WO2012001901A1 - 発振装置 - Google Patents

発振装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2012001901A1
WO2012001901A1 PCT/JP2011/003480 JP2011003480W WO2012001901A1 WO 2012001901 A1 WO2012001901 A1 WO 2012001901A1 JP 2011003480 W JP2011003480 W JP 2011003480W WO 2012001901 A1 WO2012001901 A1 WO 2012001901A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
oscillation device
elastic member
piezoelectric
vibration
Prior art date
Application number
PCT/JP2011/003480
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
康晴 大西
黒田 淳
元喜 菰田
岸波 雄一郎
行雄 村田
重夫 佐藤
内川 達也
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to EP11800375.5A priority Critical patent/EP2590435A4/en
Priority to CN201180027655.2A priority patent/CN102959987B/zh
Priority to JP2012522444A priority patent/JP5637211B2/ja
Priority to US13/695,454 priority patent/US9095880B2/en
Publication of WO2012001901A1 publication Critical patent/WO2012001901A1/ja

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0648Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element of rectangular shape
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06FELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/016Input arrangements with force or tactile feedback as computer generated output to the user
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2217/00Details of magnetostrictive, piezoelectric, or electrostrictive transducers covered by H04R15/00 or H04R17/00 but not provided for in any of their subgroups
    • H04R2217/03Parametric transducers where sound is generated or captured by the acoustic demodulation of amplitude modulated ultrasonic waves
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2499/00Aspects covered by H04R or H04S not otherwise provided for in their subgroups
    • H04R2499/10General applications
    • H04R2499/11Transducers incorporated or for use in hand-held devices, e.g. mobile phones, PDA's, camera's
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
    • H04R7/04Plane diaphragms
    • H04R7/06Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers
    • H04R7/10Plane diaphragms comprising a plurality of sections or layers comprising superposed layers in contact

Definitions

  • the present invention relates to an oscillation device using a piezoelectric vibrator.
  • electrodynamic electroacoustic transducers as electroacoustic transducers for portable devices.
  • the electrodynamic electroacoustic transducer generates a vibration amplitude by using an action of a magnetic circuit.
  • the magnetic circuit is composed of a large number of members such as a permanent magnet and a voice coil, the electrodynamic electroacoustic transducer has a limit in thinning.
  • piezoelectric electroacoustic transducer as an electroacoustic transducer that replaces the electrodynamic electroacoustic transducer.
  • Piezoelectric electroacoustic transducers generate vibration amplitude by utilizing the expansion and contraction generated by applying an electric field to a piezoelectric vibrator.
  • Piezoelectric electroacoustic transducers are advantageous for thinning because they do not require a large number of members in order to generate vibration amplitude.
  • Patent Documents 1 to 5 There are those described in Patent Documents 1 to 5 as technologies related to piezoelectric vibrators.
  • the techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2 are to support a vibration member on which a piezoelectric vibrator is attached to a support member via an elastic member.
  • Patent Document 3 discloses a piezoelectric acoustic device in which the density of members connected in the peripheral direction from a piezoelectric element gradually decreases.
  • Patent Document 4 discloses a light receiving type piezoelectric element in which a piezoelectric vibrator is sandwiched between a pair of rigid members.
  • the technique described in Patent Document 5 is to provide a kerf in a piezoelectric vibrator configured by fixing a piezoelectric element between two diaphragms via solder.
  • the piezoelectric material constituting the piezoelectric vibrator is a brittle material and has a small mechanical loss. For this reason, the piezoelectric electroacoustic transducer has a higher mechanical quality factor (Q value) than the electrodynamic electroacoustic transducer. Therefore, the electrodynamic electroacoustic transducer generates a piston-type amplitude motion, whereas the piezoelectric electroacoustic transducer generates a bending-type amplitude motion. Therefore, the piezoelectric electroacoustic transducer has a smaller displacement at the vibration end than the electrodynamic electroacoustic transducer, and is disadvantageous in the amplitude sweep volume. Therefore, there is a demand for an oscillation device using a piezoelectric vibrator that can achieve a sufficient sound pressure level by securing a swept volume of amplitude while achieving downsizing.
  • Q value mechanical quality factor
  • An object of the present invention is to provide an oscillating device using a piezoelectric vibrator capable of realizing a high sound pressure level while achieving miniaturization.
  • a piezoelectric vibrator A first vibrating member that is larger than the piezoelectric vibrator in plan view and restrains one surface of the piezoelectric vibrator; A second vibrating member that is larger than the piezoelectric vibrator in plan view and restrains the other surface of the piezoelectric vibrator; An elastic member that supports an edge of a surface of the first vibrating member that restrains the piezoelectric vibrator and an edge of a surface of the second vibrating member that restrains the piezoelectric vibrator; A support member positioned around the elastic member and supporting the elastic member; An oscillation device is provided.
  • an oscillation device using a piezoelectric vibrator capable of realizing a high sound pressure level while achieving downsizing.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing an oscillation device 100 according to the first embodiment.
  • the oscillation device 100 includes a piezoelectric vibrator 10, a vibration member 20, a vibration member 25, an elastic member 30, and a support member 35.
  • the oscillation device 100 is used as an oscillation source of a speaker or a sound wave sensor, for example. It can also function as a temperature sensor by utilizing the pyroelectric effect of the piezoelectric body.
  • the oscillation device 100 is used as a speaker, for example, it is used as a sound source of an electronic device (a mobile phone, a laptop computer, a small game device, etc.).
  • the vibrating member 20 is larger than the piezoelectric vibrator 10 in plan view.
  • the vibration member 20 restrains one surface of the piezoelectric vibrator 10.
  • the vibrating member 25 is larger than the piezoelectric vibrator 10 in plan view.
  • the vibrating member 25 restrains the other surface of the piezoelectric vibrator 10.
  • the elastic member 30 supports the edge of the surface of the vibration member 20 that restrains the piezoelectric vibrator 10.
  • the elastic member 30 supports the edge of the surface of the vibration member 25 that restrains the piezoelectric vibrator 10.
  • the support member 35 is located around the elastic member 30 and supports the elastic member 30.
  • the structure constituted by the piezoelectric vibrator 10, the vibration member 20, the vibration member 25, and the elastic member 30 is a surface based on the central plane in the thickness direction of the elastic member 30. Symmetric.
  • the oscillation device 100 further includes a control unit 90 and a signal generation unit 95.
  • the signal generator 95 generates an electrical signal that is input to the piezoelectric vibrator 10.
  • the control unit 90 controls the signal generation unit 95 based on information input from the outside.
  • information input to the control unit 90 is an audio signal.
  • the signal input to the control unit 90 is a command signal for oscillating sound waves.
  • the signal generation unit 95 causes the piezoelectric vibrator 10 to generate a sound wave having a resonance frequency of the piezoelectric vibrator 10.
  • the oscillation device 100 can be used as a parametric speaker.
  • the control unit 90 inputs a modulation signal as a parametric speaker via the signal generation unit 95.
  • the piezoelectric vibrator 10 uses a sound wave of 20 kHz or more, for example, 100 kHz, as a signal transport wave.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view showing the piezoelectric vibrator 10 shown in FIG.
  • the piezoelectric vibrator 10 includes an upper electrode 40, a lower electrode 45, and a piezoelectric body 50.
  • the piezoelectric vibrator 10 has, for example, a circle, an ellipse, or a rectangle.
  • the piezoelectric vibrator 10 has the same thickness as the elastic member 30, for example.
  • the piezoelectric body 50 is sandwiched between the upper electrode 40 and the lower electrode 45.
  • the piezoelectric body 50 is made of a material having a piezoelectric effect, and is made of, for example, lead zirconate titanate (PZT) or barium titanate (BaTiO3).
  • PZT lead zirconate titanate
  • BaTiO3 barium titanate
  • the thickness of the piezoelectric body 50 is preferably 10 ⁇ m to 1 mm. When the thickness is less than 10 ⁇ m, since the piezoelectric body 50 is made of a brittle material, it is easily damaged. On the other hand, when the thickness exceeds 1 mm, the electric field strength of the piezoelectric body 50 is reduced. Therefore, the energy conversion efficiency is reduced.
  • the upper electrode 40 and the lower electrode 45 are made of, for example, silver or a silver / palladium alloy.
  • the thickness of the upper electrode 40 and the lower electrode 45 is preferably 1 to 50 ⁇ m. When the thickness is less than 1 ⁇ m, it becomes difficult to form the film uniformly. On the other hand, when exceeding 100 micrometers, the upper electrode 40 or the lower electrode 45 becomes a restraint surface with respect to the piezoelectric material 50, and causes the fall of energy conversion efficiency.
  • the both sides of the piezoelectric vibrator 10 in the present embodiment are constrained by the vibrating members 20 and 25.
  • the vibration members 20 and 25 have a function of propagating vibration generated from the piezoelectric vibrator 10 to the elastic member 30.
  • the vibrating members 20 and 25 have a function of improving the mechanical strength of the oscillation device 100.
  • the vibration members 20 and 25 are made of a material having a high elastic modulus with respect to the ceramic material, and are made of, for example, phosphor bronze or stainless steel.
  • the thickness of the vibrating members 20 and 25 is preferably 5 to 500 ⁇ m.
  • the longitudinal elastic modulus of the vibrating members 20 and 25 is preferably 1 to 500 GPa. When the longitudinal elastic modulus of the vibrating members 20 and 25 is excessively low or high, the characteristics and reliability as a mechanical vibrator may be impaired.
  • the elastic member 30 is made of, for example, a resin material such as urethane, PET, or polyethylene.
  • the vibration members 20 and 25 are supported by the support member 35 via the elastic member 30. Therefore, the elastic member 30 has a function of causing the vibration end portion of the oscillation device 100 to be a certain amount of free end instead of a fixed end.
  • the elastic member 30 has a function of improving the mechanical strength of the oscillation device 100, such as absorption of impact energy when dropped.
  • the rigidity of the elastic member 30 is preferably 1/50 or less of the rigidity of the vibration members 20 and 25.
  • the support member 35 is made of a metal film such as stainless steel.
  • the piezoelectric body 50 is manufactured.
  • the piezoelectric body 50 is manufactured by the green sheet method and baked at 1100 ° C. for 2 hours in the air.
  • the upper electrode 40 and the lower electrode 45 are formed on the piezoelectric body 50.
  • the piezoelectric body 50 is subjected to polarization processing in the thickness direction.
  • the piezoelectric vibrator 10 thus obtained is bonded to the vibration members 20 and 25 using an epoxy resin or the like.
  • the elastic member 30 is bonded to the vibration members 20 and 25. Thereafter, the elastic member 30 is supported by the support member 35. Thereby, the oscillation device 100 is formed.
  • a lead zirconate titanate ceramic can be used.
  • a silver / palladium alloy weight ratio 70%: 30%
  • the vibrating members 20 and 25 can use phosphor bronze.
  • SUS304 can be used.
  • the control unit 90 inputs a modulation signal as a parametric speaker to the piezoelectric vibrator 10 via the signal generation unit 95.
  • the piezoelectric vibrator 10 uses a sound wave of 20 kHz or more, for example, 100 kHz, as a signal transport wave.
  • the principle of operation of a parametric speaker is the principle that audible sound appears due to the non-linear characteristics when ultrasonic waves that have been subjected to AM modulation, DSB modulation, SSB modulation, and FM modulation are emitted into the air and the ultrasonic waves propagate into the air.
  • the sound reproduction is performed with Non-linear here means transition from laminar flow to turbulent flow when the Reynolds number indicated by the ratio of the inertial action and viscous action of the flow increases. That is, since the sound wave is slightly disturbed in the fluid, the sound wave propagates nonlinearly. In particular, when ultrasonic waves are radiated into the air, harmonics accompanying non-linearity are prominently generated.
  • the sound wave is a dense state in which molecular groups in the air are mixed. When it takes time for air molecules to recover from compression, air that cannot be recovered after compression collides with continuously propagating air molecules, generating shock waves and producing audible sound.
  • the vibration members 20 and 25 are supported by the support member 35 via the elastic member 30. For this reason, the end of vibration becomes a free end. Therefore, the amplitude sweep volume increases.
  • the energy of the piezoelectric vibrator 10 is propagated to the elastic member 30 through the vibration films 20 and 25. For this reason, the mechanical impedance of the oscillation device is matched, and the propagation efficiency of vibration is improved.
  • the inventor has found that the amplitude increases in the oscillation device 100 having the configuration in the present embodiment. This is assumed to be caused by the fact that sandwiching the piezoelectric vibrator 10 between the vibrating members 20 and 25 causes symmetry in the oscillation device 100 with respect to the center plane of vibration. Therefore, a high sound pressure level can be realized while downsizing.
  • the rigidity of the elastic member 30 is 1/50 that of the vibration members 20 and 25, the amplitude is further increased. Therefore, in this case, a higher sound pressure level can be realized.
  • the piezoelectric vibrator 10 is supported by the support member 35 via the elastic member 30. Therefore, the impact stability of the oscillation device can be improved. Furthermore, the piezoelectric vibrator 10 is sandwiched between vibration members 20 and 25 made of a metal material. Therefore, it is not necessary to connect the wiring directly to the piezoelectric vibrator 10, and the manufacturability of the oscillation device is improved.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the piezoelectric vibrator 110 according to the second embodiment.
  • the oscillation device according to the present embodiment is the same as the oscillation device 100 according to the first embodiment except for the configuration of the piezoelectric vibrator.
  • the piezoelectric vibrator 110 according to the present embodiment is the same as the piezoelectric vibrator 10 according to the first embodiment except that it has a laminated structure.
  • the piezoelectric vibrator 110 is configured by alternately laminating a plurality of piezoelectric bodies and a plurality of electrodes. Between the piezoelectric bodies 60, 61, 62, 63 and 64, electrodes 70, 71, 72 and 73 are formed one by one. The electrode 70 and the electrode 72, and the electrode 71 and the electrode 73 are connected to each other. The polarization direction of each piezoelectric body is reverse for each layer. In addition, the direction of the electric field generated between the electrodes is alternately reversed.
  • the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
  • the piezoelectric vibrator 110 since the piezoelectric vibrator 110 has a laminated structure, the electric field strength generated between the electrode layers is high. Thereby, the driving force of the piezoelectric vibrator 110 can be improved. Note that the number of stacked piezoelectric vibrators 110 can be arbitrarily increased or decreased.
  • Example 2 The oscillation devices shown in FIGS. 1 and 3 were produced, and the characteristics of the oscillation devices were examined (Examples 1 and 2). In this embodiment, the oscillation device functions as a parametric speaker.
  • an electrodynamic oscillation device having the same plane area as in Examples 1 and 2 was prepared, and the characteristics were examined. The results are shown in Table 1.
  • the sound pressure level frequency characteristics the sound pressure level when an AC voltage of 1 V was input was measured with a microphone placed at a position 10 cm away from the piezoelectric vibrator.
  • drop impact stability a mobile communication terminal equipped with an electroacoustic transducer equipped with an oscillation device was naturally dropped five times from a height of 50 cm. Thereafter, the damage of the mobile communication terminal was visually confirmed.
  • the sound pressure characteristic was measured, and when the sound pressure level difference before and after the test was within 3 dB, it was rated as “good”.
  • the oscillation devices according to the first and second embodiments were used as the speaker 122 of the mobile communication terminal 120.
  • the speaker 122 was attached to the inner surface of the casing of the mobile communication terminal 120.
  • Table 2 shows the characteristics of the speaker 122 when each embodiment is used. Measurement conditions are the same as in Table 1.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Circuit For Audible Band Transducer (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

 圧電振動子(10)と、平面視で圧電振動子(10)よりも大きく、圧電振動子(10)の一面を拘束する振動部材(20)と、平面視で圧電振動子(10)よりも大きく、圧電振動子(10)の他面を拘束する振動部材(25)と、振動部材(20)の圧電振動子(10)を拘束する面の縁を支持し、かつ振動部材(25)の圧電振動子(10)を拘束する面の縁を支持する弾性部材(30)と、弾性部材(30)の周囲に位置し、弾性部材(30)を支持する支持部材(35)と、を備える。

Description

発振装置
 本発明は、圧電振動子を用いた発振装置に関する。
 携帯機器などの電気音響変換器として、動電型電気音響変換器がある。動電型電気音響変換器は、磁気回路の作用を利用して振動振幅を発生させる。しかし、磁気回路は永久磁石やボイスコイル等の多数の部材によって構成されるため、動電型電気音響変換器では薄型化に限界があった。
 動電型電気音響変換器に代わる電気音響変換器として、圧電型電気音響変換器がある。圧電型電気音響変換器は、圧電振動子に電界を印加することにより発生する伸縮運動を利用して、振動振幅を発生させるものである。圧電型電気音響変換器は、振動振幅を発生させるために多数の部材を必要としないため、薄型化に有利である。
 圧電振動子に関する技術として、特許文献1~5に記載のものがある。特許文献1、及び特許文献2に記載の技術は、圧電振動子を貼り付けた振動部材を、弾性部材を介して支持部材に支持させるというものである。特許文献3では、圧電素子からその周辺方向に接続されていく部材の密度が次第に小さくなる圧電音響装置が開示されている。特許文献4には、圧電振動子を一対の剛性部材で挟持させた受光型圧電素子が開示されている。特許文献5に記載の技術は、圧電素子を2枚の振動板の間にはんだを介して固定することにより構成される圧電振動子に切溝を設けるというものである。
国際公開第2007/083497号パンフレット 特開2002-152888号公報 特開2001-339793号公報 特開平6-269092号公報 特開昭60-112397号公報
 圧電振動子を構成する圧電材料は脆性材料であり、また機械損失が小さい。このため圧電型電気音響変換器は、動電型電気音響変換器に対し機械品質係数(Q値)が高い。よって動電型電気音響変換器がピストン型の振幅運動を発生させるのに対し、圧電型電気音響変換器は屈曲型の振幅運動を発生させる。従って圧電型電気音響変換器は、動電型電気音響変換器よりも振動端部における変位量が小さく、振幅の掃引体積において不利である。よって小型化を図りつつ、振幅の掃引体積を確保して十分な音圧レベルを実現することができる、圧電振動子を用いた発振装置が求められている。
 本発明の目的は、小型化を図りつつ、高い音圧レベルを実現することができる、圧電振動子を用いた発振装置を提供することにある。
 本発明によれば、圧電振動子と、
 平面視で前記圧電振動子より大きく、前記圧電振動子の一面を拘束する第1の振動部材と、
 平面視で前記圧電振動子より大きく、前記圧電振動子の他面を拘束する第2の振動部材と、
 前記第1の振動部材の前記圧電振動子を拘束する面の縁を支持し、かつ前記第2の振動部材の前記圧電振動子を拘束する面の縁を支持する弾性部材と、
 前記弾性部材の周囲に位置し、前記弾性部材を支持する支持部材と、
 を備える発振装置が提供される。
 本発明によれば、小型化を図りつつ、高い音圧レベルを実現することができる、圧電振動子を用いた発振装置を提供することができる。
 上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる
第1の実施形態に係る発振装置を示す断面図である。 図1に示す圧電振動子を示す断面図である。 第2の実施形態に係る圧電振動子を示す斜視図である。 携帯通信端末の構成を示す概略図である。
 以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
 図1は、第1の実施形態に係る発振装置100を示す断面図である。発振装置100は、圧電振動子10と、振動部材20と、振動部材25と、弾性部材30と、支持部材35と、を備えている。発振装置100は、例えばスピーカ、又は音波センサの発振源として使用される。また圧電体の焦電効果を利用することで温度センサとして機能することもできる。発振装置100をスピーカとして使用する場合、例えば電子機器(携帯電話、ラップトップ型コンピュータ、小型ゲーム機器等)の音源として用いられる。
 振動部材20は、平面視で圧電振動子10より大きい。また振動部材20は、圧電振動子10の一面を拘束している。振動部材25は、平面視で圧電振動子10より大きい。また振動部材25は、圧電振動子10の他面を拘束している。弾性部材30は、振動部材20の圧電振動子10を拘束する面の縁を支持している。また弾性部材30は、振動部材25の圧電振動子10を拘束する面の縁を支持している。支持部材35は、弾性部材30の周囲に位置しており、弾性部材30を支持している。以下図1、及び図2を用いて、発振装置100の構成について詳細に説明する。
 図1に示すように、発振装置100において、圧電振動子10、振動部材20、振動部材25、及び弾性部材30によって構成される構造は、弾性部材30の厚さ方向における中心面を基準に面対称である。また発振装置100は、制御部90と、信号生成部95を更に備えている。信号生成部95は、圧電振動子10に入力する電気信号を生成する。制御部90は、外部から入力された情報に基づいて信号生成部95を制御する。発振装置100をスピーカとして使用する場合、制御部90に入力される情報は音声信号である。また発振装置100を音波センサとして使用する場合、制御部90に入力される信号は、音波を発振する旨の指令信号である。そして発振装置100を音波センサとして使用する場合、信号生成部95は圧電振動子10に圧電振動子10の共振周波数の音波を発生させる。
 また圧電振動子10、振動部材20、振動部材25、及び弾性部材30が複数組設けられている場合、発振装置100はパラメトリックスピーカとして使用することができる。この場合、制御部90は信号生成部95を介してパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力する。パラメトリックスピーカとして用いる場合、圧電振動子10は、20kHz以上、例えば100kHzの音波を信号の輸送波として用いる。
 図2は、図1に示す圧電振動子10を示す断面図である。図2に示すように、圧電振動子10は、上部電極40、下部電極45、圧電体50からなる。また圧電振動子10は、例えば円形、楕円形、又は矩形を有する。圧電振動子10は、例えば弾性部材30と同一の厚さを有する。圧電体50は、上部電極40と下部電極45に挟まれている。圧電体50は、圧電効果を有する材料により構成され、例えばジルコン酸チタン酸鉛(PZT)、又はチタン酸バリウム(BaTiO3)等により構成される。また圧電体50の厚みは、10μm~1mmであることが好ましい。厚みが10μm未満である場合、圧電体50は脆性材料により構成されるため、破損等が生じやすい。一方、厚みが1mmを超える場合、圧電体50の電界強度が低減する。従ってエネルギー変換効率の低下を招く。
 上部電極40、及び下部電極45は、例えば銀、又は銀/パラジウム合金等によって構成される。上部電極40、及び下部電極45の厚みは、1~50μmであることが好ましい。厚みが1μm未満の場合、均一に成形することが難しくなる。一方、100μmを超える場合、上部電極40、又は下部電極45が圧電体50に対して拘束面となり、エネルギー変換効率の低下を招く。
 本実施形態における圧電振動子10は、その両面が振動部材20、25によって拘束されている。振動部材20、25は、圧電振動子10から発生した振動を弾性部材30に伝播させる機能を有する。また振動部材20、25は、発振装置100の機械的強度を向上させる機能を有する。振動部材20、25は、セラミック材料に対して高い弾性率を持つ材料によって構成され、例えばリン青銅、又はステンレス等によって構成される。振動部材20、25の厚みは、5~500μmであることが好ましい。また振動部材20、25の縦弾性係数は、1~500GPaであることが好ましい。振動部材20、25の縦弾性係数が過度に低い、又は高い場合、機械振動子としての特性や信頼性を損なうおそれがある。
 弾性部材30は、例えばウレタン、PET、又はポリエチレン等の樹脂材料等によって構成される。振動部材20、25は、弾性部材30を介して支持部材35に支持されている。よって弾性部材30は、発振装置100の振動の端部を、固定端ではなくある程度の自由端とさせる機能を有する。また弾性部材30は、落下時の衝撃エネルギーの吸収等、発振装置100の機械的強度を向上させる機能を有する。弾性部材30の剛性は、振動部材20、25の剛性の50分の1以下であることが好ましい。支持部材35は、例えばステンレス等の金属膜により構成される。
  次に、本実施形態に係る発振装置100の製造方法について説明する。まず圧電体50を製造する。圧電体50の製造は、グリーンシート法により行い、大気中において1100℃で2時間焼成する。次いで圧電体50に、上部電極40、及び下部電極45を形成する。そして圧電体50に、厚み方向に分極処理を施す。これにより得られた圧電振動子10を、エポキシ系樹脂等を用いて振動部材20、25へ接着する。これと同時に、弾性部材30を、振動部材20、25へ接着する。その後弾性部材30を、支持部材35により支持させる。これにより発振装置100が形成される。
 圧電体50は、外径=φ15mm、厚み=100μmとすることができる。圧電体50は、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックを用いることができる。上部電極40、及び下部電極45は、厚み=8μmとすることができる。上部電極40、及び下部電極45は、銀/パラジウム合金(重量比70%:30%)を用いることができる。振動部材20、25は、外径=φ16mm、厚み=100μmとすることができる。振動部材20、25は、リン青銅を用いることができる。弾性部材30は、外径=φ18mm、内径=φ15mmの中空状で、厚み=100μmとすることができる。支持部材35は、外径=φ19mm、内径=φ18mmの中空状のケースを構成することができる。支持部材35は、SUS304を用いることができる。
 次に、本実施形態に係る発振装置100を用いた圧電型電気音響変換器による音響再生方法について説明する。本実施形態では、例えばパラメトリックスピーカの動作原理を利用して音響再生をすることができる。この場合制御部90は、圧電振動子10に信号生成部95を介してパラメトリックスピーカとしての変調信号を入力する。パラメトリックスピーカとして用いる場合、圧電振動子10は、20kHz以上、例えば100kHzの音波を信号の輸送波として用いる。
 ここでパラメトリックスピーカの動作原理を説明する。パラメトリックスピーカの動作原理は、AM変調やDSB変調、SSB変調、FM変調をかけた超音波を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音が出現する原理で音響再生を行うというものである。ここでいう非線形とは、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移することをいう。すなわち、音波は流体内で微少にじょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。特に超音波を空気中に放射した場合に、非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。また音波は、空気中の分子集団が濃淡に混在する疎密状態である。空気分子が圧縮よりも復元するのに時間が生じた場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じて可聴音が発生する。
 次に本実施形態の効果を説明する。発振装置100において、振動部材20、25は、弾性部材30を介して支持部材35に支持されている。このため振動の端部は自由端となる。よって振幅の掃引体積は大きくなる。また圧電振動子10のエネルギーが、振動膜20、25を介して弾性部材30へ伝播される。このため発振装置の機械インピーダンスの整合がとれ、振動の伝播効率が向上する。さらに発明者は、本実施形態における構成を有する発振装置100において、振幅が増大することを見いだした。これは、圧電振動子10を振動部材20、25によって挟むことにより、発振装置100に振動の中心面を基準とした対称性が生じることに起因すると想定される。よって小型化を図りつつ、高い音圧レベルを実現することができる。
 また、弾性部材30の剛性が振動部材20、25の50分の1である場合、振幅はより増大する。よってこの場合、さらに高い音圧レベルを実現することができる。さらに、圧電振動子10は、弾性部材30を介して支持部材35に支持されている。よって発振装置の衝撃安定性を向上させることができる。さらに、圧電振動子10は、金属材料により構成される振動部材20、25によって挟まれている。よって圧電振動子10に直接配線を接続することを要さず、発振装置の製造容易性が向上する。
 図3は、第2の実施形態に係る圧電振動子110を示す斜視図である。本実施形態に係る発振装置は、圧電振動子の構成を除いて第1の実施形態に係る発振装置100と同様である。また本実施形態に係る圧電振動子110は、積層構造を有する点を除いて、第1の実施形態に係る圧電振動子10と同様である。
 図3に示すように圧電振動子110は、複数の圧電体と複数の電極を交互に積層して構成されている。圧電体60、61、62、63、64の間には、電極70、71、72、73が1層ずつ形成されている。電極70と電極72、及び電極71と電極73は、それぞれ互いに接続している。各圧電体の分極方向は、1層ごとに逆向きとなっている。また各電極間に生じる電界の向きも、交互に逆向きとなっている。
 本実施形態においても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また圧電振動子110は積層構造を有しているため、電極層間に生じる電界強度が高い。これにより圧電振動子110の駆動力を向上させることができる。なお、圧電振動子110の積層数は任意に増減できる。
(実施例)
 図1、及び図3に示した発振装置を作成し、各発振装置の特性を調べた(実施例1、2)。本実施例では、発振装置をパラメトリックスピーカとして機能させた。また比較例として、実施例1、2と同一の平面積を有する動電型の発振装置を作成し、特性を調べた。その結果を表1に示す。なお音圧レベル周波数特性の測定では、交流電圧1V入力時の音圧レベルを、圧電振動子から10cm離れた位置に配置したマイクロホンにより測定した。また落下衝撃安定性の測定では、発振装置を備える電気音響変換器を搭載した携帯通信端末を50cmの高さから、5回自然落下させた。その後、携帯通信端末の破損等を目視で確認した。さらに、音圧特性を測定し、試験前後において音圧レベル差が3dB以内の場合、○とした。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 この表から、各実施例に係る発振装置は、比較例と比べて、音圧レベルが高いことが示された。また比較例と比べて、落下衝撃安定性が高いことも示された。
 また、図4に示すように、携帯通信端末120のスピーカ122として、実施例1、2に係る発振装置を使用した。スピーカ122は、携帯通信端末120の筐体の内面に取り付けた。各実施例を用いた場合のスピーカ122の特性を表2に示す。なお、測定条件は、表1と同様である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 この表から、各実施例に係る携帯通信端末120は、高い音圧レベルを確保していることが示された。また落下衝撃安定性が高いことが示された。
 以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
 この出願は、2010年6月30日に出願された日本出願特願2010-149919を基礎とする優先権を主張し、その開示の総てをここに取り込む。

Claims (6)

  1.  圧電振動子と、
     平面視で前記圧電振動子より大きく、前記圧電振動子の一面を拘束する第1の振動部材と、
     平面視で前記圧電振動子より大きく、前記圧電振動子の他面を拘束する第2の振動部材と、
     前記第1の振動部材の前記圧電振動子を拘束する面の縁を支持し、かつ前記第2の振動部材の前記圧電振動子を拘束する面の縁を支持する弾性部材と、
     前記弾性部材の周囲に位置し、前記弾性部材を支持する支持部材と、
     を備える発振装置。
  2.  請求項1に記載の発振装置において、
     前記弾性部材の剛性は、前記第1の振動部材及び前記第2の振動部材の剛性の50分の1以下である発振装置。
  3.  請求項1または2に記載の発振装置において、
     前記弾性部材は、樹脂材料により構成されている発振装置。
  4.  請求項1ないし3いずれか1項に記載の発振装置において、
     前記圧電振動子、前記第1の振動部材、前記第2の振動部材、及び前記弾性部材によって構成される構造は、前記弾性部材の厚さ方向における中心面を基準に面対称である発振装置。
  5.  請求項1ないし4いずれか1項に記載の発振装置において、
     前記発振装置は、音波センサの発信源である発振装置。
  6.  請求項1ないし4いずれか1項に記載の発振装置において、
     前記発振装置は、スピーカである発振装置。
PCT/JP2011/003480 2010-06-30 2011-06-17 発振装置 WO2012001901A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11800375.5A EP2590435A4 (en) 2010-06-30 2011-06-17 VIBRATION DEVICE
CN201180027655.2A CN102959987B (zh) 2010-06-30 2011-06-17 振荡器
JP2012522444A JP5637211B2 (ja) 2010-06-30 2011-06-17 発振装置
US13/695,454 US9095880B2 (en) 2010-06-30 2011-06-17 Oscillator

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010149919 2010-06-30
JP2010-149919 2010-06-30

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012001901A1 true WO2012001901A1 (ja) 2012-01-05

Family

ID=45401647

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/003480 WO2012001901A1 (ja) 2010-06-30 2011-06-17 発振装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9095880B2 (ja)
EP (1) EP2590435A4 (ja)
JP (1) JP5637211B2 (ja)
CN (1) CN102959987B (ja)
WO (1) WO2012001901A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102959992B (zh) * 2010-07-23 2016-10-19 日本电气株式会社 振荡器和电子设备
CN114761144B (zh) * 2020-03-06 2023-09-29 株式会社村田制作所 振动装置
JP7484534B2 (ja) * 2020-07-30 2024-05-16 セイコーエプソン株式会社 流体デバイス

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57128300U (ja) * 1981-02-03 1982-08-10
JPS60112397A (ja) 1983-11-22 1985-06-18 Oki Electric Ind Co Ltd アレイ型平面振動子の製造方法
JPH01109781A (ja) * 1987-10-22 1989-04-26 Koganei Seisakusho:Kk 圧電素子
JPH06269092A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Kureha Chem Ind Co Ltd 受波型圧電素子
JP2001339793A (ja) 2000-05-26 2001-12-07 Taiyo Yuden Co Ltd 圧電音響装置
JP2002152888A (ja) 2000-08-29 2002-05-24 Fujihiko Kobayashi 圧電スピーカ
WO2007083497A1 (ja) 2005-12-27 2007-07-26 Nec Corporation 圧電アクチュエータおよび電子機器
JP2010149919A (ja) 2008-12-26 2010-07-08 Sapporo Breweries Ltd 液体供給装置、液体流量計測方法及び液体量計測方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0480045A4 (en) 1990-03-20 1993-04-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic probe
JP3270616B2 (ja) * 1994-02-25 2002-04-02 呉羽化学工業株式会社 受波型圧電素子
JP3180646B2 (ja) * 1995-12-14 2001-06-25 株式会社村田製作所 スピーカ
US6127770A (en) * 1996-01-20 2000-10-03 Forschungszentrum Karlsrahe Gmbh Pressure wave sensor
US6278790B1 (en) * 1997-11-11 2001-08-21 Nct Group, Inc. Electroacoustic transducers comprising vibrating panels
JP2004272086A (ja) * 2003-03-11 2004-09-30 Seiko Epson Corp 電気光学装置の製造装置、電子光学装置及び電子機器
CN101611538A (zh) * 2007-01-12 2009-12-23 日本电气株式会社 压电致动器和电子装置
JP2010149407A (ja) * 2008-12-25 2010-07-08 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57128300U (ja) * 1981-02-03 1982-08-10
JPS60112397A (ja) 1983-11-22 1985-06-18 Oki Electric Ind Co Ltd アレイ型平面振動子の製造方法
JPH01109781A (ja) * 1987-10-22 1989-04-26 Koganei Seisakusho:Kk 圧電素子
JPH06269092A (ja) 1993-03-12 1994-09-22 Kureha Chem Ind Co Ltd 受波型圧電素子
JP2001339793A (ja) 2000-05-26 2001-12-07 Taiyo Yuden Co Ltd 圧電音響装置
JP2002152888A (ja) 2000-08-29 2002-05-24 Fujihiko Kobayashi 圧電スピーカ
WO2007083497A1 (ja) 2005-12-27 2007-07-26 Nec Corporation 圧電アクチュエータおよび電子機器
JP2010149919A (ja) 2008-12-26 2010-07-08 Sapporo Breweries Ltd 液体供給装置、液体流量計測方法及び液体量計測方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2590435A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2012001901A1 (ja) 2013-08-22
CN102959987B (zh) 2016-02-24
EP2590435A1 (en) 2013-05-08
CN102959987A (zh) 2013-03-06
US20130043769A1 (en) 2013-02-21
EP2590435A4 (en) 2016-11-09
US9095880B2 (en) 2015-08-04
JP5637211B2 (ja) 2014-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5741580B2 (ja) 発振装置
JP5428861B2 (ja) 圧電音響素子及び電子機器
JP5682973B2 (ja) 発振装置および電子機器
JP2012015755A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012015758A (ja) 発振装置、その製造方法、電子機器
JP5637211B2 (ja) 発振装置
JP5771952B2 (ja) 発振装置および電子機器
JP5440422B2 (ja) 発振装置
JP2012029087A (ja) 発振装置
JP5488266B2 (ja) 発振装置
JP5958463B2 (ja) 発振装置
JP2012015757A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012029078A (ja) 発振装置
JP5505165B2 (ja) 発振装置
JP5750865B2 (ja) 発振装置および電子機器
JP2012015764A (ja) 発振装置
JP5810484B2 (ja) 発振装置
JP5516181B2 (ja) 発振装置
JP2012029104A (ja) 発振装置および電子機器
JP5691410B2 (ja) 発振装置
JP2012217038A (ja) 発振装置および携帯端末装置
JP2012100041A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012217030A (ja) 電子機器、電子機器の出力制御方法、および発振装置
JP2012134593A (ja) 発振装置および電子機器
JP2012029085A (ja) 発振装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 201180027655.2

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11800375

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2012522444

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13695454

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2011800375

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10769/CHENP/2012

Country of ref document: IN

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE