CN107490755B - Dut测试板及其使用方法 - Google Patents

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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]

Abstract

在本发明提供的DUT测试板及其使用方法中,所述DUT测试板包括电源信号选择单元、DUT信号选择单元和自动切换单元,利用DUT信号选择单元的两个选择端口输出需要的电源信号,进而将Vpp信号连接到所述待测样品DUT的任意一个引脚上,并利用自动切换单元实现所述Vpp信号的自动接通和断开,因此能够同时满足FT测试和VT测试的硬件要求,而且兼顾现有的硬件设置和测试程序,具有结构简单、使用方便、检测成本低的特点。

Description

DUT测试板及其使用方法
技术领域
本发明涉及集成电路检测技术领域,特别涉及一种DUT测试板及其使用方法。
背景技术
随着存储技术的发展,出现了各种类型的存储器,如随机存储器(Random AccessMemory,简称RAM)、只读存储器(Read-Only Memory,简称ROM)、动态随机存储器(DynamicRandom Access Memory,简称DRAM)、可擦除可编程只读存储器(Erasable ProgrammableRead Only Memory,简称EPROM)、电可擦除可编程只读存储器(Electrically ErasableProgrammable Read-Only Memory,简称EEPROM)和闪存(Flash)等。其中,闪存(Flash)是一种非易失存储器,断电后数据也不会丢失,而且可在电脑或者专用设备上擦除已有信息,重新编程,即插即用。
或非门存储芯片(Nor-flash)是现在市场上应用最广的闪存芯片之一,它的出现彻底改变了原先由EPROM和EEPROM一统天下的局面。为了保证Nor-flash的性能和质量,需要对Nor-flash进行各种测试,以剔除掉不合格的产品。其中,功能测试(Functional Test,简称FT)和模拟测试(Virtualization Test,简称VT)均是Nor-flash的常规测试。进行测试时,均先将待测样品(通常是经过简单封装的芯片)插到待测样品(Device Under Test,简称DUT)测试板上,再将DUT测试板接到测试机台(Tester)上,通过测试机台的测试获得相应的测试数据。
对于Nor-flash而言,其电源脉冲电源(voltage pulse power,简称Vpp)信号的驱动能力非常弱。因此,在擦写过程当中非常容易受到外界的影响。为此,在进行擦写动作时Nor-flash的Vpp信号端一般与外界断开。FT测试包含了擦出和写入动作的电性测试,因此进行FT测试时待测产品的Vpp信号端处于悬空状态。而在VT测试过程中,则需要通过所述Vpp信号端向所述待测产品提供测试所需的电压。由此可见,所述FT测试与VT测试在硬件连接上是有差异的。
目前,FT测试和VT测试通常需要使用不同的DUT测试板,在不同的测试程序中完成。虽然,部分DUT测试板通过跳线方式能够改变连接线路,实现Vpp信号端与测试通道(tester channel)或接地信号端(GND)的连接。即在FT测试时待接地信号端(GND)与待测产品的Vpp信号端连接(此时Vpp信号端处于悬空状态),而在VT测试时测试通道(testerchannel)通过跳线与待测产品的Vpp信号端连接(此时tester channel通过Vpp信号端向待测产品提供测试所需的电压)。但是,进行FT测试和VT测试仍需建立不同的测试程序,分别进行。而且,跳线方式是通过外部短接线实现的,因此Vpp信号端与测试通道的连接方式是固定的,无法实现自动切换。
基此,如何解决现有的Nor-flash无法在同一测试程序中完成FT测试和VT测试的问题,成了本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种DUT测试板及其使用方法,以解决现有技术中Nor-flash无法在同一测试程序中完成FT测试和VT测试的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种DUT测试板,所述DUT测试板包括:电源信号选择单元、DUT信号选择单元和自动切换单元;
所述电源信号选择单元用于接收外部测试机台提供的多个电源信号,并根据测试要求在所述多个电源信号中选择需要的电源信号;
所述DUT信号选择单元与所述电源信号选择单元电性连接,并根据所述电源信号选择单元提供的电源信号向待测样品提供DUT信号;
所述自动切换单元设置在所述电源信号选择单元与所述DUT信号选择单元之间,用于实现Vpp信号的自动接通与断开。
优选的,在所述的DUT测试板中,所述电源信号选择单元包括第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线和电源接口;
所述电源接口用于分别接收第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号,所述第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线的一端均与所述电源接口电性连接,所述第一电源线和第四电源线的另一端直接与所述DUT信号选择单元电性连接,所述第二电源线和第三电源线的另一端通过自动切换单元与所述DUT信号选择单元电性连接;
其中,所述第二电源信号或第三电源信号为电源脉冲电源Vpp信号。
优选的,在所述的DUT测试板中,所述自动切换单元包括一继电器;
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式与所述继电器电性连接;或
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式跳过所述继电器,直接与所述DUT信号选择单元电性连接。
优选的,在所述的DUT测试板中,所述继电器用于接收所述第二电源信号和第三电源信号,并实现所述第二电源信号与第三电源信号的自动切换,以实现所述Vpp信号的自动接通与断开。
优选的,在所述的DUT测试板中,所述继电器包括:第二电源信号端、第三电源信号端和控制端,所述第二电源信号端用于接收所述第二电源信号,所述第三电源信号端用于接收所述第三电源信号,所述控制端用于接收第四电源信号,所述第四电源信号作为控制信号控制所述继电器的闭合和断开。
优选的,在所述的DUT测试板中,DUT信号选择单元包括第一选择端口和第二选择端口,所述第一选择端口和第二选择端口均包括多个排针,所述多个排针呈矩形布置,每个排针均包括第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端,所述第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端以所述矩形为中心由内向外依次排列。
优选的,在所述的DUT测试板中,所述第一选择端口的第一组连接端均与所述第一电源线电性连接,所述第一选择端口的第三组连接端与外部的测试通道一一对应并电性连接,所述第二选择端口的第一组连接端均与所述第四电源线电性连接,所述第二选择端口的第三组连接端以交替方式与所述第二电源线或第三电源线电性连接,所述第一选择端口的第二组连接端和第二选择端口的第二组连接端均用于与所述待测样品的电性连接。
相应的,本发明还提供了一种DUT测试板的使用方法,所述DUT测试板的使用方法包括:
提供如上所述的DUT测试板,并将所述DUT测试板安装到测试机台上;
将一待测样品DUT放置于所述DUT测试板上,使得所述待测样品DUT的引脚与所述DUT测试板的DUT信号选择单元实现电性连接;以及
对所述待测样品DUT进行VT测试或FT测试;进行VT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动接通Vpp信号;进行FT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动断开Vpp信号。
优选的,在所述的DUT测试板的使用方法中,对所述待测样品DUT进行VT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将VT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供VT测试所需的DUT信号。
优选的,在所述的DUT测试板的使用方法中,对所述待测样品DUT进行FT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将FT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供FT测试所需的DUT信号。
在本发明提供的DUT测试板中,利用DUT信号选择单元的两个选择端口输出需要的电源信号,进而将Vpp信号连接到所述待测样品DUT的任意一个引脚上,并利用自动切换单元实现所述Vpp信号的自动接通和断开,因此能够同时满足FT测试和VT测试的硬件要求,而且兼顾现有的硬件设置和测试程序,具有结构简单、使用方便、检测成本低的特点。
附图说明
图1是本发明实施例的DUT测试板的工作原理图;
图2是本发明实施例的DUT测试板的结构示意图;
图3是图2中区域A的放大示意图;
图4是本发明实施例的DUT信号选择单元的部分结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的DUT测试板及其使用方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图1,其为本发明实施例的DUT测试板的工作原理图。如图1所示,所述DUT测试板100包括:电源信号选择单元、自动切换单元120、DUT信号选择单元130;所述电源信号选择单元用于接收外部测试机台200提供的多个电源信号,并根据测试要求在所述多个电源信号中选择需要的电源信号;所述DUT信号选择单元130与所述电源信号选择单元电性连接,并根据所述电源信号选择单元提供的电源信号向待测样品DUT提供DUT信号;所述自动切换单元120设置在所述电源信号选择单元与所述DUT信号选择单元130之间,用于实现Vpp信号的自动接通与断开。
具体的,所述DUT测试板100与外部的测试机台200电性连接,所述测试机台200用于提供多个电源信号,所述多个电源信号包括第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4。
请结合参考图2和图3,所述电源信号选择单元包括第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3和第四电源线S4和一电源接口111,所述电源接口111用于接收所述测试机台200提供的第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4,所述第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3和第四电源线S4的一端均所述电源接口111电性连接,用以接收所述第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4,所述第一电源线S1和第四电源线S4的另一端直接与所述DUT信号选择单元130电性连接,所述第二电源线S2和第三电源线S3的另一端通过自动切换单元120与所述DUT信号选择单元130电性连接。
本实施例中,所述电源接口111为双排接口,每排8个电源连接端。
如图3所示,所述第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3和第四电源线S4上均设置有多个过孔(图中实线圆圈所示),所述多个过孔均用于实现短接。将短接帽(图中未示出)插入对应的过孔中,所述第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3和第四电源线S4均能够与所述电源接口111电性连接。由此可见,所述电源信号选择单元通过短接帽选择需要的电源信号,对于需要的电源信号只要在相应的电源线上插入短接帽即可,对于不需要的电源信号只要相应的电源线保持断开状态即可。
如图1所示,所述DUT信号选择单元130与所述第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3和第四电源线S4电性连接,所述电源信号选择单元通过所述第一电源线S1、第二电源线S2、第三电源线S3、第四电源线S4将测试需要的电源信号传输至所述DUT信号选择单元130,所述自动切换单元120设置在所述电源信号选择单元与所述DUT信号选择单元130之间,并与所述第二电源线S2和第三电源线S3电性连接。
请结合参考图1至图3,所述自动切换单元120包括一继电器125,将短接帽(图中未示出)插入对应的过孔中,所述第二电源线S2和第三电源线S3均能够与所述继电器125电性连接,或跳过所述继电器直接与所述DUT信号选择单元130电性连接。所述继电器125用于接收第二电源信号DPS2和第三电源信号DPS3,并实现所述第二电源信号DPS2与第三电源信号DPS3的自动切换。如图3所示,所述继电器125包括10个过孔,所述10个过孔中有两个是常闭接口(DPS2_1和DPS3_1)、两个常开接口(DPS2_2和DPS3_2)、一个是第二电源信号端DPS2_0、一个是第三电源信号端DPS3_0和另一个是控制端DPS4_1,所述第二电源信号端DPS2_0用于接收第二电源信号DPS2,所述第三电源信号端DPS3_0用于接收第三电源信号DPS3,所述控制端DPS4_1用于接收第四电源信号DPS4,所述第四电源信号DPS4作为控制信号控制所述继电器125的闭合和断开。
本实施例中,所述继电器125的控制端与所述第四电源线S4电性连接,所述继电器125受所述第四电源线S4提供的第四电源信号DPS4控制,即第四电源信号DPS4是所述继电器125的控制信号。当所述第四电源线S4提供的第四电源信号DPS4为高电平(DPS4=H)时,所述继电器125闭合。当所述第四电源线S4提供的第四电源信号DPS4为低电平(DPS4=L)时,所述继电器125断开。
在本发明的其他实施例中,所述继电器125的控制端也可以不与所述第四电源线S4电性连接,而是直接与外部的控制信号线连接,由外部信号线提供的控制信号控制所述继电器125的断开或闭合。
本实施例中,所述第二电源线S2和第三电源线S3通过短接方式与所述继电器125电性连接。这种情况下,所述第二电源线S2和第三电源线S3分别将切换后的第二电源信号DPS2’和第三电源信号DPS3’传输给所述DUT信号选择单元130。
本实施例中,所述第二电源线S2和第三电源线S3还能够通过短接方式跳过所述自动切换单元120,直接与所述DUT信号选择单元130电性连接。这种情况下,所述第二电源线S2和第三电源线S3分别将所述第二电源信号DPS2与第三电源信号DPS3直接传输给所述DUT信号选择单元130。
请继续参考图2,所述DUT信号选择单元130包括第一选择端口131和第二选择端口132,所述第一选择端口131和第二选择端口132均包括多个排针,所述多个排针呈矩形布置,每个排针均包括第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端,所述第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端以所述矩形(即放置待测样品DUT的区域)为中心由内向外依次排列。
请参考图4,其为本发明实施例的DUT信号选择单元的部分结构示意图。如图4所示,所述第一选择端口131的第一组连接端131a均与所述第一电源线S1电性连接,所述第一选择端口131的第三组连接端131c与外部的测试通道一一对应并电性连接,所述第二选择端口132的第一组连接端132a均与所述第四电源线S4电性连接,所述第二选择端口132的第三组连接端132c以交替方式与所述第二电源线S2或第三电源线S3电性连接,所述第一选择端口131的第二组连接端131b和第二选择端口132的第二组连接端132b均用于与待测样品DUT的电性连接,向所述待测样品DUT提供DUT信号。
其中,所述第一选择端口131和第二选择端口132是相互独立的。优选地,所述第一选择端口131和第二选择端口132以分层方式设置,这样,特别适用于引脚数目大的情况。
优选的,所述第一选择端口131的多个排针与所述第二选择端口132的多个排针呈一一对应设置,每个排针中第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端的数量均相同。
Nor-flash通常包括128个引脚(pin1至pin128)。其中,Vpp信号随机分配到128个引脚(pin1至pin128)上。不同的产品,Vpp信号分配位置一般不同,Vpp信号可能出现在任意位置。
本实施例中,所述第一选择端口131和第二选择端口132均包括四个排针,每个排针均包括第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端,所述第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端均有32个连接端。由此可见,所述第一选择端口131和第二选择端口132中第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端均有128个连接端,因此适用于128个引脚的Nor-flash。
本实施例中,所述DUT信号选择单元130包括两个选择端口,其中一个选择端口用于连接测试通道或第一电源线S1,另一组选择端口连接用于第二电源线S2、第三电源线S3或第四电源线S4。
所述待测样品DUT通过这两个选择端口选择需要的电源信号,进而将Vpp信号连接到所述待测样品DUT的目标引脚(pin)上。
本实施例中,所述DUT测试板100能够向所述待测样品DUT的任意一个引脚(pin1至pin128)提供Vpp信号,所述DUT测试板100能够支持不同类型的Nor-flash产品。而且,所述DUT测试板100通过一个继电器125就能够在任意一个引脚(pin1至pin128)上实现Vpp信号的自动接通或断开。
而现有的DUT测试板100要在任意一个引脚实现Vpp信号的自动接通或断开,需要使用多个继电器(relay)。通常的,128个引脚需要64个继电器。因此,在现有的DUT测试板100上实现自动通断的目的,需要非常大的空间以放置64个继电器。
进一步的,所述DUT测试板100采用短接帽改变电路结构,进而使得其电路结构以及具备的功能与现有的DUT测试板100完全相同。因此,采用所述DUT测试板100进行产品测试时,可以使用现有的测试程序。即,在测试程序不做任何修改的情况下,能够实现测试其他产品的目的。
综上所述,所述DUT测试板100能够同时满足FT测试和VT测试的硬件要求,不需要跳线就能够进行测试,而且兼顾现有的硬件设置和测试程序,利用所述DUT测试板100进行产品测试时,可以使用现有的测试程序。
相应的,本实施例还提供了一种DUT测试板的使用方法。请继续参考图1至图3,所述DUT测试板100的使用方法包括:
步骤一:提供如上所述的DUT测试板100,并将所述DUT测试板100安装到测试机台200上;
步骤二:将一待测样品DUT放置于所述DUT测试板100上,使得所述待测样品DUT的引脚与所述DUT测试板100的DUT信号选择单元130实现电性连接;
步骤三:对所述待测样品DUT进行VT测试或FT测试;进行VT测试时,通过所述DUT测试板100上的自动切换单元120自动接通Vpp信号;进行FT测试时,通过所述DUT测试板100上的自动切换单元120自动断开Vpp信号。
具体的,首先,设计并制作一块如上所述的DUT测试板100,并将所述DUT测试板100安装到测试机台200上,所述DUT测试板100能够自动控制Vpp信号的接通与断开。
接着,将一待测样品DUT放置于所述DUT测试板100上,使得所述待测样品DUT的引脚与所述DUT测试板100实现电性连接。由此,所述待测样品DUT通过所述DUT测试板100与所述测试机台200电性连接。本实施例中,所述待测样品DUT为Nor-flash产品。
然后,对所述待测样品DUT进行VT测试或FT测试。对所述待测样品DUT进行VT测试的具体过程包括:
首先,通过所述测试机台200向所述DUT测试板100的电源信号选择单元分别提供第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4;
接着,利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4进行选择,并将VT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元130;
然后,通过所述DUT信号选择单元130向所述待测样品DUT提供VT测试所需的DUT信号。
进行VT测试时,由于所述第四电源线S4提供的第四电源信号DPS4为高电平(DPS4=H),所述自动切换单元120的继电器125闭合,由此通过所述继电器125实现所述第二电源信号DPS2和第三电源信号DPS3的自动切换,例如切换成第二电源信号DPS2,并将切换后的电源信号输送给所述DUT信号选择单元130。本实施例中,所述第二电源信号DPS2是Vpp信号。由此,Vpp信号自动连通,施加到所述待测样品DUT的Vpp信号端。
对所述待测样品DUT进行FT测试的具体过程包括:
首先,通过所述测试机台200向所述DUT测试板100的电源信号选择单元分别提供第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4;
接着,利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号DPS1、第二电源信号DPS2、第三电源信号DPS3和第四电源信号DPS4进行选择,并将FT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元130;
然后,通过所述DUT信号选择单元130向所述待测样品DUT提供FT测试所需的DUT信号。
进行FT测试时,由于所述第四电源线S4提供的第四电源信号DPS4为低电平(DPS4=L),所述自动切换单元120的继电器125断开,因此自动切换成第三电源信号DPS3,并将切换后的电源信号输送给所述DUT信号选择单元130。本实施例中,所述第三电源信号DPS3为接地信号GND。由此,Vpp信号自动断开,无法施加到所述待测样品DUT的Vpp信号端。通过所述DUT测试板100上的继电器自动断开Vpp信号。
采用所述DUT测试板100及其使用方法,即使FT测试与VT测试的测试信号要求不同,硬件连接要求有差异,也可以在同一段测试程序当中完成,有效地节省了测试时间。需要对不同类型(即Vpp信号的分配位置不同)的Nor-flash产品进行测试时,也不需要为每种产品重新设计新的DUT测试板,因而,不但提高了测试效率、降低了时间成本,而且还节省了制造或订购新的DUT测试板的资金。
综上,在本发明实施例提供的DUT测试板及其使用方法中,利用DUT信号选择单元的两个选择端口输出需要的电源信号,进而将Vpp信号连接到所述待测样品DUT的任意一个引脚上,并利用自动切换单元实现所述Vpp信号的自动接通和断开,因此能够同时满足FT测试和VT测试的硬件要求,而且兼顾现有的硬件设置和测试程序,具有结构简单、使用方便、检测成本低的特点。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述,并非对本发明范围的任何限定,本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。

Claims (9)

1.一种DUT测试板,其特征在于,包括:电源信号选择单元、DUT信号选择单元和自动切换单元;
所述电源信号选择单元用于接收外部测试机台提供的多个电源信号,并根据测试要求在所述多个电源信号中选择需要的电源信号;所述电源信号选择单元包括第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线和电源接口,所述电源接口用于分别接收第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号,所述第一电源线、第二电源线、第三电源线、第四电源线的一端均与所述电源接口电性连接,所述第一电源线和第四电源线的另一端直接与所述DUT信号选择单元电性连接,所述第二电源线和第三电源线的另一端通过自动切换单元与所述DUT信号选择单元电性连接,其中,所述第二电源信号或第三电源信号为电源脉冲电源Vpp信号;
所述DUT信号选择单元与所述电源信号选择单元电性连接,并根据所述电源信号选择单元提供的电源信号向待测样品提供DUT信号;
所述自动切换单元设置在所述电源信号选择单元与所述DUT信号选择单元之间,用于实现Vpp信号的自动接通与断开。
2.如权利要求1所述的DUT测试板,其特征在于,所述自动切换单元包括一继电器;
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式与所述继电器电性连接;或
所述第二电源线和第三电源线通过短接方式跳过所述继电器,直接与所述DUT信号选择单元电性连接。
3.如权利要求2所述的DUT测试板,其特征在于,所述继电器用于接收所述第二电源信号和第三电源信号,并实现所述第二电源信号与第三电源信号的自动切换,以实现所述Vpp信号的自动接通与断开。
4.如权利要求2所述的DUT测试板,其特征在于,所述继电器包括:第二电源信号端、第三电源信号端和控制端,所述第二电源信号端用于接收所述第二电源信号,所述第三电源信号端用于接收所述第三电源信号,所述控制端用于接收第四电源信号,所述第四电源信号作为控制信号控制所述继电器的闭合和断开。
5.如权利要求1所述的DUT测试板,其特征在于,DUT信号选择单元包括第一选择端口和第二选择端口,所述第一选择端口和第二选择端口均包括多个排针,所述多个排针呈矩形布置,每个排针均包括第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端,所述第一组连接端、第二组连接端和第三组连接端以所述矩形为中心由内向外依次排列。
6.如权利要求5所述的DUT测试板,其特征在于,所述第一选择端口的第一组连接端均与所述第一电源线电性连接,所述第一选择端口的第三组连接端与外部的测试通道一一对应并电性连接,所述第二选择端口的第一组连接端均与所述第四电源线电性连接,所述第二选择端口的第三组连接端以交替方式与所述第二电源线或第三电源线电性连接,所述第一选择端口的第二组连接端和第二选择端口的第二组连接端均用于与所述待测样品的电性连接。
7.一种DUT测试板的使用方法,其特征在于,包括:
提供如权利要求1至6中任意一项所述的DUT测试板,并将所述DUT测试板安装到测试机台上;
将一待测样品DUT放置于所述DUT测试板上,使得所述待测样品DUT的引脚与所述DUT测试板的DUT信号选择单元实现电性连接;以及
对所述待测样品DUT进行VT测试或FT测试;进行VT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动接通电源脉冲电源Vpp信号;进行FT测试时,通过所述DUT测试板上的自动切换单元自动断开Vpp信号。
8.如权利要求7所述的DUT测试板的使用方法,其特征在于,对所述待测样品DUT进行VT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将VT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供VT测试所需的DUT信号。
9.如权利要求7所述的DUT测试板的使用方法,其特征在于,对所述待测样品DUT进行FT测试的具体过程包括:
通过所述测试机台向所述DUT测试板的电源信号选择单元分别提供第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号;
利用所述电源信号选择单元对所述第一电源信号、第二电源信号、第三电源信号和第四电源信号进行选择,并将FT测试所需的电源信号传输至DUT信号选择单元;以及
通过所述DUT信号选择单元向所述待测样品DUT提供FT测试所需的DUT信号。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110136770B (zh) * 2019-05-31 2020-09-22 济南德欧雅安全技术有限公司 一种在应用程序中测试内存组件的测试夹具及测试方法
CN113488101B (zh) * 2021-09-07 2021-12-28 北京紫光青藤微系统有限公司 NOR Flash芯片驱动能力的测试系统和电子设备
CN117233436A (zh) * 2023-11-15 2023-12-15 青岛泰睿思微电子有限公司 分立器件的开尔文测试切换装置及其测试切换方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN200986568Y (zh) * 2006-10-08 2007-12-05 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 探针卡
CN101281232A (zh) * 2008-05-22 2008-10-08 株洲南车时代电气股份有限公司 机车通用电路板功能测试系统和方法
CN202929166U (zh) * 2012-09-13 2013-05-08 北京中天荣泰科技发展有限公司 一种电源组件电路板测试设备
CN103812138A (zh) * 2014-03-05 2014-05-21 上海华虹宏力半导体制造有限公司 一种供电系统及供电方法、检测系统及检测方法
CN204422717U (zh) * 2015-02-11 2015-06-24 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 测试板装置及测试系统

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4100634A1 (de) * 1991-01-11 1992-07-16 Adaptronic Ag Pruefvorrichtung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN200986568Y (zh) * 2006-10-08 2007-12-05 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 探针卡
CN101281232A (zh) * 2008-05-22 2008-10-08 株洲南车时代电气股份有限公司 机车通用电路板功能测试系统和方法
CN202929166U (zh) * 2012-09-13 2013-05-08 北京中天荣泰科技发展有限公司 一种电源组件电路板测试设备
CN103812138A (zh) * 2014-03-05 2014-05-21 上海华虹宏力半导体制造有限公司 一种供电系统及供电方法、检测系统及检测方法
CN204422717U (zh) * 2015-02-11 2015-06-24 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 测试板装置及测试系统

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