JP2003211027A

JP2003211027A - ノズル

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Publication number: JP2003211027A
Application number: JP2002012122A
Authority: JP
Inventors: Yoshinari Iwamura; 吉就岩村; Kazuhiko Harada; 和彦原田; Yasuyuki Harada; 康行原田; Kenji Isa; 健次伊佐
Original assignee: H Ikeuchi and Co Ltd
Current assignee: H Ikeuchi and Co Ltd
Priority date: 2002-01-21
Filing date: 2002-01-21
Publication date: 2003-07-29
Anticipated expiration: 2022-01-21
Also published as: JP3856210B2

Abstract

(57)【要約】【課題】二重管方式を用いずに、広い範囲に亙って噴
射量がバラツキなく均一となるスリット・ノズルを提供
する。【解決手段】流入口１３から噴射口１８にかけて、順
次、流入口１３に連通する流入路１４、該流入路１４に
連通する第１小径流路１５、該第１小径流路１５に連通
して流路を２方向に分離した後に合流させる整流室１
６、該整流室１６に連通する第２小径流路１７、該第２
小径流路１７に連通したスリット状の噴射口１８を連続
的に設けており、整流室１６は円環流路からなり、円環
の中心を第１、第２小径流路１５、１７の軸線と一致さ
せ、第１小径流路１５からの流体を円環の両側半周部１
６ａ、１６ｂに流通させて２方向に分離した後に第２小
径流路１７へ合流させて流通させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、スリット状の噴射
口から液体あるいは気体からなる一流体を噴射するノズ
ルに関し、特に、５００ｍｍ以上等の長い水平方向に亙
って流体を噴射するスリット・ノズルに好適に用いられ
るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来よりエレクトロニクス関連、製鉄関
連、食品関連等において、処理物への液の塗布、冷却、
洗浄等の種々の用途において、液体あるいはエアを直線
状に強い打力で吹き付けるスリット・ノズルが用いられ
ている。例えば、液晶基板の製造工程においては、現像
液の吹き付け、剥離液の吹き付け、水洗、水切り用とし
て、スリット・ノズルが用いられている。近時、液晶基
板の大型化に伴い、１つのスリット・ノズルで広範囲に
亙って噴射できることが要望されている。

【０００３】上記のように、噴射口を横長として広い範
囲で噴射するノズルでは、噴射流量の分布にバラツキを
なくすには、流体を均等に横長な噴射口へと分配して流
通させることが不可欠の要素となる。

【０００４】この種の均等分配を図るものとして、図１
２（Ａ）（Ｂ）に示す二重管方式のスリット・ノズルが
提供されている。上記スリット・ノズルは、流体が供給
される円筒状の内管１の外周に流路２をあけて四角枠状
の外管３を被せ、内管１の上端に軸線方向のスリット１
ａを設けると共に、外管３の下頂点に軸線方向に噴射口
となるスリット３ａを設けている。上記スリット・ノズ
ルでは、内管１のスリット１ａから流路２に流体を流出
させ、流路２を通して外管２のスリット３ａから流体を
横方向に広い範囲に亙って噴射している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記二重管方式では、
内管１を外管３の内部に流路２となる隙間をあけて配置
する必要があるため、内管１と外管３とを溶接する場合
が多い。ノズルより薬液を流体として噴射する場合、内
管１および外管３はステンレス、テフロン（Ｒ）等で形
成する必要があり、ステンレス、テフロン（Ｒ）等では
溶接自体が困難であり、かつ、歪みが発生しやすい等の
問題がある。さらに、噴射口となるスリット３ａが外管
３に孔あき加工で形成されているため、用途に応じてス
リット３ａの幅を変えることも出来ず、汎用性がない問
題もある。さらに、円筒の内管１と四角筒の外管３の間
に形成される流路２の幅が広く且つ幅が不均一であるた
め、この流路２で流体が流れが乱れやすく、噴射口のス
リットへ供給される流体が不均一となりやすい問題もあ
る。

【０００６】本発明は上記問題に鑑みてなされたもの
で、二重管方式を用いずに、広い範囲に亙って噴射量が
バラツキなく均一となるスリット・ノズルを提供するこ
とを課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、ボディ内に流入口から噴射口にかけて、
順次、流入口に連通する流入路、該流入路に連通する第
１小径流路、該第１小径流路に連通して流路を２方向に
分離した後に合流させる整流室、該整流室に連通する第
２小径流路、該第２小径流路に連通したスリット状の上
記噴射口を連続的に設けていることを特徴とするノズル
を提供している。

【０００８】上記ノズルを長尺なものとする場合、軸線
方向に連続して設ける上記流入路、第１小径流路、整流
室、第２小径流路、スリット状の噴射口を、軸直角方向
にそれぞれ横長に設けている。流体の流入口と連通させ
る上記横長な流入路は分配流路となるために、連続する
第１小径流路に均等な流体圧で流体が分配されるように
断面積を比較的大きく設定している。上記流入路に連続
する第１小径流路は幅狭として流入路に流体が充満しや
すいようにしている。該第１小径流路と第２小径流路と
の間に流路を２方向に分ける整流室を設けていること
が、本発明のノズルにおいて重要な要件である。このよ
うに流体を２方向に分離した後に第２小径流路で合流さ
せることで、流体の流れに乱れを発生させずに、第２小
径流路において層状に整流した流体を得ることができ
る。この第２小径流路において層状に整流させた流体を
先端のスリット状の噴射口より噴射させることで、スリ
ット状の噴射口が横方向に長い場合においても、その全
長に亙って噴射量の均一化を図ることができる。

【０００９】上記整流室の流路幅は上記第１小径流路お
よび第２小径流路の流路幅の５０％以下、好ましくは２
０％以下で、より小さくすることが好ましい。具体的に
は、流体が非圧縮性流体あるいは液体の場合は、第１、
第２小径流路の流路幅が２．５ｍｍの場合、整流室の流
路幅は０．３ｍｍ程度とすることが好ましい。また、流
体が圧搾空気等の圧縮性流体の場合は整流室の流路幅は
０．５ｍｍ〜１ｍｍとすることが好ましい。このよう
に、第１小径流路からの流体を２方向に分離して流通さ
せる整流室の流路幅を減少することにより、供給流量の
均等分配を図ることができると共に整流化を促進でき
る。また、合流する第２小径流路の流路幅を整流室の流
路幅より大とすることで、第２小径流路での流速が落ち
て層流化を促進することができる。

【００１０】上記整流室は円環流路とし、円環の中心を
上記第１、第２小径流路の軸線と一致させ、上記第１小
径流路からの流体を円環の両側半周部に流通させて２方
向に分離した後に第２小径流路へ合流させて流通させる
構成としている。上記のように円環流路とすると、２方
向に分かれる整流室の流路幅の夫れ夫れ第１小径流路に
連通する流入部から第２小径流路と連通する流出部の全
長に亙って均一とすることができる。かつ、第１小径流
路からの流体を正確に２分割して２方向に分流させるこ
とができ、かつ、合流する第２小径流路において、整流
室の２方向の流路から同量の流体が流入することで層流
化を確実に図ることができる。

【００１１】上記ノズルは、具体的には、２重管を用い
る代わりに、２枚の金属板や合成樹脂板などを重ね合せ
結合して形成している。即ち、上記ボディは、横長な第
１部材と第２部材とをボルトで前後方向に締結して形成
し、該第１部材と第２部材との対向面には、それらの上
端から間隔をあけた位置より下端にかけて、上記流入
路、第１小径流路、整流室、第２小径流路、スリット状
噴射孔を形成する凹部を設け、第１部材と第２部材とを
締結することで、ボディの長さ方向に沿った横長な上記
流入路、第１小径流路、整流室、第２小径流路、スリッ
ト状噴射孔を上下方向に連続して設け、かつ、かつ、上
記流入路に上記第１部材あるいは／および第２部材の側
面、上面あるいは長さ方向の端面に流入口を連通させ、
さらに、上記第１小径流路を貫通する位置でスリット幅
調整用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを締結
している。

【００１２】上記第１部材と第２部材とは横長で厚肉な
平板からなり、各平板の対向面に上記流入路、第１小径
流路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を凹設
している。上記第１部材と第２部材との重ね合わせる対
向面は互いに密着させてメタルシールとしているが、シ
ール用シート等からなるパッキンを介在させてもよい。
第１部材と第２部材とを横長とすることにより、噴射口
のスリットを所要寸法の横長とすることが容易にでき
る。かつ、第１部材と第２部材との対向面に設けた凹部
を組み合わせることで、上記流入路、第１小径流路、整
流室、第２小径流路、スリット状の噴射口を軸線方向に
連続して容易に設けることができる。また、第１部材と
第２部材とを締結する上記ボルトは上記流入路の上方位
置に配置しているため、流路に影響が及ばないようにす
ることができる。

【００１３】上記第１小径流路を貫通する位置でスリッ
ト幅調整用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを
締結している。上記締付ボルトの間に押付ボルトを第１
部材側からネジこみ、その軸部先端を第２部材に押し当
ててスリット幅を横方向に均一となるように精度よく調
整している。このように、スリット状の噴射口の真上に
近い位置でスリット幅調整用の締付ボルトを用いて第１
部材と第２部材とを締結することにより、スリット幅を
横長方向に精度良く組みつけることができる。かつ、こ
のスリット幅調整用の締付ボルトおよび押付ボルトを第
１小径流路を貫通する位置に設けると、流体の流れが上
記スリット幅調節ボルトにより若干乱れるが、その下流
に上記整流室を設けているため、乱れた流体の流れを整
流化することができる。

【００１４】あるいは、上記第１部材と第２部材とは薄
板を屈曲加工して上記流入路、第１小径流路、整流室、
第２小径流路を設け、該第２流路形成部の先端を外向き
に傾斜させ、該傾斜部にそれぞれ重ねわせてスリット幅
調整用のスライド板を取り付け、両側のスライド板の間
にスリット状噴射孔を設けてもよい。上記薄板からなる
第１部材、第２部材として金属板を用い、プレス等で屈
曲加工し、これら第１部材と第２部材とを溶接で一体化
している。上記構成とした場合も、第１部材と第２部材
との傾斜部に丸穴を設ける一方、上記スライド板に長穴
を設けて、両側のスライド板を近接離反する方向にスラ
イドさせて傾斜板にボルトとナットで締結することで、
スリット幅の調整を容易に行うことができる。

【００１５】なお、ノズルのボデイは、上記のように第
１部材と第２部材とを前後に重ね合わせて形成する事が
好ましく、これら第１部材、第２部材は樹脂成形で形成
することが好ましいが、金属製としてもよい。また、ノ
ズル長さが比較的短い場合等においては、第１部材、第
２部材を分割せずに、樹脂成形で一体的なボデイを設け
てもよい。あるいは、１枚の金属板を連続して屈曲加工
し、これを２つ折り状態とし、対向面に上記流入路、第
１小径流路、整流室、第２小径流路となる凹部を配置し
てボデイを形成してもよい。

【００１６】上記スリット状噴射孔のスリット幅が０．
５ｍｍ以下の場合は、第１部材と第２部材のいずれか一
方に凹部を設け、いずれか他方はフラットとし、これを
組み合わせて形成することが好ましい。上記のように一
方側にのみ凹部を設けてスリットを形成すると、スリッ
ト幅をより細くできると共に、該スリット幅の調整を容
易に行うことができる。上記スリット幅が０．５ｍｍを
越えると、第１部材と第２部材の対向面の両方に凹部を
設け、組み合わせて形成してもよい。

【００１７】また、横方向に長い流入路に連通する流入
口は、第１部材あるいは第２部材の側面に設け、流入路
の側面に流入口と連通させ、流入口から流入路に流入し
た流体を９０度向きを変えて流入路に流通させることが
好ましい。該構成とすると、流体の流れを低下させて、
横方向に長い流入路内において供給流量の均一化を図る
ことができる。上記流入路と連通させる上記流入口の位
置は、使用流体が非圧縮性流体あるいは液体の場合は、
横方向に延在する流入路の略中央位置に１または複数個
設けている。このように、流入路の中央から両端に向か
って流体を供給すると、長い流入路への供給流量の均等
化を促進できるために好ましい。なお、使用流体が圧搾
空気等の圧縮性流体の場合は、流入口は流入路に均等に
配置した方が好ましい。さらに、流入路に対して側方か
らではなく、噴射口と対向する流路軸線方向の一端に流
入口を設けてもよく、さらに、流入路の長さ方向の一端
あるいは両端に流入口を設けてもよい。

【００１８】上記整流室は、第１部材と第２部材に整流
室の半側部となる半円状凹部を夫れ夫れ設け、組み合わ
せて断面円孔とし、その内部に円筒部材あるいは円柱部
材を隙間をあけて配置して上記円環流路を設けている。
上記のように形成すると、流路幅の小さい円環流路を簡
単に形成でき、かつ、中空部に配置する円筒部材あるい
は円柱部材の外径を変えることにより、流路幅の調整を
簡単に行うことができる。

【００１９】上記スリット状噴射孔の横長さは１００ｍ
ｍ以上１５００ｍｍ以下、スリット幅は０．０５ｍｍ以
上５ｍｍ以下とすることが好ましい。

【００２０】本発明のノズルに流通する流体として、コ
ンプレッサーからの圧搾空気を用いても良いし、ブロア
からの空気を用いてもよい。コンプレッサーからの圧搾
空気を用いる場合には、上記スリット幅は０．０５ｍｍ
〜０．５ｍｍ程度の細幅とし、ブロアからの空気の場合
にはコンプレッサーの場合と比較してスリット幅を広く
している。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面を参照し
て説明する。図１乃至図７に示す第１実施形態のノズル
１０は、合成樹脂品からなる横長な第１部材１１と第２
部材１２とでボデイを形成している。第１部材１１と第
２部材１２とは、図中上端及び左右両端を固定ボルト１
９で締結し、かつ、下部をスリット幅調整用の締付ボル
ト２０で締結すると共に、該締付ボルト２０の間に押付
ボルト４０を取り付けて一体化している。

【００２２】上記横長な第１部材１１と第２部材１２に
は、その重ね合わせる対向面に、上記固定ボルト１９の
締結部の下部より下端にかけて、かつ、両端の固定ボル
ト２０の締結部を除く全長に亙って、後述する横長で且
つ深さを相違させた凹部を上下に連続して設け、これら
凹部を対向させて組み合わせることにより、図２及び図
３に示すように、上部側より流入路１４、第１小径流路
１５、整流室１６、第２小径流路１７を上下に連続さ
せ、第２小径流路１７より下端にかけて横長なスリット
状噴射孔１８を設け、その先端を噴射口１８ａとしてい
る。

【００２３】詳細には、第１部材１１は、締付ボルト２
０が存在する位置の断面図である図２、図４に示すよう
に、上方に固定ボルト挿通孔２２を、下方に締付ボルト
挿通孔３１を設けている。図３、図５は押付ボルト４０
が存在する位置の断面図であり、上方に固定ボルト挿通
孔２２を、下方に押付ボルト挿通孔４１を設けている。

【００２４】第１部材１１には、ボディ長手方向の中
央付近に間隔をあけて２つの流入口１３を設けている。
これら流入口１３には流体供給管（図示せず）が接続さ
れる。第１部材１１の裏面側の第２部材１２との対向
側には、流入口１３と連通する位置から下端にかけて、
底深凹部２７、第１底浅凹部２９、半円状凹部３３、第
２底浅凹部３５、極浅凹部２４を上下に連続させて形成
している。上記第２浅底凹部３５の下部はテーパ部３５
ａとし、該テーパ部３５ａの先端にスリット状噴射孔１
８を形成する上記極浅凹部２４を連続させている。

【００２５】上記第１底浅凹部２９の上下方向の中間位
置に、上記締付ボルト挿通孔３１と押付ボルト挿通孔４
１とを横長さ方向に間隔をあけて交互に流路と直交させ
て設けている。締付ボルト挿通孔３１の内周面にはネジ
を刻設していないが、押付ボルト挿通孔３１の小径の軸
部内嵌部にはネジ４１ａを刻設している。また、上記固
定ボルト挿通孔２２の内周面にはネジ２２ａを刻設して
いる。

【００２６】第２部材１２は、第１部材１１との対向側
に、ネジ２３ａを刻設した固定ボルト挿通孔２３を穿設
し、その下方に底深凹部２８、第１浅底凹部３０、半円
状凹部３４、第２底浅凹部３６を上下に連続させて形成
している。第１部材１１に設けた極浅凹部は第２部材１
２には設けずフラットなままとしている。上記第２浅底
凹３６の下部はテーパ部３６ａとし、かつ、第１浅底凹
部３０の中間位置に締結ボルト挿通孔３２を設け、その
内周面にネジ３２ａを刻設している。なお、第１部材１
１に設けた押付ボルト挿通孔は設けていない、

【００２７】第１部材１１と第２部材１２とを重ね合
せ、連通させた固定ボルト挿通孔２２、２３に固定ボル
ト１９をネジ込んで締結し、同じく連通させた締付ボル
ト挿通孔３１と３２とに締付ボルト２０をＯリング２１
を介して締結する。この状態で、第１部材１１と第２部
材１２の深底凹部２７と２８が組み合わされて流入路１
４が形成され、第１浅底凹部２９と３０とが組み合わさ
れて第１小径流路１５が形成され、半円状凹部３３と３
４が組み合わされて整流室１６の外壁が形成され、第２
浅底凹部３５と３６とが組み合わされて第２小径流路１
７が形成される。該第２小径流路１７のテーパ状の縮径
した下端に、第１部材１１の極浅凹部２４と第２部材１
２のフラット面との間に形成されるスリット状噴射孔１
８が連続することとなる。本実施形態では、上記第１小
径流路１５と第２小径流路１７の幅は同一幅としてい
る。

【００２８】上記整流室１６の断面円形となる外壁の内
部には、その内面と隙間をあけて円柱部材２５を配置
し、円環流路からなる整流室１６を設けている。図４及
び図７に示すように、円柱部材２５は横方向に延在し、
その軸線方向の所要位置に間隔をあけて薄肉（０．５ｍ
ｍ程度）・狭幅のリング２６を外嵌し、該リング２６を
半円状凹部３３、３４の内面に押し当てることで、円柱
部材２５を隙間をあけて支持している。上記リング２６
は、本実施形態では１５０ｍｍ間隔をあけて取り付けて
いる。

【００２９】上記円環状流路からなる整流室１６の幅Ｌ
２は、第１、第２小径流路１５、１７の幅Ｌ１の５０％
以下の設定している。上記円柱部材２５の中心を第１、
第２小径流路１５、１７の軸線と一致させ、整流室１６
の上頂点は第１小径流路１５の下端流出口の幅方向の中
心に位置し、下頂点は第２小径流路１７の上端流入口の
幅方向の中心に位置させている。整流室１６を上記構成
とすることで、第１小径流路１５からの流体が両側半周
部１６ａ、１６ｂへと２分割された状態で２方向に別れ
て流れ、下端流出口から第２小径流路１７へと合流して
流れこみ、２方向から流入する流体が層流となって第２
小径流路１７内を流れ、その後、スリット状噴射孔１８
へと流入して、先端噴射口１８ａより噴射されるように
している。

【００３０】上記第１小径流路１５の中央部に長さ方向
に間隔をあけて貫通する上記締付ボルト２０は、軸部先
端側にネジ２０ａを刻設し、頭部２０ｃ側にはネジを設
けずに平滑面２０ｂとしている。これにより、第１小径
流路１５を横断する部分に平滑面２０ｂを位置させて、
第１小径流路１５を流下する流体の気泡がネジに付着し
ないようにしている。また、第１部材１１と第２部材１
２の接合面はメタルシールとしてシール性を保っている
が、シートパッキンを入れてもよい。

【００３１】上記締付ボルト２０と交互に設ける押付ボ
ルト４０は図３、図５に示すように、締付ボルト２０よ
りも短尺とし、Ｏリング２１を介して押付ボルト挿通孔
４１にねじ込み、軸部先端面を第２部材１２の第１浅底
凹部３０に押し当てるようにしている。軸部は頭部４０
ｃ側にのみネジ４０ｂを刻設し、第１小径流路１５を横
断する先端側にはネジを設けずに平滑面４０ａとし、流
体の気泡がネジに付着しないようにしている。

【００３２】スリット状噴射孔の近傍の上流に取り付け
る上記締付ボルト２０は第１部材１１と第２部材にネジ
込むことにより、第１部材１１と第２部材１２とを近接
させて、スリット状噴射孔１８の幅Ｌ３が小さくなるよ
うに調節している。一方、押付ボルト４０を第１部材１
１の押付ボルト挿通孔４１にネジ込んで、軸部先端を第
２部材の浅底凹部に押し当てているため、押付ボルト４
０をネジ込むことによりスリット幅が大きくなるように
調整することができ、第２部材１２を第１部材１１から
離反保持して、締付ボルト２０により設定したスリット
幅を横長さな全長に均一となるように精度よく維持して
いる。

【００３３】本実施形態では、上記流入路１４、第１小
径流路１５、整流室１６、第２小径流路１７、スリット
状噴射孔１８およびその先端の噴射口１８ａの横長さＬ
４は６８０ｍｍに設定している。また、スリット状噴射
孔１８の幅Ｌ３は０．３ｍｍ、その長さ（上下寸法）は
３．５ｍｍとしている。第１、第２小径流路１５、１６
の流路幅Ｌ１は２．５ｍｍ、円環流路からなる整流室１
６の流路幅Ｌ２は０．３ｍｍとしている。流入路１４の
幅は第１小径流路の約５倍とし、かつ、２つの流入口１
３の断面積の和は噴射口断面積の約２倍となるように設
定している。さらに、締付ボルト２０と押付ボルト４０
は３０ｍｍピッチで取り付けている。

【００３４】以下に、上記ノズル１０の作用について説
明する。上記のように、ノズル１０は第１部材１１と第
２部材１２とを組み合わせて形成し、流体供給管（図示
せず）を流入口１３に連結している。流入口１３から流
体（気体あるいは液体）をノズル１０内に供給し、流入
口１３→流入路１４→第１小径流路１５→整流室１６→
第２小径流路１７→スリット状噴射孔１８の順に流れ、
スリット状噴射孔先端の噴射口１８ａより噴射してい
る。

【００３５】上記流入口１３より横長な流入路１４の中
央部に軸直角方向より流体が流入し、向きを変えて流入
路１４に流れ込むため流速が低下し、かつ、流入路１４
の断面積を大としているため、両側へと速度を落として
流れ込み、流入路１４内において横方向の全長に亙って
均等に流体が分配される。

【００３６】流入路１４に流入した流体は、該流入路１
４に連通した第１小径流路１５の幅を狭くしているた
め、流体は速度を速めて第１小径流路１５に流入し、つ
いで、円環状の整流室１６へと流入する。

【００３７】整流室１６では、第１小径流路１５からの
流体が両側半周部１６ａ、１６ｂに２分されて流通し、
流体は２方向に分離され、第２小径流路１７へと合流し
て流入する。整流室１６の流路幅Ｌ２を第１小径流路１
５および第２小径流路１７の流路幅Ｌ１の５０％以下と
しているため、第１小径流路１５から整流室１６に流入
した流体は流路縮小に伴なう加圧で両側半周部１６ａ、
１６ｂに均一に分配・整流されると共に、整流室１６か
ら第２小径流路１７に流入する際に流路拡大により減速
して層流化する。

【００３８】第２小径流路１７の下端はテーパー状に縮
径しているため、狭幅のスリット状噴射孔１８へ流速を
速めて流入し、先端の噴射口１８ａから外方に、直線状
で且つ膜状の液体が噴射される。

【００３９】本発明のノズル１０では、特に、先端が噴
射口１８ａとなる比較的流路が長いスリット状噴射孔１
８の近くの上流に円環状流路を有する整流室１６を設
け、ここで流体を２方向に分離して流通させ、かつ、こ
の各半円環状の流路断面積を均一とすると共に流路幅を
上流側の第１小径流路幅の５０％以下としていることよ
り、流路が５００〜１０００ｍｍ程度の非常に横長とし
た場合において、均等な流量分布を達成することができ
る。それにより、横長さな噴射口１８ａからの噴量を長
さ方向の全体にわたって均等化し、バラツキが発生する
のを防止できる。

【００４０】上記実施形態はポンプからの液体噴射用で
あるため、スリット状噴射孔１８の幅を０．３ｍｍとし
ているが、コンプレッサーからの圧搾空気を噴射する場
合には、上記スリット幅を０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍ
と小さくしている。

【００４１】スリット噴射孔１８のスリット幅Ｌ３の調
整は、前記のように、スリット幅調整用の締付ボルト２
０と押付ボルト４０とのネジ込み量により簡単に調整す
ることができる。特に、上記実施形態では、スリット状
噴射孔１８は、第１部材１１側にのみ極浅凹部２４を設
けて、第２部材１２のフラット面と重ね合わせているた
めに、スリット幅の微調整が容易に行える。かつ、一方
側の部材にのみ凹部を設けてスリット状の噴射孔１８を
形成するとスリット幅をより細くできる。しかも、スリ
ット幅を大きく変える場合には、第１部材１１側のみを
交換して第２部材１２は共用化することができ、部品の
共用化を図ることができる。なお、図６（Ｂ）に示すよ
うに、第１部材１１と第２部材１２の対向面の両方に極
底浅凹部２４、２４’を設けて組み合わせて、スリット
状噴射孔１８を形成してもよい。なお、流体がコンプレ
ッサーからの圧搾空気が供給される場合にスリット幅Ｌ
３を上記数値範囲内で幅狭とし、ブロアーにより圧力空
気が供給される場合にはスリット幅Ｌ３を上記数値範囲
内で幅広とし、かつ、水等の液体の場合は０．３ｍｍ〜
１ｍｍの範囲で設定している。

【００４２】また、本実施形態では、噴射口の横長さＬ
４は６８０ｍｍとしているが、１００ｍｍ以上１５００
ｍｍ以下の範囲に設定するのが好適である。流入口１３
の流路面積は、スリット状噴射孔１８の噴射口１８ａの
流路面積の１．２〜２倍の範囲とするのが好適であり、
よって、噴射口の長さＬ４を大きくして、さらに、ノズ
ルを大型化した場合、流入口１３を中央部に３個以上配
置して、流入量を増加している。

【００４３】なお、上記実施形態では、ノズルのボディ
を第１部材と第２部材とを前後に重ねて締結して形成し
ているが、横方向の長さが比較的小さい場合、ボディを
第１部材と第２部材とに分割せず、樹脂成形で一体的に
設けてもよい。このように、一体化した場合には、整流
室用として断面円形孔として貫通して設け、該貫通孔に
丸棒を隙間をあけて貫通させ、上記実施形態と同様な流
路幅が細く且つ均一な円環流路からなる整流室を設けて
いる。

【００４４】図８は第１実施形態の変形例を示し、流入
口２２’は第１部材１１、第２部材１２に上端を開口す
ると共に下端を流入路と連通させた凹部２２ａ’と２２
ｂ’とを組み合わせて形成している。流体が液体の場合
は第１実施形態と同様に横長な流入路の中央部に設け、
流体が気体（エア）の場合は流路路の長さ方向に均等な
間隔をあけて設けている。

【００４５】図９乃至図１１は第２実施形態を示し、第
１部材１１’、第２部材１２’は薄い金属板をプレスに
より屈曲加工して形成している。即ち、上端より大きな
半円弧状部を設けて流入路用凹部２７’、２８’を形成
し、続いて直線部を設けて第１小径流路部２９’３０’
を設け、次ぎに、小さな半円弧状部を設けて整流室用凹
部３３’、３４’を設け、その下部に直線部を設けて第
２小径流路部３５’３６’を設けている。第２小径流路
部３５’、３６’の下端は外上向きな傾斜部５０、５１
を設け、スライド板５２、５３を重ね併せてボルト５４
とナット５５とを締結し、スライド板５２と５３との間
にスリット状噴射孔２４’を設け、その先端を噴射口１
８’としている。

【００４６】上記第１部材１１’と第２部材１２’の上
端部を溶接６０により一体的に固着して、上記流入路用
凹部２７’、２８’とから流入路１４’、第１小径流路
１５’、円形の整流室１６の外壁、第２小径流路１７’
を形成し、該第２小径流路１７’の下端を上記スリット
状噴射孔２４’に連通させている。

【００４７】上記整流室用凹部３３’と３４’とを組み
合わせて形成する整流室外壁の内部には隙間をあけて円
筒管２５’を貫通させ、該円筒管２５’の外周面から突
設した支持棒５７を外壁に当接させ、溶接６１により固
着している。これにより円環状の整流室１６’を設けて
いる。

【００４８】また、第１部材１１’、第２部材１２’と
を先端溶接部には、長さ方向に間隔をあけて流入管６２
を溶接し、該流入管６２を上記流入路１４’を軸線を一
致させて接続している。

【００４９】スリット状噴射孔を形成する上記傾斜部５
０、５１には丸穴５０ａ、５１ａを設ける一方、スライ
ド板５２、５３には長穴５２ａ、５３ａを設け、スライ
ド板５２、５３をスリット幅に応じて移動させ、長穴５
２ａ、５３ａより丸穴５０ａ、５１ａにボルト５４を通
してナット５５で締結している。

【００５０】さらに、第１部材１１’と第２部材１２’
の長さ方向の両端には蓋材６５を設け、溶接により第１
部材１１’、第２部材１２’と固着している。

【００５１】上記構成からなる第２実施形態のノズルの
作用効果は第１実施形態と同様であるため説明を省略す
る。

【００５２】図１１は第２実施形態の変形例を示し、第
１部材と第２部材とを分割せず、１枚の金属板７０を連
続して屈曲加工し、これを上端で連続させて２つ折りし
た状態として、ノズルのボデイを形成している。上記ボ
デイの上端に設ける流入路１４”の長さ方向の一部に開
口を設け、第２実施形態と同様に流入管（図示せず）を
接続している。他の構成は第２実施形態と同様であるた
め、同一符号を付して説明を省略する。

【００５３】なお、上記実施形態では流入口を上部に設
けているが、流入路の長さ方向の両端を閉鎖する蓋部材
６５の一方あるいは両方に流入口を設けてもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
によれば、第１小径流路と第２小径流路との間に流路を
２方向に分ける整流室を設け、第２小径流路で合流させ
ることで、流体の流れに乱れを発生させずに第２小径流
路において層状に整流した流体を得ることができる。こ
の整流させた流体を先端のスリット状の噴射口より噴射
させることで、スリット状の噴射口が横方向に長い場合
においても、その全長に亙って噴射量の均一化を図るこ
とができる。

【００５５】また、上記整流室は円環流路とし、円環の
中心を上記第１、第２小径流路の軸線と一致させると好
適であり、上記整流室の流路幅を第１小径流路よりも減
少させることにより、供給流量の均等分配および整流化
を促進できる。また、合流する第２小径流路の流路幅を
整流室の流路幅より大とすることで、第２小径流路での
流速が落ちて層流化を促進することができる。

【００５６】上記ノズルのボディは、横長な第１部材と
第２部材とをボルトで前後方向に締結して形成し、上記
第１小径流路を貫通する位置ではスリット幅調節ボルト
により第１部材と第２部材とを締結してスリット幅を調
節可能とすると、ノズルの汎用性が向上すると共に、い
ずれか一方の部材のみを交換して他方の部品の共用化を
図ることもできる。また、上記スリット幅調節ボルトが
第１小径流路を貫通する位置の下流に上記整流室を設け
ているため、スリット幅調節ボルトにより若干乱れた流
体の流れを整流化することができる。

【００５７】さらに、上記スリット状噴射孔は上記第１
部材と第２部材のいずれか一方に凹部を設け、いずれか
他方はフラットとし、これを組み合わせて形成すること
で、スリット幅をより細くできると共に、片側の部材の
みを交換してスリット幅の調整を行うことができ、部品
の共用化を図ることができる。また、横方向に長い流入
路の側面の一部に穿設した流入口から流入した流体を９
０度向きを変えて流入路に流通させることで、流体の流
れを低下させて、横方向に長い流入路内において供給流
量の均一化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るノズルの正面図であ
る。

【図２】ノズルのＩ−Ｉ線断面図である。

【図３】ノズルのＩＩ−ＩＩ線断面図である。

【図４】図２の分解断面図である。

【図５】図３の分解断面図である。

【図６】（Ａ）はノズルの要部断面図、（Ｂ）は変形
例の要部断面図である。

【図７】図６（Ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であ
る。

【図８】第１実施形態の変形例を示す要部断面図であ
る。

【図９】第２実施形態の分解斜視図である。

【図１０】（Ａ）（Ｂ）は第２実施形態の断面図、
（Ｃ）は要部断面図である。

【図１１】第２実施形態の変形例の断面図である。

【図１２】（Ａ）は従来のノズルの斜視図、（Ｂ）は
断面図である。

【符号の説明】１０ノズル１１第１部材１２第２部材１３流入口１４流入路１５第１小径流路１６整流室（円環流路）１６ａ、１６ｂ半周部１７第２小径流路１８スリット状噴射孔１８ａ噴射口１９固定ボルト２０スリット幅調整用の締付ボルト２０ｂ、４０ａ平滑面２１Ｏリング２５円柱部材２６リング４０押付ボルト

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１４年１月３１日（２００２．１．３
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者伊佐健次兵庫県西脇市野村町1795−387 Ｆターム(参考） 4F033 AA01 AA04 AA05 BA03 CA02 DA01 EA01 NA01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ボディ内に流入口から噴射口にかけて、
順次、流入口に連通する流入路、該流入路に連通する第
１小径流路、該第１小径流路に連通して流路を２方向に
分離した後に合流させる整流室、該整流室に連通する第
２小径流路、該第２小径流路に連通したスリット状噴射
孔を連続的に設け、該スリット状噴射孔先端を上記噴射
口としていることを特徴とするノズル。
【請求項２】上記整流室の流路幅は上記第１小径流路
および第２小径流路の流路幅の５０％以下としている請
求項１に記載のノズル。
【請求項３】上記整流室は円環流路からなり、円環の
中心を上記第１、第２小径流路の軸線と一致させ、上記
第１小径流路からの流体を円環の両側半周部に流通させ
て２方向に分離した後に第２小径流路へ合流させて流通
させる構成としている請求項１または請求項２に記載の
ノズル。
【請求項４】上記ボディは、横長な第１部材と第２部
材とをボルトで前後方向に締結して形成し、該第１部材
と第２部材との対向面には、それらの上端から間隔をあ
けた位置より下端にかけて、上記流入路、第１小径流
路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を形成す
る凹部を設け、第１部材と第２部材とを締結すること
で、ボディの長さ方向に沿った横長な上記流入路、第１
小径流路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を
上下方向に連続して設け、かつ、上記流入路に上記第１
部材あるいは／および第２部材の側面、上面あるいは長
さ方向の端面に流入口を連通させ、さらに、上記第１小径流路を貫通する位置でスリット幅
調節用の締付ボルトにより第１部材と第２部材とを締結
している請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の
ノズル。
【請求項５】上記第１部材と第２部材に上記整流室の
半側部となる半円状凹部を夫れ夫れ設け、組み合わせて
断面円孔とし、その内部に円筒部材あるいは円柱部材を
隙間をあけて配置して上記円環流路からなる整流室を設
けている請求項４に記載のノズル。
【請求項６】上記第１部材と第２部材とは横長で厚肉
な平板からなり、各平板の対向面に上記流入路、第１小
径流路、整流室、第２小径流路、スリット状噴射孔を凹
設し、あるいは、上記第１部材と第２部材とは薄板を屈曲加工して上記流
入路、第１小径流路、整流室、第２小径流路を設け、該
第２流路形成部の先端を外向きに傾斜させ、該傾斜部に
それぞれ重ねわせてスリット幅調整用のスライド板を取
り付け、両側のスライド板の間にスリット状噴射孔を設
けている請求項４または請求項５に記載のノズル。
【請求項７】上記スリット状噴射孔は上記第１部材と
第２部材のいずれか一方に凹部を設け、いずれか他方は
フラットとし、あるいは両方に凹部を設け、これを組み
合わせて形成している請求項４乃至請求項６のいずれか
１項に記載のノズル。
【請求項８】上記流体が液体の場合、横方向に延在す
る流入路の略中央位置で１あるいは複数の上記流入口と
連通し、流入路には中央から両端に向かって流体を供給
している請求項４乃至請求項７のいずれか１項に記載の
ノズル。
【請求項９】上記スリット幅調整用の締付ボルトの間
に押付ボルトを取り付け、該押付ボルトの軸部先端を第
２部材に押し当ててスリット幅を保持している請求項４
乃至請求項８のいずれか１項に記載のノズル。
【請求項１０】スリット状噴射孔の横長さは１００ｍ
ｍ以上１５００ｍｍ以下、スリット幅は０．０５ｍｍ以
上５ｍｍ以下としている請求項１乃至請求項９のいずれ
か１項に記載のノズル。