JP5304252B2 - 圧電アクチュエータおよび電子機器 - Google Patents
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Description
(第1の実施形態)
図3は、本実施形態の圧電アクチュエータの構成を示す分解斜視図であり、図4は、図3の圧電アクチュエータの縦断面図である。
本発明の圧電アクチュエータは、上記実施形態に示したものに限らず図10A、図10Bに示すような構成であってもよい。図10Aは第2の実施形態の圧電アクチュエータの構成を示す上面図であり、図10Bは該アクチュエータの縦断面図である。図10A、図10Bの圧電アクチュエータ57では、楕円形状の支持部材46c、振動膜31cが使用されている。その他の構成については第1の実施形態と同様である。このように、本発明では支持部材の輪郭形状は、圧電素子の輪郭形状が異なれば、特に限定されるものではなく、円形であってもよいし、矩形であってもよい。さらには、多角形であってもよい。特に、楕円形の支持部材を使用した場合は、音響素子として充分な振動振幅を得ることができるうえに、長径方向と短径方向とのバランスを調整することで、機器実装時でのサイズや形状上の制約を緩和させる。また、隙間スペースなどへの実装も容易にするため、小型アクチュエータとして利用価値は高い。
本発明の圧電アクチュエータは、上記実施形態に示したものに限らず図11A、図11Bに示すような構成であってもよい。図11Aは第3の実施形態の圧電アクチュエータの構成を示す上面図であり、図11Bは該アクチュエータの縦断面図である。図11A、図11Bの圧電アクチュエータ56では、正方形に形成された圧電素子12と、円形の支持部材48が使用されており、圧電素子12、振動膜34、支持部材48は、第1の実施形態の圧電素子10、振動膜30、支持部材45の輪郭形状のみを変更したものであり、その材質や基本的構造については第1の実施形態と同様である。例えば、圧電板の上下面にそれぞれ上部電極層と下部電極層とが形成されている点については、上記実施形態と同様である。その他の構成については第1の実施形態と同様である。
本発明の圧電アクチュエータは、上記実施形態に示したものに限らず図12A、図12Bに示すような構成であってもよい。図12Aは第4の実施形態の圧電アクチュエータの構成を示す分解斜視図であり、図12Bは該アクチュエータの縦断面図である。
本発明の圧電アクチュエータは、さらに、上記実施形態に示したものに限らず図13、図14に示すような構成であってもよい。図13は、第5の実施形態の圧電アクチュエータの構成を示す上面図であり、図14は、該アクチュエータに用いられる台座単体を示す上面図である。
本発明の圧電アクチュエータは、上記実施形態に示したものに限らず図17に示すような構成であってもよい。図17の圧電アクチュエータ55では、湾曲部33bを備えた振動膜33が使用されている。その他の構成については第1の実施形態と同様である。
以上、圧電素子10が台座の一方の面に固定された構成を例に挙げて説明してきたが、本発明の圧電アクチュエータはそれに限定されるものではない。図18に示すような、バイモルフ型の圧電素子11を搭載した構成とすることも可能である。
本発明の圧電アクチュエータは、台座外周部と支持体との間の振動膜介在部Aの撓み量δ(m)は下記のように算出できる。なお、台座外周部と支持体内径部との間の振動膜介在部Aは、図20で示されるように、符号30aで示される振動膜介在部Aは、台座20の外周部20cと、支持部材45の内周部45aとの間にある振動膜で構成される介在部位であり、この振動膜介在部Aの撓み量δ(m)は、下記算出式(1)から算出される。本発明における振動膜介在部Aの撓み量の算出方法について以下に説明する。図21は、本発明の圧電アクチュエータの模式的な断面図であり、図22は、図21のX1で示される領域を拡大した図である。下記算出式(1)は、図22で示されるような振動膜介在部を片持ち梁構造とした式であり、ここでの片持ち構造は図22で示されるように、振動膜介在部の一方の端は支持体に連結することで固定端部82を形成し、もう一方の端は自由端83である構造である。そして、上記自由端の先端部に、規定された荷重80を加えることで、撓み量を算出することができる。また、算出式(1)中、Lは圧電素子径方向に対する振動膜介在部の長さ、厚みhは振動膜材質の厚み、Eは振動膜材料の縦弾性係数である(図3参照)。そして、本実施形態では、荷重量を荷重は1N(N/m2)とし、梁部の幅を0.001mに規定して計算した。なお、本来、本発明の圧電アクチュエータ形状における振動膜介在部の撓み量の算出は、図3に示されるようなトーラス状の平面形状を考慮して行うが、算出式(1)では、厚み、振動膜材質の縦弾性係数、介在部長さの変化が累乗で影響をあたえるのに対して、平面面積による影響は小さく、平面形状が矩形形状でも近似が可能であり、本実施形態では幅0.001mmの長方形形状として、撓み量を算出した。
撓み量(δ)
δ = (W・L3)/(3・E・I) ・・・・・(撓み量式 式1)
L:台座外周部から支持体間の長さ (m)
E:振動膜材料の縦弾性係数 (N/m2)
W:荷重 (N)
I:慣性モーメント (m4)
I = (b・h3)/ 12 ・・(慣性モーメント式 式2)
b:幅 0.001(m)
h:厚み(m)
以下に例として、図24で示される形状の振動膜介在部での撓み量を算出する。Lは振動膜介在部の長さで0.001m(1mm)、縦弾性係数(材質:ウレタン)は4.0×108(N/m2)、振動膜の厚みhは8×10−5(m)(80μm)、規定値であるb:0.001m(1mm)、規定値である荷重W:1Nを代入して算出すれば、撓み量δは0.0195mとなる。
(評価1)基本共振周波数の測定:交流電圧1V入力時の基本共振周波数を測定した。
(評価2)最大振動速度振幅:交流電圧1V印加、共振時の最大振動速度振幅Vmax(図8A、図8Bを参照)を測定した。
(評価3)平均振動速度振幅:図25に示すように、圧電素子の長手方向に均一に分割された測定点20点において振動速度振幅を測定し、これらの平均値を算出した。
(評価4)振動膜介在部の撓み量の算出。下記式より、撓み量を算出した。なお、下記の式中、荷重は1N(N/m2)、幅bを0.001m(慣性モーメント式)に規定して計算する(計算方法の詳細は第8の実施形態を参照)。
撓み量(δ)
δ = (W・L3)/(3・E・I) ・・・・・(撓み量式 式1)
L:台座外周部から支持体間の長さ
E:振動膜材料の縦弾性係数 (N/m2)
W:荷重 (N)
I:慣性モーメント (m4)
慣性モーメント(I)
I = (b・h3)/ 12 ・・・(慣性モーメント式 式2)
b:幅 0.001(m)
h:厚み(m)
(評価5)振動形態:図8A、図8Bに示すように、「振動速度比」を平均振動速度振幅Vm/最大速度振幅Vmaxと定義し、この振動速度比の値に基き振動の形態を判別した。すなわち、振動速度比が小さいときには図8Aに示すような屈曲運動(山型運動)となり、振動速度比が大きいときには図8Bに示すような往復運動(ピストン型運動)となることから、本実施例では、そのしきい値を振動速度比=0.8として、振動速度比が0.8未満のときには屈曲運動、0.8以上のときにはピストン型運動であると判別した。
(評価7)落下衝撃試験:圧電アクチュエータを搭載した携帯電話を50cm直上から、5回自然落下させ、落下衝撃安定性試験を行った。具体的には、落下衝撃試験後の割れ等の破壊を目視で確認し、さらに、試験後の音圧特性を測定した。その結果、音圧レベル差(試験前の音圧レベルと試験後の音圧レベルとの差のことを指す)が3dB以内を○とし、3dB以上を×とした。
実施例1として、図18に示すような、台座上面に圧電素子11が貼り付けられた第1の実施形態(図3、図4も参照)の圧電アクチュエータ51を作製した。本質的な相違ではないが、本実施例では、振動膜31が支持部材46の下面に貼付けられた構成となっている。
圧電素子11 :外径=φ16mm、厚み=50μm(0.05mm)の圧電板の両面に、それぞれ厚み8μmの上部電極層および下部電極層を形成した。
台座21 :外径=φ18mm、厚み=30μm(0.03mm)のリン青銅を使用した。
振動膜31 :外径=21×21mm、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材46 :外径=21×21mm、枠抜き部内径=20×20mm、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
〔結果〕
基本共振周波数 :854Hz
最大振動速度振幅 :215mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :88dB
音圧レベル(5kHz) :95dB
音圧レベル(10kHz) :87dB
落下衝撃安定 :○
上記の結果より明らかのように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数が1kHz以下で、振動振幅が大きく、ピストン型の振動姿態をとることが実証された。また、1〜10kHzの広い周波数帯域で80dBを超える音圧レベルを有し、ディップもない良好な音響特性を有することが実証された(図27に示す実施例1の音響特性図を参照)。また、圧電アクチュエータ厚み(支持部材46の厚み)は1.5mmであり、十分な薄型化がなされていた。
比較例1として、図28に示すような、台座外周部が支持部材に直接接合された本発明に関連する圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータ550は図1に示したものと同様の構成を有する。なお、圧電素子510、台座520、および支持部材545は、上記実施例1の圧電素子11、台座21、および支持部材46と同一の材質で構成されている。
台座520 :外径=φ21mm((厚み・材質は、実施例1の台座21と同じ))
支持部材545 :実施例1の支持部材45と同じ
圧電素子510、台座520、および支持部材530は同心円状の配置とした。
〔結果〕
共振周波数 :1418Hz
最大振動速度振幅 :47mm/s
振動速度比 :0.31
振動姿態 :屈曲型
落下衝撃安定 :×
実施例2として、図29A、図29Bに示すような、第4の実施形態型(図12も参照)の圧電アクチュエータ52を作製した。本実施例の圧電アクチュエータ52は、振動膜32に開口部32aが形成されている。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21 :実施例1と同じ
振動膜32 :外径=21×21mm、内径(開口部径)=φ17mm(厚み・材質は、実施例1の振動膜30と同じ)
支持部材46 :実施例1と同じ
開口部32aは、振動膜32の中心に形成した。
基本共振周波数 :875Hz
最大振動速度振幅 :245mm/s
振動速度比 :0.86
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :91dB
音圧レベル(5kHz) :98dB
音圧レベル(10kHz) :93dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例1に比べて、基本共振周波数での振動振幅も大きく、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例2aとして、以下の圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータは、図30A、図30Bで示すような実施例2の備える振動フィルムの接合位置が異なり、その他の構成は第1の実施例と同じである。
基本共振周波数 :870Hz
最大振動速度振幅 :240mm/s
振動速度比 :0.87
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :90dB
音圧レベル(5kHz) :97dB
音圧レベル(10kHz) :93dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例2と同等の特性を有しており、振動膜の接合位置が台座上部、下部に関わらず、1〜10kHzでの音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例3として、図31A、図31Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ53は、長方形の振動膜33aと、支持部材47aを備え、その他の構成は第1の実施例と同じである。
圧電素子11 :実施例1と同じ(実施例3と同じ)
台座21 :実施例3と同じ
振動膜33a :外径=21×25mm、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材47a :外径=21×25mm、枠抜き部内径=20×24mm、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
基本共振周波数 :815Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :82dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :105dB
音圧レベル(10kHz) :101dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数が実施例1よりもさらに低減し、また、5kHz以降の周波数帯域での音圧レベルが高いことが実証された。
実施例4として、図32A、図32Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ54は、楕円形の振動膜34b、支持部材47bを備え、の形状が長方形であり、その他の構成は第1の実施例と同じである。
圧電素子11 :実施例1と同じ(実施例3と同じ)
台座21 :実施例3と同じ
振動膜33b :外径=短径21×長径25mm、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材47b :外径=短径21×長径25mm、枠抜き部内径=短径20×長径24mm、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
基本共振周波数 :825Hz
最大振動速度振幅 :210mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :89dB
音圧レベル(5kHz) :102dB
音圧レベル(10kHz) :97dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数が実施例1よりもさらに低減し、また、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例5として、図33A、図33Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ55は、実施例1で備える振動膜、支持部材の形状を変形させたものであり、その他の構成は第1の実施例と同じである。
圧電素子11 :実施例1と同じ(実施例3と同じ)
台座21 :実施例1と同じ
振動膜31b :外形=正方形(外形=21×21mm)の4隅がR形状、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材46b :外形=正方形(外形=21×21mm)の4隅がR形状、内径=正方形(外形=20×20mm)の4隅がR形状、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
基本共振周波数 :865Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :92dB
音圧レベル(10kHz) :88dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例1と同等の基本共振周波数と振動振幅を有し、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例6として、図34A、図34Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ56は、正方形の圧電素子12、正方形の台座22、円形の振動膜34、円形の支持部材48を備えるもので、各部の具体的な構成は以下の通りである。
圧電素子12 :外径=16×16mm、厚み=50μm(0.05mm)の圧電板の両面に、それぞれ厚み8μmの上部電極層および下部電極層を形成した。
台座22 :外径=18×18mm、厚み=30μm(0.03mm)のリン青銅を使用した。
振動膜34 :外径=φ21mm、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材48 :外径=φ21mm、枠抜き部内径=φ20mm、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
基本共振周波数 :820Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :86dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :92dB
音圧レベル(10kHz) :86dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、共振周波数が実施例1よりも低く、また、1〜10kHz帯域で、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例7として、図35A、図35Bに示すような、第5の実施形態型(図13も参照)の圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ51aは、台座21に8本の梁21−1を設けたものである。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21a :厚み・材質は、実施例1の台座20と同じ
梁21−1 :放射状かつ等間隔で8本/各梁21−1は梁幅2mm(一定幅)、長さ1mm
本体部21−2:外径=φ18mm
振動膜31 :実施例1と同じ
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :825Hz
最大振動速度振幅 :275mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :85dB
音圧レベル(3kHz) :90dB
音圧レベル(5kHz) :97dB
音圧レベル(10kHz) :92dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数が実施例1よりもさらに低減し、また、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例8として、図36A、図36Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ51bは、上記実施例7の変形例として構成したものであり、振動膜31に代えて、開口部32aが形成された振動膜32を備えている。その他の構成は第7の実施例と同じである。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21a :実施例7と同じ
振動膜32 :外径=φ22mm、内径(開口部径)=φ17mm、(厚み・材質は、実施例9の振動膜31と同じ)
支持部材46 :実施例1と同じ
開口部32aは、振動膜32の中心に形成した。
基本共振周波数 :855Hz
最大振動速度振幅 :310mm/s
振動速度比 :0.86
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :88dB
音圧レベル(3kHz) :95dB
音圧レベル(5kHz) :103dB
音圧レベル(10kHz) :99dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数が実施例1よりもさらに低減し、また、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例9として、図37に示すようなバイモルフ型の圧電アクチュエータ51cを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ51cは、実施例1の圧電アクチュエータ51(図26A、図26B参照)の振動膜31の裏面に、追加の圧電素子11Bを配すことでバイモルフ型としたものである。つまり、圧電素子11bは、図示するように振動膜31を介在させた状態で台座21の下面側に取り付けられている。
圧電素子11A :実施例1の圧電素子10と同じ
圧電素子11B :基本的な構成は圧電素子11と同じ(ただし、圧電素子11Aとは逆の動作をするように構成されている。)
台座21 :実施例1と同じ
振動膜31 :実施例1と同じ
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :897Hz
最大振動速度振幅 :360mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :91dB
音圧レベル(3kHz) :93dB
音圧レベル(5kHz) :110dB
音圧レベル(10kHz) :107dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例1よりも、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例10として、図38に示すような第7の実施形態(図18も参照)の圧電アクチュエータを作製した。本実施例の圧電アクチュエータ51dでは、振動膜に開口部が形成されており、台座21の両面に圧電素子11A、11Bが直接貼り付けられている。
圧電素子11A :実施例1の圧電素子11と同じ
圧電素子11B :基本的な構成は圧電素子11と同じ(ただし、圧電素子11Aとは逆の動作をするように構成されている。)
台座21 :実施例1と同じ
振動膜32 :実施例2と同じ(開口部が形成されている)
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :915Hz
最大振動速度振幅 :405mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :94dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :108dB
音圧レベル(10kHz) :115dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例1よりも、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例11として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例10で使用した圧電素子11Bの厚みを変更したもので、圧電素子11Aと圧電素子11Bとの厚みを異なる構成にしたものである。その他の構成は実施例10の圧電アクチュエータと同一である。
圧電素子11A :実施例1の圧電素子11と同じ
圧電素子11B :外径=φ16mm、厚み=100μm(0.01mm)の圧電板の両面に、それぞれ厚み8μmの上部電極層および下部電極層を形成した。(ただし、圧電素子11Aとは逆の動作をするように構成されている。)
台座21 :実施例1と同じ
振動膜32 :実施例2と同じ(開口部が形成されている)
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :955Hz
最大振動速度振幅 :385mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :93dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :108dB
音圧レベル(10kHz) :115dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、実施例1よりも、1〜10kHzでの音圧レベルが高いことが実証された。
実施例12として、図39に示すような圧電アクチュエータ51fを作製した。この圧電アクチュエータは、実施例10の圧電素子11Bとの接合位置を変更したもので、圧電素子11Aと、圧電素子11Bを同心円状外に配置することで、対称性を崩したことを特徴とする。その他の構成は実施例10の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :915Hz
最大振動速度振幅 :220mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :85dB
音圧レベル(3kHz) :84dB
音圧レベル(5kHz) :105dB
音圧レベル(10kHz) :93dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
(実施例13)
実施例13として、図40に示すような第6の実施形態型(図17も参照)の圧電アクチュエータを作製した。本実施形態の圧電アクチュエータ51eは、実施例1の圧電アクチュエータの振動膜形状を変更したものである。すなわち、台座外周部と支持部材内周部との隙間に湾曲部31aを設けたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21 :実施例1と同じ
振動膜31 :外径=φ21mm、枠内抜き取り部内径=φ17mm(厚み・材質は、実施例1の膜31と同じ)
湾曲部31a:曲率半径r=6mm
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :775Hz
最大振動速度振幅 :220mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :81dB
音圧レベル(3kHz) :85dB
音圧レベル(5kHz) :93dB
音圧レベル(10kHz) :84dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、共振周波数が実施例1よりも低く、また、1〜10kHzでの80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例14として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1の圧電アクチュエータ51の振動膜31の材質を変更(ウレタン→PET)したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21 :実施例1と同じ
振動膜31 :形状は実施例1と同じ。厚み=50μmのPETを使用。
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :885Hz
最大振動速度振幅 :230mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :87dB
音圧レベル(10kHz) :95dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例15として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1の圧電アクチュエータ51の台座21の材質を変更し、かつ、振動膜31にPET膜を使用したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
圧電素子11 :実施例1と同じ
台座21 :形状は実施例1と同じ。厚み=40μmの42アロイを使用した。
振動膜31 :厚み=50μmのPETを使用した。
支持部材46 :実施例1と同じ
基本共振周波数 :865Hz
最大振動速度振幅 :220mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :86dB
音圧レベル(10kHz) :92dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例16として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した接着剤の材質をアクリル系接着に変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :841Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :82dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :93dB
音圧レベル(10kHz) :88dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例17として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した支持部材46の材質を真鍮に変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :850Hz
最大振動速度振幅 :215mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :89dB
音圧レベル(10kHz) :90dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例18として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した支持部材46の厚みを1mmに変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :848Hz
最大振動速度振幅 :210mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :82dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :90dB
音圧レベル(10kHz) :89dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例19として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した圧電板11をチタン酸バリウム系セラミックに変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :915Hz
最大振動速度振幅 :220mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :92dB
音圧レベル(10kHz) :85dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例20として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1の圧電板で使用した電極材料を銀に変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :865Hz
最大振動速度振幅 :210mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :87dB
音圧レベル(5kHz) :94dB
音圧レベル(10kHz) :88dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例21として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した圧電板での電極厚みを5μmに変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :845Hz
最大振動速度振幅 :220mm/s
振動速度比 :0.87
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :93dB
音圧レベル(10kHz) :89dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例22として、次のような圧電アクチュエータを作製した(不図示)。この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した圧電板を積層型セラミック素子に変更したものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。なお、実施例22での積層型セラミックス素子は、図41で示されるように、圧電層と電極層が交互に積層されたもので、厚み50μmの圧電層3層に、3μmの電極層4層を交互に積層した構成である。圧電層材料として、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックス,電極材料として銀パラジウム合金(重量比70%:30%)を用いた。
基本共振周波数 :905Hz
最大振動速度振幅 :250mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :87dB
音圧レベル(3kHz) :88dB
音圧レベル(5kHz) :99dB
音圧レベル(10kHz) :93dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例23として、次のような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、図42で示すような、実施例1で使用した圧電板の配置位置を変更したもので、支持部材と圧電素子の中心位置を同心外にすることにより、対称性を変更させたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :905Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :85dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :87dB
音圧レベル(10kHz) :91dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例24として、次のような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、図43で示すような、実施例1で使用した台座形状を変更し、台座形状により、対称性を変更させたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :945Hz
最大振動速度振幅 :235mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :87dB
音圧レベル(3kHz) :85dB
音圧レベル(5kHz) :88dB
音圧レベル(10kHz) :93dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例25として、次のような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、図44で示すような、実施例1で使用した台座形状を変更し、台座形状により、対称性を変更させたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :905Hz
最大振動速度振幅 :215mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :84dB
音圧レベル(5kHz) :87dB
音圧レベル(10kHz) :88dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
実施例26として、次のような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、図45で示すような、実施例1で使用した台座形状を変更し、台座形状により、対称性を変更させたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :880Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :82dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :99dB
音圧レベル(10kHz) :107dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
比較例2として、図46に示されるような圧電アクチュエータ550’を作製した。この圧電アクチュエータは、比較例1(図28参照)のアクチュエータの台座520裏面に振動膜530(実施例1の膜31と同じ)を貼り付けたものである。よって、振動膜530以外の構成は比較例1と全く同じである。
共振周波数 :1498Hz
音圧レベル :69dB
次に、音響素子を携帯電話機に搭載した例について、実施例14〜17および比較例4を参照して説明する。
実施例27として、図47に示すような携帯電話機70を用意し、この筐体内に実施例1(図26A、図26B参照)の圧電アクチュエータ51を搭載した。具体的には、携帯電話機のスピーカ部71の筐体内側面に、圧電アクチュエータ51を貼り付ける構成とした。
(評価):素子から10cm離れた位置に配置したマイクロホンにより、音圧レベルと周波数特性とを測定した。また、落下衝撃試験も行なった。
共振周波数 :775Hz
音圧レベル(1kHz) :85dB
音圧レベル(3kHz) :84dB
音圧レベル(5kHz) :90dB
音圧レベル(10kHz) :86dB
落下衝撃試験 :5回落下後においても圧電素子の割れは見られず、試験後、音圧レベル(1kHz)を測定したところ84dBであった。
実施例28として、上記実施形態同様、携帯電話機70内に実施例2(図20参照)の圧電アクチュエータ52を搭載した。評価については上記実施形態同様である。
共振周波数 :795Hz
音圧レベル(1kHz) :86dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :92dB
音圧レベル(10kHz) :85dB
落下衝撃試験 :5回落下後においても圧電素子の割れは見られず、試験後、音圧レベル(1kHz)を測定したところ86dBであった。
実施例29として、上記実施形態同様、携帯電話機70内に実施例3(図31A、図31B参照)の圧電アクチュエータ53を搭載した。評価については上記実施形態同様である。
共振周波数 :725Hz
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :85dB
音圧レベル(5kHz) :86dB
音圧レベル(10kHz) :84dB
落下衝撃試験 :5回落下後においても圧電素子の割れは見られず、試験後、音圧レベル(1kHz)を測定したところ82dBであった。
実施例30として、上記実施形態同様、携帯電話機70内に実施例4(図32A、図32B参照)の圧電アクチュエータ54を搭載した。評価については上記実施形態同様である。
共振周波数 :765Hz
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :86dB
音圧レベル(5kHz) :95dB
音圧レベル(10kHz) :87dB
落下衝撃試験 :5回落下後においても圧電素子の割れは見られず、試験後、音圧レベル(1kHz)を測定したところ83dBであった。
比較例3として、上記実施形態同様、携帯電話機70内に比較例2(図46参照)の圧電アクチュエータ550’を搭載した。
(評価):素子から10cm離れた位置に配置したマイクロホンにより、音圧レベルと周波数特性とを測定した。また、落下衝撃試験も行なった。
共振周波数 :1520Hz
音圧レベル :66dB
周波数特性 :凹凸の激しい特性を示した
落下衝撃試験 :2回落下後において圧電素子の割れが見られ、この時点で音圧レベルを測定したところ50dB以下であった。
比較例4として、図48に示すような電磁式の音響素子を作製した。図48に示す音響素子は、永久磁石191と、ボイスコイル193と、振動板192とを有し、電気端子194を通じてボイスコイルに電流を流すことで磁力が発生し、発生した磁力により、振動板192に吸引と反発とを繰り返させて音を発生するものである。なお、この音響素子の外形形状は、外形=φ20mmの円形であり、厚み=4.0mmである。
(評価):このように構成された音響素子に対し、素子から30cm離れた位置に配置したマイクロホンにより、音圧レベルと周波数特性とを測定した。
共振周波数=810Hz
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :85dB
音圧レベル(5kHz) :84dB
音圧レベル(10kHz) :81dB
実施例31として、実施例1の圧電アクチュエータを搭載したノート型パーソナルコンピュータ(不図示)を作製した。具体的には、携帯電話の場合と同じように、パーソナルコンピュータの筐体内側面に、圧電アクチュエータ51を貼り付ける構成とした。
(評価):素子から30cm離れた位置に配置したマイクロホンにより、音圧レベルと周波数特性とを測定した。また、落下衝撃試験も行なった。
共振周波数 :815Hz
音圧レベル(1kHz) :81dB
音圧レベル(3kHz) :85dB
音圧レベル(5kHz) :89dB
音圧レベル(10kHz) :84dB
落下衝撃試験 :5回落下後においても圧電素子の割れは見られず、試験後、音圧レベル(1kHz)を測定したところ80dBであった。
実施例32として、次に示すような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、実施例1の圧電アクチュエータ51を小型したものである。
圧電素子14 :外径=φ12mm(4mm減少)、厚み・材質は実施例1と同じ。
台座24 :外径=φ14mm(4mm減少)、厚み・材質は実施例1と同じ。
振動膜34 :外径=φ18mm(4mm減少)、厚み・材質は実施例1と同じ。
支持部材49 :外径=φ18mm(4mm減少)、内径φ16mm、厚み・材質は実施例1と同じ。
基本共振周波数 :920Hz
最大振動速度振幅 :205mm/s
振動速度比 :0.81
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :81dB
音圧レベル(3kHz) :82dB
音圧レベル(5kHz) :85dB
音圧レベル(10kHz) :81dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、1〜10kHzで、80dBを超える高い音圧レベルを実現できることが実証された。
以上、実施例1〜実施例26で各部材の形状および材質、部材の配置位置を変更するなどして、本発明による作用効果を検証してきたが、ここからは、圧電素子11、台座21、振動膜31、支持部材46につき、そのうちの1つないし2つの部材の形状のみを段階的に変更していった際の結果について説明する。まず、実施例33では、支持体輪郭形状と音響特性との関係について検証する。図49A、図49Bで示される本実施例の圧電アクチュエータ57は、圧電素子と台座の形状を固定し、支持部材と振動膜の輪郭形状を変更したもので、その他の構成は実施例1と同じである。
圧電素子11 :実施例1と同じ(外径=φ16mm)
台座21 :実施例1と同じ(外形=φ18mm)
振動膜31c :外形=長径長さa1+1(mm)、短径長さb1+1(mm)の長方形もしくは楕円形形状、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。(形状の詳細は表参照)
支持部材46c :外形=長径長さa1+1(mm)、短径長さb1+1(mm)の長方形もしくは楕円形形状、内径=長径長さa1(mm)、短径長さb1(mm)の長方形もしくは楕円形形状、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
実施例34では、圧電素子形状と音響特性との関係について検証する。図50A、図50Bで示される本実施例の圧電アクチュエータ58は、支持部材と振動膜の形状を固定し、圧電素子と台座の輪郭形状を変更したもので、その他の構成は実施例1と同じである(図26A、図26B参照)。
各部の具体的な構成は下記の通りである。
圧電素子13 :外形=長径長さa2(mm)、短径長さb2(mm)の長方形もしくは楕円形形状で、厚み=50μm(0.05mm)の圧電板の両面に、それぞれ厚み8μmの上部電極層および下部電極層を形成した。
台座23 :外形=長径長さa2+2(mm)、短径長さb2+2(mm)の長方形もしくは楕円形形状で、厚み=30μm(0.03mm)のリン青銅を使用した。
振動膜31 :外径=21×21mm、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。
支持部材46 :外径=21×21mm、枠抜き部内径=20×20mm、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
実施例35では、圧電素子形状と支持部材輪郭形状との組み合わせを変更して、音響特性との関係について検証する。図51A、図51Bで示される本実施例の圧電アクチュエータは、支持部材、台座、振動膜と圧電素子の形状を変更したもので、その他の構成は実施例1と同じである(図26A、図26B参照)。
圧電素子13 :外形=直径a4(mm)の円形形状で、厚み=50μm(0.05mm)の圧電板の両面に、それぞれ厚み8μmの上部電極層および下部電極層を形成した。
台座23 :外形=直径長さa4+2(mm)の円形形状で、厚み=30μm(0.03mm)のリン青銅を使用した。
振動膜31c :外形=a5+1(mm)×20(mm)の長方形で、厚み=80μmのウレタン製の膜を使用した。(形状の詳細は表参照)
支持部材46c :外形=a5+1(mm)×20(mm)の長方形形状、内径=a5(mm)×20(mm)の長方形形状、厚み=1.5mmのSUS304を使用した。
実施例36として、振動膜介在部Aの撓み量と音響特性との関係について検証する。下記実施例36a〜36cにおいて、振動膜材質、振動膜介在部Aの長さ、振動膜厚みを変更し、振動膜介在部Aの撓み量と運動姿態との関係を検証した。
実施例36aは、振動膜材質のみを変更し、振動膜材質以外については実施例2と同じであり、評価条件も実施例2と同じである。
圧電素子11 :実施例2と同じ
台座21 :実施例2と同じ
振動膜32 :4.0×108〜13.0×1010(N/m2)の範囲あるヤング率を有する材質に変更した。
振動膜形状は実施例2と同じ
支持部材46 :実施例2と同じ
振動膜時材質を変更したときの撓み量と振動姿態と関係、共振周波数F0および音圧レベルの結果を下記表10に示す。
実施例22bは、支持体46、円形の台座21の外径を変更し、振動膜介在部Aの長さを変更した。本実施例では、振動介在部長さ変更し、台座21、振動32以外の構造部については実施例2と同じであり、また評価条件も実施例2と同じである。図24に示すように、圧電素子11の外周部と台座21の外周部との間の距離X2を調整し、振動膜介在部Aの長さを変更した。
圧電素子11 :実施例2と同じ(外径=φ16mm)
台座21 :振動膜介在部Aが0.05mm〜2.0mmとなるように、外径を変更した。
振動膜31 :振動膜介在部Aの長さがが0.05mm〜2.0mmに変更した。
支持部材46 :実施例2と同じ
振動膜介在部Aの長さを変更したときの撓み量と振動姿態、共振周波数F0および音圧レベルの結果を表11に示す。
本実施例36cでは、振動膜厚みのみを変更した。本実施例では、振動膜厚みのみを変更し、振動膜以外の構造部については実施例2と同じであり、また評価条件も実施例2と同じである。
圧電素子11 :実施例2と同じ(外径=φ16mm)
台座21 :実施例2と同じ
振動膜32 :厚み5μm〜1mmとなるように振動膜厚みを変更した。
実施例2と同じ(外径=φ21mm)
支持部材46 :実施例2と同じ
振動膜厚みを変更したときの撓み量と振動姿態、共振周波数f0および音圧レベルの結果を表12に示す。
実施例37として、電気接続方法と音響特性との関係について検証する。下記実施例37a〜37dにおいて、圧電素子上下電極面の電気接続方法を変更し、音圧レベルと信頼性、振動阻害の影響を検証した。
実施例37aとして、図52A、図52Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、この圧電アクチュエータは、実施例1の電気接続方法として電気端子リード線23aを用いたものである。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。この構成によれば、圧電素子上部電極14a、台座部(圧電素子下部電極14bと台座(リン青銅)21は導通している)に、φ0.5mm、高さ0.3mm半田部22を介して、電気端子リード線23aが接合されている。なお、電気端子リードには、ポリウレタンで被膜された銅ニッケル線を使用した。
基本共振周波数 :855Hz
最大振動速度振幅 :225mm/s
振動速度比 :0.84
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :83dB
音圧レベル(3kHz) :92dB
音圧レベル(5kHz) :97dB
音圧レベル(10kHz) :95dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数での振動振幅も大きく、1〜10kHzでの音圧レベルが高く、電気端子リード線による振動阻害の影響を受けないことが実証された。
実施例36bとして、図53に示すような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、この圧電アクチュエータは、実施例1の電気接続方法として銅箔23bを用いたもので、圧電素子上部電極14a、台座に、1mm×3mm、厚み0.2mmの銅箔がエポキシ系接着剤を介して接合されている。その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :835Hz
最大振動速度振幅 :225mm/s
振動速度比 :0.83
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :84dB
音圧レベル(3kHz) :93dB
音圧レベル(5kHz) :96dB
音圧レベル(10kHz) :89dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数での振動振幅も大きく、1〜10kHzでの音圧レベルが高く、銅箔による振動阻害の影響を受けないことが実証された。
実施例37cとして、図54に示すような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、実施例1の電気接続方法としてポリイミド基板を用いたもので、圧電素子上部電極14a、台座に、1mm×3mm、厚み0.2mmのポリイミド基板23cが半田部22を介して接合されている。なお、このポリイミド膜上には、メッキ膜により電極パターンが形成されており、その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :845Hz
最大振動速度振幅 :245mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :85dB
音圧レベル(3kHz) :94dB
音圧レベル(5kHz) :98dB
音圧レベル(10kHz) :95dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数での振動振幅も大きく、1〜10kHzでの音圧レベルが高い。また、電気接続にポリイミド基板を用いているため、振動阻害を受けにくく、落下安定性が高いことが実証された。
実施例37bとして、図55A、図55Bに示すような圧電アクチュエータを作製した。この圧電アクチュエータは、この圧電アクチュエータは、実施例1で使用した台座21と振動膜31に、ポリイミド基板を用いたものである。なお、この構成によれば、台座と振動膜であるポリイミド基板上に電極パターンが形成されている特徴を持ち、その他の構成は実施例1の圧電アクチュエータと同一である。
基本共振周波数 :795Hz
最大振動速度振幅 :215mm/s
振動速度比 :0.82
振動姿態 :ピストン型
音圧レベル(1kHz) :82dB
音圧レベル(3kHz) :95dB
音圧レベル(5kHz) :97dB
音圧レベル(10kHz) :90dB
落下衝撃安定 :○
上記から明らかなように、本実施例の圧電アクチュエータによれば、基本共振周波数での振動振幅も大きく、1〜10kHzでの音圧レベルが高い。また、台座と振動膜がポリイミド基板で形成される一体構造であるため、落下安定性が高く、また、基板内部に電極パターンが形成されているため、電気接続も容易となることが実証された。
実施例1〜26の圧電アクチュエータは、比較例3(電磁式アクチュエータ)の周波数特性に近い周波数特性を示しており、1〜10kHzの広い周波数帯域での音圧レベルが高い。一方、比較例4の従来型の圧電アクチュエータでは、周波数特性のグラフに激しい凹凸が見られた。この点からしても、本発明によれば音響素子の周波数特性が改善されることが実証された。特に、本実施例では、いずれもその共振周波数f0が比較例の共振周波数f0よりも低くなっており、このことからも、本発明に係る音響素子の周波数帯域が拡大したことが実証された。また、携帯電話に実装した実施例27、28、29では、比較例4と比べて、共振周波数が低く、その音圧レベルの向上も図られていた。
Claims (15)
- 圧電素子と、
少なくとも一方の面に前記圧電素子が貼り付けられる台座と、
前記圧電素子及び前記台座を支持するための支持部材と、
前記台座より低剛性であり、面上で前記台座を支持する振動膜と、を有し、
前記振動膜は、前記支持部材に接続されており、
前記圧電素子の輪郭形状と前記支持部材の輪郭形状とが互いに異なる、圧電アクチュエータ。 - 前記台座の輪郭形状と前記支持部材の輪郭形状とが互いに異なる、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子の中心位置と、前記支持部材の中心位置とが、前記圧電素子の面内方向に異なる位置となるように配置されている、請求項1または2に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子の輪郭形状が円形もしくは楕円形であり、かつ前記支持部材の輪郭形状が矩形である、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動膜のうち、前記台座が配置される領域の少なくとも一部に開口部が形成されている、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記支持部材の内周部と前記台座の外周部との間に形成される振動膜介在部Aの撓み量δを
δ = (W・L3)/(3・E・I)
L:振動膜介在部の長さ (m)
E:振動膜材料の縦弾性係数 (N/m2)
W:荷重 (N)
I:慣性モーメント (m4)
I = (b・h3)/ 12
b:幅 0.001(m)
h:厚み(m)
により算出したとき、前記撓み量δは0.001から5の範囲にある、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。 - 前記台座の外周部には、前記圧電素子が前記台座に貼り付けられる面と平行な面内で外側に向かって延びる梁が複数形成されている、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記複数の梁が互いに等間隔に配置されている、請求項7に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動膜の、前記台座が配置される領域の周辺部に、前記振動膜を前記厚み方向に立体的に湾曲させた湾曲部が形成されている、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動膜は樹脂材料である、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動膜は、ウレタン、ポリエチレンテレフタレート、およびポリエチレンフィルムのうちのいずれかである、請求項10に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記振動膜は、前記台座よりも弾性率が小さい材質からなる、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- バイモルフ型素子を構成するため、前記圧電素子とは別の圧電素子をさらに有する、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 前記圧電素子は、圧電材料層と電極層とが交互に積層された積層型構造である、請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1に記載の圧電アクチュエータを音響素子として備えた電子機器。
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