CN107080893B - 一种人造视网膜及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种人造视网膜及其制造方法,解决了人造视网膜具有透水性和人造视网膜上微小密集电极阵制作问题。所述人造视网膜制造方法,包含以下步骤:制作陶瓷片;在所述陶瓷片上冲制通孔;在所述通孔中填充金属浆料;在所述陶瓷片上印制上电极、下电极、电镀线和电镀辅助线;将印制有上电极的陶瓷片、印制有下电极的陶瓷片、印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片进行层压,烧结和电镀;沿所述切割线将多层陶瓷体切割成单元。本发明还包含人造视网膜,在顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面至少1个表面分布有电镀线。本发明降低了制作成本,提高了制作效率,为人造视网膜提供一种低成本、高可靠的制造方法。
Description
技术领域
本发明属于医疗材料制造领域,尤其涉及一种人造视网膜及其制造方法。
背景技术
疾病导致视力退化的主要原因是光感受器坏死,例如位于视网膜外周的感受夜光的视杆细胞以及位于黄斑上的感受色彩光的视锥细胞死亡。但是,视网膜内层细胞的存活率仍然很高。用电子元器件替代失去功效的视网膜,直接将光信号刺激内层细胞,能使患者恢复一定的视力。
人造视网膜中的微小电极阵是与视网膜直接接触的关键器件,它既是感光器件的载体,又是绝缘层,其材料的安全性和尺寸精度都对人造视网膜至关重要。以往电极阵主要是采用MEMS技术制造的柔性基板来实现,采用的柔性基板材料多为聚酰亚胺(PI)有机材料,这种方法可靠性低、成本高。具体存在几方面的缺点:第一,电极易从PI上脱落;第二,PI具有透水性;第三,制造成本高。
发明内容
本发明提出了一种人造视网膜及其制造方法,解决人造视网膜产品可靠性低、成本高的问题。
本申请实施例包含一种人造视网膜,所述人造视网膜包括顶层和底层,所述顶层上表面有上电极,所述底层下表面有下电极,所述上电极和下电极通过通孔实现电气连通。进一步地,所述人造视网膜还包括电路层,所述电路层的上表面、下表面至少1个表面具有电路线,所述上电极和下电极通过所述通孔和电路线实现电气连通。进一步地,所述顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面至少1个表面分布有电镀线,每1条所述电镀线的一端连接1个所述通孔,另一端与人造视网膜边沿相连。进一步地,所述每1个通孔都通过电镀线与所述人造视网膜边沿相连。进一步地,还包括电镀辅助层,所述电镀辅助层上表面、下表面至少1个表面分布有电镀线,每1条所述电镀线的一端连接1个所述通孔,另一端与所述视网膜边沿相连,所述每1个通孔都通过电镀线与所述边沿相连。
本申请提出的一种人造视网膜制造方法包含以下步骤:制作陶瓷片;在所述陶瓷片上冲制通孔;在所述通孔中填充金属浆料;在多个所述陶瓷片上分别印制上电极、下电极、电镀线和电镀辅助线,所述电镀线的一端连接所述通孔,另一端与所述电镀辅助线相连,每1个所述通孔都通过电镀线与所述电镀辅助线相连,所述视网膜的范围由切割线围成,所述电镀辅助线在所述范围外部;将印制有上电极的陶瓷片、印制有下电极的陶瓷片、印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片进行层压,烧结和电镀;沿所述切割线将多层陶瓷体切割成单元。
进一步地,所述人造视网膜制造方法,还包括在所述陶瓷片上印制电路线,层压时还包含印制有电路线的陶瓷片。
进一步地,所述制作陶瓷片的步骤包含:将陶瓷粉末、助烧剂、有机粘结剂、增塑剂、溶剂、分散剂进行混合,球磨,制作粘度在1000~4000mPa.s的陶瓷浆料;将所述陶瓷浆料流延成片。
进一步地,所述上电极、下电极、电镀线、电镀辅助线、电路线和通孔在所述陶瓷片上沿水平或/和垂直方向重复排列。
本申请实施例采用的上述至少1个技术方案能够达到以下有益效果:
本发明采用气密性的多层陶瓷材料作为人造视网膜的载体,多层陶瓷具有一系列优点,如生物兼容性好、布线密度高、气密不透水、制作成本低等。
本发明通过多层陶瓷技术制造高密度互连孔、在互连孔内填充金属化浆料、并通过多层共烧使其致密化,形成具有高密度布线的金属通孔,并采用电镀连线的方法,在微小电极上电镀镍金,不仅解决了高密度微细电极的制作问题,而且还采用电镀连线解决了微小电极的电镀难题,降低了制作成本,提高了制作效率,为人造视网膜提供一种低成本、高可靠的制造方法。此外,本发明还将单元组成阵列,从而方便了电镀和批量生产。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。
在附图中:
图1是人造视网膜横截面示意图,其中
图1a是顶层通孔与底层通孔对准的实施例示意图;
图1b是顶层通孔与底层通孔错位的实施例示意图;
图2是人造视网膜顶层上表面示意图;
图3是人造视网膜底层下表面示意图;
图4是包含电路层的人造视网膜横截面示意图;
图5是电路层上表面实施例示意图;
图6是电路层下表面实施例示意图;
图7是电镀线分布示意图,其中
图7a是电镀辅助层上表面示意图;
图7b是电镀辅助层下表面示意图;
图8是包含电镀辅助层的人造视网膜横截面示意图,其中
图8a为电镀辅助层上表面包含电镀线的实施例示意图;
图8b为电镀辅助层下表面包含电镀线的实施例示意图;
图8c为电镀辅助层上表面和下表面均包含电镀线的实施例示意图;
图8d为依次包含顶层、电路层、电镀辅助层、底层的实施例示意图;
图8e为依次包含顶层、电镀辅助层、电路层、底层的实施例示意图;
图9是人造视网膜制造方法实施例流程图;
图10是陶瓷片示意图;
图11是冲制有通孔的陶瓷片;
图12是印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片;
图13是通孔、电镀线和电镀辅助线在陶瓷片上沿水平方向重复排列示意图;
图14是通孔、电镀线和电镀辅助线在陶瓷片上沿垂直方向重复排列示意图。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
以下结合附图,详细说明本申请各实施例提供的技术方案。
图1是人造视网膜横截面示意图,包含图1a~b。所述人造视网膜,包括顶层1和底层2,所述顶层上表面11有上电极6,所述底层下表面21有下电极7,所述上电极和下电极通过通孔10,20实现电气连通,具体地,在图1的实施例中,通孔包含顶层通孔10、底层通孔20。顶层通孔与上电极对准;底层通孔与下电极对准。在图1所示实施例中,仅包含顶层和底层,所述顶层的下表面和所述底层上表面经过层压接触。
图1a是顶层通孔与底层通孔对准的实施例示意图。一般地,位于顶层的所述顶层通孔10与位于底层的所述底层通孔20对准,因此直接连通。
图1b是顶层通孔与底层通孔错位的实施例示意图。可选择地,在所述顶层下表面和/或底层上表面具有电路线19。此时,所述顶层通孔10和所述底层通孔20不对准,所述电路线19用于连接所述顶层通孔10和所述底层通孔20。所述上电极和下电极通过所述通孔和电路线实现电气连通。
所述陶瓷优选氧化铝。
图2是人造视网膜顶层上表面示意图。所述顶层上表面11上分布有多个上电极6。为了满足人造视网膜功能需要,上电极数量越多、排列越密集,能够安装的感光器件数量越多。上表面的外轮廓线的范围与人眼底尺寸相当。
图3是人造视网膜底层下表面示意图。所述底层下表面21上分布多个下电极7。为了满足人造视网膜功能需要,下电极数量越多、排列越密集,能够安装的信号处理器件数量越多。下表面的外轮廓线的范围与上表面外轮廓线范围相同。
图4是具有电路层的人造视网膜横截面示意图。作为进一步优化的实施例,所述人造视网膜还包括电路层3,所述电路层的上表面31、下表面32至少1个表面具有电路线33,34。具体地,所述电路线包含电路层上表面电路线33和电路层下表面电路线34。所述电路层包含的通孔35,36,37称为电路层通孔。具体地,在图4所示实施例中,所述通孔包含顶层通孔10、底层通孔20、电路层通孔35,36,37。所述上电极和下电极通过所述通孔10,20,35,36,37和电路线33,34实现电气连通。
图5是电路层上表面示意图。具体地,所述电路层通孔进一步包含仅与所述上电极对准的第一类电路层通孔35、仅与下电极对准的第二类电路层通孔37、与上下电极同时对准的第三类电路层通孔36;所述电路层上表面31具有电路线33,所述上电极和下电极通过所述通孔和电路层上表面电路线实现电气连通。
图6是电路层下表面示意图。可选择地,所述电路层下表面32具有电路线34,所述上电极和下电极通过所述通孔和电路层下表面电路线实现电气连通。
可选择地,所述电路层可以有多层,分布在所述顶层和底层之间。
图7是电镀线分布示意图。图7a是包含电镀线的电镀辅助层上表面示意图;图7b是包含电镀线的电镀辅助层下表面示意图。所述电镀线,位于顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面、电镀辅助层上表面或电镀辅助层下表面电镀辅助层。作为进一步优化的实施例,所述顶层下表面20、底层上表面19、电路层上表面31、电路层下表面32至少1个表面分布有电镀线43,每1条所述电镀线的一端连接1个所述通孔(例如顶层通孔10;底层通孔20;电路层通孔35,36,37),另一端与人造视网膜边沿5相连;优选地,所述每1个通孔都通过电镀线与所述人造视网膜边沿相连。
可选择地,所述电镀线分布在所述顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面中的任意1个表面上。
作为进一步优化的实施例,所述人造视网膜还包括电镀辅助层,所述电镀辅助层上具有通孔40,具体地,图7a~b所示实施例中的通孔为电镀辅助层通孔40。所述电镀辅助层上表面41、下表面42至少1个表面分布有电镀线43,每1条所述电镀线的一端连接1个所述通孔,另一端与所述视网膜边沿相连,所述每1个通孔都通过电镀线与所述视网膜边沿相连。
可选择地,所述电镀线分布在所述电镀辅助层上表面、下表面中的任意1个表面上;
作为进一步优化的实施例,所述电镀线同时分布在所述电镀辅助层的上表面和下表面。
图8是包含电镀辅助层的人造视网膜横截面示意图。可选择地,所述人造视网膜包含顶层1、电镀辅助层4、底层2(图8a~c);或者,所述人造视网膜包含顶层1、电镀辅助层4、电路层3、底层2(图8d~e)。图8a~e中都只表示出人造视网膜横截面的一部分。
图8a为电镀辅助层上表面包含电镀线的实施例示意图;至少包含1个上电极、1个下电极、与所述上电极对准的1个顶层通孔10、与所述下电极对准的1个底层通孔20、使所述顶层通孔和底层通孔连通的1个电镀辅助层通孔40、使所述电镀辅助层通孔与所述人造视网膜边沿相连的电镀线43位于所述电镀辅助层上表面。
图8b为电镀辅助层下表面包含电镀线的实施例示意图;至少包含1个上电极、1个下电极、与所述上电极对准的1个顶层通孔10、与所述下电极对准的1个底层通孔20、使所述顶层通孔和底层通孔连通的1个电镀辅助层通孔40、使所述电镀辅助层通孔与所述人造视网膜边沿相连的电镀线43位于所述电镀辅助层下表面。
图8c为电镀辅助层上表面和下表面均包含电镀线的实施例示意图;至少包含2个上电极6、2个下电极7,与所述上电极分别对准的2个顶层通孔10;与所述下电极分别对准的2个底层通孔20;使所述顶层通孔和底层通孔连通的2个电镀辅助层通孔40;使得所述电镀辅助层通孔与所述人造视网膜边沿相连接的2个电镀线43,分别位于所述电镀辅助层上表面和下表面。
可选择地,所述人造视网膜包含顶层、底层、电路层、电镀辅助层。图8d的实施例自上向下依次包含顶层1、电路层3、电镀辅助层4、底层2。具体地,图中包含上电极6、下电极7;与所述上电极对准的顶层通孔10、与所述下电极对准的底层通孔20;所述电路层包含电路层通孔35,37,其中每一个第一类通孔35与一个所述顶层通孔对准;每一个第二类通孔37与一个所述底层通孔对准。所述电路层通孔通过电路线33,34与所述顶层通孔或底层通孔相连接,其中上表面电路线33用于连通所述第二类通孔和顶层通孔,下表面电路线34用于连通所述第一类通孔和电镀辅助层通孔。
电镀辅助层包含电镀辅助层通孔40;所述电镀辅助层通孔40与所述底层通孔20通过对准实现连通。所述电镀辅助层通孔与所述电路层通孔实现电气连通,具体方式是:所述电镀辅助层通孔与所述第一类通孔通过电路线连通;所述电镀辅助层通孔与所述第二类通孔通过对准实现连通。
在所述电路辅助层的下表面,具有多个电镀线43;每个所述电镀线,用于连接一个所述电路辅助层通孔和人造视网膜边沿5。
本发明进一步优化的实施例,作为图8d实施例的进一步变化,图8e实施例自上向下依次包含顶层1、电镀辅助层4、电路层3、底层2。具体地,进一步优化的实施例包含多个上电极6、下电极7;与所述上电极对准的顶层通孔10、与所述下电极对准的底层通孔20;所述电路层包含电路层通孔35,37,其中每一个第一类通孔35与一个所述顶层通孔对准;每一个第二类通孔37与一个所述底层通孔对准。所述电路层通孔通过电路线33,34与所述顶层通孔或底层通孔相连接,其中上表面电路线33用于连通所述第二类通孔和电路辅助层通孔,下表面电路线34用于连通所述第一类通孔和底层通孔。
电镀辅助层包含电镀辅助层通孔40;所述电镀辅助层通孔40与所述顶层通孔10通过对准实现连通。所述电镀辅助层通孔与所述电路层通孔实现电气连通,具体方式是:所述电镀辅助层通孔与所述第二类通孔通过电路线连通;所述电镀辅助层通孔与所述第一类通孔通过对准实现连通。
在所述电路辅助层的上表面,具有多个电镀线43;每个所述电镀线,用于连接一个所述电路辅助层通孔和人造视网膜边沿5。
因此,需要说明的是,当所述人造视网膜包含顶层、底层、电路层、电镀辅助层时,所述电路层的上表面、下表面中至少1个表面具有电路线;所述电镀辅助层的上表面、下表面至少1个表面具有电镀线。
可选择地,所述人造视网膜包含顶层、底层、中间层;所述中间层为1个或多个,所述中间层包含至少1个所述电路层和/或至少1个所述电镀辅助层。
作为所述中间层进一步优化的实施例,所述中间层的上表面具有电镀线、下表面具有电路线;或,所述中间层的上表面具有电路线、下表面具有电镀线。
作为所述中间层进一步优化的实施例,所述中间层的上表面、下表面中,至少1个表面同时具有电镀线和电路线。
在图8所示实施例中,所述上电极和下电极通过所述通孔和电路线实现电气连通。所述通孔,包含顶层通孔、底层通孔、电路层通孔、电镀辅助层通孔。
图9是人造视网膜制造方法实施例流程图。所述人造视网膜材料为陶瓷。所述人造视网膜制造方法,包含以下步骤:
步骤801、制作陶瓷片。
所述制作陶瓷片的步骤包含:将陶瓷粉末、助烧剂、有机粘结剂、增塑剂、溶剂、分散剂进行混合,球磨,制作粘度在1000~4000mPa.s的陶瓷浆料;将所述陶瓷浆料流延成片。
所述陶瓷粉末优选高纯度氧化铝粉,加入助烧剂、有机粘结剂、增塑剂、溶剂、分散剂进行混合,然后球磨制浆,通过球磨工艺将配好的混合料制备成均匀稳定、符合工艺要求的悬浮浆料,然后再流延成型,用流延机将所述陶瓷浆料流延成柔软可加工的薄流延片。
所述陶瓷片材料优选氧化铝。
步骤802、在所述陶瓷片上冲制通孔。
在步骤802中,按照设计要求,利用程控冲床或激光冲孔机在陶瓷片上冲制多个通孔。
步骤803、在所述通孔中填充金属浆料。
在步骤803中,为达到通孔金属化的目的,在所述通孔内填充金属浆料,如钨浆料,作为视网膜的电极材料的基础。
步骤804、在所述陶瓷片上印制上电极、下电极、电镀线和电镀辅助线,所述电镀线的一端连接所述通孔,另一端与所述电镀辅助线相连,每1个所述通孔都通过电镀线与所述电镀辅助线相连,所述视网膜的范围由切割线围成,所述电镀辅助线在所述范围外部。
可选择地,步骤804中还包括在所述陶瓷片上印制电路线。
在步骤804中,采用丝网印刷机在陶瓷基片上印制上电极、下电极、电镀线、电镀辅助线和电路线。
所述印制上电极、下电极、电镀线、电镀辅助线和电路线的材料优选钨浆料。
步骤805、将印制有上电极的陶瓷片、印制有下电极的陶瓷片、印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片进行层压,烧结和电镀,制成多层陶瓷体。
层压温度优选50~70℃,压力优选1000~3000psi,时间优选5~10min。
烧结温度优选1600~1650℃,时间优选2~4小时。
可选择地,层压时还包含印制有电路线的陶瓷片。
在步骤805中,将印制有上电极的陶瓷片、印制有下电极的陶瓷片、印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片按照工艺要求叠放好,所述顶层在最上方、所述底层在最下方、所述电路层或多层电路层和电镀辅助层根据需要放置在所述顶层和底层之间,使用温水等静压机在50~70℃,1000~3000psi,5~10min的条件下使所述陶瓷片紧密粘贴,形成完整的多层胚体并在1600~1650℃的氢气高温炉中保温2~4小时的条件下进行烧结,使其完全致密化,然后,在所述上电极和下电极表面电镀金属,所述电镀金属优选镍、金或镍金合金,使之满足键合和芯片焊接要求。
需要说明的是,在电镀时,由于电镀线和电镀辅助线使所有上电极、下电极、通孔全部实现电气连通,便于一次性对全部上电极、下电极完成电镀。
步骤806、沿所述切割线将多层陶瓷体切割成单元。
例如,用激光划片机将多层陶瓷体分割成成品单元,1个人造视网膜载体加工完成。
图10是陶瓷片示意图。图10是为进一步解释本发明所述方法的步骤801。所述陶瓷片包括上表面61和下表面62,所述陶瓷片的厚度l优选0.1~0.3mm。所述下表面在图10中处于不可见位置,因此用于下表面的附图标记62的引出线用虚线表示。
图11是冲制有通孔的陶瓷片。图11是为进一步解释本发明所述方法的步骤802。在所述陶瓷片6上冲制多个通孔(例如顶层通孔10,底层通孔20,电路层通孔35,36,37,电镀辅助层通孔40)。所述多个通孔分别位于所述顶层、底层、电路层、电镀辅助层。
图12是印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片。图12是为进一步解释本发明所述方法的步骤804。在所述陶瓷片上印制电镀线41和电镀辅助线44,所述电镀线和电镀辅助线可以在所述顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面至少1个面上印制,也可以在1个单独的陶瓷片6(也就是电镀辅助层)的上表面、下表面至少1个面上印制。所述电镀线41的一端连接所述通孔(例如顶层通孔10,底层通孔20,电路层通孔35,36,37,电镀辅助层通孔40),另一端与所述电镀辅助线44相连,每1个所述通孔都通过电镀线与所述电镀辅助线相连,所述视网膜的范围由切割线7围成,所述电镀辅助线在所述范围外部,所述电镀辅助线可以分布在所述范围的四周,也可以分布在所述范围的一侧。
图13是通孔40、电镀线43和电镀辅助线44在陶瓷片上沿水平方向重复排列示意图。为提高效率,在冲制通孔时,印制电镀线、电镀辅助线时,将所述通孔、电镀线和电镀辅助线沿水平方向重复排列,构成水平方向的通孔、电镀线和电镀辅助线阵列。
图14是通孔40、电镀线43和电镀辅助线44在陶瓷片上沿垂直方向重复排列示意图。为进一步提高效率,在冲制通孔时,印制电镀线、电镀辅助线时,将所述通孔、电镀线和电镀辅助线沿垂直方向重复排列,构成垂直方向的通孔、电镀线和电镀辅助线阵列。
与图13~14实施例相对应地,所述上电极、下电极、电路线按照上述方案在陶瓷片上沿水平方向或垂直方法重复排列。
优选地,所述通孔40、电镀线43和电镀辅助线沿水平方向和垂直方向重复排列,构成二维金属图形阵列。对应地,所述上电极、下电极、电路线沿水平方向和垂直方向重复排列,构成二维金属图形阵列。二维金属图形阵列进一步提高了制造效率。
还需要说明的是,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括1个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法或者设备中还存在另外的相同要素。
以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种人造视网膜制造方法,其特征在于,包含以下步骤:
制作陶瓷片;
在所述陶瓷片上冲制通孔;
在所述通孔中填充金属浆料;
在所述陶瓷片上印制上电极、下电极、电镀线和电镀辅助线,所述电镀线的一端连接所述通孔,另一端与所述电镀辅助线相连,每1个所述通孔都通过电镀线与所述电镀辅助线相连,所述视网膜的范围由切割线围成,所述电镀辅助线在所述范围外部;
将印制有上电极的陶瓷片、印制有下电极的陶瓷片、印制有电镀线和电镀辅助线的陶瓷片进行层压,烧结和电镀,制成多层陶瓷体;
沿所述切割线将多层陶瓷体切割成单元。
2.根据权利要求1所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,还包括在所述陶瓷片上印制电路线,层压时还包含印制有电路线的陶瓷片。
3.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述制作陶瓷片的步骤包含:
将陶瓷粉末、助烧剂、有机粘结剂、增塑剂、溶剂、分散剂进行混合,球磨,制作粘度在1000~4000mPa.s的陶瓷浆料;
将所述陶瓷浆料流延成片。
4.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述上电极、下电极、电镀线、电镀辅助线、电路线和通孔在所述陶瓷片上沿水平或/和垂直方向重复排列。
5.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述层压温度为50~70℃,压力为1000~3000psi,时间为5~10min。
6.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述金属浆料为钨浆料。
7.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述烧结温度为1600~1650℃,时间为2~4小时。
8.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述电镀金属为镍、金或镍金合金。
9.根据权利要求1或2所述的人造视网膜制造方法,其特征在于,所述陶瓷片的厚度为0.1~0.3mm。
10.一种人造视网膜,其特征在于,包括顶层和底层,所述顶层上表面有上电极,所述底层下表面有下电极,所述上电极和下电极通过通孔实现电气连通;
所述人造视网膜还包括电路层,所述电路层的上表面、下表面至少1个表面具有电路线,所述上电极和下电极通过所述通孔和电路线实现电气连通;
所述顶层下表面、底层上表面、电路层上表面、电路层下表面至少1个表面分布有电镀线,每1条所述电镀线的一端连接1个所述通孔,另一端与人造视网膜边沿相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710231245.9A CN107080893B (zh) | 2017-04-10 | 2017-04-10 | 一种人造视网膜及其制造方法 |
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107080893A CN107080893A (zh) | 2017-08-22 |
CN107080893B true CN107080893B (zh) | 2023-06-09 |
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ID=59611824
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710231245.9A Active CN107080893B (zh) | 2017-04-10 | 2017-04-10 | 一种人造视网膜及其制造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107080893B (zh) |
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CN107080893A (zh) | 2017-08-22 |
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