CN111206218A - 一种电容器用金属化膜的制作方法 - Google Patents

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Abstract

一种电容器用金属化膜的制作方法，所述制作方法包括：通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作；将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内，将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀；利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。本发明提供的制作方法在高真空度的真空仓内制作金属化膜，蒸镀的金属蒸气要达到饱和蒸气压，利用光密度仪监控金属化膜的透光性，微调蒸发温度、送丝速度和薄膜速度，从而控制金属化层厚度，进而可实现制作出所需厚度的金属化膜。

Description

一种电容器用金属化膜的制作方法
技术领域
本发明属于电容器加工的技术领域，特别涉及一种电容器用金属化膜的制作方法。
背景技术
电容器用金属化膜是将锌、铝等金属通过物理气相方法沉积在有机电介质薄膜上形成金属化层，从而获得电容器结构中的金属极板。金属化层的结构特别是厚度，关系到制成金属化膜电容器后的工作电压、ESR、损耗、使用寿命等性能，所以金属化层厚度控制是电容器用金属化膜制作的关键点。
发明CN201410774358《电容器用金属化膜》披露了金属镀层的结构。
发明CN201611190813《薄膜电容器用金属化薄膜》披露了金属化加厚层上设有排气通道。
发明申请CN201910338337《一种电容器用金属化薄膜及其制作方法》披露了金属化层的结构，第一铝层、锌层、第一铝层、AL2O3保护层，以及这种结构的实现方法。
现有的发明以及公开资料中只涉及金属化层的结构以及实现方法，没有金属化层厚度的控制方法，因而存在一定的局限性。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足，提供了一种电容器用金属化膜的制作方法，具体技术方案如下：
一种电容器用金属化膜的制作方法，所述制作方法包括：
通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作；
将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内，将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；
利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀；
利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
进一步地，所述金属原料包括铝丝和锌条，所述铝丝使用立方氮化硼蒸发舟熔化，所述锌条使用坩埚熔化。
进一步地，所述立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1200℃-1600℃，所述坩埚温度为500℃-600℃。
进一步地，所述铝丝、所述锌条通过送丝机分别送入到所述立方氮化硼蒸发舟、所述坩埚内进行融化蒸发。
进一步地，所述铝丝送丝速度400mm/min-600mm/min，所述锌条送丝速度150mm/min-350mm/min。
进一步地，所述真空仓内的真空度为10-2pa，所述基膜包括BOPP或BOPET。
进一步地，所述蒸镀辊温度为-20±10℃，所述基膜经过所述铝丝的速度为7-8m/s，所述基膜经过所述锌条的速度为12-14m/s。
进一步地，所述调整蒸镀所述金属化层的厚度包括：调整融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。
进一步地，还包括对基膜上不需要金属化层的区域是通过涂抹油屏蔽进行；所述涂抹油屏蔽由屏蔽管进行，所述屏蔽管与基膜的距离为5±0.2mm，且所述屏蔽管加热温度为100℃-130℃。
本发明的有益效果是：
本发明提供的制作方法在高真空度的真空仓内制作金属化膜，蒸镀的金属蒸气要达到饱和蒸气压，利用光密度仪监控金属化膜的透光性，微调蒸发温度、送丝速度和薄膜速度，从而控制金属化层厚度，进而可实现制作出所需厚度的金属化膜。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明提供一种电容器用金属化膜的制作方法，所述制作方法包括以下步骤：
步骤一：通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作；
具体的，所述金属化膜制作在真空仓内进行，真空度达到10-2pa(10-4mbar)量级；所述金属原料包括铝丝和锌条，所述铝丝使用立方氮化硼蒸发舟熔化，所述锌条使用坩埚熔化；所述立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1200℃-1600℃，所述坩埚温度为500℃-600℃；所述铝丝、所述锌条通过送丝机分别送入到所述立方氮化硼蒸发舟、所述坩埚内进行融化蒸发；所述铝丝送丝速度400mm/min-600mm/min，所述锌条送丝速度150mm/min-350mm/min。即通过一定的速度将锌条送入到真空仓内的坩埚内进行蒸发融化，将铝丝通过一定的速度送入到真空仓内的立方氮化硼蒸发舟内进行蒸发融化。
步骤二：将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内，将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；
具体的，所述基膜包括BOPP(双向拉伸聚丙烯薄膜)或BOPET(双向拉伸聚酯薄膜)，所述蒸镀辊温度为-20±10℃，所述基膜经过所述铝丝的速度为7-8m/s，所述基膜经过所述锌条的速度为12-14m/s。即将基膜由放卷机构进行放卷，并使基膜以一定的速度经过真空仓，先后通过真空仓内蒸发的锌条和铝丝，实现在基膜的外部形成金属化层。
步骤三：利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀；
具体的，利用光密度仪监控步骤二中蒸镀的金属层透光性，判断金属层的厚度，判断金属层的厚度是否满足需求，若金属层的厚度不满足需求，即金属层过薄或者过厚，则调整蒸镀所述金属化层的厚度对后续的基膜继续蒸镀，所述调整蒸镀所述金属化层的厚度包括：调整融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。
步骤四：利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
本发发明还包括对基膜上不需要金属化层的区域是通过涂抹油屏蔽进行；所述涂抹油屏蔽由屏蔽管进行，所述屏蔽管与基膜的距离为5±0.2mm，且所述屏蔽管加热温度为100℃-130℃。
实施案例一：
进行6um的金属化膜的蒸镀。
控制铝丝送丝速度为500mm/min(方阻2Ω/典型值)，锌条送丝速度为250mm/min(方阻7.5Ω/典型值)，通过此速度将锌条送入到真空仓内的坩埚内进行蒸发融化，坩埚的温度为550℃，将铝丝送入到真空仓内的立方氮化硼蒸发舟内进行蒸发融化，立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1400℃。
将待蒸镀的BOPP基膜由放卷系统放卷，进入到真空仓内将融化蒸发后的锌条和铝丝经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；其中蒸镀辊温度为-20℃，基膜经过铝丝的速度为7m/s(方阻2Ω/典型值)，基膜经过锌条的速度为12m/s(方阻2Ω/典型值)。
利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，获得相关数据，得到金属化层厚度为5.5um，由于金属化层的厚度需求无法达到需求，则微调融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。示例性的，升高融化蒸发温度或者加快送丝机的送丝速度，或者放慢收卷速度。
而后利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
实施案例二：
进行5um的金属化膜的蒸镀。
控制铝丝送丝速度为500mm/min(方阻2Ω/典型值)，锌条送丝速度为250mm/min(方阻7.5Ω/典型值)，通过此速度将锌条送入到真空仓内的坩埚内进行蒸发融化，坩埚的温度为550℃，将铝丝送入到真空仓内的立方氮化硼蒸发舟内进行蒸发融化，立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1400℃。
将待蒸镀的BOPP基膜由放卷系统放卷，进入到真空仓内将融化蒸发后的锌条和铝丝经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；其中蒸镀辊温度为-20℃，基膜经过铝丝的速度为7m/s(方阻2Ω/典型值)，基膜经过锌条的速度为12m/s(方阻2Ω/典型值)。
利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，获得相关数据，得到金属化层厚度为5.5um，由于金属化层的厚度需求无法达到需求，则微调融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。示例性的，降低融化蒸发温度或者减慢送丝机的送丝速度，或者加快收卷速度。
而后利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
为了确保检测结果更加的准确，通过光密度仪获得的透光性数据后通过对应的方块电阻进行金属化层厚度的判断。
本发明提供的制作方法在高真空度的真空仓内制作金属化膜，蒸镀的金属蒸气要达到饱和蒸气压，利用光密度仪监控金属化膜的透光性，微调蒸发温度、送丝速度和薄膜速度，从而控制金属化层厚度，进而可实现制作出所需厚度的金属化膜。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述制作方法包括：
通过金属原料的融化蒸发进行金属化膜的制作；
将待蒸镀的基膜由放卷系统放卷进入到真空仓内，将融化蒸发后的所述金属原料经蒸镀辊蒸镀后在所述基膜外形成金属化层；
利用光密度仪监控所述金属化层的透光性，根据所述透光性调整蒸镀所述金属化层的厚度继续蒸镀；
利用收卷系统对所述蒸镀后的基膜进行收卷。
2.根据权利要求1所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述金属原料包括铝丝和锌条，所述铝丝使用立方氮化硼蒸发舟熔化，所述锌条使用坩埚熔化。
3.根据权利要求2所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述立方氮化硼蒸发舟熔化温度为1200℃-1600℃，所述坩埚温度为500℃-600℃。
4.根据权利要求3所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述铝丝、所述锌条通过送丝机分别送入到所述立方氮化硼蒸发舟、所述坩埚内进行融化蒸发。
5.根据权利要求4所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述铝丝送丝速度400mm/min-600mm/min，所述锌条送丝速度150mm/min-350mm/min。
6.根据权利要求1所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述真空仓内的真空度为10-2pa，所述基膜包括BOPP或BOPET。
7.根据权利要求2所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述蒸镀辊温度为-20±10℃，所述基膜经过所述铝丝的速度为7-8m/s，所述基膜经过所述锌条的速度为12-14m/s。
8.根据权利要求1所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：所述调整蒸镀所述金属化层的厚度包括：调整融化蒸发温度、送丝机的送丝速度或收卷系统的收卷速度中的一种或者多种。
9.根据权利要求1所述的一种电容器用金属化膜的制作方法，其特征在于：还包括对基膜上不需要金属化层的区域是通过涂抹油屏蔽进行；所述涂抹油屏蔽由屏蔽管进行，所述屏蔽管与基膜的距离为5±0.2mm，且所述屏蔽管加热温度为100℃-130℃。
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