CN106783805A - 射频多芯片封装及屏蔽电路 - Google Patents

射频多芯片封装及屏蔽电路 Download PDF

Info

Publication number
CN106783805A
CN106783805A CN201710145880.5A CN201710145880A CN106783805A CN 106783805 A CN106783805 A CN 106783805A CN 201710145880 A CN201710145880 A CN 201710145880A CN 106783805 A CN106783805 A CN 106783805A
Authority
CN
China
Prior art keywords
chip
substrate
radio frequency
attachment structure
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710145880.5A
Other languages
English (en)
Inventor
李仲茂
郭瑞
蒯冲
尹军舰
邱昕
慕福奇
叶甜春
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Microelectronics of CAS
Original Assignee
Institute of Microelectronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Microelectronics of CAS filed Critical Institute of Microelectronics of CAS
Priority to CN201710145880.5A priority Critical patent/CN106783805A/zh
Publication of CN106783805A publication Critical patent/CN106783805A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/552Protection against radiation, e.g. light or electromagnetic waves
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/03Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
    • H01L25/04Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
    • H01L25/065Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00
    • H01L25/0652Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L27/00 the devices being arranged next and on each other, i.e. mixed assemblies
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/16227Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Abstract

本发明提供一种射频多芯片封装及屏蔽电路。所述电路包括:第一基板、第二基板、外壳屏蔽层、第一连接结构、第二连接结构、第一芯片、第二芯片,第三芯片,所述外壳屏蔽层组装于所述第一基板上,并与所述第一基板组成封闭空间,所述第二基板、所述第一连接结构、所述第二连接结构、所述第一芯片、所述第二芯片及所述第三芯片组成的封装结构位于所述封闭空间内部;所述第一基板与所述第二基板之间通过所述第一连接结构连接,所述第一芯片与所述第一基板之间通过所述第二连接结构相连,所述第二芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连,所述第三芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连。本发明能够减少集成元件的体积,提高集成元件成本。

Description

射频多芯片封装及屏蔽电路
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域,尤其涉及一种射频多芯片封装及屏蔽电路。
背景技术
多芯片封装(Multi Chip Package,MCP)中的层叠封装,旨在垂直地集成分立的逻辑和存储球栅阵列(Ball Grid Array,BGA)封装。将原分立结构的芯片堆叠到同一封装中,两个或者更多的芯片堆叠到同一封装中,为通信设备、导航设备、移动电话、个人数字终端、台式计算机、便携式计算机、平板计算机等应用提供了理想的高密度封装解决方案。
基于此,本发明的发明人发现,高密度封装中包含射频组件,这些射频组件的存在一方面会对其他电磁原件产生电磁干扰,另一方面,周围电磁原件也会产生一些干扰信号影响射频组件的工作,因此,为了使高密度封装结构中的组件更好的工作,需要将电磁干扰信号屏蔽,将射频组件与周围电磁组件隔离开来,减少外界对其干扰,同时防止射频组件的信号泄露到周围环境中。
现有技术中常用的高密度封装结构的屏蔽方法,主要是将包含有多个射频组件的高密度封装结构在完成一个功能后使用法拉第笼进行隔离,其中,法拉第笼材质主要使用金属或者良导体,依据法拉第笼的电磁屏蔽原理,将高密度封装芯片与周围环境隔离开来。
在实现本发明的过程中,发明人发现现有技术中至少存在如下技术问题:
将多个高密度封装结构进行屏蔽使用的法拉第笼体积较大,不满足集成原件精细化发展的要求。
发明内容
本发明提供的射频多芯片封装及屏蔽电路,能够减少集成元件的体积,提高集成元件成本。
第一方面,本发明提供一种射频多芯片封装及屏蔽电路,包括:
第一基板、第二基板、外壳屏蔽层、第一连接结构、第二连接结构、第一芯片、第二芯片,第三芯片,其中,
所述外壳屏蔽层组装于所述第一基板上,并与所述第一基板组成封闭空间,
所述第二基板、所述第一连接结构、所述第二连接结构、所述第一芯片、所述第二芯片及所述第三芯片组成的封装结构位于所述封闭空间内部;
且,所述第一基板与所述第二基板之间通过所述第一连接结构连接,所述第一芯片与所述第一基板之间通过所述第二连接结构相连,所述第二芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连,所述第三芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连。
可选地,所述第一芯片、所述第二芯片及所述第三芯片中至少有一个为射频电路组件。
可选地,所述射频电路组件为有源射频电路或无源射频电路组件。
可选地,所述外壳屏蔽层内表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
可选地,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述外壳屏蔽层内表面。
可选地,所述第一基板的上表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
可选地,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述第一基板的上表面。
本发明实施例提供的射频多芯片封装及屏蔽电路,通过将多组芯片封装在一起,且使用外部屏蔽层对封装结构进行隔离,能够在减少集成元件的体积,提高集成元件成本的前提下,防止封装结构内射频信号与外部结构射频信号互相影响。
附图说明
图1为本发明射频多芯片封装及屏蔽电路的结构示意图;
图2为本发明射频多芯片封装及屏蔽电路中基板的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供一种射频多芯片封装及屏蔽电路,如图1所示,包括:
第一基板11、第二基板12、外壳屏蔽层13、第一连接结构14、第二连接结构15、第一芯片16、第二芯片17,第三芯片18,其中,
所述外壳屏蔽层组装于所述第一基板11上,并与所述第一基板11组成封闭空间,所述第二基板12、所述第一连接结构14、所述第二连接结构15、所述第一芯片16、所述第二芯片17及所述第三芯片18组成的封装结构位于所述封闭空间内部;
且,所述第一基板11与所述第二基板12之间通过所述第一连接结构14连接,所述第一芯片16与所述第一基板11之间通过所述第二连接结构15相连,所述第二芯片17与所述第二基板12之间通过所述第二连接结构15相连,所述第三芯片18与所述第二基板12之间通过所述第二连接结构15相连。
本发明实施例提供的射频多芯片封装及屏蔽电路,本发明实施例提供的射频多芯片封装及屏蔽电路,通过将多组芯片封装在一起,且使用外部屏蔽层对封装结构进行隔离,能够在减少集成元件的体积,提高集成元件成本的前提下,防止封装结构内射频信号与外部结构中射频信号互相影响。
可选地,所述第一芯片16、所述第二芯片17及所述第三芯片18中至少有一个为射频电路组件。
可选地,所述射频电路组件为有源射频电路或无源射频电路组件。
可选地,所述外壳屏蔽层13内表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
可选地,所述外壳屏蔽层先涂有薄膜吸波材料,用于隔离内部及外部电磁波,所述金属层用于保护薄膜吸波材料及隔离内部及外部电磁波。
可选地,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述外壳屏蔽层内表面。
可选地,所述外壳屏蔽层13由第一基板11上的通孔接地,且所述外壳材质为塑料材料、陶瓷材料、金属材料中的一种。
可选地,如图2所示,为射频多芯片封装及屏蔽电路中第一基板11及第二基板12的结构示意图,所述基板上包含多个小孔,用于焊接芯片及电路组件。
可选地,所述第一基板11的上表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
可选地,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述第一基板11的上表面。
可选地,所述第一基板11和所述第二基板12接地,且所述第一基板11和所述第二基板12接地部分能够提供电磁屏蔽功能以及作为芯片及其他电路组件的热量耗散通道。
可选地,除所述第一基板11及所述第二基板12以外的组件根据实际需求确定是否接地。
可选地,所述第二基板12加附导电材料,所述导电材料包括但不限于金、银、铝等金属;
可选地,所述第二基板12加附导电材料完成后,可加附薄膜微波吸附材料构成基板电磁干扰屏蔽层,且所述基板电磁干扰屏蔽层通过第一基板11上的通孔接地。
可选地,所述第一基板11及所述第二基板12上分别装配有芯片组件,且所述芯片组件通过所述第一基板11与外部进行连接。
可选地,所述第一基板11及所述第二基板12为所述第一芯片16、所述第二芯片17及所述第三芯片18及电路组件提供信号通道、接地通道和热量耗散通道。
以上所述,仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (7)

1.一种射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,包括:
第一基板、第二基板、外壳屏蔽层、第一连接结构、第二连接结构、第一芯片、第二芯片,第三芯片,其中,
所述外壳屏蔽层组装于所述第一基板上,并与所述第一基板组成封闭空间,所述第二基板、所述第一连接结构、所述第二连接结构、所述第一芯片、所述第二芯片及所述第三芯片组成的封装结构位于所述封闭空间内部;
且,所述第一基板与所述第二基板之间通过所述第一连接结构连接,所述第一芯片与所述第一基板之间通过所述第二连接结构相连,所述第二芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连,所述第三芯片与所述第二基板之间通过所述第二结构相连。
2.根据权利要求1所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述第一芯片、所述第二芯片及所述第三芯片中至少有一个为射频电路组件。
3.根据权利要求2所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述射频电路组件为有源射频电路或无源射频电路组件。
4.根据权利要求1所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述外壳屏蔽层内表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
5.根据权利要求1所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述外壳屏蔽层内表面。
6.根据权利要求1所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述第一基板的上表面附着有薄膜吸波材料和金属层。
7.根据权利要求1所述的射频多芯片封装及屏蔽电路,其特征在于,所述薄膜吸波材料和所述金属层通过涂覆、粘接等工艺附着于所述第一基板的上表面。
CN201710145880.5A 2017-03-13 2017-03-13 射频多芯片封装及屏蔽电路 Pending CN106783805A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710145880.5A CN106783805A (zh) 2017-03-13 2017-03-13 射频多芯片封装及屏蔽电路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710145880.5A CN106783805A (zh) 2017-03-13 2017-03-13 射频多芯片封装及屏蔽电路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106783805A true CN106783805A (zh) 2017-05-31

Family

ID=58961918

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710145880.5A Pending CN106783805A (zh) 2017-03-13 2017-03-13 射频多芯片封装及屏蔽电路

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106783805A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110021572A (zh) * 2018-01-10 2019-07-16 力成科技股份有限公司 堆叠式封装结构及其制造方法
WO2022052761A1 (zh) * 2020-09-10 2022-03-17 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 一种射频半导体器件结构及其制造方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005183410A (ja) * 2003-12-15 2005-07-07 Nec Saitama Ltd 無線回路モジュールおよび無線回路基板
JP4889359B2 (ja) * 2006-04-14 2012-03-07 ルネサスエレクトロニクス株式会社 電子装置
CN105074917A (zh) * 2013-03-11 2015-11-18 高通股份有限公司 用于射频多芯片集成电路封装的电磁干扰外壳
CN106298741A (zh) * 2016-08-11 2017-01-04 国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院 一种射频多芯片电路电磁屏蔽结构

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005183410A (ja) * 2003-12-15 2005-07-07 Nec Saitama Ltd 無線回路モジュールおよび無線回路基板
JP4889359B2 (ja) * 2006-04-14 2012-03-07 ルネサスエレクトロニクス株式会社 電子装置
CN105074917A (zh) * 2013-03-11 2015-11-18 高通股份有限公司 用于射频多芯片集成电路封装的电磁干扰外壳
CN106298741A (zh) * 2016-08-11 2017-01-04 国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院 一种射频多芯片电路电磁屏蔽结构

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110021572A (zh) * 2018-01-10 2019-07-16 力成科技股份有限公司 堆叠式封装结构及其制造方法
WO2022052761A1 (zh) * 2020-09-10 2022-03-17 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 一种射频半导体器件结构及其制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2973696B1 (en) Electromagnetic interference enclosure for radio frequency multi-chip integrated circuit packages
CN106816431B (zh) 一种电磁屏蔽封装结构及其制造方法
US5808878A (en) Circuit substrate shielding device
CN108987378B (zh) 微电子装置
US9318403B2 (en) Integrated circuit packaging system with magnetic film and method of manufacture thereof
TW201605010A (zh) 封裝結構及其製法
TWI605564B (zh) 封裝結構及其製法
JP2003273571A (ja) 素子間干渉電波シールド型高周波モジュール
CN106298741A (zh) 一种射频多芯片电路电磁屏蔽结构
US20130093067A1 (en) Wafer level applied rf shields
JP2019212979A (ja) 無線モジュールおよびその製造方法並びに電子装置
US20080315374A1 (en) Integrated circuit package-in-package system with magnetic film
CN108701680A (zh) 带有使用金属层和通孔的电磁干扰屏蔽的半导体封装
US20150123251A1 (en) Semiconductor package
CN106783805A (zh) 射频多芯片封装及屏蔽电路
TW200933859A (en) Electromagnetic shilding structure and method for multi-chip package module
CN107665885A (zh) 半导体装置封装
TW201611227A (zh) 封裝結構
CN201259891Y (zh) 具电磁屏蔽结构的多芯片封装模块
CN111081696A (zh) 半导体封装和制造半导体封装的方法
CN100483661C (zh) 防止芯片被干扰的封装方法及其封装结构
JPH08255811A (ja) 電子部品の接続装置
JP2003298004A (ja) 素子間干渉電波シールド型高周波モジュール及び電子装置
WO2023135911A1 (ja) 高周波モジュール
CN211238248U (zh) 半导体封装

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20191106

Address after: 116600 Liaoning Province Dalian Economic and Technological Development Zone No. 12 Liaohe East Road

Applicant after: Zhongke Zhongzhi Xintong (Dalian) Technology Co.,Ltd.

Address before: 100029 Beijing city Chaoyang District Beitucheng West Road No. 3

Applicant before: Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences

TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20200323

Address after: 100029 No.3, Beitucheng West Road, Chaoyang District, Beijing

Applicant after: Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences

Address before: 116600 Liaoning Province Dalian Economic and Technological Development Zone No. 12 Liaohe East Road

Applicant before: Zhongke Zhongzhi Xintong (Dalian) Technology Co.,Ltd.

RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170531