第一检测构件的受光部32b接受到该光。第二检测构件的投光部34a和第二检测构件的受光部34b也具有同样的功能。
第一和第二检测构件中，使用LED或激光束振荡器等光源。但是，该光源无需设置于第一突出部30a，可以设置于判定装置22的壳体(支承构件)26或判定装置22的外部。在该情况下，可以是，将光纤等敷设于检测构件支承体28或第一突出部30a，将从该光源发出的光导入至第一和第二检测构件的投光部，从该投光部朝向受光部放射该光。
第一至第二检测构件中，使用CCD或CMOS传感器等光检测器。但是，该光检测器无需设置于第二突出部30b，可以设置于判定装置22的壳体(支承构件)26或判定装置22的外部。在该情况下，可以是，将光纤等敷设于第二突出部30b或检测构件支承体28，将到达第一和第二检测构件的受光部的光从该受光部导入至该光检测器，使该光检测器进行检测。
另外，判定装置22可以进一步具有第三检测构件的投光部36a和第三检测构件的受光部36b，在该情况下，两者被检测构件支承体28支承。并且，在将第一检测构件的投光部32a和第一检测构件的受光部32b连结起来的方向上，该第三检测构件的投光部和受光部配设在该第一检测构件的投光部32a与该第一检测构件的受光部32b之间。
第三检测构件的投光部36a具有朝向被收纳在收纳构件中的收纳物发出光的功能。从第三检测构件的投光部36a发出的光被该收纳物反射，当该光到达第三检测构件的受光部36b时，第三检测构件的受光部36b对该光进行检测。即使该光到达收纳物，若该收纳物未朝向第三检测构件的受光部36b反射光，则该光也不会到达第三检测构件的受光部36b。
另外，第三检测构件的投光部36a可以与第一或第二检测构件的投光部同样地构成，第三检测构件的受光部36b可以与第一或第二检测构件的受光部同样地构成。
另外，判定装置22具有判定部(未图示)。判定部通过布线等而与各检测构件连接，具有对各投光部的光的放射进行控制并对各受光部的关于光的检测的信息进行接收的功能。并且，具有根据各检测构件的检测结果来对被收纳在收纳空间6中的收纳物的种类进行判定的功能。
以下，对基于判定装置22的收纳物的判定方法进行说明。首先，判定装置22将第一突出部30a和第二突出部30b插入到收纳空间6中直至规定的位置，然后对检测构件支承体28的高度进行调整以便收纳物能够存在于第一检测构件的投光部32a与第一检测构件的受光部32b之间。另外，检测构件支承体28沿上下方向的移动借助判定装置22的升降机构(未图示)连同壳体26一起上下移动而进行。
一边从第一检测构件的投光部32a发出光并利用第一检测构件的受光部32b接受该光一边进行高度的调整。当检测构件支承体28定位于收纳物存在于第一检测构件的投光部32a与第一检测构件的受光部32b之间的高度时，该光被该收纳物遮挡而导致第一检测构件的受光部32b无法接受到该光。当第一检测构件的受光部32b成为不接受光的状态时，判定部判断检测构件支承体28已被调整为规定的高度。
若检测构件支承体28的高度的调整结束，则第二检测构件的投光部34a朝向第二检测构件的受光部34b发出光。
图4的(A)中示出了收纳物是与晶片成为一体的环形框架11的情况。如该图所示，环形框架11将从第二检测构件的投光部34a发出的光遮挡，因此第二检测构件的受光部34b不接受该光。在第二检测构件的受光部34b未检测到该光的情况下，该判定装置22的判定部将该收纳物判定为与晶片成为一体的环形框架11。
另一方面，图4的(B)中示出了收纳物是晶片1的情况。在收纳物是晶片1的情况下，如图4的(B)所示，晶片1未将从第二检测构件的投光部34a发出的光遮挡，因此第二检测构件的受光部34b能够接受到该光。在第二检测构件的受光部34b接受到该光的情况下，该判定装置22的判定部将该收纳物判定为晶片1。
晶片1和与晶片成为一体的环形框架11的形状不同。因此，判定装置22的判定部能够利用从第二检测构件的投光部34a发出的光是否被第二检测构件的受光部34b接受而对收纳物的种类进行判定。另外，第二检测构件可以在能够识别两者的形状不同的范围内适当地变更配置。
另外，判定装置22也可以使用第三检测构件的投光部36a和第三检测构件的受光部36b对被收纳在收纳构件中的收纳物的种类进行判定。以下，使用图5对使用了它们而进行的收纳物的判定方法进行说明。
首先，对检测构件支承体28的高度进行调整以便该收纳物能够存在于第一检测构件的投光部32a与第一检测构件的受光部32b之间。高度的调整使用第一检测构件与上述同样地进行。若检测构件支承体28的高度的调整结束，则从第三检测构件的投光部36a朝向收纳物放射出光。
如图5所示，在收纳物是与晶片成为一体的环形框架11的情况下，该光入射至环形框架的平坦的侧面9a而被反射。并且，该光到达第三检测构件的受光部36b，第三检测构件的受光部36b接受到该光。在该情况下，判定装置22的判定部将收纳物判定为与晶片成为一体的环形框架11。
另一方面，在收纳物是晶片1的情况下，该晶片1的侧面为曲面，因此即使从第三检测构件的投光部36a放射的光入射至该侧面，该光通常也不会被反射至第三检测构件的受光部36b的方向。在第三检测构件的受光部36b不接受该光的情况下，判定装置22的判定部将该收纳物判定为晶片1。
另外，本实施方式的判定装置22能够通过在将第一检测构件和该第二检测构件插入到收纳构件2的收纳空间中规定的位置的状态下使检测构件支承体28在垂直方向上进行扫描，从而同时对该多个收纳物进行判定。以下，对这样的判定方法进行说明。
首先，将第一突出部30a和第二突出部30b插入到该收纳空间中直至规定的位置。接着，在从第一检测构件的投光部32a朝向第一检测构件的受光部32b放射出光的状态下，使检测构件支承体28在垂直方向上移动。
并且，当第一检测构件的受光部32b不接受该光时，即检测构件支承体28的高度与收纳物的高度一致时，使第二检测构件进行动作，对该收纳物进行判定。不使检测构件支承体28停止而对多个收纳物反复进行该过程。
于是，判定装置22的判定部能够对多个收纳物是多个晶片还是多个与晶片成为一体的环形框架11(与晶片成为一体的环形框架)进行判定。
例如收纳构件2具有多层的架子，能够在该架子的各层中收纳晶片或环形框架，但不限于在该多层的架子的所有的层收纳有收纳物。若加工装置没有对在哪一层收纳有收纳物进行把握，则在晶片的搬入时无法将搬送构件定位于适当的高度。因此，通过使检测构件支承体28在垂直方向上进行扫描，能够对在哪一层收纳有收纳物进行确认。
另外，当在收纳构件2中收纳多个收纳物时，通常使所有的收纳物为相同的种类，因此只要对一个收纳物的种类进行判定就足够了，但也考虑由于一些情况而对种类不同的收纳物进行收纳的情况。当使用本实施方式的判定装置22时，即使在这样的情况下，也能够分别对多个收纳物的种类进行判定，因此在收纳物的种类存在问题时，能够立刻对异常进行检测。
在通过判定装置22对收纳物的种类进行了判定之后，加工装置根据判定装置22的判定结果并根据收纳物的种类，选择适当的搬出构件接近该收纳构件2的内部，将收纳物从收纳构件2搬出而将该收纳物搬入至该加工装置内。此时，判定装置22向下方移动以便不干涉收纳物的搬出/搬入作业。
图6是示意性示出收纳构件2、装载端口20和判定装置22的位置关系的侧视图。图6的(A)是示出在装载端口20载置有收纳构件2时的位置关系的图，图6的(B)是示出对收纳物进行搬送时的位置关系的图。
如图6的(A)所示，当在装载端口20上载置收纳构件2时，用于收纳物的判定的判定装置22定位于规定的高度。另外，如图6的(B)所示，在收纳物的搬送时，判定装置22定位于退避位置以便不干涉收纳物的搬送作业。
如以上说明，根据本实施方式的判定装置，能够可靠地对被收纳在收纳构件(盒)中的收纳物是单体的晶片还是与晶片成为一体的环形框架进行判定。
另外，本发明不限于上述实施方式的记载，可以进行各种变更而实施。例如在上述实施方式中，第一检测构件、第二检测构件和第三检测构件的投光部分别放射出光，受光部分别接受该光，但例如也可以使各检测构件所用的光的波长不同。在该情况下，若使各检测构件仅对分别对应的波长的光进行检测，则不会对其他检测构件的投光部等发出的光进行误检测。
另外，在上述实施方式中，判定装置在对被收纳在收纳构件中的收纳物是晶片还是与晶片成为一体的环形框架进行判定时，利用了两者的形状的不同。但是，例如也可以是，在收纳构件中，在对单体的晶片进行收纳的情况以及对与晶片成为一体的环形框架进行收纳的情况下，使收纳在架子上时的收纳位置不同。在该情况下，判定装置对该位置的不同进行识别而对收纳物的种类进行判定。
具体而言，当将晶片收纳于收纳构件时，按照从搬入搬出部来看位于里侧的方式对晶片进行收纳，当对与晶片成为一体的环形框架进行收纳时，将该环形框架收纳于比较靠近搬入搬出部的位置。更具体而言，当对晶片进行收纳时，收纳于不对从第二检测构件的投光部放射的光进行遮挡的位置，当对与晶片成为一体的环形框架进行收纳时，收纳于将该光遮挡的位置。
并且，在从该第二检测构件的投光部放射的光未被该第二检测构件的受光部接受的情况下，将该收纳物判定为与晶片成为一体的环形框架。当从该第二检测构件的投光部放射的光被该第二检测构件的受光部接受的情况下，将该收纳物判定为晶片。判定装置为了能够如此进行判定，可以使收纳构件的架子等结构构成为对于晶片和环形框架收纳于不同的位置。
除此之外，上述实施方式的构造、方法等可以在不脱离本发明的目的的范围内适当进行变更而实施。

Claims (3)

1.一种判定装置，其对被收纳在具有收纳空间的收纳构件中的收纳物是环形框架还是晶片进行判定，其特征在于，
该判定装置具有：
第一检测构件，其插入到该收纳空间中；以及
第二检测构件，其比该第一检测构件浅地插入到该收纳空间中，
在该第一检测构件和该第二检测构件中，分别在水平方向上按照规定的间隔配设有投光部和受光部，
该判定装置具有判定部，在该第一检测构件和该第二检测构件插入到该收纳构件的该收纳空间中直至规定的位置、从该第一检测构件的投光部发出的光被该收纳物遮挡而未到达该第一检测构件的受光部的状态下，在从该第二检测构件的投光部发出的光未到达该第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为环形框架，在从该第二检测构件的投光部发出的光到达该第二检测构件的受光部的情况下，所述判定部将该收纳物判定为晶片。
2.根据权利要求1所述的判定装置，其特征在于，
该判定部还具有如下的功能：通过在该第一检测构件和该第二检测构件插入到收纳有多个收纳物的该收纳构件的该收纳空间中直至规定的位置的状态下使第一检测构件和第二检测构件在垂直方向上进行扫描，从而对该多个收纳物进行判定。
3.根据权利要求1或2所述的判定装置，其特征在于，
所述判定装置还具有第三检测构件，该第三检测构件具有对环形框架进行检测的功能，
该第三检测构件具有投光部和受光部，
该第三检测构件的投光部和受光部在将该第一检测构件的投光部和受光部连结起来的方向上配设在该第一检测构件的投光部与受光部之间，
该判定部还具有如下的功能：在从该第一检测构件的投光部发出的光被该收纳物遮挡而未到达该第一检测构件的受光部的状态下，在从该第三检测构件的投光部发出的光被该收纳物反射而到达该第三检测构件的受光部的情况下，将该收纳物判定为环形框架。
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