CN106576209B - 电声转换装置 - Google Patents
电声转换装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106576209B CN106576209B CN201580040597.5A CN201580040597A CN106576209B CN 106576209 B CN106576209 B CN 106576209B CN 201580040597 A CN201580040597 A CN 201580040597A CN 106576209 B CN106576209 B CN 106576209B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- laminated piezoelectric
- electrode layer
- diaphragm
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
- H04R7/04—Plane diaphragms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0611—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/067—Forming single-layered electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/501—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane parallel to the stacking direction, e.g. polygonal or trapezoidal in side view
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
本发明的目的在于提供一种即使使用多边形的积层压电元件也能够获得与圆形的积层压电元件同等的声压的电声转换装置。本发明的电声转换装置具备:积层压电元件,将压电体层与电极层交替地积层,且在极性不同的至少一对电极层之间配置有压电体层;以及振动板,配置积层压电元件。积层压电元件从积层方向观察为多边形,配置积层压电元件的振动板的面为圆形。介隔在至少一对电极层间的压电体层中从积层方向投影而至少一对电极层重叠的有效层的体积的合计(V)满足下述条件。0.2πR2×ts≦V≦2.0πR2×ts(其中,π为圆周率,R为振动板的半径,ts为振动板的厚度)。
Description
技术领域
本发明涉及一种具备多边形的积层压电元件与圆形的振动板的电声转换装置等。
背景技术
众所周知的是具备积层压电元件、以及配置所述积层压电元件的振动板的电声转换装置。积层压电元件通过电信号变形,且振动板通过该变形而振动,从而电声转换装置产生可听波。
积层压电元件与振动板的组合大多是两者为圆形或两者为矩形的相似形状。相似形状能够使积层压电元件与振动板的接触面积变大,因此能够使电声转换装置的声压变高。
一方面,振动板多为圆形。其原因在于:矩形的振动板振动时的变形变得不规则,音质容易下降。另一方面,多边形的积层压电元件与圆形的积层压电元件相比材料产率更优异,且压电材料为高价,因此成本上有利。但是,多边形的积层压电元件与圆形的振动板的组合极少。
在较少的现有技术中,图15表示专利文献1中所记载的压电声零件61。压电声零件61具备矩形的压电板62、以及配置压电板62的圆板状的金属板63。压电声零件61嵌入到在内周侧具备同心圆的级差的环状的壳体64而组装到手机或头戴式耳机等可携式声学设备等。
作为压电板62而使用积层压电元件。图16表示专利文献2中所记载的积层压电元件65的内部构造。积层压电元件65是将压电体层66与电极层67交替地积层而成。电极层67包含:第一表面电极层68,形成在积层压电元件65的与相接于金属板63的面为相反侧的第一表面;以及第二表面电极层69,形成在与第一表面为相反侧(与金属板63相接的侧)的第二表面。包含第一表面电极层68以及第二表面电极层69的电极层67以间隔一层的方式与极性不同的一对连接电极70连接。压电体层66的层数为奇数,第一表面电极层68与第二表面电极层69分别与极性不同的一对连接电极70连接。连接电极70由通孔形成。在第一表面电极层68焊接导线71。积层压电元件65以第二表面相接的方式配置在圆板状的金属板63之上,第二表面电极层69与金属板63电连接。经由导线71与金属板63而将电信号施加给积层压电元件65。积层压电元件65变形,振动板63通过该变形而振动,从而电声转换装置61产生可听波。
背景技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开平11-355892号公报
专利文献2:日本专利特开2001-016691号公报
发明内容
[发明要解决的问题]
如果将多边形的积层压电元件配置在圆形的振动板,那么积层压电元件与振动板的接触面积与相似形状的组合相比变小。从而积层压电元件使振动板振动的力变小,因此声压下降。
本发明是鉴于所述实际情况而完成的,其目的在于提供一种即使使用多边形的积层压电元件也能够获得与圆形的积层压电元件同等的声压的电声转换装置。
[解决问题的手段]
(1)本发明的一形态涉及一种电声转换装置,其特征在于具备:
积层压电元件,将压电体层与电极层交替地积层而成,且在极性不同的至少一对电极层之间配置有所述压电体层;以及
振动板,配置所述积层压电元件;且
所述积层压电元件从积层方向观察为多边形,
配置所述积层压电元件的所述振动板的面为圆形,
介隔在所述至少一对电极层间的所述压电体层中,从积层方向投影而与所述至少一对电极层重叠的部分即有效层的体积的合计(V)满足下述条件。
0.2πR2×ts≦V≦2.0πR2×ts
(其中,π为圆周率,R为振动板的半径,ts为振动板的厚度)
积层压电元件的介隔在极性不同的一对电极层间的压电体层中从积层方向投影而极性不同的2个电极层重叠的部分即有效层变形。该变形传导到振动板,从而电声转换装置产生可听波。根据本发明的一形态,通过有效层的体积的合计(V)满足上式,积层压电元件使振动板振动的力变得十分大,即使使用多边形的积层压电元件也能够获得与圆形的积层压电元件同等的声压。
(2)在本发明的一形态中,优选:
所述至少一对电极层包含极性不同的第一电极层与第二电极层,所述第一电极层与形成在所述积层压电元件的一侧面的第一侧面电极连接,
所述第二电极层与第二侧面电极连接,该第二侧面电极形成在与形成有所述第一侧面电极的侧面不同的侧面。
存在如下情况,即,通过一次共振等而圆形的振动板在特定区域,尤其是在位于从振动板的中心至特定距离的同心圆区域变形变大。如果在该区域存在电极层间的连接电极,那么有因变形所产生的应力集中而连接电极断裂的顾虑。然而,因为侧面电极在距圆形振动板的中心的距离有宽度,所以即使在特定区域侧面电极被破坏,也能维持在其他区域的连接。因此,可期待稳定的声压、音质的维持。
(3)在本发明的一形态中,优选:
所述第一电极层包含电极层,该电极层形成在所述积层压电元件的与相接于所述振动板的面为相反侧的表面。
因为电极层间的连接为侧面电极而并非通孔,所以未在积层压电元件残留应力。因此,即使将导线焊接在形成在积层压电元件的与相接于振动板的面为相反侧的表面的电极层,也能够防止因热冲击所导致的积层压电元件的破损。
(4)在本发明的一形态中,优选所述积层压电元件从积层方向观察为正方形。因为积层压电元件的形状的对称性与圆形接近,所以音质与圆形的积层压电元件接近。
附图说明
图1表示第一实施方式的电声转换装置的外观。
图2表示第一实施方式的电声转换装置的内部构造。
图3表示第一实施方式中的积层压电元件的积层以及外观。
图4表示第一实施方式中的侧面电极的连接的稳定性。
图5表示第一实施方式中的积层压电元件的有效层。
图6表示第一实施方式的电声转换装置的圆形的振动板与多边形的积层压电元件的尺寸。
图7表示在振动板的半径为4mm的情况下,使振动板的厚度与积层压电元件的有效层的厚度变动时的振动板的中心部的位移量。
图8表示在振动板的半径为8mm的情况下,使振动板的厚度与积层压电元件的有效层的厚度变动时的振动板的中心部的位移量。
图9表示在振动板的半径为4mm的情况下,使振动板的厚度与积层压电元件的有效层的厚度变动时的振动板的中心部的相对位移量。
图10表示第一实施方式的具备正方形的积层压电元件的电声转换装置的声压特性与具备圆形的积层压电元件的电声转换装置的声压特性的比较。
图11表示第二实施方式的电声转换装置的内部构造。
图12表示第三实施方式的电声转换装置的内部构造。
图13表示第四实施方式的电声转换装置的外观。
图14表示第五实施方式的电声转换装置的外观。
图15表示以往的压电声零件的外观。
图16表示以往的积层压电元件的内部构造。
具体实施方式
以下,一边参照随附图式,一边对本发明的实施方式进行说明。另外,以下说明的本实施方式并非不当地限定权利要求书中所记载的本发明的内容,本实施方式中说明的所有构成未必是作为本发明的解决方式所必需。
在本发明中,积层压电元件以及振动板的形状分别以从积层方向观察时的积层压电元件的形状以及配置积层压电元件的面的振动板的形状来表达。例如,关于“圆形的积层压电元件”,虽然实际的积层压电元件的形状为圆柱,但为了方便而以从积层方向观察时的“圆形”来表达。关于“多边形的积层压电元件”,虽然实际的积层压电元件的形状为多棱柱,但为了方便而以从积层方向观察时的“多边形”来表达。关于“圆形的振动板”,虽然实际的振动板的形状为圆柱,但为了方便而以配置积层压电元件的面的“圆形”来表达。
(第一实施方式)
图1表示本发明的第一实施方式的电声转换装置11的外观。电声转换装置11具备多边形的积层压电元件12、以及配置积层压电元件12的圆形的振动板13。图1所示的电声转换装置11在振动板13的单面配置有积层压电元件12,但也可在振动板13的两面配置积层压电元件12。
积层压电元件12的形状可列举方形、菱形、梯形、正方形、长方形、六边形。此处,正方形是指当将正交的2边的长度设为a、b时,│a-b│÷a≦10%。如果满足该关系式,那么声压以及音质实质上不会下降。在积层压电元件的形状为除正多边形(正方形或正六边形等)以外的多边形(例如长方形)的情况下,能够判别积层压电元件12的方向。能够切实地进行向振动板13配置积层压电元件12或向积层压电元件12形成电极等作业,电声转换装置11间的音质的不均变小。
积层压电元件12的尺寸(最大长度)可列举5.4~108mm。如果过小,那么难以生产,如果变大,那么容易在积层压电元件12产生裂痕。积层压电元件的厚度可列举0.03~0.2mm(30~200μm)。如果过小,那么难以生产,如果变大,那么会阻碍积层压电元件12的变形。
振动板13的半径可列举3~60mm。如果过小,那么难以生产,如果变大,那么容易在配置的积层压电元件12产生裂痕。振动板13的厚度较理想为0.05~0.5mm,进而理想为0.05~0.3mm。如果过薄,那么强度较弱,如果变厚,那么会阻碍振动。作为振动板13,可使用金属。作为金属,可列举不锈钢(SUS)、42合金。在本形态中使用42合金,振动板13的半径设为5.55mm,厚度设为200μm。
在积层压电元件12的与相接于振动板13的面为相反侧的第一表面、以及配置积层压电元件12的振动板13的面且未与积层压电元件12相接的区域焊接导线14。因为积层压电元件12为多边形,所以未与积层压电元件12相接的振动板13的区域,与积层压电元件12为圆形的情况相比更广。因此,容易将导线14焊接在振动板13。因为振动板13为金属,所以经由导线14与振动板13将电信号施加给积层压电元件12。积层压电元件12变形,振动板13通过该变形而振动,从而电声转换装置11产生可听波。
图2表示第一实施方式的电声转换装置11的内部构造。积层压电元件12是将压电体层15与电极层16交替地积层而成。作为压电体层15,可使用锆钛酸铅(PZT)、钛酸钡、含碱的钙钛矿、钨青铜等强介电材料。作为电极层16,可使用Ag/Pd、Pd等。电极层16的厚度可列举1~5μm。如果过薄,那么电极层16容易变得不连续,如果过厚,那么会阻碍积层压电元件12的变形。在本形态中,使用PZT作为压电体层15,使用Ag/Pd作为电极层16,电极层16是以煅烧后的厚度成为2μm的方式形成。
电极层16包含:第一表面电极层17,形成在积层压电元件12的与相接于振动板13的面为相反侧的第一表面;第二表面电极层18,形成在积层压电元件12的与振动板13相接的侧的第二表面;以及内部电极层19,形成在积层压电元件12的内部。另外,电极层16包含极性不同的2个电极层,分别称为第一电极层16a与第二电极层16b。第一电极层16a与第二电极层16b以间隔一层的方式配置。压电体层15介隔在第一电极层16a与第二电极层16b之间。
压电体层15的层数可列举2~10层,从容易配置电极层16的方面来看,优选3层以上的奇数。其原因在于能够将第一及第二表面电极层17、18分别作为第一及第二电极层16a、16b而形成。在本形态中,压电体层15的层数设为5层。
也一边参照图3,一边对电极层间的连接进行说明。第一电极层16a(包含第一表面电极层17)在积层压电元件12的一侧面引出。第一电极层16a(包含第一表面电极层17)与形成在引出的侧面的第一侧面电极20连接。第二电极层16b(包含第二表面电极层18)在与形成有第一侧面电极的侧面不同的侧面,例如与形成有第一侧面电极的侧面为相反侧的侧面引出。第二电极层16b(包含第二表面电极层18)与形成在引出的侧面的第二侧面电极21连接。第一及第二侧面电极20、21是利用公知的方法形成。例如使用浸渍法或溅镀法。在本形态中,使用溅镀法。
如果将积层压电元件12配置在振动板13,那么第二表面电极层18与振动板13接触。因为振动板13为金属,所以两者电连接。对积层压电元件12的固定可使用公知的方法。例如,即使是在使用如树脂黏接剂般的绝缘性黏接剂的情况下,因为第二表面电极层18具备微细的凹凸,所以也可通过压抵于振动板13而电连接。
在积层压电元件12的第一表面电极层17、及配置积层压电元件12的振动板13的面且积层压电元件12未相接的区域焊接导线14。电信号经由导线14与振动板13而施加给积层压电元件12。积层压电元件12变形,振动板13通过该变形而振动,从而电声转换装置11产生可听波。
因为电极层16间的连接为侧面电极20、21而并非通孔,所以未在积层压电元件12的内部残留应力。因此,即使将导线14焊接在第一表面电极层17,也能够防止因热冲击所导致的积层压电元件12的破损。
另外,多边形的积层压电元件12的变形是中央部较大,随着靠近多边形的顶点而变形变小。因此,圆形的振动板13也是中央部振幅较大,随着靠近外周部而振幅变小。但是,存在如下情况,即,通过一次共振等而圆形的振动板13在特定的区域,例如图4中虚线所示在位于从振动板13的中心P至特定距离的同心圆的区域22振幅变大。如果在该区域存在电极层间的连接电极,那么有因较大的振幅导致应力集中而连接电极被破坏的顾虑。也就是说,第一及第二侧面电极20、21有与从振动板13的中心P起的同心圆的区域22重叠的区域23被破坏的顾虑。但是,因为第一及第二侧面电极20、21在距圆形的振动板13的中心P的距离有宽度,所以即使假如区域23被破坏,也在其他区域维持连接。因此,维持稳定的声压、音质。
图5表示在第一实施方式中施加电信号时积层压电元件12变形的部分。积层压电元件12变形的是介隔在极性不同的2个电极层(第一电极层16a、第二电极层16b)间的压电体层15中从积层方向投影而与第一电极层16a与第二电极层16b重叠的部分(图5的斜线部),也就是有效层24。有效层24的变形使振动板振动,从而电声转换装置产生可听波。
积层压电元件12除了有效层24以外,还在有效层24的周围具备宽约100μm的余裕部25(不同极性的电极不重叠的部分的压电体层)以及电极层16,但因为与有效层24相比体积较小,所以实质上不对声压产生影响。如果将有效层24的体积的合计设为V,那么V能够通过测定积层压电元件的尺寸来估计。
如图6所示,如果将圆形的振动板13的半径设为R,将振动板13的厚度设为ts,那么本发明者发现通过多边形的积层压电元件12的有效层的体积的合计(V)满足下述条件式(式1)能够获得与圆形的积层压电元件同等的声压。
0.2πR2×ts≦V≦2.0πR2×ts (式1)
(其中,π为圆周率,R为振动板的半径,ts为振动板的厚度)
以下,表示推导(式1)的过程。
如果将圆形的振动板13的半径设为R,将振动板13的厚度设为ts,将多边形的积层压电元件12的有效层的对角线的长度的1/2设为αR,将积层压电元件12的有效层的厚度设为te,那么多边形的积层压电元件12的有效层的体积的合计(V)如以下。
V=((2αR)/(20.5))2×te (式2)
α优选为0.9。其原因在于:α较大则积层压电元件12与振动板13的接触面积增加,从而电声转换装置11的声压变高,但为了将多边形的积层压电元件12配置在圆形的振动板13也需要余裕。如果将α=0.9代入到(式2),那么成为如下。
V=1.6R2×te (式3)
此处,分析条件如以下,对振动板13的中心部P的位移量进行评估。
·约束部:圆形的振动板13的边缘侧面
·施加电压:在积层压电元件12的厚度方向上为1VDC/10μm(电场强度固定)
图7以及图8分别表示在振动板13的半径(R)为4mm以及8mm的情况下,使振动板13的厚度(ts)与积层压电元件12的有效层的厚度(te)变动时的振动板13的中心部P的位移量。可知当将振动板13的厚度(ts)固定时(例如ts=100μm),振动板13的中心部P的位移量成为最大是在积层压电元件12的有效层的厚度(te)为与振动板13的厚度(ts)同等及较其稍大时,而与振动板13的大小无关。
图9表示对于振动板13的半径(R)为4mm的情况下的图7进行如下转换所得者,即,将x轴转换为相对于振动板13的厚度(ts)的积层压电元件12的有效层的相对厚度(te/ts),将y轴转换为相对于各振动板厚度下的振动板中心部的最大位移量的振动板中心部的相对位移量。另外,即便对除振动板13的半径(R)为4mm以外的情况(例如R=8mm的图8)进行相同的转换,也可获得与图9相同的结果。
根据图9,可知当满足0.4≦te/ts≦4.0时,振动板13的相对位移量为0.6以上,能够充分确保声压。如果将其代入到(式3),那么成为0.2πR2×ts≦V≦2.0πR2×ts,从而推导出(式1)。
进而,根据图9,可知当满足0.6≦te/ts≦2.5以及0.8≦te/ts≦2.0时,振动板13的相对位移量分别为0.8以上及0.9以上,从确保声压方面来看更优选。如果将这些代入到(式3),那么分别如以下。
0.3×πR2×ts≦V≦1.3×πR2×ts (式4)
0.4×πR2×ts≦V≦1.0×πR2×ts (式5)
多边形的积层压电元件的有效层的体积的合计(V)优选0.7~1830mm3。在本形态中,以煅烧后积层压电元件的有效层成为对角线长10mm(长度7.07mm、宽度7.07mm)、高度0.15mm(150μm)的方式制成。有效层的体积的合计(V)为7.5mm3。
因为振动板13的半径(R)为5.55mm,厚度(ts)为200μm,所以如果代入到(式1)的左边、右边,那么为如以下。
0.2πR2×ts((式1)的左边)=3.9mm3
2.0πR2×ts((式1)的右边)=38.7mm3
可知因为有效层的体积的合计(V)为7.5mm3,所以满足(式1)。
将本形态的具备正方形的积层压电元件的电声转换装置的声压特性27与具备圆形的积层压电元件(积层压电元件的半径为0.9×R)的电声转换装置的音压特性28的比较示于图10。本形态的电声转换装置的声压特性27在约1000Hz的第一峰值与约4500Hz的第二峰值均超过100dB。可知满足(式1)的本形态的电声转换装置表现出与具备圆形的积层压电元件的电声转换装置同等的声压特性。
(第二实施方式)
图11表示第二实施方式的电声转换装置31的内部构造。第二实施方式在与第二电极层32b电连接的导线33的连接方法上与第一实施方式不同。除此以外与第一实施方式相同,因此对不同的方面进行说明。
在积层压电元件34的第一表面形成有第一表面电极层35、以及与其相隔而形成有第三表面电极36。第三表面电极36以及第二电极层32b(包含形成在与振动板相接的侧的第二表面电极层37),在与引出第一表面电极层35的侧面为相反侧的侧面引出。第三表面电极36以及第二电极层32b(包含第二表面电极层37)与形成在引出的侧面的第二侧面电极38连接。
与第二电极层32b(包含第二表面电极层37)电连接的导线33焊接在第三表面电极36,该第三表面电极36形成在积层压电元件34的第一表面。因此,形成在积层压电元件34的第二表面的第二表面电极层37无需与振动板39导通。因此,作为振动板39,除使用第一实施方式中记载的金属以外,也可使用树脂。作为树脂,可列举PET(polyethyleneterephthalate,聚对苯二甲酸乙二酯)、氨基甲酸乙酯。
第二实施方式的有效层40(图11的斜线部)的体积的合计(V)为7.5mm3,满足(式1)。
(第三实施方式)
图12表示第三实施方式的电声转换装置41的内部构造。第三实施方式在与第二电极层42b电连接的导线43的连接方法以及不在积层压电元件44的第二表面形成第二表面电极层的方面与第一实施方式不同。除此以外与第一实施方式相同,因此对不同的方面进行说明。
在积层压电元件44的第一表面形成有第一表面电极层45、以及与其相隔而形成有第三表面电极46。不在与振动板相接的侧的积层压电元件44的第二表面形成第二表面电极层。第三表面电极46以及第二电极层42b(不形成第二表面电极层)在与引出第一表面电极层45的侧面为相反侧的侧面引出。第三表面电极46以及第二电极层42b(不形成第二表面电极层)与形成在引出的侧面的第二侧面电极48连接。
与第二电极层42b(不形成第二表面电极层)电连接的导线43焊接在第三表面电极46,该第三表面电极46形成在积层压电元件44的第一表面。因此,第二电极层42b无需与振动板49导通。因此,作为振动板49,除使用第一实施方式中记载的金属以外,也可使用树脂。作为树脂,可列举PET。
第三实施方式的有效层50(图12的斜线部)的体积的合计(V)为6.0mm3,满足(式1)。
(第四实施方式)
图13表示第四实施方式的电声转换装置51的外观。在本形态中,在多边形的积层压电元件52的顶点中的至少1个形成切口53。在积层压电元件52为矩形的情况下,可在4个顶点中的至少1个且最多3个形成切口53。
因为切口53成为积层压电元件52的基准点,所以能够切实地进行将侧面电极形成在特定的位置,或将积层压电元件52配置在圆形的振动板的特定位置的作业。因此,电声转换装置的音质的不均变小。只要能够识别则可不管切口53的形状如何。在本形态中为三角形状。
(第五实施方式)
图14表示第五实施方式的电声转换装置54的外观。圆形的振动板55在圆周上具备4个多边形的切口56。连结不相邻的一对切口56的直线57在圆形的振动板55的中心相交。直线相交的角度可为90°,也可为除此以外的角度。积层压电元件58的多边形的顶点配置在相邻的2个切口56之间。因为切口56成为基准点,所以积层压电元件58的定位变得容易。
支撑部件59在同心圆的级差具备4个突起60(2个突起60隐藏在级差的背后而未图示)。4个突起60形成在与4个多边形的切口56嵌合的位置。通过切口56与突起60嵌合,而容易将电声转换装置54固定在支撑部件59。
在积层压电元件为圆形的情况下,为了不使积层压电元件覆盖切口,而必须使积层压电元件的半径变小。在本形态中,以多边形的积层压电元件58的顶点不覆盖切口56的方式配置。因为能够将积层压电元件58不变小而配置,所以能够维持声压。另外,具备切口56的振动板55的半径是按照视为无切口的假想圆算出。另外,于在圆形的振动板的外周部形成有突起的情况下,按照视为无突起的假想圆算出振动板的半径。
另外,如上所述对本实施方式进行了详细说明,但业者可容易理解能够有实质上不脱离本发明的新颖事项以及效果的多个变化。
例如,图14的电声转换装置54将切口56的数量特定为4个,但只要有至少1个,就容易以其为基准来决定电声转换装置54的位置。另外,切口56的形状也只要与突起嵌合,就不特别限定于多边形。切口56的形状除了三角形、四边形、梯形、正方形、长方形、五边形等多边形以外,还可列举圆弧、U字等。
对于支撑部件59的突起60,也只要与切口56嵌合,那么数量与形状无特别限定。突起60的形状除三角形、四边形、梯形、正方形、长方形、五边形等多边形以外,还可列举圆弧、U字等。因此,这种变化例全部包含在本发明的范围内。
符号的说明
11、31、41、51、54、61 电声转换装置(压电声零件)
12、34、44、52、58、62、65 积层压电元件(压电板)
13、39、49、55、63 振动板(金属板)
14、33、43、71 导线
15、66 压电体层
16、67 电极层
16a 第一电极层
16b、32b、42b 第二电极层
17、35、45、68 第一表面电极层
18、37、69 第二表面电极层
19 内部电极层
20 第一侧面电极
21、38、48 第二侧面电极
22 振动板的变形较大的区域
23 在侧面电极有破坏的顾虑的区域
24、40、50 有效层
25 余裕部
27 具备正方形的积层压电元件的电声转换装置的声压特性
28 具备圆形的积层压电元件的电声转换装置的声压特性
36、46 第三表面电极
53、56 切口
57 连结不相邻的一对切口的直线
59、64 支撑部件(壳体)
60 突起
70 连接电极(通孔)
Claims (4)
1.一种电声转换装置,其特征在于具备:
积层压电元件,将压电体层与电极层交替地积层而成,且在极性不同的至少一对电极层之间配置有所述压电体层;以及
振动板,配置所述积层压电元件;且
所述积层压电元件从积层方向观察为多边形,
配置所述积层压电元件的所述振动板的面为圆形,
介隔在所述至少一对电极层间的所述压电体层中,从积层方向投影而与所述至少一对电极层重叠的部分即有效层的体积的合计满足下述条件,
0.2πR2×ts≦V≦2.0πR2×ts
其中,π为圆周率,R为振动板的半径,ts为振动板的厚度。
2.根据权利要求1所述的电声转换装置,其特征在于:
所述至少一对电极层包含极性不同的第一电极层与第二电极层,
所述第一电极层与形成在所述积层压电元件的一侧面的第一侧面电极连接,
所述第二电极层与第二侧面电极连接,该第二侧面电极形成在与形成有所述第一侧面电极的侧面不同的侧面。
3.根据权利要求2所述的电声转换装置,其特征在于:
所述第一电极层包含电极层,该电极层形成在所述积层压电元件的与相接于所述振动板的面为相反侧的表面。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的电声转换装置,其特征在于:
所述积层压电元件从积层方向观察为正方形。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014-217703 | 2014-10-24 | ||
JP2014217703 | 2014-10-24 | ||
JP2015-105778 | 2015-05-25 | ||
JP2015105778A JP5798699B1 (ja) | 2014-10-24 | 2015-05-25 | 電気音響変換装置 |
PCT/JP2015/074559 WO2016063628A1 (ja) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | 電気音響変換装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106576209A CN106576209A (zh) | 2017-04-19 |
CN106576209B true CN106576209B (zh) | 2020-06-05 |
Family
ID=54348656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201580040597.5A Active CN106576209B (zh) | 2014-10-24 | 2015-08-31 | 电声转换装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10121956B2 (zh) |
JP (2) | JP5798699B1 (zh) |
KR (1) | KR101798362B1 (zh) |
CN (1) | CN106576209B (zh) |
WO (1) | WO2016063628A1 (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2551848A (en) * | 2016-07-01 | 2018-01-03 | Zwipe As | Biometric device with low power usage |
US10312429B2 (en) * | 2016-07-28 | 2019-06-04 | Eyob Llc | Magnetoelectric macro fiber composite fabricated using low temperature transient liquid phase bonding |
US10003872B2 (en) * | 2016-10-06 | 2018-06-19 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Speaker arrangement |
US11296272B2 (en) * | 2017-07-20 | 2022-04-05 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Multilayer piezoelectric element, piezoelectric vibration apparatus, and electronic device |
JP7151517B2 (ja) * | 2019-01-31 | 2022-10-12 | Tdk株式会社 | 音響装置及び電子機器 |
CN109985796A (zh) * | 2019-03-25 | 2019-07-09 | 中国船舶重工集团公司第七一五研究所 | 一种多边形阵元压电复合材料换能器制备方法 |
KR102667384B1 (ko) * | 2022-01-18 | 2024-05-21 | 한국전자기술연구원 | 햅틱 액추에이터 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1453971A (zh) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | 株式会社村田制作所 | 压电型电声转换器 |
CN1536930A (zh) * | 2003-04-10 | 2004-10-13 | ������������ʽ���� | 压电电声换能器 |
CN201150130Y (zh) * | 2008-02-01 | 2008-11-12 | 瑞声声学科技(常州)有限公司 | 微型压电扬声器 |
WO2013020921A1 (en) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | Noliac A/S | Piezoelectric transformer with high effective electromechanical coupling factors |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2745147B2 (ja) * | 1989-03-27 | 1998-04-28 | 三菱マテリアル 株式会社 | 圧電変換素子 |
JP3241129B2 (ja) * | 1992-11-20 | 2001-12-25 | 太平洋セメント株式会社 | 振動波モータ用の積層型圧電素子及びその製造方法 |
US6291932B1 (en) * | 1998-02-17 | 2001-09-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Stacked piezoelectric element and producing method therefor |
JPH11355892A (ja) | 1998-06-11 | 1999-12-24 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動板およびこの圧電振動板を用いた圧電音響部品 |
US6437484B1 (en) * | 1998-12-24 | 2002-08-20 | Kyocera Corporation | Piezoelectric resonator |
JP4429417B2 (ja) | 1999-06-30 | 2010-03-10 | 太陽誘電株式会社 | 圧電発音体 |
JP3700559B2 (ja) * | 1999-12-16 | 2005-09-28 | 株式会社村田製作所 | 圧電音響部品およびその製造方法 |
US20020130589A1 (en) * | 2001-01-29 | 2002-09-19 | Hiroshi Hamada | Piezoelectric vibrator, piezoelectric vibration apparatus for using the same and manufacturing method therefor |
US20030020377A1 (en) * | 2001-07-30 | 2003-01-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive element and piezoelectric/electrostrictive device and production method thereof |
JP3882890B2 (ja) * | 2001-10-19 | 2007-02-21 | 株式会社村田製作所 | 圧電型電気音響変換器 |
US20060028097A1 (en) * | 2004-06-18 | 2006-02-09 | Norikazu Sashida | Piezoelectric loudspeaker |
JP2006287314A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 圧電振動板及びそれを利用した電子機器 |
US8247945B2 (en) * | 2005-05-18 | 2012-08-21 | Kolo Technologies, Inc. | Micro-electro-mechanical transducers |
JP5304252B2 (ja) * | 2007-01-12 | 2013-10-02 | 日本電気株式会社 | 圧電アクチュエータおよび電子機器 |
US9070861B2 (en) * | 2011-02-15 | 2015-06-30 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Piezoelectric transducers using micro-dome arrays |
US9398377B2 (en) * | 2011-08-08 | 2016-07-19 | Hokuriku Electric Industry Co., Ltd. | Piezoelectric sound element |
IL225374A0 (en) * | 2013-03-21 | 2013-07-31 | Noveto Systems Ltd | Array@Matamari |
US9437802B2 (en) * | 2013-08-21 | 2016-09-06 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Multi-layered thin film piezoelectric devices and methods of making the same |
-
2015
- 2015-05-25 JP JP2015105778A patent/JP5798699B1/ja active Active
- 2015-08-21 JP JP2015163964A patent/JP2016086409A/ja active Pending
- 2015-08-31 KR KR1020177003001A patent/KR101798362B1/ko active IP Right Grant
- 2015-08-31 WO PCT/JP2015/074559 patent/WO2016063628A1/ja active Application Filing
- 2015-08-31 US US15/514,793 patent/US10121956B2/en active Active
- 2015-08-31 CN CN201580040597.5A patent/CN106576209B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1453971A (zh) * | 2002-04-26 | 2003-11-05 | 株式会社村田制作所 | 压电型电声转换器 |
CN1536930A (zh) * | 2003-04-10 | 2004-10-13 | ������������ʽ���� | 压电电声换能器 |
CN201150130Y (zh) * | 2008-02-01 | 2008-11-12 | 瑞声声学科技(常州)有限公司 | 微型压电扬声器 |
WO2013020921A1 (en) * | 2011-08-09 | 2013-02-14 | Noliac A/S | Piezoelectric transformer with high effective electromechanical coupling factors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016063628A1 (ja) | 2016-04-28 |
KR20170024612A (ko) | 2017-03-07 |
JP2016086405A (ja) | 2016-05-19 |
US20170222118A1 (en) | 2017-08-03 |
JP2016086409A (ja) | 2016-05-19 |
US10121956B2 (en) | 2018-11-06 |
KR101798362B1 (ko) | 2017-11-15 |
CN106576209A (zh) | 2017-04-19 |
JP5798699B1 (ja) | 2015-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106576209B (zh) | 电声转换装置 | |
JP3123435B2 (ja) | 圧電型電気音響変換器 | |
CN107799651B (zh) | 振动装置 | |
JP2019146020A (ja) | 超音波センサー、超音波装置、及び超音波センサーの製造方法 | |
JP6557367B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2013157439A (ja) | 圧電素子および圧電アクチュエータ | |
JP6874595B2 (ja) | 振動デバイス及び音響デバイス | |
JP6717222B2 (ja) | 振動デバイス | |
WO2020036122A1 (ja) | 振動デバイス | |
JP2022115575A (ja) | 振動デバイス | |
JP2021039969A (ja) | 振動デバイス | |
JP6983732B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
US11746000B2 (en) | MEMS device | |
JP6263902B2 (ja) | 超音波発生装置 | |
JP7151517B2 (ja) | 音響装置及び電子機器 | |
JP2020178178A (ja) | 圧電素子、振動デバイス及び電子機器 | |
JP2022146461A (ja) | 音響デバイス | |
JP7099596B1 (ja) | 圧電素子 | |
WO2022230676A1 (ja) | アクチュエータ、および、流体制御装置 | |
JPWO2018016630A1 (ja) | 圧電振動発生デバイス及び圧電振動発生デバイスを備えた機器 | |
JP7099598B1 (ja) | 圧電素子 | |
WO2021002101A1 (ja) | 流体制御装置 | |
US20160066096A1 (en) | Acoustic transducer | |
JP2022074825A (ja) | 振動デバイス | |
JP2022074823A (ja) | 振動デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |