CN105813761B - 电喷雾装置 - Google Patents
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Abstract
提供电喷雾装置，该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言，该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上，该电喷雾装置(100)具有：喷嘴(1)，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；泵部(6)和电磁阀(7)，其用于将溶液材料输送给喷嘴(1)；接头部(8)，其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间，包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81)，接头主体部(81)被接地。
Description
技术领域
本发明涉及电喷雾装置(ELECTROSPRAY DEVICE)，尤其涉及将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置。
背景技术
以往，公知有将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置(例如，参照专利文献1)。
在上述专利文献1中公开了具有导电体喷嘴、导电体喷嘴施加电源以及溶液材料供给装置的电喷雾装置。该电喷雾装置构成为通过从溶液材料供给装置对导电体喷嘴供给溶液材料并且从导电体喷嘴施加电源对导电体喷嘴施加电压而使溶液材料带电。并且构成为带电的溶液材料因导电体喷嘴与基板之间的电场而对基板进行静电喷雾。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2012-135704号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在上述专利文献1中记载的这样的以往的电喷雾装置中存在如下的问题：在溶液材料的导电率比较大的情况下，施加给导电体喷嘴的电压(电流)在溶液材料中传递，有时会使配置在输送溶液材料的导电体喷嘴侧的相反侧的溶液材料供给装置(送液驱动部)等仪器破损。
本发明是为了解决上述这样的课题而完成的，本发明的一个目的在于提供电喷雾装置，能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)而引起送液驱动部破损的情况。
用于解决课题的手段
为了达成上述目的，本发明的一方式的电喷雾装置是将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上的电喷雾装置，其中，该电喷雾装置具有：喷嘴，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；送液驱动部，其用于将溶液材料输送给喷嘴；以及接头部，其设置在喷嘴与送液驱动部之间，包含接头主体部，该接头主体部由具有导电性的材料构成，接头主体部被接地。
在这一方式的电喷雾装置中，像上述那样，由于通过将设置于喷嘴与送液驱动部之间的接头部的接头主体部接地，从而利用喷嘴与送液驱动部之间的接头部将施加给喷嘴且在溶液材料中传递的电压(电流)接地，因此能够抑制施加给喷嘴的电压(电流)施加给送液驱动部。由此，能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)而导致送液驱动部破损。其结果为，由于不需要针对送液驱动部实现耐绝缘性的对策，因此能够将电喷雾装置的结构简化。
在上述一方式的电喷雾装置中，优选喷嘴设置有多个，接头部构成为使从送液驱动部输送的溶液材料向多个喷嘴侧分支。这里，在设置有多个喷嘴的情况下，从喷嘴向送液驱动部侧流动的电流的大小按照喷嘴的个数的量而变大(流过大电流)。在该情况下，即使是在送液驱动部自身接地的情况下，有时会因大电流流过送液驱动部而导致送液驱动部破损。因此，在本发明中，通过将接头部(接头主体部)接地而能够有效地抑制送液驱动部破损。
在上述一方式的电喷雾装置中，优选接头部还包含绝缘部，该绝缘部被设置为覆盖接头主体部，使接头主体部相对于外部绝缘。如果以这种方式构成，则当通过在溶液材料中传递的电压(电流)使电荷蓄积于接头主体部的情况下，能够通过绝缘部抑制在接头部与周围的仪器之间产生绝缘破坏而向周围的仪器传递电压(电流)。由此，由于能够减小接头部与周围的仪器之间的间隔，因此能够实现电喷雾装置的小型化。
在上述一方式的电喷雾装置中，优选送液驱动部包含泵部以及控制阀，该控制阀对从泵部向喷嘴侧输送的溶液材料的流路进行切换，接头部设置在喷嘴与控制阀之间。如果以这种方式构成，则能够抑制因施加给喷嘴而在溶液材料中传递的电压(电流)引起而使泵部和控制阀破损。
在上述一方式的电喷雾装置中，优选喷嘴设置有多个，接头部包含第1接头部以及除此之外的第2接头部，该第1接头部包含由具有导电性的材料构成的接头主体部，该电喷雾装置构成为从送液驱动部输送的溶液材料被第1接头部和第2接头部阶段性地分支到多个流路而输送给多个喷嘴，设置于溶液材料被最初分支的部分的接头部是包含由具有导电性的材料构成的接头主体部的第1接头部。如果以这种方式构成，则溶液材料必然通过设置于最初被分支的部分的第1接头部，因此能够仅通过将该第1接头部(1个第1接头部)接地而将输送给多个喷嘴的所有的溶液材料接地。由此，与在溶液材料已被分支后的各个部分进行接地的情况(在多个部位进行接地的情况)不同，能够将电喷雾装置的结构简化。
发明效果
根据本发明，像上述那样能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。
附图说明
图1是示出本发明的一实施方式的电喷雾装置的概略结构的整体图。
图2是示出本发明的一实施方式的电喷雾装置的喷嘴的结构的图。
具体实施方式
以下，根据附图对将本发明具体化后的实施方式进行说明。
参照图1和图2对本实施方式的电喷雾装置100的结构进行说明。
如图1所示，电喷雾装置100具有：多个喷嘴1、接地导板2、掩模3、升降单元4、以及电源部5。并且，电喷雾装置100具有：泵部6、电磁阀7、接头部8、以及容器部9。另外，多个喷嘴1、泵部6、电磁阀7、接头部8以及容器部9通过由树脂构成的配管10而连接。并且，在接地导板2与掩模3之间配置有基板200。另外，泵部6是本发明的“送液驱动部”的一例。并且，电磁阀7是本发明的“送液驱动部”和“控制阀”的一例。并且，接头部8是本发明的“第1接头部”的一例。
喷嘴1构成为在对溶液材料施加了电压的状态下将溶液材料从下方(Z2方向)朝向上方(Z1方向)进行喷雾。并且，构成为从喷嘴1被喷雾出的溶液材料作为薄膜(未图示)堆积于基板200。
接地导板2由例如金属板构成。接地导板2构成为在薄膜的形成时(图1所示的状态)与基板200接触而将基板200接地。
并且，掩模3配置在基板200与喷嘴1之间。并且，掩模3构成为掩模3的两端部由升降单元4支承而与升降单元4的升降一同升降。并且，掩模3构成为与基板200一同被升降单元4向接地导板2侧(Z1方向侧)推压。并且，在掩模3中设置有开口部3a，构成为对从开口部3a露出的基板200的部分堆积薄膜。
并且，电源部5构成为与多个喷嘴1和接地导板2连接，在多个喷嘴1与接地导板2之间产生电位差(电场)。在本实施方式中，对多个喷嘴1施加正电压，并且将接地导板2接地。
泵部6例如由注射器泵构成，构成为将溶液材料经由电磁阀7和接头部8输送给多个喷嘴1。并且，泵部6与定序器(未图示)等连接。
电磁阀7设置在泵部6与接头部8之间。并且，电磁阀7构成为对从泵部6输送给喷嘴1侧的溶液材料的流路进行切换。具体而言，在电磁阀7将流路切换到箭头A方向(参照图1)的状态下，溶液材料从泵部6输送给喷嘴1侧。并且，在电磁阀7将流路切换到箭头B方向(参照图1)的状态下，贮藏于容器部9的溶液材料被填充(抽吸)至泵部6。在本实施方式中，溶液材料例如由有机EL的空穴注入层(HIL：Hole Injection Layer)液、硅烷偶联剂、Ag纳米油墨、Cu纳米油墨等构成。这些溶液材料在通常使用于电喷雾装置100的溶液材料中具有比较高的导电率。
这里，在本实施方式中，接头部8设置在喷嘴1与电磁阀7之间，构成为使从泵部6经由电磁阀7输送的溶液材料向多个喷嘴1侧分支。并且，接头部8构成为包含由具有导电性的材料(例如，SUS316等)构成的接头主体部81。并且，接头主体部81被接地。接头主体部81例如经由螺合于接头主体部81的螺纹部82而接地。由此，从喷嘴1侧在溶液材料中传递而流动的电流(电压)不会流向泵部6和电磁阀7侧，而是向接地侧流动。另外，接头部像后述那样包含具有导电性的接头部8和不具有导电性的接头部11(参照图2)。另外，接头部11是本发明的“第2接头部”的一例。
并且，接头部8包含绝缘部83，该绝缘部83被设置为覆盖接头主体部81且从外部将接头主体部81绝缘。绝缘部83例如由特氟隆(注册商标)构成，被设置为将接头主体部81的外表面的大致整个面覆盖。
接着，参照图2对多个喷嘴1与多个接头部(接头部8和接头部11)的连接方法进行说明。
如图2所示，设置有多个(在图2中为12个)喷嘴1。并且，接头部包含由具有导电性的材料构成的1个接头部8和不具有导电性的(例如由树脂构成的)9个接头部11。另外，虽然在图2中喷嘴1按照1列配置，但例如也可以将多个喷嘴1配置成矩阵状(二维形式)。并且，在本实施方式中，电喷雾装置100构成为从泵部6经由电磁阀7输送的溶液材料被多个接头部8和11阶段性地分支到多个流路而输送给多个喷嘴1，在溶液材料最初被分支的部分设置的接头部是包含由具有导电性的材料构成的包含接头主体部81的接头部8。
具体而言，对于从泵部6经由电磁阀7输送的溶液材料而言，在被输送给由具有导电性的材料构成的接头部8之后，向不具有导电性的3个接头部11a侧分支而输送。并且，被输送给3个接头部11a的溶液材料分别进一步向2个(合计6个)接头部11b侧分支而输送。并且，被输送给6个接头部11b的溶液材料分别向2个喷嘴1(合计12个)侧分支而输送。即，从泵部6经由电磁阀7输送的溶液材料以分级(tournament)形式经由接头部8和接头部11输送给喷嘴1。另外，将设置于溶液材料最初被分支的部分的接头部8的接头主体部81接地。
接着，对本实施方式的效果进行说明。
在本实施方式中，如上所述，由于通过将设置在喷嘴1与泵部6、电磁阀7之间的接头部8的接头主体部81接地而借助喷嘴1与泵部6、电磁阀7之间的接头部8将施加给喷嘴1且在溶液材料中传递的电压(电流)接地，因此能够抑制施加给喷嘴1的电压(电流)施加给泵部6和电磁阀7。由此，能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致泵部6和电磁阀7破损。其结果为，由于不需要针对泵部6和电磁阀7实现耐绝缘性的对策，因此能够使电喷雾装置100的结构简化。
并且，在本实施方式中，像上述那样设置多个喷嘴1，而使接头部8构成为使从泵部6和电磁阀7输送的溶液材料向多个喷嘴1侧分支。这里，在设置多个喷嘴1的情况下，从喷嘴1向泵部6和电磁阀7侧流动的电流的大小按照喷嘴1的个数的量而变大(流过大电流)。
在该情况下，即使是在泵部6和电磁阀7自身接地的情况下，有时会因大电流流过泵部6和电磁阀7而导致泵部6和电磁阀7破损。因此，在本实施方式中，通过将接头部8(接头主体部81)接地而能够有效地抑制泵部6和电磁阀7破损。
并且，在本实施方式中，像上述那样，使接头部8构成为包含绝缘部83，该绝缘部83被设置为覆盖接头主体部81，而使接头主体部81相对于外部绝缘。由此，即使是由于在溶液材料中传递的电压(电流)使接头主体部81蓄积电荷的情况下，也能够通过绝缘部83抑制在接头部8与周围的仪器之间产生绝缘破坏而向周围的仪器传递电压(电流)。其结果为，由于能够减小接头部8与周围的仪器之间的间隔，因此能够实现电喷雾装置100的小型化。
并且，在本实施方式中，像上述那样设置泵部6、以及对从泵部6输送给喷嘴1侧的溶液材料的流路进行切换的电磁阀7，而将接头部8设置在喷嘴1与泵部6、电磁阀7之间。由此，能够抑制因施加给喷嘴1而在溶液材料中传递的电压(电流)导致泵部6和电磁阀7破损。
并且，在本实施方式中，像上述那样设置有多个喷嘴1，并且设置包含由具有导电性的材料构成的接头主体部81的接头部8以及除此之外的接头部11，而构成为通过多个接头部8和11将从泵部6经由电磁阀7输送的溶液材料阶段性地分支到多个流路而输送给多个喷嘴1，将设置于溶液材料最初被分支的部分的接头部设置为包含由具有导电性的材料构成的接头主体部81的接头部8。由此，由于溶液材料必然会通过设置于最初被分支的部分的接头部8，因此只需将该接头部8(1个接头部8)接地便能够将输送给多个喷嘴1的所有的溶液材料接地。其结果为，与在溶液材料已被分支后的各个部分进行接地的情况(在多个部位进行接地的情况)不同，能够将电喷雾装置100的结构简化。
另外，本次公开的实施方式和实施例在所有的方面只是例示，不应该被认为是限制性内容。本发明的范围并不由上述的实施方式和实施例的说明示出而是由权利要求书示出，还包含与权利要求书等同的意思以及范围内的所有的变更。
例如，在上述实施方式中示出了设置有12个喷嘴的例子，但本发明不限于此。例如，喷嘴既可以设置有除12个以外的多个数量，也可以设置1个。另外，在喷嘴为1个的情况下，不需要使从泵部输送的溶液材料分支，只要在将喷嘴与泵部之间连接的配管中设置由具有导电性的材料构成的接头部并且将该接头部接地即可。
并且，在上述实施方式中示出了经由与接头主体部螺合的螺纹部而将接头主体部接地的例子，但本发明不限于此。在本发明中也可以将接头主体部直接接地。
并且，在上述实施方式中示出了为了使接头主体部相对于外部绝缘而通过特氟隆(注册商标)覆盖接头主体部的外表面的例子，但本发明不限于此。在本发明中也可以构成为通过除特氟隆(注册商标)以外的绝缘材料覆盖接头主体部。并且，也可以通过由绝缘材料构成的箱状的部件覆盖接头主体部。
并且，在上述实施方式中示出了将配置于溶液材料最初被分支的部分的1个接头部8(参照图2)的接头主体部接地的例子，但本发明不限于此。例如，也可以使设置于比接头部8靠喷嘴1侧的位置的多个接头部11由具有导电性的材料构成并将其接地。
并且，在上述实施方式中示出了溶液材料以分级形式(参照图2)经由多个接头部输送给多个喷嘴的例子，但本发明不限于此。例如，也可以构成为溶液材料向多个喷嘴并列地输送。即，也可以使1个接头部构成为具有输入溶液材料的1个入口并且具有输出溶液材料的喷嘴的个数的量的出口，而构成为溶液材料经由该1个接头部输送给多个(所有的)喷嘴。
并且，在上述实施方式中示出了通过泵部(注射器泵)和电磁阀对溶液材料进行输送(驱动)的例子，但本发明不限于此。在本发明中也可以构成为通过除注射器泵、电磁阀以外的结构对溶液材料进行输送。
并且，在上述实施方式中示出了溶液材料从下方朝向上方从喷嘴被喷雾的例子，但本发明不限于此。例如，也可以使溶液材料从上方朝向下方从喷嘴被喷雾。并且，也可以使溶液材料朝向横方从喷嘴被喷雾。
标号说明
1：喷嘴；6：泵部(送液驱动部)；7：电磁阀(送液驱动部，控制阀)；8：接头部(第1接头部)；11：接头部(第2接头部)；81：接头主体部；83：绝缘部；100：电喷雾装置；200：基板。
Claims (5)
1.一种电喷雾装置，该电喷雾装置将从喷嘴被喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板上，其中，
该电喷雾装置具有：
所述喷嘴，其在对所述溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；
送液驱动部，其用于将所述溶液材料输送给所述喷嘴；以及
接头部，其设置在所述喷嘴与所述送液驱动部之间，包含接头主体部，该接头主体部由具有导电性的材料构成，
所述接头主体部被接地，
所述喷嘴设置有多个，
所述接头部上连接有将从所述送液驱动部输送的所述溶液材料分别输送到多个所述喷嘴的多个配管，并且所述接头部构成为使所述溶液材料向所述多个配管分支。
2.根据权利要求1所述的电喷雾装置，其中，
所述接头部还包含绝缘部，该绝缘部被设置为覆盖所述接头主体部，使所述接头主体部相对于外部绝缘。
3.根据权利要求1或2所述的电喷雾装置，其中，
所述送液驱动部包含泵部以及控制阀，该控制阀对从所述泵部向所述喷嘴侧输送的所述溶液材料的流路进行切换，
所述接头部设置在所述喷嘴与所述控制阀之间。
4.根据权利要求1或2中的任意一项所述的电喷雾装置，其中，
所述接头部包含第1接头部以及除此之外的第2接头部，该第1接头部包含由所述具有导电性的材料构成的所述接头主体部，
该电喷雾装置构成为从所述送液驱动部输送的所述溶液材料被所述第1接头部和所述第2接头部阶段性地分支到多个流路而输送给所述多个喷嘴，
设置于所述溶液材料被最初分支的部分的所述接头部是包含由所述具有导电性的材料构成的所述接头主体部的所述第1接头部。
5.根据权利要求3所述的电喷雾装置，其中，
所述接头部包含第1接头部以及除此之外的第2接头部，该第1接头部包含由所述具有导电性的材料构成的所述接头主体部，
该电喷雾装置构成为从所述送液驱动部输送的所述溶液材料被所述第1接头部和所述第2接头部阶段性地分支到多个流路而输送给所述多个喷嘴，
设置于所述溶液材料被最初分支的部分的所述接头部是包含由所述具有导电性的材料构成的所述接头主体部的所述第1接头部。
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