CN107296991A - 金属过滤器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种癌细胞富集用金属过滤器，其具有多个贯通孔，所述贯通孔的开口形状为长方形或圆角长方形，其中，所述长方形或圆角长方形的短边的长度为5～15μm，所述贯通孔的平均开口率为0.1～50％，所述金属过滤器的厚度为3～50μm。还提供上述金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序；曝光工序；显影工序；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。

Description

金属过滤器
本申请是申请日为2012年10月9日的PCT/JP2012/076103进入中国国家阶段的发明名称为“金属过滤器的制造方法”的中国专利申请No.201280049165.7的分案申请。
技术领域
本发明涉及一种金属过滤器及其制造方法。更详细地说，涉及一种能够高效地捕获血中循环癌细胞的金属过滤器及其制造方法。
背景技术
癌症在世界各国都占据死亡原因的前列，日本每年有30万人以上因患癌症而死亡，一直期待对癌症进行早期发现和治疗。由癌症导致人的死亡几乎都是因为癌的转移复发。癌的转移复发是由于癌细胞从原发灶经由血管或淋巴管而在其它脏器组织的血管壁上固定、浸润来形成微小转移灶而引起的。这种流过血管和淋巴管而在人的体内循环的癌细胞被称作血中循环癌细胞(Circulating Tumor Cell，下文中有时称作“CTC”。)。
血液中含有大量的红细胞、白细胞以及血小板等血细胞成分，据称其个数是在1mL血液中达到3.5～9×109个。其中CTC仅有数个左右。为了从血细胞成分中有效地检测CTC，需要分离血细胞成分，观察和测定都非常困难。
CTC等癌细胞与血液中的细胞例如红细胞和白细胞或血小板等相比，尺寸要大一圈。因此，理论上，能够使用机械过滤法来除去上述血细胞成分，富集(浓缩)癌细胞。白细胞中存在具有与CTC同等程度的尺寸的细胞，有时仅根据尺寸的差异不能仅将CTC高精度地区分出来。但是，由于白细胞的变形能力比癌细胞大，所以通过由抽吸或加压等施加的外力，可以使白细胞通过比自己小的孔，从而能够与CTC分离。作为用于进行机械过滤法的过滤器，认为是使用金属过滤器。
作为金属过滤器的制造方法，已知使用了光刻法的电气铸造(电铸)镀覆的方法。
例如，专利文献1中记载了一种金属掩模的制造方法，其特征在于，在具有导电性的基板上形成第1感光性树脂层，将形成了网眼图案的第1光掩模重叠于上述第1感光性树脂层上来进行曝光，进行显影处理以除去不要部分，在该除去部分上，通过以上述基板作为一个电极来进行电铸，以厚度不超过上述第1感光性树脂层的方式形成第1镀层，在该第1镀层和上述第1感光树脂层的表面上通过溅射法形成导电性的薄膜，在该薄膜的表面上形成第2感光性树脂层，将形成了印刷图案的第2光掩模重叠于上述第2感光性树脂层上来进行曝光，进行显影处理以除去不要部分，在该除去部分上，通过以上述薄膜作为一个电极来进行电铸，以厚度不超过上述第2感光性树脂层的方式形成第2镀层，然后剥离上述基板，并且除去上述第1感光性树脂层、上述第2感光性树脂层以及上述薄膜的露出部分。
另外，专利文献2中记载了一种金属掩模的制造方法，其包含下述工序：在由平板构成的基板的表面上以能够剥离的方式层压或涂布光致抗蚀剂的工序；在光致抗蚀剂上重叠图案膜、用与基板垂直地直射的光将光致抗蚀剂曝光的工序；剥离图案膜、将光致抗蚀剂转印至电铸阴模侧的工序；进行显影、干燥处理、在电铸阴模之上形成图案抗蚀剂膜的工序；在电铸阴模的未被图案抗蚀剂膜覆盖的表面上形成电沉积金属的工序；以及将电沉积金属从电铸阴模上剥离的工序。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第3786313号
专利文献2：日本专利第3934723号
发明内容
发明所要解决的问题
但是，在专利文献1和2的制造方法中，成为金属掩模的电铸镀层从基板上的剥离是通过手工作业(手剥)来进行。因此，有时金属掩模上会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤。
因此，在用专利文献1或2的制造方法制造金属过滤器的情况下，有时金属过滤器上会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤，金属过滤器的贯通孔会发生变形，贯通孔的尺寸会产生偏差(扩大、缩小)。可以想象，如果贯通孔的尺寸发生偏差，则癌细胞的分离精度会下降。
因此，本发明的目的是提供一种不会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器的制造方法。
解决问题的手段
本发明提供一种金属过滤器的制造方法，其包含下述工序：层叠工序，该工序是在铜基板上层叠感光性树脂组合物而形成感光性树脂组合物层；曝光工序，该工序是对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。
根据上述本发明的制造方法，通过化学溶解而除去铜基板，不用通过手工作业(手剥)就能够回收将成为金属过滤器的镀层。因此，能够在不发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的情况下制造金属过滤器。由上述本发明的制造方法制造的金属过滤器由于贯通孔的尺寸的偏差较少，所以能够以高的分离精度分离和富集癌细胞。
当基板与感光性树脂组合物(光致抗蚀剂)的粘附力不充分时，需要增大抗蚀图案的粘附面积，制造具有微细贯通孔的金属过滤器有可能变得困难。为了形成微细贯通孔，需要形成与贯通孔的尺寸相当的较小粘附面积的抗蚀图案。
上述本发明的制造方法中，使用铜基板作为基板。铜由于与光致抗蚀剂的粘附力优良，所以能够获得与感光性树脂组合物的充分的粘附力。因此，根据使用铜基板的上述本发明的制造方法，能够制造具有微细贯通孔的金属过滤器。
上述金属过滤器具有多个贯通孔，贯通孔的开口形状优选为选自圆、椭圆、圆角长方形、长方形以及正方形中的1种以上的形状。进而优选的是，贯通孔的开口形状包含长方形或圆角长方形的形状，长方形或圆角长方形的短边的长度为5～15μm。这里，圆角长方形是指由2条相等长度的长边和2个半圆形构成的形状，其是图3(B)所示的形状。圆角长方形的短边的长度是指图3(B)的a所表示的长度。另外，金属过滤器的厚度优选为3～50μm。
通过设置成上述的开口形状和尺寸，癌细胞就不易堵塞贯通孔，能够进一步提高癌细胞的富集效率。
上述的镀层的厚度优选比上述的感光性树脂组合物层的厚度(感光性树脂组合物的固化物的厚度)薄。由此，能够可靠地形成金属过滤器的贯通孔。如果镀层的厚度比感光性树脂组合物层的厚度厚，则镀层在比感光性树脂组合物的固化物的厚度厚的部分发生连接，有可能无法形成贯通孔。
上述铜基板优选为可剥离铜箔。通过使用可剥离铜箔，可以减少铜的量，可以减少为除去铜基板而需要的化学溶解剂的量以及时间，提高生产率。
上述金属过滤器优选为癌细胞富集用金属过滤器。上述金属过滤器具有特别适合于癌细胞富集的结构。即，本发明还提供一种由上述的制造方法制造的金属过滤器的用于癌细胞富集的用途。
上述癌细胞富集用金属过滤器优选为血液中循环的癌细胞的富集用金属过滤器。上述金属过滤器具有特别适合于将血液中循环的癌细胞与血细胞成分分离并将癌细胞富集的结构。即，本发明还提供一种由上述的制造方法制造的金属过滤器的用于血液中循环的癌细胞的富集的用途。
发明效果
通过本发明，可以提供一种不会发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的金属过滤器的制造方法。
附图说明
图1(A)～(H)是说明本发明的制造方法的一个实施方式的工序图。
图2(A)～(G)是说明本发明的制造方法的一个实施方式的工序图。
图3(A)是表示过滤器的一个实施方式的概略图。图3(B)是一个实施方式的过滤器的贯通孔的俯视图。
具体实施方式
以下，根据情况，参照着附图来说明优选的实施方式，但本发明不限于这些。此外，在附图的说明中，同一要素用相同符号表示，并省略重复的说明。另外，关于附图，为了使得容易理解而将局部夸张地描画，尺寸比率与所说明的尺寸比率未必一致。
实施方式的金属过滤器的制造方法包含下述工序：层叠工序，该工序是在铜基板上层叠感光性树脂组合物而形成感光性树脂组合物层；曝光工序，该工序是对感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物；显影工序，该工序是将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案；镀覆工序，该工序是对形成了抗蚀图案的铜基板进行金属镀覆而形成镀层；溶解工序，该工序是通过化学溶解而除去铜基板，从而得到由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物；以及剥离工序，该工序是从结构物中除去感光性树脂组合物的固化物，从而得到镀层，其中，镀层是金属过滤器。
图1(A)～(H)是说明本发明的制造方法的一个实施方式的工序图。本实施方式中，使用可剥离铜箔作为铜基板。
图1(A)示出了由载体层1和铜箔层2构成的可剥离铜箔。在图1(B)所示的层叠工序中，在铜箔层2上层叠感光性树脂组合物，形成感光性树脂组合物层3。接着，在图1(C)所示的曝光工序中，通过光掩模4对感光性树脂组合物层3照射活性光线(UV光)，使被曝光的部分发生光固化而形成感光性树脂组合物的固化物3a。接着，在图1(D)所示的显影工序中，除去感光性树脂组合物层3中的感光性树脂组合物的固化物3a以外的部分，形成由感光性树脂组合物的固化物3a构成的抗蚀图案。接着，在图1(E)所示的镀覆工序中，在形成了由感光性树脂组合物的固化物3a构成的抗蚀图案的铜箔层2上形成镀层5。接着，如图1(F)所示那样，将可剥离铜箔的铜箔层2与载体层1剥离。接着，在图1(G)所示的溶解工序中，通过化学溶解而除去铜箔层2。其结果是，留下了感光性树脂组合物的固化物3a和镀层5。接着，在图1(H)所示的剥离工序中，除去由感光性树脂组合物的固化物3a构成的抗蚀图案，回收由镀层5构成的金属过滤器。金属过滤器中形成了贯通孔6。
图2(A)～(G)是说明本发明的制造方法的一个实施方式的工序图。本实施方式中，使用铜基板2’代替上述实施方式的可剥离铜箔。本实施方式的制造方法除了没有图1(F)所示的将可剥离铜箔的铜箔层2与载体层1剥离的工序这一点以外，与上述实施方式相同。不过，由于铜基板2’比上述实施方式的铜箔层2厚，所以在溶解工序中，在通过化学溶解而除去铜基板2’的工序中，需要比上述实施方式更多的化学溶解剂和时间。
下面，对实施方式的金属过滤器的制造方法的各工序进行更详细的说明。
(层叠工序)
首先，对层叠工序进行说明。作为铜基板，只要是铜或表面上具有铜的基板就行，没有特别限制，例如可以列举出厚度为1～100μm的铜箔、铜箔带、可剥离铜箔等。从作业性的观点考虑，优选可剥离铜箔。可剥离铜箔是指至少由极薄铜箔和载体层这2层构成的铜箔。
作为感光性树脂组合物，负型和正型均可以使用，但优选负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物优选至少含有粘合剂树脂、具有不饱和键的光聚合性化合物、光聚合引发剂。此外，当使用正型的感光性树脂组合物时，由于感光性树脂组合物层中的通过活性光线的照射而被曝光的部分在显影液中的溶解性增大，所以在显影工序中，被曝光的部分将被除去。以下，对使用了负型感光性树脂组合物的情况进行说明。
所制造的金属过滤器的厚度为感光性树脂组合物层的厚度以下。因此，需要形成膜厚适合于目标金属过滤器的厚度的感光性树脂组合物层。例如，当制造厚度为15μm以下的金属过滤器时，优选使用膜厚为15μm的感光性树脂组合物。另外，当制造厚度超过15μm且为25μm以下的金属过滤器时，优选使用膜厚为25μm的感光性树脂组合物。另外，贯通孔的孔径越小，则优选使用膜厚越薄的感光性树脂组合物。
感光性树脂组合物在铜基板上的层叠例如可以通过下述方法进行：除去由支撑膜、感光性树脂组合物以及保护膜构成的片材状的感光性元件的保护膜，然后一边将感光性元件的感光性树脂组合物层加热，一边将其压贴于铜基板上。由此，得到由铜基板、感光性树脂组合物层以及支撑膜构成并且由它们依次层叠而成的层叠体。
从粘附性和追随性的观点考虑，该层叠作业优选在减压下进行。压贴时对感光性树脂组合物层和/或铜基板施加的加热温度、压力等条件没有特别限制，但优选在70～130℃的温度下进行，优选在100～1000kPa左右的压力下进行压贴。此外，在进行感光性树脂组合物层的压贴时，为了提高层叠性，也可以将铜基板进行预热处理。
(曝光工序)
接下来，对曝光工序进行说明。对铜基板上的感光性树脂组合物层的规定部分照射活性光线，使被曝光的部分光发生固化而形成感光性树脂组合物的固化物。此时，当感光性树脂组合物层上存在的支撑膜对活性光线具有透射性时，可以透过支撑膜照射活性光线，当支撑膜对活性光线具有遮光性时，要在除去支撑膜后对感光性树脂组合物层照射活性光线。
作为曝光方法，可以列举出透过叫作布线图(art work)的负型或正型掩模图案对图像上照射活性光线的方法(掩模曝光法)。另外，也可以采用通过LDI(激光直接成像：Laser Direct Imaging)曝光法或DLP(数字光处理：Digital Light Processing)曝光法等直接描画曝光法来以图像状照射活性光线的方法。
作为活性光线的光源，可以使用公知的光源，例如可以使用碳弧灯、汞蒸气弧灯、高压汞灯、氙灯、氩气激光器等气体激光器、YAG激光器等固体激光器、半导体激光器等能有效发射紫外线、可见光等的光源。
作为活性光线的波长(曝光波长)，优选设定为350～410nm的范围内，更优选设定为390～410nm的范围内。
(显影工序)
接下来，对显影工序进行说明。通过将感光性树脂组合物层中的感光性树脂组合物的固化物以外的部分从铜基板上除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案。当感光性树脂组合物层上存在有支撑膜时，要在除去支撑膜之后再进行上述感光性树脂组合物的固化物以外的部分的除去(显影)。显影方法有湿式显影和干式显影，但湿式显影被广泛使用。
当使用湿式显影来进行显影时，使用与感光性树脂组合物对应的显影液，通过公知的显影方法来进行显影。作为显影方法，可以列举出使用了浸渍方式、桨式搅拌方式、喷涂方式、涂刷、拍击、涂擦、摇动浸渍等的方法，从提高分辨力的观点考虑，高压喷涂方式是最适合的。上述这些方法中也可以将2种以上的方法组合起来进行显影。
作为显影液，可以列举出碱性水溶液、水系显影液、有机溶剂系显影液等。使用碱性水溶液作为显影液时，安全而且稳定，操作性良好。作为碱性水溶液的碱，可以使用锂、钠或钾的氢氧化物等碱金属氢氧化物；锂、钠、钾或铵的碳酸盐或碳酸氢盐；磷酸钾、磷酸钠等碱金属磷酸盐；焦磷酸钠、焦磷酸钾等碱金属焦磷酸盐等。
作为碱性水溶液，优选0.1～5质量％碳酸钠的稀溶液、0.1～5质量％碳酸钾的稀溶液、0.1～5质量％氢氧化钠的稀溶液、0.1～5质量％四硼酸钠的稀溶液等。碱性水溶液的pH优选设定为9～11的范围，其温度可以根据感光性树脂组合物层的碱显影性来调节。碱性水溶液中还可以混入表面活性剂、消泡剂、用于促进显影的少量的有机溶剂等。
将感光性树脂组合物的固化物以外的部分通过显影而除去，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案之后，也可以根据需要进行60～250℃左右的加热或0.2～10J/cm2左右的曝光，使抗蚀图案进一步固化。
(镀覆工序)
接下来，对镀覆工序进行说明。显影工序之后，在铜基板上进行镀覆，形成镀层。作为镀覆的方法，可以列举出例如镀焊锡、镀镍、镀金等。该镀层最终成为金属过滤器。
作为金属过滤器的材质，可以列举出：金、银等贵金属；铝、钨、镍、铬等贱金属；以及这些金属的合金，但并不限于它们。金属可以以单质的形式使用，为了赋予功能性，也可以作为与其它金属的合金或金属的氧化物来使用。其中，由于可以防止腐蚀等的发生、并且加工性和成本方面也优良的缘故，优选使用镍以及以镍为主成分的金属。这里，主成分是指在材料中占50重量％以上的成分。
(溶解工序)
接下来，对溶解工序进行说明。形成镀层后，将铜基板通过化学溶解而除去。由此，不用通过手工作业(手剥)就能够回收由将成为金属过滤器的镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物。因此，能够在不发生皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤以及微细贯通孔的变形的情况下制造金属过滤器。作为溶解铜基板的化学溶解剂，可以使用MECBRITE SF-5420B(商品名、MEC COMPANY LTD.制)、铜选择腐蚀液-CSS(日本化学产业株式会社)等。
(剥离工序)
接下来，对剥离工序进行说明。溶解工序之后，抗蚀图案例如使用具有比显影使用的碱性水溶液更强碱性的水溶液来剥离。作为该强碱性的水溶液，优选使用例如1～10质量％氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液，更优选使用1～5质量％氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液。通过剥离抗蚀图案(感光性树脂组合物的固化物)，可以仅将镀层进行回收。该镀层是金属过滤器。
作为抗蚀图案的剥离方式，可以列举出浸渍方式、喷涂方式、使用了超声波的方式等，它们可以单独使用，也可以并用。
(金属过滤器)
接下来，对金属过滤器的形状进行说明。作为金属过滤器的贯通孔的开口形状，可以列举出圆、椭圆、圆角长方形、长方形、正方形、多边形等。从能够高效地捕获癌细胞的观点考虑，优选圆、长方形或圆角长方形。另外，从防止金属过滤器的堵塞的观点考虑，特别优选长方形或圆角长方形。
贯通孔的孔径是根据作为捕获对象的癌细胞的尺寸来设定。在本说明书中，开口形状为椭圆、长方形、多边形等圆以外的形状时的孔径是指，能够通过各个贯通孔的球的直径的最大值。例如当开口形状是长方形时，贯通孔的孔径为该长方形的短边的长度，当开口形状是多边形时，贯通孔的孔径为该多边形的内切圆的直径。当开口形状是长方形或圆角长方形时，即便是在作为捕获对象的成分被捕获于贯通孔的状态下，在开口部的开口形状的长边方向上也会有缝隙。由于液体能够通过该缝隙而流过，所以可以防止过滤器的堵塞。
金属过滤器的贯通孔的平均开口率优选为0.1～50％，更优选为0.5～40％，进一步优选为1～30％，最优选为1～10％。这里，开口率是指在过滤器上的规定区域上，相对于该区域的面积而言贯通孔所占的面积。平均开口率是指相对于整个过滤器的面积而言贯通孔所占的面积。如果平均开口率为0.1～50％，则能够充分确保过滤器的强度，加工也容易。另外，还能够防止过滤器的堵塞的发生，能够确保过滤器的富集性能。
金属过滤器的厚度优选为3～50μm，更优选为5～40μm，特别优选为5～30μm。如果过滤器的膜厚为3～50μm，则能够确保过滤器的强度，操作处理性也良好。另外，过滤器的生产率也良好，也不会因超过必要的材料消耗而带来成本上的不利，微细加工也容易。
图3(A)是表示能够用本发明的制造方法制造的金属过滤器的一个实施方式的概略图。金属过滤器100由形成了多个贯通孔10的基板(镀层)20构成。贯通孔10的开口形状是圆角长方形。贯通孔10的配置可以是图1(A)那样的对齐配置，也可以是每列配置错开了的交错配置，也可以是任意地配置的无规配置。
图3(B)是上述实施方式的金属过滤器的贯通孔10的俯视图。贯通孔10的开口形状是圆角长方形，是半径为c的2个半圆形与短边为a、长边为b的长方形的短边邻接地结合而成的形状。在一个实施方式中，a、b、c分别为8、22和4μm。
实施例
下面，列举本发明的实施例来更具体地说明本发明，但本发明不限于这些实施例，可以在不超出本发明的技术思想的范围内进行各种变更。
(实施例1)
将感光性元件(PHOTEC RD-1225：厚度为25μm、日立化成工业株式会社制)压贴于在250mm见方的基板(MCL-E679F t0.5×250×250 N3DB：在(MCL-E679F t0.5×250×25018D)的表面上贴合可剥离铜箔t18μm而成的基板、日立化成工业株式会社制)的铜箔层上，形成感光性树脂组合物层。压贴是在辊温度为90℃、压力为0.3MPa、传送带速度为2.0m/分钟的条件下进行。
接着，将玻璃制的光掩模静置于上述的感光性树脂组合物层之上。光掩模的光的透射部的形状为圆角长方形，并且是该圆角长方形在长轴和短轴方向上均以60μm的间距朝着同一方向整齐排列的形状。另外，圆角长方形的尺寸是，图3(B)中的a为8μm、b为22μm、c为4μm。接着，在80kPa以下的真空下，从上述的光掩模的上侧用紫外线照射装置照射曝光量为30mJ/cm2的紫外线。
接着，使用1.0％碳酸钠水溶液进行显影，在铜基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案。将形成了该抗蚀图案的铜基板浸渍于pH被调整为4.5的镍镀液中，在55℃的温度下进行大约20分钟镀覆。镍镀液的组成示于表1中。
[表1]
接着，将形成了镍镀层的铜箔层从可剥离铜箔的载体上剥离。然后，将形成了镍镀层的铜箔层浸渍于化学溶解剂(MECBRITE SF-5420B、MEC COMPANY LTD.制)中，并在40℃下搅拌大约120分钟，将铜箔层溶解除去，从而回收由镀层和感光性树脂组合物的固化物构成的结构物。
最后，将回收的结构物浸渍于抗蚀剂剥离液(P3Poleve、Henkel制)中，在60℃下进行大约40分钟的超声波处理，从而除去感光性树脂组合物的固化物。
通过以上的操作，制作了没有皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤并具有充分精度的贯通孔的实施例1的金属过滤器。
(实施例2)
将光掩模的光的透射部的形状变更为图3(B)中的a为5μm、b为15μm、c为2.5μm的圆角长方形，除此以外，与实施例1同样地制作实施例2的金属过滤器。
(实施例3)
将光掩模的光的透射部的形状变更为φ5μm的圆，除此以外，与实施例1同样地制作实施例3的金属过滤器。
(实施例4)
将镀镍的时间变更为大约3分钟，除此以外，与实施例1同样地制作实施例4的金属过滤器。用膜厚测定仪(DIGIMATIC INDICATOR ID-C112C、株式会社Mitutoyo制)的测头和底座夹持着金属过滤器来测定该过滤器的膜厚，结果是3μm。
(比较例1)
将铜基板变更为不锈钢板(SUS304、精加工3/4H、厚度为100μm、日新制钢株式会社制)，过滤器从基板上的剥离不是通过药液进行的化学溶解除去，而是用手剥离，除此以外，与实施例1同样地制作比较例1的金属过滤器。
其结果是，发生了皱纹、折断、划痕、卷曲等损伤，发生了因贯通孔的変形等而导致的尺寸偏差(扩大、缩小)。特别是，弯曲的发生很严重，到了无法作为过滤器使用的程度。
另外，比较例1的金属过滤器在抗蚀图案形成后，因感光性树脂组合物的固化物与不锈钢板的粘附不足而引起了抗蚀剂歪斜、脱落。由于这个原因，发生了贯通孔的变形或排列变乱。
(实验例1)
在生理盐水中混合玻璃珠(高精度UNIBEADS SPM-16：粒径为16±2μm、钛钡系玻璃、株式会社UNION制)，用实施例1的金属过滤器实施了过滤试验。玻璃珠是用作癌细胞的替代者。
在过滤器支撑架(Swinnex13、MILLIPORE制)上设置实施例1的金属过滤器，将生理盐水和玻璃珠的混合液用注射器注入并进行过滤。过滤后的金属过滤器的表面用光学显微镜确认，结果是，粒径约为16μm的玻璃珠没有通过短边为8μm的孔，以堵塞孔的状态残留于过滤器表面。表2中示出了此时对相对于玻璃珠的投入数而言的捕捉数进行计算而得到的结果。由此确认了，实施例1的金属过滤器对玻璃珠具有充分的捕捉能力。由该结果可预测，在使用了癌细胞的情况下也能显示出充分的捕捉能力。
[表2]
投入数 捕捉数 捕捉率
第1次 29个 29个 100％
第2次 32个 32个 100％
合计 61个 61个 100％
符号说明
1载体层、2铜箔层、2’铜板、3感光性树脂组合物层、3a感光性树脂组合物的固化物、4光掩模、5镀层、6，10贯通孔、20基板(镀层)、100过滤器、a短边、b长边、c半径。

Claims (8)

1.一种癌细胞富集用金属过滤器，其具有多个贯通孔，所述贯通孔的开口形状为长方形或圆角长方形，其中，所述长方形或圆角长方形的短边的长度为5～15μm，所述贯通孔的平均开口率为0.1～50％，所述金属过滤器的厚度为3～50μm。
2.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其含有选自金、银、铝、钨、镍、铬和它们的合金之中的至少一种金属作为主成分。
3.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其中，所述贯通孔的平均开口率为1～30％。
4.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其中，所述金属过滤器的厚度为5～30μm。
5.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其中，所述贯通孔的开口形状为长方形。
6.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其中，所述贯通孔的开口形状为圆角长方形。
7.根据权利要求1所述的癌细胞富集用金属过滤器，其是在血液中循环的癌细胞的富集用金属过滤器。
8.根据权利要求1或7所述的癌细胞富集用金属过滤器，其具有使红细胞、白细胞以及血小板通过并将癌细胞捕捉的尺寸和形状的所述贯通孔。
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Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101630110B1 (ko) * 2013-07-24 2016-06-13 가부시끼가이샤 옵토니쿠스 세이미쯔 말초 순환 종양 세포 또는 희소 세포 분리용 디바이스 및 말초 순환 종양 세포 또는 희소 세포 분리 방법
JP2015188323A (ja) * 2014-03-27 2015-11-02 日立化成株式会社 細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法、及び、細胞捕捉デバイス
JP2015188314A (ja) * 2014-03-27 2015-11-02 日立化成株式会社 細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉デバイス、細胞捕捉金属フィルタの製造方法、及び、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法
JP6476573B2 (ja) * 2014-03-27 2019-03-06 日立化成株式会社 細胞捕捉金属フィルタシート、細胞捕捉金属フィルタ、細胞捕捉デバイス、及び、細胞捕捉金属フィルタシートの製造方法
USD748801S1 (en) 2014-04-04 2016-02-02 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filter sheet for a cell collecting cartridge
USD750785S1 (en) 2014-04-04 2016-03-01 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filter sheet for a cell collecting cartridge
USD747487S1 (en) 2014-04-04 2016-01-12 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filter sheet for a cell collecting cartridge
USD748267S1 (en) 2014-04-04 2016-01-26 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filter sheet for a cell collecting cartridge
USD746467S1 (en) 2014-04-04 2015-12-29 Hitachi Chemical Company, Ltd. Filter sheet for a cell collecting cartridge
WO2016017756A1 (ja) * 2014-07-30 2016-02-04 日立化成株式会社 血中希少細胞捕獲方法
JP6462375B2 (ja) * 2015-01-22 2019-01-30 セーレン株式会社 支持体付き多孔金属箔及び透過性金属箔の製造方法
JP6225277B2 (ja) * 2015-08-06 2017-11-01 株式会社オプトニクス精密 細胞分離フィルタ及び細胞培養容器
WO2017026348A1 (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 株式会社村田製作所 金属製多孔膜、滅菌判別方法及び洗浄判別方法
WO2017159367A1 (ja) * 2016-03-18 2017-09-21 株式会社村田製作所 金属製多孔膜、それを用いた分級方法、および分級装置
CN106115609A (zh) * 2016-06-29 2016-11-16 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 微通孔列阵癌细胞检测芯片紫外压印制作方法
WO2018043036A1 (ja) * 2016-09-01 2018-03-08 株式会社シンク・ラボラトリー メッシュフィルターの製造方法及びメッシュフィルター
JP7021761B2 (ja) * 2016-12-09 2022-02-17 Ａｐｓジャパン株式会社 金属フィルタ及び該金属フィルタの製造方法
US20180335434A1 (en) * 2017-05-17 2018-11-22 Hitachi Chemical Company, Ltd. Methods of Detecting Circulating Tumor Cells
JP6904852B2 (ja) * 2017-08-28 2021-07-21 マクセルホールディングス株式会社 電鋳用母型及びその製造方法
CN108449927B (zh) * 2018-04-10 2021-11-02 苏州维业达触控科技有限公司 一种金属薄膜及其制作方法
CN110055567B (zh) * 2019-04-18 2021-05-07 中国科学院化学研究所 微孔膜材料的电沉积制备方法和微孔膜材料及其应用
KR102385077B1 (ko) 2019-11-20 2022-04-12 주식회사 한국바이오 셀프 세포 포획 분리 필터, 이를 이용한 세포 분리 장치 및 방법
JP7391719B2 (ja) * 2020-03-05 2023-12-05 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスクユニットの作製方法
CN115216177B (zh) * 2022-05-25 2023-04-28 湖南大学 一种改性感光油墨辅助的大面积金属图案化材料及其制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86105330A (zh) * 1985-08-30 1987-03-04 科学诊断公司 微孔筛制造方法的改进及由此生产的微孔筛
CN101583722A (zh) * 2006-07-14 2009-11-18 阿维瓦生物科学股份有限公司 从生物学样品检测稀有细胞的方法和组合物
US20110244443A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-06 Viatar LLC Methods, Systems and Devices for Separating Tumor Cells
CN103635801A (zh) * 2011-06-13 2014-03-12 日立化成株式会社 癌细胞粘附性提高剂

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4575406A (en) * 1984-07-23 1986-03-11 Polaroid Corporation Microporous filter
JPH01279791A (ja) * 1988-04-28 1989-11-10 Hitachi Chem Co Ltd 分級用ふるいの製造方法
JP3487615B2 (ja) * 1993-08-18 2004-01-19 上坂 伸宏 血液検査用フィルター
JP2695752B2 (ja) * 1994-06-06 1998-01-14 テフコ青森株式会社 電着画像の形成方法
JPH09217191A (ja) * 1996-02-15 1997-08-19 Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk 電鋳による貴金属の精密加工方法
CN1088319C (zh) * 1996-06-27 2002-07-24 旭化成株式会社 厚膜导体电路及其制造方法
JP3934723B2 (ja) 1997-02-13 2007-06-20 株式会社オプトニクス精密 メタルマスクの製造方法
JP3786313B2 (ja) 1997-05-08 2006-06-14 九州日立マクセル株式会社 メタルマスクの製造方法
US6862189B2 (en) * 2000-09-26 2005-03-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Electronic component, circuit device, method for manufacturing the circuit device, and semiconductor device
TWI262041B (en) * 2003-11-14 2006-09-11 Hitachi Chemical Co Ltd Formation method of metal layer on resin layer, printed wiring board, and production method thereof
TW200527123A (en) * 2004-02-02 2005-08-16 Tech Media Corp U Method of fabricating a metal mask
JP2006193825A (ja) * 2004-12-13 2006-07-27 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 孔開き電解金属箔並びにキャリア基材付孔開き電解金属箔及びこれらの製造方法
DE102005021048A1 (de) * 2005-05-06 2006-12-28 Infineon Technologies Ag Vorrichtung zum Stabilisieren eines Werkstücks bei einer Bearbeitung
JP2007070703A (ja) * 2005-09-08 2007-03-22 Ricoh Co Ltd 乳化用金属膜の形成方法
US8551425B2 (en) * 2009-05-20 2013-10-08 California Institute Of Technology Method for cancer detection, diagnosis and prognosis
JP5403072B2 (ja) * 2010-01-25 2014-01-29 東亞合成株式会社 導電性高分子を含む基材上のフォトレジスト用現像液、およびパターン形成方法
JP5704590B2 (ja) * 2010-02-05 2015-04-22 国立大学法人東京農工大学 サイズ選択マイクロキャビティアレイを用いた循環腫瘍細胞の検出
JP5854456B2 (ja) * 2011-08-23 2016-02-09 日立化成株式会社 癌細胞濃縮フィルター

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86105330A (zh) * 1985-08-30 1987-03-04 科学诊断公司 微孔筛制造方法的改进及由此生产的微孔筛
CN101583722A (zh) * 2006-07-14 2009-11-18 阿维瓦生物科学股份有限公司 从生物学样品检测稀有细胞的方法和组合物
US20110244443A1 (en) * 2010-03-31 2011-10-06 Viatar LLC Methods, Systems and Devices for Separating Tumor Cells
CN103635801A (zh) * 2011-06-13 2014-03-12 日立化成株式会社 癌细胞粘附性提高剂

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