CN201037150Y - 真空感应镀锡装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空感应镀锡装置，包括真空蒸镀机，所述真空蒸镀机由真空系统，蒸发系统，薄膜卷绕系统，冷却系统和控制系统构成，其中，所述蒸发系统为蒸发舟，所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚，所述石墨坩埚外设置保温层，所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器，所述线圈感应器连接高频电源。使用本实用新型镀锡，能使镀锡薄膜的产量提高，生产效率提高，并保证较高的成品率，解决了一直以来镀锡薄膜不能大量生产的缺陷，使得镀锡薄膜的应用市场成为可能。

Description

真空感应镀锡装置

技术领域

本实用新型涉及一种镀锡装置，特别是一种真空感应镀锡装置。

背景技术

真空蒸镀金属薄膜是在高真空(10^-4mba以上)条件下，以电阻、高频或电子束加热使金属熔融气化，在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜的一种工艺。被镀金属材料可以是金、银、铜、锌、铬、铝等，其中用的最多的是铝。

传统的真空蒸镀机由真空系统，蒸发系统，薄膜卷绕系统，冷却系统和控制系统构成，图1为传统真空蒸镀机的结构示意图，如图1所示，真空系统为真空室1；蒸发系统为蒸发舟11；薄膜卷绕系统为卷绕辊筒3，放卷辊5，还有调整张力的张紧轮7；冷却系统为水冷辊筒6。将卷筒状的待镀薄膜基材装在真空蒸镀机的放卷辊5上，将薄膜穿过水冷却辊6(蒸镀辊)卷绕在收卷站的卷绕辊筒3上，用真空泵将真空室1抽真空，使蒸镀室中的真空度达到4×10^-4mba以上，加热蒸发舟11使高纯度的铝丝在1300℃～1400℃的温度下融化并蒸发成气态铝。启动薄膜卷绕系统，当薄膜运行速度达到一定数值后，打开挡板机构10使气态铝微粒在移动的薄膜基材表面沉积、冷却即形成一层连续而光亮的金属铝层。通过控制金属铝的蒸发速度、基材薄膜的移动速度以及蒸镀室内的真空度等来控制镀铝层的厚度。真空室1上有观察孔2，还有下室排气口12，蒸发舟11的上方还设有隔板。

控制系统用于调节好放卷速度、收卷速度、送丝速度和蒸发量，开通冷却源，使铝丝在蒸发舟上连续地熔化、蒸发，从而在移动的薄膜表面冷却后形成一层光亮的铝层即为镀铝薄膜。镀铝薄膜生产工艺流程：基材放卷→抽真空→加热蒸发舟→送铝丝→蒸镀→冷却→测厚→展平→收卷。

现在市场上用于塑料薄膜的真空镀铝设备主要有缠绕式和悬浮式两种类型，但无论是缠绕式还是悬浮式，一般都是由真空系统、蒸发系统、薄膜卷绕系统、冷却系统、控制系统等主要部分组成。

传统的塑料薄膜上镀锡多采用磁控溅射方式蒸发，但存在着蒸发量小，产量很低的缺陷，每分钟只能镀3米，成本较高，无法大规模生产。还有采用电子加热式或电阻加热式在塑料薄膜上镀锡，这些都是产量很小，良品率很低，不具备大规模连续生产的条件。电子加热式和磁控溅射式都属于低蒸发量蒸发手段，速度很慢，效率低。电阻式的加热，由于锡的物理特征，熔点只有230℃，蒸发点为1250℃，所以加热体很难选择，致使在塑料基材上镀锡比较困难，长期以来都无法用镀铝的装置来进行镀锡操作，由于成品率低，生产速度慢，致使镀锡薄膜由于成本较高，造成薄膜的针孔数量较多，难以满足市场的要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对现有技术中镀锡设备产量低，速度慢的不足，提供一种真空感应镀锡装置，该装置通过改变传统蒸发舟的结构，使得镀锡成品率提高，提高了镀锡膜的质量，解决了传统镀锡膜过程中，速度慢的缺陷，可以实现大规模生产。

为此，本实用新型提供了一种真空感应镀锡装置，包括真空蒸镀机，所述真空蒸镀机由真空系统，蒸发系统，薄膜卷绕系统，冷却系统和控制系统构成，其中，所述蒸发系统为蒸发舟，所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚，所述石墨坩埚外设置保温层，所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器，所述线圈感应器连接高频电源。

本实用新型通过改变蒸发舟的结构，解决了使用传统真空蒸镀机镀锡时，镀锡薄膜上针孔多，成品率低的缺陷，而且由于锡的熔点较低，无法像镀铝膜时将铝丝慢慢送至蒸发舟上方，因为早就熔化掉了，所以针对这一特点，本实用新型采用可以加热至1200℃的石墨坩埚，石墨坩埚外周用感应线圈环绕，又采用高频电源供电，以保证放置在石墨坩埚内的锡金属能够快速熔化并蒸发，使用本实用新型镀锡，能使镀锡薄膜的产量提高，生产效率提高，并保证较高的成品率，解决了一直以来镀锡薄膜不能大量生产的缺陷，使得镀锡薄膜的应用市场成为可能。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1为传统真空蒸镀机的结构示意图；

图2为本实用新型蒸发舟的结构示意图。

附图标记说明：

1—真空室；        2—观察孔；    3—卷绕辊筒；

4—上室排气口；    5—放卷辊；    6—水冷辊筒；

7—张紧轮；        8—隔板缝；    9—隔板；

10—挡板机构；     11一蒸发舟；   12—下室排气口；

21—石墨坩埚；     22—保温层；   23—线圈感应器；

24—高频电源；     25—锡金属。

具体实施方式

图2为本实用新型蒸发舟的结构示意图。本实用新型包括真空蒸镀机，所述真空蒸镀机由真空系统，蒸发系统，薄膜卷绕系统，冷却系统和控制系统构成，所述蒸发系统为蒸发舟11，蒸发舟11包括用于放置、熔化并蒸发锡金属25的石墨坩埚21，石墨坩埚21外设置保温层22，保温层22外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器23，线圈感应器23连接高频电源24。

上述实施例中，高频电源24的频率范围可为6KHz至20KHz，功率可为10KW至30KW。

上述实施例中，石墨坩埚21加热后温度可达到1200℃至1500℃。

最后所应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围。

Claims (3)

1.一种真空感应镀锡装置，包括真空蒸镀机，所述真空蒸镀机由真空系统，蒸发系统，薄膜卷绕系统，冷却系统和控制系统构成，其特征在于，所述蒸发系统为蒸发舟，所述蒸发舟包括用于放置、熔化并蒸发锡金属的石墨坩埚，所述石墨坩埚外设置保温层，所述保温层外环绕设置有用于通过电感应磁场加热的线圈感应器，所述线圈感应器连接高频电源。

2.根据权利要求1所述的真空感应镀锡装置，其特征在于，所述高频电源的频率范围为6KHz至20KHz，功率为10KW至30KW。

3.根据权利要求1所述的真空感应镀锡装置，其特征在于，所述石墨坩埚加热后温度为1200℃至1500℃。

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