JP4089009B2 - 搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、搬送装置とりわけ工場のクリーンルーム等で使用される天井配置型の搬送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
工場等で使用される搬送装置の中には、例えば図6,7に示す構造のものがある。この搬送装置は、工場や倉庫の作業空間の上方、例えば天井付近の搬送経路に沿ってレール1が配置され、このレール1に図示しない駆動モータを介して移動する走行装置2が設けられたものである。
【0003】
前記走行装置2には、巻き取り装置3が設けられ、この巻き取り装置3には4つの巻き取りドラム4が図示しない駆動装置を介して回動可能に設けられている。各巻き取りドラム4の周壁にはらせん状の溝5が設けられ、各溝5にはこの溝5に案内されるワイヤ6が巻き取り可能に装着されている。そして、巻き取りドラム4から吊下したワイヤ6の巻き出し端にワーク7を把持開放するチャック8が吊持されている。また、前記巻き取りドラム4に代えて、図8に示すように、ベルト9を案内板10間で巻き出し、巻き取るようにした巻き取りドラム11を用いるものもある。
【0004】
ところで、前記チャック8には開閉モータ、把持センサ等の電動部品が付設されているが、これら電動部品に対して給電を行うには、ワイヤ6やベルト9自体あるいは別途設けられた導電線を用い、前記巻き取りドラム4,11を経由してこれらの部品を電源と接続する必要がある。ところが、前記巻き取りドラム4,11は回動する部材である関係上そのまま配索すると導電線がねじれてしまうため、通常は図7,8に示すように巻き取りドラム4,11にスリップリング12を設けて、このスリップリング12を介して導電線12aを電源に接続している。したがって、駆動装置を介して各巻き取りドラム4,11が回動してワイヤ6、ベルト9が巻き取りドラム4,11の溝5や案内板10に案内されながら巻き取られることにより、ワーク7が昇降可能に支持され、導電線12a、スリップリング12を介して給電を行うことでチャック8を開閉してワーク7を保持開放して、前記走行装置2によってワーク7が所定の作業ステージに搬送されるのである(この類似構造は、例えば特開平8−295484号公報に示されている)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の搬送装置にあっては、その設置位置が作業空間の上方であるため配置スペースを節約でき、作業ステージの配置に悪影響を与えないという点で有利であるが、例えばクリーンルーム等、ダストを嫌うような製造環境(半導体製造工場のような製造環境)では使用が困難であるという問題がある。
【0006】
すなわち、前記巻き取りドラム4においてワイヤ6自体を導電線とした場合を例にして説明すると、回動する巻き取りドラム4のワイヤ6の巻き取り端(図示せず)とスリップリング12との接続点が動的接点となるため、不可避的にこの接点においてスパークが発生し、これが酸化したスパークダストとなって下方に落下して製品品質を低下させかねないからである。
【0007】
また、前記スパークダストを周囲に飛散させないように、巻き取り装置3全体をケースで覆うことも考えられるが、図7,8に示すように前記ワイヤ6やベルト9の下方にはこれらを挿通する長孔13を設ける必要があるため、この長孔13からのダスト飛散は避けられないものとなっている。
【0008】
そこで、この発明はスリップリング等の動的接点を必要とせず、給電部分からのダスト発生をなくすことができ、クリーンルーム等の高い空気清浄度が要求される工場等でも使用できる天井配置型の搬送装置を提供するものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、軌道に沿って移動する走行装置と、該走行装置に支持されていて導電材からなるひも状部材が巻き取られる巻き取り装置と、巻き取り装置に水平かつ同軸上に設けられていて前記ひも状部材が連続的に巻き付けられる複数の巻き取りドラムとから構成されてなり、前記ひも状部材の一端が前記走行装置に連結されるとともに、他端がワーク保持手段に連結され、前記巻き取りドラムが、ひも状部材の他端側に設けられたメインドラム部と、ひも状部材の一端側に設けられたメインドラム部よりも小径のサブドラム部とを備えるとともに、前記走行装置に対して上下動自在に支持され、前記巻き取りドラムの外周には、前記ひも状部材を所定方向に巻き取るための溝が形成され、ひも状部材を案内するメインドラム部側のらせん状の溝と、サブドラム部側のらせん状の溝が互いに同じ向きに形成されていることを特徴とする。
【0010】
請求項2記載の発明は、軌道に沿って移動する走行装置と、該走行装置に支持されていて導電材からなるひも状部材が巻き取られる巻き取り装置と、巻き取り装置に水平かつ同軸上に設けられていて前記ひも状部材が連続的に巻き付けられる複数の巻き取りドラムとから構成されてなり、前記ひも状部材の一端が前記走行装置に連結されるとともに、他端がワーク保持手段に連結され、前記巻き取りドラムが、ひも状部材の他端側に設けられたメインドラム部と、ひも状部材の一端側に設けられたメインドラム部よりも小径のサブドラム部とを備えるとともに、前記走行装置に対して上下動自在に支持され、前記巻き取りドラムの外周には、前記ひも状部材を所定方向に巻き取るための溝が形成され、メインドラム部側のらせん状の溝と、サブドラム部側のらせん状の溝が互いに逆向きに形成され、前記ひも状部材が前記巻き取りドラムのメインドラム部とサブドラム部とで互いに異なる巻き方向に巻き付けられていることを特徴とする。
【0013】
請求項1に記載された発明によれば、駆動装置によって巻き取りドラムが回動することで、巻き取りドラムの回転により、巻き取り装置全体が昇降するとともに、ワーク保持手段も昇降する。また、これに伴い、巻き方向が互いに異なる場合にはドラム径の差に対応して生じる巻き取りあるいは巻き出し量の差によりワークが吊り上げられあるいは下げられる。
また、巻き取りドラムに溝が形成されているから、該溝に沿ってひも状部材を円滑に巻き取りあるいは巻き出すことができる。また、巻き取りドラムの径の差に対応するだけ吊り上げが行われることになるから、巻き取りドラムの駆動装置に求められるトルクを小さくすることができる。
【0014】
請求項2に記載された発明によれば、巻き取りドラムの回転に伴い、二つの巻き取りドラムへひも状部材が巻き取られ、あるいは巻き出されるから、ワーク保持手段の上昇に伴って巻き取り装置自体も上昇し、また、逆に、ワーク保持手段の下降に伴って巻き取り装置自体も下降する。
また、巻き取りドラムの溝に沿ってひも状部材を円滑に巻き取りあるいは巻き出すことができる。また、ひも状部材の一端側の巻き取りドラムが小径であるから、巻き取りドラムの回転にともなう装置自体の昇降量が小さくなり、したがって、巻き取りドラムを案内とするために必要とされる案内レール等を最小限にすることができる。
【0017】
【発明の実施形態】
以下、この発明の実施形態を図面と共に説明する。
図5において14は搬送装置を示し、この搬送装置14は半導体製造工場等のクリーンルーム内の天井付近に配置された軌道としてのチャンネル状のレール15に沿って移動する走行装置16を備えている。走行装置16の駆動形式にはローラ駆動装置、リニアインダクションモータ等、種々の態様が採用可能である。前記走行装置16にひも状部材としてのワイヤ17の巻き取り装置18が取り付けられている。巻き取り装置18には、4つの巻き取りドラム19がその回動軸20を水平にした状態で配置されている。そして、各巻き取りドラム19からワイヤ17が巻き出され、このワイヤ17が巻き取り装置18のケース21の底板22に形成された長孔23から吊下され、このワイヤ17の巻き出し端T1にワーク24を保持開放するワーク保持部としてのチャック25が吊持されている。
【0018】
次に、巻き取りドラム19を説明する。巻き取りドラム19は、図1,2に示すように、同軸上に配置された巻き取り直径の大きいメインドラム部19aと、巻き取り直径の小さいサブドラム部19bとを備えている。これらメインドラム部19aとサブドラム部19bの回動軸20のメインドラム部19a側の端部は、軸受け26aを介して支持ブラケット27に回動可能に支持され、回動軸20のサブドラム部19b側の端部は軸受け26bを介して支持ブラケット28に回動可能に支持されている。また、回動軸20のメインドラム部19a側の端部は支持ブラケット27を貫通して駆動装置としてのモータ29にジョイント30を介して連結されている。
【0019】
そして、モータ29にはブラケット31が設けられ、このブラケット31と前記支持ブラケット27と前記支持ブラケット28とに、各々スライダー32が設けられ、各スライダー32が巻き取り装置18のケース21に上下方向に配設されたガイドレール33,33,33に摺動可能に支持されている。ここで、前記ブラケット31と前記支持ブラケット27のスライダー32,32が支持されたガイドレール33は互いに摺動面を対向した状態で配置されている。したがって、巻き取りドラム19はモータ29と一体となって、ガイドレール33,33,33に沿って昇降可能に支持されることとなる。
【0020】
このように構成された巻き取りドラム19の外周面に、すなわちメインドラム部19aとサブドラム部19bと渡ってらせん状の溝34が形成されている。そして、この溝34に案内された状態で一本のワイヤ17がメインドラム部19aからサブドラム部19bに渡って途切れることなく巻き付けられ、メインドラム部19a側のワイヤ17の巻き出し端T1は、巻き取り装置18のケース21の底板22の長孔23から吊下されてチャック25に固定され、サブドラム部19b側のワイヤ17の巻き取り端T2は上方に位置するケース21の上部としての上壁35に固定されている。ここで、メインドラム部19aとサブドラム部19bとの移行部分においては図示しない止め具によってワイヤ17が固定され、メインドラム部19aからサブドラム部19bに渡る部分でワイヤ17がほぐれないようになっている。
【0021】
そして、前記ワイヤ17はそのまま導電線として機能しており、ワイヤ17の巻き取り端T2には電源Vが電気的に接続され、ワイヤ17の巻き出し端T1にはチャック25の開閉モータや把持センサ(共に図示せず)等が電気的に接続されている。
【0022】
前記実施形態によれば、ワーク24を上昇させる場合には、モータ29によって巻き取りドラム19が回動し、巻き取りドラム19のメインドラム部19aの溝34にワイヤ17の巻き出し端T1側が巻き取られると、サブドラム部19bでは溝34からワイヤ17の巻き取り端T2側は巻き出され、したがって、メインドラム部19a側のワイヤ17の巻き取り長さとサブドラム部19b側のワイヤ17の巻き出し長さの差分によって、チャック25が巻き取りドラム19に対して上昇する。このとき、ワイヤ17の巻き取り端T2側は巻き取りドラム19のサブドラム部19b側から巻き出されため、巻き取りドラム19自体は下降する。したがって、ワーク24は、下降しつつワイヤ17を巻き取る巻き取りドラム19によって上昇する(図4に示す)。
【0023】
逆に、ワーク24を下降させる場合には、モータ29によって巻き取りドラム19が回動し、巻き取りドラム19のメインドラム部19aの溝34からワイヤ17の巻き出し端T1側が巻き出されると、サブドラム部19bでは溝34にワイヤ17の巻き取り端T2側が巻き取られ、したがって、メインドラム部19a側のワイヤ17の巻き出し長さとサブドラム部19b側のワイヤ17の巻き取り長さの差分によって、チャック25が巻き取りドラム19に対して下降する。このとき、ワイヤ17の巻き取り端T2側は巻き取りドラム19のサブドラム部19b側に巻き取られるため、巻き取りドラム19自体は上昇する。したがって、ワーク24は、上昇しつつワイヤ17を巻き出す巻き取りドラム19によって下降する(図3に示す)
【0024】
ここで、前記巻き取りドラム19はスライダー32を介してガイドレール33に沿ってスムーズに昇降するため、ワーク24の昇降に悪影響を与えることはない。
【0025】
このように巻き取りドラム19が昇降している間、ワイヤ17は巻き取りドラム19のメインドラム部19aではその巻き出し端T1側が、サブドラム部19b側ではその巻き取り端T2側が、各々巻き取り、巻き出されることとなるが、あたかも動滑車のように機能する巻き取りドラム19によってワイヤ17には何らねじれ方向の力が作用しない。したがって、電源Vからチャック25への給電は支障なくなされ、スリップリングを用いた場合のようにスパークが原因となってダストが発生するようなことはない。よって、発生ダストの落下による製品品質の低下を防止できる。尚、スリップリングを用いない反面、巻き取りドラム19を摺動可能にガイドするガイドレール33が必要となるが、このガイドレール33とスライダー32との摺動速度は、スリップリングを用いた場合のスリップリングの接点における摺動速度に比べ極めて小さいため、ここからダストが発生することはない。
【0026】
また、巻き取りドラム19を直径の大きなメインドラム部19aと直径の小さなサブドラム部19bとに分けているため両者の直径差を適宜設定することにより、ワーク24の昇降ストロークは勿論のこと、巻き取りドラム19の昇降ストロークをも調整でき、したがって、巻取り装置18のケース21の上下方向のスペースの制約やワーク24の昇降ストロークの制約があってもこれに対処できる設計自由度の高さが得られる。
【0027】
尚、この発明は前記実施形態に限定されるものでなく、例えば、巻き取りドラム19に設ける溝34をメインドラム部19aとサブドラム部19bとで逆向きに形成し、ワーク24が上昇するときには巻き取りドラム19も上昇し、ワーク24が下降するときには巻き取りドラム19も下降するようにして、効率よくワーク24を昇降させつつも、メインドラム部19aよりも直径の小さなサブドラム部19bによって巻き取りドラム19の昇降ストロークを押さえるようにしてもよい。また、このように巻き取りドラム19に設ける溝34をメインドラム部19aとサブドラム部19bとで逆向きに形成した場合には、メインドラム部19aとサブドラム部19bとに直径差を設けないようにしてもワーク24を支障なく昇降させることができるのは上述実施形態と同様である。
【0028】
なお、メインドラムとサブドラムとをいかなる外径とするか、および、巻き方向をいかに設定するかの組み合わせは前記一実施形態に限定されるものではない。これらの組み合わせとこれに基づく効果とを整理すると下記の通りである。
すなわち、メインドラムの径をD、サブドラムの径をd、ドラムの回転数をnとすれば、
互いに巻き方向が異なる場合、昇降量はnπ(D+d)となり、dを小さくすればする程ガイドレールが短くてすむという効果がある。
巻き方向が等しい場合、D=dでないことを条件として吊り上げが可能であり、昇降量はnπ(D−d)となる。
【0029】
【発明の効果】
請求項1に記載された発明によれば、駆動装置によって巻き取りドラムが回動することで、巻き取りドラムの回転により、巻き取り装置全体が昇降するとともに、ワーク保持手段も昇降する。また、これに伴い、巻き方向が同じ場合にはドラム径の差に対応して生じる巻き取りあるいは巻き出し量の差によりワークが吊り上げられあるいは下げられる。これに対して巻き方向が異なる場合にはしたがって、ねじれを生じさせることなくひも状部材を巻き取り、巻き出してワークを昇降することができる。また、ひも状部材を給電用の導電線として使用することが可能となり、スリップリングのような動的接点を用いた場合のように、接点におけるダスト発生の可能性がなくなり、製品品質を向上することができる効果がある。その結果、クリーンルーム等の高い空気清浄度が要求される半導体製造工場等でも使用できるという効果がある。
また、巻き取りドラムに溝が形成されているから、該溝に沿ってひも状部材を円滑に巻き取りあるいは巻き出すことができるのはもちろんのこと、ひも状部材の一端側巻き取りドラムの径の差に対応するだけ吊り上げが行われることになるから、巻き取りドラムの駆動装置に求められるトルクを小さくすることができる。
請求項2に記載された発明によれば、巻き取りドラムの回転に伴い、二つの巻き取りドラムへひも状部材が巻き取られ、あるいは巻き出されるから、ワーク保持手段の上昇に伴って巻き取り装置自体も上昇し、また、逆に、ワーク保持手段の下降に伴って巻き取り装置自体も下降するから、最小限の回転数によって所定の昇降量を得ることができる。また、巻き取りドラムの昇降量が少なくて済むので、巻き取りドラムを案内するレール等の設備費用を最小限に削減することができる。
また、巻き取りドラムに溝が形成されているから、該溝に沿ってひも状部材を円滑に巻き取りあるいは巻き出すことができるのはもちろんのこと、ひも状部材の一端側の巻き取りドラムが小径であるから、巻き取りドラムの回転にともなう装置自体の昇降量が小さくなり、したがって、巻き取りドラムを案内とするために必要とされる案内レール等を最小限にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施形態の正面図。
【図2】 同平面図。
【図3】 この発明の実施形態のワーク下降位置での説明図。
【図4】 同ワーク上昇位置での説明図。
【図5】 この発明の実施形態の全体概略斜視図。
【図6】 従来技術の全体概略斜視図。
【図7】 同要部斜視図。
【図8】 従来技術の他の要部斜視図。
【符号の説明】
14 搬送装置
15 レール(軌道)
16 走行装置
17 ワイヤ(ひも状部材)
18 巻き取り装置
19 巻き取りドラム
19a メインドラム部
19b サブドラム部
20 回動軸
21 ケース
24 ワーク
25 チャック(ワーク保持部)
29 モータ(駆動装置)
33 ガイドレール
34 溝
35 上壁(上部)
T1 巻き出し端
T2 巻き取り端
Claims (2)
- 軌道に沿って移動する走行装置と、該走行装置に支持されていて導電材からなるひも状部材が巻き取られる巻き取り装置と、巻き取り装置に水平かつ同軸上に設けられていて前記ひも状部材が連続的に巻き付けられる複数の巻き取りドラムとから構成されてなり、
前記ひも状部材の一端が前記走行装置に連結されるとともに、他端がワーク保持手段に連結され、
前記巻き取りドラムが、ひも状部材の他端側に設けられたメインドラム部と、ひも状部材の一端側に設けられたメインドラム部よりも小径のサブドラム部とを備えるとともに、前記走行装置に対して上下動自在に支持され、
前記巻き取りドラムの外周には、前記ひも状部材を所定方向に巻き取るための溝が形成され、ひも状部材を案内するメインドラム部側のらせん状の溝と、サブドラム部側のらせん状の溝が互いに同じ向きに形成されていることを特徴とする搬送装置。 - 軌道に沿って移動する走行装置と、該走行装置に支持されていて導電材からなるひも状部材が巻き取られる巻き取り装置と、巻き取り装置に水平かつ同軸上に設けられていて前記ひも状部材が連続的に巻き付けられる複数の巻き取りドラムとから構成されてなり、
前記ひも状部材の一端が前記走行装置に連結されるとともに、他端がワーク保持手段に連結され、
前記巻き取りドラムが、ひも状部材の他端側に設けられたメインドラム部と、ひも状部材の一端側に設けられたメインドラム部よりも小径のサブドラム部とを備えるとともに、
前記走行装置に対して上下動自在に支持され、
前記巻き取りドラムの外周には、前記ひも状部材を所定方向に巻き取るための溝が形成され、メインドラム部側のらせん状の溝と、サブドラム部側のらせん状の溝が互いに逆向きに形成され、
前記ひも状部材が前記巻き取りドラムのメインドラム部とサブドラム部とで互いに異なる巻き方向に巻き付けられていることを特徴とする搬送装置。
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JP12647498A JP4089009B2 (ja) | 1998-05-08 | 1998-05-08 | 搬送装置 |
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