CN202884466U - 超纯液氨充装设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种超纯液氨充装设备，该装置包括超纯液氨成品罐、温控循环热水汽化器、加热温控装置、成品氨钢瓶、在线氨纯度分析监测仪、液相管阀、气相管阀，所述温控循环热水汽化器设置于超纯液氨成品罐内的中下端位置，所述成品氨钢瓶外部包裹有易拆装式的加热温控装置，所述超纯液氨成品罐的底端出口设有液相管阀与成品氨钢瓶连接，所述在线氨纯度分析监测仪的一端为进样气管阀连接成品氨钢瓶，另一端为排放气管阀，采用该系统不需机械泵、也不需真空泵运动件，使得耗能减小、系统简单、不易泄漏，不会对成品氨钢瓶造成二次污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及超纯液氨成品充装方法。特别涉及一种能使成品氨钢瓶气纯度确保稳定可靠于7N电子级超纯液氨纯度的改进充装法。
背景技术
用于微电子和光电子行业7N电子级超纯液氨产品，过去全靠国外进口。近两年利用原料液氨，采用精镏、吸附纯化法获以7N电子级的超纯液氨成品已成功。可是将成品罐的7N电子级超纯液氨产品充装到微电子和光电子行业用户使用的几种成品氨钢瓶中时，钢瓶氨气纯度常会有所下降，影响用户使用。传统的充装是按说明书附图1流程设备，先用真空泵将成品氨钢瓶抽真空以达清洗，再用机械泵（通常为屏蔽泵或低温液体泵）将成品罐中的超纯液氨成品打入用户的成品氨钢瓶中。但是，这种传统法充装有下列不足：
1、对用户的成品氨钢瓶难以抽到高度真空。同时对成品氨钢瓶内壁没有获得使用超纯氨成品气流的充分置换清洗，用户成品氨钢瓶气纯度常会降低一个多数量级。
2、使用机械泵和真空泵充装，一是易存有泄漏，不安全。二是易造成泵的二次污染，用户成品氨钢瓶气纯度会降低。
3、系统有运动部件，操作较麻烦和耗能较大。为了解决传统充装法的不足：
2011年，CN201110309471.7专利“一种电子级超纯氨的全自动充装装置及充装方法”,系统泵阀开关等操作实现了全自动化， 解决了传统法充装的操作麻烦，并提高了充装操作的安全性。但是，用户关键的纯度下降问题，没获解决。
2011年，CN102213362A专利“超纯氨免污染充装方法”，采用了无泵充装。这种改进，克服了传统法充装易存有泄漏和易造成泵二次污染及耗能较大的不足。然而该法实施中，因不同用户被充装的多种类成品氨钢瓶内部的洁净，仍为真空泵抽真空法，成品氨钢瓶内壁吸附深牢的污染物难以洁净，并会无规律性地放出，用户关键的成品氨钢瓶气纯度比传统充装法提高了近一数量级，但是不能确保纯度的稳定可靠。
本改进充装法为对不同用户的多种类的成品氨钢瓶，内壁一律先用超纯液氨成品的热氨气流，进行充分热冲击、置换清洗，然后再冷却至常温后，实施正式充装。这样，用户关键的成品氨钢瓶气纯度可确保稳定可靠于7N电子级超纯液氨成品的高纯度。
发明内容
本实用新型针对传统超纯液氨成品充装法和CN201110309471.7专利“一种电子级超纯氨的全自动充装法”及CN102213362A专利“超纯氨免污染充装方法”的不足，实施了改进充装法。目的是确保用户成品氨钢瓶气纯度稳定可靠于7N电子级超纯液氨成品的高纯度。
本实用新型的技术方案是：一种超纯液氨充装设备，该装置包括超纯液氨成品罐、温控循环热水汽化器、加热温控装置、成品氨钢瓶、在线氨纯度分析监测仪、液相管阀、气相管阀，所述温控循环热水汽化器设置于超纯液氨成品罐内的中下端位置，所述成品氨钢瓶外部包裹有易拆装式的加热温控装置，所述超纯液氨成品罐的底端出口设有液相管阀与成品氨钢瓶连接，所述在线氨纯度分析监测仪的一端为进样气管阀连接成品氨钢瓶，另一端为排放气管阀。
所述温控循环热水汽化器为电加热式温控循环热水汽化器或蒸汽式温控循环热水汽化器或燃气式温控循环热水汽化器。
利用温控的循环热水，汽化超纯液氨成品罐内升压的压力与钢瓶间的压力差和加热钢瓶后汽化的热氨气，按上规定的生产工艺步骤，完成对成品氨钢瓶内壁的置换洁净和对成品氨钢瓶超纯液氨的高质量充装。
本实用新型的有益效果是：采用该系统不需机械泵、也不需真空泵运动件，使得耗能减小、系统简单、不易泄漏，不会对成品氨钢瓶造成二次污染；同时用80℃超纯液氨成品的热氨气流冲击、置换、充分清洗成品氨钢瓶内壁污染后，对用户关键的成品氨钢瓶气纯度，比CN102213362A专利充装法，可确保稳定可靠于7N电子级超纯液氨成品的高纯度；用热氨气流冲击、置换、充分清洗洁净成品氨钢瓶后的氨气入低温液氨回收罐，回收为工业液氨使用，不会造成污染环境或不需再处理。
附图说明
图1为传统超纯液氨充装设备结构示意图；
图2为本实用新型结构示意图；
其中：1、超纯氨成品罐，11、超纯液氨纯品入口， 2、温控热水循环汽化器，21、循环热水出口，22、循环热水入口，3、易拆装式钢瓶外包裹温控加热装置， 4、成品氨钢瓶，5、在线氨纯度分析仪，6、液相管阀，7、气相管阀，8、通向低温液氨回收罐回收为工业液氨，9、屏蔽泵，10、真空泵，12、通向洗涤塔洗涤后放空。
具体实施方式
本实施例为一种超纯液氨充装设备，该装置包括超纯液氨成品罐1、温控循环热水汽化器2、加热温控装置3、成品氨钢瓶4、在线氨纯度分析监测仪5、液相管阀6、气相管阀7，所述温控循环热水汽化器2设置于超纯液氨成品罐1内的中下端位置，所述成品氨钢瓶4外部包裹有易拆装式的加热温控装置3，所述超纯液氨成品罐1的底端出口设有液相管阀6与成品氨钢瓶4连接，所述在线氨纯度分析监测仪5的一端为进样气管阀7连接成品氨钢瓶4，另一端为排放气管阀7。
如图一所示，为传统的充装超纯液氨的流程设备，先用真空泵10将成品氨钢瓶4抽真空以达清洗，再用机械泵9（通常为屏蔽泵或低温液体泵）将成品罐中1的超纯液氨成品打入用户的成品氨钢瓶4中。
如图二所示，为本实用新型超纯液氨充装设备，将内置于超纯液氨成品罐1中的加热汽化器2，用温控30℃的热水循环，让其罐中超纯液氨成品受热汽化升压；当超纯液氨成品罐1内升压到1.0-1.1MPa压力（30℃左右相对应的氨气压）后，打开超纯液氨成品罐1与成品氨钢瓶4的液相阀，让罐与瓶的液相连通，利用罐与瓶的压力差，先向成品氨钢瓶4内压入少部分超纯液氨成品，并关闭液相阀；开启成品氨钢瓶4外包裹的加热装置3的电加热，并温控在80℃，使钢瓶受热，让钢瓶内已压入的少部超纯液氨成品不断汽化，让80℃的热氨气流冲击、置换、充分清洗钢瓶内壁污染，再从钢瓶上方的气相口排出系统，清洗置换过后的气流，入低温液氨回收罐回收为工业液氨使用；当在线氨纯度分析监测仪5显示成品氨钢瓶4排出口氨气质量达到7N电子级要求后，停止对钢瓶加热，拆除外包裹的加热装置3，让成品氨钢瓶4冷却；等到成品氨钢瓶4冷却到常温（20℃）后，正式进行对成品氨钢瓶4的压力差充装，直至将成品氨钢瓶4充满（称重法）。
Claims (2)
1.一种超纯液氨充装设备，其特征是该装置包括超纯液氨成品罐、温控循环热水汽化器、加热温控装置、成品氨钢瓶、在线氨纯度分析监测仪、液相管阀、气相管阀，所述温控循环热水汽化器设置于超纯液氨成品罐内的中下端位置，所述成品氨钢瓶外部包裹有易拆装式的加热温控装置，所述超纯液氨成品罐的底端出口设有液相管阀与成品氨钢瓶连接，所述在线氨纯度分析监测仪的一端为进样气管阀连接成品氨钢瓶，另一端为排放气管阀。
2.根据权利要求1所述的超纯液氨充装设备，其特征是所述温控循环热水汽化器为电加热式温控循环热水汽化器或蒸汽式温控循环热水汽化器或燃气式温控循环热水汽化器。
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|---|---|---|---|---|
| CN103541794A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-29 | 中国第一汽车股份有限公司 | 固体储氨系统的循环冲氨方法 |
| CN105736935A (zh) * | 2016-04-20 | 2016-07-06 | 海宁市英德赛电子有限公司 | 高纯氨槽车处理系统及其使用方法 |
| CN106838607A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-06-13 | 吉林省众鑫汽车装备有限公司 | 固体储氨罐的充氨方法 |
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2012
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103541794A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-29 | 中国第一汽车股份有限公司 | 固体储氨系统的循环冲氨方法 |
| CN103541794B (zh) * | 2013-10-30 | 2016-03-02 | 中国第一汽车股份有限公司 | 固体储氨系统的循环冲氨方法 |
| CN105736935A (zh) * | 2016-04-20 | 2016-07-06 | 海宁市英德赛电子有限公司 | 高纯氨槽车处理系统及其使用方法 |
| CN106838607A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-06-13 | 吉林省众鑫汽车装备有限公司 | 固体储氨罐的充氨方法 |
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