CN106045330A - 一种介孔SiO2薄膜的制备方法及其产品和应用 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种介孔SiO2薄膜的制备方法,包括如下的步骤:1)将正硅酸四乙酯溶于乙醇,滴加稀盐酸,混合搅拌;所述的正硅酸四乙酯与稀盐酸的摩尔比为1:1×10‑5~8×10‑5;2)向步骤1)得到的混合液中继续滴加稀盐酸,搅拌陈化,得到溶液A;所述的继续滴加的稀盐酸与正硅酸四乙酯的摩尔比为0.02~0.06:1;3)十六烷基三甲基溴化铵溶于乙醇,得到溶液B;4)将溶液B加入到溶液A中,搅拌并陈化0.5~2小时,得到产品;5)采用旋涂法在基板上镀膜,然后热处理,获得介孔SiO2薄膜;本发明还涉及介孔SiO2薄膜及其应用。本发明简化了介孔SiO2薄膜的合成方法,在常温下制备溶胶并进行镀膜,经过热处理后得到具有增透效果的孔道有序排列的介孔膜。

Description

一种介孔SiO2薄膜的制备方法及其产品和应用
技术领域
本发明涉及纳米材料领域,具体涉及一种介孔SiO2薄膜的制备方法及其产品和应用。
背景技术
介孔材料具有独特的结构,如极高的比表面积、可调的孔径、较窄的孔径分布和多样的孔道结构。其中,介孔SiO2薄膜主要组成成分为氧化硅和空气,两者都具有一定的透明度,同时薄膜的孔道尺寸分布范围是2~50nm,远小于可见光波长(380~780nm),可以避免丁达尔效应的发生,即避免可见光在薄膜中的散射,因此介孔SiO2薄膜应具有较好的可见光透过率。另一方面,薄膜具有一定的孔隙率,因此其折射率低于主要成分为氧化硅的玻璃基板,将介孔薄膜涂覆于玻璃基板上会产生增透的效果。改变制备条件可得到不同孔隙率、不同厚度的介孔薄膜,从而调控薄膜的增透作用。在各种介孔材料中,介孔SiO2由于无毒、原料丰富、成分接近玻璃基板、增透效果好且可调控等等优势,是较为理想的光学增透材料。
制备介孔SiO2薄膜通常采用溶胶-凝胶法。溶胶-凝胶法具有成本低,设备简单,反应过程易控制等优点,但在制备介孔SiO2薄膜所需溶胶时通常需要长时间40~60℃的恒温加热。如中国发明专利(公开号CN 102234113A)公开了一种溶胶凝胶法制备疏水性介孔二氧化硅膜,以十六烷基三甲基溴化铵、正硅酸乙酯和甲基三乙氧基硅为原料,加入的HNO3、乙醇和水的混合溶液得到SiO2溶胶,采用dip-coating方法在经过酸洗、醇洗的光滑玻璃片上涂覆SiO2薄膜,保温温度在60℃~80℃,保温时间在4h~6h,陈化时间为10h~12h。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足,提供一种介孔SiO2薄膜的制备方法及其产品和应用,简化了介孔SiO2薄膜的合成方法,在常温下制备溶胶并进行镀膜,经过热处理后得到具有增透效果的孔道有序排列的介孔膜。
本发明所提供的技术方案为:一种介孔SiO2薄膜的制备方法,包括如下的步骤:
1)将正硅酸四乙酯溶于乙醇,滴加稀盐酸,混合搅拌;所述的正硅酸四乙酯与稀盐酸的摩尔比为1:1×10-5~8×10-5
2)向步骤1)得到的混合液中继续滴加稀盐酸,搅拌陈化,得到溶液A;所述的继续滴加的稀盐酸与正硅酸四乙酯的摩尔比为0.02~0.06:1;
3)十六烷基三甲基溴化铵溶于乙醇,得到溶液B;
4)将溶液B加入到溶液A中,搅拌并陈化0.5~2小时,得到产品;
5)采用旋涂法在基板上镀膜,然后热处理,获得介孔SiO2薄膜。
上述技术方案中,以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,正硅酸四乙酯(TEOS)为硅源,乙醇为溶剂,采用溶胶-凝胶法制备介孔SiO2薄膜。并以旋涂法为镀膜方法,在基板上得到介孔SiO2薄膜,在常温条件下即可得到所需溶胶进行镀膜,得到的光学增透膜介孔孔道尺寸为3nm,尺寸分布均匀且孔道有序排列,膜厚极小,但具有显著的可见光增透性能。该工艺相比过去普遍采用的方法,具有工艺简单,成本低等优点,具有很大的实际价值。制备得到的介孔薄膜与其它多孔膜相比,具有更小、更一致的孔径和可调的光学增透效果。
作为优选,所述的步骤1)中混合搅拌时间为0.5~2h。
作为优选,所述的步骤1)中稀盐酸的摩尔浓度为0.002~0.004mol/L。步骤1)中稀盐酸主要起到促进TEOS稳速水解的作用。
作为优选,所述的步骤2)中搅拌陈化的时间为0.5~4h。
作为优选,所述的步骤2)中稀盐酸的摩尔浓度为0.45~0.65mol/L。步骤2)中稀盐酸降低溶液的pH值,加速凝胶化过程。
作为优选,所述的正硅酸四乙酯与十六烷基三甲基溴化铵的摩尔比为1:0.02~0.2。在此范围内,能够得到多孔且孔隙率可调的介孔氧化硅薄膜,相应地产生不同的光学增透效果。
作为优选,所述的步骤5)中旋涂法是指:先500~700rd/min旋涂4~10s,后2000~6000rd/min旋涂6~20s。
作为优选,所述的步骤5)中热处理是指:在400~500℃下热处理3~6h。
本发明提供一种上述制备方法所得的介孔SiO2薄膜。
本发明还提供一种上述介孔SiO2薄膜作为光学增透薄膜的应用。介孔SiO2薄膜的介孔孔道尺寸为3nm,尺寸分布均匀,且孔道呈有序排列,薄膜厚度为216nm,镀膜玻璃样品可见光透过率可以达到95%左右,与玻璃基板相比可见光透过率上升了5%。
同现有技术相比,本发明的有益效果体现在:
(1)本发明所提供的介孔SiO2薄膜的制备步骤简单,且无需特殊装置,所需设备简单,得到的介孔SiO2薄膜极薄,厚度在几百纳米,孔道有序排列,具有良好的光学增透性能,镀膜玻璃样品可见光透过率可以达到95%左右,与玻璃基板相比可见光透过率上升了5%。
(2)本发明简化了介孔SiO2薄膜的合成方法,在常温下制备溶胶并进行镀膜,经过热处理后得到具有增透效果的孔道有序排列的介孔膜。
附图说明
图1是本发明实施例2和实施例3的介孔SiO2薄膜的小角X射线散射图谱;b表示实施例2中的介孔薄膜的镀膜玻璃;c表示实施例3中的介孔薄膜的镀膜玻璃;
图2是本发明实施例2和实施例3的介孔SiO2薄膜的紫外-可见吸收光谱;a表示未镀膜的白玻璃;b表示实施例2中的介孔薄膜的镀膜玻璃;c表示实施例3中的介孔薄膜的镀膜玻璃。
具体实施方式
以下结合具体实例进一步说明本发明。
实施例1
将7.5ml正硅酸四乙酯溶于7.5ml乙醇中,滴加0.6ml浓度为0.003mol/L的稀盐酸,混合并搅拌1小时。滴加2.5ml浓度为0.55mol/L的稀盐酸,搅拌并陈化3小时。将1.2g CTAB溶于35ml乙醇中,搅拌并陈化1小时,以先600rd/min后2000rd/min的转速在白玻璃上镀膜。将样品在常温下干燥4小时,并于400℃下热处理4小时。
实施例2
将7.5ml正硅酸四乙酯溶于7.5ml乙醇中,滴加0.6ml浓度为0.003mol/L的稀盐酸,混合并搅拌1小时。滴加2.5ml浓度为0.55mol/L的稀盐酸,搅拌并陈化3小时。将0.74g CTAB溶于35ml乙醇中,搅拌并陈化2小时,以先600rd/min后3500rd/min的转速在FTO上镀膜。将样品在常温下干燥1小时,并于400℃下热处理4小时。
制备得到的镀膜玻璃的小角X射线散射曲线如图1中线条b所示,显示的特征衍射峰说明得到的薄膜样品中生成了有序的介孔,且有序程度较高。将3.083°处的衍射峰指标化为(100)晶面,根据布拉格定理2dsinθ=λ,计算得到对应的面间距值d100为2.86nm。根据介孔的六方结构,a=2d100/30.5,得出介孔结构的孔道周期参数a为3.24nm。因此,介孔的孔径为3nm。
图2为紫外-可见吸收光谱,线条a对应未镀膜的白玻璃,线条b对应本实施例制备的介孔薄膜的镀膜玻璃,显示白玻璃在经过镀膜后,可见光透过率增加,尤其在400nm波长处上升了4%。
采用椭偏仪测得薄膜厚度为215.8nm,孔隙率为22%。
实施例3
将7.5ml正硅酸四乙酯溶于7.5ml乙醇中,滴加0.6ml浓度为0.003mol/L的稀盐酸,混合并搅拌1小时。滴加2.5ml浓度为0.55mol/L的稀盐酸,搅拌并陈化3小时。将1.5g CTAB溶于35ml乙醇中,搅拌并陈化2小时,以先600rd/min后3500rd/min的转速在FTO玻璃上镀膜。将样品在常温下干燥1小时,并于400℃下热处理4小时。
制备得到的镀膜玻璃的小角X射线散射曲线如图1中c所示,显示的三个特征衍射峰说明得到的薄膜样品中生成了有序的介孔,且有序程度较高。将3.083°处的衍射峰指标化为(100)晶面,根据布拉格定理2dsinθ=λ,计算得到对应的面间距值d100为2.86nm。根据介孔的六方结构,a=2d100/30.5,得出介孔结构的孔道周期参数a为3.24nm。因此,介孔的孔径为3nm。
图2中线条c为本实施例制备的介孔薄膜的紫外-可见吸收光谱,显示白玻璃在经过镀膜后,可见光透过率增加,尤其在450nm波长处上升了5%。采用椭偏仪测得薄膜厚度为215.6nm,孔隙率为19%。

Claims (10)

1.一种介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下的步骤:
1)将正硅酸四乙酯溶于乙醇,滴加稀盐酸,混合搅拌;所述的正硅酸四乙酯与稀盐酸的摩尔比为1:1×10-5~8×10-5
2)向步骤1)得到的混合液中继续滴加稀盐酸,搅拌陈化,得到溶液A;所述的继续滴加的稀盐酸与正硅酸四乙酯的摩尔比为0.02~0.06:1;
3)十六烷基三甲基溴化铵溶于乙醇,得到溶液B;
4)将溶液B加入到溶液A中,搅拌并陈化0.5~2小时,得到产品;
5)采用旋涂法在基板上镀膜,然后热处理,获得介孔SiO2薄膜。
2.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤1)中混合搅拌时间为0.5~2h。
3.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤1)中稀盐酸的摩尔浓度为0.002~0.004mol/L。
4.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤2)中搅拌陈化的时间为0.5~4h。
5.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤2)中稀盐酸的摩尔浓度为0.45~0.65mol/L。
6.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的正硅酸四乙酯与十六烷基三甲基溴化铵的摩尔比为1:0.02~0.2。
7.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤5)中旋涂法是指:先500~700rd/min旋涂4~10s,后2000~6000rd/min旋涂6~20s。
8.根据权利要求1所述的介孔SiO2薄膜的制备方法,其特征在于,所述的步骤5)中热处理是指:在400~500℃下热处理3~6h。
9.一种如权利要求1~8任一所述的制备方法所得的介孔SiO2薄膜。
10.一种如权利要求9所述的介孔SiO2薄膜作为光学增透薄膜的应用。
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