JP2008168356A - 直線動作装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】シールベルトをループ状にすることなく、また、シールベルトを厳密な長さにする必要がなく、シールベルトの緊張力を抑え直線動作距離を長くすることが可能な直線動作装置を提供すること。
【解決手段】カバー6の一面に移動体1の移動方向に長く開口するスリット7を設け、移動体1をこのスリット7を貫通してカバー6の外に突出するように設けた直線動作装置において、スリット7を端部から被覆するように一端がそれぞれカバー6内部で固定された1対のシールベルト3a、3bと、移動体1の前後に巻芯がシールベルト3a、3bより内側になるように配設され、移動体1の移動によりシールベルト3a、3bの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置4a、4bと、この1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】カバー6の一面に移動体1の移動方向に長く開口するスリット7を設け、移動体1をこのスリット7を貫通してカバー6の外に突出するように設けた直線動作装置において、スリット7を端部から被覆するように一端がそれぞれカバー6内部で固定された1対のシールベルト3a、3bと、移動体1の前後に巻芯がシールベルト3a、3bより内側になるように配設され、移動体1の移動によりシールベルト3a、3bの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置4a、4bと、この1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、クリーンルーム内に配設する直線動作装置に関し、特に、塵埃の拡散を防止することができる直線動作装置に関するものである。
従来の直線動作装置として、例えば、内部を外気から遮断するカバーと、カバー内に設置されたガイド装置と、ガイド装置に沿って移動可能に設けられた移動体と、移動体を移動させる駆動装置とを備え、カバーの一面に移動体の移動方向に長く開口するスリットを設け、移動体を該スリットを貫通してカバー外に突出するように設けるようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
そして、この直線動作装置は、カバーの内部で両端部にそれぞれ配設したプーリを介し、シールベルトの可動ループを形成するとともに、該可動ループの一端を該移動体の一端に、可動ループの他端を移動体の他端にそれぞれ固定し、このループをなして稼働するシールベルトでスリットの開口をシールし、塵埃の飛散を防止するようにしている。
そして、この直線動作装置は、カバーの内部で両端部にそれぞれ配設したプーリを介し、シールベルトの可動ループを形成するとともに、該可動ループの一端を該移動体の一端に、可動ループの他端を移動体の他端にそれぞれ固定し、このループをなして稼働するシールベルトでスリットの開口をシールし、塵埃の飛散を防止するようにしている。
しかし、上記従来の直線動作装置は、シールベルトがループ状であることから、シールベルトの長さを直線動作長さに厳密に合わせなければならず、また、撓み防止のためシールベルトに一定の緊張力をかけなければならないという問題点があった。
さらに、シールベルトが移動体と同速度で移動するため、シールベルトがカバーに接触したときに発塵するなどの問題点があった。
さらに、シールベルトが移動体と同速度で移動するため、シールベルトがカバーに接触したときに発塵するなどの問題点があった。
また、直線動作距離が長くなると、撓み防止に必要な移動方向の緊張力が大きくなり、この緊張力にシールベルトが耐えられなくなるため、直線動作距離には一定の制限があるという問題点もある。
特開平8−290384号公報
本発明は、上記従来の直線動作装置の有する問題点に鑑み、シールベルトをループ状にすることなく、また該シールベルトを厳密な長さにする必要がなく、該シールベルトの緊張力を抑え直線動作距離を長くすることが可能な直線動作装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の直線動作装置は、内部を外気から遮断するカバーと、カバー内に設置されたガイド装置と、ガイド装置に沿って移動可能に設けられた移動体と、移動体を移動させる駆動装置とを備え、カバーの一面に移動体の移動方向に長く開口するスリットを設け、移動体を該スリットを貫通してカバー外に突出するように設けた直線動作装置において、スリットを端部から被覆するように一端がそれぞれカバー内部で固定された1対のシールベルトと、移動体の前後に巻芯がシールベルトより内側になるように配設され、移動体の移動によりシールベルトの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置と、該1対の自動巻取装置の間に架設され、両端がシールベルトの裏面に重なるように各自動巻取装置に巻回された塵埃伝搬防止ベルトとを備えたことを特徴とする。
この場合において、シールベルトをカバーの内側から支持するシールベルト支持装置をガイド装置に沿って移動可能に設け、隣り合うシールベルト支持装置同士を紐状体で連鎖状に接続するとともに、端部側のシールベルト支持装置を紐状体でガイド装置の端部と接続し、移動体側のシールベルト支持装置を紐状体で移動体と接続することができる。
また、カバー内の気圧を外部より低く保つクリーンファン等のフィルタ付排気装置を設けることができる。
本発明の直線動作装置によれば、スリットを端部から被覆するように一端がそれぞれカバー内部で固定された1対のシールベルトと、移動体の前後に巻芯がシールベルトより内側になるように配設され、移動体の移動によりシールベルトの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置とを備えることから、シールベルトをループ状に形成することがなく、これにより、シールベルトを移動体の直線動作長さに厳密に合わせたり微妙に緊張力を調整したりする必要をなくすとともに、移動体の直線動作距離が長くなってもシールベルトの緊張力は余り変わらないことから、移動体の直線動作距離を従来より長くすることができ、さらに、シールベルトが移動体と一緒に移動しないことから、シールベルトがカバーを擦るように協働することがなく、これにより、従来のようなシールベルトとカバーの滑り摩擦による発塵を防止することができる。
また、ガイド装置や駆動装置によりカバー内部で塵埃が発生し、この塵埃がシールベルトの裏面に付着するが、本発明の直線動作装置では、前記1対の自動巻取装置の間に架設され、両端がシールベルトの裏面に重なるように各自動巻取装置に巻回された塵埃伝搬防止ベルトを備えることから、シールベルトの巻き取り時にその表面と裏面とが接触することを塵埃伝搬防止ベルトで防止することができ、これにより、塵埃のシールベルト表面への伝搬を防ぎ、塵埃がシールベルト表面からカバーの外に出ることを防止することができる。
また、ガイド装置や駆動装置によりカバー内部で塵埃が発生し、この塵埃がシールベルトの裏面に付着するが、本発明の直線動作装置では、前記1対の自動巻取装置の間に架設され、両端がシールベルトの裏面に重なるように各自動巻取装置に巻回された塵埃伝搬防止ベルトを備えることから、シールベルトの巻き取り時にその表面と裏面とが接触することを塵埃伝搬防止ベルトで防止することができ、これにより、塵埃のシールベルト表面への伝搬を防ぎ、塵埃がシールベルト表面からカバーの外に出ることを防止することができる。
この場合、シールベルトをカバーの内側から支持するシールベルト支持装置をガイド装置に沿って移動可能に設け、隣り合うシールベルト支持装置同士を紐状体で連鎖状に接続するとともに、端部側のシールベルト支持装置を紐状体でガイド装置の端部と接続し、移動体側のシールベルト支持装置を紐状体で移動体と接続することにより、水平方向の直線動作の場合にシールベルト支持装置でシールベルトを支え、シールベルトのテンションを抑えて直線動作距離を長くするとともに、移動体が移動するときは、前のシールベルト支持装置を移動体で押すことにより移動させ、後のシールベルト支持装置は紐状体で引くことにより移動させ、これにより、シールベルト支持装置をシールベルトを略均等に支持できる位置に移動させることができる。
また、カバー内の気圧を外部より低く保つクリーンファン等のフィルタ付排気装置を設けることにより、スリットとシールベルトとの間からのカバー内空気の漏れを防止することができる。
以下、本発明の直線動作装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図1〜図7に、本発明の直線動作装置をクリーンルーム内用スタッカークレーンの昇降部に適用した第1実施例を示す。
この直線動作装置は、内部を外気から遮断するカバー6と、カバー6内に設置されたガイド装置2と、ガイド装置2に沿って移動可能に設けられた移動体1と、移動体1を移動させる駆動装置とを備え、カバー6の一面に移動体1の移動方向に長く開口するスリット7を設け、移動体1を該スリット7を貫通してカバー6の外に突出するように設けている。
そして、この直線動作装置は、スリット7を端部から被覆するように一端がそれぞれカバー6内部で固定された1対のシールベルト3a、3bと、移動体1の前後に巻芯がシールベルト3a、3bより内側になるように配設され、移動体1の移動によりシールベルト3a、3bの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置4a、4bと、該1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5とを備えている。
この直線動作装置は、内部を外気から遮断するカバー6と、カバー6内に設置されたガイド装置2と、ガイド装置2に沿って移動可能に設けられた移動体1と、移動体1を移動させる駆動装置とを備え、カバー6の一面に移動体1の移動方向に長く開口するスリット7を設け、移動体1を該スリット7を貫通してカバー6の外に突出するように設けている。
そして、この直線動作装置は、スリット7を端部から被覆するように一端がそれぞれカバー6内部で固定された1対のシールベルト3a、3bと、移動体1の前後に巻芯がシールベルト3a、3bより内側になるように配設され、移動体1の移動によりシールベルト3a、3bの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置4a、4bと、該1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5とを備えている。
移動体1は、ガイド装置2に沿って昇降するように、昇降用ワイヤーロープ10で昇降用プーリ11を介して昇降用モータ9に接続されており、昇降用モータ9の回転で直線駆動する。
また、カバー6の一面には移動方向にスリット7が設けられており、移動体1はスリット7を貫通して移載装置(図示省略)に接続され、その昇降を行う。
また、カバー6の一面には移動方向にスリット7が設けられており、移動体1はスリット7を貫通して移載装置(図示省略)に接続され、その昇降を行う。
1対のシールベルト3a、3bは、移動体1の上側と下側とにそれぞれ配設されており、上側のシールベルト3aは、上部がガイド装置2の上部に固定されるとともに、下部側が、移動体上部の自動巻取装置4aに塵埃伝搬防止ベルト5の上部側と共に巻き取られている。
また、下側のシールベルト3bは、下部がガイド装置2の下部に固定されるとともに、上部側が、移動体下部の自動巻取装置4bに塵埃伝搬防止ベルト5の下部側と共に巻き取られている。
また、下側のシールベルト3bは、下部がガイド装置2の下部に固定されるとともに、上部側が、移動体下部の自動巻取装置4bに塵埃伝搬防止ベルト5の下部側と共に巻き取られている。
塵埃伝搬防止ベルト5は、菱形に配設した4本のローラ16を介して、上側の自動巻取装置4aから下側の自動巻取装置4bに巻き取られている。
このとき、塵埃伝搬防止ベルト5は、上側のシールベルト3aの塵埃付着面(ガイド装置側の面)に触れる面と、下側のシールベルト3bの塵埃付着面(ガイド装置側の面)に触れる面とが同一面となるようにローラ16に架設されている。
このとき、塵埃伝搬防止ベルト5は、上側のシールベルト3aの塵埃付着面(ガイド装置側の面)に触れる面と、下側のシールベルト3bの塵埃付着面(ガイド装置側の面)に触れる面とが同一面となるようにローラ16に架設されている。
自動巻取装置4a、4bは、カバー6内部で移動体1の上下にそれぞれ配設されており、巻回するシールベルト3a、3bより巻芯が内側になるように各々設置されている。
自動巻取装置4a、4bの巻芯は、シールベルト3a、3bの巻き取り方向にばねによって付勢されており、移動体1の移動により、自動的にシールベルト3a、3bの他端側を巻き取ったり、巻き出したりすることができる。
自動巻取装置4a、4bの巻芯は、シールベルト3a、3bの巻き取り方向にばねによって付勢されており、移動体1の移動により、自動的にシールベルト3a、3bの他端側を巻き取ったり、巻き出したりすることができる。
一方、このクリーンルーム内用スタッカークレーンは、例えば、図1に示すように、液晶製造工場などの床面に配設した走行レール13に沿って走行可能とし、かつ速度及び停止位置を制御できるようにした走行台車14の上部に、所要長さのメインマスト15、このメインマストは特に限定されるものではないが、例えば、8〜20m程度の長さを有する柱形等の高いメインマスト15を取り付け、このメインマスト15に移動体1を前記の方法で取り付け昇降装置となし、また、移載装置(図示省略)は移動体1に接続し移動体1と共に昇降する構成としている。
また、スタッカークレーンは、走行台車による走行移動と、昇降装置による昇降移動によって、目的の棚前で停止し、移載装置によって搬送物を受け取る。また、移載装置に搬送物を積載した状態で走行及び昇降にて搬送先の棚前で停止し、移載装置にて搬出することによって目的物の搬送を行う装置である。
また、スタッカークレーンは、走行台車による走行移動と、昇降装置による昇降移動によって、目的の棚前で停止し、移載装置によって搬送物を受け取る。また、移載装置に搬送物を積載した状態で走行及び昇降にて搬送先の棚前で停止し、移載装置にて搬出することによって目的物の搬送を行う装置である。
次に、同実施例の直線動作装置の動作について説明する。
移動体1の昇降は、昇降用モータ9の回転により昇降用ワイヤーロープ10を巻き取り又は巻き出すことにより行う。
まず、上昇の場合であるが、昇降用モータ9の動作により昇降用ワイヤーロープ10が巻き取られ、この昇降用ワイヤーロープ10に接続している移動体1を上昇させる。
また、移動体1の上昇に合わせて、上昇距離分だけ自動巻取装置4aによりシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の上部側とを巻き取り、同様に上昇距離分だけ自動巻取装置4bによりシールベルト3bと塵埃伝搬防止ベルト5の下部側とを巻き出す。
また、下降の場合は上昇の逆動作であり、移動体1の下降に合わせて、下降距離分だけ自動巻取装置4bによりシールベルト3bと塵埃伝搬防止ベルト5の下部側とを巻き取り、同様に下降距離分だけ自動巻取装置4aによりシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の上部側を巻き出す。
移動体1の昇降は、昇降用モータ9の回転により昇降用ワイヤーロープ10を巻き取り又は巻き出すことにより行う。
まず、上昇の場合であるが、昇降用モータ9の動作により昇降用ワイヤーロープ10が巻き取られ、この昇降用ワイヤーロープ10に接続している移動体1を上昇させる。
また、移動体1の上昇に合わせて、上昇距離分だけ自動巻取装置4aによりシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の上部側とを巻き取り、同様に上昇距離分だけ自動巻取装置4bによりシールベルト3bと塵埃伝搬防止ベルト5の下部側とを巻き出す。
また、下降の場合は上昇の逆動作であり、移動体1の下降に合わせて、下降距離分だけ自動巻取装置4bによりシールベルト3bと塵埃伝搬防止ベルト5の下部側とを巻き取り、同様に下降距離分だけ自動巻取装置4aによりシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の上部側を巻き出す。
図6及び図7を参照して、塵埃18が、シールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5で挟まれ、自動巻取装置4aに巻き取られる動作を説明する。
図7(a)において、シールベルト3aに塵埃18が付着した状態で、移動体1が図の左側へ移動する場合、シールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5とが、移動体1の移動長さと同じ長さだけ、塵埃18をシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の間に挟み込んだ状態で自動巻取装置4aに巻き取られる(図7(b)(c)参照)。
図7(a)において、シールベルト3aに塵埃18が付着した状態で、移動体1が図の左側へ移動する場合、シールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5とが、移動体1の移動長さと同じ長さだけ、塵埃18をシールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5の間に挟み込んだ状態で自動巻取装置4aに巻き取られる(図7(b)(c)参照)。
また、移動体1が図7(c)の状態から右側へ移動する場合においては、シールベルト3aと塵埃伝搬防止ベルト5とで挟み込まれた塵埃18が図7(d)のように塵埃有り側に出てくることから、図7(d)に示すクリーン側に塵埃を移送しない。
塵埃伝搬防止ベルト5なしでシールベルト3aのみを巻き取ると、シールベルト3aの塵埃有り側に付着した塵埃は、巻き取りでシールベルト3aの表面と裏面の接触が起こることにより、シールベルト3aのクリーン側面に付着しクリーン側へ塵埃の移動が発生する。
なお、上記はシールベルト3a側の動作について説明したが、シールベルト3b側も同様の動作を有しており、シールベルト3bの裏面から表面への塵埃の移動を防ぎ、カバー6の外部に塵埃を出さないようにすることができる。
なお、上記はシールベルト3a側の動作について説明したが、シールベルト3b側も同様の動作を有しており、シールベルト3bの裏面から表面への塵埃の移動を防ぎ、カバー6の外部に塵埃を出さないようにすることができる。
一方、第1実施例においては、スタッカークレーンの昇降での適用例を説明したが、水平方向の直線動作の場合においては、直線動作距離が長くなるとシールベルト3a、3bが弛んでくる。
そこで、図8〜図9を参照して、水平方向の直線動作に適用した場合の動作について説明する。
この直線動作装置は、ローラ等を介してシールベルト3a、3bを下から支持する複数のシールベルト支持装置8を、横設したガイド装置2に沿って移動可能に設けている。
シールベルト支持装置8は、複数のものが移動体1を中心として、移動体1の移動方向前後に対象に配設されている。
そこで、図8〜図9を参照して、水平方向の直線動作に適用した場合の動作について説明する。
この直線動作装置は、ローラ等を介してシールベルト3a、3bを下から支持する複数のシールベルト支持装置8を、横設したガイド装置2に沿って移動可能に設けている。
シールベルト支持装置8は、複数のものが移動体1を中心として、移動体1の移動方向前後に対象に配設されている。
シールベルト支持装置8は、隣り合うシールベルト支持装置8同士がワイヤー17で連鎖状に接続されるとともに、端部側のシールベルト支持装置8がワイヤー17でガイド装置2の端部と接続され、移動体側のシールベルト支持装置8がワイヤー17で移動体1と接続されている。
なお、シールベルト支持装置8は、直線動作距離が短い場合は、移動体1の前後に1台ずつ配設することもできる。
なお、シールベルト支持装置8は、直線動作距離が短い場合は、移動体1の前後に1台ずつ配設することもできる。
ここで、基本的な動作は、第1実施例と同様であるので、シールベルト支持装置8の動作について述べる。
移動体1の移動により、前方のシールベルト支持装置8は、移動体1と接触して押されながら移動する。
また、後方のシールベルト支持装置8は、移動体1から遠ざかるが、ワイヤー17の長さによって一定距離で制限を受け、移動体1とシールベルト支持装置8の距離は一定距離で保たれ、次のシールベルト支持装置8を引き寄せる動作となる。
この動作を繰り返すことで、シールベルト支持装置8の間隔を一定距離以下とでき、シールベルト3a、3bの弛みを抑え、スリット7とシールベルト3a、3bによってできる隙間を少なくし、カバー6の外部に塵埃を出さないようにすることができる。
移動体1の移動により、前方のシールベルト支持装置8は、移動体1と接触して押されながら移動する。
また、後方のシールベルト支持装置8は、移動体1から遠ざかるが、ワイヤー17の長さによって一定距離で制限を受け、移動体1とシールベルト支持装置8の距離は一定距離で保たれ、次のシールベルト支持装置8を引き寄せる動作となる。
この動作を繰り返すことで、シールベルト支持装置8の間隔を一定距離以下とでき、シールベルト3a、3bの弛みを抑え、スリット7とシールベルト3a、3bによってできる隙間を少なくし、カバー6の外部に塵埃を出さないようにすることができる。
かくして、本実施例の直線動作装置は、スリット7を端部から被覆するように一端がそれぞれカバー6内部で固定された1対のシールベルト3a、3bと、移動体1の前後に巻芯がシールベルト3a、3bより内側になるように配設され、移動体1の移動によりシールベルト3a、3bの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置4a、4bとを備えることから、シールベルトをループ状に形成することがなく、これにより、シールベルトを移動体1の直線動作長さに厳密に合わせたり微妙に緊張力を調整したりする必要をなくすとともに、移動体1の直線動作距離が長くなってもシールベルトの緊張力は余り変わらないことから、移動体1の直線動作距離を従来より長くすることができ、さらに、シールベルト3a、3bが移動体1と一緒に移動しないことから、シールベルト3a、3bがカバー6を擦るように協働することがなく、これにより、従来のようなシールベルトとカバーの滑り摩擦による発塵を防止することができる。
また、ガイド装置2や駆動装置によりカバー6内部で塵埃が発生し、この塵埃がシールベルト3a、3bの裏面に付着するが、本発明の直線動作装置では、前記1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5を備えることから、シールベルト3a、3bの巻き取り時にその表面と裏面とが接触することを塵埃伝搬防止ベルト5で防止することができ、これにより、塵埃のシールベルト3a、3b表面への伝搬を防ぎ、塵埃がシールベルト3a、3bの表面からカバー6の外に出ることを防止することができる。
また、ガイド装置2や駆動装置によりカバー6内部で塵埃が発生し、この塵埃がシールベルト3a、3bの裏面に付着するが、本発明の直線動作装置では、前記1対の自動巻取装置4a、4bの間に架設され、両端がシールベルト3a、3bの裏面に重なるように各自動巻取装置4a、4bに巻回された塵埃伝搬防止ベルト5を備えることから、シールベルト3a、3bの巻き取り時にその表面と裏面とが接触することを塵埃伝搬防止ベルト5で防止することができ、これにより、塵埃のシールベルト3a、3b表面への伝搬を防ぎ、塵埃がシールベルト3a、3bの表面からカバー6の外に出ることを防止することができる。
この場合、シールベルト3a、3bをカバー6の内側から支持するシールベルト支持装置8をガイド装置2に沿って移動可能に設け、隣り合うシールベルト支持装置8同士を紐状体で連鎖状に接続するとともに、端部側のシールベルト支持装置8を紐状体でガイド装置2の端部と接続し、移動体側のシールベルト支持装置8を紐状体で移動体1と接続することにより、水平方向の直線動作の場合にシールベルト支持装置8でシールベルト3a、3bを支え、シールベルト3a、3bのテンションを抑えて直線動作距離を長くするとともに、移動体1が移動するときは、前のシールベルト支持装置8を移動体1で押すことにより移動させ、後のシールベルト支持装置8は紐状体で引くことにより移動させ、これにより、シールベルト支持装置8をシールベルト3a、3bを略均等に支持できる位置に移動させることができる。
また、カバー6内の気圧を外部より低く保つクリーンファン等のフィルタ付排気装置を設けることにより、スリット7とシールベルト3a、3bとの間からのカバー6内空気の漏れを防止することができる。
以上、本発明の直線動作装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
本発明の直線動作装置は、シールベルトとカバーの滑り摩擦による発塵を防止するとともに、シールベルトの巻き取り時にその表面と裏面とが接触することを防止することにより、塵埃のシールベルト表面への伝搬を防ぎ、シールベルト表面からカバーの外に移動することを防止するという特性を有していることから、例えば、半導体工場等のクリーンルーム内で稼働する搬送装置の直線動作で、直動ベアリングやガイドローラ、タイヤ等を使用した機構に好適に用いることができる。
1 移動体
2 ガイド装置
3a シールベルト
3b シールベルト
4a 自動巻取装置
4b 自動巻取装置
5 塵埃伝搬防止ベルト
6 カバー
7 スリット
8 シールベルト支持装置
9 昇降用モータ
10 昇降用ワイヤーロープ
11 昇降用プーリ
12 走行車輪
13 走行レール
14 走行台車
15 メインマスト
16 ローラ
17 ワイヤー
18 塵埃
2 ガイド装置
3a シールベルト
3b シールベルト
4a 自動巻取装置
4b 自動巻取装置
5 塵埃伝搬防止ベルト
6 カバー
7 スリット
8 シールベルト支持装置
9 昇降用モータ
10 昇降用ワイヤーロープ
11 昇降用プーリ
12 走行車輪
13 走行レール
14 走行台車
15 メインマスト
16 ローラ
17 ワイヤー
18 塵埃
Claims (3)
- 内部を外気から遮断するカバーと、カバー内に設置されたガイド装置と、ガイド装置に沿って移動可能に設けられた移動体と、移動体を移動させる駆動装置とを備え、カバーの一面に移動体の移動方向に長く開口するスリットを設け、移動体を該スリットを貫通してカバー外に突出するように設けた直線動作装置において、スリットを端部から被覆するように一端がそれぞれカバー内部で固定された1対のシールベルトと、移動体の前後に巻芯がシールベルトより内側になるように配設され、移動体の移動によりシールベルトの他端側を巻き取り又は巻き出す1対の自動巻取装置と、該1対の自動巻取装置の間に架設され、両端がシールベルトの裏面に重なるように各自動巻取装置に巻回された塵埃伝搬防止ベルトとを備えたことを特徴とする直線動作装置。
- シールベルトをカバーの内側から支持するシールベルト支持装置をガイド装置に沿って移動可能に設け、隣り合うシールベルト支持装置同士を紐状体で連鎖状に接続するとともに、端部側のシールベルト支持装置を紐状体でガイド装置の端部と接続し、移動体側のシールベルト支持装置を紐状体で移動体と接続したことを特徴とする請求項1記載の直線動作装置。
- カバー内の気圧を外部より低く保つクリーンファン等のフィルタ付排気装置を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の直線動作装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007000958A JP2008168356A (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 直線動作装置 |
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JP2007000958A JP2008168356A (ja) | 2007-01-09 | 2007-01-09 | 直線動作装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2015033567A1 (ja) * | 2013-09-09 | 2015-03-12 | 川崎重工業株式会社 | ロボット |
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2007
- 2007-01-09 JP JP2007000958A patent/JP2008168356A/ja active Pending
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