JP7491865B2 - 除塵ヘッド、及び除塵装置 - Google Patents

Description

本発明は、露光用マスクや基板等の精密な除塵対象から塵を除去する除塵装置に用いられ、除塵対象に吹き付ける気体を噴出する除塵ヘッドに関する。

従来、この種の除塵ヘッドにおいて、長手方向の略全長にわたるスリットからエア（気体）を噴出する除塵ヘッドがある（特許文献１参照）。

特許第３９７５２０５号公報

ところで、噴出されるエアの流速を高くするために、スリットの幅は例えば０．１［ｍｍ］というように非常に狭くされることが多い。このため、特許文献１に記載の除塵ヘッドでは、機械加工等により、除塵ヘッドの長手方向全長にわたってスリットを均一の幅で形成することが困難である。これに対して、噴出部の長手方向においてスリットを複数に分割して形成することも考えられる。しかし、その場合は、各スリットに供給される気体の量に差が生じるおそれがある。したがって、除塵ヘッドの長手方向（所定方向）において、エアを均一に噴出することは困難である。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、除塵ヘッドのスリットが延びる所定方向において気体を均一に噴出しやすくすることができる除塵ヘッドを提供することにある。

上記課題を解決するための第１の手段は、
除塵対象から塵を除去する除塵装置に用いられ、前記除塵対象に吹き付ける気体を噴出する除塵ヘッドであって、
複数の導入口、所定方向に延びて前記所定方向で隣接する複数のスリット、及び前記複数の導入口をそれぞれ同数の前記スリットに連通させる流路が形成された噴出部と、
前記噴出部が取り付けられた本体と、を備え、
前記本体には、前記気体が供給される供給室と、前記供給室を外部に連通させる第１連通路と、前記供給室を前記複数の導入口にそれぞれ連通させる第２連通路と、が形成されている。

上記構成によれば、除塵ヘッドは、除塵対象から塵を除去する除塵装置に用いられ、前記除塵対象に吹き付ける気体を噴出する。

ここで、噴出部には、複数の導入口、所定方向に延びて前記所定方向で隣接する複数のスリット、及び前記複数の導入口をそれぞれ同数の前記複数のスリットに連通させる流路が形成されている。このため、複数の導入口から噴出部の内部へ気体を供給することにより、流路を介して複数のスリットへ気体を供給することができ、複数のスリットから気体を噴出することができる。したがって、除塵ヘッドにおいて所定方向全長にわたるスリット形成する必要がなく、各スリットを均一の幅で形成しやすくなる。さらに、噴出部には、複数の導入口が形成されている。このため、スリットの数が多くなった場合、すなわち噴出部の所定方向の長さが長くなった場合でも、複数の導入口から流路を介して複数のスリットへ必要な量の気体を供給しやすくなる。しかも、流路は複数の導入口を、それぞれ同数のスリットに連通させている。このため、各スリットに供給される気体の量に差が生じることを抑制することができる。

また、前記噴出部が取り付けられた本体には、前記気体が供給される供給室と、前記供給室を外部に連通させる第１連通路と、が形成されている。このため、除塵ヘッドの外部から第１連通路を介して供給室へ気体を供給することができる。そして、本体には、前記供給室を前記複数の導入口にそれぞれ連通させる第２連通路が形成されている。このため、供給室から第２連通路を介して噴出部の複数の導入口、ひいてはスリットへ気体を供給することができる。さらに、第１連通路から供給室を介して複数の第２連通路へ気体が供給されるため、複数の第２連通路へ気体を供給するための第１連通路の数を減らすことができる。しかも、第１連通路から分岐した分岐路により複数の第２通路へ気体を供給する場合と比較して、複数の第２連通路へ均等に気体を供給しやすくなる。以上により、除塵ヘッドのスリットが延びる所定方向において気体を均一に噴出しやすくすることができる。

第２の手段では、前記本体は直方体状に形成されており、前記本体の底部には、前記所定方向において前記本体の全長にわたって延び、且つ前記本体の底面に対して所定角度をなす所定平面が形成されており、前記噴出部は、前記スリットから前記気体が前記所定平面に平行に噴出されるように、前記所定平面に取り付けられている。

上記構成によれば、前記本体は直方体状に形成されており、前記本体の底部には、前記所定方向において前記本体の全長にわたって延び、且つ前記本体の底面に対して所定角度をなす所定平面が形成されている。このため、直方体状の本体の底部を切削等することにより、前記所定方向において前記本体の全長にわたって延びる所定平面を容易に形成することができる。さらに、所定平面が本体の底面に対してなす所定角度を、所定平面を形成する際に容易に調節することができる。

そして、前記噴出部は、前記スリットから前記気体が前記所定平面に平行に噴出されるように、前記所定平面に取り付けられている。このため、噴出部自体の構成を変更しなくても、上記所定角度を調節することにより、本体の底面に対する気体の噴出角度を容易に調節することができる。

第３の手段では、前記所定角度は、１５～４５［°］である。こうした構成によれば、除塵対象の上面と本体の底面とを平行に配置して噴出部から気体を噴出して除塵対象に吹き付けた場合に、除塵ヘッドの底部と除塵対象との間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する気体の速度の水平成分の方向へ引き込まれることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。このため、除塵対象から除去された塵が、スリットから噴出する気体の速度の水平成分と反対方向へ飛散することを抑制することができ、除去された塵が除塵対象に再付着することを抑制することができる。

第４の手段では、前記所定角度は、２５～３５［°］である。こうした構成によれば、噴出部から気体を噴出して除塵対象に吹き付けた場合に、除塵ヘッドの底部と除塵対象との間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する気体の速度の水平成分の方向へ引き込まれる効果が顕著になることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。

第５の手段では、前記第２連通路は、前記所定平面に開口しており、前記導入口は、前記所定平面における前記第２連通路の開口端に対向しており、前記所定平面において前記第２連通路の開口端の周囲には、シール部材を収納する収納溝が形成されており、前記収納溝に収納された前記シール部材により、前記本体と前記噴出部との間がシールされている。

上記構成によれば、前記第２連通路は、前記所定平面に開口しており、前記導入口は、前記所定平面における前記第２連通路の開口端に対向している。このため、第２連通路と導入口とを接続することができる。ここで、前記所定平面において前記第２連通路の開口端の周囲には、シール部材を収納する収納溝が形成されており、前記収納溝に収納された前記シール部材により、前記本体と前記噴出部との間がシールされている。こうした構成によれば、シール部材を収納する収納溝を、本体の所定平面に形成しているため、収納溝を噴出部に形成する必要がない。したがって、噴出部を薄板状等の薄型に形成することができ、噴出部の構成を簡潔にすることができる。

第６の手段では、前記本体には、複数の前記噴出部が前記所定方向に並んで取り付けられており、前記供給室は、複数の前記噴出部に沿って前記所定方向に延びており、前記第２連通路は、前記供給室を複数の前記噴出部の前記複数の導入口にそれぞれ連通させている。こうした構成によれば、複数の噴出部を所定方向に並んで取り付けることにより、所定方向の長さが長い除塵ヘッドを実現することができる。さらに、所定方向の長さが長い除塵ヘッドを１つの噴出部で実現する場合と比較して、各噴出部において所定方向全長にわたって気体を均一に噴出することが容易であるため、除塵ヘッドの所定方向全長にわたって気体を均一に噴出しやすくすることができる。しかも、複数の前記噴出部に沿って前記所定方向に延びる共通の供給室から、複数の前記噴出部の前記複数の導入口に気体を導入することができるため、１つの第１連通路により供給室へ気体を供給することができる。

第７の手段では、前記収納溝は、複数の前記噴出部にそれぞれ対応して、前記所定方向に並んで形成されており、前記収納溝にそれぞれ収納された前記シール部材により、前記本体と各噴出部との間がシールされている。こうした構成によれば、所定方向の長さが長い噴出部と本体との間を１つのシール部材によりシールする場合と比較して、各噴出部と本体との間をシール部材により安定してシールすることができる。

第８の手段では、前記本体は、複数の前記噴出部にそれぞれ対応する本体構成部に分割されており、前記所定方向において、前記本体構成部の一端には前記供給室と連通した第１係合部が設けられ、前記本体構成部の他端には前記供給室と連通し且つ前記第１係合部と係合する第２係合部が設けられている。

上記構成によれば、前記本体は、複数の前記噴出部にそれぞれ対応する本体構成部に分割されている。このため、本体を複数の本体構成部に分割して構成することができ、本体構成部の数を増やすことにより本体の所定方向の長さを長くすることができる。そして、前記所定方向において、前記本体構成部の一端には前記供給室と連通した第１係合部が設けられ、前記本体構成部の他端には前記供給室と連通し且つ前記第１係合部と係合する第２係合部が設けられている。このため、第１係合部と第２係合部とを係合させることにより、隣り合う本体構成部を連結することができるとともに隣り合う本体構成部の供給室を連通させることができる。

第９の手段では、前記所定方向において、前記第２連通路の長さは前記導入口の長さと等しい。こうした構成によれば、供給室から導入口まで、所定方向において均一に気体を流しやすくなる。

第１０の手段では、前記第２連通路は、前記供給室から前記導入口と反対側へ延びた後に前記導入口の側へ折り返して前記導入口に接続されている。こうした構成によれば、第２連通路の供給室から導入口までの長さを長くしやすくなるため、第２連通路を気体が流れる間に所定方向における気体の流量を均一に近付けることができる。

第１１の手段では、前記第２連通路において、前記折り返しの部分の流路面接は他の部分の流路面積よりも小さい。こうした構成によれば、第２連通路において折り返しの部分で一旦流路を絞ることにより、所定方向における気体の流量のばらつきを縮小することができる。

第１２の手段は、除塵装置であって、
第２～第１１のいずれか１つの手段に記載の除塵ヘッドである第１除塵ヘッドを２つと、
前記所定方向における前記第１除塵ヘッドの長さよりも短く形成され、スリットから前記気体を噴出する第２除塵ヘッドを２つと、
一対の長側面と一対の短側面とを有する矩形筒状に形成され、空気を吸引するダクトに上側の第１開口が接続され、下側の第２開口から空気を吸引するフードと、を備え、
２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の長側面に前記第１除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられており、
２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の短側面に前記第２除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられている。

上記構成によれば、フードは、一対の長側面と一対の短側面とを有する矩形筒状に形成され、空気を吸引するダクトに上側の第１開口が接続され、下側の第２開口から空気を吸引する。このため、除塵ヘッドから噴出された気体により除塵対象から除去された塵を、第２開口から吸引して第１開口からダクトへ排出することができる。

ここで、２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の長側面に前記第１除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられている。このため、フードの下方内側において２つの第１除塵ヘッドから噴出された気体を衝突させることができ、第１除塵ヘッドから噴出された気体がフードの下方から外側へ漏れることを抑制することができる。特に、第３（第４）の手段の構成を備えることにより、前記所定角度は１５～４５（２５～３５）［°］であり、除塵対象の上面と本体の底面とを平行に配置した場合は、除塵ヘッドの底部と除塵対象との間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する気体の速度の水平成分の方向へ引き込まれるようにすることができる。

さらに、２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の短側面に前記第２除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられている。このため、長側面に取り付けられた第１除塵ヘッドから噴出された気体が、除塵対象に付着した塵を除去した後に短側面の下方からフードの外側へ漏れることを抑制することができる。

第１３の手段では、前記長側面に平行な方向から見て、２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体の進行方向と前記除塵対象の上面とがなす角度である第１角度が１５～４５［°］であり、前記短側面に平行な方向から見て、２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体の進行方向と前記除塵対象の上面とがなす角度である第２角度が１５～４５［°］である。こうした構成によれば、除塵ヘッドの底部と除塵対象との間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する気体の速度の水平成分の方向へ引き込まれるようにすることができる。

第１４の手段では、前記第１角度は、２５～３５［°］であり、前記第２角度は、２５～３５［°］である。こうした構成によれば、除塵ヘッドの底部と除塵対象との間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する気体の速度の水平成分の方向へ引き込まれる効果が顕著になる。

第１５の手段では、２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットの開口端と前記除塵対象の上面との距離、及び２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットの開口端と前記除塵対象の上面との距離は、５～２０［ｍｍ］である。こうした構成によれば、第８～第１０のいずれか１つの手段による作用効果が奏されることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。

第１６の手段では、２つの前記第１除塵ヘッドに前記気体をそれぞれ供給する第１ポート及び第２ポートが、前記除塵装置における前記所定方向の一端部に設けられており、前記第１ポートから一方の前記第１除塵ヘッドの前記供給室を介して一方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第１供給流路と、前記第２ポートから他方の前記第１除塵ヘッドと他方の前記第２除塵ヘッドとに前記気体を直接供給する第２供給流路と、を備える。

上記構成によれば、２つの前記第１除塵ヘッドに前記気体をそれぞれ供給する第１ポート及び第２ポートが、前記除塵装置における前記所定方向の一端部に設けられている。このため、前記除塵装置における前記所定方向の一端部に、第１ポート及び第２ポートをまとめて配置することができる。そして、第１供給流路は、前記第１ポートから一方の前記第１除塵ヘッドの前記供給室を介して一方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する。このため、前記第１除塵ヘッドの前記供給室を利用することで、所定方向において第１ポートと反対側の除塵装置の端部に配置された第２除塵ヘッドに気体を供給することができる。また、第２供給流路は、前記第２ポートから他方の前記第１除塵ヘッドと他方の前記第２除塵ヘッドとに前記気体を直接供給することができる。

第１７の手段では、除塵装置は、前記第１ポートと前記第２ポートとに等しい流量の前記気体を供給する。こうした構成によれば、複数の噴出部の複数のスリットに等しい流量の気体を供給しやすくなり、各スリットに供給される気体の量に差が生じることを抑制することができる。

また、第１８の手段のように、一方の前記第１除塵ヘッドに前記気体を供給する第１供給流路と、他方の前記第１除塵ヘッドに前記気体を供給する第２供給流路と、一方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第３供給流路と、他方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第４供給流路と、を備える、といった構成を採用することもできる。

第１９の手段では、前記第１供給流路と前記第２供給流路とに等しい流量の前記気体を供給し、前記第３供給流路と前記第４供給流路とに等しい流量の前記気体を供給する。こうした構成によれば、２つの第１除塵ヘッドに等しい流量の気体を供給しやすくなり、２つの第１除塵ヘッドのスリットから噴出される気体の量に差が生じることを抑制することができる。また、２つの第２除塵ヘッドに等しい流量の気体を供給しやすくなり、２つの第２除塵ヘッドのスリットから噴出される気体の量に差が生じることを抑制することができる。

第２０の手段では、前記供給室の流路面積は、前記第１供給流路の流路面積及び前記第２供給流路の流路面積よりも大きい。こうした構成によれば、第１供給流路及び第２供給流路に供給された気体を供給室で一旦拡散させることができ、供給室から複数の第２連通路に等しい流量の気体を供給しやすくなる。

除塵装置を示す斜視図。 除塵ヘッド組立体の斜視図。 除塵ヘッド組立体の横断面斜視図。 除塵ヘッド組立体の縦断面斜視図。 供給ブロックの斜視図。 供給ブロックの連結状態を示す斜視図。 連結リングの斜視図。 図４のＡ部拡大斜視図。 供給ブロック及び噴出プレートの下部斜視図。 噴出プレートの上面側を示す分解斜視図。 噴出プレートの下面側を示す分解斜視図。 噴出プレートの斜視図。 ２つの第１除塵ヘッドの縦断面斜視図。 フォトマスクに対する噴出プレートの角度を示す側面図。 ２つの第２除塵ヘッドの縦断面。

以下、露光装置で用いられるフォトマスクの塵を除去する除塵装置に具現化した一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。除塵装置は、フォトマスクの上面に空気（気体）を噴出して塵を除去し、除去された塵を吸引してダクトへ排出する。

図１に示すように、除塵装置１０は、除塵ヘッド組立体２０、フード１１、持ち手１２Ａ，１２Ｂ等を備えている。

除塵ヘッド組立体２０には、フード１１が取り付けられている。フード１１は、一対の長側面１１ａと一対の短側面１１ｂと上底１１ｃと有する有底矩形筒状（矩形筒状）に形成されている。フード１１の上側の開口である第１開口１１ｄは、ダクト１８に接続されている。ダクト１８は、吸引装置（図示略）に接続されており、フード１１内の空気を吸引し、ひいてはフード１１の下側の開口である第２開口から空気を吸引する。

図２は、除塵ヘッド組立体２０の斜視図である。除塵ヘッド組立体２０は、２つの第１除塵ヘッド２１、２つの第２除塵ヘッド４０、２つの第１継手ブロック５０、２つの第２継手ブロック６０、連結板２０ａ等を備えている。

２つの第１除塵ヘッド２１は、互いに平行に対向して配置されている。２つの第１除塵ヘッド２１は、上記一対の長側面１１ａ（図１参照）にそれぞれ取り付けられている。第１除塵ヘッド２１（除塵ヘッド）は、６つ（複数）の供給ブロック２２を備えている。６つの供給ブロック２２は、第１除塵ヘッド２１（除塵装置１０）の長手方向（所定方向）に並んで、互いに連結されている。第１除塵ヘッド２１の長手方向における長さは、例えば６００～８００［ｍｍ］である。なお、６つの供給ブロック２２により本体が構成され、本体は６つの供給ブロック２２（本体構成部）に分割されている。

２つの第２除塵ヘッド４０は、互いに平行に対向して配置されている。２つの第２除塵ヘッド４０は、上記一対の短側面１１ｂ（図１参照）にそれぞれ取り付けられている。第２除塵ヘッド４０は、第１除塵ヘッド２１の長手方向における長さよりも短く形成されている。

第１除塵ヘッド２１と第２除塵ヘッド４０との間には、第１継手ブロック５０又は第２継手ブロック６０が設けられている。連結板２０ａは、矩形枠状の板材であり、２つの第１除塵ヘッド２１、２つの第２除塵ヘッド４０、２つの第１継手ブロック５０、及び２つの第２継手ブロック６０を矩形枠状に連結している。

第１継手ブロック５０には、高圧（所定圧）の清浄な空気（クリーンドライエア）が供給される第１ポート５１が設けられている。第２継手ブロック６０には、高圧（所定圧）の清浄な空気（クリーンドライエア）が供給される第２ポート６１が設けられている。第１ポート５１と第２ポート６１には、等しい流量の空気が供給される。第１ポート５１及び第２ポート６１は、除塵装置１０における長手方向の一端部に設けられている。

図３，４に示すように、各供給ブロック２２の内部には、各供給室２３が形成されている。供給室２３は、四角柱の空間として形成されており、第１除塵ヘッド２１の長手方向に延びている。隣接する供給室２３は、互いに連通している。第１除塵ヘッド２１の長手方向における一端の供給ブロック２２の供給室２３は、第１継手ブロック５０の内部に形成された継手流路５２を介して、第１ポート５１に連通している。第１除塵ヘッド２１の長手方向における他端の供給ブロック２２の供給室２３は、第２継手ブロック６０の内部に形成された継手流路６２に連通している。

第２除塵ヘッド４０は、供給ブロック４２を備えている。供給ブロック４２の内部には、供給室４３が形成されている。供給室４３は、継手流路６２に連通している。なお、第１ポート５１から一方の第１除塵ヘッド２１の各供給室２３を介して一方の第２除塵ヘッド４０に空気を供給する継手流路５２，６２は、第１供給流路を構成している。第２ポート６１から他方の第１除塵ヘッド２１と他方の第２除塵ヘッド４０とに空気を直接供給する継手流路６２は、第２供給流路を構成している。供給室２３，４３の流路面積は、第１供給流路の流路面積及び第２供給流路の流路面積よりも大きい。なお、第１除塵ヘッド２１の長手方向において、第１ポート５１と反対側の端部及び第２ポート６１と反対側の端部は、他の部材により閉じられている。

図５は、供給ブロック２２の斜視図である。

供給ブロック２２は、直方体状に形成されている。供給ブロック２２の下底部（底部）には、断面直角三角形状の三角溝２９が形成されている。三角溝２９は、供給ブロック２２の長手方向（所定方向）の全長にわたって形成されている。三角溝２９の面積が大きい方の底面である底面２９ａ（所定平面）には、２つの開口３３が形成されている（図９参照）。供給ブロック２２の下底部において２つの開口３０の周囲には、Ｏリング等のシール部材を収納する収納溝３４がそれぞれ形成されている。

供給ブロック２２の長手方向の両端部には、供給室２３を長手方向で外部に連通させる第１連通路２４が形成されている。供給ブロック２２の上底部（底部）には、２つの開口３０が形成されている。供給ブロック２２の上底部において２つの開口３０の周囲には、Ｏリング等のシール部材を収納する収納溝３１がそれぞれ形成されている。

供給ブロック２２には、供給室２３を２つの開口３０にそれぞれ連通させる連通路２５が形成されている。供給ブロック２２には、連通路２５に平行に延びる連通路２７が形成されている。供給ブロック２２には、連通路２５と連通路２７とを連通させる連通路２６が形成されている。供給ブロック２２には、連通路２７と開口３３とを連通させる連通路２８が形成されている。供給ブロック２２の長手方向において、連通路２５，２７，２８の長さは等しい。連通路２６の流路面積は、連通路２５の流路面積及び連通路２７の流路面積よりも小さい。

２つの開口３０は、連結板２０ａにより覆われる。収納溝３１に収納されたシール部材により、供給ブロック２２の上底部と連結板２０ａとの間がシールされている。なお、連通路２５～２８により、第２連通路が構成されている。すなわち、第２連通路は、供給室２３から開口３３と反対側へ延びた後に開口３３の側へ折り返して開口３３に接続されている。第２連通路において、折り返しの部分である連通路２６の流路面接は他の部分の流路面積よりも小さい。第２連通路は、底面２９ａに開口している。

供給ブロック２２の長手方向において、供給ブロック２２の一端には供給室２３と連通した第１係合部３５が設けられ、供給ブロック２２の他端には供給室２３と連通し且つ隣接する供給ブロック２２の第１係合部３５と係合する第２係合部３６が設けられている。第１係合部３５及び第２係合部３６は、環状の凹部として形成されている。

図６に示すように、隣接する供給ブロック２２は、連結リング３７を介して連結されている。図７に示すように、連結リング３７は、四角筒状（環状）のリング本体３７ｂを備えている。リング本体３７ｂの外周縁部には、環状の突条３７ａが設けられている。突条３７ａは、リング本体３７ｂにおいて中心軸線方向の中央に設けられている。

図８は、図４のＡ部を拡大して示す斜視図である。連結リング３７は、２つの第１連通路２４、第１係合部３５、及び第２係合部３６の内周面に嵌合している。すなわち、第１係合部３５と第２係合部３６とは、連結リング３７を介して係合している。第１係合部３５と第２係合部３６とは、連結リング３７の突条３７ａにより隔離されている。第１係合部３５及び第２係合部３６には、それぞれＯリング等のシール部材３８が収納されている。第１係合部３５（供給ブロック２２）と連結リング３７のリング本体３７ｂとの間は、シール部材３８によりシールされている。第２係合部３６（供給ブロック２２）と連結リング３７のリング本体３７ｂとの間は、シール部材３８によりシールされている。シール部材３８は、連結リング３７の径方向に圧縮されている。このため、隣接する供給ブロック２２の長手方向の相対位置にばらつきが生じたとしても、第１係合部３５と連結リング３７との間、及び第２係合部３６と連結リング３７との間をシール部材３８により安定してシールすることができる。

図９は、供給ブロック２２及び噴出プレート７０の下部を示す斜視図である。底面２９ａには、噴出プレート７０が取り付けられている。収納溝３４に収納されたシール部材により、底面２９ａ（供給ブロック２２の下底部）と噴出プレート７０との間がシールされている。噴出プレート７０は、フォトマスクに吹き付ける空気を噴出する。

図１０は噴出プレート７０の上面側を示す分解斜視図であり、図１１は噴出プレート７０の下面側を示す分解斜視図である。噴出プレート７０（噴出部、除塵装置用噴出部）は、第１プレート７１、第２プレート７２、第３プレート８０等を備えている。

第１プレート７１（第１部材）は、例えば一定の厚みのステンレス鋼（金属）により、短手方向と長手方向とを有する矩形板状に形成されている。第１プレート７１の厚みは、例えば０．３～０．７［ｍｍ］であり、０．４～０．６［ｍｍ］であることが望ましく、本実施形態では０．５［ｍｍ］である。第１プレート７１は圧延により形成されており、厚みの公差は±５［μｍ］である。第１プレート７１の長手方向の両端部及び中央部には、短手方向に並ぶ２つのねじ孔７１ａがそれぞれ形成されている。ねじ孔７１ａは、第１プレート７１をエッチングすることで形成されている。

第２プレート７２（第２部材）は、例えば一定の厚みのステンレス鋼（金属）により、短手方向と長手方向とを有する矩形板状に形成されている。第２プレート７２の形状は、第１プレート７１の形状に対応している。第２プレート７２の厚みは、例えば０．１～０．３［ｍｍ］が望ましく、本実施形態では０．１［ｍｍ］である。第２プレート７２は圧延により形成されており、厚みの公差は±５［μｍ］である。第２プレート７２の長手方向の両端部及び中央部には、短手方向に並ぶ２つのねじ孔７２ａがそれぞれ形成されている。

第２プレート７２には、短手方向の一端で開口する複数の切欠７３が長手方向の全長にわたって隣接して（隣り合って）形成されている。切欠７３は、矩形状に形成されている。複数の切欠７３において開口端７３ａから第２プレート７２の短手方向の所定範囲には、開口端７３ａに近付くほど長手方向における切欠７３の長さを長くする傾斜部７３ｂが形成されている。すなわち、複数の切欠７３は、開口端７３ａ側が広がっている形状である。ねじ孔７２ａ及び切欠７３は、第２プレート７２をエッチングすることで形成されている。

第２プレート７２において、切欠７３と切欠７３との間の部分である各境界部７４は、第２プレート７２の長手方向における自身の中央を規定する中央線Ｃに関して線対称に形成されている。すなわち、各境界部７４は、自身の中央線Ｃに関して線対称の形状である。第２プレート７２の長手方向において、各境界部７４の先端の幅、すなわち隣接する切欠７３の開口端７３ａ同士の間隔、は、０．５［ｍｍ］以下が望ましく、本実施形態では０．４［ｍｍ］である。

第２プレート７２の長手方向において第２プレート７２の両端部には、境界部７４を半割りした形状である半割部７４ｈが形成されている。第２プレート７２の長手方向において、２つの第２プレート７２を隣接させた場合に、２つの半割部７４ｈ（隣接した半割部７４ｈ）により１つの境界部７４が形成される。

第３プレート８０（第３部材）は、例えば一定の厚みのステンレス鋼（金属）により、短手方向と長手方向とを有する矩形板状に形成されている。第３プレート８０の形状は、第１プレート７１の形状に対応している。第３プレート８０の厚みは、例えば０．８～１．２［ｍｍ］が望ましく、本実施形態では１．０［ｍｍ］である。第３プレート８０は圧延により形成されており、厚みの公差は±５［μｍ］である。第３プレート８０の長手方向の両端部及び中央部には、短手方向に並ぶ２つのねじ孔８０ａがそれぞれ形成されている。

第３プレート８０には、２つ（複数）の貫通孔８１が形成されている。貫通孔８１（導入口）は、矩形状に形成されており、第３プレート８０の長手方向においてねじ孔８０ａとねじ孔８０ａとの間で延びている。ねじ孔８０ａは、第３プレート８０をエッチングすることで形成されている。

第３プレート８０には、貫通孔８１から、第３プレート８０の短手方向のうち上記切欠７３の開口端７３ａ側に延びる複数の溝８２が形成されている。溝８２の深さは、０．４～０．６［ｍｍ］が望ましく、本実施形態では０．５［ｍｍ］である。溝８２は、第３プレート８０をハーフエッチングすることで形成されている。溝８２は、貫通孔８１に連通している。噴出プレート７０が組み立てられ状態において、各溝８２は、貫通孔８１と各切欠７３とを連通させる流路を構成している。溝８２における開口端７３ａの側の端８２ａは、切欠７３の上記傾斜部７３ｂよりも手前に位置している（図１２参照）。複数の溝８２において、貫通孔８１との連通部の流路面積は互いに等しい。

第３プレート８０には、溝８２に準じた複数の溝８３が形成されている。複数の溝８３は、第３プレート８０の長手方向において、貫通孔８１の両端部にそれぞれ連通している。各溝８３は、２つの切欠７３に連通している（図１２参照）。溝８３のその他の構成は、溝８２と同様である。２つの貫通孔８１は、複数の溝８２，８３（流路）により、それぞれ１０（同数）の切欠７３に連通させられている。

第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０は、同一の材質（例えばＳＵＳ３０４）で形成されている。第１プレート７１と第３プレート８０とで第２プレート７２を挟んで、第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０は拡散接合されている。拡散接合は、第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０を、例えば厚み方向に所定の圧力で加圧し、真空炉中で８００～９００［℃］に加熱することにより実行される。第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０が一体に接合された状態では、第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０で区画された各切欠７３の内部の空間により各スリットが形成される。第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０の厚み方向におけるスリットの幅は、第２プレート７２の厚みにより規定され、０．１［ｍｍ］である。

図１３は、２つの第１除塵ヘッド２１の縦断面斜視図である。なお、手前側の長側面１１ａは、表示を省略している。

連通路２５～２８により構成される第２連通路は、噴出プレート７０の複数の貫通孔８１に供給室２３をそれぞれ連通させている。すなわち、貫通孔８１は、供給ブロック２２の底面２９ａにおける第２連通路の開口端に対向している（図９参照）。供給ブロック２２（第１除塵ヘッド２１）の長手方向において、第２連通路の長さは貫通孔８１の長さと等しい。

各供給ブロック２２には、各噴出プレート７０が取り付けられている。すなわち、６つ（複数）の供給ブロック２２により構成される本体には、６つ（複数）の噴出プレート７０が本体の長手方向に並んで取り付けられている。供給室２３は、複数の噴出プレート７０に沿って本体の長手方向に延びている。

２つの第１除塵ヘッド２１の噴出プレート７０のスリットから噴出する空気がフード１１の下方内側へ向かうように、一対の長側面１１ａに第１除塵ヘッド２１がそれぞれ取り付けられている。

図１４は、フォトマスクＭに対する噴出プレート７０の角度を示す側面図である。供給ブロック２２の底面２９ａは、供給ブロック２２の底面２９ｂに対して第１角度θ１をなしている。そして、噴出プレート７０は、第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０が、底面２９ａに平行になるように底面２９ａに取り付けられている。このため、噴出プレート７０のスリットから空気が底面２９ａに平行に噴出され、噴出プレート７０（第１除塵ヘッド２１）のスリットから噴出する気体の進行方向（矢印Ｄ１）とフォトマスクＭの上面とがなす角度は、第１角度θ１となる。第１角度θ１は、１５～４５［°］が望ましく、２５～３５［°］がより望ましく、本実施形態では３０［°］である。

第１除塵ヘッド２１の噴出プレート７０のスリットの開口端とフォトマスクＭの上面との距離ｈ１は、５～２０［ｍｍ］が望ましく、本実施形態では７．０［ｍｍ］である。

図１５は、２つの第２除塵ヘッド４０の縦断面である。供給ブロック４２は、上記供給ブロック２２に準じた構成を備えている。供給ブロック４２の内部には、供給ブロック２２の供給室２３、及び連通路２５～２８に対応して、供給室４３、及び連通路４５～４８が形成されている。一方の供給ブロック４２の供給室４３は、開口６２ａを介して第２継手ブロック６０の継手流路６２に連通している。供給室４３の流路面積は、開口６２ａの流路面積よりも大きい。

供給ブロック４２には、噴出プレート９０が取り付けられている。噴出プレート９０は、噴出プレート７０に準じた構成を備えており、噴出プレート７０を長手方向において半分にした構成と同様である。

２つの第２除塵ヘッド４０の噴出プレート９０のスリットから噴出する空気がフード１１の下方内側へ向かうように、一対の短側面１１ｂに第２除塵ヘッド４０がそれぞれ取り付けられている。

供給ブロック４２の底面４９ａは、供給ブロック４２の底面４９ｂに対して第２角度θ２をなしている。そして、噴出プレート９０は、底面４９ａに取り付けられている。このため、噴出プレート９０のスリットから空気が底面４９ａに平行に噴出される。第２角度θ２は、第１角度θ１と等しく設定されている。

供給ブロック４２の底面４９ｂの高さは、供給ブロック２２の底面２９ｂの高さと等しい。このため、第２除塵ヘッド４０の噴出プレート９０のスリットの開口端とフォトマスクＭの上面との距離ｈ２（図示略）は、距離ｈ１と等しい。

以上の構成を備える除塵装置１０の下面にフォトマスクＭの上面を対向させ、除塵装置１０の短手方向にフォトマスクＭを相対移動させる。これにより、噴出プレート７０，９０のスリットから噴出された空気により、フォトマスクＭの上面に付着した塵が除去され、フード１１の上部に接続されたダクト１８により塵が吸引される。

このとき、２つの噴出プレート７０及び２つの噴出プレート９０により、四方からフォトマスクＭの上面に向けて空気が噴出される。特に、第１角度θ１及び第２角度θ２が１５～４５［°］に設定されているため、除塵ヘッド２１，４０の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認された。すなわち、フォトマスクＭの上面から除去された塵が、除塵装置１０の下方から外側へ漏れることが抑制される。なお、従来の除塵装置では、フォトマスクＭの上面から除去された塵が、除塵装置の下方から外側へ相当量漏れていることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認された。

以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。

・噴出プレート７０の複数のスリットの幅は、第２プレート７２の一定の厚みにより規定される。したがって、スリットを機械加工等により形成する必要がなく、噴出プレート７０の長手方向全長にわたって複数のスリットを均一の幅で形成しやすくなる。

・複数の切欠７３において開口端７３ａから所定範囲には、開口端７３ａに近付くほど長手方向における切欠７３の長さを長くする傾斜部７３ｂが形成されている。このため、隣接するスリットの開口端７３ａ同士の間隔を短くしやすくなり、スリットとスリットとの間に形成される空気を噴出しない部分の長さを短くしやすくなる。しかも、傾斜部７３ｂに沿って空気が流れることにより、スリットから噴出した空気は長手方向へ広がりやすくなる。したがって、スリットとスリットとの間の空気の流れが弱くなることを抑制することができ、噴出プレート７０の長手方向において空気を均一に噴出しやすくすることができる。

・第２プレート７２において、切欠７３と切欠７３との間の部分である境界部７４は、長手方向における自身の中央を規定する中央線Ｃに関して線対称に形成されている。このため、隣接するスリットから中央線Ｃに関して対称に空気を噴出しやすくなり、噴出プレート７０の長手方向において空気をさらに均一に噴出しやすくすることができる。さらに、長手方向において第２プレート７２の両端部には、境界部７４を半割りした形状である半割部７４ｈが形成されている。このため、長手方向において、複数の噴出プレート７０を接続した場合に、噴出プレート７０の端部の半割部７４ｈ同士を接続することにより、１つの境界部７４を構成することができる。したがって、長手方向において、複数の噴出プレート７０を接続した場合であっても、複数の噴出プレート７０にわたって空気を均一に噴出しやすくすることができる。

・溝８２（流路）における切欠７３の開口端７３ａの側の端８２ａは、傾斜部７３ｂよりも手前に位置している。こうした構成によれば、流路を流れる空気は、切欠７３において傾斜部７３ｂよりも手前の部分へ流入する。したがって、傾斜部７３ｂ全体を利用して、傾斜部７３ｂに沿って空気を流しやすくなる。

・第２プレート７２の厚みは、０．１～０．３［ｍｍ］である。こうした構成によれば、噴出プレート７０の長手方向全長にわたって、０．１～０．３［ｍｍ］幅のスリットを均一の幅で形成しやすくなる。

・第３プレート８０の厚みは、０．８～１．２［ｍｍ］であるため、第３プレート８０の厚み方向における空気の通路としての貫通孔８１の深さを、０．８～１．２［ｍｍ］確保することができる。そして、第３プレート８０の厚み方向において、流路の深さは０．４～０．６［ｍｍ］であり、スリットの幅は０．１～０．３［ｍｍ］である。このため、貫通孔８１から、流路、スリットへと、第３プレート８０の厚み方向において、空気の通路の深さを徐々に浅くすることができる。したがって、空気の圧力損失を抑制しつつ、スリットから噴出される空気の流速を高くすることができる。

・噴出プレート７０の長手方向において、隣接する切欠７３の開口端７３ａ同士の間隔は、０．５［ｍｍ］以下である。こうした構成によれば、スリットとスリットとの間に形成される空気を噴出しない部分の長さをさらに短くしやすくなる。

・第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０は拡散接合されている。こうした構成によれば、第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０を接着剤等で接合する場合と比較して、第１プレート７１と第３プレート８０との距離、すなわちスリットの幅を、第２プレート７２の厚みにより正確に規定しやすくなる。

・第３プレート８０には、貫通孔８１が複数形成されている。このため、切欠７３（スリット）の数が多くなった場合、すなわち噴出プレート７０の長手方向の長さが長くなった場合でも、複数の貫通孔８１から流路を介して複数のスリットへ必要な量の空気を供給しやすくなる。さらに、流路は、複数の貫通孔８１を、それぞれ同数の切欠７３に連通させている。このため、各切欠７３（スリット）に供給される空気の量に差が生じることを抑制することができる。

・第１除塵ヘッド２１は、噴出プレート７０と、噴出プレート７０が取り付けられた供給ブロック２２と、を備えている。供給ブロック２２には、空気が供給される供給室２３と、供給室２３を外部に連通させる第１連通路２４と、が形成されている。このため、第１除塵ヘッド２１の外部から第１連通路２４を介して供給室２３へ空気を供給することができる。そして、供給ブロック２２には、供給室２３を複数の貫通孔８１にそれぞれ連通させる第２連通路が形成されている。このため、供給室２３から第２連通路を介して噴出プレート７０の複数の貫通孔８１、ひいては切欠７３（スリット）へ空気を供給することができる。さらに、第１連通路２４から供給室２３を介して複数の第２連通路へ空気が供給されるため、複数の第２連通路へ空気を供給するための第１連通路２４の数を減らすことができる。しかも、第１連通路２４から分岐した分岐路により複数の第２通路へ空気を供給する場合と比較して、複数の第２連通路へ均等に空気を供給しやすくなる。

・供給ブロック２２は直方体状に形成されており、供給ブロック２２の底部には、長手方向において供給ブロック２２の全長にわたって延び、且つ供給ブロック２２の底面２９ｂに対して第１角度θ１（所定角度）をなす底面２９ａが形成されている。このため、直方体状の供給ブロック２２の底部を切削等することにより、長手方向において供給ブロック２２の全長にわたって延びる底面２９ａを容易に形成することができる。さらに、底面２９ａが供給ブロック２２の底面２９ｂに対してなす第１角度θ１を、底面２９ａを形成する際に容易に調節することができる。

・噴出プレート７０は、スリットから空気が底面２９ａに平行に噴出されるように、底面２９ａに取り付けられている。このため、噴出プレート７０自体の構成を変更しなくても、上記第１角度θ１を調節することにより、供給ブロック２２の底面に対する空気の噴出角度を容易に調節することができる。

・第１角度θ１は、１５～４５［°］である。こうした構成によれば、噴出プレート７０から空気を噴出してフォトマスクＭに吹き付けた場合に、第１除塵ヘッド２１の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。このため、フォトマスクＭから除去された塵が、スリットから噴出する空気の速度の水平成分と反対方向へ飛散することを抑制することができ、除去された塵がフォトマスクＭに再付着することを抑制することができる。

・第１角度θ１は、２５～３５［°］である。こうした構成によれば、噴出プレート７０から空気を噴出してフォトマスクＭに吹き付けた場合に、第１除塵ヘッド２１の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれる効果が顕著になることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。

・第２連通路は、底面２９ａに開口しており、貫通孔８１は、底面２９ａにおける第２連通路の開口端に対向している。このため、第２連通路と貫通孔８１とを接続することができる。ここで、底面２９ａにおいて第２連通路の開口端の周囲には、シール部材を収納する収納溝３４が形成されており、収納溝３４に収納されたシール部材により、供給ブロック２２と噴出プレート７０との間がシールされている。こうした構成によれば、シール部材を収納する収納溝３４を、供給ブロック２２の底面２９ａに形成しているため、収納溝３４を噴出プレート７０に形成する必要がない。したがって、噴出プレート７０を薄板状等の薄型に形成することができ、噴出プレート７０の構成を簡潔にすることができる。

・噴出プレート７０には、複数の貫通孔８１、所定方向（噴出プレート７０の長手方向）に延びて所定方向で隣接する複数のスリット、及び複数の貫通孔８１をそれぞれ同数の複数のスリットに連通させる流路が形成されている。このため、複数の貫通孔８１から噴出プレート７０の内部へ空気を供給することにより、流路を介して複数のスリットへ空気を供給することができ、複数のスリットから空気を噴出することができる。したがって、第１除塵ヘッド２１において所定方向全長にわたるスリット形成する必要がなく、各スリットを均一の幅で形成しやすくなる。さらに、噴出プレート７０には、複数の貫通孔８１が形成されている。このため、スリットの数が多くなった場合、すなわち噴出プレート７０の所定方向の長さが長くなった場合でも、複数の貫通孔８１から流路を介して複数のスリットへ必要な量の空気を供給しやすくなる。しかも、流路は複数の貫通孔８１を、それぞれ同数のスリットに連通させている。このため、各スリットに供給される空気の量に差が生じることを抑制することができる。

・噴出プレート７０が取り付けられた供給ブロック２２には、空気が供給される供給室２３と、供給室２３を外部に連通させる第１連通路２４と、が形成されている。このため、第１除塵ヘッド２１の外部から第１連通路２４を介して供給室２３へ空気を供給することができる。そして、供給ブロック２２には、供給室２３を複数の貫通孔８１にそれぞれ連通させる第２連通路が形成されている。このため、供給室２３から第２連通路を介して噴出プレート７０の複数の貫通孔８１、ひいてはスリットへ空気を供給することができる。さらに、第１連通路２４から供給室２３を介して複数の第２連通路へ空気が供給されるため、複数の第２連通路へ空気を供給するための第１連通路２４の数を減らすことができる。しかも、第１連通路２４から分岐した分岐路により複数の第２通路へ空気を供給する場合と比較して、複数の第２連通路へ均等に空気を供給しやすくなる。以上により、第１除塵ヘッド２１のスリットが延びる所定方向において空気を均一に噴出しやすくすることができる。

・供給ブロック２２には、複数の噴出プレート７０が所定方向に並んで取り付けられており、供給室２３は、複数の噴出プレート７０に沿って所定方向に延びており、第２連通路は、供給室２３を複数の噴出プレート７０の複数の貫通孔８１にそれぞれ連通させている。こうした構成によれば、複数の噴出プレート７０を所定方向に並んで取り付けることにより、所定方向の長さが長い第１除塵ヘッド２１を実現することができる。さらに、所定方向の長さが長い第１除塵ヘッド２１を１つの噴出プレート７０で実現する場合と比較して、各噴出プレート７０において所定方向全長にわたって空気を均一に噴出することが容易であるため、第１除塵ヘッド２１の所定方向全長にわたって空気を均一に噴出しやすくすることができる。しかも、複数の噴出プレート７０に沿って所定方向に延びる共通の供給室２３から、複数の噴出プレート７０の複数の貫通孔８１に空気を導入することができるため、１つの第１連通路２４により供給室２３へ空気を供給することができる。

・収納溝３４は、複数の噴出プレート７０にそれぞれ対応して、所定方向に並んで形成されており、収納溝３４にそれぞれ収納されたシール部材により、供給ブロック２２と各噴出プレート７０との間がシールされている。こうした構成によれば、所定方向の長さが長い噴出プレート７０と供給ブロック２２との間を１つのシール部材によりシールする場合と比較して、各噴出プレート７０と供給ブロック２２との間をシール部材により安定してシールすることができる。

・本体は、複数の噴出プレート７０にそれぞれ対応する供給ブロック２２に分割されている。このため、本体を複数の供給ブロック２２に分割して構成することができ、供給ブロック２２の数を増やすことにより本体の所定方向の長さを長くすることができる。そして、所定方向において、供給ブロック２２の一端には供給室２３と連通した第１係合部３５が設けられ、供給ブロック２２の他端には供給室２３と連通し且つ第１係合部３５と係合する第２係合部３６が設けられている。このため、第１係合部３５と第２係合部３６とを係合させることにより、隣り合う供給ブロック２２を連結することができるとともに隣り合う供給ブロック２２の供給室２３を連通させることができる。

・所定方向において、第２連通路の長さは貫通孔８１の長さと等しい。こうした構成によれば、供給室２３から貫通孔８１まで、所定方向において均一に空気を流しやすくなる。

・第２連通路は、供給室２３から貫通孔８１と反対側へ延びた後に貫通孔８１の側へ折り返して貫通孔８１に接続されている。こうした構成によれば、第２連通路の供給室２３から貫通孔８１までの長さを長くしやすくなるため、第２連通路を空気が流れる間に所定方向における空気の流量を均一に近付けることができる。

・第２連通路において、折り返しの部分（連通路２６）の流路面接は他の部分の流路面積よりも小さい。こうした構成によれば、第２連通路において折り返しの部分で一旦流路を絞ることにより、所定方向における空気の流量のばらつきを縮小することができる。

・フード１１は、一対の長側面１１ａと一対の短側面１１ｂとを有する矩形筒状に形成され、空気を吸引するダクト１８に上側の第１開口１１ｄが接続され、下側の第２開口から空気を吸引する。このため、第１除塵ヘッド２１から噴出された空気によりフォトマスクＭから除去された塵を、第２開口から吸引して第１開口１１ｄからダクト１８へ排出することができる。

・２つの第１除塵ヘッド２１のスリットから噴出する空気がフード１１の下方内側へ向かうように、一対の長側面１１ａに第１除塵ヘッド２１がそれぞれ取り付けられている。このため、フード１１の下方内側において２つの第１除塵ヘッド２１から噴出された空気を衝突させることができ、第１除塵ヘッド２１から噴出された空気がフード１１の下方から外側へ漏れることを抑制することができる。特に、第１角度θ１は１５～４５（２５～３５）［°］であり、フォトマスクＭの上面と供給ブロック２２の底面２９ｂとを平行に配置した場合は、第１除塵ヘッド２１の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれるようにすることができる。

・２つの第２除塵ヘッド４０のスリットから噴出する空気がフード１１の下方内側へ向かうように、一対の短側面１１ｂに第２除塵ヘッド４０がそれぞれ取り付けられている。このため、長側面１１ａに取り付けられた第１除塵ヘッド２１から噴出された空気が、フォトマスクＭに付着した塵を除去した後に短側面１１ｂの下方からフード１１の外側へ漏れることを抑制することができる。

・長側面１１ａに平行な方向から見て、２つの第１除塵ヘッド２１のスリットから噴出する空気の進行方向とフォトマスクＭの上面とがなす角度である第１角度θ１が１５～４５［°］であり、短側面１１ｂに平行な方向から見て、２つの第２除塵ヘッド４０のスリットから噴出する空気の進行方向とフォトマスクＭの上面とがなす角度である第２角度θ２が１５～４５［°］である。こうした構成によれば、除塵ヘッド２１，４０の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれるようにすることができる。

・第１角度θ１は、２５～３５［°］であり、第２角度θ２は、２５～３５［°］である。こうした構成によれば、除塵ヘッド２１，４０の底部とフォトマスクＭとの間の空気が、負圧及び空気の粘性により、スリットから噴出する空気の速度の水平成分の方向へ引き込まれる効果が顕著になる。

・２つの第１除塵ヘッド２１のスリットの開口端とフォトマスクＭの上面との距離ｈ１、及び２つの第２除塵ヘッド４０のスリットの開口端とフォトマスクＭの上面との距離ｈ２は、５～２０［ｍｍ］である。こうした構成によれば、上記作用効果が奏されることが、本願発明者による実験及びシミュレーションで確認されている。

・２つの第１除塵ヘッド２１に空気をそれぞれ供給する第１ポート５１及び第２ポート６１が、除塵装置１０における所定方向の一端部に設けられている。このため、除塵装置１０における所定方向の一端部に、第１ポート５１及び第２ポート６１をまとめて配置することができる。そして、第１供給流路は、第１ポート５１から一方の第１除塵ヘッド２１の供給室２３を介して一方の第２除塵ヘッド４０空気を供給する。このため、第１除塵ヘッド２１の供給室２３を利用することで、所定方向において第１ポート５１と反対側の除塵装置１０の端部に配置された第２除塵ヘッド４０に空気を供給することができる。また、第２供給流路は、第２ポート６１から他方の第１除塵ヘッド２１と他方の第２除塵ヘッド４０とに空気を直接供給することができる。

・除塵装置１０は、第１ポート５１と第２ポート６１とに等しい流量の空気を供給する。こうした構成によれば、複数の噴出プレート７０の複数のスリットに等しい流量の空気を供給しやすくなり、各スリットに供給される空気の量に差が生じることを抑制することができる。

・供給室２３の流路面積は、第１供給流路の流路面積及び第２供給流路の流路面積よりも大きい。こうした構成によれば、第１供給流路及び第２供給流路に供給された空気を供給室２３で一旦拡散させることができ、供給室２３から複数の第２連通路に等しい流量の空気を供給しやすくなる。

・第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０の拡散接合により、第２プレート７２の境界部７４が第１プレート７１及び第３プレート８０と接合するため、各スリット幅を安定させることができる。

なお、上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。上記実施形態と同一の部分については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。

・距離ｈ１，ｈ２を、２～３０［ｍｍ］に設定することもできる。

・第１角度θ１，第２角度θ２を、１０～５０［°］に設定することもできる。

・２つの第２除塵ヘッド４０を省略することもできる。

・第１係合部３５と第２係合部３６とが、直接係合するように形成することもできる。例えば第１係合部３５を環状の凸部として形成し、第２係合部３６を環状の凹部として形成し、第１係合部３５と第２係合部３６とを嵌合させてもよい。

・供給ブロック２２に収納溝３４を形成することに代えて、噴出プレート７０に収納溝を形成することもできる。

・供給ブロック２２の底部全体に底面２９ａ（所定平面）を形成することもできる。

・噴出プレート７０の長手方向において、隣接する切欠７３の開口端７３ａ同士の間隔を、０．５～１．０［ｍｍ］に設定することもできる。

・第２プレート７２の厚みを、０．０５～０．５［ｍｍ］に設定することもできる。

・溝８２（流路）における切欠７３の開口端７３ａの側の端８２ａを、傾斜部７３ｂよりも奧に位置させることもできる。

・境界部７４が線対称でない形状を採用することもできる。

・底面２９ａと、噴出プレート７０のスリットから空気を噴出する方向とが、平行でない構成を採用することもできる。

・第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０を、アルミ合金や、銅合金により形成することもできる。

・第１プレート７１、第２プレート７２、及び第３プレート８０を、溶接で接合したり、接着剤で接合したりすることもできる。

・一方の第１除塵ヘッド２１に空気を供給する第１供給流路と、他方の第１除塵ヘッド２１に空気を供給する第２供給流路と、一方の第２除塵ヘッド４０に空気を供給する第３供給流路と、他方の第２除塵ヘッド４０に空気を供給する第４供給流路と、を備える、といった構成を採用することもできる。そして、第１供給流路と第２供給流路とに等しい流量の空気を供給し、第３供給流路と第４供給流路とに等しい流量の空気を供給する。こうした構成によれば、２つの第１除塵ヘッド２１に等しい流量の空気を供給しやすくなり、２つの第１除塵ヘッド２１のスリットから噴出される空気の量に差が生じることを抑制することができる。また、２つの第２除塵ヘッド４０に等しい流量の空気を供給しやすくなり、２つの第２除塵ヘッド４０のスリットから噴出される空気の量に差が生じることを抑制することができる。

・噴出プレート７０，９０が噴出する気体として、窒素や、酸素、アルゴン等を採用することもできる。

・除塵対象として、液晶基板や、ウエハ、ガラス基板等を採用することもできる。

なお、上記の各変更例を組み合わせて実施することもできる。

１０…除塵装置、２０…除塵ヘッド組立体、２１…第１除塵ヘッド（除塵ヘッド）、２２…供給ブロック、２３…供給室、２４…第１連通路、２５…連通路、２６…連通路、２７…連通路、２８…連通路、４０…第２除塵ヘッド（除塵ヘッド）、４２…供給ブロック、４３…供給室、４５…連通路、４６…連通路、４７…連通路、４８…連通路、６２ａ…開口、７０…噴出プレート（噴出部）、７１…第１プレート（第１部材）、７２…第２プレート（第２部材）、７３…切欠、７３ａ…開口端、７３ｂ…傾斜部、７４…境界部、８０…第３プレート（第３部材）、８１…貫通孔（導入口）、８２…溝（流路）、８３…溝（流路）、９０…噴出プレート（噴出部）。

Claims (19)

1. 除塵対象から塵を除去する除塵装置に用いられ、前記除塵対象に吹き付ける気体を噴出する除塵ヘッドであって、
   複数の導入口、所定方向に延びて前記所定方向で隣接する複数のスリット、及び前記複数の導入口をそれぞれ同数の前記スリットに連通させる流路が形成された噴出部と、
   前記噴出部が取り付けられた本体と、を備え、
   前記本体には、前記気体が供給される供給室と、前記供給室を外部に連通させる第１連通路と、前記供給室を前記複数の導入口にそれぞれ連通させる第２連通路と、が形成されており、
   前記本体は直方体状に形成されており、
   前記本体の底部には、前記所定方向において前記本体の全長にわたって延び、且つ前記本体の底面に対して所定角度をなす所定平面が形成されており、
   前記噴出部は、前記スリットから前記気体が前記所定平面に平行に噴出されるように、前記所定平面に取り付けられている、除塵ヘッド。
2. 前記所定角度は、１５～４５［°］である、請求項１に記載の除塵ヘッド。
3. 前記所定角度は、２５～３５［°］である、請求項１又は２に記載の除塵ヘッド。
4. 前記第２連通路は、前記所定平面に開口しており、
   前記導入口は、前記所定平面における前記第２連通路の開口端に対向しており、
   前記所定平面において前記第２連通路の開口端の周囲には、シール部材を収納する収納溝が形成されており、
   前記収納溝に収納された前記シール部材により、前記本体と前記噴出部との間がシールされている、請求項１～３のいずれか１項に記載の除塵ヘッド。
5. 前記本体には、複数の前記噴出部が前記所定方向に並んで取り付けられており、
   前記供給室は、複数の前記噴出部に沿って前記所定方向に延びており、
   前記第２連通路は、前記供給室を複数の前記噴出部の前記複数の導入口にそれぞれ連通させている、請求項４に記載の除塵ヘッド。
6. 前記収納溝は、複数の前記噴出部にそれぞれ対応して、前記所定方向に並んで形成されており、
   前記収納溝にそれぞれ収納された前記シール部材により、前記本体と各噴出部との間がシールされている、請求項５に記載の除塵ヘッド。
7. 前記本体は、複数の前記噴出部にそれぞれ対応する本体構成部に分割されており、
   前記所定方向において、前記本体構成部の一端には前記供給室と連通した第１係合部が設けられ、前記本体構成部の他端には前記供給室と連通し且つ前記第１係合部と係合する第２係合部が設けられている、請求項５又は６に記載の除塵ヘッド。
8. 前記所定方向において、前記第２連通路の長さは前記導入口の長さと等しい、請求項１～７のいずれか１項に記載の除塵ヘッド。
9. 前記第２連通路は、前記供給室から前記導入口と反対側へ延びた後に前記導入口の側へ折り返して前記導入口に接続されている、請求項１～８のいずれか１項に記載の除塵ヘッド。
10. 前記第２連通路において、前記折り返しの部分の流路面接は他の部分の流路面積よりも小さい、請求項９に記載の除塵ヘッド。
11. 請求項１～１０のいずれか１項に記載の除塵ヘッドである第１除塵ヘッドを２つと、
    前記所定方向における前記第１除塵ヘッドの長さよりも短く形成され、スリットから前記気体を噴出する第２除塵ヘッドを２つと、
    一対の長側面と一対の短側面とを有する矩形筒状に形成され、空気を吸引するダクトに上側の第１開口が接続され、下側の第２開口から空気を吸引するフードと、を備え、
    ２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の長側面に前記第１除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられており、
    ２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体が前記フードの下方内側へ向かうように、前記一対の短側面に前記第２除塵ヘッドがそれぞれ取り付けられている、除塵装置。
12. 前記長側面に平行な方向から見て、２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体の進行方向と前記除塵対象の上面とがなす角度である第１角度が１５～４５［°］であり、
    前記短側面に平行な方向から見て、２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットから噴出する気体の進行方向と前記除塵対象の上面とがなす角度である第２角度が１５～４５［°］である、請求項１１に記載の除塵装置。
13. 前記第１角度は、２５～３５［°］であり、
    前記第２角度は、２５～３５［°］である、請求項１２に記載の除塵装置。
14. ２つの前記第１除塵ヘッドの前記スリットの開口端と前記除塵対象の上面との距離、及び２つの前記第２除塵ヘッドの前記スリットの開口端と前記除塵対象の上面との距離は、５～２０［ｍｍ］である、請求項１１～１３のいずれか１項に記載の除塵装置。
15. ２つの前記第１除塵ヘッドに前記気体をそれぞれ供給する第１ポート及び第２ポートが、前記除塵装置における前記所定方向の一端部に設けられており、
    前記第１ポートから一方の前記第１除塵ヘッドの前記供給室を介して一方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第１供給流路と、前記第２ポートから他方の前記第１除塵ヘッドと他方の前記第２除塵ヘッドとに前記気体を直接供給する第２供給流路と、を備える、請求項１１～１４のいずれか１項に記載の除塵装置。
16. 前記第１ポートと前記第２ポートとに等しい流量の前記気体を供給する、請求項１５に記載の除塵装置。
17. 一方の前記第１除塵ヘッドに前記気体を供給する第１供給流路と、他方の前記第１除塵ヘッドに前記気体を供給する第２供給流路と、一方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第３供給流路と、他方の前記第２除塵ヘッドに前記気体を供給する第４供給流路と、を備える、請求項１１～１４のいずれか１項に記載の除塵装置。
18. 前記第１供給流路と前記第２供給流路とに等しい流量の前記気体を供給し、前記第３供給流路と前記第４供給流路とに等しい流量の前記気体を供給する、請求項１７に記載の除塵装置。
19. 前記供給室の流路面積は、前記第１供給流路の流路面積及び前記第２供給流路の流路面積よりも大きい、請求項１５～１８のいずれか１項に記載の除塵装置。

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