CN106167186B - 薄膜运送装置和薄膜运送方法 - Google Patents

Abstract

本发明的薄膜运送装置包括：运送部(6)，向规定的一个方向运送薄膜(100)；以及薄膜保持部(5、7)，具有卷筒，该卷筒向与卷筒电动机(11、26)的旋转方向相对应的方向进行旋转，并且在停止时保持薄膜，该薄膜运送装置在运送部进行薄膜的运送时的至少开始时，对卷筒赋予朝向运送薄膜的旋转方向的转矩。这样，由于在进行薄膜的运送工作时抑制了对薄膜的过度的负荷，同时防止了薄膜的松弛，对薄膜赋予了适当的张力，因此，能够确保薄膜的稳定的运送状态。

Description

薄膜运送装置和薄膜运送方法

技术领域

本发明涉及利用运送部运送薄膜的薄膜运送装置和薄膜运送方法。

背景技术

已知有运送多层薄膜等各种薄膜的薄膜运送装置。在这种薄膜运送装置中具有进行各种加工的机构，例如，对运送中的薄膜贴上其他薄膜、或从运送中的薄膜上剥离一部分层等的加工。此外，在薄膜运送装置中还具有对运送中的薄膜的一部分进行剪切加工的机构。

在上述这样的薄膜运送装置中，需要对运送中的薄膜赋予一定的张力，来消除薄膜的松弛等变形，以确保薄膜稳定的运送状态。

在以前的薄膜运送装置中，作为防止发生薄膜松弛等变形的方法，例如已经提出了如下方法(例如，参照专利文献1和专利文献2)。

专利文献1中记载的薄膜运送装置中具有：抽出薄膜的抽出卷筒(卷出部件)、卷绕薄膜的卷绕卷筒(卷绕部件)以及位于两者之间的送出机构(夹紧传送装置)。在抽出卷筒与送出机构之间设置张力调节辊等张力附加部件，在利用张力附加部件对薄膜赋予了张力的状态下，利用送出机构送出薄膜进行运送。在运送时，在加工区域对薄膜进行开孔或半切割等加工。

专利文献2中记载的薄膜运送装置中具有：抽出薄膜的抽出卷筒(供给滚筒)、对薄膜进行加工的模切加工部以及运送薄膜的夹紧传送装置。在供给滚筒与模切加工部之间设置张力调节辊和对张力调节辊施加重量的张力转换部件，利用张力转换部件对通过张力调节辊赋予给薄膜的张力进行转换。从供给滚筒送出的薄膜被夹紧传送装置运送，并被模切加工部将指定的部分模切。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2007-137596号公报

专利文献2：日本特开2009-56570号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在如上所述的薄膜运送装置中，在赋予给薄膜的张力低的情况下，薄膜在运送时容易松弛，反之，在赋予给薄膜的张力高的情况下，会赋予给薄膜过度的负荷，有产生薄膜损伤或断裂的危险。

从而，在专利文献1和专利文献2中记载的薄膜运送装置中，当运送时所赋予的张力对薄膜赋予了过度的负荷时，有阻碍薄膜的良好的运送工作的危险。特别是在进行了开孔或半切割或模切等加工的情况下，由于薄膜强度下降，因此会由于所赋予的张力的大小而变为薄膜更容易产生损伤或断裂的状态。

另一方面，当赋予给薄膜的张力过低时，薄膜容易产生松弛，就会有无法确保薄膜的稳定运送状态的危险。

那么，本发明的薄膜运送装置和薄膜运送方法解决了上述问题，其目的在于，争取对薄膜赋予适当的张力，从而确保薄膜的稳定的运送状态。

用于解决问题的手段

第一，本发明涉及的薄膜运送装置包括：运送部，向指定的一个方向运送薄膜；以及薄膜保持部，具有卷筒，该卷筒向与卷筒电动机的旋转方向相对应的方向进行旋转，并且在停止时保持所述薄膜，该薄膜运送装置在所述运送部运送所述薄膜时的至少开始时，对所述卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩。

这样，就会利用赋予给卷筒的转矩而减轻对薄膜的负荷。

第二，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，跟随着在所述运送部中产生的转矩而对所述卷筒赋予转矩。

这样，卷筒就会跟随着运送部的工作而进行工作。

第三，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，对所述卷筒赋予的转矩的大小，是基于在所述运送部中产生的转矩的大小决定的，在从所述薄膜的运送工作的开始到即将结束之前的状态中，对所述卷筒赋予任意时刻的大小与在所述运送部中产生的转矩的大小大致成比例的大小的转矩。

这样，赋予给薄膜的张力就成为大致一定的张力。

第四，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，作为所述卷筒，设置朝向所述运送部抽出所卷绕的所述薄膜的抽出卷筒。

这样，就会在由运送部运送薄膜时，利用赋予给抽出卷筒的转矩减轻对薄膜的负荷。

第五，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，作为所述卷筒，设置卷绕由所述运送部运送的所述薄膜的卷绕卷筒。

这样，就会在由运送部运送薄膜时，利用赋予给卷绕卷筒的转矩防止薄膜的松弛。

第六，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，作为所述卷筒，设置第一卷筒和第二卷筒，作为所述第一卷筒，设置朝向所述运送部抽出所卷绕的所述薄膜的抽出卷筒，作为所述第二卷筒，设置卷绕由所述运送部运送的所述薄膜的卷绕卷筒。

这样，就会在由运送部运送薄膜时，利用赋予给抽出卷筒的转矩减轻对薄膜的负荷，利用赋予给卷绕卷筒的转矩防止薄膜的松弛。

第七，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，在所述运送部进行的所述薄膜的运送工作停止的状态中，对所述抽出卷筒赋予朝向与运送所述薄膜的旋转方向相反的方向的转矩。

这样，就会对在运送工作停止时存在于抽出卷筒与运送部之间的薄膜赋予张力，在不产生薄膜松弛的状态下开始运送工作。

第八，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中，在所述运送部进行的所述薄膜的运送工作停止的状态中，对所述卷绕卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩。

这样，就会对在运送工作停止时存在于卷绕卷筒与运送部之间的薄膜赋予张力，在不产生薄膜松弛的状态下开始运送工作。

第九，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中设置卷径传感器，该卷径传感器对缠绕在所述抽出卷筒上的所述薄膜的卷径进行检测，按照由所述卷径传感器检测出的结果，控制赋予给所述抽出卷筒的转矩的大小。

这样，就会对薄膜赋予与相对于抽出卷筒的薄膜卷径相对应的适当的张力。

第十，在上述的本发明涉及的薄膜运送装置中设置卷径传感器，该卷径传感器对缠绕在所述卷绕卷筒上的所述薄膜的卷径进行检测，按照由所述卷径传感器检测出的结果，控制赋予给所述卷绕卷筒的转矩的大小。

这样，就会对薄膜赋予与相对于卷绕卷筒的薄膜卷径相对应的适当的张力。

本发明涉及的薄膜运送方法是薄膜运送装置的薄膜运送方法，所述薄膜运送装置包括：运送部，向规定的一个方向运送薄膜；以及薄膜保持部，具有卷筒，该卷筒向与卷筒电动机的旋转方向相对应的方向进行旋转，并且在停止时保持所述薄膜，该薄膜运送方法在运送所述薄膜时的至少开始时，对所述卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩。

这样，就会利用赋予给卷筒的转矩减轻对薄膜的负荷。

发明效果

本发明的薄膜运送装置和薄膜运送方法由于在由运送部运送薄膜时，利用赋予给卷筒的转矩减轻对薄膜的负荷，因此，能够对薄膜赋予适当的张力，从而确保薄膜的稳定的运送状态。

附图说明

图1是与图2至图8共同示出本发明的薄膜运送装置和薄膜运送方法的图示，本图是薄膜的立体图。

图2是薄膜运送装置的概略侧视图。

图3是薄膜运送装置的框图。

图4是与图5至图7共同示出第一运送部的工作的图示，本图是示出第一固定夹具(clamper)和第一移动夹具的初始状态的概略侧视图。

图5是示出利用第一移动夹具夹持薄膜的状态的概略侧视图。

图6是示出第一移动夹具移动到运送位置并运送了薄膜的状态的概略侧视图。

图7是示出在运送了薄膜的状态中，利用第一固定夹具夹持了薄膜的状态的概略侧视图。

图8是示出转矩控制的例子的图表。

具体实施方式

以下，按照附图，对用于实施本发明的薄膜运送装置和薄膜运送方法的实施方式进行说明。

在薄膜运送装置中，向规定的一个方向运送薄膜，在以下的说明中，以薄膜的运送方向为右方，以与运送方向相反的方向为左方，示出前后上下左右的方向。再有，以下所示的前后上下左右的方向是为了方便说明，关于本发明的实施，不限定于这些方向。

(薄膜结构和薄膜加工工序的概要)

首先，对在薄膜运送装置中使用的薄膜的结构和薄膜的加工工序的一例的概要进行说明。再有，以下所示的薄膜包括由树脂材料或金属材料等各种材料形成的各种薄膜，例如也包括薄金属箔等。此外，以下所示的薄膜的层数任意，可以是多层薄膜，也可以是单层薄膜。

薄膜100在加工前例如由3层构成，下侧的基底保护层101和上侧的表面保护层102被黏着层103黏在一起(参照图1)。在薄膜100中，至少在表面保护层102和黏着层103上预先以纵向等间隔相隔地形成矩形切口(半切割部)104、104、……。

薄膜100被从薄膜运送装置1中的入口侧朝着右方向出口侧运送。在运送中，表面保护层102和黏着层103的每个的至少一部分被剥离(参照图2)。

接着，在表面保护层102和黏着层103的各个残留部分上粘贴保护薄膜200。

在如上所述地加工薄膜100时，利用未图示的压力机装置，对规定的每个部分进行切断，制造出许多产品。

再有，上述的薄膜100的结构和薄膜100的加工工序是一例，也可以是其他的薄膜结构和薄膜的加工工序。

(薄膜运送装置的概略结构)

下面，关于对薄膜100进行如上所述的加工和运送的薄膜运送装置1的概略结构进行说明(参照图2和图3)。

薄膜运送装置1具有台座2和左右相隔地设置在台座2上的第一支柱3以及第二支柱4。在薄膜运送装置1中从左侧开始依次设置有第一抽出部5、第一运送部6、第一卷绕部7、第二抽出部8、第二运送部9和第二卷绕部10。

第一抽出部5和第二抽出部8分别具有朝向第一运送部6和第二运送部9抽出薄膜100的功能，并且还发挥在未进行薄膜100的运送的停止时，保持所缠绕的薄膜100的薄膜保持部的功能。

此外，第一卷绕部7和第二卷绕部10分别具有卷绕被第一运送部6和第二运送部9运送的薄膜100的功能，并且还发挥在不进行薄膜100的运送的停止时，保持所缠绕的薄膜100的薄膜保持部的功能。

在台座2上的左右两端部设置有卷筒支撑部2a、2b。在台座2上左右相隔地设置有滚筒支撑部2c、2d。

第一抽出部5具有：第一抽出卷筒11，自由旋转地支撑在卷筒支撑部2a上；第一抽出用卷筒电动机12，使第一抽出卷筒11进行旋转；以及第一抽出卷筒控制单元13，基于抽出转矩控制信号，控制第一抽出用卷筒电动机12。

第一抽出卷筒11向着与第一抽出用卷筒电动机12的旋转方向相对应的方向进行旋转。

第一运送部6具有从左开始依次配置的引入(pull-in)辊14、第一固定夹具15、第一移动夹具16和导向连结部17。在第一运送部6上设置有导向轴18，该导向轴18的轴向上的两个端部分别与第一固定夹具15和导向连结部17相连结。

第一运送部6具有第一进给用电动机19、第一进给控制单元20、第一固定夹具用促动器21、第一移动夹具用促动器22和第一夹具控制单元23。

第一进给用电动机19被基于进给控制信号进行工作的第一进给控制单元20进行控制。第一固定夹具用促动器21和第一移动夹具用促动器22被基于夹具控制信号进行工作的第一夹具控制单元23进行控制。

第一固定夹具15由位于上下位置的可动部15a和固定部15b构成，可动部15a可向上下方向移动，固定部15b向上下方向和左右方向都不会移动而固定。可动部15a利用第一固定夹具用促动器21向上下方向移动。

第一固定夹具15被设定为夹持状态或者非夹持状态，所述夹持状态为，可动部15a移动到下方后，由可动部15a和固定部15b以面接触的状态从厚度方向夹持薄膜100，所述非夹持状态为，可动部15a移动到上方后，解除对薄膜100的夹持。

第一移动夹具16由位于上下位置的可动部16a和固定部16b构成，可动部16a和固定部16b可成为一体地向左右方向移动，可动部16a可向上下方向移动。第一移动夹具16在移动范围中的左端待机位置与移动范围中的右端运送位置之间向左右方向移动。第一移动夹具16通过第一进给用电动机19向左右方向移动。可动部16a通过第一移动夹具用促动器22向上下方向移动。

第一移动夹具16被设定为夹持状态或者非夹持状态，所述夹持状态为，可动部16a移动到下方后，由可动部16a和固定部16b以面接触的状态从厚度方向夹持薄膜100，所述非夹持状态为，可动部16a移动到上方后，解除对薄膜100的夹持。

导向轴18在左右方向上延伸，左端部与第一固定夹具15的固定部15b相连结，右端部与导向连结部17相连结。在导向轴18上自由滑动地支撑第一移动夹具16的固定部16b，第一移动夹具16被导向轴18引导而向左右方向移动。

第一卷绕部7具有：第一卷绕卷筒24，自由旋转地支撑在第一支柱3上；一对剥离用滚筒25、25，自由旋转地支撑在滚筒支撑部2c上；第一卷绕用卷筒电动机26，使第一卷绕卷筒24进行旋转；以及第一卷绕卷筒控制单元27，基于卷绕转矩控制信号，控制第一卷绕用卷筒电动机26。

第一卷绕卷筒24向着与第一卷绕用卷筒电动机26的旋转方向相对应的方向进行旋转。

在第一卷绕部7中，预先已在表面保护层102和黏着层103上形成有矩形切口104、104、……的加工前的薄膜100，被剥离用滚筒25、25夹持，表面保护层102和黏着层103的每个的一部分被卷绕在第一卷绕卷筒24上而剥离。

第二抽出部8具有：第二抽出卷筒28，自由旋转地支撑在第二支柱4上；一对粘贴用滚筒29、29，自由旋转地支撑在滚筒支撑部2d上；第二抽出用卷筒电动机30，使第二抽出卷筒28进行旋转；以及第二抽出卷筒控制单元31，基于抽出转矩控制信号，控制第二抽出用卷筒电动机30。

第二抽出卷筒28向着与第二抽出用卷筒电动机30的旋转方向相对应的方向进行旋转。

在第二抽出部8中，保护薄膜200被从第二抽出卷筒28供给后，被一对粘贴用滚筒29、29粘贴在已剥离了表面保护层102和黏着层103的每个的一部分的薄膜100上。

第二运送部9具有从左向右依次配置的第二固定夹具32、第二移动夹具33、导向连结部34、引出滚筒35。在第二运送部9上设置有导向轴36，该导向轴36的轴向上的两个端部分别与第二固定夹具32和导向连结部34相连结。

第二运送部9具有第二进给用电动机37、第二进给控制单元38、第二固定夹具用促动器39、第二移动夹具用促动器40和第二夹具控制单元41。

第二进给用电动机37被基于进给控制信号进行工作的第二进给控制单元38进行控制。第二固定夹具用促动器39和第二移动夹具用促动器40被基于夹具控制信号进行工作的第二夹具控制单元41进行控制。

第二固定夹具32由位于上下位置的可动部32a和固定部32b构成，可动部32a可向上下方向移动，固定部32b向上下方向和左右方向都不会移动而固定。可动部32a利用第二固定夹具用促动器39向上下方向移动。

第二固定夹具32被设定为夹持状态或者非夹持状态，所述夹持状态为，可动部32a移动到下方后，由可动部32a和固定部32b以面接触的状态从厚度方向夹持薄膜100，所述非夹持状态为，可动部32a移动到上方后，解除对薄膜100的夹持。

第二移动夹具33由位于上下位置的可动部33a和固定部33b构成，可动部33a和固定部33b可成为一体地向左右方向移动，可动部33a可向上下方向移动。第二移动夹具33在移动范围中的左端待机位置与移动范围中的右端运送位置之间向左右方向移动。第二移动夹具33利用第二进给用电动机37向左右方向移动。可动部33a利用第二移动夹具用促动器40向上下方向移动。

第二移动夹具33被设定为夹持状态或者非夹持状态，所述夹持状态为，可动部33a移动到下方后，由可动部33a和固定部33b以面接触的状态从厚度方向夹持薄膜100，所述非夹持状态为，可动部33a移动到上方后，解除对薄膜100的夹持。

导向轴36在左右方向上延伸，左端部与第二固定夹具32的固定部32b相连结，右端部与导向连结部34相连结。在导向轴36上自由滑动地支撑第二移动夹具33的固定部33b，第二移动夹具33被导向轴36引导而向左右方向移动。

第二卷绕部10具有：第二卷绕卷筒42，自由旋转地支撑在卷筒支撑部2b上；第二卷绕用卷筒电动机43，使第二卷绕卷筒42进行旋转；以及第二卷绕卷筒控制单元44，基于抽出转矩控制信号，控制第二卷绕用卷筒电动机43。

第二卷绕卷筒42向着与第二卷绕用卷筒电动机43的旋转方向相对应的方向进行旋转。

(薄膜运送工作的概略)

以下，对薄膜100的运送工作的概略进行说明(参照图2)。

薄膜100被第一运送部6向右方运送后，从第一抽出卷筒11抽出。薄膜100的运送通过第一移动夹具16向左右方向重复地往复而间歇地进行，并且通过第一移动夹具16在夹持薄膜100的夹持状态下从待机位置移动到运送位置，由此而进行每一次的循环。在结束了一个循环的运送时，第一移动夹具16以非夹持状态从运送位置移动到待机位置。

由第一运送部6向右方运送的薄膜100，在通过剥离用滚筒25、25的位置上，被剥离了表面保护层102和黏着层103的每个的一部分，剥离后的表面保护层102和黏着层103的每个的一部分被第一卷绕卷筒24卷绕。

薄膜100中未被剥离的部分被进一步向右方运送。由第二运送部9进行从剥离用滚筒25、25向右方运送薄膜100。在第二运送部9中，第二移动夹具33与第一移动夹具16的向左右方向的移动同步地间歇地向左右方向移动，通过第二移动夹具33在夹持薄膜100的夹持状态下从待机位置移动到运送位置，由此而进行每一次的循环。在结束了一个循环的运送时，第二移动夹具33以非夹持状态从运送位置移动到待机位置。

在从剥离用滚筒25、25向右方运送，并已剥离了表面保护层102和黏着层103的每个的一部分的薄膜100上，在通过粘贴用滚筒29、29的位置上时，粘贴从第二抽出卷筒28抽出的保护薄膜200。已粘贴了保护薄膜200的薄膜100，被第二运送部9向右方运送后卷绕在第二卷绕卷筒42上。

(运送部涉及的薄膜的运送工作)

下面，对运送部涉及的薄膜100的具体运送工作进行说明(参照图4至图7)。再有，由于第一运送部6和第二运送部9涉及的薄膜100的运送工作相同，因此，作为例子，对第一运送部6涉及的运送工作进行说明。

在运送前的初始状态，如图4所示，第一固定夹具15设定为可动部15a移动到下方并夹持薄膜100的夹持状态，第一移动夹具16设定为处于左方移动端的待机位置的可动部16a移动到上方后解除对薄膜100的夹持的非夹持状态。从而，在初始状态，薄膜100被第一固定夹具15夹持着。

当在上述初始状态中开始了运送工作时，可动部16a移动到下方，第一移动夹具16设定为夹持状态，利用第一移动夹具16夹持薄膜100。

接着，可动部15a移动到上方，第一固定夹具15设定为非夹持状态，由第一固定夹具15夹持薄膜100的夹持状态被解除(参照图5)。

接着，夹持着薄膜100的第一移动夹具16向右方移动到运送位置，运送了薄膜100(参照图6)。

接着，可动部15a移动到下方，第一固定夹具15设定为夹持状态，可动部16a移动到上方，第一移动夹具16设定为非夹持状态(参照图7)。

接着，第一移动夹具16从运送位置向左方移动到待机位置，第一固定夹具15和第一移动夹具16返回到初始状态，一个循环的运送工作结束(参照图4)。

当第一固定夹具15和第一移动夹具16返回到初始状态时，上述的第一固定夹具15和第一移动夹具16的工作重复进行，通过多个循环的工作而间歇地运送薄膜100。

(薄膜运送装置中的转矩控制)

下面，对薄膜运送装置1中的对卷筒的转矩控制进行说明(参照图3和图8)。在薄膜运送装置1中，对第一抽出卷筒11以及第一卷绕卷筒24和第二抽出卷筒28以及第二卷绕卷筒42分别进行转矩控制。

如图3所示，基于从控制器50分别送出到第一抽出卷筒控制单元13和第二抽出卷筒控制单元31中的抽出转矩控制信号、以及分别送出到第一卷绕卷筒控制单元27和第二卷绕卷筒控制单元44中的卷绕转矩控制信号，来进行转矩控制。

控制器50例如是微型计算机，具有D/A转换部51、运算部52和控制部53。

从控制部53中，进给控制信号被送出到第一进给控制单元20和第二进给控制单元38，夹具控制信号被送出到第一夹具控制单元23和第二夹具控制单元41。在进给控制信号被送出到第一进给控制单元20和第二进给控制单元38，并使第一进给用电动机19和第二进给用电动机进行旋转时，对使第一移动夹具16和第二移动夹具33分别进行移动的第一进给用电动机19和第二进给用电动机37的转矩大小分别进行检测。当分别检测出第一进给用电动机19和第二进给用电动机37的转矩大小，按照这些检测结果分别生成进给转矩信号，并将生成的各进给转矩信号分别从第一进给控制单元20和第二进给控制单元38输入到控制部53。

在运算部52中，根据输入到控制部53中的进给转矩信号而进行规定的运算处理，并将处理结果输入到D/A转换部51进行模拟转换，在将抽出转矩控制信号送出到第一抽出卷筒控制单元13和第二抽出卷筒控制单元31的同时，将卷绕转矩控制信号送出到第一卷绕卷筒控制单元27和第二卷绕卷筒控制单元44。

但是，也可以不对根据输入到控制部53中的进给转矩信号进行运算处理的处理结果进行模拟转换，而是在作为抽出转矩控制信号而送出到第一抽出卷筒控制单元13和第二抽出卷筒控制单元31的同时，作为卷绕转矩控制信号，送出到第一卷绕卷筒控制单元27和第二卷绕卷筒控制单元44。该情况下就不需要D/A转换部51。

再有，由于对第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24的转矩控制与对第二抽出卷筒28和第二卷绕卷筒42的转矩控制为同样的控制，因此，以下作为例子，关于对第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24的转矩控制进行说明。

图8是示出对第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24进行的转矩控制的图表。横轴表示时间，纵轴表示转矩。横轴的A、B、C、D、E、F为进行薄膜100的一个循环的运送的时间内的各区间，区间A为未进行运送工作的初始状态的区间，区间F结束时为运送工作的一个循环中的结束时。纵轴的转矩中的(+)侧是对薄膜100赋予朝向运送方向的力的状态下的转矩，(-)侧是对薄膜100赋予朝向与运送方向相反方向的力的状态下的转矩。

在图8中，粗实线为在使第一移动夹具16进行移动的第一进给用电动机19上产生的转矩X，细实线为第一抽出用卷筒电动机12对第一抽出卷筒11的转矩Y，双点划线为第一卷绕用卷筒电动机26对第一卷绕卷筒24的转矩Z。

在薄膜运送装置1中，转矩X被控制成在运送工作开始后的区间B中逐渐变大，在区间C中逐渐变小。

转矩X在从区间B过渡到区间C时成为最大(转矩Xm)。转矩X在紧接着区间C的区间D和区间E中再次逐渐变大，在紧接着区间E的区间F中逐渐变小。从区间E过渡到区间F时的转矩Xb，相对于从区间B过渡到区间C时的最大转矩Xm有所减小。

根据这样的转矩控制，在区间D、区间E和区间F中转矩X的大小变小了，在运送工作即将结束之前，第一移动夹具16充分地减速，第一移动夹具16不会急剧停止，而能够对薄膜100进行流畅的运送工作。

此外，在从区间C持续到区间D的时间中，转矩X一旦为“负”，之后就进行转向“正”的控制，但通过这样的控制，从区间C过渡到区间D时的转矩X的峰值Xa和从区间E过渡到区间F时的转矩X的峰值Xb都成为接近于初始状态的转矩值(0)的较小的值。从而，运送工作即将结束之前的第一移动夹具16的速度变缓，能够确保第一移动夹具16的流畅的移动状态，同时能够容易地进行薄膜运送装置1中的转矩控制。

赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y，在初始状态的区间A中，在“负”的一侧产生一定的大小(-y)，成为由第一固定夹具15夹持着的薄膜100被第一抽出卷筒11以一定的力向左方拉伸的状态。

从而，就会对运送工作停止时存在于第一抽出卷筒11与第一固定夹具15之间的薄膜100赋予张力，由于在薄膜100不产生松弛的状态下开始运送工作，因此能够实现运送工作的可靠性的提高。

在薄膜运送装置1中，在运送工作开始时进行向运送薄膜100的旋转方向即“正”的一侧赋予转矩Y的控制，在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，以跟随转矩X的方式赋予转矩Y。

例如，转矩Y在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中成为，任意时刻的大小相对于初始状态的大小与转矩X大致成比例。即，如图8所示，将转矩X中的相对于初始状态的大小(0)的任意时刻P的大小Xp，与转矩Y中的相对于初始状态的大小(-y)的任意时刻P的大小Yp进行比较，Yp为Xp的例如大约80％的大小。此外，将转矩X中的相对于初始状态的大小(0)的任意时刻Q的大小Xq，与转矩Y中的相对于初始状态的大小(-y)的任意时刻Q的大小Yq进行比较，也是Yq为Xq的例如大约80％的大小。

从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，通过控制成相对于初始状态的转矩Y的大小与相对于初始状态的转矩X的大小大致成比例，由此，赋予给薄膜100的张力就会成为大致一定的张力，能够不对薄膜100赋予过度的负荷而实现运送工作的流畅化。

此外，在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，相对于初始状态的转矩Y的大小比相对于初始状态的转矩X的大小有所减小。例如，如上所述地使转矩Y的大小成为转矩X的大小的大约80％，减小大约20％。

从而，就会对薄膜100赋予比初始状态的张力稍大的张力，在薄膜100上不产生松弛，而能够实现运送工作的进一步流畅化。

另外，由于如上所述地在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，以跟随转矩X的方式赋予转矩Y，因此，第一抽出卷筒11就会跟随着运送部6的工作而进行旋转，就会在运送部6进行薄膜100的运送时对薄膜100赋予张力，能够实现运送工作的进一步流畅化。

再有，上述中作为例子而示出了转矩Y的大小相对于转矩X的大小为大约80％的例子，但转矩Y相对于转矩X的大小可以在不会对薄膜100赋予过度的负荷而不会产生松弛的范围内任意地设定，例如，也可以使转矩Y相对于转矩X的大小成为100％以上。

如上所述，在薄膜运送装置1中，在运送工作开始时向运送薄膜100的旋转方向即“正”的一侧赋予转矩Y。

从而，在第一运送部6涉及的薄膜100的运送时，就能够利用赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y来减轻对薄膜100的负荷，能够对薄膜100赋予适当的张力而确保薄膜100的稳定的运送状态。

赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z，在初始状态的区间A中，“正”的一侧产生一定的大小(+z)，成为由第一固定夹具15夹持着的薄膜100被第一卷绕卷筒24以一定的力向右方拉伸的状态。

从而，就会对运送工作停止时存在于第一卷绕卷筒24与第一固定夹具15之间的薄膜100赋予张力，由于在薄膜100不产生松弛的状态下开始运送工作，因此能够实现运送工作的可靠性的提高。

此外，在薄膜运送装置1中，在运送工作开始时进行向运送薄膜100的旋转方向即“正”的一侧赋予转矩Z的控制，在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，以跟随转矩X的方式赋予转矩Z。

例如，转矩Z在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，任意时刻的大小相对于初始状态的大小与转矩X大致成比例。即，如图8所示，将转矩X中的相对于初始状态的大小(0)的任意时刻P的大小Xp，与转矩Z中的相对于初始状态的大小(+z)的任意时刻P的大小Zp进行比较，Zp为Xp的例如大约80％的大小。此外，将转矩X中的相对于初始状态的大小(0)的任意时刻Q的大小Xq，与转矩Z中的相对于初始状态的大小(+z)的任意时刻Q的大小Zq进行比较，也是Zq为Xq的例如大约80％的大小。

通过这样地控制成在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，相对于初始状态的转矩Z的大小与相对于初始状态的转矩X的大小大致成比例，由此，赋予给薄膜100的张力就会成为大致一定的张力，能够不对薄膜100赋予过度的负荷而实现运送工作的流畅化。

此外，在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，相对于初始状态的转矩Z的大小比相对于初始状态的转矩X的大小有所减小。例如，如上所述地使转矩Z的大小成为转矩X的大小的大约80％，减小大约20％。

从而，就会对薄膜100赋予比初始状态的张力稍小的张力，在薄膜100上不产生松弛，而能够实现运送工作的进一步流畅化。

另外，由于如上所述地在从运送工作开始直到即将结束之前的状态中，以跟随转矩X的方式赋予转矩Z，因此，第一卷绕卷筒24就会跟随着运送部6的工作而进行旋转，就会在运送部6进行薄膜100的运送时对薄膜100赋予张力，能够实现运送工作的进一步流畅化。

再有，上述中作为例子而示出了转矩Z的大小相对于转矩X的大小为大约80％的例子，但转矩Z相对于转矩X的大小可以在不会对薄膜100赋予过度的负荷而不会产生松弛的范围内任意地设定，例如，也可以使转矩Z相对于转矩X的大小成为100％以上。

如上所述，在薄膜运送装置1中，在运送工作开始时向运送薄膜100的旋转方向即“正”的一侧赋予转矩Z。

从而，在第一运送部6涉及的薄膜100的运送时，就能够利用赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z来防止薄膜100的松弛，能够对薄膜100赋予适当的张力而确保薄膜100的稳定的运送状态。

此外，在薄膜运送装置1中，由于在运送工作开始时向运送薄膜100的旋转方向即“正”的一侧赋予转矩Y和转矩Z，因此，在第一运送部6进行的薄膜100的运送时，就会利用赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y而减轻对薄膜100的负荷，并利用赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z来防止薄膜100的松弛。

从而，在从第一抽出卷筒11到第一卷绕卷筒24的全部工序中，都能够对薄膜100赋予适当的张力而确保薄膜100的稳定的运送状态。

另外，在运送工作即将结束之前的状态的区间E和区间F中，使转矩X、转矩Y和转矩Z的任一个的大小都比各初始状态中的大小小或者相同。

从而，在运送工作即将结束之前，第一抽出卷筒11、第一移动夹具16和第一卷绕卷筒24都充分减速，第一抽出卷筒11、第一移动夹具16和第一卷绕卷筒24不会急剧地停止，从而能够抑制运送工作即将结束之前的对薄膜100的过度负荷，确保流畅的运送工作。

再有，所述赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y和赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z，期望在第一运送部6进行的薄膜100的运送工作的开始时同时赋予，但只要是在薄膜100上不会产生过度的负荷并且不会产生松弛的范围，也可以在运送工作开始的前后进行对第一抽出卷筒11的转矩Y的赋予和对第一卷绕卷筒24的转矩Z的赋予。

此外，在薄膜运送装置1中，如图8所示地控制成：赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y和赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z在第一运送部6进行的薄膜100的运送工作即将结束之前变为一定。这样的转矩控制例如是考虑了第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24的惯性所产生的旋转的控制，通过进行这样的转矩控制，就能在运送工作结束之前或者与运送工作结束同时，使第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24停止旋转。

但是，也可以将赋予给第一抽出卷筒11的转矩Y和赋予给第一卷绕卷筒24的转矩Z控制成与第一运送部6进行的薄膜100的运送工作的结束同时变为一定。

再有，上述的转矩控制不限于第一抽出卷筒11、第一移动夹具16和第一卷绕卷筒24，对第二抽出卷筒28、第二移动夹具33和第二卷绕卷筒42也同样地进行。该情况下，转矩X由使第二移动夹具33进行移动的第二进给用电动机37产生，对第二抽出卷筒28进行有关转矩Y的控制，对第二卷绕卷筒42进行有关转矩Z的控制。

(其他)

在上述示出了使转矩Y和转矩Z跟随转矩X进行转矩控制的例子，但在该情况下，也可以设置例如对缠绕在第一抽出卷筒11上的薄膜100的卷径进行检测的卷径传感器，并按照转矩X和卷径传感器检测出的检测结果，来控制赋予给第一抽出卷筒11的转矩的大小。

由于赋予给薄膜100的张力的大小也按照第一抽出卷筒11中的薄膜100的卷径进行变化，因此，通过按照卷径传感器检测出的检测结果而控制赋予给第一抽出卷筒11的转矩的大小，由此，就能够将与相对于第一抽出卷筒11的薄膜100的卷径相对应的适当的张力赋予给薄膜100，确保良好的运送工作。

此外，也可以设置对缠绕在第一卷绕卷筒24上的薄膜100的卷径进行检测的卷径传感器，并按照转矩X和卷径传感器检测出的检测结果，来控制赋予给第一卷绕卷筒24的转矩的大小。

由于赋予给薄膜100的张力的大小也按照第一卷绕卷筒24中的薄膜100的卷径进行变化，因此，通过按照卷径传感器检测出的检测结果而控制赋予给第一卷绕卷筒24的转矩的大小，由此，就能够将与相对于第一卷绕卷筒24的薄膜100的卷径相对应的适当的张力赋予给薄膜100，确保良好的运送工作。

再有，设置有上述的卷径传感器的情况下的转矩控制不限于第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24，对第二抽出卷筒28和第二卷绕卷筒42也能同样地进行。

上述中以除了第一运送部6和第二运送部9以外还设置有第一抽出部5、第一卷绕部7、第二抽出部8和第二卷绕部10的薄膜运送装置1为例而示出，但适用本发明的薄膜运送装置不限于设置有第一运送部6、第二运送部9、第一抽出部5、第一卷绕部7、第二抽出部8和第二卷绕部10的结构。

适用本发明的薄膜运送装置也可以是例如仅设置有第一运送部6、第一抽出部5和第一卷绕部7的结构，或者仅设置有第二运送部9、第二抽出部8和第二卷绕部10的结构的任何一种结构。

此外，上述中示出了第一卷绕部7和第二抽出部8位于台座2的上方的例子，但也可以构成为例如第一卷绕部7和第二抽出部8配置在台座2的内侧(比台座2的上表面往下)的结构。

另外，也可以构成为第一运送部6和第二运送部9都配置在比台座2的上表面往下的位置上的结构。

另外，例如，适用本发明的薄膜运送装置也可以是在薄膜100的运送路径中的规定位置上设置对薄膜100的一部分进行剪断等各种加工的加工部的结构。

(总结)

如上所述，在薄膜运送装置1中，在第一运送部6或者第二运送部9进行的薄膜100的向运送方向的运送工作的开始时，对第一抽出卷筒11和第一卷绕卷筒24或者第二抽出卷筒28和第二卷绕卷筒42赋予朝向运送薄膜100的旋转方向的转矩。

从而，在进行薄膜100的运送工作时，抑制了对薄膜100的过度的负荷，同时防止了薄膜100的松弛，对薄膜100赋予了适当的张力，因此，能够确保薄膜100的稳定的运送状态。

也可以在不发生抵触的范围内，将上述实施方式或变形例中公开的各要素进行适当的组合。

以上，以特定的实施方式为中心说明了本发明，但可以在本发明的主旨和所附权利要求的范围内，在本技术领域内进行各种各样的变形、变更或者修改，因而，上述的说明和附图并不限定本发明的技术思想，应该看作是对本发明的例示。

Claims (10)

1.一种薄膜运送装置，其特征在于，包括：

运送部，向规定的一个方向运送薄膜；以及

薄膜保持部，具有卷筒，该卷筒向与卷筒电动机的旋转方向相对应的方向进行旋转，并且在停止时保持所述薄膜，

该薄膜运送装置在所述运送部进行所述薄膜的运送时的至少开始时，对所述卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩，

基于在所述运送部中产生的转矩的大小，决定对所述卷筒赋予的转矩的大小，

在从所述薄膜的运送工作的开始到即将结束之前的状态中，对所述卷筒赋予任意时刻的大小与在所述运送部中产生的转矩的大小大致成比例的大小的转矩。

2.根据权利要求1所述的薄膜运送装置，其特征在于，

跟随着在所述运送部中产生的转矩而对所述卷筒赋予转矩。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜运送装置，其特征在于，

作为所述卷筒，设置朝向所述运送部抽出所卷绕的所述薄膜的抽出卷筒。

4.根据权利要求1或2所述的薄膜运送装置，其特征在于，

作为所述卷筒，设置卷绕由所述运送部运送的所述薄膜的卷绕卷筒。

5.根据权利要求1或2所述的薄膜运送装置，其特征在于，

作为所述卷筒，设置第一卷筒和第二卷筒，

作为所述第一卷筒，设置朝向所述运送部抽出所卷绕的所述薄膜的抽出卷筒，

作为所述第二卷筒，设置卷绕由所述运送部运送的所述薄膜的卷绕卷筒。

6.根据权利要求3所述的薄膜运送装置，其特征在于，

在所述运送部进行的所述薄膜的运送工作停止的状态中，对所述抽出卷筒赋予朝向与运送所述薄膜的旋转方向相反的方向的转矩。

7.根据权利要求4所述的薄膜运送装置，其特征在于，

在所述运送部进行的所述薄膜的运送工作停止的状态中，对所述卷绕卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩。

8.根据权利要求3所述的薄膜运送装置，其特征在于，

设置卷径传感器，该卷径传感器对缠绕在所述抽出卷筒上的所述薄膜的卷径进行检测，

按照由所述卷径传感器检测出的结果，控制赋予给所述抽出卷筒的转矩的大小。

9.根据权利要求4所述的薄膜运送装置，其特征在于，

设置卷径传感器，该卷径传感器对缠绕在所述卷绕卷筒上的所述薄膜的卷径进行检测，

按照由所述卷径传感器检测出的结果，控制赋予给所述卷绕卷筒的转矩的大小。

10.一种薄膜运送方法，是薄膜运送装置的薄膜运送方法，其特征在于，所述薄膜运送装置包括：运送部，向规定的一个方向运送薄膜；以及薄膜保持部，具有卷筒，该卷筒向与卷筒电动机的旋转方向相对应的方向进行旋转，并且在停止时保持所述薄膜，

该薄膜运送方法在运送所述薄膜时的至少开始时，对所述卷筒赋予朝向运送所述薄膜的旋转方向的转矩，

基于在所述运送部中产生的转矩的大小，决定对所述卷筒赋予的转矩的大小，

在从所述薄膜的运送工作的开始到即将结束之前的状态中，对所述卷筒赋予任意时刻的大小与在所述运送部中产生的转矩的大小大致成比例的大小的转矩。