CN105736935A - 高纯氨槽车处理系统及其使用方法 - Google Patents

高纯氨槽车处理系统及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种高纯氨槽车处理系统及其使用方法，高纯氨槽车处理系统包括产品缓冲罐、产品缓冲罐加热系统和充装站，所述产品缓冲罐加热系统为产品缓冲罐加热加压，所述产品缓冲罐的气相接口经所述充装站与槽车的气相接口连接，槽车液相接口经充装站与钢瓶的液相接口连接，钢瓶的气相接口经充装站连接至气体处理区，所述充装站上还连接有分析管线。采用本发明中的处理系统及使用方法能有效提高槽车处理效率，并且处理彻底，同时减少高纯氨产品损耗，具有很好的实用性。

Description

高纯氨槽车处理系统及其使用方法
技术领域
本发明涉及一种高纯氨槽车处理系统及其使用方法，属于高纯氨槽车处理技术领域。
背景技术
电子级高纯氨广泛用于半导体照明、平板显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造等领域中，而随着半导体照明、平板显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造等领域的发展，高纯氨的需求量逐渐增加，对高纯氨的纯度要求逐渐提升，高纯氨包装容器逐渐由原来的钢瓶逐渐转换为槽车。经实践表明，槽车使用后的剩余量为10％左右且在反复使用后会存在液体水分积累的现象，为了保证产品纯度，包装容器的处理工艺显得尤为重要。
发明内容
对此，本发明旨在提供一种槽车处理效率高且能减少高纯氨产品损耗的高纯氨槽车处理系统及其使用方法。
实现本发明目的的技术方案是：
一种高纯氨槽车处理系统，包括产品缓冲罐、产品缓冲罐加热系统和充装站，所述产品缓冲罐的液相接口连接生产线采出端，所述产品缓冲罐的气相接口经所述充装站与槽车的气相接口连接，所述产品缓冲罐加热系统为产品缓冲罐加热加压，槽车液相接口经充装站与钢瓶的液相接口连接，钢瓶的气相接口经充装站连接至气体处理区，所述充装站上还连接有分析管线。
上述技术方案中，所述产品缓冲罐加热系统为加热水循环管路系统或电加热系统。
一种上述高纯氨槽车处理系统的使用方法，包括以下步骤：
S1：高纯氨充入产品缓冲罐一定液位后停止进料，通过产品缓冲罐加热系统对产品缓冲罐加热加压；
S2：连接槽车及钢瓶的气、液相接口至充装站，通过充装站对槽车气相管线、槽车液相管线、钢瓶气相管线、钢瓶液相管线进行吹扫、保压、抽真空；
S3：打开槽车气相管线与产品缓冲罐的气相管线让槽车与产品缓冲罐的气相连通，提高槽车内部压力；
S4：打开槽车液相管线至钢瓶液相管线的相关阀门让槽车与钢瓶的液相连通，利用槽车与钢瓶内部压差将槽车内的高纯氨压至钢瓶内；
S5：待槽车内高纯氨排空后，关闭槽车液相管线、钢瓶液相管线，然后通过产品缓冲罐内的高压气体给槽车充压后，将槽车气相阀关闭，打开槽车液相管线及气体处理管线相关阀门将槽车和气体处理区连通使槽车内部压力降低至0bar，重复上述操作至少两遍；
S6：将槽车气相管线、槽车液相管线及气体处理管线均打开，通过产品缓冲罐高压气体对槽车持续吹扫5至12min后，关闭槽车液相阀，待槽车内达到一定压力时，关闭槽车气相阀；
S7：打开分析管线进入槽车纯度分析流程，分析纯度合格后进入槽车充装程序。
上述技术方案中，在步骤S5中，通过产品缓冲罐高压气体对槽车持续吹扫10min后，关闭槽车液相阀，待槽车内压力为5bar时，关闭槽车气相阀。
本发明具有积极的效果：采用本发明中的槽车处理系统处理槽车，能有效提高槽车处理效率，并且处理彻底，同时能够将槽车内的高纯氨装入钢瓶内回收利用，避免造成高纯氨浪费，具有很好的使用效果。
附图说明
图1为本发明中高纯氨槽车处理系统的结构示意图。
图中所示附图标记为：1-产品缓冲罐；2-产品缓冲罐加热系统；3-充装站；4-槽车；41-槽车气相管线；42-槽车液相管线；5-钢瓶；51-钢瓶气相管线；52-钢瓶液相管线；6-气体处理管线；7-分析管线。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明中的技术方案做以说明：
实施例1
一种高纯氨槽车4处理系统，如图1所示，其包括产品缓冲罐1、产品缓冲罐加热系统2和充装站3，所述产品缓冲罐1的液相接口连接生产线采出端，所述产品缓冲罐1的气相接口经所述充装站3与槽车4的气相接口连接，所述产品缓冲罐加热系统2为产品缓冲罐1加热加压，槽车4的液相接口经充装站3与钢瓶5的液相接口连接，钢瓶5的气相接口还经充装站3连接至气体处理区，所述充装站3上还连接有分析管线7。采用本发明中的槽车处理系统处理槽车，能有效提高槽车处理效率，并且处理彻底，同时能够将槽车内的高纯氨装入钢瓶内回收利用，避免造成高纯氨损耗，具有很好的使用效果，使用方法见实施例2，设置分析管线7用于对槽车及钢瓶纯度进行分析。
本实施例中，所述产品缓冲罐加热系统2可以采用加热水(或其它热媒)循环管路系统，实践操作中所述产品缓冲罐加热系统2也可以采用电加热系统。
实施例2
一种实施例1中高纯氨槽车处理系统的使用方法，包括以下步骤：
S1：高纯氨充入产品缓冲罐1一定液位(40-60％，优选液位为50％)后停止进料，通过产品缓冲罐加热系统2对产品缓冲罐1加热加压至9bar；S2：连接槽车4及钢瓶5气、液相接口至充装站3，通过充装站对槽车的气相管线41、槽车的液相管线42、钢瓶气相管线51及钢瓶液相管线52进行吹扫、保压、抽真空；S3：打开槽车气相管线41与产品缓冲罐1的气相管线相关阀门让槽车4与产品缓冲罐1的气相连通，提高槽车4内部压力(使槽车4内部压力大于钢瓶5内部压力即可，为了高效处理槽车4，两者的压差值越大越好)；S4：打开槽车液相管线42与钢瓶液相管线52让槽车4与钢瓶5的液相连通，利用槽车4与钢瓶5内部压差将槽车4内的高纯氨压至钢瓶5内；S5：待槽车4内高纯氨排空后，关闭槽车液相管线42、钢瓶液相管线52，然后通过产品缓冲罐1内的高压气体给槽车4充压至7～9bar后，将槽车4气相阀关闭，打开槽车液相管线42及气体处理管线6将槽车4和气体处理区连通使槽车内部压力降低至0bar，重复上述操作至少两遍；S6：将槽车气相管线41、槽车液相管线42及气体处理管线6均打开，通过产品缓冲罐1高压气体对槽车4持续吹扫5至12min后，关闭槽车4液相阀，待槽车4内压力为4～6bar时，关闭槽车4气相阀；S7：打开分析管线7进入槽车4纯度分析流程，分析纯度合格后进入槽车4充装程序。本实施例中所述的充装站3(其上设有管线和阀门)的作用是过渡连接各相应管线，并且通过充装站3能够对连接管线(槽车气、液相管线和钢瓶气、液相管线)进行吹扫、保压、抽真空处理，其结构属于现有技术，本实施例中不做赘述。在本实施例中，通过将产品缓冲罐1和槽车4的气相连通增加槽车4内部压力，从而通过槽车4与钢瓶5间的压差将槽车4内的高纯氨压入钢瓶5内进行回收利用，然后通过产品缓冲罐1内的高纯氨高压气体(与生产线中的高纯氨纯度一致)多次吹扫槽车后由气体回收管线排出，这样可保证槽车3内部处理彻底，槽车3的处理效率高，并能避免二次污染，从而保证槽车充装的纯度，具有很好的实用性。
本实施例中，在步骤S5中，通过产品缓冲罐1高压气体对槽车4持续吹扫10min后，关闭槽车4液相阀，待槽车4内压力为5bar时，关闭槽车4气相阀。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本发明的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种高纯氨槽车处理系统，其特征在于：包括产品缓冲罐(1)、产品缓冲罐加热系统(2)和充装站(3)，所述产品缓冲罐(1)的液相接口连接生产线采出端，所述产品缓冲罐(1)的气相接口经所述充装站(3)与槽车(4)的气相接口连接，所述产品缓冲罐加热系统(2)为产品缓冲罐(1)加热加压，槽车(4)的液相接口经充装站(3)与钢瓶(5)的液相接口连接，钢瓶(5)的气相接口还经充装站(3)连接至气体处理区，所述充装站(3)上还连接有分析管线(7)。
2.根据权利要求1所述的高纯氨槽车处理系统，其特征在于，所述产品缓冲罐加热系统(2)为加热水循环管路系统或电加热系统。
3.一种权利要求1或2所述的高纯氨槽车处理系统的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：高纯氨充入产品缓冲罐(1)一定液位后停止进料，通过产品缓冲罐加热系统(2)对产品缓冲罐(1)加热加压；
S2：连接槽车(4)及钢瓶(5)的气、液相接口至充装站(3)，通过充装站(3)对槽车气相管线(41)、槽车液相管线(42)、钢瓶气相管线(51)、钢瓶液相管线(52)进行吹扫、保压、抽真空；
S3：打开槽车气相管线(41)与产品缓冲罐(1)的气相管线让槽车(4)与产品缓冲罐(1)的气相连通，提高槽车(4)内部压力；
S4：打开槽车液相管线(42)至钢瓶液相管线(52)的相关阀门让槽车(4)与钢瓶(5)的液相连通，利用槽车(4)与钢瓶(5)内部压差将槽车(4)内的高纯氨压至钢瓶(5)内；
S5：待槽车(4)内高纯氨排空后，关闭槽车液相管线(42)、钢瓶液相管线(52)，然后通过产品缓冲罐(1)内的高压气体给槽车(4)充压后，将槽车(4)气相阀关闭，打开槽车液相管线(42)及气体处理管线(6)相关阀门将槽车(4)和气体处理区连通使槽车内部压力降低至0bar，重复上述操作至少两遍；
S6：将槽车气相管线(41)、槽车液相管线(42)及气体处理管线(6)均打开，通过产品缓冲罐(1)高压气体对槽车(4)持续吹扫5至12min后，关闭槽车(4)液相阀，待槽车(4)内达到一定压力时，关闭槽车(4)气相阀；
S7：打开分析管线(7)进入槽车(4)纯度分析流程，纯度分析合格后进入槽车(4)充装程序。
4.根据权利要求3所述的高纯氨槽车处理系统的使用方法，其特征在于：在步骤S6中，通过产品缓冲罐(1)高压气体对槽车(4)持续吹扫10min后，关闭槽车(4)液相阀，待槽车(4)内压力为5bar时，关闭槽车(4)气相阀。
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