KR20160096607A

KR20160096607A - 일렉트로스프레이 장치

Info

Publication number: KR20160096607A
Application number: KR1020167015235A
Authority: KR
Inventors: 켄신 혼다
Original assignee: 토레이 엔지니어링 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 2013-12-11
Filing date: 2014-11-19
Publication date: 2016-08-16
Also published as: JP6317578B2; WO2015087669A1; JP2015112528A; CN105813761B; CN105813761A

Abstract

용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 것을 억제하는 것이 가능한 일렉트로스프레이 장치를 제공한다. 이 일렉트로스프레이 장치(100)는, 노즐(1)로부터 분무된 용액 재료를, 기판(200)에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치(100)이며, 용액 재료에 전압을 인가한 상태에서 분무하는 노즐(1)과, 노즐(1)에 용액 재료를 송액하기 위한 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)와, 노즐(1)과 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)의 사이에 설치되고, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하는 커플링부(8)를 구비하고, 커플링 본체부(81)는 접지되어 있다.

Description

일렉트로스프레이 장치 {ELECTROSPRAY DEVICE}

본 발명은, 일렉트로스프레이 장치에 관한 것으로, 특히 노즐로부터 분무된 용액 재료를, 기판에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치에 관한 것이다.

종래, 노즐로부터 분무된 용액 재료를 기판에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

상기 특허문헌 1에는, 도전체 노즐과, 도전체 노즐 인가 전원과, 용액 재료 공급 장치를 구비하는 일렉트로스프레이 장치가 개시되어 있다. 이 일렉트로스프레이 장치는, 용액 재료 공급 장치로부터 도전체 노즐에 용액 재료가 공급됨과 함께, 도전체 노즐 인가 전원으로부터 도전체 노즐에 전압이 인가됨으로써, 용액 재료가 대전되도록 구성되어 있다. 그리고, 대전된 용액 재료가, 도전체 노즐과 기판 사이의 전계에 의해, 기판에 대해 정전 분무되도록 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2012-135704호 공보

그러나, 상기 특허문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 일렉트로스프레이 장치에서는, 용액 재료의 도전율이 비교적 큰 경우에는, 도전체 노즐에 인가되는 전압(전류)이 용액 재료를 전달하여, 용액 재료가 송액되는 도전체 노즐 측과는 반대 측에 배치되는 용액 재료 공급 장치(송액 구동부) 등의 기기를 파손시켜 버리는 경우가 있다고 하는 문제점이 있다.

본 발명은, 상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 본 발명의 하나의 목적은, 용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 것을 억제하는 것이 가능한 일렉트로스프레이 장치를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 국면에 의한 일렉트로스프레이 장치는, 노즐로부터 분무된 용액 재료를, 기판에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치이며, 용액 재료에 전압을 인가한 상태에서 분무하는 노즐과, 노즐에 용액 재료를 송액하기 위한 송액 구동부와, 노즐과 송액 구동부 사이에 설치되고, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 커플링부를 구비하고, 커플링 본체부는 접지되어 있다.

이 일 국면에 의한 일렉트로 스프레이 장치에서는, 상기한 바와 같이, 노즐과 송액 구동부 사이에 설치되는 커플링부의 커플링 본체부를 접지함으로써, 노즐에 인가되어, 용액 재료를 전달하는 전압(전류)이 노즐과 송액 구동부 사이의 커플링부에서 접지되므로, 노즐에 인가되는 전압(전류)이 송액 구동부에 인가되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 송액 구동부에 대해 내 절연성의 대책을 도모할 필요가 없어지므로, 일렉트로스프레이 장치의 구성을 간략화할 수 있다.

상기 일 국면에 의한 일렉트로스프레이 장치에 있어서, 바람직하게는, 노즐은 복수 설치되고, 커플링부는 송액 구동부로부터 송액되는 용액 재료를 복수의 노즐 측으로 분기시키도록 구성되어 있다. 여기서, 노즐이 복수 설치되어 있는 경우에는, 노즐로부터 송액 구동부 측으로 흐르는 전류의 크기가, 노즐의 수만큼 커진다(대전류가 흐른다). 이 경우에, 가령 송액 구동부 자신이 접지되어 있는 경우라도, 대전류가 송액 구동부로 흐르는 것에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 경우가 있다. 따라서, 본 발명에서는, 커플링부(커플링 본체부)를 접지함으로써, 송액 구동부가 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

상기 일 국면에 의한 일렉트로스프레이 장치에 있어서, 바람직하게는, 커플링부는 커플링 본체부를 덮도록 설치되고 커플링 본체부를 외부로부터 절연하는 절연부를 더 포함한다. 이와 같이 구성하면, 용액 재료를 전달하는 전압(전류)에 의해 커플링 본체부에 전하가 축적된 경우라도, 커플링부와 주위의 기기 사이에서 절연 파괴가 발생하여 주위의 기기에 전압(전류)이 전달되는 것을 절연부에 의해 억제할 수 있다. 이에 의해, 커플링부와 주위의 기기 사이의 간격을 작게 할 수 있으므로, 일렉트로스프레이 장치의 소형화를 도모할 수 있다.

상기 일 국면에 의한 일렉트로스프레이 장치에 있어서, 바람직하게는, 송액 구동부는 펌프부와, 펌프부로부터 노즐 측으로 송액되는 용액 재료의 유로를 전환하는 제어 밸브를 포함하고, 커플링부는, 노즐과 제어 밸브 사이에 설치되어 있다. 이와 같이 구성하면, 노즐에 인가되어 용액 재료를 전달하는 전압(전류)에 기인하여 펌프부 및 제어 밸브가 파손되는 것을 억제할 수 있다.

상기 일 국면에 의한 일렉트로스프레이 장치에 있어서, 바람직하게는, 노즐은 복수 설치되고, 커플링부는, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 제1 커플링부와, 그 이외의 제2 커플링부를 포함하고, 송액 구동부로부터 송액되는 용액 재료는, 제1 커플링부 및 제2 커플링부에 의해 단계적으로 복수의 유로로 분기되어 복수의 노즐로 송액되도록 구성되어 있고, 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 커플링부는, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 제1 커플링부이다. 이와 같이 구성하면, 용액 재료는, 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 제1 커플링부를 반드시 통과하므로, 이 제1 커플링부(1개의 제1 커플링부)만을 접지하는 것만으로, 복수의 노즐로 송액되는 모든 용액 재료를 접지할 수 있다. 이에 의해, 용액 재료가 분기된 후의 각각의 부분에서 접지하는 경우(복수의 개소에서 접지하는 경우)와 달리, 일렉트로스프레이 장치의 구성을 간략화할 수 있다.

본 발명에 따르면, 상기한 바와 같이 용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 송액 구동부가 파손되는 것을 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 의한 일렉트로스프레이 장치의 개략의 구성을 도시하는 전체도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 의한 일렉트로스프레이 장치의 노즐의 구성을 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명을 구체화한 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시 형태에 의한 일렉트로스프레이 장치(100)의 구성에 대해 설명한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 일렉트로스프레이 장치(100)는, 복수의 노즐(1)과, 접지 플레이트(2)와, 마스크(3)와, 승강 유닛(4)과, 전원부(5)를 구비하고 있다. 또한, 일렉트로스프레이 장치(100)는, 펌프부(6)와, 전자 밸브(7)와, 커플링부(8)와, 탱크부(9)를 구비하고 있다. 또한, 복수의 노즐(1), 펌프부(6), 전자 밸브(7), 커플링부(8) 및 탱크부(9)는, 수지로 이루어지는 배관(10)에 의해 접속되어 있다. 또한, 접지 플레이트(2)와 마스크(3) 사이에는, 기판(200)이 배치되어 있다. 또한, 펌프부(6)는, 본 발명의 「송액 구동부」의 일례이다. 또한, 전자 밸브(7)는, 본 발명의 「송액 구동부」 및 「제어 밸브」의 일례이다. 또한, 커플링부(8)는, 본 발명의 「제1 커플링부」의 일례이다.

노즐(1)은, 용액 재료에 전압을 인가한 상태에서, 용액 재료를 하방(Z2 방향)으로부터 상방(Z1 방향)을 향해 분무하도록 구성되어 있다. 그리고, 노즐(1)로부터 분무된 용액 재료가, 기판(200)에 박막(도시하지 않음)으로서 퇴적되도록 구성되어 있다.

접지 플레이트(2)는, 예를 들어 금속판으로 구성되어 있다. 접지 플레이트(2)는, 박막의 형성 시(도 1에 도시하는 상태)에, 기판(200)에 접촉하여 기판(200)을 접지하도록 구성되어 있다.

또한, 마스크(3)는, 기판(200)과 노즐(1) 사이에 배치되어 있다. 또한, 마스크(3)는, 마스크(3)의 양단부가 승강 유닛(4)에 지지되어 있고, 승강 유닛(4)의 승강과 함께 승강하도록 구성되어 있다. 그리고, 마스크(3)는 기판(200)과 함께, 승강 유닛(4)에 의해 접지 플레이트(2) 측(Z1 방향 측)으로 압박되도록 구성되어 있다. 또한, 마스크(3)에는, 개구부(3a)가 형성되어 있고, 개구부(3a)로부터 노출되는 기판(200)의 부분에 박막이 퇴적되도록 구성되어 있다.

또한, 전원부(5)는 복수의 노즐(1)과, 접지 플레이트(2)에 접속되어 있고, 복수의 노즐(1)과, 접지 플레이트(2) 사이에 전위차(전계)를 발생시키도록 구성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 복수의 노즐(1)에는, 플러스 전압이 인가됨과 함께, 접지 플레이트(2)는 접지되어 있다.

펌프부(6)는, 예를 들어 시린지 펌프로 구성되어 있고, 복수의 노즐(1)에, 전자 밸브(7) 및 커플링부(8)를 통해, 용액 재료를 송액하도록 구성되어 있다. 또한, 펌프부(6)는 시퀀서(도시하지 않음) 등에 접속되어 있다.

전자 밸브(7)는, 펌프부(6)와 커플링부(8) 사이에 설치되어 있다. 또한, 전자 밸브(7)는, 펌프부(6)로부터 노즐(1) 측으로 송액되는 용액 재료의 유로를 전환하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 전자 밸브(7)가 유로를 화살표 A 방향(도 1 참조)으로 전환한 상태에서, 용액 재료가, 펌프부(6)로부터 노즐(1) 측으로 송액된다. 또한, 전자 밸브(7)가 유로를 화살표 B 방향(도 1 참조)으로 전환된 상태에서, 탱크부(9)에 저장되는 용액 재료가, 펌프부(6)에 충전(흡인)된다. 본 실시 형태에서는, 용액 재료는, 예를 들어 유기 EL의 정공 주입층(HIL: Hole Injection Layer)액, 실란 커플링제, Ag 나노 잉크, Cu 나노 잉크 등으로 이루어진다. 이들 용액 재료는, 일반적으로 일렉트로스프레이 장치(100)에 있어서 사용되는 용액 재료 중, 비교적 높은 도전율을 갖는다.

여기서, 본 실시 형태에서는, 커플링부(8)는, 노즐(1)과 전자 밸브(7) 사이에 설치되어 있고, 펌프부(6)로부터 전자 밸브(7)를 통해 송액되는 용액 재료를 복수의 노즐(1) 측으로 분기시키도록 구성되어 있다. 또한, 커플링부(8)는, 도전성을 갖는 재료(예를 들어, SUS316 등)로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하도록 구성되어 있다. 그리고, 커플링 본체부(81)는 접지되어 있다. 커플링 본체부(81)는, 예를 들어 커플링 본체부(81)에 나사 결합된 나사부(82)를 통해 접지되어 있다. 이에 의해, 노즐(1) 측으로부터 용액 재료를 전달하여 흐르는 전류(전압)는, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7) 측으로는 흐르지 않고, 접지 측으로 흐른다. 또한, 커플링부는, 후술하는 바와 같이, 도전성을 갖는 커플링부(8)와, 도전성을 갖지 않는 커플링부(11)(도 2 참조)를 포함한다. 또한, 커플링부(11)는, 본 발명의 「제2 커플링부」의 일례이다.

또한, 커플링부(8)는, 커플링 본체부(81)를 덮도록 설치되고 커플링 본체부(81)를 외부로부터 절연하는 절연부(83)를 포함한다. 절연부(83)는, 예를 들어 테플론(등록 상표)으로 이루어지고, 커플링 본체부(81)의 외표면의 대략 전체면을 덮도록 설치되어 있다.

다음으로, 도 2를 참조하여, 복수의 노즐(1)과 복수의 커플링부(커플링부(8) 및 커플링부(11))의 접속 방법에 대해 설명한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 노즐(1)은 복수(도 2에서는, 12개) 설치된다. 또한, 커플링부는, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 1개의 커플링부(8)와, 도전성을 갖지 않는(예를 들어, 수지로 이루어지는) 9개의 커플링부(11)를 포함한다. 또한, 도 2에서는, 노즐(1)은 1열로 배치되어 있지만, 예를 들어 복수의 노즐(1)이 매트릭스 형상(2차원 형상)으로 배치되어 있어도 된다. 그리고, 본 실시 형태에서는, 펌프부(6)로부터 전자 밸브(7)를 통해 송액되는 용액 재료는, 복수의 커플링부(8 및 11)에 의해 단계적으로 복수의 유로로 분기되어 복수의 노즐(1)로 송액되도록 구성되어 있고, 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 커플링부는, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하는 커플링부(8)이다.

구체적으로는, 펌프부(6)로부터 전자 밸브(7)를 통해 송액되는 용액 재료는, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링부(8)로 송액된 후, 도전성을 갖지 않는 3개의 커플링부(11a) 측으로 분기되어 송액된다. 또한, 3개의 커플링부(11a)로 송액된 용액 재료는, 각각, 다시 2개(합계 6개)의 커플링부(11b) 측으로 분기되어 송액된다. 그리고, 6개의 커플링부(11b)로 송액된 용액 재료는, 각각, 2개의 노즐(1)(합계 12개) 측으로 분기되어 송액된다. 즉, 펌프부(6)로부터 전자 밸브(7)를 통해 송액되는 용액 재료는, 토너먼트 형식으로, 커플링부(8) 및 커플링부(11)를 통해 노즐(1)로 송액된다. 또한, 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 커플링부(8)의 커플링 본체부(81)가 접지되어 있다.

다음으로, 본 실시 형태의 효과에 대해 설명한다.

본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 노즐(1)과, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)의 사이에 설치되는 커플링부(8)의 커플링 본체부(81)를 접지함으로써, 노즐(1)에 인가되어, 용액 재료를 전달하는 전압(전류)이 노즐(1)과 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)의 사이의 커플링부(8)에서 접지되므로, 노즐(1)에 인가되는 전압(전류)이 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)에 인가되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 용액 재료에 인가되는 전압(전류)에 기인하여 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)가 파손되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)에 대해 내 절연성의 대책을 도모할 필요가 없어지므로, 일렉트로스프레이 장치(100)의 구성을 간략화할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 노즐(1)을 복수 설치하여, 커플링부(8)를, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)로부터 송액되는 용액 재료를 복수의 노즐(1) 측으로 분기시키도록 구성한다. 여기서, 노즐(1)이 복수 설치되어 있는 경우에는, 노즐(1)로부터 펌프부(6) 및 전자 밸브(7) 측으로 흐르는 전류의 크기가, 노즐(1)의 수만큼 커진다(대전류가 흐른다).

이 경우에, 가령 펌프부(6) 및 전자 밸브(7) 자신이 접지되어 있는 경우라도, 대전류가 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)로 흐르는 것에 기인하여, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)가 파손되는 경우가 있다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 커플링부(8)(커플링 본체부(81))를 접지함으로써, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)가 파손되는 것을 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 커플링부(8)를, 커플링 본체부(81)를 덮도록 설치되고 커플링 본체부(81)를 외부로부터 절연하는 절연부(83)를 포함하도록 구성한다. 이에 의해, 용액 재료를 전달하는 전압(전류)에 의해 커플링 본체부(81)에 전하가 축적된 경우라도, 커플링부(8)와 주위의 기기 사이에서 절연 파괴가 발생하여 주위의 기기에 전압(전류)이 전달되는 것을 절연부(83)에 의해 억제할 수 있다. 그 결과, 커플링부(8)와 주위의 기기 사이의 간격을 작게 할 수 있으므로, 일렉트로스프레이 장치(100)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 펌프부(6)와, 펌프부(6)로부터 노즐(1) 측으로 송액되는 용액 재료의 유로를 전환하는 전자 밸브(7)를 설치하고, 커플링부(8)를, 노즐(1)과, 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)의 사이에 설치한다. 이에 의해, 노즐(1)에 인가되어 용액 재료를 전달하는 전압(전류)에 기인하여 펌프부(6) 및 전자 밸브(7)가 파손되는 것을 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 노즐(1)을 복수 설치함과 함께, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하는 커플링부(8)와, 그 이외의 커플링부(11)를 설치하고, 펌프부(6)로부터 전자 밸브(7)를 통해 송액되는 용액 재료를, 복수의 커플링부(8 및 11)에 의해 단계적으로 복수의 유로로 분기되어 복수의 노즐(1)로 송액되도록 구성하여, 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 설치되는 커플링부를, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부(81)를 포함하는 커플링부(8)로 한다. 이에 의해, 용액 재료는, 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 커플링부(8)를 반드시 통과하므로, 이 커플링부(8)(1개의 커플링부(8))만을 접지하는 것만으로, 복수의 노즐(1)로 송액되는 모든 용액 재료를 접지할 수 있다. 그 결과, 용액 재료가 분기된 후의 각각의 부분에서 접지하는 경우(복수의 개소에서 접지하는 경우)와 달리, 일렉트로스프레이 장치(100)의 구성을 간략화할 수 있다.

또한, 금회 개시된 실시 형태 및 실시예는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시 형태 및 실시예의 설명이 아니라 청구범위에 의해 나타내어지고, 또한 청구범위와 균등의 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함된다.

예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 노즐이 12개 설치되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 노즐이, 12개 이외의 복수의 수 설치되어 있어도 되고, 1개 설치되어 있어도 된다. 또한, 노즐이 1개인 경우에서는, 펌프부로부터 송액되는 용액 재료를 분기시킬 필요는 없지만, 노즐과 펌프부 사이를 접속하는 배관에 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링부를 설치함과 함께, 이 커플링부를 접지하면 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 커플링 본체부에 나사 결합된 나사부를 통해 커플링 본체부가 접지되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 커플링 본체부를 직접 접지하도록 해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 커플링 본체부를 외부로부터 절연하기 위해, 테플론(등록 상표)에 의해 커플링 본체부의 외표면을 덮는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 테플론(등록 상표) 이외의 절연재에 의해 커플링 본체부를 덮도록 구성해도 된다. 또한, 절연재로 이루어지는 상자형의 부재에 의해, 커플링 본체부를 덮도록 해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 배치되는 1개의 커플링부(8)(도 2 참조)의 커플링 본체부가 접지되어 있는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 커플링부(8)보다 노즐(1) 측에 설치되는 복수의 커플링부(11)를, 도전성을 갖는 재료로 구성함과 함께, 접지해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 용액 재료가 토너먼트 형식(도 2 참조)으로 복수의 커플링부를 통해 복수의 노즐로 송액되는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 용액 재료가 복수의 노즐에 병렬로 송액되도록 구성해도 된다. 즉, 1개의 커플링부를, 용액 재료가 입력되는 1개의 입구를 가짐과 함께, 용액 재료가 출력되는 노즐의 수만큼 출구를 갖도록 구성하여, 용액 재료가 이 1개의 커플링부를 통해 복수의 (모든) 노즐로 송액되도록 구성해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 펌프부(시린지 펌프)와 전자 밸브에 의해, 용액 재료가 송액(구동)되는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 본 발명에서는, 시린지 펌프, 전자 밸브 이외의 구성에 의해, 용액 재료를 송액하도록 구성해도 된다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 용액 재료가 하방으로부터 상방을 향해 노즐로부터 분무되는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 용액 재료가 상방으로부터 하방을 향해 노즐로부터 분무되도록 해도 된다. 또한, 용액 재료가 횡측을 향해 노즐로부터 분무되도록 해도 된다.

1 : 노즐
6 : 펌프부(송액 구동부)
7 : 전자 밸브(송액 구동부, 제어 밸브)
8 : 커플링부(제1 커플링부)
11 : 커플링부(제2 커플링부)
81 : 커플링 본체부
83 : 절연부
100 : 일렉트로스프레이 장치
200 : 기판

Claims

노즐로부터 분무된 용액 재료를, 기판에 박막으로서 퇴적시키는 일렉트로스프레이 장치이며,
상기 용액 재료에 전압을 인가한 상태에서 분무하는 상기 노즐과,
상기 노즐에 용액 재료를 송액하기 위한 송액 구동부와,
상기 노즐과 상기 송액 구동부의 사이에 설치되고, 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 커플링부를 구비하고,
상기 커플링 본체부는 접지되어 있는, 일렉트로스프레이 장치.
제1항에 있어서,
상기 노즐은, 복수 설치되고,
상기 커플링부는, 상기 송액 구동부로부터 송액되는 상기 용액 재료를 상기 복수의 노즐 측으로 분기시키도록 구성되어 있는, 일렉트로스프레이 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 커플링부는, 상기 커플링 본체부를 덮도록 설치되고 상기 커플링 본체부를 외부로부터 절연하는 절연부를 더 포함하는, 일렉트로스프레이 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 송액 구동부는, 펌프부와, 상기 펌프부로부터 상기 노즐 측으로 송액되는 상기 용액 재료의 유로를 전환하는 제어 밸브를 포함하고,
상기 커플링부는, 상기 노즐과 상기 제어 밸브 사이에 설치되어 있는, 일렉트로스프레이 장치.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐은, 복수 설치되고,
상기 커플링부는, 상기 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 제1 커플링부와, 그 이외의 제2 커플링부를 포함하고,
상기 송액 구동부로부터 송액되는 상기 용액 재료는, 상기 제1 커플링부 및 상기 제2 커플링부에 의해 단계적으로 복수의 유로로 분기되어 상기 복수의 노즐로 송액되도록 구성되어 있고,
상기 용액 재료가 최초에 분기되는 부분에 설치되어 있는 상기 커플링부는, 상기 도전성을 갖는 재료로 이루어지는 커플링 본체부를 포함하는 제1 커플링부인, 일렉트로스프레이 장치.