CN105473290B - 机械臂 - Google Patents

Abstract

密封带（4）包含内侧带区间（41）及外侧带区间（42），内侧带区间（41）以随着移动体（2）的移动而旋转的形式构成，外侧带区间（42）包含：在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第一部分（43），该第一部分（43）的一端（43a）保持于移动体（2）的内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸，且保持于第三空间位置（P3）；以及在内侧带区间（41）与开口（10）之间的第二部分（44），该第二部分（44）的一端（44a）保持于内在部（21a）的下端（10b）侧部分，其他部分沿着开口（10）延伸至第四空间位置（P4）为止，且保持于第四空间位置（P4）；且随着移动体（2）的移动，第一部分（43）的长度及第二部分（44）的长度相辅相成地发生变化，驱动机构（3）位于由内侧带区间包围的空间。

Description

机械臂

技术领域

本发明涉及一种机械臂，尤其涉及一种具备防止由设置于内部的驱动部产生的微粒（particle）向外部流出的防尘机构的机械臂。

背景技术

以往，已知有搬送基板的基板搬送机械臂装置（例如参照专利文献1）。

该基板搬送机械臂装置具有：具有沿着垂直方向延伸的开口的中空的垂直壳体；容纳于垂直壳体的内部的垂直轴移动机构；藉由垂直轴移动机构于垂直方向上往返移动的水平壳体；水平壳体的上方的密封膜；以及垂直壳体的下方的密封膜。水平壳体与垂直轴移动机构连接，且具有贯通开口的中空支柱。而且，上方的密封膜的固定端固定于支持体并利用游动滑车折返，且经由固定滑轮结合于中空支柱的上端面。又，下方的密封膜的固定端固定于支持体并利用游动滑车折返，且经由固定滑轮结合于中空支柱的下端面。另外，上方的密封膜的游动滑车与下方的密封膜的游动滑车，以对上方的密封膜与下方的密封膜施加一定张力的形式连接。藉此，无论水平壳体因垂直轴移动机构受到驱动而移动至垂直行程内的哪一个位置，垂直壳体的开口均能够保持总是由中空支柱、上方的密封膜及下方的密封膜覆盖的状态。

现有技术文献：

专利文献1：日本特开平10-157847号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

专利文献1所记载的基板搬送机械臂装置中由密封膜覆盖垂直壳体的开口，因此具有一定的防尘效果。然而，该防尘效果尚不充分。又，壳体的外部空间的气体中含有腐蚀性气体时，有时垂直轴移动机构会因腐蚀性气体流入至垂直壳体内而受到腐蚀，导致基板搬送机械臂装置的寿命缩短；

上述问题不限于基板搬送机械臂，是需要具有防尘功能的机械臂共同的问题。

本发明是鉴于如上所述的问题而成的发明，其第一目的在于提供一种比现有技术相更能提高对驱动机构产生的微粒的防尘效果的机械臂。

又，第二目的在于提供一种能够防止因腐蚀性气体自外部流入至内部而腐蚀驱动机构的机械臂。

解决问题的手段：

为了解决上述问题，本发明的某个形态的机械臂具备：形成有沿着某个方向延伸且于该延伸方向上具有第一端及第二端的开口的框体；经由所述开口而向所述框体的内部及外部延伸，在向该框体的外部延伸的部分设置有机械手的移动体；容纳于所述框体，且作用于所述移动体的向所述框体内部延伸的内在部而使所述移动体沿着所述开口的延伸方向移动的驱动机构；以及容纳于所述框体内部的密封带；所述密封带包含内侧带区间及外侧带区间，自所述开口的法线方向观察，所述内侧带区间及外侧带区间以两侧缘位于所述开口的两侧缘外侧的形式分别沿着该开口的延伸方向延伸；于所述框体的内部，所述内侧带区间的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第一端的一侧的第一空间位置，自所述第一空间位置起，于中途反转而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第二端的一侧的第二空间位置为止，且自所述第二空间位置沿着所述开口延伸，所述内侧带区间的另一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，并且随着所述移动体的移动而旋转；所述外侧带区间包含：在所述内侧带区间与所述开口之间的第一部分，该第一部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第一端的第三空间位置为止，且保持于该第三空间位置；以及在所述内侧带区间与所述开口之间的第二部分，该第二部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第二端的第四空间位置为止，且保持于该第四空间位置；并且所述外侧带区间随着所述移动体的移动，所述第一部分的长度及所述第二部分的长度以一方增加另一方的减少量的形式发生变化；所述驱动机构位于由所述内侧带区间包围的空间。

根据该结构，对于位于由内侧带区间包围的空间中的驱动机构，由外侧带区间与内侧带区间双重地覆盖形成于框体的开口，因此，防止该驱动机构产生的微粒流出至框体的外部空间的效果（防尘效果）与现有技术相比有所提高。

所述机械臂亦可具备：于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第一移动辊；于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第二移动辊；位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第一固定辊；以及位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第二固定辊；所述内侧带区间的所述一端与所述外侧带区间的第一部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第一移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分；

所述外侧带区间的第一部分的所述其他部分自所述第一移动辊延伸至所述第三空间位置为止，在该第三空间位置处固定于所述框体；所述内侧带区间的所述另一端与所述外侧带区间的第二部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第二移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；所述外侧带区间的第二部分的所述其他部分自所述第二移动辊延伸至所述第四空间位置为止，在该第四空间位置处固定于所述框体；所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第一固定辊与所述第二固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第一固定辊与所述第二固定辊之间中途反转的辊上。

根据该结构，能够防止因密封带的外侧带区间与框体随着移动体的移动而相互摩擦所产生的微粒。

所述机械臂亦可具备：位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第三固定辊；位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第四固定辊；位于所述框体内部的所述第一端及所述第三固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第五固定辊；以及位于所述框体内部的所述第二端及所述第四固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第六固定辊；所述内侧带区间的所述一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述内侧带区间的所述另一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第三固定辊与所述第四固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第三固定辊与所述第四固定辊之间中途反转的辊上；所述外侧带区间的所述第一部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述外侧带区间的所述第二部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；于所述外侧带区间，所述第一部分的所述其他部分延伸至所述被保持的部分的前端为止，并且所述第二部分的其他部分延伸至所述被保持的部分的前端为止，所述第一部分的另一端与所述第二部分的另一端相连，所述第一部分的一端与所述第二部分的一端之间的部分位于所述内侧带区间与所述框体之间，卷绕于所述第五固定辊与所述第六固定辊，并且卷绕于使所述外侧带区间在所述第五固定辊与所述第六固定辊之间中途反转的辊上；所述内侧带区间及所述外侧带区间分别单独地构成内侧带及外侧带。

所述机械臂还可具备间隔壁，所述间隔壁沿着自所述内侧带区间的所述一端向第一空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧、与自所述内侧带区间的所述另一端向第二空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧延伸。

根据该结构，藉由存在于内侧带区间与驱动机构之间的间隔壁，能够更有效果地防止由位于内侧带区间包围的空间内的驱动机构产生的微粒流出至框体的外部空间。

所述机械臂还可具备抽吸所述外侧带区间与所述内侧带区间之间的缓冲空间的气体的吸气机构。

根据该结构，由吸气机构抽吸外侧带区间与内侧带区间之间的缓冲空间的气体，因此，能够有效果地防止框体的外部空间的气体流入至由内侧带区间包围的空间。其结果，当框体的外部空间的气体中含有腐蚀性气体时，能够防止因该气体流入至由内侧带区间包围的空间而导致驱动机构受到腐蚀性气体腐蚀。又，由于能够防止由内侧带区间包围的空间的气体流出至框体的外部空间，故而能够更有效果地防止由内侧带区间包围的空间的气体中所含的、由驱动机构产生的微粒流出至框体的外部空间而导致制品的成品率下降。

发明效果：

本发明的机械臂具有针对驱动机构产生的微粒的防尘效果相比现有技术有所提高的效果。

附图说明

图1是示出根据本发明第一实施形态的机械臂的结构例的局部剖视立体图；

图2是示出图1的机械臂的结构例的纵向剖面图；

图3是示出图2的A-A剖面的剖面图；

图4是示出根据本发明第二实施形态的机械臂的结构例的纵向剖面图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施形态。再者，本发明并不受本实施形态限定。又，以下对全部图中的相同或相当的要素附上相同参照符号，且省略其重复说明。

（第一实施形态）

图1是示出根据本发明第一实施形态的机械臂100的结构例的局部剖视立体图。图2是示出机械臂100的结构例的纵向剖面图。图3是图2的A-A剖面图。

机械臂100是在例如对基板实施热处理、杂质导入处理、薄膜形成处理、光微影处理、洗净处理及平坦化（Lithography）处理等各种程序处理的设备中，用于搬送基板的机械臂。再者，机械臂100并不限定于基板搬送机械臂，只要是具备防尘机构的机械臂即可，该防尘机构防止设置于内部的驱动部产生的微粒向外部流出。又，基板例如为半导体晶片（wafer）、玻璃晶片等，作为半导体晶片，可例示硅晶片、蓝宝石（单晶氧化铝）晶片及其他各种晶片。而且，如图1及图2所示，机械臂100具备框体1、移动体2、驱动机构3、密封带4、固定于框体1的多个固定辊、机械手6及控制部9。

框体1为箱体。而且，于框体1中形成有沿着某个方向延伸，且于该延伸方向上具有第一端及第二端的开口10。

于本实施形态所例示的形态中，如图2所示，框体1为沿着垂直方向延伸的中空的长方体，其具有正面壁11、与正面壁11相对的背面壁12、连接正面壁11及背面壁12的两侧缘的一对侧壁13、连接正面壁11及背面壁12的上缘的上壁14、以及连接正面壁11及背面壁12的下缘的底壁15。而且，于正面壁11中形成有沿着垂直方向呈一条直线地延伸的矩形的开口10。此外，开口10的上端10a构成上述第一端，开口10的下端10b构成上述第二端。又，背面壁12具有排气口16，该排气口16是以使框体1的内部与外部连通的形式而形成的贯通孔。

移动体2经由开口10而向框体1的内部及外部延伸。而且，于向框体1的外部延伸的部分设置有机械手6。机械手6是由众所周知的机械手结构，因此省略其说明。

于本实施形态所例示的形态中，移动体2包含移动台21、第一移动辊22及第二移动辊23。移动台21向框体1的内部及外部延伸，较开口10更向框体1的内部侧延伸的部分构成移动台21的内在部21a，较开口10更向框体1的外部侧延伸的部分构成移动台21的外在部21b。机械手6设置于外在部21b。第一移动辊22是沿着开口10的宽度方向延伸的圆柱体，以位于移动台21的内在部21a的开口10附近的上方（移动体2的内在部21a的第一端的一侧的部分）的形式安装于移动台21。而且，第一移动辊22以两端能够相对于移动台21旋转的形式受到支持，且以围绕沿开口10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式被安装。第二移动辊23是沿着开口10的宽度方向延伸的圆柱体，以位于移动台21的内在部21a的开口10附近的下方（移动体2的内在部21a的第二端的一侧的部分）的形式安装于移动台21。而且，第二移动辊23以两端能够旋转的形式受到支持，且以围绕沿开口10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式被安装。

驱动机构3容纳于框体1，且作用于移动体2的移动台21的内在部21a而使移动体2沿着开口10的延伸方向即垂直方向移动。又，驱动机构3位于由密封带4的后述的内侧带区间41包围的内部空间S1内。

于本实施形态所例示的形态中，驱动机构3是众所周知的滚珠螺杆机构，其包含：围绕沿垂直方向延伸的旋转轴旋转的滚珠螺杆31；螺合于滚珠螺杆31的滑件32；与滚珠螺杆31平行地延伸，阻止移动台21与滚珠螺杆31共同旋转，且沿着滑件32的延伸方向进行导引的导轨33；以及经由设置于滚珠螺杆31的下端的齿轮34而使滚珠螺杆31旋转的伺服马达35。滚珠螺杆31经由未图示的轴承而安装于框体1。导轨33的两端经由未图示的支持体而固定于框体1。伺服马达35固定于框体1。移动台21的内在部21a固定于滑件32。而且，藉由滚珠螺杆31的旋转，滑件32于特定的行程范围内受到导轨33导引，沿着滚珠螺杆31的旋转轴方向（垂直方向）移动，藉此，移动体2于特定的行程范围内，相对于框体1而沿着垂直方向移动。伺服马达35的旋转由控制部9控制。

再者，驱动机构3不限于滚珠螺杆机构，取而代之，例如能够应用齿条齿轮机构、线性马达机构。

密封带4容纳于框体1。而且，密封带4包含内侧带区间41与外侧带区间42，自开口10的法线方向观察，该内侧带区间41与外侧带区间42以两侧缘位于开口10的两侧缘外侧的形式沿着开口10的延伸方向延伸。

于框体1的内部，内侧带区间41的一端41a保持于移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面（移动体2的内在部21a的第一端的一侧的部分）。而且，内侧带区间41的其他部分自移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面，沿着开口10延伸至较移动台21的内在部21a更靠开口10的上端10a侧的第一空间位置P1。该自移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面延伸至第一空间位置P1的部分构成密封带4的内侧上部密封区间45。而且，内侧带区间41自第一空间位置P1起，于中途反转而延伸至较移动台21的内在部21a更靠开口10的下端10b侧的第二空间位置P2为止。此外，内侧带区间41自第二空间位置P2沿着开口10延伸。而且，内侧带区间41的另一端41b保持于移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面（移动体2的内在部21a的第二端的一侧的部分）。自第二空间位置P2延伸至移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面的部分构成密封带4的内侧下部密封区间46。而且，内侧带区间41形成为随着移动体2的移动而旋转的结构。

外侧带区间42包含第一部分43与第二部分44。第一部分43的一端43a于内侧带区间41与开口10之间，保持于移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面（移动体2的内在部21a的第一端的一侧的部分），其他部分自移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面，沿着开口10延伸至超越上端10a的第三空间位置P3为止。该自移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面延伸至第三空间位置P3为止的部分构成密封带4的外侧上部密封区间47。而且，第一部分43的另一端43b保持于第三空间位置P3。第二部分44的一端44a于内侧带区间41与开口10之间，保持于移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面（移动体2的内在部21a的第二端的一侧的部分），其他部分自移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面，沿着开口10延伸至超越下端10b的第四空间位置P4为止。该自移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面延伸至第四空间位置P4为止的部分构成密封带4的外侧下部密封区间48。而且，第二部分44的另一端44b保持于第四空间位置P4。此外，第一部分43及第二部分44形成为随着移动体2的移动，第一部分43的长度及第二部分44的长度以一方增加另一方的减少量的形式发生变化的结构。

于本实施形态所例示的形态中，密封带4是由实质上不具有伸缩性的一根带状物构成。而且，密封带4的内侧带区间41的一端41a与外侧带区间42的第一部分43的一端43a相连。另外，该相连部分卷绕于第一移动辊22，从而保持于移动体2。而且，外侧带区间42的第一部分43的上述其他部分自第一移动辊22延伸至第三空间位置P3为止，在第三空间位置P3处固定于框体1。

又，密封带4的内侧带区间41的另一端41b与外侧带区间42的第二部分44的一端44a相连。而且，该相连部分卷绕于第二移动辊23，从而保持于移动体2。另外，外侧带区间42的第二部分44的上述其他部分自第二移动辊23延伸至第四空间位置P4为止，在第四空间位置P4处固定于框体1。

另外，外侧带区间42的第一部分43及第二部分44的上述其他部分的两侧缘以抵接于框体1的正面壁11的形式设置。藉此，能够防止开口10与密封带4之间产生间隙，从而能够有效地隔离框体1的内部空间的环境气体与框体1的外部空间的环境气体。

而且，内侧带区间41的一端41a与另一端41b之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定辊（后述的第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54）。

上述多个固定辊由第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54构成。第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54是沿着开口10的宽度方向延伸的圆柱体，其两端以能够相对于框体1旋转的形式通过未图示的支持体受到支持，且以围绕沿开口10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于框体1。再者，第一固定辊51、第二固定辊52、第一反转辊53及第二反转辊54亦可直接安装固定于框体1。第一固定辊51位于第一空间位置P1。第二固定辊52位于第二空间位置P2。第一反转辊53位于第一固定辊51与背面壁12之间。第二反转辊54位于第二固定辊52与背面壁12之间。第一反转辊53及第二反转辊54构成为在密封带4的延伸方向上的第一固定辊51与第二固定辊52之间使内侧带区间41中途反转的辊。而且，密封带4的内侧带区间41沿着从一端41a朝向另一端41b的方向，依序卷绕于第一固定辊51、第一反转辊53、第二反转辊54及第二固定辊52。

而且，如上所述，驱动机构3位于由密封带4的内侧带区间41包围的内部空间S1，于框体1、以及外侧带区间42与内侧带区间41之间形成有缓冲空间S2。藉此，形成于底壁15的排气口16连接框体的外部空间S3与缓冲空间S2。

又，于本实施形态所例示的形态中，机械臂100还具备一对间隔壁7及排气机构（吸气机构）8。

如图2所示，一对间隔壁7以沿着自内侧带区间41的一端41a向第一空间位置P1延伸的部分的驱动机构3侧、与自内侧带区间41的另一端41b向第二空间位置P2延伸的部分的驱动机构3侧延伸的形式配设。亦即，如图2及图3所示，一对间隔壁7形成为位于内部空间S1与缓冲空间S2的边界的结构，一对间隔壁7配设于密封带4的内侧上部密封区间45及内侧下部密封区间46与驱动机构3之间。又，一对间隔壁7配设为沿着内侧上部密封区间45及内侧下部密封区间46延伸。而且，一对间隔壁7的外侧侧缘部7a安装于一对侧壁13的内表面，且沿着开口10的宽度方向延伸。另外，一对间隔壁7的内侧侧缘部7b形成为自开口10的法线方向观察，位于比内侧带区间41的上述内侧上部密封区间45、内侧下部密封区间46的侧缘靠内侧的位置的结构。而且，移动台21的内在部21a沿着垂直方向，于一对间隔壁7的内侧侧缘部7b之间移动。藉此，能够隔离内部空间S1的环境气体与缓冲空间S2的环境气体，从而能够进一步提高如下效果：防止由位于内部空间S1的驱动机构3产生的微粒向框体1的外部空间流出。

排气机构8是抽吸缓冲空间S2的气体的机构。于本实施形态所例示的形态中，排气机构8例如是由风扇或鼓风机等送风机、排气泵等构成，且具有吸入口81与喷出口82。吸入口81与吸气口16连接。又，喷出口82连接于排气风道110。而且，排气机构8因驱动而通过吸气口16吸入缓冲空间S2的气体，且将该气体自喷出口82排出至排气风道110。藉此，缓冲空间S2的气压相对于内部空间S1的气压而言成为负压，因此，内部空间S1的气体流出至缓冲空间S2。因排气机构8驱动，缓冲空间S2的气压相对于外部空间S3的气压而言亦成为负压，因此，流出至缓冲空间S2的内部空间S1的气体实质上不会经由开口10而流出至外部空间S1，而是会经由排气口16而排出至排气风道110。如此，能够防止内部空间S1的气体流出至外部空间S3，因此，能够更有效果地防止内部空间S1的气体中所含的由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S3而导致制品的成品率下降。

又，如上所述，因排气机构8驱动，缓冲空间S2的气压相对于外部空间S3的气压而言成为负压，因此，与正面壁11抵接的密封带4会稍微向框体1的内部凸起，结果于正面壁11与密封带4之间形成间隙。继而，外部空间S1的气体通过该间隙而流入至缓冲空间S2。然而，如上所述，缓冲空间S2的气压相对于内部空间S1的气压而言成为负压，因此，流入至缓冲空间S2内的外部空间S3的气体实质上不会自缓冲空间S2流入至内部空间S1，而是会经由排气口16而排出至排气风道110。如此，能够有效果地防止外部空间S3的气体流入至内部空间S1，因此，当外部空间S3的气体中含有腐蚀性气体时，能够防止因该气体流入至内部空间S1而导致驱动机构3受到腐蚀性气体腐蚀。

[动作例]

其次，说明机械臂100的动作例。

控制部9使驱动机构3驱动而使移动体2向上方移动后，如图2所示，于内侧带区间41的内侧下部密封区间46中，沿着使该区间靠近第二移动辊23的方向产生张力，密封带4的内侧带区间41以随着移动体2的移动而向自第一移动辊22朝向第二移动辊23的方向（图2中的顺时针方向）移动的形式旋转。继而，密封带4被自外侧带区间42的第一部分43拉入至内侧带区间41的内侧上部密封区间45内，外侧带区间42的第一部分43的一端43a向上方移动。藉此，第一部分43的长度减少。又，密封带4被自内侧带区间41的内侧下部密封区间46送出至外侧带区间42的第二部分44，外侧带区间42的第二部分44的一端44a向上方移动。藉此，第二部分44的长度会增加第一部分43的减少量。因此，即使移动体2移动，外侧带区间42的整个长度及延伸位置亦不会变化，不会因移动体2移动而在开口10的上端10a与移动体2之间及下端10b与移动体2之间产生间隙。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体。尤其，外侧上部密封区间47及内侧上部密封区间45、以及外侧下部密封区间48及内侧下部密封区间46位于外部空间S3与内部空间S1之间，因此，能够有效果地隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体。而且，当外侧带区间42的第一部分43被拉入至内侧带区间41时，密封带4的外侧带区间42的第一部分43的另一端43b保持于第三空间位置P3，因此，密封带4的第一部分43不会相对于框体1的正面壁11产生相对移动，该第一部分43的两侧缘与框体1的正面壁11不会相互摩擦。又，即使当内侧带区间41的内侧下部密封区间46被送出至外侧带区间42的第二部分44时，由于密封带4的外侧带区间42的第二部分44的另一端44b保持于第四空间位置P4，故而密封带4的第二部分44不会相对于框体1的正面壁11产生相对移动，该第二部分44的两侧缘与框体1的正面壁11不会相互摩擦。因此，能够防止因密封带4的外侧带区间42与框体1随着移动体2的移动而相互摩擦所产生的微粒。

如以上的说明所述，对于本发明的机械臂100而言，控制部9使驱动机构3驱动而使移动体2移动后，内侧带区间41随着移动体2的移动而旋转，并且内侧带区间41的第一部分43的一端43a及第二部分44的一端44a向移动体2的移动方向移动。因此，不会因移动体2移动而在开口10的上端10a与移动体2之间及下端10b与移动体2之间产生间隙，能够保持由外侧带区间42及内侧带区间41双重地覆盖形成于框体1的开口10的状态。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体，防止在内部空间S3中由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S1的效果（防尘效果）相较于现有技术有所提高。又，排气机构8抽吸内侧带区间41与外侧带区间42之间的缓冲空间S2的气体，因此，能够有效果地防止框体1的外部空间S3的气体流入至内部空间S1。其结果，当外部空间S1的气体中含有腐蚀性气体时，能够有效果地防止该腐蚀性气体流入至内部空间S1。

（第二实施形态）

图4是表示本发明第二实施形态的机械臂200的结构例的纵剖面图。

如图4所示，机械臂200具备框体201、移动体202、驱动机构3、密封带204、固定于框体1的多个固定辊、机械手6及控制部9。

以下，以上述第一实施形态与本实施形态的相异点为中心进行说明。

驱动机构3、机械手6及控制部9的结构与上述第一实施形态相同，因此省略其说明。

框体201具有排气口216，该排气口216是形成于一方的侧壁13、且以使框体1内部的缓冲空间S2与外部空间S3连通的形式而形成的贯通孔。其他框体201的结构与上述第一实施形态的框体1相同，因此省略其说明。

于本实施形态所例示的形态中，移动体202包含移动台21，但并未设置相当于上述第一实施形态中的第一移动辊22及第二移动辊23的构件。其他移动体202的结构与上述第一实施形态的移动体2相同，因此省略其说明。

于本实施形态所例示的形态中，密封带204具有实质上为不具有伸缩性的带状物的内侧带241及外侧带242。外侧带242以位于内侧带241与框体1的开口10之间的形式配设。内侧带241构成内侧带区间，外侧带242构成外侧带区间。如此，内侧带区间与外侧带区间分别由独立的带构成。

内侧带241的一端241a固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的上表面。又，内侧带241的另一端241b固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的下表面。而且，内侧带241的一端241a与另一端241b之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定辊（后述的第三固定辊251、第四固定辊252、第三反转辊255及第四反转辊256）上。

外侧带242包含第一部分43与第二部分44。第一部分43的一端43a固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的上表面，即固定有内侧带241的一端241a的部分与开口10之间的部分。又，外侧带242的第二部分44的一端44a固定于移动体202的内在部21a的开口10附近的下表面，即固定有内侧带241的另一端241b的部分与开口10之间的部分。

而且，第一部分43的其他部分自移动台21的内在部21a的开口10附近的上表面，沿着开口10延伸至超越上端10a的第三空间位置P3，进而延伸至第三空间位置P3的前端为止。又，第二部分44的其他部分自移动台21的内在部21a的开口10附近的下表面，沿着开口10延伸至超越下端10b的第四空间位置P4，进而延伸至第四空间位置P4的前端为止。另外，第一部分43的另一端与第二部分44的另一端相连。而且，外侧带242的第一部分43的一端43a与第二部分44的一端44a之间的部分卷绕于在框体1上固定的多个固定辊（后述的第五固定辊253、第六固定辊254、第五反转辊257、第六反转辊258）上。

而且，外侧带242以在第一部分43及第二部分44的沿着开口10延伸的部分、与框体1的正面壁11之间形成间隙的形式配设。藉此，能够防止第一部分43及第二部分44的沿着开口10延伸的部分、与框体1的正面壁11相互摩擦而产生微粒，导致制品的成品率下降。

又，机械臂200具备第三固定辊251、第四固定辊252、第五固定辊253、第六固定辊254、第三反转辊255、第四反转辊256、第五反转辊257及第六反转辊258。

第三固定辊251、第四固定辊252、第五固定辊253、第六固定辊254、第三反转辊255、第四反转辊256、第五反转辊257及第六反转辊258是沿着开口10的宽度方向延伸的圆柱体，其两端以能够相对于框体1旋转的形式，经由未图示的支持体而受到支持，且以围绕沿开口10的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于框体1。再者，上述第三至第10固定辊亦可直接安装固定于框体1。

第三固定辊251位于第一空间位置P1。第四固定辊252位于第二空间位置P2。第三反转辊255位于第三固定辊251与背面壁12之间。第四反转辊256位于第四固定辊252与背面壁12之间。第三反转辊255及第四反转辊256构成为在内侧带241的延伸方向上的第一固定辊51与第二固定辊52之间使内侧带241中途反转的辊。

而且，内侧带241沿着自一端241a朝向另一端241b的方向，依序卷绕于第三固定辊251、第三反转辊255、第四反转辊256及第四固定辊252。

第五固定辊253位于框体1内部的开口10的上端10a及第三固定辊251的外侧。该位置构成上述第一实施形态的第三空间位置P3。第六固定辊254位于框体1内部的开口10的下端10b及第四固定辊252的外侧。该位置构成上述第一实施形态的第四空间位置P4。

而且，第五反转辊257位于第五固定辊253与背面壁12之间，即第三反转辊255的外侧。第六反转辊258位于第六固定辊254与背面壁12之间，即第四反转辊256的外侧。第五反转辊257及第六反转辊258构成为在外侧带242的延伸方向上的第五固定辊253与第六固定辊254之间使外侧带242中途反转。

而且，外侧带242沿着自第一部分43的一端43a朝向第二部分44的一端44a的方向，依序卷绕于第五固定辊253、第五反转辊257、第六反转辊258及第六固定辊254。

而且，如上所述，驱动机构3位于由内侧带241包围的内部空间S1，缓冲空间S2位于外侧带242与内侧带241之间。藉此，形成于一方的侧壁13上的排气口16连接外部空间S3与缓冲空间S2。

对于以上述形式构成的机械臂200而言，控制部9使驱动机构3驱动而使移动体202移动后，内侧带241及外侧带242随着移动体202的移动而旋转。因此，不会因移动体202移动而在开口10的上端10a与移动体202之间及下端10b与移动体202之间产生间隙，能够保持由外侧带242与内侧带241双重地覆盖形成于框体1的开口10的状态。藉此，能够隔离外部空间S3的环境气体与内部空间S1的环境气体，防止在内部空间S3中由驱动机构3产生的微粒流出至外部空间S1的効果（防尘效果）相较于现有技术有所提高。

<变形例>

于上述实施形态中，例示了呈一条直线地延伸的框体1的开口10，但不限于此。例如除此以外，开口10亦可弯曲地延伸。

又，于上述实施形态中，例示了以沿着垂直方向延伸的形式形成的开口10，但不限于此，例如除此以外，开口10亦可沿着水平方向延伸。

根据上述说明，对于本领域技术人员而言，本发明的大量改良或其他实施形态显而易见。因此，上述说明应仅被解释为例示，以指点本领域技术人员为目的而提供实施本发明的最佳形态。能够不脱离本发明的精神而实质性地变更其构造及/或功能的细节。

工业应用性：

本发明能够适用于对工件进行处理的设备中的搬送装置。

符号说明：

S1 内部空间

S2 缓冲空间

S3 外部空间

1 框体

2 移动体

3 驱动机构

4 密封带

6 机械手

7 间隔壁

7a 外侧侧缘部

7b 内侧侧缘部

8 排气机构

9 控制部

10 开口

10a 上端

10b 下端

11 正面壁

12 背面壁

13 侧壁

14 上壁

15 底壁

16 吸气口

21 移动台

21a 内在部

21b 外在部

22 第一移动辊

23 第二移动辊

31 滚珠螺杆

32 滑件

33 导轨

34 齿轮

35 伺服马达

41 内侧带区间

41a 一端

41b 另一端

42 外侧带区间

43 第一部分

43a 一端

43b 另一端

44 第二部分

44a 一端

44b 另一端

45 内侧上部密封区间

46 内侧下部密封区间

47 外侧上部密封区间

48 外侧下部密封区间

51 第一固定辊

52 第二固定辊

53 第一反转辊

54 第二反转辊

81 吸入口

82 喷出口

100 机械臂

110 排气风道。

Claims (6)

1.一种机械臂，具备：

形成有沿着某个方向延伸且于该延伸方向上具有第一端及第二端的开口的框体；

经由所述开口而向所述框体的内部及外部延伸，在向该框体的外部延伸的部分设置有机械手的移动体；

容纳于所述框体，且作用于所述移动体的向所述框体内部延伸的内在部而使所述移动体沿着所述开口的延伸方向移动的驱动机构；以及

容纳于所述框体内部的密封带；

所述密封带包含内侧带区间及外侧带区间，自所述开口的法线方向观察，所述内侧带区间及外侧带区间以两侧缘位于所述开口的两侧缘外侧的形式分别沿着该开口的延伸方向延伸；

于所述框体的内部，所述内侧带区间的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第一端的一侧的第一空间位置，自所述第一空间位置起，于中途反转而延伸至较所述移动体的内在部更靠所述第二端的一侧的第二空间位置为止，且自所述第二空间位置沿着所述开口延伸，所述内侧带区间的另一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，并且随着所述移动体的移动而旋转；

所述外侧带区间包含：在所述内侧带区间与所述开口之间的第一部分，该第一部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第一端的第三空间位置为止，且保持于该第三空间位置；以及在所述内侧带区间与所述开口之间的第二部分，该第二部分的一端保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，其他部分自所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，沿着所述开口而延伸至超越所述第二端的第四空间位置为止，且保持于该第四空间位置；并且所述外侧带区间随着所述移动体的移动，所述第一部分的长度及所述第二部分的长度以一方增加另一方的减少量的形式发生变化；

所述驱动机构位于由所述内侧带区间包围的空间。

2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，具备：

于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第一移动辊；

于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分，以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式安装于所述移动体的第二移动辊；

位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第一固定辊；以及

位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第二固定辊；

所述内侧带区间的所述一端与所述外侧带区间的第一部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第一移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分；

所述外侧带区间的第一部分的所述其他部分自所述第一移动辊延伸至所述第三空间位置为止，在该第三空间位置处固定于所述框体；

所述内侧带区间的所述另一端与所述外侧带区间的第二部分的所述一端相连，该相连部分卷绕于所述第二移动辊，从而保持于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；

所述外侧带区间的第二部分的所述其他部分自所述第二移动辊延伸至所述第四空间位置为止，在该第四空间位置处固定于所述框体；

所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第一固定辊与所述第二固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第一固定辊与所述第二固定辊之间中途反转的辊上。

3.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，具备：

位于所述第一空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第三固定辊；

位于所述第二空间位置，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第四固定辊；

位于所述框体内部的所述第一端及所述第三固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第五固定辊；以及

位于所述框体内部的所述第二端及所述第四固定辊的外侧，且以围绕沿所述开口的宽度方向延伸的旋转轴旋转的形式固定于所述框体的第六固定辊；

所述内侧带区间的所述一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述内侧带区间的所述另一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；

所述内侧带区间的所述一端与所述另一端之间的部分卷绕于所述第三固定辊与所述第四固定辊，并且卷绕于使所述内侧带区间在所述第三固定辊与所述第四固定辊之间中途反转的辊上；

所述外侧带区间的所述第一部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第一端的一侧的部分，并且所述外侧带区间的所述第二部分的一端固定于所述移动体的内在部的所述第二端的一侧的部分；

于所述外侧带区间，所述第一部分的所述其他部分延伸至所述第三空间位置的前端为止，并且所述第二部分的其他部分延伸至所述第四空间位置的前端为止，所述第一部分的另一端与所述第二部分的另一端相连，所述第一部分的一端与所述第二部分的一端之间的部分位于所述内侧带区间与所述框体之间，卷绕于所述第五固定辊与所述第六固定辊，并且卷绕于使所述外侧带区间在所述第五固定辊与所述第六固定辊之间中途反转的辊上；

所述内侧带区间及所述外侧带区间分别单独地构成内侧带及外侧带。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的机械臂，其特征在于，

还具备间隔壁，所述间隔壁沿着自所述内侧带区间的所述一端向第一空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧、与自所述内侧带区间的所述另一端向第二空间位置延伸的部分的所述驱动机构的一侧延伸。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的机械臂，其特征在于，

还具备抽吸所述外侧带区间与所述内侧带区间之间的缓冲空间的气体的吸气机构。

6.根据权利要求4所述的机械臂，其特征在于，

还具备抽吸所述外侧带区间与所述内侧带区间之间的缓冲空间的气体的吸气机构。