CN106222624A - 一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机 - Google Patents

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CN106222624A CN201610866745.5A CN201610866745A CN106222624A CN 106222624 A CN106222624 A CN 106222624A CN 201610866745 A CN201610866745 A CN 201610866745A CN 106222624 A CN106222624 A CN 106222624A
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vacuum coating
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刘同林
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

本发明提供一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓,所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀组件,所述送膜机构包括安装板,设于安装板上送膜单元和薄膜纠偏单元。本发明利用光电传感器保持对输送装置中薄膜的位置的检测,实现连续地、实时地、灵活地调整气缸的推杆伸出长度,从而不断调节送膜辊的倾斜状态,使薄膜一直处于合适的位置范围内。

Description

一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机
技术领域
本发明涉及金属化薄膜制造技术领域,具体来说是一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机。
背景技术
随着现代薄膜科学技术的发展,特别是电容器用和包装用金属化薄膜的大规模工业运用,庞大的薄膜生产和薄膜加工产业已在世界形成。家用电器、电力电器、电子产品以及包装产品需求迅速增加,从而使金属化薄膜的需求量不断增加,从而产生对高效率、高性能、多功能的薄膜蒸镀设备需求越来越迫切。
薄膜蒸镀设备集机械、真空、镀膜、制冷、自动控制等多学科技术为一体,是在高真空环境条件下(4×10-2Pa) 将铝或锌通过高温汽化蒸发到塑料薄膜基材上,从而使塑料薄膜基材金属化的一种高科技先进设备。可广泛运用于BOPP、OPP、PET、PC 等塑料薄膜基材蒸镀铝膜及锌铝复合膜。
薄膜基材在长距离的加工传送过程中,经常由于设备的运行不稳定,或者材料本身因为外部环境变化,出现向一侧偏移的现象。过度偏移的薄膜基材可能会与两侧边缘的设备内壁发生干涉,损坏薄膜,影响设备正常运行,并且影响薄膜的收卷规整度。
现有的纠偏装置多采用开环控制方式,即人们根据实际使用中输送带所产生的具体偏转程度和方向,调节纠偏装置,然后观察运行情况,直至调整后输送带产生的偏转不影响设备使用,这种纠偏装置多依靠使用经验,调整周期长,代价大,不符合现代化生产要求。也有的纠偏装置,采用移动收卷装置的位置来实现纠偏,这种方式的纠偏装置体积笨重,结构复杂,造价高昂,纠偏为断续过程,灵敏度设置高易出现抖动,灵敏度设置低时薄膜摆动幅度过大。特别是不易通过现有设备的技术改造实施。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中的缺陷,提供一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,可适合连续地、实时地、灵活地对薄膜基材进行纠偏传输。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓,所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀组件,所述送膜机构包括安装板,设于安装板上送膜单元和薄膜纠偏单元,所述送膜单元包括用于装载薄膜卷的膜卷轴、驱动膜卷轴转动以放卷的第一驱动件、若干固定张紧辊以及设于浮动杆上的若干活动张紧辊,所述浮动杆一端铰接于安装板上,另一端为自由端,所述活动张紧辊固定于两个活动张紧辊的轴心连线的中点下方;所述纠偏单元包括固定于安装板上的横板,所述横板上设有两个对称设置的支座,两个支座之间架设有送膜辊,一个支座上设有驱动送膜辊移动的第二驱动件,所述横板一侧设有一连杆,所述连杆上设有两个对称设置的定位块,所述定位块上设有光电传感器。
优选地,所述第一驱动件包括驱动电机,通过膜卷轴轴头上的同步带轮,用同步带传动方式实现薄膜基材的主动送膜。
优选地,所述第二驱动件包括驱动气缸,设于支座上的滑杆,套设于滑竿上的滑块,所述送膜辊的两端固定于滑块上,所述驱动气缸的活塞杆末端和滑块连接。
优选地,所述定位块的前端面上均设有通孔,所述通孔均内配合有塞块,所述塞块的前端面上均固定有挡板,所述挡板的左右两侧各固定有一根弹簧。
优选地,所述蒸镀鼓包括辊套、辊体、流通管,所述辊套同心套设于辊体外,所述辊体和辊套之间形成冷却腔,所述冷却腔内填充有冷却液,所述辊体外环套有隔热层,所述流通管包括位于冷却腔的冷却管以及位于隔热层内的回流管,所述冷却管一端和回流管流通,所述辊套两端分别设有第一法兰和第二法兰,所述第一法兰上设有轴头组件,所述的轴头组件包括进水管以及同心设置在该进水管内的出水管,所述进水管一端和冷却管连通,所述出水管一端和回流管流通,所述第二法兰连接有动力轴;所述蒸镀鼓还包括有蒸镀挡板、挡板转轴、定位销,所述蒸镀挡板设有两块,分别位于蒸镀鼓未被薄膜基材覆盖的两侧下方,所述蒸镀挡板一端通过挡板转轴可转动的设于蒸镀鼓下方,所述定位销位于蒸镀鼓下方和蒸镀挡板相对应的另一边,所述蒸镀挡板上设有和定位销配合的定位槽。
镀膜时,薄膜被送至蒸镀鼓上,并通过蒸发源将镀膜原料蒸发后附着在薄膜表面。冷却液供给设备与进液口相连,通入冷却水,冷却水进入到冷却管中,辊套内壁直接与冷却液接触,将辊套上的热量快速传导到冷却液中,冷却管浸没在冷却液中,将冷却液中的热量传导到冷却管中,冷却管中的冷却水交换后变热,变热的冷却水从回流管流出,回流管外壁通过隔热层包裹,使得回流管中的热量不会进一步扩散到冷却液中,回流管中的水从出水管流出。
通过在蒸镀鼓的两侧的未被薄膜基件覆盖的部分下方设置蒸镀挡板,起到保护蒸镀鼓的空白部分的作用,蒸发的金属被蒸镀挡板挡下,只需要清洗蒸镀挡板即可。
优选地,所述辊体内设有膨胀管,所述膨胀管一段和冷却腔连通,所述膨胀管另一端封闭,所述膨胀管中部设有活塞。
由于冷却腔中的冷却液会受热膨胀,冷却液在受热后会产生膨胀,由于膨胀管与冷却液连通,冷却液进入到膨胀管中压缩活塞移动,当冷却液恢复到原来体积,活塞会回缩到原来的位置,保证冷却液的内压平衡。
所述蒸镀组件包括供丝线盘、送丝机构、出丝嘴及加热坩埚,所述出丝嘴延伸至加热坩埚内,所述送丝机构包括送丝转轴、固定于送丝转轴上的若干送丝辊、为送丝转轴提供动力的动力装置,所述送丝辊两端设有护线套和压线块;所述加热坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔、围绕在所述容纳腔外围的加热腔、以及包围所述加热腔的外壁,所述加热腔内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元,所述加热腔顶部设有用于所述被加热物料通过的流道,所述流道的顶端设置有开口,所述流道的两端的直径大于所述流道中部的直径,所述流道的设置有所述开口的一端的直径小于所述容纳腔的内径。
通过送丝辊的不同直径,控制对每个蒸发舟的送丝速度,从而控制送丝量,改善产品的方阻均匀性,提高产品质量;通过设置护线套,防止金属丝在输送过程中受损或卡断,保障输送的持续性和顺畅性;通过设置压线块,能够对输送中的金属丝进行定位,并对铝丝末端形成约束,从而能有效防止铝丝末端在加热源上滑动,进而防止产生的铝渣飞溅到镀铝膜上对镀铝膜产生伤害,有效保证了镀铝膜的生产质量。
双供热系统设计,便于控制坩埚不同部分的温度,顶部的温度略高于材料蒸发温度,可以避免材料的凝结;通过精确控制蒸发温度,实现了材料蒸发速率的稳定,流道为向外扩张的喇叭状,有利于稳定气态分子流。
优选地,所述加热腔和外壁之间设有热屏蔽层。
设有热屏蔽层,对整个加热腔隔热保温,防止加热腔内部热量的散失。
优选地,所述上部加热单元和下部加热单元的加热装置为围绕所述加热腔螺旋延伸的电阻丝。
电阻丝围绕所述加热腔均匀的螺旋延伸。这里的均匀的螺旋延伸是指相邻螺圈间的距离相等,以保证加热介质对被加热材料均匀加热。
所述收卷机构包括分切支架和收卷支架,所述分切支架上设有传输装置和切割装置,所述收卷支架上设有收卷辊,所述传输装置包括接料转轴,滚直转轴和切割转轴,所述切割装置包括刀轴固定支架,刀轴,刀座和切刀,所述切刀安装在刀座上,所述刀座套装在刀轴上,所述刀轴安装在刀轴固定架上,所述刀座由上半圆环和下半圆环衔接而成,所述上半圆环和下半圆环一端铰接,另一端通过衔接面对设,所述上半圆环上设有与衔接面垂直的螺纹孔,所述下半圆环的对应位置设有通孔,螺钉穿过所述通孔并紧固在所述螺孔内将两个半圆环连接一起,从而使得刀座固定于刀轴上;刀座外端的中部开设有一缺口,所述的切刀通过一固定销固定在缺口中且该切刀绕其固定销可摆动,还包括设置在切刀的刀背和缺口棱底之间的能使切刀摆动回弹的弹性薄片,所述的弹性薄片固定在缺口棱底上。
经过镀膜后的金属化薄膜传输至接料转轴处,依次通过滚直转轴。切割转轴,到达收卷辊处,通过设置滚直转轴对金属化薄膜进行平整压送,提高切割的平整性,通过刀座控制切刀对材料的切割深度,薄膜材料在收卷的同时分成所需宽度的条状,便于后道工序工人取用,提高了生产效率,刀座可以方便从刀轴上拆卸,如果松开内六角螺钉,上半圆环与下半圆环可以以销轴为轴相对转动,使两个半圆环的衔接面相互分开,整个刀座则可方便地从刀轴上直接取下,而无需从刀轴上拆卸刀片更无需拆卸刀轴,从而提高效率和减少劳动量。
主要用弹性薄片在切刀和刀座缺口棱底之间起到减震缓冲作用,对金属薄膜分切时,分切张力始终保持适当的力度,对金属薄膜分切彻底。
优选地,所述刀轴上设有刻度线。
刀轴上设有刻度线,便于调节刀座的位置,来控制加工出的条状薄膜的宽度,无需边调节边使用量具测量,减少了该工序的准备时间,一定程度的提高了生产效率。
优选地,所述切刀的刀头呈三角形,位于刀尖处的两个边都开有刃口。
刀尖处的两个边都开有刃口,便于分卷开始时刀片刺入薄膜材料。
优选地,所述上半圆环内环顶部设有键槽。
在上半圆环的内环处有键槽,以与刀轴上的键对应,防止刀座相对于刀轴转动。更重要的是,即使在卸掉螺栓后,由于键槽与刀轴上方的键配合使其卡在键上,在下方下半圆环重力作用下上半圆环也能够挂在刀轴上而不掉落,这对刀座的拆装变得更为有利,能够提高工作效率。
本发明与现有技术相比,具有以下有益效果:
利用光电传感器保持对输送装置中薄膜的位置的检测,实现连续地、实时地、灵活地调整气缸的推杆伸出长度,从而不断调节送膜辊的倾斜状态,使薄膜一直处于合适的位置范围内。当检测传感器检测到浮动杆向上运动时,则通知控制单元,控制单元控制相应的驱动电机送膜;当检测传感器检测到浮动杆向下运动时,则通知控制单元,控制单元控制相应的送膜电机停止,便于检测断膜。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的送膜机构的后视图。
图3为本发明的纠偏单元结构示意图。
图4为本发明的蒸镀鼓结构示意图。
图5为本发明的蒸镀鼓侧视图。
图6为本发明的加热坩埚结构示意图。
图7为本发明的刀轴结构示意图。
图8为本发明的刀座结构示意图。
图9为本发明的切刀结构示意图。
图中:1、安装板;2、膜卷轴;3、固定张紧辊;4、活动张紧辊;5、浮动杆;6、横板;7、支座;8、送膜辊;9、连杆;10、定位块;11、驱动电机;12、同步带;13、驱动气缸;14、滑杆;15、滑块;16、塞块;17、挡板; 18、辊套;19、辊体;20、流通管;21、冷却管;22、回流管;23、冷却腔;24、冷却液;25、隔热层;26、第一法兰;27、第二法兰;28、进水管;29、出水管;30、动力轴;31、膨胀管;32、活塞;33、蒸镀挡板;34、挡板转轴;35、定位销;36、容纳腔;37、加热腔;38、外壁;39、上部加热单元;40、下部加热单元;41、流道;42、热屏蔽层; 43、电阻丝;44、供丝线盘;45、出丝嘴;46、送丝转轴;47、送丝辊;48、护线套;49、压线块;50、分切支架;51、收卷支架;52、刻度线;53、接料转轴;54、滚直转轴;55、切割转轴;56、收卷辊;57、刀轴固定支架;58、刀轴;59、刀座;60、切刀;61、上半圆环;62、下半圆环;63、螺纹孔;64、通孔;65、螺钉;66、键槽;67、缺口; 68、固定销;69、弹性薄片。
具体实施方式
为使对本发明的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识,用以较佳的实施例及附图配合详细的说明,说明如下:
一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓,所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀组件,所述送膜机构包括安装板1,设于安装板1上送膜单元和薄膜纠偏单元,所述送膜单元包括用于装载薄膜卷的膜卷轴2、驱动膜卷轴2转动以放卷的第一驱动件、若干固定张紧辊3以及设于浮动杆5上的若干活动张紧辊4,所述浮动杆5一端铰接于安装板1上,另一端为自由端,所述活动张紧辊4固定于两个活动张紧辊4的轴心连线的中点下方;所述纠偏单元包括固定于安装板1上的横板6,所述横板6上设有两个对称设置的支座7,两个支座7之间架设有送膜辊8,一个支座7上设有驱动送膜辊8移动的第二驱动件,所述横板6一侧设有一连杆9,所述连杆9上设有两个对称设置的定位块10,所述定位块10上设有光电传感器。
所述第一驱动件包括驱动电机11,通过膜卷轴2轴头上的同步带12轮,用同步带12传动方式实现薄膜基材的主动送膜。
所述第二驱动件包括驱动气缸13,设于支座7上的滑杆14,套设于滑竿上的滑块15,所述送膜辊8的两端固定于滑块15上,所述驱动气缸13的活塞32杆末端和滑块15连接。
所述定位块10的前端面上均设有通孔64,所述通孔64均内配合有塞块16,所述塞块16的前端面上均固定有挡板17,所述挡板的左右两侧各固定有一根弹簧。
所述蒸镀鼓包括辊套18、辊体19、流通管20,所述辊套18同心套设于辊体19外,所述辊体19和辊套18之间形成冷却腔23,所述冷却腔23内填充有冷却液24,所述辊体19外环套有隔热层25,所述流通管20包括位于冷却腔23的冷却管21以及位于隔热层25内的回流管22,所述冷却管21一端和回流管22流通,所述辊套18两端分别设有第一法兰26和第二法兰27,所述第一法兰26上设有轴头组件,所述的轴头组件包括进水管28以及同心设置在该进水管28内的出水管29,所述进水管28一端和冷却管21连通,所述出水管29一端和回流管22流通,所述第二法兰27连接有动力轴30;所述蒸镀鼓还包括有蒸镀挡板33、挡板转轴34、定位销35,所述蒸镀挡板33设有两块,分别位于蒸镀鼓未被薄膜基材覆盖的两侧下方,所述蒸镀挡板33一端通过挡板转轴34可转动的设于蒸镀鼓下方,所述定位销35位于蒸镀鼓下方和蒸镀挡板33相对应的另一边,所述蒸镀挡板33上设有和定位销35配合的定位槽。
镀膜时,薄膜被送至蒸镀鼓上,并通过蒸发源将镀膜原料蒸发后附着在薄膜表面。冷却液24供给设备与进液口相连,通入冷却水,冷却水进入到冷却管21中,辊套18内壁直接与冷却液24接触,将辊套18上的热量快速传导到冷却液24中,冷却管21浸没在冷却液24中,将冷却液24中的热量传导到冷却管21中,冷却管21中的冷却水交换后变热,变热的冷却水从回流管22流出,回流管22外壁38通过隔热层25包裹,使得回流管22中的热量不会进一步扩散到冷却液24中,回流管22中的水从出水管29流出。
通过在蒸镀鼓的两侧的未被薄膜基件覆盖的部分下方设置蒸镀挡板33,起到保护蒸镀鼓的空白部分的作用,蒸发的金属被蒸镀挡板33挡下,只需要清洗蒸镀挡板33即可。
所述辊体19内设有膨胀管31,所述膨胀管31一段和冷却腔23连通,所述膨胀管31另一端封闭,所述膨胀管31中部设有活塞32。
由于冷却腔23中的冷却液24会受热膨胀,冷却液24在受热后会产生膨胀,由于膨胀管31与冷却液24连通,冷却液24进入到膨胀管31中压缩活塞32移动,当冷却液24恢复到原来体积,活塞32会回缩到原来的位置,保证冷却液24的内压平衡。
所述蒸镀组件包括供丝线盘44、送丝机构、出丝嘴45及加热坩埚,所述出丝嘴45延伸至加热坩埚内,所述送丝机构包括送丝转轴46、固定于送丝转轴46上的若干送丝辊47、为送丝转轴46提供动力的动力装置,所述送丝辊47两端设有护线套48和压线块49;所述加热坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔36、围绕在所述容纳腔36外围的加热腔37、以及包围所述加热腔37的外壁38,所述加热腔37内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元39、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元40,所述加热腔37顶部设有用于所述被加热物料通过的流道41,所述流道41的顶端设置有开口,所述流道41的两端的直径大于所述流道41中部的直径,所述流道41的设置有所述开口的一端的直径小于所述容纳腔36的内径。
通过送丝辊47的不同直径,控制对每个蒸发舟的送丝速度,从而控制送丝量,改善产品的方阻均匀性,提高产品质量;通过设置护线套48,防止金属丝在输送过程中受损或卡断,保障输送的持续性和顺畅性;通过设置压线块49,能够对输送中的金属丝进行定位,并对铝丝末端形成约束,从而能有效防止铝丝末端在加热源上滑动,进而防止产生的铝渣飞溅到镀铝膜上对镀铝膜产生伤害,有效保证了镀铝膜的生产质量。
双供热系统设计,便于控制坩埚不同部分的温度,顶部的温度略高于材料蒸发温度,可以避免材料的凝结;通过精确控制蒸发温度,实现了材料蒸发速率的稳定,流道41为向外扩张的喇叭状,有利于稳定气态分子流。
所述加热腔37和外壁38之间设有热屏蔽层42。
设有热屏蔽层42,对整个加热腔37隔热保温,防止加热腔37内部热量的散失。
所述上部加热单元39和下部加热单元40的加热装置为围绕所述加热腔37螺旋延伸的电阻丝43。
电阻丝43围绕所述加热腔37均匀的螺旋延伸。这里的均匀的螺旋延伸是指相邻螺圈间的距离相等,以保证加热介质对被加热材料均匀加热。
所述收卷机构包括分切支架50和收卷支架51,所述分切支架50上设有传输装置和切割装置,所述收卷支架51上设有收卷辊56,所述传输装置包括接料转轴53,滚直转轴54和切割转轴55,所述切割装置包括刀轴58固定支架57,刀轴58,刀座59和切刀60,所述切刀60安装在刀座59上,所述刀座59套装在刀轴58上,所述刀轴58安装在刀轴58固定架上,所述刀座59由上半圆环61和下半圆环62衔接而成,所述上半圆环61和下半圆环62一端铰接,另一端通过衔接面对设,所述上半圆环61上设有与衔接面垂直的螺纹孔63,所述下半圆环62的对应位置设有通孔64,螺钉65穿过所述通孔64并紧固在所述螺孔内将两个半圆环连接一起,从而使得刀座59固定于刀轴58上;刀座59外端的中部开设有一缺口67,所述的切刀60通过一固定销68固定在缺口67中且该切刀60绕其固定销68可摆动,还包括设置在切刀60的刀背和缺口67棱底之间的能使切刀60摆动回弹的弹性薄片69,所述的弹性薄片69固定在缺口67棱底上。
经过镀膜后的金属化薄膜传输至接料转轴53处,依次通过滚直转轴54。切割转轴55,到达收卷辊56处,通过设置滚直转轴54对金属化薄膜进行平整压送,提高切割的平整性,通过刀座59控制切刀60对材料的切割深度,薄膜材料在收卷的同时分成所需宽度的条状,便于后道工序工人取用,提高了生产效率,刀座59可以方便从刀轴58上拆卸,如果松开内六角螺钉65,上半圆环61与下半圆环62可以以销轴为轴相对转动,使两个半圆环的衔接面相互分开,整个刀座59则可方便地从刀轴58上直接取下,而无需从刀轴58上拆卸刀片更无需拆卸刀轴58,从而提高效率和减少劳动量。
主要用弹性薄片69在切刀60和刀座59缺口67棱底之间起到减震缓冲作用,对金属薄膜分切时,分切张力始终保持适当的力度,对金属薄膜分切彻底。
所述刀轴58上设有刻度线52。
刀轴58上设有刻度线52,便于调节刀座59的位置,来控制加工出的条状薄膜的宽度,无需边调节边使用量具测量,减少了该工序的准备时间,一定程度的提高了生产效率。
所述切刀60的刀头呈三角形,位于刀尖处的两个边都开有刃口。
刀尖处的两个边都开有刃口,便于分卷开始时刀片刺入薄膜材料。
所述上半圆环61内环顶部设有键槽66。
在上半圆环61的内环处有键槽66,以与刀轴58上的键对应,防止刀座59相对于刀轴58转动。更重要的是,即使在卸掉螺栓后,由于键槽66与刀轴58上方的键配合使其卡在键上,在下方下半圆环62重力作用下上半圆环61也能够挂在刀轴58上而不掉落,这对刀座59的拆装变得更为有利,能够提高工作效率。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (10)

1.一种设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,包括真空镀膜室和设于真空镀膜室内的蒸镀鼓,所述蒸镀鼓的左侧固定安装有送膜机构,所述冷却转鼓的右侧固定安装有收卷机构,所述冷却转鼓的下方设有两个蒸镀组件,其特征在于:所述送膜机构包括安装板(1),设于安装板(1)上送膜单元和薄膜纠偏单元,所述送膜单元包括用于装载薄膜卷的膜卷轴(2)、驱动膜卷轴(2)转动以放卷的第一驱动件、若干固定张紧辊(3)以及设于浮动杆(5)上的若干活动张紧辊(4),所述浮动杆(5)一端铰接于安装板(1)上,另一端为自由端,所述活动张紧辊(4)固定于两个活动张紧辊(4)的轴心连线的中点下方;所述纠偏单元包括固定于安装板(1)上的横板(6),所述横板(6)上设有两个对称设置的支座(7),两个支座(7)之间架设有送膜辊(8),一个支座(7)上设有驱动送膜辊(8)移动的第二驱动件,所述横板(6)一侧设有一连杆(9),所述连杆(9)上设有两个对称设置的定位块(10),所述定位块(10)上设有光电传感器。
2.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述第一驱动件包括驱动电机(11),通过膜卷轴(2)轴头上的同步带(12)轮,用同步带(12)传动方式实现薄膜基材的主动送膜。
3.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述第二驱动件包括驱动气缸(13),设于支座(7)上的滑杆(14),套设于滑竿上的滑块(15),所述送膜辊(8)的两端固定于滑块(15)上,所述驱动气缸(13)的活塞(32)杆末端和滑块(15)连接。
4.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述定位块(10)的前端面上均设有通孔(64),所述通孔(64)均内配合有塞块(16),所述塞块(16)的前端面上均固定有挡板(17),所述挡板的左右两侧各固定有一根弹簧。
5.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述蒸镀鼓包括辊套(18)、辊体(19)、流通管(20),所述辊套(18)同心套设于辊体(19)外,所述辊体(19)和辊套(18)之间形成冷却腔(23),所述冷却腔(23)内填充有冷却液(24),所述辊体(19)外环套有隔热层(25),所述流通管(20)包括位于冷却腔(23)的冷却管(21)以及位于隔热层(25)内的回流管(22),所述冷却管(21)一端和回流管(22)流通,所述辊套(18)两端分别设有第一法兰(26)和第二法兰(27),所述第一法兰(26)上设有轴头组件,所述的轴头组件包括进水管(28)以及同心设置在该进水管(28)内的出水管(29),所述进水管(28)一端和冷却管(21)连通,所述出水管(29)一端和回流管(22)流通,所述第二法兰(27)连接有动力轴(30);所述蒸镀鼓还包括有蒸镀挡板(33)、挡板转轴(34)、定位销(35),所述蒸镀挡板(33)设有两块,分别位于蒸镀鼓未被薄膜基材覆盖的两侧下方,所述蒸镀挡板(33)一端通过挡板转轴(34)可转动的设于蒸镀鼓下方,所述定位销(35)位于蒸镀鼓下方和蒸镀挡板(33)相对应的另一边,所述蒸镀挡板(33)上设有和定位销(35)配合的定位槽。
6.根据权利要求5所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述辊体(19)内设有膨胀管(31),所述膨胀管(31)一段和冷却腔(23)连通,所述膨胀管(31)另一端封闭,所述膨胀管(31)中部设有活塞(32)。
7.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述蒸镀组件包括供丝线盘(44)、送丝机构、出丝嘴(45)及加热坩埚,所述出丝嘴(45)延伸至加热坩埚内,所述送丝机构包括送丝转轴(46)、固定于送丝转轴(46)上的若干送丝辊(47)、为送丝转轴(46)提供动力的动力装置,所述送丝辊(47)两端设有护线套(48)和压线块(49);所述加热坩埚包括用于容纳被加热物料的容纳腔(36)、围绕在所述容纳腔(36)外围的加热腔(37)、以及包围所述加热腔(37)的外壁(38),所述加热腔(37)内由上往下依次设有用于保证坩埚蒸发口的温度高于蒸发物料凝点并独立控温的上部加热单元(39)、位于坩埚外围独立控温的下部加热单元(40),所述加热腔(37)顶部设有用于所述被加热物料通过的流道(41),所述流道(41)的顶端设置有开口,所述流道(41)的两端的直径大于所述流道(41)中部的直径,所述流道(41)的设置有所述开口的一端的直径小于所述容纳腔(36)的内径。
8.根据权利要求1所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述收卷机构包括分切支架(50)和收卷支架(51),所述分切支架(50)上设有传输装置和切割装置,所述收卷支架(51)上设有收卷辊(56),所述传输装置包括接料转轴(53),滚直转轴(54)和切割转轴(55),所述切割装置包括刀轴(58)固定支架(57),刀轴(58),刀座(59)和切刀(60),所述切刀(60)安装在刀座(59)上,所述刀座(59)套装在刀轴(58)上,所述刀轴(58)安装在刀轴(58)固定架上,所述刀座(59)由上半圆环(61)和下半圆环(62)衔接而成,所述上半圆环(61)和下半圆环(62)一端铰接,另一端通过衔接面对设,所述上半圆环(61)上设有与衔接面垂直的螺纹孔(63),所述下半圆环(62)的对应位置设有通孔(64),螺钉(65)穿过所述通孔(64)并紧固在所述螺孔内将两个半圆环连接一起,从而使得刀座(59)固定于刀轴(58)上;刀座(59)外端的中部开设有一缺口(67),所述的切刀(60)通过一固定销(68)固定在缺口(67)中且该切刀(60)绕其固定销(68)可摆动,还包括设置在切刀(60)的刀背和缺口(67)棱底之间的能使切刀(60)摆动回弹的弹性薄片(69),所述的弹性薄片(69)固定在缺口(67)棱底上。
9.根据权利要求8所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述刀轴(58)上设有刻度线(52)。
10.根据权利要求8所述的设有纠偏送膜机构的真空镀膜机,其特征在于:所述上半圆环(61)内环顶部设有键槽(66)。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107663627A (zh) * 2017-10-31 2018-02-06 盐城市同齐电气制造有限公司 一种电容膜的蒸镀方法
CN108688035A (zh) * 2018-05-02 2018-10-23 广东莱尔新材料科技股份有限公司 一种用于冷却后的涂布胶带的出料机构
CN110589567A (zh) * 2019-08-12 2019-12-20 涿州皓原箔业有限公司 一种铝箔精分切机
CN111206218A (zh) * 2020-01-10 2020-05-29 安徽赛福电子有限公司 一种电容器用金属化膜的制作方法
CN113335660A (zh) * 2021-08-05 2021-09-03 南通铭创自动化设备有限公司 一种防水卷材热收缩包装的穿膜机构稳定装置
CN114975850A (zh) * 2022-07-01 2022-08-30 江阴纳力新材料科技有限公司 基于无机材料蒸镀的正极复合集流体制备装置及方法
CN115354294A (zh) * 2022-08-04 2022-11-18 无锡极电光能科技有限公司 蒸镀设备及利用蒸镀设备制备钙钛矿电池的方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6046182B2 (ja) * 1980-09-17 1985-10-15 松下電器産業株式会社 真空内被膜形成方法ならびに装置
CN202246836U (zh) * 2011-07-22 2012-05-30 上海奕瑞光电子科技有限公司 电阻加热式蒸发源
CN203187156U (zh) * 2013-04-02 2013-09-11 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种高真空卷绕镀铝膜机的自动收卷装置
CN203185415U (zh) * 2013-04-02 2013-09-11 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种镀铝膜机分切装置切刀的缓冲装置
CN203294361U (zh) * 2013-06-20 2013-11-20 北京和利康源医疗科技有限公司 一种中包送膜装置
CN203393217U (zh) * 2013-06-20 2014-01-15 芜湖市亿仑电子有限公司 含有主鼓挡板限位块的镀膜机
CN205167341U (zh) * 2015-10-16 2016-04-20 重庆雨帝建材有限公司 卷材冷却辊
CN105565042A (zh) * 2016-02-15 2016-05-11 世源科技(芜湖)新材料有限公司 一种生物降解薄膜加工用输送纠偏装置
CN205329149U (zh) * 2015-12-31 2016-06-22 菏泽天宇科技开发有限责任公司 一种真空镀膜冷却装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6046182B2 (ja) * 1980-09-17 1985-10-15 松下電器産業株式会社 真空内被膜形成方法ならびに装置
CN202246836U (zh) * 2011-07-22 2012-05-30 上海奕瑞光电子科技有限公司 电阻加热式蒸发源
CN203187156U (zh) * 2013-04-02 2013-09-11 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种高真空卷绕镀铝膜机的自动收卷装置
CN203185415U (zh) * 2013-04-02 2013-09-11 海宁长宇镀铝材料有限公司 一种镀铝膜机分切装置切刀的缓冲装置
CN203294361U (zh) * 2013-06-20 2013-11-20 北京和利康源医疗科技有限公司 一种中包送膜装置
CN203393217U (zh) * 2013-06-20 2014-01-15 芜湖市亿仑电子有限公司 含有主鼓挡板限位块的镀膜机
CN205167341U (zh) * 2015-10-16 2016-04-20 重庆雨帝建材有限公司 卷材冷却辊
CN205329149U (zh) * 2015-12-31 2016-06-22 菏泽天宇科技开发有限责任公司 一种真空镀膜冷却装置
CN105565042A (zh) * 2016-02-15 2016-05-11 世源科技(芜湖)新材料有限公司 一种生物降解薄膜加工用输送纠偏装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107663627A (zh) * 2017-10-31 2018-02-06 盐城市同齐电气制造有限公司 一种电容膜的蒸镀方法
CN108688035A (zh) * 2018-05-02 2018-10-23 广东莱尔新材料科技股份有限公司 一种用于冷却后的涂布胶带的出料机构
CN108688035B (zh) * 2018-05-02 2024-05-07 广东莱尔新材料科技股份有限公司 一种用于冷却后的涂布胶带的出料机构
CN110589567A (zh) * 2019-08-12 2019-12-20 涿州皓原箔业有限公司 一种铝箔精分切机
CN110589567B (zh) * 2019-08-12 2024-04-19 涿州皓原箔业有限公司 一种铝箔精分切机
CN111206218A (zh) * 2020-01-10 2020-05-29 安徽赛福电子有限公司 一种电容器用金属化膜的制作方法
CN113335660A (zh) * 2021-08-05 2021-09-03 南通铭创自动化设备有限公司 一种防水卷材热收缩包装的穿膜机构稳定装置
CN113335660B (zh) * 2021-08-05 2021-09-28 南通铭创自动化设备有限公司 一种防水卷材热收缩包装的穿膜机构稳定装置
CN114975850A (zh) * 2022-07-01 2022-08-30 江阴纳力新材料科技有限公司 基于无机材料蒸镀的正极复合集流体制备装置及方法
CN114975850B (zh) * 2022-07-01 2023-11-14 江阴纳力新材料科技有限公司 基于无机材料蒸镀的正极复合集流体制备装置及方法
CN115354294A (zh) * 2022-08-04 2022-11-18 无锡极电光能科技有限公司 蒸镀设备及利用蒸镀设备制备钙钛矿电池的方法

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