JP7299611B2 - スリットノズル - Google Patents

Description

本発明は、スリットノズルに関するものであり、詳しくは、スリット状の噴射口から気体や液体の流体を膜状に噴射することができるスリットノズルに関するものである。

従来、液晶パネルの液置換洗浄や液切り、プリント配線板のエッチング、鋼板のワイピング、その他低圧洗浄や液盛り等を行うためのノズルとして、気体または液体を膜状に噴射するスリットノズルが知られている（例えば、特許文献１、２等）。

特開２００３－２１１０２７号公報 特開２００６－２０５１２０号公報

スリットノズルは、長手方向にできるだけ均等に流体を噴射することが求められる。一方、製造プロセスによっては、１つのラインで異なる種類の製品を製造する場合があり、そのような場合は、異なる大きさの製品や材料が製造ラインを流れることがある。その場合、スリットノズルから噴射される流体の噴射幅が固定されていると、流体を噴射する対象物（以下、単に「対象物」と称する）の幅に対して、スリットノズルの幅が足りなくなったり、逆にスリットノズルの幅が過剰となることが起こりうる。前者の場合の対応として、２つ以上のスリットノズルを長手方向に並べる対応が考えられるが、その場合、スリットノズルは噴出口を長手方向の端縁まで設けることが難しいことから、隣接するスリットノズルの間に流体が届かない（あるいは流体の届く量が減少する）断続部分が生じ、いわゆるスジ残りが生じる。一方、そのような断続部分が生じないようにするために、２つ以上のスリットノズルを前後方向にずらして、隣接するスリットノズルの長手方向の端部どうしを重ねて配置する対応も考えられるが、その場合、スリットノズルが重ねて配置された部分とそれ以外の部分とで対象物への流体供給量を揃えるように配置位置を調整することは難しく、この場合も全体として流体を長手方向に略均一に噴射させることが難しいのが実状である。スリットノズルの幅が対象物に対して過剰となる場合は、流体が無駄に噴射される量が増え、製造コストの増加を招く。

本発明は前記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、１つのスリットノズルで長手方向に異なる噴射幅で流体に噴射させることができ、噴射幅を変えても流体を長手方向に略均等に膜状に噴射することができるスリットノズルを提供することにある。

前記課題を解決することができた本発明のスリットノズルとは、横長の筐体を備え、筐体に長手方向に延びる噴出口が設けられたスリットノズルであって；筐体は、長手方向に複数の区間に区分され、長手方向に隣接した第１区間と第２区間を少なくとも有し；第１区間は、筐体の外部に開口し、流体が導入される第１流入口と、第１流入口に連通し、長手方向に延在する第１受入流路と、第１受入流路に連通し、長手方向に延在し、長手方向の垂直断面における流路幅が第１受入流路よりも狭く形成された第１移送流路と、第１移送流路と噴出口に連通し、長手方向に延在し、長手方向の垂直断面における流路幅が第１移送流路よりも狭く形成された第１噴出流路とを有し；第２区間は、筐体の外部に開口し、流体が導入される第２流入口と、第２流入口に連通し、長手方向に延在する第２受入流路と、第２受入流路に連通し、長手方向に延在し、長手方向の垂直断面における流路幅が第２受入流路よりも狭く形成された第２移送流路と、第２移送流路と噴出口に連通し、長手方向に延在し、長手方向の垂直断面における流路幅が第２移送流路よりも狭く形成された第２噴出流路とを有し；第１噴出流路が第２噴出流路と長手方向に接続し、噴出口が第１区間から第２区間にかけて連続的に形成されているところに特徴を有する。

本発明のスリットノズルは上記のように構成されることにより、１つのスリットノズルで長手方向に異なる長さで流体を膜状に噴射させることができる。この際、各区間において流体を噴出口から長手方向に略均等に噴射することができるとともに、隣接する２以上の区間から流体を噴出する場合は、隣接する区間の噴出流路が長手方向に接続して設けられ、噴出口が複数の区間に跨がって連続的に形成されているため、複数の区間にわたって流体を噴出口から長手方向に略均等に噴射することができる。そのため、本発明のスリットノズルによれば、対象物の大きさに応じて噴出口からの流体の噴射幅を変えることができ、また噴射幅を変えても噴射流量のばらつきを抑えることができ、流体を長手方向に略均等に膜状に噴射することができる。

第１移送流路と第１噴出流路との接続部の長手方向の長さと、第２移送流路と第２噴出流路との接続部の長手方向の長さは、第１移送流路と第１噴出流路との接続部と第２移送流路と第２噴出流路との接続部の長手方向の離隔距離よりも長いことが好ましい。また、第１移送流路と第１噴出流路との接続部と第２移送流路と第２噴出流路との接続部の長手方向の離隔距離が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。このように各区間における移送流路と噴出流路の接続部が形成されることにより、複数の区間にわたって流体を噴出口から略均等に噴射しやすくなる。

第１移送流路と第２移送流路の間には、第１移送流路と第２移送流路と第１噴出流路と第２噴出流路に連通した間隙流路が設けられ、間隙流路は、長手方向の垂直断面における流路幅が、第１移送流路の流路幅と第２移送流路の流路幅よりも狭く、第１噴出流路の流路幅と第２噴出流路の流路幅と同幅かそれよりも広く形成されていることが好ましい。このように間隙流路を設けることにより、第１移送流路と第２移送流路を流れる流体の一部が間隙流路を通って第１噴出流路と第２噴出流路に流れることができ、第１噴出流路と第２噴出流路から噴射される流体が合一化されやすくなる。

スリットノズルは、第１ブロックと第２ブロックを重ね合わせて筐体を形成し、第１ブロックと第２ブロックの互いの対向面に第１受入流路と第２受入流路と第１移送流路と第２移送流路と第１噴出流路と第２噴出流路を形成することができる。この場合、第１移送流路または第２移送流路を貫通して第１ブロックと第２ブロックを締結する締付ボルトを設け、締付ボルトにより第１噴出流路の流路幅または第２噴出流路の流路幅が調整可能に形成されていることが好ましい。これにより、各噴出流路の流路幅を精密に調整することができる。第１ブロックと第２ブロックの互いの対向面には、間隙流路を形成することもできる。この場合、間隙流路を貫通して第１ブロックと第２ブロックを締結する締付ボルトを設け、締付ボルトにより間隙流路の流路幅が調整可能に形成されていることが好ましい。これにより、間隙流路の流路幅を精密に調整することができる。その結果、スリットノズルから流体を長手方向に略均等に噴射しやすくなる。

本発明のスリットノズルによれば、対象物の大きさに応じて噴出口からの流体の噴射幅を変えることができるとともに、噴射幅を変えても噴射流量のばらつきを抑えることができ、流体を長手方向に略均等に膜状に噴射することができる。

本発明のスリットノズルの一例を表し、スリットノズルの正面図を表す。 図１に示したスリットノズルを噴出口側から見た側面図を表す。 図１に示したスリットノズルのＩＩＩ－ＩＩＩ断面図（長手方向の垂直断面図）を表す。 スリットノズルの長手方向の垂直断面図の他の例を表す。 図１に示したスリットノズルの部分拡大図を表す。 従来のスリットノズルを３つ並べて流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表す。 本発明のスリットノズルから流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表す。

本発明は、流体を膜状に噴射することができるスリットノズルに関するものであり、詳細には、１つのスリットノズルで長手方向に異なる噴射幅で流体を噴射することができ、また噴射幅を変えても噴射流量のばらつきを抑えることができ、長手方向に略均等に流体を膜状に噴射することができるスリットノズルに関するものである。以下、本発明で用いる噴霧ノズルを図面を参照して説明する。なお、本発明は図面に示した態様に限定されるものではない。

図１～図５を参照して、スリットノズルの構成について説明する。図１はスリットノズルを正面から見た外観図を表し、図２はスリットノズルを噴出口側から見た外観図を表し、図３は図１に示したスリットノズルのＩＩＩ－ＩＩＩ断面図（すなわち長手方向の垂直断面図）を表し、図４はスリットノズルの長手方向の垂直断面図の他の例を表し、図５は図１に示したスリットノズルの部分拡大図を表す。

スリットノズル１は、横長の筐体２を備え、筐体２には長手方向ｘに延びる噴出口７が設けられている。噴出口７はスリット状に形成され、スリット状の噴出口７から気体または液体の流体が膜状に噴射される。スリットノズル１において、長手方向ｘは横方向に相当し、長手方向ｘに垂直な方向として縦方向ｙと厚み方向ｚが規定される。噴出口７は筐体２の厚み方向ｚの側面に形成され、流体は噴出口７から縦方向ｙに向かって噴出される。スリットノズル１は縦方向ｙに対して一方側と他方側を有し、流体は、筐体２の内部で縦方向ｙの一方側から他方側に向かって流れる。従って、スリットノズル１の縦方向ｙの他方側とは噴出口７側を意味し、縦方向ｙの一方側のその反対側を意味する。噴出口７は、筐体２の縦方向ｙの他方側の厚み方向ｚの側面に設けられることが好ましい。

筐体２は、長手方向ｘに複数の区間に区分され、長手方向ｘに隣接した第１区間Ａと第２区間Ｂを少なくとも有する。図面に示したスリットノズル１では、筐体２が、長手方向ｘに区分された第１区間Ａと第２区間Ｂと第３区間Ｃを有するように形成されている。筐体２の内部には各区間に流体が通る空間が形成され、各区間の内部空間で流体が流入口３から噴出口７に流れる。

各区間は、筐体２の外部に開口し、流体が導入される流入口３と、流入口３に連通し、長手方向ｘに延在する受入流路４と、受入流路４に連通し、長手方向ｘに延在する移送流路５と、移送流路５と噴出口７に連通し、長手方向ｘに延在する噴出流路６を有する。具体的には、第１区間Ａには、筐体２の外部に開口し、流体が導入される第１流入口３Ａと、第１流入口３Ａに連通し、長手方向ｘに延在する第１受入流路４Ａと、第１受入流路４Ａに連通し、長手方向ｘに延在する第１移送流路５Ａと、第１移送流路５Ａと噴出口７に連通し、長手方向ｘに延在する第１噴出流路６Ａが設けられる。第２区間Ｂには、筐体２の外部に開口し、流体が導入される第２流入口３Ｂと、第２流入口３Ｂに連通し、長手方向ｘに延在する第２受入流路４Ｂと、第２受入流路４Ｂに連通し、長手方向ｘに延在する第２移送流路５Ｂと、第２移送流路５Ｂと噴出口７に連通し、長手方向ｘに延在する第２噴出流路６Ｂが設けられる。筐体２に第３区間Ｃが設けられる場合は、第３区間Ｃには、筐体２の外部に開口し、流体が導入される第３流入口３Ｃと、第３流入口３Ｃに連通し、長手方向ｘに延在する第３受入流路４Ｃと、第３受入流路４Ｃに連通し、長手方向ｘに延在する第３移送流路５Ｃと、第３移送流路５Ｃと噴出口７に連通し、長手方向ｘに延在する第３噴出流路６Ｃが設けられる。

各区間において、受入流路４は長手方向ｘに延在し、隣接する区間の受入流路４どうしは互いに長手方向ｘに離隔して設けられる。図１では、第１受入流路４Ａと第２受入流路４Ｂは長手方向ｘに互いに離隔して設けられ、第２受入流路４Ｂと第３受入流路４Ｃは長手方向ｘに互いに離隔して設けられる。受入流路４は、図３および図４に示すように、長手方向ｘの垂直断面において、縦方向ｙに長く形成されることが好ましい。

各受入流路４の長手方向ｘの長さは、例えば、１００ｍｍ以上が好ましく、１５０ｍｍ以上がより好ましく、２００ｍｍ以上がさらに好ましく、また１５００ｍｍ以下が好ましく、１２００ｍｍ以下がより好ましく、１０００ｍｍ以下がさらに好ましい。各受入流路４の長手方向ｘの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよい。

各受入流路４の縦方向ｙの長さは長手方向ｘの長さよりも短いことが好ましい。各受入流路４の縦方向ｙの長さは、例えば、１５ｍｍ以上が好ましく、２０ｍｍ以上がより好ましく、また１００ｍｍ以下が好ましく、６０ｍｍ以下がより好ましい。各受入流路４の厚み方向ｚの長さは縦方向ｙの長さよりも短いことが好ましい。各受入流路４の厚み方向ｚの長さは、例えば、２ｍｍ以上が好ましく、３ｍｍ以上がより好ましく、また１０ｍｍ以下が好ましい。各受入流路４の縦方向ｙの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよいが、略同一であることが好ましい。各受入流路４の厚み方向ｚの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよいが、略同一であることが好ましい。なお本発明において、長さが略同一とは、平均値からのばらつきが±２０％以内のことを意味する。

各受入流路４には、流体が導入される流入口３が設けられる。具体的には、第１受入流路４Ａには第１流入口３Ａが連通して設けられ、第２受入流路４Ｂには第２流入口３Ｂが連通して設けられ、第３受入流路４Ｃには第３流入口３Ｃが連通して設けられる。流入口３から導入された流体は、各受入流路４において長手方向ｘに広がる。各受入流路４には、流入口３が１つのみ設けられてもよく、２つ以上設けられてもよい。各流入口３は、筐体２の主面（すなわち長手方向ｘと縦方向ｙから形成される面）または厚み方向ｚの側面に設けられることが好ましい。厚み方向ｚの側面としては、縦方向ｙの一方側の厚み方向ｚの側面、具体的には、縦方向ｙに対して噴出口７と反対側の厚み方向ｚの側面に設けられることが好ましい。なお、各流入口３は、筐体２の主面に設けられることが好ましく、これにより流入口３の大きさをより大きく設けることができ、また筐体２や受入流路４の厚み方向ｚの長さを小さくすることができる。

各流入口３には、流体供給管が接続される（図示せず）。各流入口３への流体の供給は、それぞれ独立して制御される。例えば、各流入口３にバルブを設けたり、各流入口３に接続した流体供給管にバルブを設けたり、ブロワやポンプ等の流体供給手段を、各流入口３に対応して、各流入口３に接続した流体供給管にそれぞれ設けることで、各流入口３への流体の供給を独立して制御することができる。これにより、各受入流路４への流体の導入を任意に制御することができる。例えば、第１受入流路４Ａと第２受入流路４Ｂと第３受入流路４Ｃの全てに流体を導入したり、第１受入流路４Ａと第２受入流路４Ｂのみに流体を導入したり、あるいは第２受入流路４Ｂのみに流体を導入することができる。

受入流路４に連通して移送流路５が設けられる。移送流路５は、縦方向ｙの一方側の端部が、受入流路４の縦方向ｙの他方側の端部に接続して設けられることが好ましい。受入流路４と移送流路５は、図３に示すように、縦方向ｙに互いに接続してもよい。この場合、受入流路４の縦方向ｙの他方側の端部と移送流路５の縦方向ｙの一方側の端部が縦方向ｙに互いに接続する。受入流路４と移送流路５は、図４に示すように、厚み方向ｚに互いに接続してもよい。この場合、受入流路４の縦方向ｙの他方側の端部と移送流路５の縦方向ｙの一方側の端部が厚み方向ｚに互いに接続する。この場合、受入流路４と移送流路５との接続部において、移送流路５は受入流路４よりも厚み方向ｚで流入口３側に設けられることが好ましい。

移送流路５は、受入流路４と噴出流路６を繋ぐように設けられる。具体的には、第１移送流路５Ａは第１受入流路４Ａと第１噴出流路６Ａを繋ぐように設けられ、第２移送流路５Ｂは第２受入流路４Ｂと第２噴出流路６Ｂを繋ぐように設けられ、第３移送流路５Ｃは第３受入流路４Ｃと第３噴出流路６Ｃを繋ぐように設けられる。流体は、各受入流路４で長手方向ｘに広がった後、それぞれ対応する移送流路５に導入され、移送流路５を縦方向ｙに流れる。これにより、各区間において、流体が長手方向ｘに略均等に分配される。

各移送流路５は長手方向ｘに延在し、隣接する区間の移送流路５どうしは互いに長手方向ｘに離隔して設けられる。具体的には、第１移送流路５Ａと第２移送流路５Ｂは長手方向ｘに互いに離隔して設けられ、第２移送流路５Ｂと第３移送流路５Ｃは長手方向ｘに互いに離隔して設けられる。

移送流路５は、流入口３と対向しないように設けられることが好ましい。すなわち、各受入流路４において、流入口３から受入流路４に導入された流体の流れが、方向を変えずに真っ直ぐに移送流路５に向かわないことが好ましい。より好ましくは、長手方向ｘの垂直断面において、流入口３から受入流路４への方向ベクトルが、受入流路４から移送流路５への方向ベクトルと異なる角度となるように、流入口３と移送流路５が設けられる。当該両方向ベクトルの角度差は、４５°以上が好ましく、６０°以上がより好ましく、７５°以上がさらに好ましく、また２２５°以下が好ましく、２１０°以下がより好ましく、１９５°以下がさらに好ましい。図３では、流入口３から受入流路４への方向ベクトルと受入流路４から移送流路５への方向ベクトルとの角度差が９０°となっており、図４では、流入口３から受入流路４への方向ベクトルと受入流路４から移送流路５への方向ベクトルとの角度差が１８０°となっている。このように流入口３と移送流路５が設けられることにより、受入流路４において流体が長手方向ｘに広がりやすくなり、また受入流路４から移送流路５において流体が長手方向ｘに略均等に分配されやすくなる。

移送流路５は、長手方向ｘの垂直断面における流路幅が受入流路４よりも狭く形成される。具体的には、長手方向ｘの垂直断面において、第１移送流路５Ａの流路幅は第１受入流路４Ａの流路幅よりも狭く形成され、第２移送流路５Ｂの流路幅は第２受入流路４Ｂの流路幅よりも狭く形成され、第３移送流路５Ｃの流路幅は第３受入流路４Ｃの流路幅よりも狭く形成される。各受入流路４で長手方向ｘに広がった流体は、それぞれ対応する移送流路５に導入され、長手方向ｘの垂直断面において、受入流路４から噴出流路６に向かう流れが形成される。流体は、移送流路５を流れる間に、噴出流路６に向かって整流化される。移送流路５は、長手方向ｘの垂直断面において、縦方向ｙの一方側から他方側に延びるように形成されることが好ましい。

移送流路５と受入流路４の各流路の流路幅は、筐体２の長手方向ｘの垂直断面で見て、各流路の延在方向に対する垂直方向の長さとして規定される。各流路は、長手方向ｘの垂直断面において、基本的に縦方向ｙに延びるように形成され、縦方向ｙに延びる部分においては、当該部分の流路幅は厚み方向ｚの長さとなる。長手方向ｘの垂直断面において、各流路が厚み方向ｚに延びる部分を有する場合は、当該部分の流路幅は縦方向ｙの長さとなる。長手方向ｘの垂直断面において、各流路が縦方向ｙに対して斜め方向に延びる部分を有する場合は、当該部分の流路幅は斜めの延在方向に対する垂直方向の長さとなる。後述する噴出流路６の流路幅についても同様である。

移送流路５の長手方向ｘの垂直断面における流路幅は、一定であってもよく、変化するものであってもよい。後者の場合、移送流路５の流路幅は、連続的に変化する、すなわち漸減または漸増するものであってもよく、不連続的に変化する、すなわち階段状に変化するものであってもよい。移送流路５は、移送流路５の途中で流路幅が狭くなる部分が形成されることも好ましく、これにより移送流路５における整流作用が高められる。移送流路５の流路幅が変化する場合は、移送流路５の全体が対応する受入流路４の流路幅よりも狭く形成されることが好ましい。

各移送流路５の長手方向ｘの長さは、対応する受入流路４の長手方向ｘの長さと同程度であることが好ましく、例えば対応する受入流路４の長手方向ｘの長さの０．９０倍以上が好ましく、０．９５倍以上がより好ましく、また１．１０倍以下が好ましく、１．０５倍以下がより好ましい。各移送流路５の長手方向ｘの長さは、対応する受入流路４の長手方向ｘの長さと実質的に同一であることが特に好ましい。各区間において、受入流路４と移送流路５との接続部の長手方向ｘの長さは、対応する受入流路４の長手方向ｘの長さと同じであってもよく、それより短い場合は、対応する受入流路４の長手方向ｘの長さの０．９０倍以上であることが好ましく、０．９５倍以上がより好ましい。

各移送流路５の縦方向ｙの長さは、例えば、１５ｍｍ以上２０ｍｍ以下が好ましい。各移送流路５の厚み方向ｚの長さは縦方向ｙの長さよりも短いことが好ましい。各移送流路５の縦方向ｙの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよいが、略同一であることが好ましい。各移送流路５の厚み方向ｚの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよいが、略同一であることが好ましい。

噴出流路６は、長手方向ｘの垂直断面における流路幅が移送流路５よりも狭く形成される。具体的には、長手方向ｘの垂直断面において、第１噴出流路６Ａの流路幅は第１移送流路５Ａの流路幅よりも狭く形成され、第２噴出流路６Ｂの流路幅は第２移送流路５Ｂの流路幅よりも狭く形成され、第３噴出流路６Ｃの流路幅は第３移送流路５Ｃの流路幅よりも狭く形成される。噴出流路６において、長手方向ｘの垂直断面における流路幅がさらに狭まることにより、噴出流路６の出口である噴出口７から流体を薄い膜状に噴射することができる。

噴出流路６は、長手方向ｘの垂直断面において、縦方向ｙの一方側から他方側に延びるように形成されることが好ましい。各噴出流路６の長手方向ｘの垂直断面における流路幅は、例えば、０．０５ｍｍ以上が好ましく、０．０７ｍｍ以上がより好ましく、また３ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、０．５ｍｍ以下がさらに好ましい。噴出流路６の長手方向ｘの垂直断面における流路幅は、略一定であることが好ましい。また、各噴出流路６の流路幅は略同一であることが好ましい。

噴出流路６は長手方向ｘに延在し、隣接する区間の噴出流路６どうしが長手方向ｘに接続して設けられる。具体的には、第１噴出流路６Ａと第２噴出流路６Ｂは長手方向ｘに接続して設けられ、第２噴出流路６Ｂと第３噴出流路６Ｃは長手方向ｘに接続して設けられる。その結果、噴出口７が第１区間Ａから第２区間Ｂにかけて連続的に形成されるとともに、第２区間Ｂから第３区間Ｃにかけて連続的に形成される。噴出口７は、複数の区間にわたって連続的に延び、長手方向ｘに直線的に延在するように設けられる。噴出流路６および噴出口７が複数の区間にわたって連続的に形成されることにより、各区間の境目部分で流体が噴出流路６に流入し、流体を複数の区間に跨がって長手方向ｘに略均等に噴射することができる。噴出口７は、複数の区間にわたって、厚み方向ｚに略同一幅で形成されることが好ましい。

各区間において、噴出流路６の長手方向ｘの長さは、対応する移送流路５の長手方向ｘの長さよりも長く形成されることが好ましい。一方、各区間において、移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの長さは、対応する移送流路５の長手方向ｘの長さと同じであってもよく、それより短い場合は、対応する移送流路５の長手方向ｘの長さの０．９０倍以上であることが好ましく、０．９５倍以上がより好ましい。

各噴出流路６の縦方向ｙの長さは、例えば１ｍｍ以上が好ましく、２ｍｍ以上がより好ましく、また５ｍｍ以下が好ましい。各噴出流路６の厚み方向ｚの長さは縦方向ｙの長さよりも短いことが好ましい。各噴出流路６の縦方向ｙの長さは、互いに同じであっても異なっていてもよいが、略同一であることが好ましい。

噴出流路６は、長手方向ｘの垂直断面において、移送流路５との接続部から噴出口７に向かって直線的に延在することが好ましく、縦方向ｙに直線的に延在することがより好ましい。移送流路５と噴出流路６は縦方向ｙに互いに接続することが好ましく、すなわち、移送流路５の縦方向ｙの他方側の端部と噴出流路６の縦方向ｙの一方側の端部が縦方向ｙに互いに接続することが好ましい。

スリットノズルは上記のように構成されることにより、１つのスリットノズルで長手方向に異なる長さで流体を膜状に噴射させることができる。図面に示したスリットノズル１では、第１区間Ａ～第３区間Ｃのいずれか１つの区間から流体を膜状に噴射したり、第１区間Ａと第２区間Ｂまたは第２区間Ｂと第３区間Ｃから流体を膜状に噴射したり、第１区間Ａ～第３区間Ｃの全区間にわたって流体を膜状に噴射することができる。この際、各区間では、受入流路４、移送流路５、噴出流路６が上記のように形成されることにより、各区間において流体を噴出口７から長手方向ｘに略均等に噴射することができる。一方、隣接する２以上の区間から流体を噴出させる場合は、隣接する区間の噴出流路６が長手方向ｘに接続して設けられ、噴出口７が複数の区間に跨がって連続的に形成されているため、各区間の境目部分で流量が極端に多くなったり少なくなることを抑えることができ、複数の区間にわたって流体を噴出口７から長手方向ｘに略均等に噴射することができる。そのため、スリットノズル１によれば、対象物の大きさに応じて噴出口７からの流体の噴射幅を変えることができ、対象物の大きさが小さい場合には、流体使用量の削減を図ることができる。また、噴射幅を変えても噴射流量のばらつきを抑えることができ、長手方向ｘに略均等に流体を膜状に噴射することができる。なお、スリットノズル１は、第１区間Ａと第３区間Ｃのみから流体を噴射することも当然可能である。

図６および図７には、スリットノズルの噴射強度の測定結果を示した。図６は、従来のスリットノズルを長手方向に３つ並べて流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表し、図７は、本発明のスリットノズルであって、筐体内部が長手方向に３つの区間に区分されたスリットノズルから流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表す。図７（ａ）は長手方向の真ん中の区間のみから流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表し、図７（ｂ）は３つの区間全てから流体を噴射したときの噴射強度の測定結果を表す。図７（ｂ）に示された矢印は、各区間の境目を表す。流体としては空気を用い、スリットノズルの噴出口に対向して歪みゲージを設置し、スリットノズルから空気を噴射した状態で歪みゲージを通過させることで、スリットノズルの噴射強度の長手方向の分布を測定した。

図６に示すように、従来のスリットノズルを長手方向に３つ並べた場合は、隣接するスリットノズルの間に流体が届かない断続部分が生じた。一方、本発明のスリットノズルでは、図７に示すように、１つの区間のみから流体を噴出した場合も、３つの区間全部から流体を噴射した場合も、長手方向に略均等に流体を膜状に噴射することができる。

スリットノズル１において、各区間における移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの長さは、隣接する区間の移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの離隔距離よりも長いことが好ましい。具体的には、第１移送流路５Ａと第１噴出流路６Ａとの接続部の長手方向ｘの長さと、第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部の長手方向ｘの長さは、第１移送流路５Ａと第１噴出流路６Ａとの接続部と第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部の長手方向ｘの離隔距離よりも長いことが好ましく、第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部の長手方向ｘの長さと、第３移送流路５Ｃと第３噴出流路６Ｃとの接続部の長手方向ｘの長さは、第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部と第３移送流路５Ｃと第３噴出流路６Ｃとの接続部の長手方向ｘの離隔距離よりも長いことが好ましい。このように移送流路５と噴出流路６との接続部が形成されることにより、各区間の境目部分で流量が極端に少なくなることを抑えやすくなり、複数の区間にわたって流体を噴出口７から長手方向ｘに略均等に噴射しやすくなる。

隣接する区間の移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの離隔距離８は、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい（図５を参照）。具体的には、第１移送流路５Ａと第１噴出流路６Ａとの接続部と第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部の長手方向ｘの離隔距離８は、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましく、第２移送流路５Ｂと第２噴出流路６Ｂとの接続部と第３移送流路５Ｃと第３噴出流路６Ｃとの接続部の長手方向ｘの離隔距離８は、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。これらの離隔距離８は、３ｍｍ以上がより好ましく、５ｍｍ以上がさらに好ましい。このように離隔距離８の長さを調整することにより、隣接する区間の噴出流路６から噴射される流体がその境目部分で合一化されやすくなり、複数の区間にわたって流体を噴出口７から略均等に噴射しやすくなる。

各区間における移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの長さは、例えば、１００ｍｍ以上が好ましく、１５０ｍｍ以上がより好ましく、２００ｍｍ以上がさらに好ましく、また１５００ｍｍ以下が好ましく、１２００ｍｍ以下がより好ましく、１０００ｍｍ以下がさらに好ましい。各区間における移送流路５と噴出流路６との接続部の長手方向ｘの長さは、互いに同じであってもよく、異なっていてもよい。

図５に示すように、隣接する区間の移送流路５の間に間隙流路９が形成され、間隙流路９は、その両側に位置する移送流路５と噴出流路６に連通していることが好ましい。図５では、間隙流路９が形成された領域がクロスハッチングで示されている。間隙流路９は、長手方向ｘの垂直断面における流路幅が、その両側に位置する移送流路５の流路幅よりも狭く形成され、その両側に位置する噴出流路６の流路幅と同幅かそれよりも広く形成されることが好ましい。図面に示したスリットノズル１では、第１移送流路５Ａと第２移送流路５Ｂの間に、第１移送流路５Ａと第２移送流路５Ｂと第１噴出流路６Ａと第２噴出流路６Ｂに連通した間隙流路９が設けられ、間隙流路９は、長手方向ｘの垂直断面における流路幅が、第１移送流路５Ａの流路幅と第２移送流路５Ｂの流路幅よりも狭く、第１噴出流路６Ａの流路幅と第２噴出流路６Ｂの流路幅と同幅かそれよりも広く形成されることが好ましい。このように間隙流路９を設けることにより、第１移送流路５Ａと第２移送流路５Ｂを流れる流体の一部が間隙流路９を通って第１噴出流路６Ａと第２噴出流路６Ｂの境目部分に流れることができ、第１噴出流路６Ａと第２噴出流路６Ｂから噴射される流体が合一化されやすくなり、複数の区間にわたって流体を噴出口７から略均等に噴射しやすくなる。同様に、第２移送流路５Ｂと第３移送流路５Ｃの間に、第２移送流路５Ｂと第３移送流路５Ｃと第２噴出流路６Ｂと第３噴出流路６Ｃに連通した間隙流路９を設け、間隙流路９は、長手方向ｘの垂直断面における流路幅が、第２移送流路５Ｂの流路幅と第３移送流路５Ｃの流路幅よりも狭く、第２噴出流路６Ｂの流路幅と第３噴出流路６Ｃの流路幅と同幅かそれよりも広く形成されることが好ましい。

間隙流路９の流路幅は、例えば、０．０７ｍｍ以上が好ましく、０．１ｍｍがより好ましく、また３ｍｍ以下が好ましく、１ｍｍ以下がより好ましく、０．５ｍｍ以下がさらに好ましい。間隙流路９の流路幅はまた、その両側に位置する噴出流路６の流路幅の１．３倍以下が好ましい。あるいは、間隙流路９の流路幅とその両側に位置する噴出流路６の流路幅の差は、０．１ｍｍ以下が好ましく、０．０５ｍｍ以下がより好ましい。

間隙流路９は、その長手方向ｘの一方側に位置する移送流路５と噴出流路６との接続部と他方側に位置する移送流路５と噴出流路６との接続部の離隔部分の一部のみと連通していてもよく、全部と連通していてもよい。好ましくは、間隙流路９は、当該離隔部分の長手方向ｘの５０％以上の部分と連通している。間隙流路９はまた、長手方向ｘと縦方向ｙに延びて面状に形成されることが好ましい。

スリットノズル１は、例えば次のように形成することができる。すなわち、図３および図４に示すように、第１ブロック２１と第２ブロック２２を重ね合わせて筐体２を形成し、第１ブロック２１と第２ブロック２２の互いの対向面に各流路を形成することにより、スリットノズル１を形成することができる。第１ブロック２１は１つの部材から構成されてもよく、２以上の部材から構成されてもよい。第２ブロック２２は１つの部材から構成されてもよく、２以上の部材から構成されてもよい。

第１ブロック２１と第２ブロック２２の互いの対向面には受入流路４と移送流路５と噴出流路６が形成され、さらに間隙流路９が形成されてもよい。図面に示したスリットノズル１では、第１ブロック２１と第２ブロック２２の互いの対向面に、第１～第３受入流路４と第１～第３移送流路５と第１～第３噴出流路６が形成され、第１移送流路５Ａと第２移送流路５Ｂの間および第２移送流路５Ｂと第３移送流路５Ｃの間に間隙流路９が形成されている。各流路は、第１ブロック２１の第２ブロック２２との対向面および／または第２ブロック２２の第１ブロック２１との対向面に凹部を設けることにより、形成することができる。例えば、第１移送流路５Ａは、第１ブロック２１の第２ブロック２２との対向面に凹部を設けることにより形成してもよく、第２ブロック２２の第１ブロック２１との対向面に凹部を設けることにより形成してもよく、その両方に凹部を設けることにより形成してもよい。

筐体２には、各流路が形成される以外の部分に、第１ブロック２１と第２ブロック２２を締結する締付ボルト１１が設けられることが好ましい（図１および図５を参照）。これにより、第１ブロック２１と第２ブロック２２を一体化して、第１ブロック２１と第２ブロック２２の互いの対向面に各流路を形成することができる。

筐体２には、移送流路５が形成される部分に締付ボルト１２が設けられ、締付ボルト１２により噴出流路６の流路幅を調整できるように形成されていることが好ましい。具体的には、移送流路５を貫通して第１ブロック２１と第２ブロック２２を締結する締付ボルト１２が設けられ、締付ボルト１２により噴出流路６の流路幅が調整可能に形成されていることが好ましい。なお、筐体２には、噴出流路６を貫通する締付ボルトは設けられないことが好ましい。噴出流路６でなく移送流路５を貫通して締付ボルト１２を設けることにより、噴出流路６の流体の流れが締付ボルトによって妨げられず、また締付ボルト１２によって噴出流路６の流路幅を精密に調整することが可能となり、噴出口７から流体を長手方向ｘに略均等に噴射しやすくなる。

筐体２には、間隙流路９を貫通して第１ブロック２１と第２ブロック２２を締結する締付ボルト１３が設けられ、締付ボルト１３により間隙流路９の流路幅が調整可能に形成されていることも好ましい。締付ボルト１３により間隙流路９の流路幅を調整することにより、各区間の境目部分での噴出口７からの噴射流量を精密に調整することができ、複数の区間にわたって流体を噴出口７から略均等に噴射しやすくなる。

以上、本発明のスリットノズルを図面を参照して説明したが、本発明のスリットノズルは第１区間と第２区間のみを有するものであってもよく、第１～第３区間に加えて第４区間を有するものであってもよく、またそれ以上の区間を有するものであってもよい。第４区間は、図面に示したスリットノズル１において、第１区間Ａに隣接して長手方向ｘに対して第２区間Ｂの反対側に設けられてもよく、第３区間Ｃに隣接して長手方向ｘに対して第２区間Ｂの反対側に設けられてもよい。スリットノズルからの流体の噴出方向や噴出量は、流体の種類、噴射対象物の種類、噴射の目的等に応じて適宜設定すればよく、流体は下方向に噴出してもよく、上方向に噴出してもよく、横方向に噴出してもよく、斜め方向に噴出してもよい。

１：スリットノズル
２：筐体
３：流入口、３Ａ：第１流入口、３Ｂ：第２流入口、３Ｃ：第３流入口
４：受入流路、４Ａ：第１受入流路、４Ｂ：第２受入流路、４Ｃ：第３受入流路
５：移送流路、５Ａ：第１移送流路、５Ｂ：第２移送流路、５Ｃ：第３移送流路
６：噴出流路、６Ａ：第１噴出流路、６Ｂ：第２噴出流路、６Ｃ：第３噴出流路
７：噴出口
９：間隙流路
１１，１２，１３：締付ボルト
２１：第１ブロック
２２：第２ブロック
Ａ：第１区間
Ｂ：第２区間
Ｃ：第３区間

Claims (6)

1. 横長の筐体を備え、前記筐体に長手方向に延びる噴出口が設けられたスリットノズルであって、
   前記筐体は、前記長手方向に複数の区間に区分され、前記長手方向に隣接した第１区間と第２区間を少なくとも有し、
   前記第１区間は、
   前記筐体の外部に開口し、流体が導入される第１流入口と、
   前記第１流入口に連通し、前記長手方向に延在する第１受入流路と、
   前記第１受入流路に連通し、前記長手方向に延在し、前記長手方向の垂直断面における流路幅が前記第１受入流路よりも狭く形成された第１移送流路と、
   前記第１移送流路と前記噴出口に連通し、前記長手方向に延在し、前記長手方向の垂直断面における流路幅が前記第１移送流路よりも狭く形成された第１噴出流路とを有し、
   前記第２区間は、
   前記筐体の外部に開口し、流体が導入される第２流入口と、
   前記第２流入口に連通し、前記長手方向に延在する第２受入流路と、
   前記第２受入流路に連通し、前記長手方向に延在し、前記長手方向の垂直断面における流路幅が前記第２受入流路よりも狭く形成された第２移送流路と、
   前記第２移送流路と前記噴出口に連通し、前記長手方向に延在し、前記長手方向の垂直断面における流路幅が前記第２移送流路よりも狭く形成された第２噴出流路とを有し、
   前記第１受入流路と前記第２受入流路は前記長手方向に互いに離隔して設けられ、
   前記第１移送流路と前記第２移送流路は前記長手方向に互いに離隔して設けられ、
   前記第１噴出流路が前記第２噴出流路と前記長手方向に接続し、前記噴出口が前記第１区間から前記第２区間にかけて連続的に形成されていることを特徴とするスリットノズル。
2. 前記第１移送流路と前記第１噴出流路との接続部の前記長手方向の長さと、前記第２移送流路と前記第２噴出流路との接続部の前記長手方向の長さは、前記第１移送流路と前記第１噴出流路との接続部と前記第２移送流路と前記第２噴出流路との接続部の前記長手方向の離隔距離よりも長い請求項１に記載のスリットノズル。
3. 前記第１移送流路と前記第１噴出流路との接続部と前記第２移送流路と前記第２噴出流路との接続部の前記長手方向の離隔距離は、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である請求項１または２に記載のスリットノズル。
4. 前記第１移送流路と前記第２移送流路の間には、前記第１移送流路と前記第２移送流路と前記第１噴出流路と前記第２噴出流路に連通した間隙流路が設けられ、
   前記間隙流路は、前記長手方向の垂直断面における流路幅が、前記第１移送流路の流路幅と前記第２移送流路の流路幅よりも狭く、前記第１噴出流路の流路幅と前記第２噴出流路の流路幅と同幅かそれよりも広く形成されている請求項１～３のいずれか一項に記載のスリットノズル。
5. 前記筐体は第１ブロックと第２ブロックが重ね合わされて形成され、前記第１ブロックと前記第２ブロックの互いの対向面に前記第１受入流路と前記第２受入流路と前記第１移送流路と前記第２移送流路と前記第１噴出流路と前記第２噴出流路と前記間隙流路が形成され、
   前記間隙流路を貫通して前記第１ブロックと前記第２ブロックを締結する締付ボルトが設けられ、当該締付ボルトにより前記間隙流路の流路幅が調整可能に形成されている請求項４に記載のスリットノズル。
6. 前記筐体は第１ブロックと第２ブロックが重ね合わされて形成され、前記第１ブロックと前記第２ブロックの互いの対向面に前記第１受入流路と前記第２受入流路と前記第１移送流路と前記第２移送流路と前記第１噴出流路と前記第２噴出流路が形成され、
   前記第１移送流路または前記第２移送流路を貫通して前記第１ブロックと前記第２ブロックを締結する締付ボルトが設けられ、当該締付ボルトにより前記第１噴出流路の流路幅または前記第２噴出流路の流路幅が調整可能に形成されている請求項１～５のいずれか一項に記載のスリットノズル。

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