TW201615282A

TW201615282A - 塗布裝置及塗布膜之製造方法

Info

Publication number: TW201615282A
Application number: TW104124522A
Authority: TW
Inventors: 小松原誠; 三宅雅士; 守田佳史
Original assignee: 日東電工股份有限公司
Priority date: 2014-09-03
Filing date: 2015-07-29
Publication date: 2016-05-01
Also published as: JP6420997B2; KR20160028363A; CN105381925A; CN105381925B; KR102316972B1; JP2016052616A; TWI674151B

Abstract

本發明使用如下之塗布裝置：具備有模具，從該模具將塗布液吐出至被塗布物的塗布裝置，且前述模具具有模塊、歧管、狹縫，且歧管形成為：從寬度方向之第1端部側越往第2端部側，會越接近模具之前端緣而呈傾斜；並且該塗布裝置是構成為：根據形成於被塗布物的塗布膜之厚度中第1端部側之厚度、及第2端部側之厚度，將狹縫之間隔進行調整。

Description

塗布裝置及塗布膜之製造方法

發明領域

本發明是一種有關於塗布裝置及塗布膜之製造方法。

發明背景

至今，塗布膜之製造方法例如使用如下之方法：藉由具備有模具的模具塗布機，將塗布液塗布於薄片構件等被塗布物而形成塗布膜的方法。

如此之具備有模具的模具塗布機是構成為：一面使被塗布物移動、一面藉由模具將塗布液塗布於被塗布物而形成塗布膜。又，模具具有：一對模塊，配置成彼此相對向；歧管(manifold)，形成於該等一對模塊間，從寬度方向之一端部側供給塗布液；以及狹縫，是形成於該等一對模塊間的狹縫，由歧管供給塗布液，把所供給之塗布液從模具之前端緣吐出。

在此種塗布膜之製造方法中，是使用經過嚴密設計的模具，當設定好塗布液之種類、黏度、流量等時，即可根據該等設定，使所得到的塗布膜在厚度之寬度方向上的分布不會產生參差不均。

但是，就是因為模具經過如此之嚴密設計，當變更塗布液種類等時，就會在塗布膜厚度之寬度方向上產生參差不均。此時，必須因應變更而使用重新設計的模具，會浪費時間在交換模具等上，很不經濟。

因此，為了抑制如此之厚度參差不均，提出了如下構成之塗布裝置：在模具上沿著狹縫之寬度方向配置複數個螺栓，在與產生了厚度參差不均之區域相對應的位置，調整螺栓的鎖緊程度(參照專利文獻1)。

先前技術文獻

【專利文獻1】日本專利公報特許第2780016號

發明概要

但是，如專利文獻1之塗布裝置，必須因應產生有厚度參差不均的區域，來分別調整相對應的螺栓之鎖緊程度。因此，若使用如此之塗布裝置，則作業會很煩雜，結果，很難斷言藉由使用如此之塗布裝置，就可以簡易地抑制厚度參差不均。

本發明有鑑於上述實情，課題在於提供一種塗布裝置及塗布膜之製造方法，相較之下可較簡易地得到抑制了塗布膜在厚度之寬度方向上之參差不均的塗布膜。

本發明之塗布裝置是構成為：具備有將塗布液吐出至被塗布物的模具，前述模具具有：一對模塊，為配置成彼此相對向；歧管，為形成於前述一對模塊間，從寬度方向之第1端部側供給前述塗布液；及狹縫，是形成於前述一對模塊間的狹縫，由前述歧管供給前述塗布液，把所供給之前述塗布液從前述模具之前端緣吐出，且前述歧管是形成為：從前述寬度方向之前述第1端部側越往第2端部側，會越接近前述前端緣且相對於前述前端緣呈傾斜，又，前述狹縫之間隔可進行調整，當形成於前述被塗布物之塗布膜的厚度中前述第1端部側之厚度小於前述第2端部側之厚度時，使前述狹縫之間隔變大，並且，當前述第1端部側之厚度大於前述第2端部側之厚度時，使前述狹縫之間隔變小。

在此，「狹縫之間隔」指的是：把形成了一對模塊中之狹縫的各區域相連結的最短距離。

又，前述歧管接近前述前端緣，意思是：前述歧管中之前述前端緣側的端緣接近前述前端緣。亦即，「前述歧管從前述寬度方向之前述第1端部側越往第2端部側，會越接近前述前端緣而相對於前述前端部呈傾斜」，意思是：「前述歧管中之前述前端側的端緣，從前述寬度方向之前述第1端部側越往第2端部側，會越接近前述前端緣而相對於前述前端部呈傾斜」。

在上述構成之塗布裝置中，宜構成為：更具備有彼此厚度不同的複數個填隙構件，從前述複數個填隙構件選擇一個填隙構件並使之隔在前述一對模塊間，藉此來調整前述狹縫之間隔。

本發明之塗布膜之製造方法，使用構成如下述之塗布裝置：具備有將塗布液吐出至被塗布物的模具，前述模具具有：一對模塊，為配置成彼此相對向；歧管，為形成於前述一對模塊間，從寬度方向之第1端部側供給前述塗布液；及狹縫，是形成於前述一對模塊間的狹縫，由前述歧管供給前述塗布液，把所供給之前述塗布液從前述模具之前端緣吐出，且前述歧管是形成為：從前述寬度方向之前述第1端部側越往第2端部側，會越接近前述前端緣且相對於前述前端緣呈傾斜，且前述塗布膜之製造方法具備有如下之步驟：形成步驟，為將前述塗布液塗布於前述被塗布物而形成塗布膜；測定步驟，為測定前述形成於前述被塗布物之塗布膜的厚度中前述第1端部側之厚度與前述第2端部側之厚度；以及調整步驟，為根據前述測定步驟所測定出的結果，調整前述狹縫之間隔，當前述第1端部側之厚度小於前述第2端部側之厚度時，使前述狹縫之間隔變大，並且，當前述第1端部側之厚度大於前述第2端部側之厚度時，使前述狹縫之間隔變小。

在上述構成之塗布膜之製造方法中，宜在調整前述狹縫之間隔的步驟中，準備彼此厚度不同的複數個填隙構件，從前述複數個填隙構件選擇一個填隙構件並使之隔在前述一對模塊間，藉此來調整前述狹縫之間隔。

1‧‧‧塗布裝置

2‧‧‧收容部

3‧‧‧塗布部

3a‧‧‧前端緣

5‧‧‧第1模塊

7‧‧‧第2模塊

9‧‧‧泵

11‧‧‧配管

13‧‧‧固化部

15‧‧‧支持部

17‧‧‧狹縫

19‧‧‧厚度測定部

21‧‧‧薄片構件(被塗布物)

23‧‧‧塗布液

25‧‧‧歧管

25a‧‧‧第1端部

25b‧‧‧第2端部

27‧‧‧給液埠

30‧‧‧填隙構件

31‧‧‧基端部

33‧‧‧延伸部

35‧‧‧前端部

40‧‧‧塗布膜

D‧‧‧間隔

S‧‧‧假想直線

T1、T2、Ts‧‧‧厚度

θ‧‧‧傾斜角度

【圖1】顯示本發明之一實施形態之塗布裝置的概略側面圖

【圖2】本實施形態之塗布裝置所具備的模具之概略立體圖

【圖3】本實施形態之塗布裝置所具備的填隙構件之概略立體圖

【圖4】圖2的IV-IV箭號視角截面圖

【圖5】示意地顯示第1端部側之厚度比排出側之厚度還小的狀態的圖

【圖6】示意地顯示將填隙構件交換成厚度比較大的填隙構件的狀態的圖

【圖7】示意地顯示第1端部側之厚度比排出側之厚度還大的狀態的圖

【圖8】示意地顯示將填隙構件交換成厚度比較小的填隙構件的狀態的圖

用以實施發明之形態

以下，關於本發明一實施形態之塗布裝置及膜之製造方法，參照圖示進行說明。在本實施形態中，是針對採用了薄片構件作為被塗布物之例進行說明，但在本發明中，並無特別限定被塗布物。

首先，說明本實施形態之塗布裝置1。

如圖1及圖2所示，本實施形態之塗布裝置1具備有：模具3，將塗布液23吐出至相對移動之被塗布物、即帶狀之薄片構件21；固化部13，將塗布在薄片構件21上而形成的塗布液23固化；泵9，作為從收容有塗布液23的收容部2把塗布液23供給至模具3的供給部；及配管11，用以使塗布液23從收容部2移動至模具3。又，塗布裝置1具備有厚度測定部19，可測定形成於薄片構件21的塗布膜40之厚度。此外，塗布裝置1更具備有厚度Ts彼此不同的複數個填隙構件30。

又，塗布裝置1具備有支持部15，可一面支持薄片構件21，一面使之沿著該薄片構件21之長方向對於模具3相對地移動。模具3會將塗布液23塗布於被支持部15支持而對於模具3相對地移動的薄片構件21。

泵9可從收容部2將塗布液23供給至模具3。如此之泵9，可列舉例如：齒輪泵、膜片泵、柱塞泵、蛇泵等至今習知的泵。

配管11分別連結收容部2與泵9之間、以及泵9與模具3之間，形成了使塗布液23從收容部2透過泵9移動至模具3的路徑。

該等配管11之形成材料，可列舉如：金屬材料、混合了樹脂與金屬的複合材料、或樹脂材料等。

如圖2~圖4所示，模具3具有：配置成彼此相對向的一對模塊5、7(第1模塊5、第2模塊7)；歧管25，形成於前述一對模塊5、7間，塗布液23被供給至寬度方向之第1端部25a側；以及狹縫17，是形成於一對模塊5、7間的狹縫17，由歧管25供給塗布液23，把所供給之塗布液23從模具3之前端緣3a側吐出。

模具3是從狹縫17將塗布液23依序塗布在對於模具3相對地移動的薄片構件21。具備有如此之模具3的塗布裝置1，稱為模具塗布機。

具體而言，在第1模塊5，沿著長方向形成有歧管形成用的凹部，藉由以第2模塊7塞住該凹部，形成了供給塗布液23的歧管25。歧管25與狹縫17是連通的，會從歧管25將塗布液23供給至狹縫17。

另外，也可在第1模塊5與第2模塊7分別形成歧管形成用的凹部，將該第1模塊5與第2模塊7配置成相對向，藉此來形成該等凹部相合而成的歧管25。

前述歧管形成用的凹部，是形成為：該凹部中的模具3之前端緣3a側的端緣、與該凹部中的模具3之前端緣3a之相反側的端緣呈平行。亦即，形成於第1模塊5或第2模塊7之至少一方的凹部，是形成為：該凹部中的模具之前端緣3a側的端緣(向著各模塊中的重合之面來看時，前端緣3a 側的端緣)、與該凹部中的模具之前端緣3a之相反側的端緣(向著各模塊中的重合之面來看時，前端緣3a之相反側的端緣)呈平行。

藉此，歧管25是形成為：該歧管25中的模具之前端緣3a側的端緣、與該歧管25中的模具3之前端緣3a之相反側的端緣呈平行。

又，更具體而言，該凹部是形成為：其外緣呈矩形狀。藉此，該歧管25是形成為：與模具3之長方向平行地切開的截面呈矩形狀(參照圖4)。

另外，歧管25的形狀並不特別限定於如此之形狀。

在歧管25之寬度方向中的第1端部25a，可供給塗布液23地連通有形成於第1模塊5的給液埠27。該給液埠27與配管11連結。藉此，會從配管11透過給液埠27將塗布液23供給至歧管25。又，被供給至歧管25的塗布液23，會一面從上述第1端部25a向著第2端部25b移動，一面被供給至狹縫17。

歧管25是配置成：從第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近模具3之前端緣3a而相對於該前端緣3a呈傾斜。歧管25相對於與前端緣3a平行之假想直線S的傾斜角度θ，可因應塗布液23的種類等而適宜地設定。

又，在本實施形態中，是將模具3配置成：前端緣3a與薄片構件21之寬度方向呈平行。另外，在本發明中，前端緣3a也可相對於薄片構件21之寬度方向呈傾斜。

在本實施形態中，具備有厚度Ts不同的複數個填隙構件30，從如此之複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30，如圖2所示，使之隔在一對模塊5、7間，藉此，形成吐出塗布液23的狹縫17。具體而言，填隙構件30被夾持在一對模塊5、7間，可形成液密狀態。又，藉由一對模塊5、7、以及配置於該等之間的填隙構件30，形成狹縫17，而狹縫17之間隔D是設定為相當於填隙構件30之厚度Ts的間隔。

如此之填隙構件30是由配置成沿著狹縫17之長方向延伸存在的基端部31、以及從該基端部31之長方向兩端部朝向模具3之前端緣3a側延伸的一對延伸部33，形成為ㄈ字狀。又，基端部31之歧管25側的端緣是形成為：沿著該歧管25之長方向的端緣，相對於模具3之前端緣3a呈傾斜。亦即，基端部31之歧管25側的端緣是形成為：從該歧管25之第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近模具之前端緣3a。

一對延伸部33是沿著歧管25中之短方向的端緣而形成的。

基端部31及一對延伸部33會隔在一對模塊5、7間，藉此而構成為歧管25壁面之一部分。

在圖2、圖3所示之態樣中，填隙構件30全體而言是由基端部31、從該基端部31之兩端部伸出的一對延伸部33、以及該等一對延伸部33之一對前端部35一體地形成的。

還有，除此之外，填隙構件30也可構成如下：分割成第1部分以及第2部分，第1部分是一對延伸部33之中至少一方的延伸部33之前端部35、或是該至少一方的延伸部33 全部，而第2部分則是至少包含基端部31的剩下的部分；並且，第1部分可相對於第2部分朝狹縫之長方向相對地移動。

根據如此之填隙構件30，例如，可使第1部分構成為可相對於第2部分朝長方向相對移動。此時，在被一對模塊5、7夾住的狀態下，使第1部分相對移動，可以變更塗布液23的塗布寬度。又，也可以從使用為第1部分時之前述長方向的長度彼此不同的複數個第1部分用的構件中，選擇使用一個構件，藉此來構成第1部分。此時，藉由交換第1部分用的構件，可以變更塗布液23的塗布寬度。因此，不用分解模具3，就可以將塗布寬度變更成所需要的寬度。所以，可以使塗布寬度的變更更為容易。

厚度測定部19是測定塗布膜40厚度的部位。該厚度測定部19可測定塗布膜40的厚度，也就是在寬度方向上第1端部25a側的厚度T1、以及第2端部25b側的厚度T2。如此之厚度測定部19，在圖1之態樣中，是採用在線上測定厚度的線上厚度計。不過，厚度測定部19也可採用其他例如將形成有塗布膜40的薄片構件21沿著寬度方向切取而採取出試料片，將該試料片中之塗布膜40的厚度以離線進行測定的離線厚度計。

如此之厚度計，可採用接觸式的厚度計、及非接觸式的厚度計。接觸式的厚度計，可列舉例如線性規。非接觸式的厚度計，可列舉例如光干涉式膜厚計。

在塗布膜40的寬度方向上測定厚度的區域，只要是比起中央部較靠近第1端部25a側及第2端部25b側，就沒有特別限定。不過，若考慮到可以更確實地測定第1端部25a側的厚度T1與第2端部25b側的厚度T2這樣的觀點，則宜分別測定塗布膜40寬度方向上的兩端部區域的厚度。

塗布裝置1是構成為：如圖5所示，當塗布膜40之寬度方向的厚度中第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時(T1<T2，亦即，T1-T2<0)，可調整狹縫17之間隔D而使狹縫17之間隔D變大。另一方面，是構成為：如圖7所示，當第1端部25a側之厚度T1大於第2端部25b側之厚度T2時(T1>T2，亦即，T1-T2>0)，可調整狹縫之間隔D而使狹縫17之間隔D變小。又，在如上述般調整狹縫17之間隔D之時，狹縫17之間隔D是寬度方向全體地進行調整。

具體而言，在本實施形態中，是構成為：從彼此厚度Ts不同的複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30並使之隔在一對模塊5、7間，藉此來調整狹縫17之間隔D。

亦即，如圖5所示，當第1端部25a側的塗布膜40之厚度T1小於第2端部25b側的塗布膜40之厚度T2時，如圖6所示，選擇厚度Ts較大的填隙構件30並使此填隙構件30隔在一對模塊5、7間，而使狹縫17之間隔D變大，藉此，在寬度方向全體地調整狹縫17之間隔D。

另一方面，如圖7所示，當第1端部25a側的塗布膜40之厚度T1大於第2端部25b側的塗布膜40之厚度T2時，如圖8所示，選擇厚度Ts較小的填隙構件30並使此填隙構件30 隔在一對模塊5、7間，而使狹縫17之間隔D變小，藉此，在寬度方向全體地調整狹縫17之間隔D。

如此，選擇厚度Ts與本來隔在一對模塊5、7間的填隙構件30不同的別的填隙構件30，將該等進行交換，藉此，使狹縫17之間隔D進行變更，變更的量是兩填隙構件30之厚度差。

如此選擇使用的複數個填隙構件30之各厚度可適宜地設定，藉由交換填隙構件30來抑制塗布膜40之厚度在寬度方向上的參差不均。

又，在本實施形態中，藉由厚度測定部19測定第1端部25a側之厚度T1與第2端部25b側之厚度T2，根據該厚度測定部19所測定出的結果，來調整上述的狹縫17之間隔D。

固化部13是用來使塗布液3固化的裝置。該固化部13是因應塗布液3的種類而適宜設定，可列舉例如熱風式或紅外線(IR)照射式的加熱裝置、紫外線(UV)照射裝置、或電子束(EB)照射裝置等。具體而言，當塗布液23具有因加熱而硬化的材料時，可使用上述加熱裝置，當塗布液3具有因紫外線照射而硬化的材料時，可使用上述紫外線照射裝置等，而當塗布液3具有因電子束而硬化的材料時，則可使用上述電子束照射裝置。另外，在本發明中，也可根據塗布液23的種類，採用塗布裝置1不具有固化部13的構成。

本實施形態所使用的塗布液23，是含有固化成分，塗布於薄片構件21，在該薄片構件21上進行固化的東西。如此之塗布液23，可列舉例如聚合物溶液，使用為上述固化成分的材料，可列舉如熱硬化性材料、紫外線硬化性材料、電子束硬化性材料等。

塗布液23的黏度，並無特別限定，但例如以0.0005~100Pa‧s為佳，以0.001~45Pa‧s為更佳。

如此之黏度，是使用流變計(型號RS1，HAAKE公司製)，以剪切速率1(1/s)的條件進行測定的值。

當塗布液23的黏度為100Pa‧s以下時，有塗布液23之操作性良好的優點。

又，本實施形態所使用的薄片構件21，可列舉例如樹脂膜。又，樹脂膜可列舉例如以下所示，日本發明公開公報特開2009-18227號的〔0034〕、〔0035〕段落所記載的樹脂膜等。

亦即，樹脂膜並無特別限定，可因應用途而適宜選擇。例如，使用為光學用途的樹脂膜，可以適當地使用由如下聚合物所形成的膜：聚對酞酸乙二酯、聚2,6萘二甲酸乙二酯等聚酯系聚合物、二乙酸纖維素、三乙酸纖維素等纖維素系聚合物、聚碳酸酯系聚合物、聚甲基丙烯酸甲酯等丙烯酸系聚合物、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯共聚物等苯乙烯系聚合物、聚乙烯、聚丙烯、具有環狀至降莰烯構造的聚烯、乙烯-丙烯共聚物等烯烴系聚合物、氯乙烯系聚合物、耐綸或芳香族聚醯胺等醯胺系聚合物等的透明聚合物。

此外，使用為光學用途的樹脂膜，也可列舉如由如下之聚化物所形成的膜等：醯亞胺系聚合物、碸系聚合物、聚醚碸系聚合物、聚醚醚酮系聚合物、聚苯硫系聚合物、乙烯醇系聚合物、二氯亞乙烯系聚合物、乙烯醇縮丁醛系聚合物、芳基酸酯聚合物、聚甲醛系聚合物、環氧系聚合物或前述聚合物之摻合物等的透明聚合物。

如此之薄片構件21的厚度，並無特別限定，例如其厚度以5~500μm為佳。

在圖1中，顯示了薄片構件21是具有可撓性之長尺狀的態樣，除此之外，也可採用單板狀的態樣、或是具非可撓性的態樣。

接著，說明使用了本實施形態之塗布裝置1的塗布膜40之製造方法。

本實施形態之塗布膜40的製造方法，使用上述塗布裝置1。

亦即，本實施形態之製造方法，使用構成如下述之塗布裝置1：具備有將塗布液23吐出至薄片構件21的模具3，模具3具有：一對模塊5、7，配置成彼此相對向；歧管25，形成於一對模塊5、7間，塗布液23被供給至寬度方向之第1端部25a側；及狹縫17，是形成於一對模塊5、7間的狹縫17，由歧管25供給塗布液23，把所供給之塗布液23從模具3之前端緣3a吐出，且歧管25是形成為：從寬度方向之第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近前端緣3a而相對於前端緣3a呈傾斜。

又，本實施形態之製造方法具備有如下步驟：形成步驟，為將塗布液23塗布於薄片構件21而形成塗布膜40；測定步驟，為測定形成於薄片構件21之塗布膜40的厚度中第1端部25a側之厚度T1與第2端部25b側之厚度T2；以及調整步驟，為根據上述測定步驟所測定出的結果，調整狹縫17之間隔D，當第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時，使狹縫17之間隔D變大，並且，當第1端部25a側之厚度T1大於第2端部25b側之厚度T2時，使狹縫17之間隔D變小。

又，本實施形態之製造方法中，在調整狹縫17之間隔D的步驟中，準備彼此厚度Ts不同的複數個填隙構件30，從該等複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30並使之隔在一對模塊5、7間，藉此來調整狹縫17之間隔D。

更具體而言，首先，從上述複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30，使之隔在一對模塊5、7間，組裝模具3。

接著，藉由泵9從收容部2透過配管11，將塗布液23供給至模具3之給液埠27。被供給至給液埠27的塗布液23，會從歧管25之第1端部25a側移動至第2端部25b側，並且供給至狹縫17，從狹縫17吐出而塗布於薄片構件21。藉由固化部13將塗布於薄片構件21的塗布液23固化，藉此形成塗布膜40。

然後，藉由厚度測定部19來測定塗布形成於薄片構件21的塗布膜40之厚度，也就是寬度方向上的第1端部25a側之厚度T1、以及第2端部25b側之厚度T2。

接著，根據厚度測定部19所測定出的結果，如圖5所示，當第1端部25a側的塗布膜40之厚度T1小於第2端部25b側的塗布膜40之厚度T2時，如圖6所示，從複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30，使之隔在一對模塊5、7間，再度組裝模具3，以使狹縫17之間隔D變大。

另一方面，如圖7所示，當第1端部25a側的塗布膜40之厚度T1大於第2端部25b側的塗布膜40之厚度T2時，如圖8所示，從複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30，使之隔在一對模塊5、7間，再度組裝模具3，以使狹縫17之間隔D變小。

如此，在寬度方向全體地調整狹縫17之間隔D。

而且，如上述般地調整狹縫17之間隔D，再度從模具3將塗布液23塗布於薄片構件21而形成塗布膜40。

另外，如前所述，在圖2之態樣中，是採用在線上測定塗布膜40之厚度T1、T2的線上厚度計。不過，在本實施形態中，只要可以測定塗布膜40之厚度T1、T2，其測定方法並無特別限定。其他例如，也可沿著寬度方向切取形成有塗布膜40的薄片構件21而採取出試料片，在離線測定該試料片中的塗布膜40之厚度T1、T2。

如上所述，本實施形態之塗布裝置1是構成為：具備有將塗布液23吐出至被塗布物(薄片構件)21的模具3，前述模具3具有：一對模塊5、7，配置成彼此相對向；歧管25，形成於前述一對模塊5、7間，前述塗布液23被供給至寬度方向之第1端部25a側；及狹縫17，是形成於前述一對模塊5、7間的狹縫17，由前述歧管25供給前述塗布液23，把所供給之前述塗布液23從模具3之前端緣3a吐出，且前述歧管25是形成為：從前述寬度方向之前述第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近前述前端緣3a而相對於前述前端緣3a呈傾斜，又，前述狹縫17之間隔D可進行調整，當形成於前述被塗布物21的塗布膜40之厚度中前述第1端部25a側之厚度T1小於前述第2端部25b側之厚度T2時，使前述狹縫17之間隔D變大，並且，當前述第1端部25a側之厚度T1大於前述第2端部25b側之厚度時，使前述狹縫17之間隔D變小。

根據如此之構成，歧管25是配置成從第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近模具3之前端緣3a而相對於該前端緣3a呈傾斜，因此，會讓塗布膜40之厚度參差不均成為如下之任一狀態：第1端部25a側之厚度T1變得比第2端部25b側之厚度T2大，或者，第1端部25a側之厚度T1變得比第2端部25b側之厚度T2小(參照圖5、圖7)。

又，在第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2的情況下(參照圖5)，通過狹縫17的塗布液23在第1端部25a側的壓力損失，會比第2端部25b側的壓力損失大。因此，此時，使狹縫17之間隔D較大，藉此讓第1端部25a側之壓力損失降低的量變得比第2端部25b側之壓力損失降低的量還大，這麼一來，兩端部側之間的壓力損失的差會變小。藉此，由於可以讓第1端部25a側與第2端部25b側的壓力損失之平衡呈適切狀態，所以可以抑制厚度的參差不均。

另一方面，在第1端部25a側之厚度T1大於第2端部25b側之厚度T2的情況下(參照圖7)，通過狹縫17的塗布液23在第1端部25a側的壓力損失，會比第2端部25b側的壓力損失小。因此，使狹縫17之間隔D較小，藉此讓第1端部25a側之壓力損失增加的量變得比第2端部25b側之壓力損失增加的量還大，這麼一來，兩端側之間的壓力損失的差會變小。藉此，由於可以讓第1端部25a側與第2端部25b側的壓力損失之平衡呈適切狀態，所以可以抑制厚度的參差不均。

如此，僅根據在第1端部25a側與第2端部25b側的塗布膜40之厚度，來變更狹縫17之間隔D，就可以得到抑制了厚度參差不均的塗布膜40。

因此，可較簡易且確實地得到抑制了寬度方向之厚度參差不均的塗布膜40。

又，在本實施形態之塗布裝置1中，是構成為：更具備有彼此厚度Ts不同的複數個填隙構件30，從該等複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30並使之隔在一對模塊5、7間，藉此來調整狹縫17之間隔D。

根據如此之構成，當第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時(參照圖5)，選擇厚度較大的填隙構件30而使狹縫17之間隔D變大(參照圖6)，藉此，可調整狹縫17之間隔D。另一方面，當第1端部25a側之厚度T1大於第2端部25b側之厚度T2時(參照圖7)，選擇厚度較小的填隙構件30而使狹縫17之間隔D變小(參照圖8)，藉此，可調整狹縫17之間隔D。

如此，藉由選擇填隙構件30，可調整狹縫17之間隔D。

在此，例如在鎖緊螺栓而調整狹縫17之間隔D的情況下，當螺栓變鬆，特地調整好的狹縫17之間隔D會有變動之虞。但是，根據上述構成，藉由使填隙構件30隔在一對模塊5、7間，比起使用螺栓的情況，狹縫17之間隔D更不易變動。

因此，可以更加簡易並且確實地得到抑制了在寬度方向上之厚度參差不均的塗布膜40。

本實施形態之塗布膜40之製造方法，使用構成如下述之塗布裝置1：具備有將塗布液23吐出至被塗布物(薄片構件)21的模具3，前述模具3具有：一對模塊5、7，配置成彼此相對向；歧管25，形成於前述一對模塊5、7間，前述塗布液23 被供給至寬度方向之第1端部25a側；及狹縫17，是形成於前述一對模塊5、7間的狹縫17，由前述歧管25供給前述塗布液23，把所供給之前述塗布液23從模具3之前端緣3a吐出，且前述歧管25是形成為：從前述寬度方向之前述第1端部25a側越往第2端部25b側，會越接近前述前端緣3a而相對於前述前端緣3a呈傾斜，又，本實施形態之塗布膜40之製造方法具備有如下步驟：形成步驟，為將前述塗布液23塗布於前述被塗布物21而形成塗布膜40；測定步驟，為測定形成於前述被塗布物21之塗布膜40的厚度中前述第1端部25a側之厚度T1與前述第2端部25b側之厚度T2；以及調整步驟，為根據前述測定步驟所測定出的結果，調整前述狹縫17之間隔D，當前述第1端部25a側之厚度T1小於前述第2端部25b側之厚度T2時，使前述狹縫17之間隔D變大，並且，當前述第1端部25a側之厚度T1大於前述第2端部25b側之厚度T2時，使前述狹縫17之間隔D變小。

藉由如此之構成，根據測定了第1端部25a側之厚度T1與第2端部25b側之厚度T2的結果，與上述一樣，當第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時，可以調整狹縫17之間隔D，使狹縫17之間隔D變大。另一方面，當第1端部25a側之厚度T1大於第2端部25b側之厚度T2時，可以調整狹縫17之間隔D，使狹縫17之間隔D變小。

如此，藉由調整狹縫17之間隔D，可以抑制所得到的塗布膜40之厚度在寬度方向上的參差不均。

因此，可以較簡易地得到抑制了塗布膜40之厚度在寬度方向上之參差不均的塗布膜。

在本實施形態之塗布膜40之製造方法中，在調整前述狹縫17之間隔D的步驟中，準備彼此厚度Ts不同的複數個填隙構件30，從前述複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30並使之隔在前述一對模塊5、7間，藉此來調整前述狹縫17之間隔D。

藉由如此之構成，根據測定了第1端部25a側之厚度T1與第2端部25b側之厚度T2的結果，與上述一樣，當第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時，可以選擇填隙構件30來調整狹縫17之間隔D，使狹縫17之間隔D變大。另一方面，當第1端部25a側之厚度T1小於第2端部25b側之厚度T2時，可以選擇填隙構件30來調整狹縫17之間隔D，使狹縫17之間隔D變小。

如此，藉由選擇填隙構件30，可調整狹縫17之間隔D。

又，與上述一樣，藉由使填隙構件30隔在一對模塊5、7間，狹縫17之間隔D不易變動。

因此，可更加簡易且確實地得到抑制了塗布膜40之厚度在寬度方向上之參差不均的塗布膜40。

如以上所述，根據本實施形態之塗布裝置1及塗布膜40之製造方法，可較簡易且確實地得到抑制了塗布膜40之厚度在寬度方向上之參差不均的塗布膜40。

【實施例】

接著舉出實施例更詳細地說明本發明，但本發明並不限定於該等實施例。

參考實驗例

使用如圖1所記載之塗布裝置。薄片構件是使用聚對酞酸乙二酯(PET)膜(製品名MRF-38，三菱樹脂公司製，寬度1920mm，厚度38μm)。塗布液是使用將丙烯酸樹脂溶解於乙酸乙酯的溶液。塗布液的黏度是使用流變計(RS1，HAAK公司製)以剪切速率1s^-1進行測定的結果，為10Pa/s。歧管相對於與模具前端緣平行之假想直線的傾斜角度是設定為0.19°。此模具如表1所示，是設定為：當薄片構件21之移動速度為20m/min、藉由泵供給至模具的流量為8.8L/mim、填隙構件的厚度為450μm時，塗布膜在厚度之寬度方向上的參差不均較少。

使用如此之模具，以表1之條件，將塗布液塗布於薄片構件而形成了塗布膜。

接著，藉由厚度測定部(商品名MCDP3700，大塚電子公司製)來測定所形成的塗布膜之厚度、也就是歧管之第1端部側之厚度T1與第2端部側之厚度T2。厚度T1、T2是在與塗布膜的第1端部側之端緣、及第2端部側之端緣分別距離5mm的位置進行測定。關於藉由測定所得到的第1端部側之厚度T1、與第2端部側之厚度T2，是將第2端部側之厚度T1對於第2端部側之厚度T2的差(T1-T2)，除以該等厚度T1及T2之平均值，藉此算出無因次膜厚偏差。亦即，根據下述數式進行計算，藉此來算出無因次膜厚偏差。

無因次膜厚偏差(-)=(T1-T2)/(T1及T2的平均值)

結果如表1所示。另外，無因次膜厚偏差表示塗布膜在厚度之寬度方向上之參差不均的大小，此無因次膜厚偏差的絕對值越大，表示厚度參差不均越大。如表1所示，無因次膜厚偏差非常地小。

實驗例1

如表1所示，除了將薄片構件的移動速度變更為10m/min、流量變更為4.4L/min以外，都與參考實驗例一樣，將塗布液塗布於薄片構件而形成塗布膜。

與參考實驗例一樣，對於所形成之塗布膜的厚度，測定第1端部側之厚度T1與第2端部側之厚度T2。從藉由測定所得到的第1端部側之厚度T1、與第2端部側之厚度T2，算出無因次膜厚偏差。結果顯示於表1。

結果，因為變更薄片構件的移動速度及塗布液的流量，無因次膜厚偏差的絕對值比參考實施例大出很多。又，從無因次膜厚偏差為負的值(-0.10)，可知：第1端部側之厚度T1小於第2端部側之厚度T2。

因此，分解模具，用具有500μm厚度的填隙構件，來代替具有450μm厚度的填隙構件，夾持於2個模塊，再度組裝模具。藉由如此地交換填隙構件，使狹縫之間隔變大，該變大的量是交換前後之填隙構件的厚度的差。

然後，以與填隙構件交換前的相同條件，於薄片構件形成塗布膜，對於所形成的塗布膜，測定第1端部側之厚度T1與第2端部側之厚度T2。

結果，如表1所示，無因次膜厚偏差為-0.01。藉此，可知：關於無因次膜厚偏差的絕對值，填隙構件變更後的值比起變更前要小很多，已抑制了厚度的參差不均。又，可知：可得到與參考實驗例為相同程度的無因次膜厚偏差的結果。

實驗例2

如表1所示，除了把薄片構件的移動速度變更為30m/min、流量變更為13.2L/L以外，都與參考實驗例一樣，將塗布液塗布於薄片構件而形成塗布膜。

結果，因為變更薄片構件的移動速度及塗布液的流量，無因次膜厚偏差的絕對值比參考實施例大出很多。又，從無因次膜厚偏差為正的值(0.14)，可知：第1端部側之厚度T1大於第1端部側之厚度T2。

因此，分解模具，用具有400μm厚度的填隙構件，來代替具有450μm厚度的填隙構件，夾持於2個模塊，再度組裝模具。藉由如此地交換填隙構件，使狹縫之間隔變小，該變小的量是交換前後之填隙構件的厚度的差。

結果，如表1所示，無因次膜厚偏差為0.01。藉此，可知：關於無因次膜厚偏差的絕對值，填隙構件變更後的值比起變更前要小很多，已抑制了厚度的參差不均。又，可知：可得到與參考實驗例為相同程度的無因次膜厚偏差的結果。

實驗例3

使用除了歧管形成為與前端緣呈平行以外，都與參考實驗例同樣的塗布裝置。使用與參考實驗例同樣的薄片構件及塗布液，如表2所示，設定薄片構件的移動速度及塗布液的流量。而且，如表2所示，分別於2個模塊夾持分別具有400μm、200μm、150μm、100μm之厚度的填隙構件，將塗布液塗布於薄片構件而形成塗布膜。

與參考實驗例一樣，測定所形成的塗布膜之厚度、也就是歧管之第1端部側(塗布液的供給側)及第2端部側(塗布液的排出側)的厚度，從所得到的結果，算出無因次膜厚偏差。結果顯示於表2。

如表2所示，可知：填隙構件的厚度越大，無因次膜厚偏差有越大的傾向。又，即使填隙構件的厚度較小，比起實驗例1及2，在實驗例3，抑制無因次膜厚偏差的程度依然不夠充分。另外，在使用了厚度為100μm之填隙構件的情況下，由於超過了模具、泵、配管的容許壓力，所以無法將塗布液進行塗布。結果，可知：在使用了與前端緣平行地形成歧管之模具的情況下，無法像相對於前端緣呈傾斜地形成有歧管的模具那樣抑制厚度參差不均。

本實施形態之塗布裝置及塗布膜之製造方法，如上所述，但本發明並不限定於上述實施形態，可在本發明之意圖範圍內進行適宜的設計變更。

例如，在上述實施形態中，採用了從彼此厚度不同的複數個填隙構件30選擇一個填隙構件30，藉此來調整狹縫17之間隔D的態樣，但調整狹縫17間隔的態樣，並不特別限定於上述實施形態。例如，也可採用如下之態樣：塗布裝置1沿著寬度方向具有複數個將第1模塊5按壓於第2模塊7(或將第2模塊7按壓於第1模塊5)而可變更狹縫17之間隔 D的螺栓，朝寬度方向全體同樣地變更該等複數個螺栓之鎖緊程度，而來調整狹縫17之間隔D。