CN105381925B - 涂布装置和涂布膜的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供涂布装置和涂布膜的制造方法。该涂布装置具备模具，该模具具有模块、集流腔以及狭缝，集流腔以从宽度方向上的第1端部侧越朝向第2端部侧越接近模具的顶端缘的方式倾斜地形成，从该模具向被涂布物喷出涂布液，该涂布装置构成为根据形成在被涂布物上的涂布膜的厚度中的第1端部侧的厚度和第2端部侧的厚度调整狭缝的间隔。

Description

涂布装置和涂布膜的制造方法

技术领域

本发明涉及涂布装置和涂布膜的制造方法。

背景技术

以往，作为涂布膜的制造方法，例如可采用利用具备模具的模涂机在片构件等被涂布物上涂布涂布液而形成涂布膜的方法。

该具备模具的模涂机构成为，一边使被涂布物移动一边利用模具在被涂布物上涂布涂布液而形成涂布膜。此外，模具具有以彼此相对的方式配置的一对模块(die block)、形成在该一对模块之间且从宽度方向的一端部侧供给涂布液的集流腔、以及形成在该一对模块之间的狭缝，从集流腔向该狭缝供给涂布液，该狭缝用于将供给来的涂布液从模具的顶端缘喷出。

在这种涂布膜的制造方法中，当涂布液的种类、粘度、流量等被设定时，根据该设定使用严密地设计的模具，以使得到的涂布膜的厚度的宽度方向上的分布不产生偏差。

但是，由于这样严密地设计模具的缘故，在变更涂布液的种类等时，产生涂布膜的厚度的宽度方向上的偏差。在这种情况下，必须根据变更使用新设计的模具，因此，更换等花费劳力和时间，也不经济。

因此，为了抑制该厚度的偏差，提出了一种这样构成的涂布装置：沿着狭缝的宽度方向将多个螺栓配置在模具上，在与产生了厚度偏差的区域相对应的位置调整螺栓的拧紧程度(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第2780016号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，专利文献1这样的涂布装置需要根据产生了厚度偏差的区域分别调整对应的螺栓的拧紧程度。因此，在使用该涂布装置时，作业复杂，其结果，很难说能够通过使用该涂布装置而简单地抑制厚度的偏差。

本发明鉴于上述情况，其课题在于提供能够比较简单地得到已抑制了涂布膜的厚度的宽度方向上的偏差的涂布膜的涂布装置和涂布膜的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明的涂布装置具备用于向被涂布物喷出涂布液的模具，

所述模具具有：一对模块，其以彼此相对的方式配置；集流腔，其形成在所述一对模块之间，且从该集流腔的宽度方向上的第1端部侧供给所述涂布液；以及狭缝，其形成在所述一对模块之间，从所述集流腔向该狭缝供给所述涂布液，该狭缝用于将供给来的所述涂布液从所述模具的顶端缘喷出，

所述集流腔以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端缘倾斜地形成，

该涂布装置构成为，在形成在所述被涂布物上的涂布膜的厚度中的所述第1端部侧的厚度小于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变大的方式调整所述狭缝的间隔，而且在所述第1端部侧的厚度大于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变小的方式调整所述狭缝的间隔。

在此，“狭缝的间隔”是指将一对模块中的形成有狭缝的各区域连结的最短距离。

此外，所述集流腔接近所述顶端缘的意思是指所述集流腔的靠所述顶端缘侧的端缘接近所述顶端缘。即，“所述集流腔以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端部倾斜的意思是指“所述集流腔的靠所述顶端侧的端缘以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端部倾斜”。

上述结构的涂布装置优选的是，

该涂布装置还具备厚度互不相同的多个垫片构件，

构成为通过从所述多个垫片构件中选择一个垫片构件并将该一个垫片构件夹在所述一对模块之间来调整所述狭缝的间隔。

在本发明的涂布膜的制造方法中，

采用这样构成的涂布装置：

该涂布装置具备用于向被涂布物喷出涂布液的模具，

所述模具具有：一对模块，其以彼此相对的方式配置；集流腔，其形成在所述一对模块之间，且从该集流腔的宽度方向上的第1端部侧供给所述涂布液；以及狭缝，其形成在所述一对模块之间，从所述集流腔向该狭缝供给所述涂布液，该狭缝用于将供给来的所述涂布液从所述模具的顶端缘喷出，

所述集流腔以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端缘倾斜地形成，

该涂布膜的制造方法包括以下工序：

在所述被涂布物上涂布所述涂布液而形成涂布膜；

测量已形成在所述被涂布物上的涂布膜的厚度中的所述第1端部侧的厚度和所述第2端部侧的厚度；以及

根据在所述测量的工序中测量出的结果，在所述第1端部侧的厚度小于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变大的方式调整所述狭缝的间隔，而且在所述第1端部侧的厚度大于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变小的方式调整所述狭缝的间隔。

上述结构的涂布膜的制造方法优选的是，

在调整所述狭缝的间隔的工序中，

准备厚度互不相同的多个垫片构件，

通过从所述多个垫片构件中选择一个垫片构件并将该一个垫片构件夹在所述一对模块之间来调整所述狭缝的间隔。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的涂布装置的概略侧视图。

图2是装备在本实施方式的涂布装置上的模具的概略立体图。

图3是装备在本实施方式的涂布装置上的垫片构件的概略立体图。

图4是图2的IV－IV向视剖视图。

图5是示意地表示第1端部侧的厚度小于排出侧的厚度的状态的图。

图6是示意地表示将垫片构件更换为厚度比其厚度大的垫片构件的状态的图。

图7是示意地表示第1端部侧的厚度大于排出侧的厚度的状态的图。

图8是示意地表示将垫片构件更换为厚度比其厚度小的垫片构件的状态的图。

附图标记说明

1、涂布装置；3、涂布部；3a、顶端缘；5、第1模块；7、第2模块；9、泵；11、配管；13、固化部；15、支承部；17、狭缝；19、厚度测量部；21、片构件(被涂布物)；23、涂布液；25、集流腔；25a、第1端部；25b、第2端部；40、涂布膜。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的一实施方式的涂布装置和膜的制造方法。在本实施方式中，对采用片构件作为被涂布物的例子进行说明，但在本发明中，被涂布物并没有特别的限定。

首先，说明本实施方式的涂布装置1。

如图1和图2所示，本实施方式的涂布装置1包括：模具3，其用于向相对地移动的作为被涂布物的带状的片构件21喷出涂布液23；固化部13，其用于使涂布而形成在片构件21上的涂布液23固化；泵9，其作为用于从容纳涂布液23的容纳部2向模具3供给涂布液23的供给部；以及配管11，其用于使涂布液23从容纳部2向模具3移动。此外，涂布装置1还包括用于测量已形成在片构件21上的涂布膜40的厚度的厚度测量部19。并且，涂布装置1还包括厚度Ts互不相同的多个垫片构件30。

此外，涂布装置1还包括用于支承片构件21并使片构件21沿着该片构件21的长度方向相对于模具3相对地移动的支承部15。模具3用于向支承在支承部15上且相对于模具3相对地移动的片构件21涂布涂布液23。

泵9用于从容纳部2向模具3供给涂布液23。作为该泵9，例如能够列举出齿轮泵、隔膜泵、柱塞泵、螺旋泵这样的以往公知的泵。

配管11分别连结于容纳部2和泵9之间、以及泵9和模具3之间，用于形成使涂布液23从容纳部2经由泵9向模具3移动的路径。

作为这些配管11的形成材料，能够列举出金属材料、树脂和金属混合而成的复合材料、树脂材料等。

如图2～图4所示，模具3具有以彼此相对的方式配置的一对模块5、7(第1模块5、第2模块7)、形成在所述一对模块5、7之间且在宽度方向上的第1端部25a侧供给涂布液23的集流腔25、以及形成在一对模块5、7之间的狭缝17，从集流腔25向该狭缝17供给涂布液23，该狭缝17用于将供给来的涂布液23从模具3的顶端缘3a侧喷出。

模具3从狭缝17依次向相对于模具3相对地移动的片构件21涂布涂布液23。具备这样的模具3的涂布装置1被称作模涂机。

具体地讲，在第1模块5上沿着长度方向形成有集流腔形成用的凹部，通过用第2模块7堵塞该凹部，形成用于供给涂布液23的集流腔25。集流腔25和狭缝17连通，从集流腔25向狭缝17供给涂布液23。

另外，也可以在第1模块5和第2模块7上分别形成有集流腔形成用的凹部，通过该第1模块5和第2模块7以相对的方式配置，形成这些凹部对合而成的集流腔25。

所述集流腔形成用的凹部形成为，该凹部的靠模具3的顶端缘3a侧的端缘和该凹部的靠与模具3的顶端缘3a相反的一侧的端缘平行。即，形成在第1模块5和第2模块7的至少一者上的凹部形成为，该凹部的靠模具的顶端缘3a侧的端缘(朝向各模块的重合的面观看时的、靠顶端缘3a侧的端缘)和该凹部的靠与模具的顶端缘3a相反的一侧的端缘(朝向各模块的重合的面观看时的、靠与顶端缘3a相反的一侧的端缘)平行。

由此，集流腔25形成为，该集流腔25的靠模具的顶端缘3a侧的端缘和该集流腔25的靠与模具3的顶端缘3a相反的一侧的端缘平行。

此外，更具体地讲，该凹部形成为其外缘成为矩形形状。由此，该集流腔25形成为，与模具3的长度方向平行地切取的截面成为矩形形状(参照图4)。

另外，集流腔25的形状并不特别限定于该形状。

形成在第1模块5上的供液口27与集流腔25的宽度方向上的第1端部25a连通，以向该第1端部25a供给涂布液23。该供液口27与配管11连结。由此，能够从配管11经由供液口27向集流腔25供给涂布液23。此外，被供给到集流腔25的涂布液23从上述第1端部25a朝向第2端部25b移动，并被供给到狭缝17。

集流腔25以从第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近模具3的顶端缘3a的方式相对于该顶端缘3a倾斜地配置。能够根据涂布液23的种类等适当设定集流腔25相对于与顶端缘3a平行的假想直线S的倾斜角度θ。

此外，在本实施方式中，以顶端缘3a与片构件21的宽度方向平行的方式定位并配置模具3。另外，在本发明中，顶端缘3a也可以相对于片构件21的宽度方向倾斜。

在本实施方式中，装备有厚度Ts不同的多个垫片构件30，通过从该多个垫片构件30中选择一个垫片构件30，如图2所示将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间，形成用于喷出涂布液23的狭缝17。具体地讲，垫片构件30被夹持在一对模块5、7之间，形成液密状态。此外，利用一对模块5、7和配置在它们之间的垫片构件30形成狭缝17，狭缝17的间隔D被设定为与垫片构件30的厚度Ts相当的间隔。

该垫片构件30利用基端部31和一对延伸部33形成为日文片假名コ形，该基端部31以沿着狭缝17的长度方向延伸的方式配置，该一对延伸部33从该基端部31的长度方向两端部朝向模具3的顶端缘3a侧延伸。此外，基端部31的靠集流腔25侧的端缘以沿着该集流腔25的长度方向上的端缘的方式相对于模具3的顶端缘3a倾斜地形成。即，基端部31的靠集流腔25侧的端缘形成为，从该集流腔25的第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近模具的顶端缘3a。

一对延伸部33以沿着集流腔25的宽度方向上的端缘的方式形成。

基端部31和一对延伸部33通过被夹在一对模块5、7之间而构成集流腔25的壁面的一部分。

在图2、图3所示的形态中，在垫片构件30中，基端部31、自该基端部31的两端部延出的一对延伸部33、以及该一对延伸部33的一对顶端部35作为整体一体地形成。

另外，垫片构件30也可以被分割为一对延伸部33中的至少一个延伸部33的顶端部35、或者作为该至少一个延伸部33的全部的第1部分和作为至少包含基端部31的剩余部分的第2部分，而且，第1部分以能够相对于第2部分在狭缝的长度方向上相对移动的方式构成。

采用该垫片构件30，例如能够将第1部分构成为能够相对于第2部分在长度方向上相对移动。在这种情况下，能够在被一对模块5、7夹持的状态下使第1部分相对移动，变更涂布液23的涂敷宽度。此外，也能够通过从在用作第1部分时的所述长度方向上的长度互不相同的多个第1部分用的构件中选择使用一个构件而构成第1部分。在这种情况下，通过更换第1部分用的构件，能够变更涂布液23的涂敷宽度。因而，不分解模具3就能够将涂敷宽度变更为目标宽度。因而，能够容易地变更涂敷宽度。

厚度测量部19用于测量涂布膜40的厚度。该厚度测量部19能够测量涂布膜40的厚度中的、宽度方向上的第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2。作为该厚度测量部19，在图1的形态中采用在线测量厚度的在线厚度计。但是，作为厚度测量部19，也可以采用沿着宽度方向切取已形成有涂布膜40的片构件21而采集试样片、离线测量该试样片中的涂布膜40的厚度的离线厚度计。

作为该厚度计，可以采用接触式的厚度计和非接触式的厚度计。作为接触式的厚度计，例如能够列举出线性测量计。作为非接触式的厚度计，例如能够列举出光干涉式膜厚计。

涂布膜40的宽度方向上的测量厚度的区域只要是比中央部靠第1端部25a侧和第2端部25b侧，就没有特别的限定。但是，若考虑到能够更可靠地测量第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2这样的观点，则优选分别测量涂布膜40的宽度方向上的两端部的区域的厚度。

涂布装置1构成为，如图5所示在涂布膜40的宽度方向上的厚度中的、第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时(T1＜T2、即T1－T2＜0)，以使狭缝17的间隔D变大的方式调整狭缝17的间隔D。另一方面，其构成为，如图7所示在第1端部25a侧的厚度T1大于第2端部25b侧的厚度T2时(T1＞T2、即T1－T2＞0)，以使狭缝17的间隔D变小的方式调整狭缝的间隔D。此外，在这样调整狭缝17的间隔D时，能够在整个宽度方向上调整狭缝17的间隔D。

具体地讲，在本实施方式中构成为，通过从厚度Ts互不相同的多个垫片构件30中选择一个垫片构件30而将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间来调整狭缝17的间隔D。

即，如图5所示，在涂布膜40的位于第1端部25a侧的部分的厚度T1小于涂布膜40的位于第2端部25b侧的部分的厚度T2时，如图6所示，选择厚度Ts较大的垫片构件30使得狭缝17的间隔D变大，将该厚度Ts较大的垫片构件30夹在一对模块5、7之间，从而能够在整个宽度方向上调整狭缝17的间隔D。

另一方面，如图7所示，在涂布膜40的位于第1端部25a侧的部分的厚度T1大于涂布膜40的位于第2端部25b侧的部分的厚度T2时，如图8所示，选择厚度Ts较小的垫片构件30使得狭缝17的间隔D变小，将该厚度Ts较小的垫片构件30夹在一对模块5、7之间，从而能够在整个宽度方向上调整狭缝17的间隔D。

通过这样选择厚度Ts与被一对模块5、7夹着的垫片构件30的厚度Ts不同的另一个垫片构件30，将它们更换，能够将狭缝17的间隔D变更与两垫片构件30的厚度之差相应的量。

这样选择使用的多个垫片构件30的各厚度可适当地设定，从而能够通过更换垫片构件30来抑制涂布膜40的厚度的宽度方向上的偏差。

此外，在本实施方式中，利用厚度测量部19测量第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2，根据由该厚度测量部19测量出的结果，能够调整上述狭缝17的间隔D。

固化部13是用于使涂布液23固化的装置。该固化部13根据涂布液23的种类地适当设定，例如能够列举出热风式或红外线(IR)照射式的加热装置、紫外线(UV)照射装置、电子射线(EB)照射装置等。具体地讲，在涂布液23具有利用加热而固化的材料的情况下，能够列举出上述加热装置，在涂布液23具有利用紫外线照射而固化的材料的情况下，能够列举出上述紫外线照射装置等，在涂布液23具有利用电子射线而固化的材料的情况下，能够列举出上述电子射线照射装置。另外，在本发明中，根据涂布液23的种类，涂布装置1也可以采用不具有固化部13的结构。

在本实施方式中采用的涂布液23含有固化成分，其被涂布在片构件21上而在该片构件21上被固化。作为这样的涂布液23，例如能够列举出聚合物溶液，作为可用作上述固化成分的材料，能够列举出热固性材料、紫外线固性材料、电子射线固性材料等。

涂布液23的粘度并没有特别的限定，但例如优选为0.0005Pa·s～100Pa·s，更优选为0.001Pa·s～45Pa·s。

该粘度是使用流变仪(型号RS1、HAAKE公司制)在剪切速度1(1/s)的条件下测量出的值。

在涂布液23的粘度是100Pa·s以下的情况下，具有涂布液23的处理性良好这样的优点。

此外，作为在本实施方式中采用的片构件21，例如能够列举出树脂薄膜。此外，作为树脂薄膜，例如能够列举出以下所示的、日本特开2009－18227号公报的段落[0034]、[0035]所记载的树脂薄膜等。

即，树脂薄膜并没有特别的限定，可根据用途适当地选择。例如作为可用作光学用途的树脂薄膜，能够适当地使用由聚对苯二甲酸乙二酯、聚对萘二甲酸乙二酯等聚酯系聚合物、二乙酰基纤维素、三乙酰纤维素等纤维素系聚合物、聚碳酸酯系聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸系聚合物、聚苯乙烯、丙烯腈－苯乙烯共聚物等苯乙烯系聚合物、聚乙烯、聚丙烯、具有环状或降冰片烯结构的聚烯烃、乙烯－丙烯共聚物等烯烃系聚合物、氯化乙烯系聚合物、尼龙或芳香族聚酰胺等酰胺系聚合物等透明聚合物构成的薄膜。

并且，作为可用作光学用途的树脂薄膜，也能够列举出由酰亚胺系聚合物、砜系聚合物、聚醚砜系聚合物、聚醚醚酮系聚合物、聚苯硫醚系聚合物、乙烯醇系聚合物、偏氯乙烯系聚合物、乙烯基缩醛系聚合物、丙烯酸酯系聚合物、聚氧化甲烯系聚合物、环氧系聚合物或由上述聚合物的混合物等透明聚合物构成的薄膜等。

该片构件21的厚度并没有特别的限定，但例如其厚度优选为5μm～500μm。

在图1中表示了片构件21是具有挠性的纵长状的形态，但除此以外也可以采用单板状的形态、具有非挠性的形态。

接着，对采用了本实施方式的涂布装置1的涂布膜40的制造方法进行说明。

本实施方式的涂布膜40的制造方法使用上述涂布装置1。

即，在本实施方式的制造方法中，

采用这样构成的涂布装置1：

该涂布装置1具备用于向片构件21喷出涂布液23的模具3，

模具3具有以彼此相对的方式配置的一对模块5、7、形成在一对模块5、7之间且在宽度方向上的第1端部25a侧供给涂布液23的集流腔25、以及形成在一对模块5、7之间的狭缝17，从集流腔25向该狭缝17供给涂布液23，该狭缝17用于将供给来的涂布液23从模具3的顶端缘3a喷出，

集流腔25以从宽度方向上的第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近顶端缘3a的方式相对于顶端缘3a倾斜地形成。

此外，本实施方式的制造方法包括以下工序：

在片构件21上涂布涂布液23而形成涂布膜40；

测量已形成在片构件21上的涂布膜40的厚度中的、第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2；以及

根据在上述测量的工序中测量出的结果，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时，以使狭缝17的间隔D变大的方式调整狭缝17的间隔D，而且在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时，以使狭缝17的间隔D变小的方式调整狭缝17的间隔D。

此外，在本实施方式的制造方法中，

在调整狭缝17的间隔D的工序中，

准备厚度Ts互不相同的多个垫片构件30，

通过从该多个垫片构件30中选择一个垫片构件30而将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间来调整狭缝17的间隔D。

更具体地讲，首先，从上述多个垫片构件30中选择一个垫片构件30，将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间，从而组装模具3。

接着，利用泵9从容纳部2经由配管11向模具3的供液口27供给涂布液23。被供给到供液口27的涂布液23从集流腔25的第1端部25a侧向第2端部25b侧移动，并被供给到狭缝17，从狭缝17喷出而被涂布在片构件21上。通过利用固化部13使涂布在片构件21上的涂布液23固化，形成涂布膜40。

接着，利用厚度测量部19测量已涂布而形成在片构件21上的涂布膜40的厚度中的、宽度方向上的第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2。

接着，根据利用厚度测量部19测量出的结果，如图5所示在涂布膜40的位于第1端部25a侧的部分的厚度T1小于涂布膜40的位于第2端部25b侧的部分的厚度T2时，如图6所示从多个垫片构件30中选择一个垫片构件30，狭缝将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间，再次组装模具3，使得狭缝17的间隔D变大。

另一方面，如图7所示在涂布膜40的位于第1端部25a侧的部分的厚度T1大于涂布膜40的位于第2端部25b侧的部分的厚度T2时，如图8所示从多个垫片构件30中选择一个垫片构件30，狭缝将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间，再次组装模具3，使得狭缝17的间隔D变小。

这样，在整个宽度方向上调整狭缝17的间隔D。

然后，这样调整狭缝17的间隔D，再次从模具3在片构件21上涂布涂布液23而形成涂布膜40。

另外，像前述那样，在图2的形态中，采用在线测量涂布膜40的厚度T1、T2的在线厚度计。但是，在本实施方式中，只要能够测量涂布膜40的厚度T1、T2，该测量方法就没有特别的限定。此外，例如也可以沿着宽度方向切取形成有涂布膜40的片构件21而采集试样片，离线测量该试样片中的涂布膜40的厚度T1、T2。

像上述那样，本实施方式的涂布装置1具备用于向被涂布物(片构件)21喷出涂布液23的模具3，

所述模具3具有以彼此相对的方式配置的一对模块5、7、形成在所述一对模块5、7之间且在宽度方向上的第1端部25a侧供给所述涂布液23的集流腔25、以及形成在所述一对模块5、7之间的狭缝17，从所述集流腔25向该狭缝17供给所述涂布液23，该狭缝17用于将供给来的所述涂布液23从模具3的顶端缘3a喷出，

所述集流腔25以从所述宽度方向上的所述第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近所述顶端缘3a的方式相对于所述顶端缘3a倾斜地形成，

该涂布装置1构成为，在已形成在所述被涂布物21上的涂布膜40的厚度中的、所述第1端部25a侧的厚度T1小于所述第2端部25b侧的厚度T2时，以使所述狭缝17的间隔D变大的方式调整所述狭缝17的间隔D，而且在所述第1端部25a侧的厚度T1大于所述第2端部25b侧的厚度时，以使所述狭缝17的间隔D变小的方式调整所述狭缝17的间隔D。

采用该结构，通过集流腔25以从第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近模具3的顶端缘3a的方式相对于该顶端缘3a倾斜地配置，能够使涂布膜40的厚度的偏差成为第1端部25a侧的厚度T1大于第2端部25b侧的厚度T2、和第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2中的任一个状态(参照图5、图7)。

此外，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2的情况下(参照图5)，通过狭缝17的涂布液23的第1端部25a侧的压力损失大于第2端部25b侧的压力损失。因此，在这种情况下，通过增大狭缝17的间隔D，第1端部25a侧的压力损失的减少大于第2端部25b侧的压力损失的减少，两端部侧之间的压力损失之差相应地变小。由此，能够使第1端部25a侧和第2端部25b侧的压力损失适当地平衡，因此能够抑制厚度的偏差。

另一方面，在第1端部25a侧的厚度T1大于第2端部25b侧的厚度T2的情况下(参照图7)，通过狭缝17的涂布液23的第1端部25a侧的压力损失小于第2端部25b侧的压力损失。因此，通过减小狭缝17的间隔D，第1端部25a侧的压力损失的增加大于第2端部25b侧的压力损失的增加，两端侧之间的压力损失之差相应地变小。由此，能够使第1端部25a侧和第2端部25b侧的压力损失适当地平衡，因此能够抑制厚度的偏差。

这样，仅通过根据第1端部25a侧和第2端部25b侧的涂布膜40的厚度变更狭缝17的间隔D，就能够得到已抑制了厚度偏差的涂布膜40。

因而，能够比较简单且可靠地得到已抑制了宽度方向上的厚度偏差的涂布膜40。

此外，在本实施方式的涂布装置1中，

还具备厚度Ts互不相同的多个垫片构件30，

该涂布装置1构成为，通过从该多个垫片构件30中选择一个垫片构件30而将该一个垫片构件30夹在一对模块5、7之间来调整狭缝17的间隔D。

采用该结构，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时(参照图5)，选择厚度比较大的垫片构件30，使得狭缝17的间隔D变大(参照图6)，从而能够调整狭缝17的间隔D。另一方面，在第1端部25a侧的厚度T1大于第2端部25b侧的厚度T2时(参照图7)，选择厚度比较小的垫片构件30，使得狭缝17的间隔D变小(参照图8)，从而能够调整狭缝17的间隔D。

通过这样选择垫片构件30，能够调整狭缝17的间隔D。

在此，例如在拧紧螺栓而调整狭缝17的间隔D的情况下，螺栓有可能松动而使费尽周折调整好的狭缝17的间隔D变动。但是，采用上述结构，通过将垫片构件30夹在一对模块5、7之间，与采用螺栓的情况相比，狭缝17的间隔D难以变动。

因而，能够更简单且可靠地得到已抑制了宽度方向上的厚度偏差的涂布膜40。

在本实施方式的涂布膜40的制造方法中，

采用这样构成的涂布装置1：

该涂布装置1具备用于向被涂布物(片构件)21喷出涂布液23的模具3，

所述模具3具有以彼此相对的方式配置的一对模块5、7、形成在所述一对模块5、7之间且在宽度方向上的第1端部25a侧供给所述涂布液23的集流腔25、以及形成在所述一对模块5、7之间的狭缝17，从所述集流腔25向该狭缝17供给所述涂布液23，该狭缝17用于将供给来的所述涂布液23从模具3的顶端缘3a喷出，

所述集流腔25以从所述宽度方向上的所述第1端部25a侧越朝向第2端部25b侧越接近所述顶端缘3a的方式相对于所述顶端缘3a倾斜地形成，

该制造方法包括以下工序：

在所述被涂布物21上涂布所述涂布液23而形成涂布膜40；

测量已形成在所述被涂布物21上的涂布膜40的厚度中的、所述第1端部25a侧的厚度T1和所述第2端部25b侧的厚度T2；以及

根据在所述测量的工序中测量出的结果，在所述第1端部25a侧的厚度T1小于所述第2端部25b侧的厚度T2时，以使所述狭缝17的间隔D变大的方式调整所述狭缝17的间隔D，而且在所述第1端部25a侧的厚度T1大于所述第2端部25b侧的厚度T2时，以使所述狭缝17的间隔D变小的方式调整所述狭缝17的间隔D。

采用该结构，根据测量第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2得出的结果，与上述同样，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时，能够以使狭缝17的间隔D变大的方式调整狭缝17的间隔D。另一方面，在第1端部25a侧的厚度T1大于第2端部25b侧的厚度T2时，能够以使狭缝17的间隔D变小的方式调整狭缝17的间隔D。

通过这样调整狭缝17的间隔D，能够抑制得到的涂布膜40的厚度的宽度方向上的偏差。

因而，能够比较简单地得到已抑制了涂布膜40的厚度的宽度方向上的偏差的涂布膜。

在本实施方式的涂布膜40的制造方法中，

在调整所述狭缝17的间隔D的工序中，

准备厚度Ts互不相同的多个垫片构件30，

通过从所述多个垫片构件30中选择一个垫片构件30而将该一个垫片构件30夹在所述一对模块5、7之间来调整所述狭缝17的间隔D。

采用该结构，根据测量第1端部25a侧的厚度T1和第2端部25b侧的厚度T2得出的结果，与上述同样，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时，能够以使狭缝17的间隔D变大的方式选择垫片构件30而调整狭缝17的间隔D。另一方面，在第1端部25a侧的厚度T1小于第2端部25b侧的厚度T2时，能够以使狭缝17的间隔D变小的方式选择垫片构件30而调整狭缝17的间隔D。

通过这样选择垫片构件30，能够调整狭缝17的间隔D。

此外，通过与上述同样将垫片构件30夹在一对模块5、7之间，狭缝17的间隔D难以变动。

因而，能够更简单且可靠地得到已抑制了涂布膜40的厚度的宽度方向上的偏差的涂布膜40。

像以上那样，采用本实施方式的涂布装置1和涂布膜40的制造方法，能够比较简单且可靠地得到已抑制了涂布膜40的厚度的宽度方向上的偏差的涂布膜40。

【实施例】

接着，列举实施例更详细地说明本发明，但本发明并不限定于此。

参考实验例

使用图1所记载的那样的涂布装置。作为片构件，采用聚对苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜(制品名MRF－38、三菱树脂公司制、宽度1920mm、厚度38μm)。作为涂布液，采用使丙烯酸树脂溶解于醋酸乙酯而成的溶液。基于利用流变仪(RS1、HAAK公司制)以剪切速度1s^－1测量出的结果，涂布液的粘度是10Pa/s。将集流腔相对于与模具的顶端缘平行的假想直线的倾斜角度设定为0.19°。如表1所示，该模具被设定为，在片构件21的移动速度是20m/min、利用泵向模具供给的流量是8.8L/min、垫片构件的厚度是450μm时，涂布膜的厚度的宽度方向上的偏差较少。

使用该模具，在表1的条件下在片构件上涂布涂布液而形成了涂布膜。

接着，利用厚度测量部(商品名MCDP3700、大塚电子公司制)测量已形成的涂布膜的厚度中的、集流腔的第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2。在与涂布膜的靠第1端部侧的端缘和靠第2端部侧的端缘分别分开5mm的位置测量厚度T1、T2。对于利用测量得出的第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2而言，通过用第2端部侧的厚度T1与第2端部侧的厚度T2之差(T1－T2)除以这些厚度T1和T2的平均值，计算出无量纲膜厚偏差。即，通过根据下述式进行计算，计算出无量纲膜厚偏差。

无量纲膜厚偏差(－)＝(T1－T2)/(T1和T2的平均值)

在表1中表示结果。另外，无量纲膜厚偏差表示涂布膜的厚度的宽度方向上的偏差的大小，表示该无量纲膜厚偏差的绝对值越大则厚度的偏差越大。如表1所示，无量纲膜厚偏差极小。

实验例1

如表1所示，除了将片构件的移动速度变更为10m/min、将流量变更为4.4L/min之外，与参考实验例同样在片构件上涂布涂布液而形成了涂布膜。

与参考实验例同样，针对形成的涂布膜的厚度，测量了第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2。根据利用测量得出的第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2计算出无量纲膜厚偏差。在表1中表示结果。

其结果，通过变更片构件的移动速度和涂布液的流量，无量纲膜厚偏差的绝对值远远大于参考实施例。此外，由于无量纲膜厚偏差是负的值(－0.10)，因此，可知第1端部侧的厚度T1小于第2端部侧的厚度T2。

因此，分解模具，替代具有450μm的厚度的垫片构件而将具有500μm的厚度的垫片构件夹持在2个模块中，再次组装模具。通过这样更换垫片构件，狭缝的间隔变大了与更换前后的垫片构件的厚度之差相应的量。

而且，在与垫片构件更换之前相同的条件下在片构件上形成涂布膜，针对形成的涂布膜测量了第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2。

其结果，如表1所示，无量纲膜厚偏差成为－0.01。由此，可知：对于无量纲膜厚偏差的绝对值而言，垫片构件变更之后远远小于变更之前，抑制了厚度的偏差。此外，还可知：得到了与参考实验例相同程度的无量纲膜厚偏差的结果。

实验例2

如表1所示，除了将片构件的移动速度变更为30m/min、将流量变更为13.2L/min之外，与参考实验例同样在片构件上涂布涂布液而形成了涂布膜。

与参考实验例同样，针对形成的涂布膜的厚度，测量了第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2。根据利用测量得到的第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2计算出无量纲膜厚偏差。在表1中表示结果。

其结果，通过变更片构件的移动速度和涂布液的流量，无量纲膜厚偏差的绝对值远远大于参考实施例。此外，由于无量纲膜厚偏差是正的值(0.14)，因此，可知第1端部侧的厚度T1大于第1端部侧的厚度T2。

因此，分解模具，替代具有450μm的厚度的垫片构件而将具有400μm的厚度的垫片构件夹持在2个模块中，再次组装模具。通过这样更换垫片构件，狭缝的间隔变小了与更换前后的垫片构件的厚度之差相应的量。

而且，在与垫片构件更换之前相同的条件下在片构件上形成涂布膜，针对形成的涂布膜，测量了第1端部侧的厚度T1和第2端部侧的厚度T2。

其结果，如表1所示，无量纲膜厚偏差成为0.01。由此，可知：对于无量纲膜厚偏差的绝对值而言，垫片构件变更之后远远小于变更之前，抑制了厚度的偏差。此外，还可知：得到了与参考实验例相同程度的无量纲膜厚偏差的结果。

【表1】

实验例3

除了集流腔与顶端缘平行地形成之外，采用与参考实验例同样的涂布装置。使用与参考实验例同样的片构件和涂布液，如表2所示设定了片构件的移动速度和涂布液的流量。而且，如表2所示，将各自具有400μm、200μm、150μm、100μm的厚度的垫片构件分别夹持在2个模块中，在片构件上涂布涂布液而形成了涂布膜。

与参考实验例同样，测量已形成的涂布膜的厚度中的、集流腔的第1端部侧(涂布液的供给侧)和第2端部侧(涂布液的排出侧)的厚度，根据得到的结果计算出无量纲膜厚偏差。在表2中表示结果。

如表2所示，可知存在垫片构件的厚度越大、无量纲膜厚偏差越大的倾向。此外，即便减小垫片构件的厚度，与实验例1和2相比较，在实验例3中无论如何也不能说无量纲膜厚偏差的抑制程度是充分的。另外，在采用了厚度是100μm的垫片构件的情况下，由于超出模具、泵、配管的容许压力，因此，无法涂布涂布液。其结果，可知在采用集流腔与顶端缘平行地形成的模具的情况下，无法像集流腔相对于顶端缘倾斜地形成的模具那样抑制厚度的偏差。

【表2】

本实施方式的涂布装置和涂布膜的制造方法像上述那样，但本发明并不限定于上述实施方式，能够在本发明的意图的范围内适当地进行设计变更。

例如，在上述实施方式中，采用了通过从厚度互不相同的多个垫片构件30中选择一个垫片构件30来调整狭缝17的间隔D的形态，但调整狭缝17的间隔的形态并不特别限定于上述实施方式。例如也可以采用这样的形态：涂布装置1沿着宽度方向具有能够将第1模块5按压于第2模块7(或者将第2模块7按压于第1模块5)而变更狭缝17的间隔D的多个螺栓，在整个宽度方向上一致地变更该多个螺栓的拧紧程度，从而调整狭缝17的间隔D。

Claims (4)

1.一种涂布装置，

该涂布装置具备用于向被涂布物喷出涂布液而形成涂布膜的模具和用于测量形成于所述被涂布物的所述涂布膜的厚度的厚度测量部，

所述模具具有：一对模块，其以彼此相对的方式配置；集流腔，其形成在所述一对模块之间，且从该集流腔的宽度方向上的第1端部侧供给所述涂布液；以及狭缝，其形成在所述一对模块之间，从所述集流腔向该狭缝供给所述涂布液，该狭缝用于将供给来的所述涂布液从所述模具的顶端缘喷出，

所述集流腔以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端缘倾斜地形成，

该涂布装置的特征在于，

该涂布装置构成为，在由所述厚度测量部测量得到的所述涂布膜的厚度中的所述第1端部侧的厚度小于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变大的方式调整所述狭缝的间隔，而且在所述第1端部侧的厚度大于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变小的方式调整所述狭缝的间隔，

该涂布装置还具备厚度互不相同的多个垫片构件，

该涂布装置构成为通过从所述多个垫片构件中选择一个垫片构件并将该一个垫片构件夹在所述一对模块之间从而以保持所述狭缝的间隔在整个所述宽度方向上恒定的状态改变所述狭缝的间隔来调整所述狭缝的间隔。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其中，

该涂布装置构成为，在涂布膜的位于所述第1端部侧的部分的厚度小于涂布膜的位于所述第2端部侧的部分的厚度时，以使所述狭缝的间隔变大的方式从所述多个垫片构件中选择厚度比更换之前夹着的垫片构件的厚度大的垫片构件并进行更换，

在涂布膜的位于所述第1端部侧的部分的厚度大于涂布膜的位于所述第2端部侧的部分的厚度时，以使所述狭缝的间隔变小的方式从所述多个垫片构件中选择厚度比更换之前夹着的垫片构件的厚度小的垫片构件并进行更换，

由此，调整所述狭缝的间隔。

3.一种涂布膜的制造方法，

在该涂布膜的制造方法中采用这样构成的涂布装置：

该涂布装置具备用于向被涂布物喷出涂布液而形成涂布膜的模具和用于测量形成于所述被涂布物的所述涂布膜的厚度的厚度测量部，

所述模具具有：一对模块，其以彼此相对的方式配置；集流腔，其形成在所述一对模块之间，且从该集流腔的宽度方向上的第1端部侧供给所述涂布液；以及狭缝，其形成在所述一对模块之间，从所述集流腔向该狭缝供给所述涂布液，该狭缝用于将供给来的所述涂布液从所述模具的顶端缘喷出，

所述集流腔以从所述宽度方向上的所述第1端部侧越朝向第2端部侧越接近所述顶端缘的方式相对于所述顶端缘倾斜地形成，

该涂布膜的制造方法的特征在于，

该涂布膜的制造方法包括以下工序：

在所述被涂布物上涂布所述涂布液而形成涂布膜；

利用所述厚度测量部测量已形成在所述被涂布物上的涂布膜的厚度中的所述第1端部侧的厚度和所述第2端部侧的厚度；以及

根据在所述测量的工序中测量出的结果，在所述第1端部侧的厚度小于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变大的方式调整所述狭缝的间隔，而且在所述第1端部侧的厚度大于所述第2端部侧的厚度时，以使所述狭缝的间隔变小的方式调整所述狭缝的间隔，

在调整所述狭缝的间隔的工序中，

准备厚度互不相同的多个垫片构件，

通过从所述多个垫片构件中选择一个垫片构件并将该一个垫片构件夹在所述一对模块之间从而以保持所述狭缝的间隔在整个所述宽度方向上恒定的状态改变所述狭缝的间隔来调整所述狭缝的间隔。

4.根据权利要求3所述的涂布膜的制造方法，其中，

在涂布膜的位于所述第1端部侧的部分的厚度小于涂布膜的位于所述第2端部侧的部分的厚度时，狭缝从所述多个垫片构件中选择厚度比更换之前夹着的垫片构件的厚度大的垫片构件并进行更换，以使所述狭缝的间隔变大，

在涂布膜的位于所述第1端部侧的部分的厚度大于涂布膜的位于所述第2端部侧的部分的厚度时，狭缝从所述多个垫片构件中选择厚度比更换之前夹着的垫片构件的厚度小的垫片构件并进行更换，以使所述狭缝的间隔变小，

由此，调整所述狭缝的间隔。