CN200986568Y - 探针卡 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针，还包括用于与信号源连接的探针，在测试时，所述用于与信号源连接的探针和所述直接连接到内部的两排探针相连接。本实用新型使以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探针卡上进行换线，其制造成本低、使用方便，适用于任何产品。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种集成电路制造设备，尤其涉及一种探针卡。
背景技术
目前，所有的集成电路产品都需要电子失效分析，在做失效分析之前，应确认失效模式并查找失效地址。设计测试是做EFA(电性失效分析)的一种方法。如图1和图2所示，现有的探针卡只有两排探针，分别位于探针卡的两侧，并且直接连接到内部(即与样品连接的探针，图中以0标示)，这样使得测试时信号直接进入样品。当更换产品或测试类型时，需要将连接线拔下来，再根据探针定义同时在信号源和探针卡之间更换接线方式。由于不同产品之间的探针定义不同，在测试时，作用也不同，如果不同时在信号源和探针卡之间更换接线方式，则测试结果就会错误，严重时还会导致产品的报废，因此测试不同的产品，需要不同的探针卡，制造不同的探针卡会花费高昂的成本，针对不同的产品测试而改变不同的探针卡也要花费很多时间。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种探针卡，使以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探针卡上进行换线，其制造成本低、使用方便，适用于任何产品。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针a排、b排，a排位于探针卡左侧，b排位于探针卡右侧，还包括用于与信号源连接的探针；在测试时，所述用于与信号源连接的探针和a排、b排探针相连接。
所述用于与信号源连接的探针包括四排，该四排探针从左向右依次排序，其中，第一排和第四排位于探针卡最外侧，直接与信号源相连；第二排位于第一排和a排中间，与第一排相连；第三排位于b排和第四排探针中间，与第四排相连；在测试时，第二排、第三排探针分别与a排、b排探针相连。
和现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：在探针卡上增加了用于转接的探针，使得以往所有需要在信号源与探针卡之间同时进行换线的工作简化为只需要在探针卡上进行即可完成全部工作，这减少了工作量，同时还减少了以往的换线过程中出错的概率，减少了人为测试的错误。此外，本实用新型探针卡制造成本低，制造一张探针卡仅需500美元；可以实现一卡多用，当改变测试产品时不需要改变探针卡；节省时间，制造一张探针卡仅需2周时间，克服了做电子失效分析的瓶颈；使用方便，保养简单；适用于任何相邻焊垫之间有相同距离的产品。
附图说明
图1是现有的探针卡的示意图；
图2是现有的探针卡的接线方式图；
图3是本实用新型探针卡的示意图；
图4是本实用新型探针卡的接线方式图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
如图3所示，本实用新型探针卡有32种探针定义，同时在探针卡上还有两组32个探针用于与信号源连接，其中右侧DQ0～DQ8与左侧DQ9～DQ17用于输入信号，而右侧AP0～AP6和左侧AP7～AP13用于确定输入信号的地址。
如图4所示，探针卡上共有六排探针，最里面的a排、b排探针与样品相连，a排位于探针卡左侧，b排位于探针卡右侧，另四排探针从左向右依次排序，当探针卡与信号源连接时，直接将信号源对应的连接到探针卡两端最外侧的第一排和第四排探针上(并且可以根据需要更换定义)，而两端中间的两排探针第二排、第三排探针分别直接与第一排、第四排探针相连，这样，相连的探针有相同的作用。在测试时，只需根据需要将最里面的a排、b排探针分别和第二排、第三排探针连接即可，例如，两次不同测试得更换两种不同的接线方式A、B。
Claims (2)
1、一种探针卡，包括用于与样品连接的两排探针a排、b排，a排位于探针卡左侧，b排位于探针卡右侧，其特征在于，还包括用于与信号源连接的探针；在测试时，所述用于与信号源连接的探针和a排、b排探针相连接。
2、如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述用于与信号源连接的探针包括四排，该四排探针从左向右依次排序，其中，第一排和第四排位于探针卡最外侧，直接与信号源相连；第二排位于第一排和a排中间，与第一排相连；第三排位于b排和第四排探针中间，与第四排相连；在测试时，第二排、第三排探针分别与a排、b排探针相连。
Priority Applications (1)
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| CN 200620046600 CN200986568Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 探针卡 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN 200620046600 CN200986568Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 探针卡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN200986568Y true CN200986568Y (zh) | 2007-12-05 |
Family
ID=38916026
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200620046600 Expired - Lifetime CN200986568Y (zh) | 2006-10-08 | 2006-10-08 | 探针卡 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107490755A (zh) * | 2016-06-12 | 2017-12-19 | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 | Dut 测试板及其使用方法 |
-
2006
- 2006-10-08 CN CN 200620046600 patent/CN200986568Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107490755A (zh) * | 2016-06-12 | 2017-12-19 | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 | Dut 测试板及其使用方法 |
| CN107490755B (zh) * | 2016-06-12 | 2020-04-07 | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 | Dut测试板及其使用方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING Free format text: FORMER OWNER: SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION Effective date: 20121126 |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 201203 PUDONG NEW AREA, SHANGHAI TO: 100176 DAXING, BEIJING |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20121126 Address after: 100176 No. 18 Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone Patentee after: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation Address before: 201203 Shanghai City, Pudong New Area Zhangjiang Road No. 18 Patentee before: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation |
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| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20071205 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |