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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Bestimmungsvorrichtung zum Bestimmen eines Objekts wie einem Wafer, der in einer Kassette (Aufnahmemittel) aufgenommen ist.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Mehrere Bauelemente wie integrierte Schaltungen (ICs) und Large-Scale-Integrations (LSIs) sind an der vorderen Seite eines Wafers ausgebildet. Die hintere Seite des Wafers, der mehrere Bauelemente an der vorderen Seite aufweist, wird geschliffen, um die Dicke des Wafers auf eine vorbestimmte Dicke zu reduzieren. Danach wird der Wafer in einzelne Bauelementchips unter Verwendung einer Bearbeitungsvorrichtung geteilt. Die Bauelementchips, die so erhalten werden, werden in elektronischen Ausstattungen wie Mobiltelefonen und Personalcomputern montiert.
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Im Allgemeinen ist der Wafer in einer Kassette (Aufnahmemittel) aufgenommen, um den Wafer zu einer Bearbeitungsvorrichtung wie einer Schleifvorrichtung und einer Schneidvorrichtung zu transportieren. Insbesondere in einer Bearbeitung (in einem sogenannten Front-End-Prozess) zum Ausbilden von Bauelementen an der vorderen Seite des Wafers wird eine Kassette verwendet, die als eine Front-Opening-Unified-Pod (FOUP) bezeichnet wird, um ein Problem zu verhindern, in dem Staub oder dergleichen aus der Atmosphäre an der vorderen Seite des Wafers anhaftet. Solch eine FOUP-Kassette weist einen Schließmechanismus (Tür oder Klappe) zum Schließen einer vorderen Öffnung auf. Entsprechend kann ein Aufnahmeraum, der in der Kassette ausgebildet ist, durch den Schließmechanismus beim Transferieren des Wafers eingeschlossen werden. Die Bearbeitungsvorrichtung ist mit einem Befestigungstisch (der im Folgenden als Ladeanschluss bezeichnet wird) bereitgestellt, um die Kassette als ein Aufnahmemittel daran zu montieren. Wenn die FOUP-Kassette an dem Ladeanschluss platziert ist und der Schließmechanismus der FOUP-Kassette geöffnet wird (die Tür oder die Klappe geöffnet wird) wird dem Transfermittel, das in der Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet ist, ermöglicht, den Wafer zugreifen, der in der FOUP-Kassette aufgenommen ist.
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In einigen Fällen ist ein Wafer alleine in einem Aufnahmemittel wie einer Kassette aufgenommen. In anderen Fällen ist eine Rahmeneinheit, die durch ein Verbinden eines Wafers und eines Ringrahmens (ringförmiger Rahmen) ausgebildet ist, auch in einem solchen Aufnahmemittel aufgenommen, wobei ein Band an seinem umfänglichen Abschnitt an dem Ringrahmen getragen ist, wobei der Wafer an dem zentralen Abschnitt des Bands angebracht ist. Ferner existiert eine Kassette, die dazu geeignet ist, beides einen Wafer alleine und eine solche Rahmeneinheit aufzunehmen. Jedoch ist ein konventioneller Ladeanschluss so ausgestaltet, dass dieser für ein Aufnahmemittel zum Aufnehmen eines Wafers alleine oder eines Aufnahmemittels zum Aufnehmen einer Rahmeneinheit ausgestaltet ist. D. h., dass eine konventionelle Bearbeitungsvorrichtung zwei Sorten Lade Anschlüsse entsprechend dem Aufnahmemittel für den Wafer allein oder dem Aufnahmemittel für die Rahmeneinheit beinhalten muss.
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Die japanische Offenlegungsschrift
JP 2014 -
241 333 A offenbart einen Ladeanschluss, der die Funktionen solcher zwei Sorten Ladeanschlüsse realisiert. D. h., dieser Ladeanschluss kann Bestimmen ob die Kassette, da die daran platziert ist, eine Kassette zum Aufnehmen eines Wafers allein oder eine Kassette zum Aufnehmen einer Rahmeneinheit ist.
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US 2015 / 0 300 960 A1 betrifft eine Bearbeitungsvorrichtung für ein Substrat.
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Jedoch in dem Fall des Verwendens einer Kassette, die dazu in der Lage ist, beides einen Wafer alleine und eine Rahmeneinheit aufzunehmen, kann die Sorte der Kassette bestimmt werden, jedoch kann die Sorte des Objekts, das in der Kassette aufgenommen ist, nicht bestimmt werden. Die Bearbeitungsvorrichtung wird betätigt, um ein Transfermittel zu wählen, das für die Art des Objekts geeignet ist, und danach dieses Objekt in die Bearbeitungsvorrichtung unter Verwendung dieses Transfermittel zu transferieren. Jedoch, außer die Art des Objekts kann bestimmt werden, kann das Transfermittel, das für die Art des Objekts geeignet ist, nicht verwendet werden. Insbesondere in dem Fall der oben genannten FOUP Kassette kann das Innere der Kassette nicht visuell in dem geschlossenen Zustand des Schließmechanismus erkannt werden. Entsprechend kann ein Bediener die Art des Objekts, das in der FOUP-Kassette aufgenommen ist, nicht bestimmen und kann darum nicht die richtige Art des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung eingeben.
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Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Bestimmungsvorrichtung bereitzustellen, die zuverlässig bestimmen kann, ob das Objekt, das in der Kassette aufgenommen ist, einen Wafer allein oder einer Rahmeneinheit, die durch Verbinden des Wafers und eines Ringrahmens ausgebildet ist, ist.
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In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Bestimmungsvorrichtung zum Bestimmenden, ob ein Objekt, das durch das Aufnahmemittel aufgenommen ist, das einen Aufnahmeraum aufweist, ein Wafer allein oder eine Rahmeneinheit, die durch Verbinden des Wafers und eines Ringrahmens ausgebildet ist, ist bereitgestellt; wobei die Bestimmungsvorrichtung ein erstes Detektionsmittel, das dazu angepasst ist, in den Aufnahmeraum eingeführt zu werden, und ein zweites Detektionsmittel, das dazu angepasst ist, in den Aufnahmeraum weniger tief als das erste Detektionsmittel eingeführt zu werden, beinhaltet; wobei jedes das erste Detektionsmittel und das zweite Detektionsmittel einen Licht transmittierenden Abschnitt und einen Licht empfangenden Abschnitt beinhalten, die voneinander um einen vorbestimmten Abstand in einer horizontalen Richtung beabstandet sind; wobei die Bestimmungsvorrichtung ferner ein Bestimmungsmittel zum Bestimmen, ob das Objekt der Wafer oder die Rahmeneinheit ist, in dem Zustand beinhaltet, in dem das erste Detektionsmittel und das zweite Detektionsmittel in den Aufnahmeraum zu einer vorbestimmten Position eingeführt sind, in welcher das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des ersten Bestimmungsmittels durch das Objekt blockiert ist und nichts den nicht empfangenden Abschnitt des ersten Detektionsmittels erreicht; wobei, wenn Licht, das von dem Licht transmittieren Abschnitt des zweit Detektionsmittels transmittiert wird, durch das Objekt blockiert wird und nicht den Licht empfangenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels erreicht, das Bestimmungsmittel bestimmt, dass das Objekt die Rahmeneinheit ist, wobei, wenn das Licht von dem Licht transmittieren Abschnitt des zweit Detektionsmittels nicht durch das Objekt blockiert wird und den Licht empfangenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels erreicht, das Bestimmungsmittel bestimmt, dass das Objekt der Wafer ist.
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Vorzugsweise beinhaltet das Objekt mehrere Objekte, die in dem Aufnahmeraum des Aufnahmemittels aufgenommen sind und das Bestimmungsmittel bestimmt ob jedes der Objekte der Wafer oder die Rahmeneinheit ist, durch Abtasten des ersten Bestimmungsmittels und des zweiten Bestimmungsmittels in einer vertikalen Richtung in dem Zustand, in dem das erste Detektionsmittel und das zweite Detektionsmittel in den Aufnahmeraum zu der vorbestimmten Position eingeführt sind.
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Vorzugsweise beinhaltet die Bestimmungsvorrichtung ferner ein drittes Detektionsmittel zum Detektieren der Rahmeneinheit; wobei das dritte Detektionsmittel einen Licht transmittierenden Abschnitt und einen Licht empfangenden Abschnitt aufweist, die voneinander um einen vorbestimmten Abstand in einer horizontalen Richtung parallel zu einer Linie beabstandet sind, die den Licht transmittieren Abschnitt und den Licht empfangenden Abschnitt des ersten Detektionsmittels verbindet, wobei der vorbestimmte Abstand zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt und dem Licht empfangenden Abschnitt des dritten Detektionsmittels kürzer als der vorbestimmte Abstand zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt und dem Licht empfangenden Abschnitt des ersten Detektionsmittels ist; das Bestimmungsmittel, ob das Objekt die Rahmeneinheit oder nicht ist, in dem Zustand bestimmt, in dem das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des ersten Detektionsmittels durch das Objekt blockiert ist und nicht den Licht empfangenden Abschnitt des ersten Detektionsmittels erreicht; wobei, wenn Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt des dritten Detektionsmittels an dem Objekt reflektiert wird und danach den Licht empfangenden Abschnitt des dritten Detektionsmittels erreicht, dass Bestimmungsmittel bestimmt, dass das Objekt die Rahmeneinheit ist.
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Die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist in der Nähe eines Ladeanschlusses einer Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt. Vor dem Laden des Objekts (des Wafers oder der Rahmeneinheit) in die Bearbeitungsvorrichtung kann die Art des Objekts, die in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, durch die Bestimmungsvorrichtung bestimmt werden. Insbesondere in dem Fall, dass das Aufnahmemittel eine FOUP-Kassette ist, die eine Tür aufweist, kann die Bestimmungsvorrichtung die Art des Objekts in dem Zustand, in dem die Tür der FOUP-Kassette beim Laden des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung offen ist bestimmen. Nach dem Bestimmen der Art des Objekts, das in der Kassette aufgenommen ist, kann entschieden werden, welches Transfermittel, das für den Wafer alleine geeignet ist und das für die Rahmeneinheit geeignet ist, beim Laden des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung verwendet werden soll. Entsprechend kann ein geeignetes Transfermittel in der Bearbeitungsvorrichtung betätigt werden, um Zugang zu dem Objekt, das in der Kassette aufgenommen ist, zu erhalten.
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Die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist für jedes Aufnahmemittel geeignet, das einen Aufnahmeraum aufweist, in welchen das erste und zweite Bestimmungsmittel eingeführt werden kann. D. h., dass die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung auch bei anderen Kassetten als den FOUP-Kassetten eingesetzt werden kann. In jeder Kassette, die keine FOUP-Kassette ist, kann das Objekt, das in jeder Kassette aufgenommen ist, visuell von außen erkannt werden. Jedoch, wenn die Kassette an dem Ladeanschluss der Bearbeitungsvorrichtung platziert ist, wird ein Bediener benötigt, um die Art des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung einzugeben und aufzunehmen. In dem Fall, dass die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung zwischen der Kassette und einer Lade/Entladeöffnung der Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt ist, kann die Art des Objekts, das in dem Aufnahmeraum der Kassette aufgenommen ist, automatisch durch die Bestimmungsvorrichtung bestimmt werden. Entsprechend ist es nicht notwendig für einen Bediener die Art des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung einzugeben, sondern das geeignete Transfermittel in der Bearbeitungsvorrichtung kann betätigt werden, um Zugang zu dem Objekt, das in der Kassette aufgenommen ist, zu erhalten. Folglich ist die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung nicht nur für eine FOUP-Kassette, sondern auch für jede andere Kassette anwendbar.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung ist es möglich, eine Bestimmungsvorrichtung bereitzustellen, die zuverlässig bestimmen kann, ob das Objekt, das in der Kassette aufgenommen ist, ein Wafer allein oder eine Rahmeneinheit ist, die durch ein Verbinden des Wafers und eines Ringrahmens ausgebildet ist.
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Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.
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Figurenliste
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- 1A ist eine schematische perspektivische Ansicht eines Wafers;
- 1B ist eine schematische perspektivische Ansicht einer Rahmeneinheit, die durch Verbinden des Wafers und eines Ringrahmens ausgebildet wird;
- 2A ist eine schematische perspektivische Ansicht, die ein Aufnahmemittel zum Aufnehmen des Wafers, der in 1A dargestellt ist, zeigt;
- 2B ist eine schematische perspektivische Ansicht, die ein Aufnahmemittel zum Aufnehmen der Rahmeneinheit, die in 1B gezeigt ist, zeigt;
- 2C ist eine schematische perspektivische Ansicht, die ein Aufnahmemittel eines FOUP-Typs zeigt;
- 3 ist eine schematische Ansicht zum Darstellen einer Positionsbeziehung zwischen einer Bestimmungsvorrichtung, einem Ladeanschluss und einem Aufnahmemittel;
- 4A ist eine schematische Aufsicht zum Darstellen einer Betätigung der Bestimmungsvorrichtung in dem Fall eines Bestimmens der Rahmeneinheit unter Verwendung eines ersten und zweiten Detektionsmittels;
- 4B ist eine schematische Aufsicht zum Darstellen einer Betätigung der Bestimmungsvorrichtung in dem Fall einer Bestimmung des Wafers unter Verwendung des ersten und zweiten Detektionsmittels;
- 5 ist eine schematische Aufsicht zum Darstellen einer Betätigung der Bestimmungsvorrichtung in dem Fall eines Bestimmens der Rahmeneinheit unter Verwendung eines dritten Detektionsmittels anstelle des zweiten Detektionsmittels;
- 6A seine schematische Seitenansicht zum Darstellen einer Betätigungsposition der Bestimmungsvorrichtung, wenn das Aufnahmemittel an dem Ladeanschluss platziert ist; und
- 6B ist eine schematische Seitenansicht zum Darstellen einer Position ohne Betätigung der Bestimmungsvorrichtung beim Laden des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird jetzt beschrieben. Ein Objekt, das in einem Aufnahmemittel aufgenommen werden soll, wird zuerst beschrieben. Das Objekt ist ein Ziel, das durch eine Bestimmungsvorrichtung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform bestimmt werden soll. 1A stellt einen Wafer 1 alleine als ein Beispiel des Objekts, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen werden soll, dar. Der Wafer 1 ist aus Silizium oder aus SiC (Siliziumcarbid) zum Beispiel ausgebildet. Der Wafer 1 kann aus anderen Halbleitermaterialien oder anderen Materialien wie Saphir, Glas oder Quarz ausgebildet sein. Der Wafer 1 als ein Ziel, das durch die Bestimmungsvorrichtung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform zu bestimmen ist, ist im Wesentlichen ein scheibenförmiger Wafer. Jedoch kann die Bestimmungsvorrichtung der vorliegenden Erfindung so ausgestaltet sein, dass sie auch ein rechteckiges Substrat bestimmen kann.
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Wie in 1A dargestellt, ist die vordere Seite 1a des Wafers 1 durch mehrere sich kreuzende Teilungslinien 3 aufgeteilt, sodass mehrere getrennte Bereiche ausgebildet werden, an denen mehrere Bauelemente 5 wie ICs, mikroelektromechanische Systeme (MEMSs) und Licht emittierende Dioden (LEDs) ausgebildet sind. Der Wafer 1 wird schließlich entlang der Teilungslinien 3 geteilt, um mehrere Bauelementchips zu erhalten. 1B zeigt eine Rahmeneinheit 11, die durch Verbinden des Wafers 1 mit einem Ringrahmen (ringförmiger Rahmen) 9 ausgebildet ist, als ein anderes Beispiel des Objekts, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist. Wie in 1B gezeigt weist der Ringrahmens 9 im Wesentlichen eine kreisförmige Öffnung auf und ein Band 7 ist an seinem umfänglichen Abschnitt an dem Ringrahmen 9 angebracht, sodass die Öffnung des Ringrahmens 9 geschlossen ist. Ferner ist der Wafer 1 an dem zentralen Abschnitt des Bands 7 zu der Öffnung des Ringrahmens 9 freiliegend. Folglich ist der Wafer 1 durch das Band 7 an dem Ringrahmen 9 getragen, um dadurch die Rahmeneinheit 11 als eine Einheit des Wafers 1, des Bands 7 und des Ringrahmens 9 auszubilden. Wie oben beschrieben, werden die Bauelemente 5 in den jeweiligen getrennten Bereichen, die durch die Teilungslinien 3 ausgebildet sind, an der vorderen Seite 1a des Wafers 1 ausgebildet. Der Ringrahmen 9 weist eine flache Seitenoberfläche 9a auf. Wie später beschrieben wird, dient eine Bestimmungsvorrichtung 22 dazu, Licht an einer flachen Seitenoberfläche 9a des Ringrahmens 9 aufzubringen und das Licht zu detektieren, das von der flachen Seitenoberfläche 9a reflektiert wird, um dadurch zu bestimmen, dass das Objekt, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, die Rahmeneinheit 11 ist. Im Gegensatz dazu weist der Wafer 1 eine gekrümmte Seitenoberfläche auf. Entsprechend wenn Licht auf der gekrümmten Seitenoberfläche des Wafers 1 aufgebracht wird, wird das Licht nicht zu der Bestimmungsvorrichtung 22 reflektiert, d. h., dass das Licht nicht durch die Bestimmungsvorrichtung 22 detektiert wird. In diesem Fall bestimmt die Bestimmungsvorrichtung 22, dass das Objekt, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, der Wafer 1 allein ist. Die Konfiguration der Bestimmungsvorrichtung 22 wird im Folgenden detailliert beschrieben.
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Das Aufnahmemittel zum Aufnehmen des Objekts, das den Wafer 1 beinhaltet, wird jetzt beschrieben. 2A ist eine schematische perspektivische Ansicht eines Aufnahmemittels 2a zum Aufnehmen des Wafers 1 alleine als ein Beispiel des Aufnahmemittels (Kassette). Wie in 2A dargestellt, kann das Aufnahmemittel 2a mehrere Wafer 1 in einer gestapelten Weise aufnehmen. Das Aufnahmemittel 2a weist eine vordere Seite auf, an der ein Einlass/Auslassabschnitt 4a als eine Öffnung ausgebildet ist, um das Durchführen des Wafers 1 zu ermöglichen. Ein Aufnahmeraum 6a ist in dem Aufnahmemittel 2a ausgebildet, wobei der Wafer 1 dazu angepasst ist, von dem Einlass/Auslassabschnitt 4a in den Aufnahmeraum 6a eingeführt zu werden. Der Aufnahmeraum 6a ist durch ein Paar Seitenwandelemente 12a und ein oberes Wandelement 14a, das die Seitenwand Elemente 12a an ihrem oberen Enden verbindet, ausgebildet. Die innere Oberfläche von jedem Seitenwand Element 12a ist mit einem Träger 8a ausgebildet, der mehrere Stufen aufweist. Der Wafer 1, der in den Aufnahmeraum 6a eingeführt ist, ist dazu angepasst, auf einer der mehreren Stufen von jedem Träger 8a (an den gegenüberliegenden Stufen des Paars Träger 8a derselben Höhe) platziert zu werden. Beim Aufnehmen des Wafers 1 in dem Aufnahmeraum 6a wird der Wafer 1 vertikal zu einer gewünschten Höhe entsprechend einer der mehreren Stufen von jedem Träger 8a bewegt und als nächstes in den Aufnahmeraum 6a zu einer vorbestimmten Horizontalposition an der vorbestimmten Stufe eingeführt. Die obere Oberfläche des oberen Wandelements 14a ist mit einer Handhabung 16a zur Verwendung beim Transfer des Aufnahmemittels 2a bereitgestellt.
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Die Konfiguration des Aufnahmemittels (Kassette) 2a kann geeignet modifiziert werden, unter der Voraussetzung, dass das Aufnahmemittel 2a eine fundamentale Konfiguration aufweist. Zum Beispiel müssen das obere Wandelement 14a oder die Seitenwandelemente 12a nicht bereitgestellt sein. Ferner kann das Aufnahmemittel 2a ein unteres Wandelement oder ein hinteres Wandelement beinhalten. Die Handhabe 16a kann an jedem anderen Abschnitt des Aufnahmemittels 2a als dem oberen Wandelement 14a bereitgestellt sein. Ferner kann die Handhabe 16a durch einen Verbindungsmechanismus (nicht dargestellt), der an dem Transfermittel zu montieren ist, das in einem Reinraum oder dergleichen installiert ist, ersetzt werden, wobei das Aufnahmemittel 2a durch das Transfermittel durch den Verbindungsmechanismus transferiert wird.
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2B ist eine schematische Ansicht eines Aufnahmemittels 2b zum Aufnehmen der Rahmeneinheit 11 als ein anderes Beispiel des Aufnahmemittels. Das Aufnahmemittel 2b, das in 2B dargestellt ist, weist eine fundamentale Konfiguration ähnlich zu der des Aufnahmemittels 2a, das in 2A dargestellt ist, auf. Insbesondere weist das Aufnahmemittel 2b einen Einlass/Auslassabschnitt 4b als eine Öffnung und einen Aufnahmeraum 6b auf, wobei die Rahmeneinheit 11 dazu angepasst ist, von dem Einlass/Auslassabschnitt 4b in den Aufnahmeraum 6b eingeführt zu werden. Der Aufnahmeraum 6b wird durch ein paar Seitenwandelemente 12b und eine Struktur 14b ausgebildet, welche die Seitenwandelemente 12b an ihrem oberen Enden verbindet. Die innere Oberfläche von jedem Seitenwandelement 12b ist mit einem Träger 8b ausgebildet, der mehrere Stufen aufweist. Die Rahmeneinheit 11, die in den Aufnahmeraum 6b eingefügt ist, ist dazu angepasst, an jeder der mehreren Stufen von jedem Träger 8b aufgenommen zu werden. Der Aufbau 14b, der die Seitenwandelemente 12b verbindet, kann an der unteren Seite des Aufnahmemittels 2b bereitgestellt sein.
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2C ist eine schematische perspektivische Ansicht eines Aufnahmemittels 2c eines FUOP-Typs als ein weiteres Beispiel eines Aufnahmemittels. Wie in 2C gezeigt, weist das Aufnahmemittels 2c eines FOUP-Typs einen Einlass/Auslassabschnitt 4c als eine Öffnung an der vorderen Seite, eine Klappe (Tür) 10 zum Schließen des Einlass/Auslassabschnitts 4c und ein Gehäuse zum Einschließen des Aufnahmeraums 6c mit Ausnahme des Einlass/Auslassabschnitts 4c auf, wobei die Klappe 10 geschlossen ist, um den Aufnahmeraum 6c zu jedem Zeitpunkt mit Ausnahme des Falls zu schließen, in dem das Objekt in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen wird oder das Objekt aus dem Aufnahmeraum 6c entnommen wird. Durch Schließen der Klappe 10 kann der Eintritt von Staub oder dergleichen, der in der Atmosphäre vorliegt, in den Aufnahmeraum 6c unterdrückt werden, sodass der Aufnahmeraum 6c sauber gehalten werden kann, wodurch die Verschmutzung des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen ist, verhindert werden kann. Folglich, wenn die Klappe 10 in einem geschlossenen Zustand ist, kann die Reinheit des Aufnahmeraums 6c auf einem hohen Level gehalten werden. Entsprechend, wenn die Reinheit einer äußeren Umgebung außerhalb des Aufnahmemittels 2c auf einen vorbestimmten Level gehalten, ist es nicht notwendig die Kosten zum Verbessern der Reinheit der äußeren Umgebung auf ein höheres Level zu erhöhen. Das Gehäuse des Aufnahmemittels 2c ist aus einem Paar Seitenwandelementen 12c, einem oberen Wandelement 14c, einem hinteren Wandelement (nicht dargestellt) an einem unteren Wandelement (nicht dargestellt) ausgebildet. Die innere Oberfläche von jedem Seitenwandelement 12c ist mit einem Träger 8c ausgebildet, der mehrere Stufen aufweist. Eine Handhabung 16c ist an der äußeren Oberfläche von jedem Seitenwandelement 12c montiert. Das Aufnahmemittel 2c kann so ausgestaltet sein, dass es beides den Wafer 1 alleine und die Rahmeneinheit 11 aufnehmen kann.
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Wenn das Aufnahmemittel 2c eines FOUP-Typs an einem Ladeanschluss einer Bearbeitungsvorrichtung platziert ist und die Klappe 10 als Nächstes geöffnet wird, ist es möglich, das Objekt, das in dem Aufnahmemittel 2c aufgenommen ist, in die Bearbeitungsvorrichtung zu laden. Der Wafer 1 alleine oder die Rahmeneinheit 11, die in den Aufnahmeraum 6c aufgenommen wurden, wird an einem der mehreren Stufen von jedem Träger 8c platziert. Nach dem Laden des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung wird die Klappe 10 wieder geschlossen. In dem geschlossenen Zustand der Klappe 10 des Aufnahmemittels 2c kann die Art des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen ist, nicht visuell bestimmt werden, außer das Gehäuse des Aufnahmemittels 2c ist transparent. Ferner wird die Klappe 10 des Aufnahmemittels 2c nur geöffnet, wenn das Aufnahmemittel 2c an dem Ladeanschluss platziert ist und der Einlass/Auslassabschnitt 4c gegenüber der Lade/Entladeöffnung der Bearbeitungsvorrichtung, wie später beschrieben, ist. Entsprechend, sogar in diesem Zustand, ist es nicht einfach die Art des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen ist, visuell zu bestimmen. Um mit diesem Problem umzugehen, ist die Bestimmungsvorrichtung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform so ausgestaltet, dass sie die Art des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen ist, bestimmen kann. Entsprechend dem Ergebnis dieser Bestimmung wählt die Bearbeitungsvorrichtung das geeignete Transfermittel, um den Zugang zu dem Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6c aufgenommen ist, zu ermöglichen.
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Die Bestimmungsvorrichtung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform wird jetzt beschrieben. 3 ist eine schematische perspektivische Ansicht, die einen Ladeanschluss 20 einer Bearbeitungsvorrichtung (nicht dargestellt), ein Aufnahmemittel 2, das an der oberen Oberfläche des Ladeanschlusses 20 platziert ist, und eine Bestimmungsvorrichtung 22 zum Bestimmen der Art des Objekts, das in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen ist, darstellt. Die Bearbeitungsvorrichtung weist eine Lade/Entladeöffnung 24 auf, um dem Objekt, das in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen ist, zu ermöglichen, durchgeführt werden. Die Lade/Entladeöffnung 24 ist normalerweise durch eine Klappe (nicht dargestellt) geschlossen. Das Aufnahmemittel 2 weist einen Einlass/Auslassabschnitt 4 als eine Öffnung auf, die dazu angepasst ist, gegenüber der Lade/Entladeöffnung 24 der Bearbeitungsvorrichtung zu sein. D. h., dass das Aufnahmemittel 2 an dem Ladeanschluss 20 in dem Zustand platziert ist, in dem der Einlass/Auslassabschnitt 4 gegenüber der Klappe ist, welche die Lade/Entladeöffnung 24 der Bearbeitungsvorrichtung schließt. In diesem Zustand wird das Aufnahmemittel 2 zu der Lade/Entladeöffnung 24 der Bearbeitungsvorrichtung um einen vorbestimmten Abstand bewegt und die Klappe, welche die Lade/Entladeöffnung 24 schließt, wird als Nächstes geöffnet. In diesem Zustand kann das Transfermittel, das in der Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet ist oder die Bestimmungsvorrichtung 22 durch den Einlass/Auslassabschnitt 4 zu dem Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, der durch das Aufnahmemittel 2 ausgebildet ist, Zutritt erlangen. Die Bestimmungsvorrichtung 22 liegt in der Nähe der Lade/Entladeöffnung 24 der Bearbeitungsvorrichtung. Die Bestimmungsvorrichtung 22 ist vertikal zwischen einer oberen Position als eine Zugangsposition und einer unteren Position als eine zurückgezogene Position beweglich. D. h., wenn die Bestimmungsvorrichtung 22 betätigt wird, um die Bestimmung des Objekts durchzuführen, wird die Bestimmungsvorrichtung 22 zu einer Zugangsposition angehoben, an welcher das Detektionsmittel, das im Folgenden beschrieben wird, in den Aufnahmeraum 6 des Aufnahmeschritts 2 eingeführt werden kann. Andererseits, wenn das Transfermittel der Bearbeitungsvorrichtung betätigt wird, um das Objekt durch die Lade/Entladeöffnung 24 zu laden oder zu entladen, wird die Bestimmungsvorrichtung 22 zu einer zurückgezogenen Position abgesenkt, sodass sie das Transfermittel nicht beeinträchtigt.
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3 zeigt eine Kassette eines FOUP-Typs als ein Beispiel des Aufnahmemittels 2. Jedoch ist das Aufnahmemittel 2, das dazu angepasst ist, an dem Ladeanschluss 20 der Bearbeitungsvorrichtung platziert zu werden, nicht auf eine Kassette eines solchen FOUP-Typs beschränkt. In dem Fall, dass das Aufnahmemittel 2 kein FOUP-Typ ist, kann die Art des Objekts, die in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen ist, visuell bestimmt werden. Jedoch ist im Allgemeinen ein Bediener notwendig, um die Art des Objekts in die Bearbeitungsvorrichtung einzugeben, um zu ermöglichen, dass ein geeignetes Transfermittel in der Bearbeitungsvorrichtung auf das Objekt zugreifen kann. Im Gegensatz dazu kann die Bestimmungsvorrichtung 22 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform den Bedarf nach einer Eingabe der Art des Objekts durch den Bediener eliminieren. D. h., dass die Art des Objekts durch die Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt werden kann und die Art folglich automatisch in die Bearbeitungsvorrichtung eingegeben werden kann, die so bestimmt wird. Im Folgenden werden die Komponenten der Bestimmungsvorrichtung 22 und die Bestimmung durch die Bestimmungsvorrichtung 22 beschrieben.
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4A ist eine schematische Aufsicht, die einen ersten Fall, in dem die Rahmeneinheit 11 in dem Aufnahmeraum 6 des Aufnahmemittels 2 aufgenommen ist, darstellt, und diese Rahmeneinheit 11 durch die Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt wird, und 4B ist eine schematische Aufsicht, die einen zweiten Fall, in dem der Wafer 1 in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, darstellt, und dieser durch die Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt wird. In 4A und 4B sind ein erstes Detektionsmittel mein zweites Detektionsmittel in der Bestimmungsvorrichtung 22 beinhaltet und diese werden in den Aufnahmeraum 6 des Aufnahmemittels 2 eingeführt. Das erste Bestimmungsmittel und das zweite Bestimmungsmittel werden im Folgenden detailliert beschrieben. Die Komponenten der Bestimmungsvorrichtung 22 werden jetzt mit Bezug zu 4A beschrieben. Wie in 4A dargestellt, beinhaltet die Bestimmungsvorrichtung 22 eine plattenähnliche Basis (Trägermittel) 26, die in der Nähe der Lade/Entladeöffnung 24 (siehe 3) in der Bearbeitungsvorrichtung liegt. Die Basis 26 wird durch einen Erhöhungsmechanismus (nicht dargestellt) zu der Bearbeitungsvorrichtung getragen. D. h., dass die Basis 26 vertikal zwischen einer oberen Detektionsposition und einer zurückgezogenen Position bewegt werden kann. Die Basis 26 weist eine erste Oberfläche gegenüber der Lade/Entladeöffnung 24 in dem Zustand auf, in dem die Basis 26 an einer oberen Detektionsposition gesetzt ist. Die Basis 26 weist eine Länge in einer ersten Richtung D1 (Breitenrichtung) parallel zu der ersten Oberfläche, d. h. in einer horizontalen Richtung, auf. Diese Länge (Breite) der Basis 26 in der ersten Richtung D1 ist größer als die Länge des Einlass/Auslassabschnitts 4 (siehe 3) des Aufnahmemittels 2 in der ersten Richtung D1. Ferner weist die Basis 26 eine Länge in der zweiten Richtung D2 (Dickenrichtung) senkrecht zu der ersten Oberfläche auf. Diese Länge (Dicke) der Basis 26 in der zweiten Richtung D2 ist so gesetzt, dass sie eine Bestimmungseinheit (Bestimmungsmittel) (nicht dargestellt) aufnimmt, welche die Bestimmungsvorrichtung 22 ausbildet. Jedoch ist die Größe der Basis 26 nicht besonders beschränkt.
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Ein paar erster und zweiter Vorsprünge 30a und 30b, die voneinander in der ersten Richtung D1 beabstandet sind, liegen im Wesentlichen auf derselben Höhe. Jeder der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b ist ein stabförmiges Element, das zum Beispiel aus Edelstahl ausgebildet ist. Der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b weisen dieselbe selbe Länge auf. Jedoch ist die Weise der Befestigung des ersten und zweiten Vorsprungs 30a und 30b nicht besonders beschränkt. Zum Beispiel können der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b indirekt an der Basis montiert sein. Insbesondere können der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b durch ein stabförmiges Trägerelement (Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel) getragen sein, dass sich in einer ersten Richtung D1 erstreckt, und dieses Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel kann an der Basis 26 fixiert sein. In dieser bevorzugten Ausführungsform sind der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b an dem Trägerelement 28 für Detektionsmittel, wie in Figuren vier und 4B dargestellt, getragen.
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Das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel ist zu dem Aufnahmemittel 2, das an dem Ladeanschluss 20 platziert ist, durch eine Betätigung eines horizontalen Bewegungsmechanismus (nicht dargestellt), der einen Motor oder dergleichen beinhaltet, beweglich. Entsprechend können der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b, die an dem Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel getragen sind, in den Aufnahmeraum 6 des Aufnahmemittels 2 eingeführt werden. Als eine Modifikation kann das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel einen horizontalen Bewegungsmechanismus zum Bewegen des ersten und zweiten Vorsprungs 30a und 30b zu dem Aufnahmemittel 2 aufweisen. D. h., dass das die horizontale Bewegung des ersten und zweiten Vorsprungs 30a und 30b unabhängig von der horizontalen Bewegung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel ausgebildet sein kann. Die gesamte Basis (Trägermittel) 26, das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel und der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b, welche die Detektionsvorrichtung 22 ausbilden, sind zum Beispiel aus Edelstahl ausgestaltet. Jede dieser Komponenten weist einen hohlen Aufbau auf, um ein Führen der elektrischen Kabel oder optischen Leiter zu ermöglichen, wobei elektrische Kabel als Kommunikationsverbindungen für Detektionsmittel und Steuerungsmittel, das im Folgenden beschrieben wird, verwendet werden und die optischen Fasern verwendet werden, um Licht für das Detektionsmittel zu führen. Jedoch sind das Material und die Form dieser Aufbauten nicht besonders beschränkt.
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Ein Licht transmittierender Abschnitt 32a, der in dem ersten Detektionsmittel beinhaltet ist, ist in der Nähe des vorderen Endes des ersten Vorsprungs 30a bereitgestellt und ein Licht transmittierender Abschnitt 34a, der in dem zweiten Detektionsmittel bereitgestellt ist, ist an dem ersten Vorsprung 30a bereitgestellt, sodass dieser von dem Licht transmittierenden Abschnitt zu dem Basisende des ersten Vorsprungs 30a beabstandet ist. Ferner ist ein Licht empfangender Abschnitt 32b, der in dem ersten Detektionsmittel beinhaltet ist, in der Nähe des vorderen Endes des zweiten Vorsprungs 30b bereitgestellt und ein Licht empfangender Abschnitt 34b, der in dem zweiten Detektionsmittel beinhaltet ist, ist an den zweiten Vorsprung 30b bereitgestellt, sodass dieser von dem Licht empfangenden Abschnitt 32b zu dem Basisende des zweiten Vorsprungs 30b beabstandet ist. In dem ersten Detektionsmittel können der Licht transmittierenden Abschnitt 32a und der Licht empfangende Abschnitt 32b in ihrer Position getauscht werden. Ähnlich können in dem zweiten Detektionsmittel der Licht transmittierende Abschnitt 34a und der Licht empfangende Abschnitt 34b in ihrer Position getauscht werden. Der Licht transmittierende Abschnitt 32a des ersten Detektionsmittels ist um einen vorbestimmten Abstand von dem Licht empfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels in der axialen Richtung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel beabstandet. Dieser vorbestimmte Abstand ist so gesetzt, dass ein Teil des Objekts, das in dem Aufnahmeabschnitt 6 aufgenommen ist, zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und dem Licht empfangenden Abschnitt 32b eingefügt ist und dass beide der Licht transmittierende Abschnitt 32a und der Licht empfangende Abschnitt 32b gleichzeitig in den Aufnahmeraum 6 eingeführt werden können. Ähnlich sind der Licht transmittierende Abschnitt 34a des zweiten Detektionselements und der Licht empfangende Abschnitt 34b des zweiten Detektionselements voneinander um diesen vorbestimmten Abstand in der axialen Richtung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel beabstandet. Als eine Modifikation können der erste Vorsprung und der zweite Vorsprung 30a und 30b an dem Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel an dem Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel in der axialen Richtung davon beweglich sein. In diesem Fall kann der Abstand zwischen dem ersten und zweiten Vorsprung 30a und 30b auf den oben genannten vorbestimmten Abstand entsprechend der Größe des Aufnahmemittels 2 und der Größe des Objekts angepasst werden. D. h., dass die horizontalen Positionen des ersten und zweiten Vorsprungs 30a und 30b in der axialen Richtung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel entsprechend der Größe des Aufnahmeraums 6 und der Größe des Objekts geändert werden können.
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Der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b werden in den Aufnahmeraum 6 auf eine vorbestimmte Position eingeführt, an der ein Teil des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, zwischen dem ersten und zweiten Vorsprung 30a und 30b eingefügt ist. Wie oben beschrieben, sind der Licht transmittierende Abschnitt 32a und der Licht empfangende Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels in einer horizontalen Position tiefer als der Licht transmittierende Abschnitt 34a und der Licht empfangende Abschnitt 34b des zweiten Detektionsmittels in den Aufnahmeraum 6 eingeführt. D. h., dass das zweite Detektionsmittel in den Aufnahmeraum 6 zu einer horizontalen Position weniger tief als das erste Detektionsmittel eingeführt ist. Der Licht transmittierende Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels dient dazu, Licht zu dem Licht empfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels übertragen. Falls etwas, welches das Licht blockiert, nicht vorhanden ist, zum Beispiel falls das Objekt in dem Aufnahmeschritt 2 zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und dem Licht empfangenden Abschnitt 32b nicht vorhanden ist, wird dem Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a transmittiert wird, ermöglicht, den Licht empfangenden Abschnitt 32b zu erreichen, sodass das Licht durch den Licht empfangenden Abschnitt 32b empfangen wird. Der Licht transmittierenden Abschnitt 34a und der Licht empfangende Abschnitt 34b des zweit Detektionsmittels funktionieren ähnlich.
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Jedes das erste und zweite Detektionsmittel verwendet eine Lichtquelle wie eine LED und einen Laserstrahl-Oszillator. Jedoch ist es nicht notwendig die Lichtquelle in dem ersten Vorsprung 30h bereitzustellen. D. h., dass die Lichtquelle an der Basis (Trägerplatte) 26 oder außerhalb der Bestimmungsvorrichtung 22 bereitgestellt werden kann. In diesem Fall kann eine optionale Faser oder dergleichen in dem Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel und dem ersten Vorsprung 30 a bereitgestellt sein, wodurch das Licht, das von der Lichtquelle transmittiert wird, durch die optische Faser zu den Licht transmittierenden Abschnitten 32a und 34a des ersten und zweiten Detektionsmittels geführt wird. Folglich wird das Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und 34a zu dem Licht empfangenden Abschnitt 32b und 34b des ersten und zweiten Detektionsmittels jeweils übertragen. Ferner verwendet jedes das erste und zweite Detektionsmittel einen Fotodetektor wie ein ladungsgekoppeltes Bauelement (CCD) und komplementäre Metalloxidhalbleiter (CMOS). Jedoch ist es nicht notwendig, einen Fotodetektor in dem zweiten Abschnitt 30b bereitzustellen. D. h., dass er Fotodetektor an der Basis (Trägermittel) 26 oder außerhalb der Bestimmungsvorrichtung 22 bereitgestellt sein kann. In diesem Fall kann eine optische Faser oder dergleichen in dem zweiten Vorsprung 30b oder dem Trägerelement 28 für ein Bestimmungsmittel bereitgestellt sein, wodurch das Licht, das durch den Licht empfangenden Abschnitt 32b und 34b des ersten und zweiten Detektionsmittels empfangen wird, von dem Licht empfangenden Abschnitt 32b und 34b durch die optische Faser zu dem Fotodetektor geführt wird. Folglich wird das Licht, das durch den Licht empfangenden Abschnitt 32b und 34b empfangen wird, durch den Fotodetektor detektiert.
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Die Bestimmungsvorrichtung 22 beinhaltet ferner ein drittes Detektionsmittel, das aus einem Licht transmittierenden Abschnitt 36a in einem Licht empfangenden Abschnitt 36b, wie in 4A und 4B dargestellt ist, ausgebildet ist. Der Licht transmittierende Abschnitt 36a und der Licht empfangende Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels sind an dem Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel getragen. Der Licht transmittierende Abschnitt 36a und der Licht empfangende Abschnitt 36b sind voneinander in der ersten Richtung D1 parallel zu der Linie, welche den Licht transmittierenden Abschnitt 32a und dem Licht empfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels verbindet, beabstandet, wobei der Abstand zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 36a und dem Licht empfangenden Abschnitt 36b kürzer als der Abstand zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und dem Licht empfangenden Abschnitt 32b ist. Der Licht transmittierende Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels dient dazu, Licht zu dem Objekt, das in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen ist, zu transmittieren. Das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels transmittiert wird, wird durch das Objekt, das in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen ist, reflektiert. In dem Fall, dass das Licht, das von dem Objekt reflektiert wird, den Licht empfangenden Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels erreicht, wird das Licht durch den Licht empfangenden Abschnitt 36b detektiert. Umgekehrt in dem Fall, dass das Licht, das von dem Objekt reflektiert wird, nicht den Licht empfangenden Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels erreicht, wird das Licht nicht durch den Licht empfangenden Abschnitt 36b detektiert. Der Licht transmittierende Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels kann ähnlich in seiner Konfiguration zu dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und 34a des ersten und zweiten Detektionsmittels sein. Ferner kann der Licht empfangende Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels ähnlich in seiner Konfirmation zu dem Licht empfangenden Abschnitt 32b und 34b des ersten und zweiten Detektionsmittels sein.
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Die Bestimmungsvorrichtung 22 beinhaltet ferner ein Bestimmungsmittel (nicht dargestellt). Das Bestimmungsmittel ist durch eine Verkabelung mit jedem Detektionsmittel verbunden. Das Detektionsmittel dient dazu, die Steuerung der Transmission von Licht von jedem Licht transmittierenden Abschnitt und auch die Eingabeinformationen bei der Detektion von Licht durch die den lichtempfangenden Abschnitt zu steuern. Das Bestimmungsmittel dient ferner dazu, die Art des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, entsprechend dem Ergebnis der Detektion durch jedes Detektionsmittel zu bestimmen.
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Ein Bestimmungsverfahren für das Objekt durch die Bestimmungsvorrichtung 22 wird jetzt beschrieben. Zuerst werden der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b in den Aufnahmeraum 6 zu einer vorbestimmten Position eingeführt. Danach wird die Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel angepasst, sodass ein Teil des Objekts, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a des ersten Detektionsmittels und dem lichtempfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels eingefügt ist. Die vertikale Bewegung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel wird durch eine Betätigung des Erhöhungsmechanismus (nicht dargestellt) der Bestimmungsvorrichtung 22, die vertikale Basis 26 als ein Ganzes zu bewegen, umgesetzt. Die Höhenanpassung für das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel wird durchgeführt, während Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a zu dem Licht empfangenden Abschnitt 32b übertragen wird. Wenn das Trägerelement 28 für Detektionsmittel vertikal zu einer Position bewegt wird, an der ein Teil des Objekts zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a und dem lichtempfangenden Abschnitt 32b eingefügt ist, wird das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a transmittiert wird, durch das Objekt blockiert, sodass das Licht nicht durch den lichtempfangenden Abschnitt 32b empfangen wird. Entsprechend, wenn das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a transmittiert wird, nicht durch den Licht empfangenden Abschnitt 32b detektiert wird, bestimmt die Bestimmungsvorrichtung, dass die Höhe des Trägerelements 28 für ein Bestimmungsmittel auf eine vorbestimmte Höhe angepasst wurde. Nach dem Abschließen der Anpassung der Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel wird Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt 34a des zweiten Detektionsmittels zu dem Licht empfangenden Abschnitt 34b des zweiten Detektionsmittels transmittiert.
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In dem Fall, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, die Rahmeneinheit 11 ist, wie in 4A dargestellt, wird das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 34a des zweiten Detektionsmittels transmittiert wird, durch die Rahmeneinheit 11 blockiert, sodass das Licht nicht durch den lichtempfangenden Abschnitt 34b des zweiten Detektionsmittels empfangen wird. In diesem Fall wird das Licht nicht durch das zweite Detektionsmittel detektiert und das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, die Rahmeneinheit 11 ist. Im Gegensatz dazu in dem Fall, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, der Wafer 1 alleine, wie in 4B dargestellt, ist, wird das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 34a des zweit Detektionsmittels transmittiert wird, nicht durch den Wafer 1 blockiert, sodass das Licht durch den Licht empfangenden Abschnitt 34b des zweiten Detektionsmittels empfangen wird. In diesem Fall wird das Licht durch das zweite Detektionsmittel detektiert und das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, der Wafer 1 allein ist. Folglich kann unter Verwendung der unterschiedlichen Form des Wafers 1 und der Rahmeneinheit 11 das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 die Art des Objekts, je nachdem ob Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 34a des zweiten Detektionsmittels transmittiert wird, durch den Licht empfangenden Abschnitt 34b des zweit Detektionsmittels empfangen wird oder nicht, bestimmen. Diese Anordnung des zweiten Detektionsmittels kann geeignet in dem Bereich geändert werden, in dem der Unterschied der Form zwischen dem Wafer 1 und der Rahmeneinheit 11 durch das zweite Detektionsmittel erkannt werden kann.
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Die obige Bestimmung kann unter Verwendung des dritten Detektionsmittels, das den Licht transmittierenden Abschnitt 36a und den lichtempfangenden Abschnitt 36b beinhaltet, anstelle des zweiten Detektionsmittels durchgeführt werden. Ein Bestimmungsverfahren für das Objekt unter Verwendung des dritten Detektionsmittels wird nun mit Bezug zu 5 beschrieben. Zuerst wird die Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel angepasst, sodass ein Teil des Objekts zwischen dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a des ersten Detektionsmittels und dem Licht empfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels eingefügt ist. Die Anpassung der Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionselement wird ähnlich wie oben beschrieben unter Verwendung des ersten Detektionsmittels durchgeführt. Nach dem Abschluss der Anpassung der Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel wird Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels zu dem Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, transmittiert.
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In dem Fall, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, die Rahmeneinheit 11, wie in 5 dargestellt, ist, trifft das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels transmittiert wird, auf der flachen Seitenoberfläche 9a des Ringrahmens 9, der die Rahmeneinheit 11 ausbildet, auf und wird dann an der flachen Seitenoberfläche 9a reflektiert. Das Licht, das von der flachen Seitenoberfläche 9a detektiert wird, erreicht den Licht empfangenden Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels. In dem Fall wird das Licht durch das dritte Detektionsmittel detektiert und das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, die Rahmeneinheit 11 ist. Im Gegensatz dazu in dem Fall, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, der Wafer 1 alleine ist, trifft das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 36a des dritten Detektionsmittels transmittiert wird, an der gekrümmten Seitenoberfläche (siehe 4B) des Wafers 1 auf und wird danach von dieser gekrümmten Seitenoberfläche reflektiert. Jedoch erreicht das Licht, das von der gekrümmten Seitenoberfläche des Wafers 1 reflektiert wird, nicht den Licht empfangenden Abschnitt 36b des dritten Detektionsmittels in den meisten Fällen. In diesem Fall wird das Licht nicht durch das dritte Detektionsmittel detektiert und das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen ist, der Wafer 1 alleine ist.
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In der Bestimmungsvorrichtung 22 in dieser bevorzugten Ausführungsform kann das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel vertikal in dem Zustand abgetastet werden, in dem das erste und zweite Detektionsmittel in den Aufnahmeraum 6 des Aufnahmemittels 2 auf einer vorbestimmten Position abgetastet werden. In diesem Fall können mehrere Objekte, die in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen sind, zu einem Zeitpunkt bestimmt werden. Ein Bestimmungsverfahren in diesem Fall wird jetzt beschrieben.
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Zuerst werden der erste und zweite Vorsprung 30a und 30b in den Aufnahmeraum 6 zu einer vorbestimmten Position eingeführt. Danach wird Licht von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a des ersten Detektionsmittels zu dem Licht empfangenden Abschnitt 32b des ersten Detektionsmittels transmittiert. Gleichzeitig wird das Trägerelement 28 für ein Detektionsmittel vertikal bewegt. Wenn das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt 32a transmittiert wird, nicht durch den Licht empfangenden Abschnitt 32b empfangen wird, d. h. wenn die Höhe des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel gleich der Höhe von einem der mehreren Objekte ist, wird das zweite Detektionsmittel betätigt, um das Objekt in dieser Höhe zu bestimmen. Diese Bestimmung wird für alle anderen Objekte, die in dem Aufnahmeraum 6 aufgenommen sind, wiederholt ohne die vertikale Bewegung des Trägerelements 28 für ein Detektionsmittel anzuhalten. Als ein Ergebnis kann das Bestimmungsmittel der Bestimmungsvorrichtung 22 bestimmen, ob die mehreren Objekte mehrere Wafer 1 oder mehrere Rahmeneinheiten 11 sind.
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Das Aufnahmemittel 2 weist ein Paar gegenüberliegender Träger 8 auf, wobei jeder mehrere Stufen aufweist, wobei der Wafer 1 oder die Rahmeneinheit 11 an jeder Stufe aufgenommen sein können. Jedoch sind mehrere Objekte nicht immer an allen Stufen des Trägers 8 aufgenommen. Entsprechend, außer die Bearbeitungsvorrichtung erkennt die Stufe, an der das Objekt aufgenommen ist, kann das Transfermittel nicht auf eine geeignete Höhe beim Laden des Objekts von dem Aufnahmemittel 2 zu der Bearbeitungsvorrichtung gesetzt sein. Um mit diesem Problem umzugehen, wird das Trägerelement 28 für Detektionsmittel vertikal in dieser bevorzugten Ausführungsform abgetastet, um dadurch die Stufe, an welcher das Objekt aufgenommen ist, zu identifizieren. Ferner sind beim Aufnehmen mehrere Objekte in das Aufnahmemittel 2 normalerweise alle Objekte von derselben Art und es ist dafür ausreichend eines der mehreren Objekte zu bestimmen. Jedoch existiert ein Fall, in dem verschiedene Arten von Objekten in dem Aufnahmemittel 2 aufgrund von Umständen aufgenommen sind. Sogar in einem solchen Fall kann die Bestimmungsvorrichtung 22 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform die verschiedenen Arten der Objekte bestimmen. Entsprechend, falls ein Problem mit der Art des Objekts existiert, kann eine Abweichung instantan detektiert werden.
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Nach dem Bestimmen der Art/Arten der Objekte, die in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen sind, durch eine Betätigung der Bestimmungsvorrichtung 22 wie oben beschrieben wird die Bearbeitungsvorrichtung betätigt, um ein geeignetes Transfermittel entsprechend der Art/Arten der Objekte auf der Basis des Ergebnisses der Bestimmung durch die Bestimmungsvorrichtung 22 auszuwählen. Danach wird das Transfermittel betätigt, um Zugriff auf eines der Objekte, die in dem Aufnahmemittel 2 aufgenommen sind, zu erhalten und danach dieses aus dem Aufnahmemittel 2 zu entnehmen, wodurch das Objekt in die Bearbeitungsvorrichtung geladen wird. Zu diesem Zeitpunkt wird die Bestimmungsvorrichtung 22 zu einer zurückgezogenen Position abgesenkt, sodass sie nicht mit der Ladebetätigung durch das Transfermittel beeinträchtigt. 6A und 6B sind schematische Seitenansichten, die verschiedene vertikale Positionen der Bestimmungsvorrichtung 22 bezüglich des Aufnahmemittels 2, das an dem Ladeanschluss 20 platziert ist, zeigt. Insbesondere zeigt 6A eine obere Betätigungsposition, in welcher das Aufnahmemittel 2 an dem Ladeanschluss 20 platziert ist und die Bestimmungsvorrichtung 22 angehoben ist, sodass sie dem Aufnahmemittel 2 zugewandt ist. 6B zeigt eine untere Position ohne Betätigung, in welcher die Bestimmungsvorrichtung 22 beim Transferieren des Objekts von dem Aufnahmemittel 2 zu der Bearbeitungsvorrichtung abgesenkt ist. Wie in 6A gezeigt ist die Bestimmungsvorrichtung 22 auf eine vorbestimmte Höhe (obere Position) zum Bestimmen des Objekts gesetzt, wenn das Aufnahmemittel 2 an dem Ladeanschluss 20 platziert ist. Ferner, wie in 6B dargestellt, ist die Bestimmungsvorrichtung 22 auf eine zurückgezogene Position (untere Position) gesetzt, sodass sie die Ladebetätigung des Transfermittels beim Transferieren des Objekts von dem Aufnahmemittel 2 zu der Bearbeitungsvorrichtung nicht behindert wird.
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Entsprechend der Bestimmungsvorrichtung wie oben beschrieben ist es möglich zuverlässig zu bestimmen ob das Objekt, das in dem Aufnahmemittel (Kassette) aufgenommen ist, ein Wafer allein oder eine Rahmeneinheit ist, die durch ein Verbinden eines Wafers und eines Ringrahmens ausgebildet ist.
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Die vorliegende Erfindung nicht auf die oben beschränkte bevorzugte Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Modifikationen können gemacht werden. Zum Beispiel, während jedes das erste, zweite und dritte Detektionsmittel in dieser bevorzugten Ausführungsform einen Licht transmittierenden Abschnitt zum Transmittieren von Licht und ein Licht empfangenden Abschnitt zum Empfangen des Lichts, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt transmittiert wurde, aufweist, kann das erste, zweite und dritte Detektionsmittel Licht mit verschiedenen Wellenlängen verwenden. In diesem Fall kann jedes Detektionsmittel nur Licht mit entsprechender Wellenlänge detektieren, sodass die Möglichkeit, dass Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des anderen Detektionsmittels fehlerhaft detektiert wird, ausgeschlossen ist.
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Ferner beim Bestimmen ob das Objekt, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, der Wafer alleine oder die Rahmeneinheit ist, verwendet die Bestimmungsvorrichtung in der obigen bevorzugten Ausführungsform den Unterschied der Form zwischen dem Wafer und der Rahmeneinheit. Als eine Modifikation kann die Aufnahmeposition an dem Träger beim Aufnehmen des Wafers alleine in dem Aufnahmemittel eine andere als die beim Aufnehmen der Rahmeneinheit in dem Aufnahmemittel sein. In diesem Fall kann die Bestimmungsvorrichtung dazu ausgestaltet sein, den Unterschied in dieser Aufnahmeposition zu erkennen, wodurch die Art des Objekts, die in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, bestimmt wird. Insbesondere in dem Fall des Aufnehmens des Wafers allein in dem Aufnahmemittel wird der Wafer in einer Position gesetzt, die weiter von dem Einlass/Auslassabschnitt des Aufnahmemittels entfernt ist. Andererseits in dem Fall des Aufnehmens der Rahmeneinheit in dem Aufnahmemittel wird die Rahmeneinheit in einer Position relativ nah an dem Einlass/Auslassabschnitt des Aufnahmemittels gesetzt. Insbesondere in dem Fall des Aufnehmens Wafers allein in dem Aufnahmemittel ist der Wafer in einer Position gesetzt, an der Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels transmittiert wird, nicht durch den Wafer blockiert wird, wohingegen in dem Fall des Aufnehmens der Rahmeneinheit in dem Aufnahmemittel die Rahmeneinheit an einer Position gesetzt ist, in der das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels transmittiert wird, durch die Rahmeneinheit blockiert wird.
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Entsprechend, wenn das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels nicht durch den Licht empfangenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels detektiert wird, wird bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, die Rahmeneinheit ist. Umgekehrt wenn das Licht, das von dem Licht transmittierenden Abschnitt des zweiten Bestimmungsmittels übertragen wird, durch den Licht empfangenden Abschnitt des zweiten Detektionsmittels detektiert wird, wird bestimmt, dass das Objekt, das in dem Aufnahmemittel aufgenommen ist, der Wafer allein ist. Um diese Bestimmung durch die Bestimmungsvorrichtung umzusetzen, kann der Träger des Aufnahmemittels so ausgestaltet sein, dass der Wafer und die Rahmeneinheit an unterschiedlichen Positionen gesetzt sind.
