CN101738503B - 接口装置与其控制方法、老化测试系统 - Google Patents

Abstract

一种接口装置与其控制方法、老化测试系统，其中，接口装置连接半导体器件老化测试装置中的驱动单元和老化板，包括：驱动接口件，用于连接所述驱动单元并传输信号；老化板接口件，用于连接所述老化板并传输信号；类型匹配单元，用于连接所述驱动接口件和所述老化板接口件，根据待测器件的类型，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。本发明可兼容多种类型的老化测试装置，有效地利用了现有老化测试装置及老化板，节约了购置新老化测试装置以及制作新老化板的成本，节省了置放新老化测试装置的空间，并且可利用现有老化测试装置提供更高的测试温度。

Description

接口装置与其控制方法、老化测试系统

技术领域

本发明涉及半导体器件老化测试中的接口技术，以及老化测试系统。

背景技术

为了确保器件的可靠性，在器件被制造出来之后，往往需要在老化测试系统中完成老化测试工艺。老化测试(Burn-in Test)，就是在高温下，一般来说为100℃以上，长时间用高于操作电源电压的高电压加到存储器晶体管的控制极上，使器件中每个单元承受过度的负荷，尽早地暴露出器件中的缺陷，从而检测出有缺陷的器件。

常用的老化测试系统，包括老化测试装置以及老化板(Burn-in Board)。老化测试装置可至少包括环境试验箱以及在该环境试验箱内部并与该环境试验箱成一体的驱动单元：环境试验箱可提供并控制满足静态老化测试的测试环境条件，例如温度条件；驱动单元，用于在环境试验箱所提供的测试环境下，对器件进行各项功能测试。为提高产量，常将多个待测器件装在一个大的印刷电路板上，也就是老化板。老化板上的多个待测器件相互并联，同时进行老化测试。老化测试装置以及应用于老化测试的老化板的结构，也可参考申请号为200610163541.1的中国专利申请“老化试验装置及老化试验板”。

在测试过程中，首先将待测器件与老化板相连接，接着将老化板放入老化测试装置的环境试验箱中，并与其中的驱动单元相连接，接着根据待测器件所需测试的功能，通过环境试验箱调节温度等条件，以实现测试所需要的测试环境，并通过驱动单元对老化板上的待测器件进行功能性测试，以检测出有缺陷的器件。

目前市场中，老化测试装置制造厂商所提供的老化测试装置中，环境试验箱和驱动单元往往是一体化的，只能提供有限的测试环境条件与功能性测试的组合。

举例来说，大多数老化测试装置所设置的老化测试温度最高仅为150℃，有时客户为了获得较高的产品质量，需要在较高的温度下进行老化测试，例如175℃甚至更高，此时大多数老化测试装置就无法满足用户的需求，事实上，并不乏可替代环境试验箱、提供较高温度的烤箱，然而这些烤箱由于不具备可提供功能性老化测试的驱动单元，无法进行使用。

又例如，对于存储器件和逻辑器件，存储器件所需要进行的功能性测试相对于逻辑器件而言较为基础。一般来说，对存储器件而言，将所有待测存储器件由统一的方式写入，然后单独选中每一个，将其存入的数据读出并与原来的值对照，相应地，每个存储器件必须与其它器件进行电性隔离，并且对存储器件进行老化测试的驱动单元被设计成具有地址信号，通过对每个器件单独选通来实施老化测试。而逻辑器件通常被用于测试是否能实现所设计的功能，而适用于逻辑器件的驱动单元一般不需要具有地址信号。因而即使同样是对待测器件进行读写，由于器件类型不一致，必须分而使用不同的驱动单元。

因而，对于制造逻辑器件以及存储器件的器件制造厂商而言，根据所生产器件的特性，往往需要购买多个可提供各种不同测试环境条件与功能性测试组合的老化测试装置，这不仅增加了购置成本，还占用了大量的厂房，提高了维护成本，而每一台老化测试装置也无法得到充分的利用。

专利号为99126840.7的中国专利“电子元器件综合型老化筛选装置”中公开了一种电子元器件的老化筛选装置，所述老化筛选装置具有多个试验工位，实现了对不同封装及极性的电子元器件的老化，但是其老化温度只能达到75℃±5℃的范围，远不满足半导体器件老化所需要的高温条件(至少大于100℃)，并且所述老化筛选装置是通过巡检控制仪装置控制电源极性变换装置，使老化电源满足不同极性元器件老化的要求，从而扩大可适用元器件的范围的，也就是说，所述老化筛选装置只是通过改变适用电源电压将可适用元器件范围由单一品种扩大到可用于如二、三极管、可控硅、三端稳压器、电阻等极性元器件，但仍不能适用于更多其它类型的半导体器件，比如多种存储器件，或者其它逻辑器件等，也不能适用于更多测试条件下的老化测试。

另外，当器件制造出来之后，往往需要根据其器件类型以及需要进行的老化测试，选择相应的老化测试装置，并且，根据驱动单元的引脚以及该待测器件的引脚，制作可适用于采用该老化测试装置对该待测器件进行老化测试的新的老化板。也就是说，每当制造出一种新的半导体器件时，或者当对某待测器件进行了调整，需要使用不同的老化测试装置进行测试时，将不得不制作新的老化板。因此，在现有老化技术中，老化板的利用率比较低。

因此，基于上述问题，对于半导体器件来说，需要一种可兼容现有老化测试装置以及老化板并可扩展的老化测试系统。

发明内容

本发明申请所解决的问题是，提供一种连接半导体器件老化测试装置中的驱动单元和老化板的接口装置、对所述接口装置的控制方法，以及包括所述接口装置的老化测试系统，以实现对老化测试装置的扩展使用。

为解决上述问题，本发明提供了一种接口装置，连接半导体器件老化测试装置中的驱动单元和老化板，其特征在于，包括：驱动接口件，用于连接所述驱动单元并传输信号；老化板接口件，用于连接所述老化板并传输信号；类型匹配单元，用于连接所述驱动接口件和所述老化板接口件，根据待测器件的类型，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

可选的，当通过所述接口装置将存储器件与适用于逻辑器件的驱动单元连接并进行测试时，所述类型匹配单元将所述驱动接口件传输的输入信号与所述老化板接口件传输的地址信号匹配，将所述驱动接口件传输的输出信号与所述老化板接口件传输的输入/输出信号匹配，将所述驱动接口件传输的测试模式选择信号与所述老化板接口件传输的时钟信号匹配，以及将所述驱动接口件传输的测试时钟信号与所述老化板接口件传输的电源信号匹配。

可选的，当通过所述接口装置将逻辑器件与适用于存储器件的驱动单元连接并进行测试时，所述类型匹配单元将所述驱动接口件传输的地址信号与所述老化板接口件传输的输入信号建立匹配，将所述驱动接口件传输的输入/输出信号与所述老化板接口件传输的输出信号建立匹配，将所述驱动接口件传输的时钟信号与所述老化板接口件传输的测试模式选择信号建立匹配，以及将所述驱动接口件传输的电源信号与所述老化板接口件传输的测试时钟信号建立匹配。

可选的，所述类型匹配单元包括：开关单元，用于选择待测器件类型；匹配单元，用于连接所述驱动接口件和所述老化板接口件，根据所述开关单元的选择结果，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

可选的，所述匹配单元为128针引脚的可编程IC或256针引脚的可编程IC。

可选的，还包括：信号放大单元，用于接收所述类型匹配单元所匹配的信号，对其进行放大，并通过所述老化板接口件传输至老化板。

可选的，当将逻辑器件通过所述接口装置与适用于存储器件的老化测试装置连接并进行老化测试时，所述信号放大单元对所接收的经过类型匹配的信号进行放大，将放大的信号通过所述老化接口件进行传输。

可选的，所述信号放大单元包括信号放大器。

可选的，还包括：引脚匹配单元，用于接收经过类型匹配的信号，根据待测器件的引脚定义，进行引脚匹配，并将经过引脚匹配的信号通过所述老化板接口件传输至所述老化板。

可选的，所述引脚匹配包括，调整所述经过类型匹配的信号与老化板实际引脚的对应关系，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配。

可选的，所述引脚匹配单元，包括：主匹配单元，用于调整所述信号与老化板实际引脚的对应关系；辅助匹配单元，用于对主匹配单元的匹配结果进行辅助调整。

可选的，所述主匹配单元包括可编程跳线匹配IC，所述辅助匹配单元包括手动跳线机械结构。

可选的，所述驱动接口件和所述老化板接口件包括光纤。

本发明还提供一种对所述接口装置的控制方法，其特征在于，包括：接收来自老化测试装置中驱动单元和来自老化板的信号；根据所述待测器件，对所述接收的信号进行匹配；将来自所述驱动单元、经匹配的信号传输至所述老化板，将来自所述老化板、经匹配的信号传输至所述驱动单元，实现老化测试中所述驱动单元和所述老化板的通信。

可选的，所述根据待测器件，对所接收的信号进行匹配包括：根据所述待测器件类型，对所述接收的信号进行类型匹配。

可选的，所述类型匹配单元通过所述驱动接口件从所述驱动单元接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将经过类型匹配的信号通过所述老化板接口件传输至所述老化板，并且所述类型匹配单元通过所述老化板接口件从所述老化板接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将经过类型匹配的信号通过所述驱动接口件传输至所述驱动单元。

可选的，当待测器件为存储器件并采用适用于逻辑器件的驱动单元时，对从驱动单元所接收的输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号，对应进行类型匹配，分别匹配为地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号。

可选的，当待测器件为逻辑器件并采用适用于存储器件的驱动单元时，对从驱动单元所接收的地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号，对应进行类型匹配，分别匹配为输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号。

可选的，所述根据待测器件，对所接收的信号进行匹配，还包括：对所述接收的信号进行类型匹配；接收所述经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，对所述信号与老化板引脚的对应关系作调整。

可选的，所述引脚匹配单元接收来自所述类型匹配单元的经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，调整所述信号与老化板引脚的对应关系，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配。

本发明还提供一种老化测试系统，包括环境试验箱、驱动单元和老化板，其特征在于，还包括：所述的接口装置，用于连接所述驱动单元和所述老化板，对所述驱动单元和所述老化板进行通信的信号进行匹配。

可选的，所述环境试验箱与所述驱动单元分别位于不同的老化测试装置。

可选的，所述环境试验箱用于提供测试温度环境。

可选的，所述驱动单元用于提供老化测试的驱动程序，并执行所述老化测试。

与现有技术相比，本发明实现了对老化测试装置的扩展使用，并且在利用现有老化测试装置的前提下，提供种类更多的测试环境条件和功能性测试项目的组合，扩展了可进行测试的器件种类，从而增加了所能提供的老化测试组合的多样性，也提高了老化测试装置和老化板的使用效率。

附图说明

图1是本发明接口装置实施方式的结构示意图；

图2是本发明接口装置一种具体实施例的结构示意图；

图3是本发明接口装置另一种具体实施例的结构示意图；

图4是图1中所述类型匹配单元实施方式的结构示意图；

图5是本发明接口装置另一种实施方式的结构示意图；

图6是本发明接口装置又一种实施方式的结构示意图；

图7是本发明接口装置实施方式中，老化板与待测器件引脚不匹配的示意图；

图8是通过本发明接口装置实施方式的所述引脚匹配单元，调整图7中所述信号与老化板引脚的对应关系的结构示意图；

图9是图6中所述引脚匹配单元实施方式的结构示意图；

图10是本发明对所述接口装置控制方法实施方式的流程示意图；

图11是图10中步骤S12具体实施方式的流程示意图；

图12是本发明老化测试系统实施方式的结构示意图；

图13是本发明老化测试系统具体实施例的结构示意图。

具体实施方式

现有的老化测试装置按照待测器件类型，可分为适用于存储器件类型或适用于逻辑器件类型，分别用于对所适用的器件类型进行老化测试。现有技术中，由于老化测试装置仅被应用于其所适用的器件类型，因此老化板所接收信号类型与驱动单元所发送的信号类型，以及老化板所发送的信号类型与驱动单元所接收的信号类型都是一致的。然而，存储器件和逻辑器件，由于所需要测试的功能性测试项目不一样，应用于不同类型器件的驱动单元所发送和接收的信号类型也是不一样的，同样地，应用于不同类型器件的老化板所发送和接收的信号类型也不同。

当待测器件为存储器件时，由于存储器件老化测试的实现相对比较简单，所有器件由统一的方式写入，然后单独选中每个器件，将其存入的数据读出并与原来的值对照。也就是说，存储器件的老化测试，一般涉及到存储器件的选取以及对选定的存储器件的写入和读取操作，因此，具体地来说，对于适用于存储器件的驱动单元，其对外进行通信的信号至少包括：地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号。相应地，对于装载有存储器件的老化板，其对外进行通信的信号也至少包括：地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号。

其中，一般来说，所述地址信号包括采用高低电平的信号用以指示待测器件的地址单元。

当待测器件为存储器件时，所述输入或输出信号，也就是向所述待测器件中“写入”或从待测器件中“读出”的数据信号，需要较强的驱动能力。

所述时钟信号为用于决定对器件进行何种测试操作的信号，对于不同的老化测试项目，所述时钟信号可包括不同信号。具体来说，所述时钟信号可包括芯片致能(Chip-select Enable)信号，用于标识所选取的器件是否处于活动状态，还可包括写操作(Write Enable)信号，即以低电平标识所述操作处于“写”状态，以及以高电平标识所述操作处于“读”状态。

电源信号包括多种标识电压信息的信号，例如VDD、VPP、GND以及VSS等。

相对于存储器件，逻辑器件的老化测试则要复杂得多，不同的逻辑器件往往具有多种不同的功能特性。因此，对于适用于逻辑器件的驱动单元，其对外进行通信的信号至少包括：输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号。相应地，对于装载有逻辑器件的老化板，其对外进行通信的信号也至少包括：输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号。

其中，所述输入信号包括向待测器件输入的进行测试的数据信息，所述输出信号包括从待测器件输出的数据信息。逻辑器件老化测试模式主要有平行和串行两种，所述测试模式选择信号以高电平和低电平对所述两种模式进行区分。所述测试时钟信号，用于标识处于测试操作所进行的时间周期。

发明人考虑到，老化板与驱动单元进行通信的信号，在表现形式上以及所起到的作用上，存在相似之处。具体来说，从前者所接收到的时钟信号与从后者所接收到的测试模式选择信号，都可表现为以位于高电平或低电平对测试操作处于何种模式状态进行标识；从前者所接收到的电源信号与从后者所接收到的测试时钟信号，在测试的过程中，基本都不随操作类型或测试状态的变化而发生变化；而从前者所接收到的地址信号以及输入/输出信号与从后者所接收到的输入信号以及输出信号，根据操作类型或测试内容的不同而发生变化，在测试过程中，都携带选通信息或用于读写的数据信息。

参考图1，本发明提供了一种接口装置，用于连接半导体器件老化测试系统中的驱动单元和老化板，其中，包括：驱动接口件101，用于连接所述驱动单元并传输信号；老化板接口件103，用于连接和所述老化板并传输信号；类型匹配单元102，用于连接驱动接口件101和老化板接口件103，根据待测器件的类型，对驱动接口件101与老化板接口件103通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

下面结合附图，具体对本发明实施方式进行详细描述。

在具体实施中，参考图2，待测器件为存储器件，通过接口装置将其与适用于逻辑器件的驱动单元连接进行测试。其中，从所述驱动单元所接收的信号包括：输入信号、输出信号、测试时钟信号和测试模式选择信号。通过驱动接口件202将所述信号传输至类型匹配单元201；类型匹配单元201对所接收的信号进行类型匹配，并将经过匹配的信号通过老化板接口件203传输至所述老化板。在测试过程中，从所述老化板所接收的信号至少包括：输入/输出信号，通过老化板接口件203将所述信号传输至类型匹配单元201；类型匹配单元201对所接收的信号进行类型匹配，并将经过匹配的信号通过驱动接口件202传输至所述驱动单元。

具体来说：类型匹配单元201将驱动接口件202传输的输入信号与老化板接口件203传输的地址信号建立匹配，将驱动接口件202传输的输出信号与老化板接口件203传输的输入/输出信号建立匹配，将驱动接口件202的测试模式选择信号与老化板接口件203传输的时钟信号建立匹配，以及将驱动接口件202的测试时钟信号与老化板接口件203传输的电源信号建立匹配。

参考图3，待测器件为逻辑器件，通过接口装置将其与适用于存储器件的驱动单元连接进行测试。其中，从所述驱动单元所接收的信号包括：地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号。通过驱动接口件302将所述信号传输至类型匹配单元301；类型匹配单元301对所接收的信号进行类型匹配，并将经过匹配的信号通过老化板接口件303传输至所述老化板。在测试过程中，从所述老化板所接收到的信号至少包括：输出信号，通过老化板接口件303将所述信号传输至类型匹配单元301；类型匹配单元301对所接收的信号进行类型匹配，并将经过匹配的信号通过驱动接口件302传输至所述驱动单元。

具体来说，类型匹配单元301将驱动接口件302传输的地址信号与老化板接口件303传输的输入信号建立匹配，将驱动接口件302传输的输入/输出信号与老化板接口件303传输的输出信号建立匹配，将驱动接口件302传输的时钟信号与老化板接口件303传输的测试模式选择信号建立匹配，以及将驱动接口件302传输的电源信号与老化板接口件303传输的测试时钟信号建立匹配。

所述接口装置的类型匹配单元根据待测器件所属类型，对与所述驱动单元进行通信的信号进行类型匹配，使所述待测器件并不限定于与特定类型的老化测试装置进行通信，也就是说，所述接口装置的类型匹配单元，改变了所述待测器件只能与适用于存储器件类型或适用于逻辑器件类型的老化测试装置的驱动单元进行通信从而进行测试的情况，为所述待测器件的老化测试提供了多种功能性测试的组合，并且提高了现有老化测试装置的使用率。

参考图4，在其它的实施方式中，所述类型匹配单元可包括开关单元401，用于选择待测器件类型，以及匹配单元402，用于连接驱动接口件和老化板接口件，根据所述开关单元的选择结果，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

例如，当待测器件为存储类型、采用适用于逻辑器件的驱动单元进行测试时，所述开关单元401选择为存储类型，并将所选择的结果传输至所述匹配单元402；所述匹配单元402接收来自所述驱动接口件的信号，将其所传输的输入信号匹配于所述老化板接口件传输的地址信号，将其所传输的输出信号匹配于所述老化板接口件传输的输入/输出信号，将其所传输的测试模式选择信号匹配于所述老化板接口件传输的时钟信号，以及将其所传输的测试时钟信号匹配于所述老化板接口件的电源信号。

具体来说，所述开关单元401选择器件类型，可为人工选定，也可为自动选定；其中所述自动选定可包括：所述开关单元401向装载有待测器件的老化板发送类型请求信号；老化板接收所述类型请求信号，向所述开关单元401发送回复信号，所述回复信号中包含待测器件类型；所述开关单元401根据所述回复信号，做出选择。

其中，所述开关单元可包括开关，所述匹配单元可为具有128针引脚的可编程IC，也可以为具有256针引脚的可编程IC。

参考图5，在其它的实施方式中，所述接口装置还可包括信号放大单元503，用于接收所述类型匹配单元所匹配的信号，对其进行放大，并通过所述老化板接口件传输至老化板。

在具体实施中，当将逻辑器件通过所述接口装置与适用于存储器件的老化测试装置相连接，进行老化测试时，首先所述类型匹配单元对所述驱动接口件与所述老化板接口件进行通信的信号进行类型匹配，然后，所述信号放大单元接收经过类型匹配的信号，并对所述信号进行放大，接着将所述经过放大的信号通过老化接口件进行传输。

具体来说，所述信号放大单元所接收的可为驱动单元通过驱动接口件所传输的地址信号或者输入/输出信号或者为其组合，也就是，将通过老化接口件进行传输的输入信号或者输出信号或者为其组合。由于对逻辑器件进行老化测试时，需要对其输入信号或输出信号采用较大的驱动电流，以克服老化板所带来的负载效应，而适用于存储器件的老化测试装置中的驱动单元并不具有所要求的驱动能力。通过所述信号放大单元，对经过类型匹配的信号进行放大，使其达到测试要求。在具体的实施例中，所述信号放大单元可包括信号放大器。

本发明接口装置的另一种具体实施方式中，参考图6，所述接口装置包括驱动接口件、老化板接口件和类型匹配单元601，其中还可包括：引脚匹配单元602，所述引脚匹配单元602用于接收经过类型匹配的信号，根据待测器件的引脚定义，调整所述信号与老化板实际引脚的对应关系。所述引脚匹配单元602接收来自类型匹配单元601的信号，进行引脚匹配，并将经过匹配的信号通过所述老化板接口件传输至老化板。具体来说，所述待测器件的引脚定义，可为人工加载至所述引脚匹配单元602，也可为自动加载至所述引脚匹配单元602。

在具体实施方式的测试过程中，首先，将所述待测器件放置于老化板上，与所述老化板相互连接，所述老化板与所述接口装置的老化板接口件相连接，并且通过所述接口装置的驱动接口件连接至老化测试装置的驱动单元；其次，所述类型匹配单元601对通过驱动接口件接收到的信号进行类型匹配；接着，所述引脚匹配单元302接收所述经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，对所接收的信号与老化板引脚的对应关系作调整，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配；然后，所述引脚匹配单元602将从所接收到的信号通过所述老化板接口件进行传输。

举个例子，参考图7，调整前，老化板的引脚1、引脚9和引脚16分别对应于地址信号ADD1、电源电压VDD信号和时钟信号CLK，也就是说，可认为从老化板的引脚1、引脚9和引脚16输入和/或输出的信号，分别应当是地址信号ADD1、电源电压VDD信号和时钟信号CLK。而待测器件的引脚9、引脚16和引脚3分别对应于待测器件的地址信号ADD1、电源电压VDD信号和时钟信号CLK。因此，当将待测器件安装至老化板上时，老化板引脚自身的定义就与待测器件的引脚定义产生了差别。直接按照老化板引脚定义进行信号传输，将会导致待测器件引脚接收到错误的信号，从而无法进行测试，严重的情况下，甚至会损坏器件。

参考图8，应用所述引脚匹配单元对经过类型匹配的信号与所述老化板引脚的对应关系进行调整，即按照待测器件引脚定义，通过所述老化板接口件将地址信号ADD1、电源电压VDD信号和时钟信号CLK分别对应传输至老化板的引脚9、引脚16和引脚3，而不是按照老化板自身的引脚定义，将地址信号ADD1、电源电压VDD信号和时钟信号CLK分别对应传输至引脚1、引脚9和引脚16。

在具体的实施例中，参考图9，所述引脚匹配单元可包括主匹配单元701，用于调整所述信号与老化板实际引脚的对应关系，所述主匹配单元可由电子器件组成，具体地来说，可为可编程跳线匹配IC。在其它的实施例中，所述引脚匹配单元还可包括辅助匹配单元702，用于对主匹配单元的匹配结果进行辅助调整，具体地来说，可由手动跳线机械结构组成，作为对可编程IC所未能实现的对应关系的进一步调整，或者双重保证。

当待测器件发生改变时，所述引脚匹配单元可根据待测器件的引脚定义，动态地实现所传输的信号在所述老化板引脚之间的重新匹配，并不局限于与所述老化板自身引脚的定义。在现有的老化测试系统中，器件在制作完成之后以及测试之前，需要先参考该器件的各个引脚，接着按照器件引脚的定义制作出老化板，然后应用该老化板对该器件进行下一步测试。也就是说，现有技术中，所制作出来的老化板只能适用于特定待测器件或者与该特定待测器件具有同样数目的引脚以及引脚定义的器件。而本申请实施方式所提供的包括所述引脚匹配单元的接口装置可实现，即使使用同一块老化板，也可对具有相同引脚数量、但不同引脚定义的不同待测器件进行老化测试，而无须每制造一类器件的新型号，就制造一种与之相匹配的老化板，从而大大提高了现有老化板的利用率，节约了成本。

在另外的实施例中，所述接口装置中的接口件，包括驱动接口件和老化板接口件，具体地来说，可包括光纤。所述接口件连接驱动单元以及老化板，通过光纤对测试中的控制信号和数据信号进行传输，可减小信号在传输过程中的衰减。

参考图10，本申请实施方式还提供了一种对所述接口装置的控制方法，包括：步骤S11，接收来自老化测试装置中驱动单元和来自老化板的信号，步骤S12，根据所述待测器件，对所述接收的信号进行匹配，步骤S13，将来自所述驱动单元、经匹配的信号传输至所述老化板，将来自所述老化板、经匹配的信号传输至所述驱动单元，实现老化测试中所述驱动单元和所述老化板的通信。

其中，步骤S12包括：根据所述待测器件类型，对所述接收的信号进行类型匹配。具体来说，当待测器件为存储器件并采用适用于逻辑器件的驱动单元时，从驱动单元所接收的信号，至少包括：输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号，将所述接收到的信号对应进行类型匹配，分别匹配为地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号；当待测器件为逻辑器件并采用适用于存储器件的驱动单元时，从驱动单元所接收的信号，至少包括：地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号，将所述接收到的信号对应进行类型匹配，分别匹配为输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号。

在具体实施方式中，类型匹配单元通过驱动接口件从驱动单元接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将所述经过类型匹配的信号通过老化板接口件传输至老化板，并且类型匹配单元通过老化板接口件从老化板接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将所述经过类型匹配的信号通过驱动接口件传输至驱动单元。

在其它实施方式中，参考图11，步骤S12还可包括：步骤S21，对所述接收的信号进行类型匹配；步骤S22，接收所述经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，对所述信号与老化板引脚的对应关系作调整。

其中，步骤S22具体可包括：所述引脚匹配单元接收来自所述类型匹配单元的经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，调整所述信号与老化板引脚的对应关系，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配。

参考图12，本发明实施方式还提供了一种老化测试系统，包括环境试验箱801、驱动单元802和老化板804，其中还包括上述接口装置803，用于连接所述驱动单元和所述老化板，对所述驱动单元和所述老化板进行通信的信号进行匹配。在一种实施方式中，所述环境试验箱801与所述驱动单元802可分属于不同的老化测试装置，具体来说，所述环境试验箱801可为一老化测试装置中的环境试验箱，或为能提供测试温度环境的试验容器，例如烤箱等，所述驱动单元802可为内置于另一老化测试装置的环境试验箱中的驱动单元，或为记录老化测试程序的驱动单元。

在具体实施例中，参考图13，老化测试装置920包括环境试验箱921和驱动单元922，老化测试装置910包括环境试验箱911和驱动单元912。老化板930需要在200℃的温度条件下，通过老化测试装置910的驱动单元912进行测试。然而，老化测试装置910的环境试验箱911只能提供150℃的温度条件，而老化测试装置920的环境试验箱921可提供200℃的温度条件。因此，将老化板930置于环境试验箱921中，并通过接口装置900，将所述老化板930与老化测试装置910的驱动单元912相连接。其中，老化板930上装有需要进行老化测试的器件，环境试验箱921提供老化测试的温度条件，驱动单元912提供老化测试的驱动程序，并执行老化测试。

相较于现有技术，本申请诸实施例可兼容于多种现有的老化测试装置和老化板，使现有老化测试装置及老化板得到充分地利用，进而节约了购置新老化测试装置以及制作新老化板的成本，且节省了置放新的老化测试装置的空间；此外，还可在利用现有老化测试装置的前提下，提供更多样的老化测试，例如可以提供更高的测试温度等。

虽然本发明已通过较佳实施例说明如上，但这些较佳实施例并非用以限定本发明。本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，应有能力对该较佳实施例做出各种改正和补充，因此，本发明的保护范围以权利要求书的范围为准。

Claims (24)

1.一种接口装置，连接半导体器件老化测试装置中的驱动单元和老化板，其特征在于，包括：

驱动接口件，用于连接所述驱动单元并传输信号；

老化板接口件，用于连接所述老化板并传输信号；

类型匹配单元，用于连接所述驱动接口件和所述老化板接口件，根据待测器件的类型，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

2.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，当通过所述接口装置将存储器件与适用于逻辑器件的驱动单元连接并进行测试时，所述类型匹配单元将所述驱动接口件传输的输入信号与所述老化板接口件传输的地址信号匹配，将所述驱动接口件传输的输出信号与所述老化板接口件传输的输入/输出信号匹配，将所述驱动接口件传输的测试模式选择信号与所述老化板接口件传输的时钟信号匹配，以及将所述驱动接口件传输的测试时钟信号与所述老化板接口件传输的电源信号匹配。

3.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，当通过所述接口装置将逻辑器件与适用于存储器件的驱动单元连接并进行测试时，所述类型匹配单元将所述驱动接口件传输的地址信号与所述老化板接口件传输的输入信号建立匹配，将所述驱动接口件传输的输入/输出信号与所述老化板接口件传输的输出信号建立匹配，将所述驱动接口件传输的时钟信号与所述老化板接口件传输的测试模式选择信号建立匹配，以及将所述驱动接口件传输的电源信号与所述老化板接口件传输的测试时钟信号建立匹配。

4.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，所述类型匹配单元包括：

开关单元，用于选择待测器件类型；

匹配单元，用于连接所述驱动接口件和所述老化板接口件，根据所述开关单元的选择结果，对所述驱动接口件与所述老化板接口件通信的信号进行类型匹配，并传输所述信号。

5.如权利要求4所述的接口装置，其特征在于，所述匹配单元为128针引脚的可编程IC或256针引脚的可编程IC。

6.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，还包括：信号放大单元，用于接收所述类型匹配单元所匹配的信号，对其进行放大，并通过所述老化板接口件传输至老化板。

7.如权利要求6所述的接口装置，其特征在于，当将逻辑器件通过所述接口装置与适用于存储器件的老化测试装置连接并进行老化测试时，所述信号放大单元对所接收的经过类型匹配的信号进行放大，将放大的信号通过所述老化接口件进行传输。

8.如权利要求6所述的接口装置，其特征在于，所述信号放大单元包括信号放大器。

9.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，还包括：引脚匹配单元，用于接收经过类型匹配的信号，根据待测器件的引脚定义，进行引脚匹配，并将经过引脚匹配的信号通过所述老化板接口件传输至所述老化板。

10.如权利要求9所述的接口装置，其特征在于，所述引脚匹配包括，调整所述经过类型匹配的信号与老化板实际引脚的对应关系，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配。

11.如权利要求9所述的接口装置，其特征在于，所述引脚匹配单元，包括：主匹配单元，用于调整所述经过类型匹配的信号与老化板实际引脚的对应关系；

辅助匹配单元，用于对主匹配单元的匹配结果进行辅助调整。

12.如权利要求11所述的接口装置，其特征在于，所述主匹配单元包括可编程跳线匹配IC，所述辅助匹配单元包括手动跳线机械结构。

13.如权利要求1所述的接口装置，其特征在于，所述驱动接口件和所述老化板接口件包括光纤。

14.一种对如权利要求1所述接口装置的控制方法，其特征在于，包括：

接收来自老化测试装置中驱动单元和来自老化板的信号；

根据所述待测器件，对所述接收的信号进行匹配；

将来自所述驱动单元、经匹配的信号传输至所述老化板，将来自所述老化板、经匹配的信号传输至所述驱动单元，实现老化测试中所述驱动单元和所述老化板的通信。

15.如权利要求14所述的控制方法，其特征在于，所述根据待测器件，对所接收的信号进行匹配包括：根据所述待测器件类型，对所述接收的信号进行类型匹配。

16.如权利要求15所述的控制方法，其特征在于，所述类型匹配单元通过所述驱动接口件从所述驱动单元接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将经过类型匹配的信号通过所述老化板接口件传输至所述老化板，并且所述类型匹配单元通过所述老化板接口件从所述老化板接收信号，对所接收信号进行类型匹配，并将经过类型匹配的信号通过所述驱动接口件传输至所述驱动单元。

17.如权利要求15所述的控制方法，其特征在于，当待测器件为存储器件并采用适用于逻辑器件的驱动单元时，对从驱动单元所接收的输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号，对应进行类型匹配，分别匹配为地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号。

18.如权利要求15所述的控制方法，其特征在于，当待测器件为逻辑器件并采用适用于存储器件的驱动单元时，对从驱动单元所接收的地址信号、输入/输出信号、时钟信号和电源信号，对应进行类型匹配，分别匹配为输入信号、输出信号、测试模式选择信号和测试时钟信号。

19.如权利要求14所述的控制方法，其特征在于，所述根据待测器件，对所接收的信号进行匹配，还包括：

对所述接收的信号进行类型匹配；

接收所述经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，对所述信号与老化板引脚的对应关系作调整。

20.如权利要求19所述的控制方法，其特征在于，通过引脚匹配单元接收来自类型匹配单元的经过类型匹配的信号，根据所述待测器件的引脚定义，调整所述信号与老化板引脚的对应关系，使老化板引脚实际接收到的信号与所述待测器件的引脚定义相匹配。

21.一种老化测试系统，包括环境试验箱、驱动单元和老化板，其特征在于，还包括：如权利要求1所述的接口装置，用于连接所述驱动单元和所述老化板，对所述驱动单元和所述老化板进行通信的信号进行匹配。

22.如权利要求21所述的老化测试系统，其特征在于，所述环境试验箱与所述驱动单元分别位于不同的老化测试装置。

23.如权利要求21所述的老化测试系统，其特征在于，所述环境试验箱用于提供测试温度环境。

24.如权利要求21所述的老化测试系统，其特征在于，所述驱动单元用于提供老化测试的驱动程序，并执行所述老化测试。

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